KR101669992B1 - 기판의 양면 검사장치 - Google Patents

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KR101669992B1
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Abstract

본 발명은 기판의 전면을 검사하고 기판을 180°회전시켜 기판의 후면을 검사할 수 있는 기판의 양면 검사장치에 관한 것으로, 검사가 필요한 기판이 전면이 상부를 향하도록 복수 적재된 제1적재부와, 상기 제1적재부에 적재된 기판의 전면을 흡착하는 흡착수단 및 상기 흡착된 기판을 이송시키는 이송수단을 구비하는 전면이송부와, 상기 전면이송부를 통해 이송된 기판의 상부에서 상기 기판의 전면을 검사하는 전면검사부와, 상기 전면검사부에서 검사가 완료된 기판의 후면이 상부를 향하도록 상기 기판을 180°회전시키는 반전부와, 상기 반전부에서 회전된 기판의 후면을 흡착하는 흡착수단 및 상기 흡착된 기판을 이송시키는 이송수단을 구비하는 후면이송부와, 상기 후면이송부를 통해 이송된 기판의 상부에서 상기 기판의 후면을 검사하는 후면검사부와, 상기 후면검사부에서 검사가 완료된 기판을 흡착하는 흡착수단 및 상기 흡착된 기판을 이송시키는 이송수단을 구비하는 취출부와, 상기 취출부에 의해 취출된 기판이 적재되는 제2적재부를 포함한다.

Description

기판의 양면 검사장치 {apparatus for inspecting both sides of substrate}
본 발명은 기판의 양면 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 전면을 검사하고 기판을 180°회전시켜 기판의 후면을 검사할 수 있는 기판의 양면 검사장치에 관한 것이다.
근래 들어 전자 기기의 소형화, 경량화, 다기능화 추세에 따라, 인쇄회로기판 및 그 위에 탑재되는 전자부품의 집적도가 빠른 속도로 향상되고 있다. 즉 인쇄회로기판은 점차 다층화되고, 인쇄회로기판에 형성되는 패턴 역시 조밀화 되고 있다. 또한 전자부품들 역시 집적도는 높아지고 크기는 소형화되고 있기 때문에 인쇄회로기판을 제조할 때나, 부품들을 인쇄회로기판 위에 실장 할 때 세밀한 주의를 기울이지 않으면 불량이 발생할 가능성이 매우 커지고 있다. 따라서 인쇄회로기판 제조 및 부품을 실장하고 납땜을 하는 과정에서 각각의 단위 공정 중 발생하는 불량을 제때에 정확히 검출하는 작업이 점차 중요시되고 있다.
인쇄회로기판에 전자부품을 실장 하여 회로를 완성하는 단계를 살펴보면, 기판을 생산하는 단계와 인쇄회로기판 위에 납 페이스트(paste)를 도포하는 단계와, 회로 부품을 인쇄회로기판 상에 실장 하는 단계와, 각 회로 부품을 기판 상에 납땜하는 단계 및 최종적으로 납땜 상태 및 부품의 존재 여부, 위치 오류 여부를 검사하는 단계로 구분할 수 있다. 이들 각각의 단위 공정에서 발생하는 불량을 후속 공정을 진행하기 이전에 찾아내고 제거하는 것은 시간과 비용을 절감하기 위하여 그리고 불량 제품으로 인한 생산자의 이미지 실추를 막기 위하여, 공정 불량을 검사하는 방법의 개발이 지속적으로 이루어지고 있다.
종래의 인쇄회로기판의 검사장비의 경우, 기판검사공정의 효율적 운용과 물류의 적체를 줄이고자 검사장치를 일렬로 2대를 배치하고 기판의 양면을 검사하는 공정배치를 적용하는데 2대의 검사기 양측에는 각각 투입과 취출, 반전, 크리닝, 수납수단이 복잡하게 구성되어 있으므로 검사공정 설비의 보전과 운용에 간섭과 공간의 협소함으로 인한 효율저하와 더불어 배치공정의 복잡성에 따른 작업자의 이동 불편과 투자비의 상승을 초래하고 다 단계의 공정에 따른 기판의 물류처리에서 혼입과 투입 시간의 연장이 발생 되고 있다.
