KR102386336B1 - 기판 검사 장치 - Google Patents

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KR102386336B1 KR1020170143448A KR20170143448A KR102386336B1 KR 102386336 B1 KR102386336 B1 KR 102386336B1 KR 1020170143448 A KR1020170143448 A KR 1020170143448A KR 20170143448 A KR20170143448 A KR 20170143448A KR 102386336 B1 KR102386336 B1 KR 102386336B1
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Abstract

기판 검사 장치가 개시된다. 상기 기판 검사 장치는, 서로 평행하게 연장하며 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 한 쌍의 부상 패널들과, 상기 부상 패널들 사이에 배치되며 상기 부상 패널들 상에서 부상된 기판을 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 정렬 모듈과, 상기 부상 패널들의 상부에 배치되며 상기 정렬 모듈에 의해 정렬된 기판을 검사하기 위한 검사 모듈을 포함한다. 상기 정렬 모듈은, 상기 기판의 하부면을 진공 흡착하기 위한 진공척과, 상기 진공척을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부과, 상기 기판을 정렬하기 위하여 상기 진공척을 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부를 포함한다.

Description

기판 검사 장치{Substrate inspecting apparatus}
본 발명의 실시예들은 기판 검사 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 디스플레이 제조 공정에서 기판 상에 형성된 패턴들의 결함을 검사하기 위한 장치에 관한 것이다.
액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, OLED(Organic Light Emitting Diode) 디스플레이 장치 등과 같은 디스플레이 장치의 제조 공정에서 기판 상에 형성된 패턴들의 결함은 기판 검사 장치에 의해 검사될 수 있다.
상기 기판 검사 장치는 기판의 상부면 이미지를 획득하기 위한 이미지 획득 유닛을 포함할 수 있으며, 상기 기판은 상기 이미지 획득 유닛의 하부에서 수평 방향으로 이동될 수 있다. 일 예로서, 대한민국 등록특허공보 제10-1544285호에는 에어 분사를 통해 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈과, 상기 에어 부상 모듈 상의 기판을 검사하기 위한 검사 모듈과, 상기 에어 부상 모듈 상에서 부상된 기판을 정렬하기 위한 복수의 정렬 유닛들을 포함하는 기판 검사 장치가 개시되어 있다.
상기 기판 검사 장치는 상기 에어 부상 모듈 상으로 이송되는 기판을 지지하기 위한 복수의 서포트 롤러들을 구비할 수 있으며, 상기 에어 부상 모듈 상으로 이송된 기판은 에어 분사에 의해 상기 에어 부상 모듈 상에서 부상될 수 있다. 상기 정렬 유닛들은 상기 부상된 기판 주위에 배치될 수 있으며 상기 기판의 가장자리 부위들을 상기 기판의 중심을 향하여 밀어서 정렬할 수 있다.
