KR100835537B1 - 유리기판의 에지 검사장치 - Google Patents

유리기판의 에지 검사장치 Download PDF

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Abstract

유리기판의 에지 검사장치가 개시된다. 유리기판의 에지(edge)의 결함여부를 검사하는 장치로서, 유리기판을 로딩하는 지지테이블과, 유리기판의 에지에 상응하는 영상정보를 획득하는 제1 비젼부 및 제1 비젼부와 결합되며, 에지 부분을 지지하여 제1 비젼부의 작동을 보조하는 가이드바를 포함하는 유리기판의 에지 검사장치는, 유리기판의 규격에 따라 유리기판의 크기가 변경되더라도 테이블을 교체하지 않고 사용할 수 있어 유리기판의 에지 검사의 택트 타임(tact time)을 줄일 수 있고, 유리기판의 에지의 처짐을 방지하여 유리기판의 에지의 결함 존재여부를 보다 정확하게 검사할 수 있다.
유리기판, 에지, 가이드바, 분사부, 검사

Description

유리기판의 에지 검사장치{Apparatus for inspecting edge of glass plate}
도 1은 종래기술에 따른 유리기판의 에지 검사장치의 측면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사장치의 사시도.
도 3은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사장치의 정면도.
도 4는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사장치의 평면도.
도 5는 도 4의 A-A'선에 따른 단면도.
도 6은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 가이드바 및 보조테이블의 구성을 설명하기 위한 도면.
도 7은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사장치의 평면도.
도 8은 본 발명의 바람직한 제3 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사장치의 평면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
3 : 결합프레임 4 : 제1 비젼부
6 : 가이드바 7 : 보조가이드바
8 : 지지테이블 9 : 롤러
10 : 보조테이블 12 : 유리기판
본 발명은 유리기판의 에지 검사장치에 관한 것이다.
최근 액정디스플레이(LCD) 패널, PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 평판 디스플레이에는 평판 형태의 유리기판이 사용되고 있으며, 이를 위해 디스플레이 패널을 제조하는 과정에서 유리기판은 유리용해로에서 용해된 용해유리를 평판으로 성형하는 성형공정과 이를 규격에 맞추어 절단하는 절단공정을 통하여 유리기판을 절단한 후 유리기판의 에지(edge)를 연마하는 공정 등을 통하여 생산된다.
통상 LCD 디스플레이 패널은 액정이 봉입된 상하 유리기판으로 구성되고, 이 유리기판의 측부에 인쇄회로기판이 설치되어 있다. 이 인쇄회로기판과 액정패널의 단자부를 전기적으로 연결시켜 액정표시소자가 구동하게 되는데, 이때 사용되는 것이 플렉서블 커넥터이다. 유리기판을 절단한 후 곧바로 디스플레이 패널에 사용할 경우에는 유리기판 에지의 모서리에 의해 인쇄회로기판과 유리기판의 단자부를 연 결하는 플렉서블 커넥터가 절단될 우려가 있다. 따라서, 이러한 유리기판의 에지는 절단공정에 후행하는 연마공정을 통해 재가공하게 되는데, 통상의 연마공정은 절단에 의해 날카롭게 형성된 유리기판의 에지를 고속으로 회전하는 연마휠의 외주면에 접하도록 함으로써 날카로운 모서리를 매끄럽게 성형하게 된다.
그러나, 유리기판의 절단공정과 연마공정에서 유리기판의 에지에는 많은 결함이 발생할 수 있는데, 절단공정에서는 유리기판의 크기오차, 직진성 불량, 크랙(crack), 칩(chip) 등이 발생할 수 있고, 연마공정에서는 유리기판 에지 연마에 의해 형성되는 연마면의 경사각 오차 및 연마면에 칩(chip) 등이 발생할 우려가 있다. 따라서, 고품질의 유리기판을 제조하기 위해서는 유리기판의 에지에 존재할 수 있는 결함을 검사할 필요가 있다.
도 1은 종래기술에 따른 유리기판의 에지 검사장치의 측면도이다. 도 1를 참조하면, 종래기술에 따른 유리기판의 에지 검사장치는 유리기판(100)의 단부의 양 에지에 상응하는 위치에 배치되는 카메라(102)와, 유리기판을 지지하고 유리기판의 장변과 단변의 에지 연마에 대응하도록 유리기판을 회전시키고 이동시키는 지지테이블(104)로 구성된다.