또한, 종래의 기판 투입과 1차 상면 검사 후 반전시키고, 2차 기판 투입과 2차 하면 검사 후 수취하는 수단을 설치한 기판 검사장비를 운용하는 경우 기판을 1차 검사완료 후 인출된 기판을 받아서 평면상으로 이동하여 일직선상으로 반전 유니트를 배치하거나 후면으로 돌려서 반전 유니트를 거치게 하고 다시 직각수평방향으로 이동하여 크리닝 공정을 거치고 다시 기판의 정렬을 실시하여 2대의 검사기 사이의 공간이 협소하게 되고 다수개의 기판이 존재 이동 하므로서 장치의 트러블시 기판의 혼입이 발생하고 비용상승을 초래한다.
또, 인쇄회로 기판을 복수개 보관하는 박스는 기판을 수 매 이상 장입 하는 일종의 보관함으로 다수 개의 보관함 박스를 적재하고 이동시키며 기판과 간지를 순차적으로 받아 넣고 빼내야 하는 경우가 있어, 2차 검사후의 기판을 인출 후 보관 적재하는 박스를 장치의 하부 쪽에 평면으로 배치를 하여 2개소이상을 차지하는 평면적이 필요하기 때문에, 장치가 차지하는 평면적과 장치의 복잡도가 증가하고 배치구조에 따라 박스 이송기능도 이중으로 추가되므로 비용의 증가와 더불어 비효율적인 작업이 이루어지는 것은 물론 과도한 이동거리의 증가와 박스 투입과 배출 수납시의 수작업이 이루어져야 하는 불편이 있었다.
한국등록특허공보 제10-0922775호
본 발명의 목적은 기판의 단면 검사 및 양면검사가 하나의 장치에서 이루어질 수 있고, 기판의 양면검사를 위한 검사라인을 최소한으로 구성하여 공간의 활용이 용이할 수 있으며, 기판 및 간지가 적재된 적재부 및 기판 및 간지를 이송하는 각 이송부가 상호간에 간섭이 없도록 검사라인을 구축하되, 작업자의 핸들링 공간이 확보될 수 있도록 하고, 기판의 공급과 배출 및 기판의 반전에 소요되는 시간을 최소화하여 검사시간 단축에 따른 생산성을 높일 수 있는 기판의 양면 검사장치를 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 검사가 필요한 기판이 전면이 상부를 향하도록 복수 적재된 제1적재부와, 상기 제1적재부에 적재된 기판의 전면을 흡착하는 흡착수단 및 상기 흡착된 기판을 이송시키는 이송수단을 구비하는 전면이송부와, 상기 전면이송부를 통해 이송된 기판의 상부에서 상기 기판의 전면을 검사하는 전면검사부와, 상기 전면검사부에서 검사가 완료된 기판의 후면이 상부를 향하도록 상기 기판을 180°회전시키는 반전부와, 상기 반전부에서 회전된 기판의 후면을 흡착하는 흡착수단 및 상기 흡착된 기판을 이송시키는 이송수단을 구비하는 후면이송부와, 상기 후면이송부를 통해 이송된 기판의 상부에서 상기 기판의 후면을 검사하는 후면검사부와, 상기 후면검사부에서 검사가 완료된 기판을 흡착하는 흡착수단 및 상기 흡착된 기판을 이송시키는 이송수단을 구비하는 취출부와, 상기 취출부에 의해 취출된 기판이 적재되는 제2적재부를 포함하는 기판의 양면 검사장치를 제공한다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 기판의 단면 검사 및 양면검사가 하나의 장치에서 이루어질 수 있고, 기판의 양면검사를 위한 검사라인을 최소한으로 구성하여 공간의 활용이 용이할 수 있으며, 기판 및 간지가 적재된 적재부 및 기판 및 간지를 이송하는 각 이송부가 상호간에 간섭이 없도록 검사라인을 구축하되, 작업자의 핸들링 공간이 확보될 수 있도록 하고, 기판의 공급과 배출 및 기판의 반전에 소요되는 시간을 최소화하여 검사시간 단축에 따른 생산성을 높일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 양면검사장치의 사시도,