그러나, 상기 디스플레이 제조 공정에서 상기 기판은 이송 롤러들에 의해 각 단위 공정들 사이에서 이송될 수 있으며 이에 따라 상기 이송 롤러들에 의한 상기 기판의 하부 손상이 발생될 수 있다. 아울러, 상기 에어 부상 모듈 상에서 상기 정렬 유닛들과 접촉되는 상기 기판의 가장자리 부위들이 손상되는 문제점이 발생될 수 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-1544285호 (등록일자 2015년 08월 06일)
본 발명의 실시예들은 기판의 손상을 감소시킬 수 있는 기판 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 기판 검사 장치는, 서로 평행하게 연장하며 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 한 쌍의 부상 패널들과, 상기 부상 패널들 사이에 배치되며 상기 부상 패널들 상에서 부상된 기판을 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 정렬 모듈과, 상기 부상 패널들의 상부에 배치되며 상기 정렬 모듈에 의해 정렬된 기판을 검사하기 위한 검사 모듈을 포함할 수 있다. 이때, 상기 정렬 모듈은, 상기 기판의 하부면을 진공 흡착하기 위한 진공척과, 상기 진공척을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부와, 상기 기판을 정렬하기 위하여 상기 진공척을 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 정렬 모듈은 상기 기판의 배치 각도를 조절하기 위하여 상기 진공척을 회전시키는 회전 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 수평 구동부 상에 상기 회전 구동부가 배치되며 상기 회전 구동부 상에 상기 수직 구동부가 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 수직 구동부는, 소정의 경사도를 갖는 상부면을 가지며 수평 방향으로 이동 가능하게 구성된 쐐기 부재와, 상기 쐐기 부재를 수평 방향으로 이동시키는 구동 유닛을 포함하고, 상기 진공척은 상기 쐐기 부재 상에 배치되며 상기 쐐기 부재의 수평 방향 이동에 의해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 이송 장치는, 상기 부상 패널들 상에서 상기 부상된 기판을 상기 부상 패널들의 연장 방향으로 이동시키기 위한 이송 모듈을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 모듈은, 상기 부상 패널들 사이에 배치되며 상기 부상 패널들의 연장 방향과 평행하게 연장하는 이송 패널과, 상기 이송 패널의 양측 단부들 상에 각각 배치되며 상기 기판의 하부면을 파지하기 위한 그리퍼들과, 상기 이송 패널을 상기 연장 방향으로 이동시키기 위한 이송 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 정렬 모듈은 상기 부상 패널들 사이의 중앙 부위에 배치되고 상기 수직 구동부를 지지하는 갠트리 부재를 더 포함하며, 상기 이송 패널은 상기 갠트리 부재 아래를 통해 연장하고, 상기 수평 구동부는 상기 갠트리 부재를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 그리퍼들은 진공압을 이용하여 상기 기판의 하부면을 진공 흡착하고, 상기 기판의 흡착 상태를 해제하기 위하여 상기 기판의 하부면으로 에어를 분사할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 검사 모듈은, 상기 부상 패널들의 상부에 배치되며 상기 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 카메라와, 상기 검사 카메라가 장착되며 상기 부상 패널들의 연장 방향에 대하여 수직하는 제2 방향으로 배치되는 갠트리 구조물을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 검사 카메라는 상기 갠트리 구조물 상에서 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 기판 검사 장치는, 서로 평행하게 연장하며 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 한 쌍의 부상 패널들과, 상기 부상 패널들 사이에 배치되며 상기 부상 패널들 상에서 부상된 기판을 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 정렬 모듈과, 상기 부상 패널들의 상부에 배치되며 상기 정렬 모듈에 의해 정렬된 기판을 검사하기 위한 검사 모듈을 포함할 수 있다.
특히, 상기 정렬 모듈은, 상기 기판의 하부면을 진공 흡착하기 위한 진공척과, 상기 진공척을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부와, 상기 기판을 정렬하기 위하여 상기 진공척을 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부를 포함할 수 있다. 아울러, 상기 정렬 모듈은 상기 기판의 배치 각도를 조절하기 위하여 상기 진공척을 회전시키는 회전 구동부를 포함할 수 있다. 따라서, 종래 기술에서의 이송 롤러들에 의한 기판 하부면 손상과 정렬 유닛들에 의한 기판 가장자리 부위 손상이 충분히 방지될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 정렬 모듈을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 수직 구동부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 5 및 도 6은 도 1에 도시된 부상 패널들 상으로 기판을 로드하는 방법과 상기 부상 패널들로부터 상기 기판을 언로드하는 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 정렬 모듈을 설명하기 위한 개략적인 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 수직 구동부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치(100)는 기판(10) 상의 결함을 검출하기 위하여 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 검사 장치(100)는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 디스플레이 기판 상에 형성된 패턴들의 결함을 검출하기 위해 사용될 수 있다.