종래기술에 따른 유리기판의 지지테이블(104)은 검사하고자 하는 유리기판의 규격에 따라 유리기판의 크기가 변경되는 경우 그에 상응하는 크기의 지지테이블(104)로 교체해야 한다. 이에 따라 다양한 유리기판의 크기에 상응하는 지지테이블(104)을 다수 준비해야 하고, 이에 따라 지지테이블(104)의 제작비용의 증가와 지지테이블(104)의 교체시간이 소요되어 공정시간이 길어지는 문제점이 있었다.
또한, 지지테이블(104)이 유리기판의 규격에 따른 다양한 유리기판의 크기에 적절히 대응되지 않은 경우 유리기판의 에지에 처짐이 발생하여 유리기판의 에지의 결함 존재여부를 정확하게 검사할 수 없다는 문제점이 있다.
본 발명은 유리기판의 에지의 영상을 획득하는 비젼부와 결합되어 유리기판의 에지 부분을 지지하고 안내하는 가이드바를 둠으로써 유리기판의 규격에 따라 유리기판의 크기가 변경되더라도 테이블을 교체하지 않고, 유리기판의 에지의 처짐을 방지하여 유리기판의 에지의 결함여부를 정확하게 검사할 수 있는 유리기판의 에지 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 유리기판의 에지의 결함여부를 검사하는 장치로서, 유리기판을 로딩하는 지지테이블과, 유리기판의 에지에 상응하는 영상정보를 획득하는 제1 비젼부 및 제1 비젼부와 결합되며, 에지 부분을 지지하여 제1 비젼부의 작동을 보조하는 가이드바를 포함하는 유리기판의 에지 검사장치가 제공된다.
제1 비젼부는 유리기판의 일면의 에지에 상응하여 위치하며, 가이드바는 제1 비젼부에 대향하여 유리기판의 타면의 에지 부분을 지지하도록 할 수 있다.
또한, 제1 비젼부는 한 쌍의 카메라를 포함하되, 한 쌍의 카메라는 각각 유리기판의 대향하는 양변의 에지에 상응하여 위치하되, 상호간의 이격거리는 조절할 수 있다.
가이드바는 제1 비젼부와 일체적으로 결합되며, 제1 비젼부와 연동되어 이동되도록 할 수 있다.
한편, 가이드바는 한 쌍의 가이드바로 이루어지며, 한 쌍의 가이드바 사이에 개재되며, 제1 비젼부에 대향하여 유리기판에 광원을 제공하는 조명부 또는 제2 비젼부를 더 포함할 수 있다.
유리기판은 소정 범위의 검사영역으로 이송되며, 가이드바는 검사영역을 커버하도록 길이방향으로 연장되도록 구성할 수 있으며, 가이드바와 소정거리 이격되어 가이드바의 길이방향으로 연장되는 보조가이드바를 더 둘 수 있다.
가이드바 또는 보조가이드 바에는, 가이드바 또는 보조가이드바의 유리기판과 대향하는 면에 형성되며, 공기를 분사하는 제1 분사부를 포함할 수 있다. 또한, 가이드바 또는 보조가이드바의 일측 또는 양측에 결합되어, 유리기판을 이동 가능하게 지지하는 롤러(Roller)를 포함할 수 있다.
지지테이블은, 유리기판을 회동 가능하게 지지하고, 이동시킬 수 있다.
지지테이블과 가이드바 사이에 개재되며, 유리기판을 이동 가능하게 지지하는 보조테이블을 더 둘 수 있다.
보조테이블에은, 보조테이블의 유리기판과 대향하는 면에 형성되며, 공기를 분사하는 제2 분사부를 포함할 수 있으며, 보조테이블의 일측 또는 양측에 결합되어, 유리기판을 이동 가능하게 지지하는 롤러(Roller)를 둘 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 유리기판 지지용 테이블의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사장치의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사장치의 정면도이며, 도 4는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사장치의 평면도이다. 또한, 도 5는 도 4의 A-A'선에 따른 단면도이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 결합프레임(3), 제1 비젼부(4), 조명부 또는 제2 비젼부(5), 가이드바(6), 지지테이블(8), 보조테이블(10), 유리기판(12), 제1 분사부(16), 제2 분사부(17)이 도시되어 있다.
본 발명에 있어 제1 비젼부(4)를 이용하여 유리기판의 에지의 결함여부를 검사하는 방법은, 카메라 등의 광학장치를 이용하여 유리기판(12)의 에지에 상응하는 영상정보을 획득하고 이러한 영상정보의 이미지 처리를 통해 유리기판의 크기 오차, 직진성 불량 및 유리기판 에지 연마면의 경사각 오차 및 경사면에 칩(chip) 등이 존재여부를 검사하게 된다.