도 2는 도 1에 있어서, 반전부를 발췌하여 보인 사시도,
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 양면검사장치의 평면도,
도 4는 기판이 전면이송부에 흡착된 상태를 보인 정면도,
도 5는 기판이 전면이송부에 의해 이송되는 상태를 보인 정면도,
도 6은 기판이 전면검사부에서 검사가 진행되는 상태를 보인 정면도,
도 7은 기판이 반전부에 흡착된 상태를 보인 정면도,
도 8은 기판이 반전부에 의해 180°회전한 상태를 보인 정면도,
도 9는 기판이 후면이송부에 의해 이송되는 상태를 보인 정면도,
도 10은 기판이 후면검사부에서 검사가 진행되는 상태를 보인 정면도,
도 11은 기판이 취출부를 통해 취출되는 상대를 보인 정면도이다.
본 발명에 따른 기판의 양면 검사장치는 기판의 전면을 검사하고 기판을 180°회전시켜 기판의 후면을 검사하기 위한 것으로, 그 일 실시예를 도 1 내지 도 3에 나타내 보였다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 양면검사장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에 있어서, 반전부를 발췌하여 보인 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 양면검사장치의 평면도이다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 기판의 양면 점사장치는 제1적재부(110)와, 전면이송부(210)와, 전면검사부(220)와, 반전부(300)와, 후면이송부(410)와, 후면검사부(420)와, 취출부(500)와, 제2적재부(120)를 포함한다.
먼저, 제1적재부(110)는 검사가 필요한 기판(10)이 복수 적재되며, 상기 기판(10)은 전면이 상부를 향하도록 적재된다.
도 4는 기판이 전면이송부에 흡착된 상태를 보인 정면도이다.
전면이송부(210)는 상기 제1적재부(110)에 적재된 기판(10)의 전면을 흡착하는 흡착수단(211)과, 상기 흡착수단(211)을 좌우로 직선이동시키는 이송수단(212) 및 상기 흡착수단(211)을 승강시키는 승강수단(213)으로 이루어져, 승강하면서 상기 제1적재부(110)의 최상단에 배치된 기판(10)을 흡착 고정하고, 전면검사부(220) 또는 후술되는 제1정렬부(710)의 상부로 이송한 뒤, 전면검사부(220)의 검사대(221) 또는 제1정렬부(710)의 테이블(711)에 기판(10)을 탑재하는 기능을 한다.
도 6은 기판이 전면검사부에서 검사가 진행되는 상태를 보인 정면도이다.
전면검사부(220)는 상기 전면이송부(210)를 통해 이송된 기판(10)의 상부에서 상기 기판(10)의 전면을 검사하는 것으로, 상기 검사대(221)에 탑재된 기판(10)의 표면으로 검사조명을 출력하는 광원과, 상기 기판(10)의 표면에서 반사된 검사이미지를 획득하는 이미지센서를 포함할 수 있다.
도 7은 기판이 반전부에 흡착된 상태를 보인 정면도이고, 도 8은 기판이 반전부에 의해 180°회전한 상태를 보인 정면도이다.
반전부(300)는 상기 전면검사부(220)에서 검사가 완료된 기판(10)의 후면이 상부를 향하고, 기판(10)의 전면이 하부를 향하도록 상기 기판(10)을 180°회전시키는 역할을 한다. 따라서, 상기 반전부(300)는 상기 기판(10)을 고정하는 고정수단 및 고정된 기판(10)을 180°회전시키는 구동수단을 포함할 수 있다.