상기 기판 검사 장치(100)는 상기 기판(10)의 하부면으로 에어를 분사하여 상기 기판(10)을 부상시키기 위한 부상 패널들(110)과, 상기 부상 패널들(110) 상에서 부상된 기판(10)을 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 정렬 모듈(120)과, 상기 부상 패널들(110)의 상부에 배치되며 상기 정렬 모듈(120)에 의해 정렬된 기판(10)을 검사하기 위한 검사 모듈(150)을 포함할 수 있다.
상기 부상 패널들(110)은 정반(102) 상에 배치될 수 있으며 상기 기판(10)의 이송 방향으로 서로 평행하게 연장할 수 있다. 특히, 도시되지는 않았으나, 상기 부상 패널들(110)의 일측에는 상기 기판(10)을 상기 부상 패널들(110) 상으로 로드하기 위한 기판 로더가 배치될 수 있으며, 상기 부상 패널들(110)의 타측에는 상기 부상 패널들(110)로부터 상기 기판(10)을 언로드하기 위한 기판 언로더가 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 부상 패널들(110)은 제1 수평 방향, 도시된 바에 의하면, X축 방향으로 서로 평행하게 연장하는 직사각 형태를 가질 수 있으며, 상기 기판(10)의 하부면으로 에어를 분사하기 위한 에어 분사구들을 구비할 수 있다.
상기 정렬 모듈(120)은 상기 부상 패널들(110) 사이에 배치될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 정렬 모듈(120)은 상기 부상 패널들(110) 사이의 중앙 부위에 배치될 수 있으며, 상기 기판(10)의 하부면을 진공 흡착하기 위한 진공척(122)과, 상기 진공척(122)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(124)와, 상기 기판(10)을 정렬하기 위하여 상기 진공척(122)을 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부(134)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 정렬 모듈(120)은 상기 기판(10)의 배치 각도를 조절하기 위하여 상기 진공척(122)을 회전시키는 회전 구동부(130)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 정렬 모듈(120)은 상기 기판(10)의 중심이 상기 부상 패널들(110) 사이의 중심과 일치하도록 상기 기판(10)의 위치를 조절할 수 있으며, 아울러 상기 기판(10)의 측면 부위들이 상기 부상 패널들(110)과 평행하게 위치되도록 상기 기판(10)의 배치 각도를 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수평 구동부(134) 상에 상기 회전 구동부(130)가 배치될 수 있으며, 상기 회전 구동부(130) 상에 상기 수직 구동부(124)가 배치될 수 있다. 특히, 상기 수직 구동부(124)는, 소정의 경사도를 갖는 상부면을 가지며 수평 방향으로 이동 가능하게 구성된 쐐기 부재(126)와, 상기 쐐기 부재(126)를 수평 방향으로 이동시키는 구동 유닛(128)을 포함할 수 있으며, 상기 진공척(122)은 상기 쐐기 부재(126) 상에 배치되며 상기 쐐기 부재(126)의 수평 방향 이동에 의해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 구동 유닛(128)은 모터와 볼 스크루 및 볼 너트 등을 이용하여 구성될 수 있으며, 아울러, 상기 쐐기 부재(126)와 상기 진공척(122)은, 일 예로서, 리니어 모션 가이드 기구를 이용하여 수평 및 수직 방향으로 각각 안내될 수 있다.