그러나, 다양한 유리기판의 크기에 대응하여 유리기판의 에지 결함여부를 검사하기 위해서는 제1 비젼부(4)의 카메라와 조명부등을 유리기판의 크기에 부합하게 이동시켜야 하며, 유리기판(12)의 크기가 변경됨에 따라 그에 상응하게 지지테이블(8)을 교체해야 한다. 만일 유리기판(12)이 대형인 경우 그에 적절한 지지테이 블(8)로 지지하지 못할 경우 유리기판(12)의 에지에 처짐이 발생하여 정밀한 검사를 수행할 수 없다.
따라서, 본 발명은 유리기판(12)의 크기에 상관없이 유리기판(12)의 에지 부분을 정확하게 지지할 수 있는 가이드바(6)를 제1 비젼부(4)와 일체적으로 결합시킴으로써 제1 비젼부(4)의 카메라와 조명부 등이 유리기판의 크기에 부합하여 이동하더라도 이와 연동되어 가이드바(6)가 이동되도록 함으로써 높은 수준 이상의 검사정밀도를 얻을 수 있도록 하는 것이다.
본 실시예에 있어서, 도 5에 도시된 바와 같이. 가이드바는 한 쌍의 가이드바로 이루어지며, 한 쌍의 가이드바 사이에 개재되며, 제1 비젼부(4)에 대향하여 유리기판에 광원을 제공하는 조명부(5)를 두거나, 유리기판 하부의 단부의 검사를 위한 제2 비젼부(5)를 둘 수 있다. 제2 비젼부(5)를 둔 경우에는 유리기판의 상 하면의 단부의 검사를 동시에 수행할 수 있다. 제 2 비젼부(5)의 구성과 작용은 제1 비젼부와 동일하므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예의 유리기판(12)의 에지 검사장치는 유리기판(12)의 규격에 따라 유리기판(12)의 크기가 변경되더라도 테이블을 교체하지 않고 범용적으로 사용할 수 있으며, 또한 검사장치를 이용하여 유리기판(12)의 장변 또는 단변의 에지의 검사 시 유리기판(12)의 에지의 처짐을 방지하여 유리기판의 에지 결함여부를 정확하게 검사할 수 있도록 구성하였다. 이를 위해 유리기판(12)을 로딩하는 지지테이블(8)과 유리기판(12)의 에지에 상응하여 에지의 상부에 위치하여 영상정보를 획득하는 제1 비젼부(4) 및 제1 비젼부(4)와 결합되며, 제1 비젼부(4)에 대향하여 유리 기판의 하부에서 유리기판의 에지 부분을 지지하여 제1 비젼부(4)의 작동을 보조하는 가이드바(6)를 필수 구성요소로 한다.
본 실시예의 유리기판(12)의 에지 검사장치를 이용하여 유리기판(12)의 에지의 결함여부를 검사하는 방법을 간략히 설명하면, 먼저 유리기판(12)을 지지테이블(8)상에 안착시킨다. 이때 유리기판(12)의 크기가 대형인 경우(즉, 지지테이블(8)과 가이드바(6)만으로 적절히 유리기판을 지지할 수 없는 매우 큰 유리기판의 경우)에는 이에 대응하여 보조테이블(10)을 둠으로써 유리기판(12)을 처짐 없이 지지하도록 할 수 있다.
유리기판(12)이 지지테이블(8)에 안착된 후 지지테이블(8)의 표면에 형성된 공기를 흡입하는 흡착부(미도시)로 유리기판(12)을 흡착하여 유리기판(12)을 고정시킨다. 흡착부에 의해 고정된 유리기판(12)을 유리기판(12)의 장변 방향의 양 에지에 상응하게 배치된 제1 비젼부(4)(즉, 두 개의 제1 비젼부(4)는 유리기판의 단변의 길이에 상응하게 벌어지게 된다.)가 위치한 방향으로 지지테이블(8)을 이동시켜 유리기판(12)의 장변의 에지의 결함여부를 검사하게 되는데, 유리기판(12)의 에지 부분의 처짐을 방지하기 위해 제1 비젼부(4)와 일체적으로 결합되는 가이드바(6)가 유리기판(12)의 에지 부분을 지지하여 제1 비젼부(4)의 작동을 보조하면서 유리기판(12)의 장변의 에지의 결함여부를 검사하게 된다.
지지테이블(8)의 이동으로 인한 유리기판(12)의 장변의 양 에지의 검사가 완료되면 유리기판(12)을 지지하고 있는 지지테이블(8)이 90˚회전하고, 제1 비젼부(4)가 유리기판(12)의 장변의 길이에 상응하도록 적절한 위치로 벌어짐과 동시에 제1 비젼부(4)와 일체적으로 결합된 가이드바(6)도 제1 비젼부(4)에 연동되어 유리기판(12)의 장변의 길이에 상응하여 적절한 위치로 벌어진다.