후면이송부(410)는 상기 반전부(300)에서 회전된 기판(10)의 후면을 흡착하는 흡착수단(411)과, 상기 흡착수단(411)을 좌우로 직선이동시키는 이송수단(412) 및 상기 흡착수단(411)을 승강시키는 승강수단(413)으로 이루어져, 승강하면서 상기 반전부(300)의 기판(10)의 후면을 흡착 고정하고, 후면검사부(420) 또는 후술되는 제2정렬부(730)의 상부로 이송한 뒤, 후면검사부(420)의 검사대(421) 또는 제2정렬부(730)의 테이블(731)에 기판(10)을 탑재하는 기능을 한다.
도 10은 기판이 후면검사부에서 검사가 진행되는 상태를 보인 정면도이다.
후면검사부(420)는 상기 후면이송부(410)를 통해 이송된 기판(10)의 상부에서 상기 기판(10)의 후면을 검사하는 것으로, 상기 검사대(421)에 탑재된 기판(10)의 표면으로 검사조명을 출력하는 광원과, 상기 기판(10)의 표면에서 반사된 검사이미지를 획득하는 이미지센서를 포함할 수 있다.
도 11은 기판이 취출부를 통해 취출되는 상대를 보인 정면도이다.
취출부(500)는 상기 후면검사부(420)에서 검사가 완료된 기판(10)을 흡착하는 후면을 흡착하는 흡착수단(510)과, 상기 흡착수단(510)을 좌우로 직선이동시키는 이송수단(520) 및 상기 흡착수단(510)을 승강시키는 승강수단(530)으로 이루어져, 승강하면서 상기 후면검사부(420)의 검사대(421)에 탑재된 검사가 완료된 기판(10)의 후면을 흡착 고정하고, 후술되는 제2적재부(120)의 상부로 이송한 뒤, 제2적재부(120)에 기판(10)을 적재한다.
제2적재부(120)는 상기 취출부(500)에 의해 취출된 검사가 완료된 기판(10)이 복수 적재되며, 상기 기판(10)은 후면이 상부를 향하도록 적재된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1적재부(110)에는 기판(10)과 간지(20)가 번갈아가며 적재되어, 상기 전면이송부(210)를 통해 상부의 기판(10)이 이송되면, 상부로 노출된 간지(20)는 제1간지이송부(610)를 통해서 제1간지적재부(620)로 이송된다. 상기 제1간지이송부(610)는 간지(20)를 흡착하는 흡착수단과 상기 흡착수단과 흡착수단에 고정된 간지(20)를 좌우방향으로 직선이동시키는 이송수단 및 흡착수단과 흡착수단에 고정된 간지(20)을 승강시키는 승강수단으로 이루어진다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 간지(20)가 적재된 제2간지적재부(640)와, 상기 제2간지적재부(640)의 간지(20)를 제2적재부(120)로 이송하는 제2간지이송부(630)를 더 포함할 수 있다. 상기 제2간지이송부(630)는 간지(20)를 흡착하는 흡착수단과 상기 흡착수단과 흡착수단에 고정된 간지(20)를 좌우방향으로 직선이동시키는 이송수단 및 흡착수단과 흡착수단에 고정된 간지(20)을 승강시키는 승강수단으로 이루어진다.
상기와 같은 제2간지이송부(630) 및 제2간지적재부(640)의 구성으로, 상기 제2적재부(120)에는 기판(10)과 간지(20)가 번갈아가며 적재될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1적재부(110)와 상기 전면검사부(220) 사이에는 제1정렬부(710)가 배치된다. 상기 제1정렬부(710)는 상기 전면이송부(210)에 의해 이송된 기판(10)을 탑재하는 테이블(711)과, 상기 테이블(711)에 탑재된 기판(10)의 측면을 푸싱하는 등의 방식으로 정렬시키는 정렬수단(712)으로 이루어진다.