상기 회전 구동부(130)는, 일 예로서, 도시된 바와 같이 회전 가능하게 구성된 회전판(132)을 포함할 수 있으며, 상기 수직 구동부(124)는 상기 회전판(132) 상에 배치될 수 있다. 상기 회전 구동부(130)는 도시된 바와 같이 상기 회전판(132)의 가장자리 부위를 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 진공척(122)을 회전시킬 수 있으며, 이를 통해 상기 기판(10)의 각도를 조절할 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 기판 검사 장치(100)는 상기 부상 패널들(110) 상에서 상기 기판(10)을 상기 부상 패널들(110)의 연장 방향 즉 상기 X축 방향으로 이동시키기 위한 이송 모듈(140)을 포함할 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 4를 참조하면, 상기 이송 모듈(140)은, 상기 부상 패널들(110) 사이에 배치되며 상기 부상 패널들(110)의 연장 방향과 평행하게 연장하는 이송 패널(142)과, 상기 이송 패널(142)의 양측 단부들 상에 각각 배치되며 상기 기판(10)의 하부면을 파지하기 위한 그리퍼들(144A, 144B)과, 상기 이송 패널(142)을 상기 연장 방향으로 이동시키기 위한 이송 유닛(146)을 포함할 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 그리퍼들(144A, 144B)은 진공압을 이용하여 상기 기판(10)의 하부면을 진공 흡착할 수 있으며, 또한 상기 기판(10)의 흡착 상태를 해제하기 위하여 상기 기판(10)의 하부면으로 에어를 분사할 수 있다.
한편, 상기 정렬 모듈(120)은 상기 회전 구동부(130)와 상기 수직 구동부(124)를 지지하는 갠트리 부재(136)를 포함할 수 있다. 상기 갠트리 부재(136)는 상기 부상 패널들(110)의 연장 방향에 대하여 수직하는 제2 방향, 예를 들면, Y축 방향으로 연장할 수 있으며, 상기 이송 패널(142)은 상기 갠트리 부재(136)의 아래에서 X축 방향으로 연장할 수 있다. 이때, 상기 정렬 모듈(120)의 수평 구동부(124)는 상기 갠트리 부재(136)를 수평 방향, 즉 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동시킬 수 있으며, 상기 이송 유닛(146)은 상기 이송 패널(142)을 X축 방향으로 이동시킬 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 정렬 모듈(130)의 수평 구동부(134)와 상기 이송 모듈(140)의 이송 유닛(146)은 모터와 볼 스크루 및 볼 너트 등을 이용하여 구성될 수 있으며, 아울러 상기 갠트리 부재(136)와 상기 이송 패널(142)은 리니어 모션 가이드 기구를 이용하여 안내될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 검사 모듈(150)은 상기 부상 패널들(110)의 상부에 배치되어 상기 기판(10)의 결함을 검출하기 위한 검사 카메라(152)를 포함할 수 있다. 상기 검사 카메라(152)는 상기 부상 패널들(110)의 연장 방향에 대하여 수직하는 제2 방향 즉 Y축 방향으로 배치되는 갠트리 구조물(154)에 장착될 수 있다.
예를 들면, 상기 검사 모듈(150)은 Y축 방향으로 서로 평행하게 연장하는 갠트리 구조물들(154)과, 상기 갠트리 구조물들(154)에 장착된 라인 스캔 카메라들(152)을 포함할 수 있다. 또한, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 라인 스캔 카메라들(152)은 상기 갠트리 구조물들(154) 상에서 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 추가적으로, 상기 기판 검사 장치(100)는 상기 기판(10)의 정렬을 위해 상기 기판(10) 상에 형성된 정렬 마크들을 검출하기 위한 정렬 카메라들(160)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 정렬 카메라들(160)은 상기 갠트리 구조물들(154) 중 하나에 장착될 수 있다.
도 5 및 도 6은 도 1에 도시된 부상 패널들 상으로 기판을 로드하는 방법과 상기 부상 패널들로부터 상기 기판을 언로드하는 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 5를 참조하면, 상기 부상 패널들(110)의 일측에 배치된 로더로부터 상기 기판(10)의 전방 부위가 상기 부상 패널들(10) 상으로 이송된 후 상기 그리퍼들(144A, 144B) 중 후방 그리퍼(144B)가 상기 기판(10)의 하부면을 진공압을 이용하여 파지할 수 있다. 상기 후방 그리퍼(144B)에 의해 파지된 기판(10)은 상기 이송 유닛(146)에 의해 X축 방향으로 이동될 수 있으며, 상기 진공척(122)이 상기 수직 구동부(124)에 의해 상승하여 상기 기판(10)의 하부면을 진공 흡착할 수 있다. 이때, 상기 기판(10)은 상기 부상 패널들(110)에 의해 부상된 상태를 유지할 수 있다.