지지테이블(8)의 회전과, 제1 비젼부(4) 및 가이드바(6)의 이동이 완료되면 지지테이블(8)을 상기 이동방향과 역으로 이동시켜 유리기판(12)의 단변의 양 에지를 검사하게 된다. 물론, 유리기판(12)의 단변의 양 에지를 먼저 검사하고 상술한 바와 같이 장변의 양 에지를 검사하는 것도 가능하다.
본 실시예에 있어서 제1 비젼부(4)는 유리기판의 일면의 에지에 상응하여 위치(도면상 유리기판의 일 에지의 상부에 위치)하며, 가이드바(6)는 제1 비젼부(4)에 대향하여 유리기판의 타면의 에지 부분(도면상 유리기판의 타 에지 부분의 하부)을 지지하도록 하였다.
제1 비젼부(4)에는 한 쌍의 카메라를 포함하되, 한 쌍의 카메라는 각각 유리기판의 대향하는 양변의 에지에 상응하여 위치하여 동시에 유리기판의 대향하는 양변의 에지를 동시에 검사할 수 있도록 한다. 또한, 유리기판의 장변 또는 단변의 에지를 검사할 수 있도록 두 개의 카메라 상호간의 이격거리는 조절 가능하다. 더불어 제1 비젼부(4)와 일체적으로 결합된 가이드바(6)가 제1 비젼부(4)에 연동하여 이동하게 된다.
제1 비젼부(4)에는 유리기판(12)의 에지에 상응하는 영상정보를 획득하는 카메라, 카메라에서 획득한 영상을 저장하는 영상저장부(미도시), 에지 부분의 영상을 용이하게 획득할 수 있도록 빛을 조사하는 조명을 포함하는 조명부 및 상기 영상정보의 이미지 처리를 통해 유리기판의 크기오차, 직진성 불량 및 유리기판의 에 지 연마면의 경사각 오차 및 경사면에 칩 등이 존재여부를 결정하는 제어부(미도시)가 결합될 수 있다.
제1 비젼부(4)와 결합되며, 유리기판(12)의 에지 부분을 지지하여 제1 비젼부(4)의 작동을 보조하는 가이드바(6)는 제1 비젼부(4)와 일체적으로 결합될 수 있도록 "ㄷ" 형상의 결합프레임(3)을 두어 "ㄷ" 형상의 양 단부에 각각 제1 비젼부(4)와 가이드바(6)를 장착하여 제1 비젼부(4)와 연동되어 이동하도록 하였다. 다만, 결합프레임(3)이 상기의 "ㄷ" 형상에 국한되는 것은 아니며, 제1 비젼부(4)와 가이드바(6)가 일체적으로 결합될 수 있는 모든 구조 및 형상이 포함된다.
또한, 제1 비젼부(4)와 가이드바(6)가 결합프레임(3)에 결합되더라도 제1 비젼부(4)와 가이드바(6)간의 위치를 자유로이 결정을 할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 즉, 제1 비젼부(4)에 대한 가이드바(6)의 위치를 적절히 조절함으로써 유리기판(12)의 에지가 가이드바(6)의 단부로부터 이격되는 거리를 조절하여 다양한 유리기판의 크기에 대응할 수 있도록 함과 동시에 가이드바(6)에 의한 카메라의 영상처리를 방해하지 않도록 할 수 있다. 이를 위해 결합프레임(3)에 제1 비젼부(4)와 가이드바(6)간의 위치를 결정할 수 있는 이동수단을 구비할 수 있다. 이동수단으로는 기어, 래크, 체인, 케이블, LM(Linear Motion)시스템 등 당업자에게 자명한 이동수단이 사용될 수 있다.
본 실시예의 가이드바(6)는 지지테이블(8)의 유리기판(12)의 장변과 단변의 에지를 검사하기 위한 이동거리를 커버할 수 있도록 전 이동거리에 상응하게 길이방향으로 연장되도록 하였다. 즉, 지지테이블(8)에 유리기판이 안착됨과 동시에 유 리기판의 양 에지 부분이 가이드바(6)에 의해 지지되도록 하여 지지테이블(8)에 의한 유리기판(12)의 이 동시 에지 부분의 처짐을 방지할 수 있도록 하였다.