상기 제1정렬부(710)에 의해 정렬이 이루어진 기판(10)은 제1이송부(720)에 의해 전면검사부(220)로 이송되고, 검사대(221)에 탑재될 수 있다. 상기 제1이송부(720)는 제1정렬부(710)의 기판(10)을 흡착하여 고정하는 흡착수단(721)과, 상기 흡착수단(721)과 흡착수단(721)에 흡착된 기판(10)을 상기 전면검사부(220)로 이송시키는 이송수단(722) 및 상기 흡착수단(721)과 흡착수단(721)에 흡착된 기판(10)을 승강시키는 승강수단(723)을 포함한다.
또한, 상기 반전부(300)와 상기 후면검사부(420) 사이에는 제2정렬부(730)가 배치된다. 상기 제2정렬부(730)는 상기 후면이송부(410)에 의해 이송된 기판(10)을 탑재하는 테이블(731)과, 상기 테이블(731)에 탑재된 기판(10)의 측면을 푸싱하는 등의 방식으로 정렬시키는 정렬수단(732)으로 이루어진다.
상기 제2정렬부(730)에 의해 정렬이 이루어진 기판(10)은 제2이송부(740)에 의해 후면검사부(420)로 이송되고, 검사대(421)에 탑재될 수 있다. 상기 제2이송부(740)는 제2정렬부(730)의 기판(10)을 흡착하여 고정하는 흡착수단(741)과, 상기 흡착수단(741)과 흡착수단(741)에 흡착된 기판(10)을 상기 후면검사부(420)로 이송시키는 이송수단(742) 및 상기 흡착수단(741)과 흡착수단(741)에 흡착된 기판(10)을 승강시키는 승강수단(743)을 포함한다.
도 5는 기판이 전면이송부에 의해 이송되는 상태를 보인 정면도이고, 도 9는 기판이 후면이송부에 의해 이송되는 상태를 보인 정면도이다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제1적재부(110)와 상기 전면검사부(220) 사이에 배치되어, 상기 전면이송부(210)에 흡착된 상태로 이송하는 기판(10)의 후면과 회전접촉하면서 상기 기판(10)의 후면에 부착된 이물질을 제거하는 제1클리닝부(810) 및 상기 반전부(300)와 상기 후면검사부(420) 사이에 배치되어, 상기 후면이송부(420)에 흡착된 상태로 이송하는 기판(10)의 전면과 회전접촉하면서 상기 기판(10)의 전면에 부착된 이물질을 제거하는 제2클리닝부(820)를 포함한다.
상기 클리닝부(810,820)는 점착롤러 또는 접착롤러로 구비될 수 있으며, 복수의 롤러가 회전접촉하는 형태를 취할 수 있다.
변형예로, 상기 제1적재부(110)와 상기 전면검사부(220) 사이와 상기 반전부(300)와 상기 후면검사부(420) 사이에 각각 제1정렬부(710)와 제2정렬부(730)가 배치된 경우, 상기 제1클리닝부(810)는 제1적재부(110)와 제1정렬부(710) 사이에 배치되고, 제2클리닝부(820)는 반전부(300)와 제2정렬부(730) 사이에 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 반전부(300)는, 상기 기판(20)의 이송방향과 나란하게 배치된 지지바(310)와, 상기 지지바(310)의 일측에 형성되어 상기 전면검사부(220)에서 검사가 완료된 기판(10)의 전면을 흡착하는 흡착수단(320)과, 상기 지지바(310)의 타측에 형성되고, 상기 지지바(310)를 양방향으로 180°회전시키는 회전수단(330)을 포함한다.
즉, 도 7 내지 도 8에 도시한 바와 같이 상기 지지바(310)는 양방향 모터 등의 회전수단(330)과 연결되어 양측으로 180°회전하면서 전면검사부(220)에서 검사가 완료된 기판(10)을 흡착하여 180°회전시키면서 타측에 위치한 테이블(360) 상부에 기판(10)을 위치시킨다. 이와 같은 동작으로 전면검사부(220)에서 전면이 상부를 향하던 기판(10)은 후면이 상부를 향하도록 반전된 상태로 테이블(360)에 위치될 수 있다.