이어서, 상기 후방 그리퍼(144B)에 의한 상기 기판(10)의 흡착 상태가 에어 분사에 의해 해제될 수 있으며, 상기 그리퍼들(144A, 144B)은 초기 위치로 후퇴할 수 있다. 상기 기판(10)의 하부에서 상기 그리퍼들(144A, 144B)이 이동되는 동안 상기 그리퍼들(144A, 144B)은 상기 기판의 하부면을 향해 에어를 분사할 수 있으며, 이에 따라 상기 그리퍼들(144A, 144B)과 상기 기판(10)의 하부면 사이에 소정의 갭이 형성될 수 있다. 또한, 상기 그리퍼들(144A, 144B)이 후퇴하는 동안 상기 기판(10)은 상기 진공척(122)에 의해 파지된 상태이므로 상기 기판(10)의 위치가 그대로 유지될 수 있다.
계속해서, 상기 그리퍼들(144A, 144B)이 상기 기판(10)의 하부면을 파지할 수 있으며, 상기 진공척(122)은 상기 기판(10)의 흡착 상태를 해제하고 하강될 수 있다. 상기 이송 유닛(146)은 상기 그리퍼들(144A, 144B)에 의해 파지된 기판(10)의 중심 부위가 상기 진공척(122)의 상부에 위치되도록 상기 기판(10)을 이송할 수 있다. 상기와 같이 기판(10)의 중심 부위가 상기 진공척(122)의 상부에 위치된 후 상기 진공척(122)은 상기 기판(10)의 하부면 중심 부위를 진공 흡착할 수 있으며 상기 그리퍼들(144A, 144B)에 의한 흡착 상태는 해제될 수 있다.
상기와 같이 기판(10)의 로드 단계가 완료된 후 상기 정렬 모듈(120)에 의한 상기 기판(10)의 정렬 단계가 수행될 수 있으며, 상기 기판(10)의 정렬 단계가 완료된 후 상기 기판(10)의 검사 단계가 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 모듈(140)은 상기 기판(10)을 전진 및 후진시킬 수 있으며, 그 동안 상기 검사 모듈(150)은 상기 검사 카메라들(152)을 이용하여 상기 기판(10) 상의 결함을 검출할 수 있다.
상기 검사 단계가 완료된 후 상기 기판(10)은 도 6에 도시된 바와 같은 방법으로 상기 부상 패널들(110)로부터 언로드될 수 있다. 상기 기판(10)의 언로드 단계는 상기 기판(10)의 로드 단계와 유사하게 상기 정렬 모듈(120)의 진공척(122)과 상기 이송 모듈(140)의 그리퍼들(144)을 번갈아 동작시킴으로써 이루어질 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 기판 검사 장치(100)는, 서로 평행하게 연장하며 기판(10)의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판(10)을 부상시키는 한 쌍의 부상 패널들(110)과, 상기 부상 패널들(110) 사이에 배치되며 상기 부상 패널들(110) 상에서 부상된 기판(10)을 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 정렬 모듈(120)과, 상기 부상 패널들(110)의 상부에 배치되며 상기 정렬 모듈(120)에 의해 정렬된 기판(10)을 검사하기 위한 검사 모듈(150)을 포함할 수 있다.