또한, 가이드바(6)에는 가이드바(6)의 유리기판과 대향하는 면에 형성되며, 공기를 분사하는 제1 분사부(16)를 포함할 수 있다. 제1 분사부(16)를 통해 공기를 분사하여 유리기판(12)의 에지 부분을 부상시켜 지지테이블(8)에 의한 유리기판(12)의 이 송시 유리기판(12) 면과 가이드바(6) 사이의 마찰을 방지하고 유리기판(12)의 에지 부분에 스크래치가 발생하지 않도록 한다.
제1 분사부(16)는 에어밸브(미도시)와 기류적으로 연결되어 공기를 분사하도록 에어라인과 연결된다. 제1 분사부(16)는 원형의 분사구를 가이드바(6)의 유리기판(12)면과 대향하는 표면상에 다수 형성하게 된다. 제1 분사부(16)는 유리기판(12)의 중량, 두께 및 분사노즐의 지름에 따라 적절한 수로 배치하되, 유리기판(12) 에지를 균등하게 지지할 수 있도록 한다.
제1 분사부(16)의 형상으로서 다수의 원형의 분사구로 구성하는 것 이외에 선형으로 홈을 형성하여 라인형태 등으로 할 수 있으며, 당업자에게 자명한 범위 내에서 유리기판(12)의 단부를 지지할 수 여러 형태가 사용될 수 있음은 물론이다.
본 실시예의 지지테이블(8)에는 지지테이블(8)의 회전과 이동을 위한 구동부(미도시)가 결합되어, 유리기판(12)의 장변 또는 단변 중 어는 한 변의 양 에지의 검사가 마무리 되면 유리기판(12)을 지지하는 지지테이블(8)을 90˚회전시키고 이동시킴으로써 다른 한 변의 양 에지를 검사할 수 있도록 한다. 구동부에는 유압기, LM(Linear Motion)시스템, 기어, 모터 등 승강장치와 회전장치가 결합되어 메 인테이블의 회전과 승강이 가능하도록 구성할 수 있다.
지지테이블(8)은 판의 형태로서 그 표면에는 공기를 흡입하는 흡착부(미도시)를 형성할 수 있다. 흡착부는 진공밸브(미도시)와 기류적으로 연결되어 지지테이블(8)상에 유리기판(12)이 안착되면 진공밸브를 통해 공기를 흡입하여 흡착부와 유리기판(12)이 형성하는 공간을 진공상태로 만듦으로써 유리기판(12)을 고정할 수 있도록 한다. 흡착부는 원형의 홈 형태로 메인테이블(8)의 표면상에 다수 형성할 수 있는데, 흡착부의 형상으로서 다수의 원형의 홈으로 구성하는 것 이외에 선형으로 홈을 형성하여 사각형의 라인형태로 하는 것도 가능하다.
보조테이블(10)은 대형의 유리기판(12)을 지지해야 하는 경우 상술한 지지테이블(8)과 가이드바(6)만으로 충분히 지지할 수 없어 지지테이블(8)과 가이드바(6) 사이에 유리기판(12)의 처짐이 발생할 수 있는 경우에 지지테이블(8)을 보충하여 유리기판(12)을 지지하게 된다. 본 실시예에서는 보조테이블(10)을 지지테이블(8)를 사이에 두고 2개를 배치하였으며, 유리기판(12)의 크기가 대형인 경우 보조테이블(10)은 상호간의 이격거리를 조절하여 지지테이블(8) 및 가이드바(6)와 더불어 유리기판(12)을 적절히 지지할 수 있다. 보조테이블(10)의 표면에도 가이드바(6)와 같이 제2 분사부(17)와 보조테이블의 일측 또는 양측에 롤러를 둘 수 있으며, 이에 대한 구성은 상술한 바와 같다. 다만, 연마하고자 하는 유리기판(12)이 매우 큰 대형기판이 아니라면, 지지테이블(8)과 유리기판(12)의 에지 부분을 지지하여 제1 비젼부(4)의 작동을 보조하는 가이드바(6)만으로도 유리기판(12)을 적절히 지지할 수 있을 것이다.
가이드바(6) 및 보조테이블(10)의 유리기판(12)과 대향하는 면은 지지테이블(8)의 유리기판(12)과 대향하는 면과 단차를 두어 유리기판(12)이 지지테이블(8)상에 안착되면 유리기판(12)의 에지 부분이 가이드바(6) 및 보조테이블(10)상에 떠있는 상태가 되도록 하는 것이 좋다. 떠있는 상태에서 가이드바(6) 및 보조테이블(10)의 제2분사부(17)를 통해 공기를 분사함으로써 지지테이블(8)에 안착된 유리기판(12)이 처짐이 없는 상태를 유지하게 되고 이에 따라 유리기판(12)의 에지의 검사정밀도를 높임과 아울러 지지테이블(8)의 이동에 따른 유리기판(12)의 이동 시 가이드바(6) 및 보조테이블(10)과 유리기판의 마찰이 발생하기 않게 된다.