변형예로, 상기 지지바(310)는 신축수단을 내장하여 그 길이가 가변될 수 있다. 상기와 같이 지지바(310)의 길이가 가변될 경우, 기판(10)을 흡착하거나 기판(10)을 분리할 때는 지지바(310)의 길이를 최대한으로 늘이고, 기판(10)을 180°회전시킬 경우에는 회전반경이 작아지도록 지지바(310)의 길이를 줄일 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 반전부(300)는, 상기 지지바(310) 및 상기 회전수단(330)을 탑재하는 슬라이더(340)와, 상기 기판(10)의 이송방향과 나란하게 배치되어 상기 슬라이더(340)가 양측으로 직선이동하도록 안내하는 레일(350)을 포함한다.
즉, 도 7 내지 도 8에 도시한 바와 같이 슬라이더(340) 및 레일(350)이 추가적으로 구비될 경우, 전면검사부(220)의 기판(10)을 흡착할 때는 슬라이더(340)가 전면검사부(220)와 근접한 방향으로 이동하고, 흡착된 기판(10)을 180°회전시켜 테이블(360)상에 이송할 때는 슬라이더(340)가 전면검사부(220)의 반대 방향으로 이동하여 지지바(310)의 회전반경을 키우지 않고서도 상기 슬라이더(340)가 양측을 오가며 전면검사부(220)의 기판(10)을 180°회전시키면서 일측에서 타측으로 이송할 수 있다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 기판의 단면 검사 및 양면검사가 하나의 장치에서 이루어질 수 있고, 기판의 양면검사를 위한 검사라인을 최소한으로 구성하여 공간의 활용이 용이할 수 있으며, 기판 및 간지가 적재된 적재부 및 기판 및 간지를 이송하는 각 이송부가 상호간에 간섭이 없도록 검사라인을 구축하되, 작업자의 핸들링 공간이 확보될 수 있도록 하고, 기판의 공급과 배출 및 기판의 반전에 소요되는 시간을 최소화하여 검사시간 단축에 따른 생산성을 높일 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
10 : 기판 20 : 간지
110 : 제1적재부 120 : 제2적재부
210 : 전면이송부 220 : 전면검사부
300 : 반전부 310 : 지지바
320 : 흡착수단 330 : 회전수단
340 : 슬라이더 350 : 레일
410 : 후면이송부 420 : 후면검사부
500 : 취출부 610 : 제1간지이송부
620 : 제1간지적재부 630 : 제2간지이송부
640 : 제2간지적재부 710 : 제1정렬부
720 : 제1이송부 730 : 제2정렬부
740 : 제2이송부 810 : 제1클리닝부
820 : 제2클리닝부

Claims (7)

  1. 검사가 필요한 기판이 전면이 상부를 향하도록 복수 적재된 제1적재부;
    상기 제1적재부에 적재된 기판의 전면을 흡착하는 흡착수단 및 상기 흡착된 기판을 이송시키는 이송수단을 구비하는 전면이송부;
    상기 전면이송부를 통해 이송된 기판의 상부에서 상기 기판의 전면을 검사하는 전면검사부;
    상기 전면검사부에서 검사가 완료된 기판의 후면이 상부를 향하도록 상기 기판을 180°회전시키는 반전부;
    상기 반전부에서 회전된 기판의 후면을 흡착하는 흡착수단 및 상기 흡착된 기판을 이송시키는 이송수단을 구비하는 후면이송부;
    상기 후면이송부를 통해 이송된 기판의 상부에서 상기 기판의 후면을 검사하는 후면검사부;
    상기 후면검사부에서 검사가 완료된 기판을 흡착하는 흡착수단 및 상기 흡착된 기판을 이송시키는 이송수단을 구비하는 취출부;
    상기 취출부에 의해 취출된 기판이 적재되는 제2적재부;
    상기 제1적재부에는 기판과 간지가 번갈아가며 적재되어, 상기 전면이송부를 통해 상부의 기판이 이송되면, 상부로 노출된 간지를 흡착하는 흡착수단과 상기 흡착된 간지를 이송하는 이송수단을 구비하는 제1간지이송부 및 상기 제1간지이송부에 의해 이송된 간지를 적재하는 제1간지적재부; 및
    간지가 적재된 제2간지적재부;
    상기 제2간지적재부의 간지를 흡착하는 흡착수단 및 상기 흡착된 간지를 상기 제2적재부로 이송하는 이송수단을 구비하는 제2간지이송부;를 더 포함하여, 상기 제2적재부에는 기판과 간지가 번갈아가며 적재되는 것을 특징으로 하는 기판의 양면 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1적재부와 상기 전면검사부 사이에 배치되어 상기 전면이송부에 의해 이송된 기판을 탑재하는 테이블과, 상기 테이블에 탑재된 기판을 정렬시키는 정렬수단을 구비하는 제1정렬부;