특히, 상기 정렬 모듈(120)은, 상기 기판(10)의 하부면을 진공 흡착하기 위한 진공척(122)과, 상기 진공척(122)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(124)와, 상기 기판(10)을 정렬하기 위하여 상기 진공척(122)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부(134)를 포함할 수 있다. 아울러, 상기 정렬 모듈(120)은 상기 기판(10)의 배치 각도를 조절하기 위하여 상기 진공척(122)을 회전시키는 회전 구동부(130)를 포함할 수 있다. 따라서, 종래 기술에서의 이송 롤러들에 의한 기판 하부면 손상과 정렬 유닛들에 의한 기판 가장자리 부위 손상이 충분히 방지될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 100 : 기판 검사 장치
110 : 부상 패널 120 : 정렬 모듈
122 : 진공척 124 : 수직 구동부
130 : 회전 구동부 134 : 수평 구동부
136 : 갠트리 부재 140 : 이송 모듈
142 : 이송 패널 144 : 그리퍼
146 : 이송 유닛 150 : 검사 모듈
152 : 검사 카메라 154 : 갠트리 구조물
160 : 정렬 카메라

Claims (12)

  1. 서로 평행하게 연장하며 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 한 쌍의 부상 패널들;
    상기 부상 패널들 상에서 상기 부상된 기판을 상기 부상 패널들의 연장 방향으로 이동시키기 위한 이송 모듈;
    상기 부상 패널들 사이에 배치되며 상기 부상 패널들 상에서 부상된 기판을 기 설정된 위치에 정렬하기 위한 정렬 모듈; 및
    상기 부상 패널들의 상부에 배치되며 상기 정렬 모듈에 의해 정렬된 기판을 검사하기 위한 검사 모듈을 포함하되,
    상기 이송 모듈은, 상기 부상 패널들 사이에 배치되며 상기 부상 패널들의 연장 방향과 평행하게 연장하는 이송 패널과, 상기 이송 패널의 양측 단부들 상에 각각 배치되며 상기 기판의 하부면을 파지하기 위한 그리퍼들과, 상기 이송 패널을 상기 연장 방향으로 이동시키기 위한 이송 유닛을 포함하고,
    상기 정렬 모듈은, 상기 기판의 하부면을 진공 흡착하기 위한 진공척과, 상기 진공척을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부와, 상기 기판을 정렬하기 위하여 상기 진공척을 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 정렬 모듈은 상기 기판의 배치 각도를 조절하기 위하여 상기 진공척을 회전시키는 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 수평 구동부 상에 상기 회전 구동부가 배치되며 상기 회전 구동부 상에 상기 수직 구동부가 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 수직 구동부는, 소정의 경사도를 갖는 상부면을 가지며 수평 방향으로 이동 가능하게 구성된 쐐기 부재와, 상기 쐐기 부재를 수평 방향으로 이동시키는 구동 유닛을 포함하고,
    상기 진공척은 상기 쐐기 부재 상에 배치되며 상기 쐐기 부재의 수평 방향 이동에 의해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서, 상기 정렬 모듈은 상기 부상 패널들 사이의 중앙 부위에 배치되고 상기 수직 구동부를 지지하는 갠트리 부재를 더 포함하며,
    상기 이송 패널은 상기 갠트리 부재 아래를 통해 연장하고,
    상기 수평 구동부는 상기 갠트리 부재를 수평 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 그리퍼들은 진공압을 이용하여 상기 기판의 하부면을 진공 흡착하고, 상기 기판의 흡착 상태를 해제하기 위하여 상기 기판의 하부면으로 에어를 분사하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 정렬 모듈은 상기 부상 패널들 사이의 중앙 부위에 배치되고, 상기 이송 모듈은 상기 부상된 기판의 중심 부위가 상기 진공척의 상부에 위치되도록 상기 기판을 이동시키며, 이어서 상기 정렬 모듈에 의해 상기 기판의 정렬이 수행되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 검사 모듈은,
    상기 부상 패널들의 상부에 배치되며 상기 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 카메라; 및
    상기 검사 카메라가 장착되며 상기 부상 패널들의 연장 방향에 대하여 수직하는 제2 방향으로 배치되는 갠트리 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 검사 카메라는 상기 갠트리 구조물 상에서 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 갠트리 구조물에 장착되며 상기 기판 상에 형성된 정렬 마크들을 검출하기 위한 정렬 카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
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