본 실시예의 보조테이블(10)은 상술한 가이드바(6)와 같이 지지테이블(8)의 유리기판(12)의 장변과 단변의 에지를 검사하기 위한 이동거리를 커버할 수 있도록 전 이동거리에 상응하게 길이방향으로 연장되도록 한다.
도 6는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 가이드바 및 보조테이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 6를 참조하면, 결합프레임(3), 제1 비젼부(4), 가이드바(6), 제1 분사부(16), 제2 분사부(17), 유리기판(12), 롤러(9)가 도시되어 있다.
본 실시예의 가이드바(6) 및 보조테이블(10)의 유리기판과 대향하는 면은, 상술한 바와 같이, 지지테이블(8)의 유리기판(12)과 대향하는 면과 단차을 이루어 위치하도록 하여 유리기판(12)이 지지테이블(8)상에 안착된 경우 유리기판(12)의 에지가 가이드바(6) 및 보조테이블(10)상에 떠있는 상태가 되도록 한다. 떠있는 상태에서 가이드바(6)의 제1 분사부(16) 및 보조테이블(10)의 제2 분사부(17)를 통해 공기를 분사함으로써 지지테이블(8)에 안착된 유리기판(12)이 처짐이 없는 상태를 유지하게 되고 이에 따라 유리기판(12)의 에지의 검사정밀도를 높임과 아울러 지지테이블(8)의 이동에 따른 유리기판(12)의 이 동시 가이드바(6) 및 보조테이블(10)과 유리기판(12)의 마찰을 없애도록 할 수 있다.
한편, 가이드바(6) 및 보조테이블(10)의 일측 또는 양측에 결합되어, 유리기판(12)을 이동 가능하게 지지하는 롤러(Roller, 9)를 포함할 수 있다. 롤러(9)의 외주면도 가이드바(6)의 유리기판(12)과 대향하는 면과 같이 지지테이블(8)의 유리기판(12)과 대향하는 면과 단차를 이루도록 한다. 다만, 이 경우 가이드바(6)의 유리기판(12)과 대향하는 면보다는 조금 높게 위치한다. 이와 같이 롤러(9)를 두는 이유는 유리기판(12)의 안착 시 또는 유리기판(12)의 이 동시 제1 및 제2 분사부(16, 17)에서 공기분사가 중지되는 경우 분사공기를 대신하여 롤러(9)가 유리기판(12)을 지지함으로써 유리기판(12)을 안정적으로 이동하게 하고, 유리기판(12)과의 마찰을 최소화할 수 있다.
본 실시예에 있어서는 가이드바(6)의 일측에 롤러(9)를 구비하고, 보조테이블(10)은 양측에 롤러(9)를 두어 유리기판(12)을 지지하도록 하였다.
도 7은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사장치의 평면도이다. 도 7을 참조하면, 결합프레임(3), 제1 비젼부(4), 가이드바(6), 보조가이드바(7), 보조테이블(10), 지지테이블(8), 유리기판(12)이 도시되어 있다.
본 실시예를 설명함에 있어 상술한 제1 실시예와 다른 구성을 중심으로 기술하기로 하며, 이외의 구성은 상술한 바와 같으므로 중복되는 설명은 생략하기로 한 다.
본 실시예의 가이드바(6)는, 유리기판(12)이 이송되어 소정 범위의 검사영역으로 진입하는 경우에만 유리기판(12)의 에지를 지지하기 위해, 가이드바(6)를 상기 검사영역만을 커버하도록 길이방향으로 연장되도록 구성하였다. 즉, 가이드바(6)를 소정의 검사영역에 대해서만 배치하여 이를 제1 비젼부(4)와 일체적으로 결합하는 것이다. 이와 같이 구성함으로써 가이드바(6)가 제1 비젼부(4)와 연동되어 이동할 경우 상술한 제1 실시예에 비해 가이드바(6)의 중량에 따른 이송수단의 부하와 이동시간을 줄일 수 있다. 다만, 유리기판(12)을 지지테이블(8)에 안착한 후 지지테이블(8)이 이동하여 상기의 검사영역 진입 전까지는 가이드바(6)와 소정거리 이격되어 가이드바(6)의 길이방향으로 연장되는 보조가이드바(7)를 두어 유리기판(12)의 에지를 지지하여 처짐을 방지한다.