    상기 제1정렬부에 의해 정렬이 이루어진 기판을 흡착하는 흡착수단과, 상기 흡착수단에 흡착된 기판을 상기 전면검사부로 이송시키는 이송수단을 구비하는 제1이송부;
    상기 반전부와 상기 후면검사부 사이에 배치되어 상기 후면이송부에 의해 이송된 기판을 탑재하는 테이블과, 상기 테이블에 탑재된 기판을 정렬시키는 정렬수단을 구비하는 제2정렬부;
    상기 제2정렬부에 의해 정렬이 이루어진 기판을 흡착하는 흡착수단과, 상기 흡착수단에 흡착된 기판을 상기 후면검사부로 이송시키는 이송수단을 구비하는 제2이송부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 양면 검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1적재부와 상기 전면검사부 사이에 배치되어, 상기 전면이송부에 흡착된 상태로 이송하는 기판의 후면과 회전접촉하면서 상기 기판의 후면에 부착된 이물질을 제거하는 제1클리닝부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 양면 검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 반전부와 상기 후면검사부 사이에 배치되어, 상기 후면이송부에 흡착된 상태로 이송하는 기판의 전면과 회전접촉하면서 상기 기판의 전면에 부착된 이물질을 제거하는 제2클리닝부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 양면 검사장치.
  5. 삭제
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 반전부는:
    상기 기판의 이송방향과 나란하게 배치된 지지바;
    상기 지지바의 일측에 형성되어 상기 전면검사부에서 검사가 완료된 기판의 전면을 흡착하는 흡착수단;
    상기 지지바의 타측에 형성되고, 상기 지지바를 양방향으로 180°회전시키는 회전수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 양면 검사장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 반전부는:
    상기 지지바 및 상기 회전수단을 탑재하는 슬라이더;
    상기 기판의 이송방향과 나란하게 배치되어 상기 슬라이더가 양측으로 직선이동하도록 안내하는 레일;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 양면 검사장치.



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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3758900A1 (de) * 2018-03-01 2021-01-06 Güdel Group AG c/o Güdel AG Tooling zum ergreifen von flächigen werkstücken
JP7280068B2 (ja) * 2019-03-12 2023-05-23 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 検査装置および検査方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100445457B1 (ko) * 2002-02-25 2004-08-21 삼성전자주식회사 웨이퍼 후면 검사 장치 및 검사 방법

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100596334B1 (ko) * 2004-11-01 2006-07-06 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 외관 검사 장치
KR100917025B1 (ko) * 2007-09-20 2009-09-10 세크론 주식회사 소잉/소팅 시스템 및 이를 이용한 반도체 패키지의 소팅방법
KR100922775B1 (ko) 2007-10-30 2009-10-21 현빈테크 주식회사 웨이퍼 검사용 듀얼 검사장치
KR101036907B1 (ko) * 2009-10-09 2011-05-25 장대환 통합형 로봇 핸드와 그 사용방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100445457B1 (ko) * 2002-02-25 2004-08-21 삼성전자주식회사 웨이퍼 후면 검사 장치 및 검사 방법

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