한편, 도 5를 통하여 설명한 바와 같이, 가이드바는 한 쌍의 가이드바로 이루어지며, 한 쌍의 가이드바 사이에 개재되며, 제1 비젼부(4)에 대향하여 유리기판에 광원을 제공하는 조명부(5)를 두거나, 유리기판 하부의 단부의 검사를 위한 제2 비젼부(5)를 둘 수 있다. 제2 비젼부(5)를 둔 경우에는 유리기판의 상 하면의 단부의 검사를 동시에 수행할 수 있다. 제 2 비젼부(5)의 구성과 작용은 제1 비젼부와 동일하므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
또한, 보조테이블(10)의 경우에도 보조가이드바(7)가 설치된 영역에 대해서만 길이방향으로 배치하여, 제1 비젼부(4) 및 가이드바(6)의 이동을 통하여 다양한 유리기판(12)의 크기에 대응할 수 있다. 즉, 작은 유리기판(12)에 대해서는 두 개 의 제1 비젼부(4) 상호간의 이격거리를 좁혀 보조테이블(10) 및 가이드바(6)가 각각 유리기판(12)의 에지를 지지하도록 할 수 있고, 큰 유리기판에 대해서는 두 개의 제1 비젼부(4) 상호간의 이격거리를 넓혀 가이드바(6) 및 보조가이드바(7)가 유리기판의 에지를 지지함과 동시에 보조테이블(10)이 가이드바(6)와 지지테이블(8) 사이의 유리기판(12)을 지지하여 처짐을 방지하여 정확한 유리기판(12)의 에지 검사를 수행할 수 있다.
도 8은 본 발명의 바람직한 제3 실시예에 따른 유리기판의 에지 검사장치의 평면도이다. 결합프레임(3), 제1 비젼부(4), 가이드바(6), 보조가이드바(7), 보조테이블(10), 지지테이블(8), 유리기판(12)이 도시되어 있다.
본 실시예의 가이드바(6)는 상술한 제2 실시예와 같이 유리기판(12)이 이송되어 소정 범위의 검사영역으로 진입하는 경우에만 유리기판(12)의 에지를 지지하기 위해, 가이드바(6)를 상기 검사영역만을 커버하도록 길이방향으로 연장되도록 구성하였으나, 보조테이블(10)의 경우에는 상술한 제2 실시예와 달리, 보조테이블(10)을 보조가이드바(7)가 설치된 영역에 대해서만 설치하지 않고, 지지테이블(8)의 유리기판(12)의 장변과 단변의 에지를 검사하기 위한 이동거리를 커버할 수 있도록 전 이동거리에 상응하게 길이방향으로 연장되도록 하였다. 이와 같이 구성함으로써, 유리기판(12)을 지지테이블(8)에 안착한 후 유리기판(12)의 에지 결함여부를 검사하기 위해 유리기판(12)을 이동시키는 경우 검사영역 이외에 이동영역에서는 지지테이블(8), 보조테이블(10) 및 보조가이드바(7)로 유리기판(12)을 지지하도록 하고, 정밀한 검사가 이루어지는 검사영역에 대해서는 유리기판(12)의 크기 에 대응하여 유리기판(12)의 에지를 가이드바(6)로 지지토록 함으로써 유리기판(12)의 에지의 결함 존재여부를 정확하게 검사할 수 있다.
한편, 도 5를 통하여 설명한 바와 같이, 가이드바는 한 쌍의 가이드바(6)로 이루어지며, 한 쌍의 가이드바(6) 사이에 개재되며, 제1 비젼부(4)에 대향하여 유리기판에 광원을 제공하는 조명부(5)를 두거나, 유리기판 하부의 단부의 검사를 위한 제2 비젼부(5)를 둘 수 있다. 제2 비젼부(5)를 둔 경우에는 유리기판의 상 하면의 단부의 검사를 동시에 수행할 수 있다. 제 2 비젼부(5)의 구성과 작용은 제1 비젼부와 동일하므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 유리기판의 규격에 따라 유리기판의 크기가 변경되더라도 테이블을 교체하지 않고 사용할 수 있어 유리기판 에지 검사의 택트 타임(tact time)을 줄일 수 있고, 유리기판의 에지의 처짐을 방지하여 유리기판의 에지의 결함 존재여부를 보다 정확하게 검사할 수 있다.

Claims (13)

  1. 유리기판의 에지(edge)의 결함여부를 검사하는 장치로서,
    상기 유리기판을 로딩하는 지지테이블과;
    상기 에지에 상응하여 위치하며, 상기 에지의 영상정보를 획득하는 제1 비젼부; 및
    상기 제1 비젼부와 결합되어 상기 제1 비젼부와 연동하여 이동하며, 상기 제1 비젼부에 대향하여 상기 에지 부분을 지지함으로써 상기 제1 비젼부의 작동을 보조하는 가이드바를 포함하는 유리기판의 에지 검사장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 비젼부는 한 쌍의 카메라를 포함하되,
    상기 한 쌍의 카메라는 각각 상기 유리기판의 대향하는 양변의 에지에 상응하여 위치하되, 상호간의 이격거리는 조절 가능한 것을 특징으로 하는 유리기판의 에지 검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가이드바는 상기 제1 비젼부와 일체적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 에지 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 가이드바는 한 쌍의 가이드바로 이루어지며,
    상기 한 쌍의 가이드바 사이에 개재되며, 상기 제1 비젼부에 대향하여 상기 유리기판에 광원을 제공하는 조명부 또는 제2 비젼부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 에지 검사장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 유리기판은 소정 범위의 검사영역으로 이송되며, 상기 가이드바는 상기 검사영역을 커버하도록 길이방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 에지 검사장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 가이드바와 소정거리 이격되어 상기 가이드바의 상기 길이방향으로 연장되는 보조가이드바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 에지 검사장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 가이드바는,
    상기 가이드바의 상기 유리기판과 대향하는 면에 형성되며, 공기를 분사하는 제1 분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 에지 검사장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 가이드바는,
    상기 가이드바의 일측 또는 양측에 결합되어, 상기 유리기판을 이동 가능하게 지지하는 롤러(Roller)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 에지 검사장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 지지테이블은,
    상기 유리기판을 회동 가능하게 지지하고, 이동시키는 것을 특징으로 하는 유리기판의 에지 검사장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 지지테이블과 상기 가이드바 사이에 개재되며, 상기 유리기판을 이동 가능하게 지지하는 보조테이블을 더 포함하는 유리기판의 에지 검사장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 보조테이블은,
    상기 보조테이블의 상기 유리기판과 대향하는 면에 형성되며, 공기를 분사하는 제2 분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 에지 검사장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 보조테이블은,
    상기 보조테이블의 일측 또는 양측에 결합되어, 상기 유리기판을 이동 가능하게 지지하는 롤러(Roller)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 에지 검사장치.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105334220A (zh) * 2015-11-12 2016-02-17 深圳市傲视检测技术有限公司 一种用于手机玻璃面板孔边缺陷检测的图像采集装置
WO2019160769A1 (en) * 2018-02-13 2019-08-22 Corning Incorporated Apparatus and method for inspecting a glass sheet
US10613007B2 (en) 2015-03-13 2020-04-07 Corning Incorporated Edge strength testing methods and apparatuses
CN112326693A (zh) * 2020-12-24 2021-02-05 中科慧远视觉技术(北京)有限公司 一种智能设备防护玻璃缺陷检测设备
KR102284046B1 (ko) * 2020-03-23 2021-08-02 주식회사 나노프로텍 이미지 트래킹을 이용한 기판 불량 검사 시스템

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101282757B1 (ko) * 2012-01-11 2013-07-05 (주)유텍시스템 글라스 에지의 스캔 검사 장치 및 글라스 에지의 스캔 검사 방법
CN106643511B (zh) * 2017-03-16 2019-02-12 湖北工业大学 一种支架上的玻璃平面尺寸测量装置及方法
CN111426269A (zh) * 2020-04-24 2020-07-17 广东鑫光智能系统有限公司 板材在线检测设备
CN111624208B (zh) * 2020-05-19 2021-08-24 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 面板残材检测装置及检测方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6445813B1 (en) 1994-08-24 2002-09-03 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. System for inspecting an apparatus of a printed circuit board

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6445813B1 (en) 1994-08-24 2002-09-03 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. System for inspecting an apparatus of a printed circuit board

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10613007B2 (en) 2015-03-13 2020-04-07 Corning Incorporated Edge strength testing methods and apparatuses
CN105334220A (zh) * 2015-11-12 2016-02-17 深圳市傲视检测技术有限公司 一种用于手机玻璃面板孔边缺陷检测的图像采集装置
WO2019160769A1 (en) * 2018-02-13 2019-08-22 Corning Incorporated Apparatus and method for inspecting a glass sheet
KR102284046B1 (ko) * 2020-03-23 2021-08-02 주식회사 나노프로텍 이미지 트래킹을 이용한 기판 불량 검사 시스템
CN112326693A (zh) * 2020-12-24 2021-02-05 中科慧远视觉技术(北京)有限公司 一种智能设备防护玻璃缺陷检测设备
CN112326693B (zh) * 2020-12-24 2021-04-02 中科慧远视觉技术(北京)有限公司 一种智能设备防护玻璃缺陷检测设备

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