KR101387066B1 - 패널의 인쇄 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 패널의 인쇄 장치에 있어서, 먼지 등에 기인하는 인쇄 결함을 저감하고 또한 고정밀도로 고속으로 인쇄하는 것이다.
이를 위하여 본 발명의 패널의 인쇄 장치(100)는, 기판(17) 면 상에 스크린 인쇄에 의해 소정의 패턴을 형성한다. 기판은, 인쇄면을 하방향으로 하여 스토커(10)부의 스테이지 컨베이어에 의해 반입된다. 스토커의 단부에, 기판의 인쇄면을 상방향으로 반전 가능한 기판 반전 기구(11)가 설치되어 있다. 반전된 기판은, 인쇄부(13)에서 인쇄된다. 반전 기구와 인쇄부의 사이에는 회전 테이블(14)이 개재되어 있다. 회전 테이블은, 기판을 인쇄부에 위치 결정한다. 또, 회전 테이블은 상하동 가능하게 설치되어 있다.

Description

패널의 인쇄 장치{PRINTING DEVICE FOR PANNEL}
본 발명은 패널에 인쇄하고 건조하는 패널의 인쇄 장치에 관한 것으로, 특히, 고속으로 패널에 인쇄하는 패널의 인쇄 장치에 관한 것이다.
종래의 인쇄 장치는, 특허 문헌 1에 나타내는 바와 같이, 인쇄물을 능률적으로 생산하기 위하여, 간헐적으로 회전하는 선회 테이블을 구비하고, 이 선회 테이블의 외주(外周)에 오목판이 재치(載置)되는 판 테이블을 고정하고 있다. 또, 판 테이블 상에 스퀴지와 독터를 설치하고 있다. 그리고, 스퀴지가 판 테이블 상에 공급한 잉크로, 독터가 판 테이블 상의 오목판을 메운다. 또한, 소정 위치에서 정지하고 있는 판 테이블과 피인쇄물이 재치되어 있는 판 테이블 사이를 고무동(blanket cylinder)을 회전시키면서 이동시키고, 먼저 고무동에 잉크를 전사하고, 이어서 피인쇄물이 재치되어 있는 인쇄 테이블 위를 고무동이 회전 이동하여, 피인쇄물에 패턴을 인쇄하고 있다.
종래의 인쇄 장치의 다른 예가, 특허 문헌 2에 개시되어 있다. 이 공보에 기재된 인쇄 장치는, 워크 재치부와 회전 테이블부, 워크 위치 조정부, 스크린 인쇄부, 워크 배출부, 제어부, 검출부 등을 구비하고 있다. 그리고, 워크 재치부와 워크 위치 조정부, 스크린 인쇄부, 워크 배출부는, 회전 테이블의 주위에 배치되어 있다. 회전 테이블의 소정 위치에 반송 로봇을 사용하여 워크를 이동시키고, 회전 테이블을 소정량씩 회전시켜서, 워크의 위치 조정 공정, 워크로의 인쇄 공정, 워크의 배출의 공정을 순차 실행한다. 그때, 배출 공정과, 회전 테이블로의 재치 공정, 위치 조정 공정, 인쇄 공정을, 테이블로의 반입 공정을 동시 병행적으로 행하고 있다.
일본 특허 공개 평8-108515호 공보 일본 특허 공개 제2011-56761호 공보
상기 특허 문헌 1에 기재된 인쇄기에서는, 회전하는 판 테이블의 오목부의 부분에 잉크를 공급한 후 독터로 여분의 잉크를 긁어모아 취하고 있다. 그리고, 이 상태의 판 테이블로부터 고무동에 전사하고, 전사된 패턴을 피인쇄물에 다시 전사하고 있다. 이 방법은 2단으로 전사하는 방법이고, 피인쇄물에는 회전하는 고무동으로부터 인쇄되기 때문에, 2단 전사에 있어서의 오차의 누적 및 고무동의 탄성 변형되기 쉬움 등의 점에서 고정밀한 인쇄에는 적합하지 않다. 또, 2단 전사이기 때문에 인쇄를 위한 전공정이 길어져서, 인쇄에 필요한 총 시간이 길어지고 장치도 대형화할 우려가 있다.
또, 상기 특허 문헌 2에 기재된 인쇄기에서는, 회전 테이블 주위에 워크 재치부와 워크 위치 조정부, 스크린 인쇄부, 워크 배출부를 구비하고, 회전 테이블로의 재치 공정, 위치 조정 공정, 인쇄 공정, 배출 공정과, 회전 테이블로의 반입 공정을 동시 병행적으로 행하고 있기 때문에, 상기 문제는 해소된다. 그러나, 이 인쇄기에서는 워크를 회전 테이블로 유도할 때까지, 워크에 먼지 등이 부착되는 것을 방지하는 것에 대해서는, 고려되어 있지 않다.
본 발명은, 상기 종래 기술의 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 패널의 인쇄 장치에 있어서, 먼지 등에 기인하는 인쇄 결함을 저감하고, 또한 고정밀도로 고속으로 인쇄하는 것을 가능하게 하는 것에 있다. 본 발명의 다른 목적은, 패널의 인쇄 장치에 있어서, 먼지 등에 기인하는 인쇄 결함을 저감함과 함께, 설치 면적을 저감하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 기판면 상에 스크린 인쇄에 의해 소정의 패턴을 형성하는 패널의 인쇄 장치에 있어서, 인쇄면을 하방향으로 하여 반입되는 기판을 반입하고 스테이지 컨베이어를 가지는 스토커와, 상기 스토커의 단부(端部)에 설치되고 상기 기판의 인쇄면을 상방향으로 반전 가능한 기판 반전 기구와, 반전된 상기 기판에 인쇄하는 인쇄부와, 상기 반전 기구와 상기 인쇄부의 사이에 개재하고, 상기 기판을 상기 인쇄부에 위치 결정하는 회전 테이블을 구비하며, 상기 회전 테이블은 상하동(上下動) 가능하게 설치한 것이다.
그리고 이 특징에 있어서, 반전된 상기 기판을 상기 회전 테이블에 반송함과 함께 상기 기판의 위치 및 변형 중 적어도 어느 하나를 검사하는 제1 검사부를 가지는 제1 스테이지 컨베이어와, 상기 인쇄부에서 상기 기판면 상에 인쇄한 패턴을 검사하는 제2 검사부와, 상기 인쇄부에서 인쇄된 상기 기판을 다음 공정에 반송하는 제2 스테이지 컨베이어를 구비하고, 상기 회전 테이블은, 수직 방향으로 배치되는 회전축과, 이 회전축에 아암 부재를 개재하여 접속된 4개의 테이프과, 이 테이블에 재치되는 스테이지를 가지고, 상기 4개의 테이블은 상하동 가능하고 원주 방향으로 대략 동일한 피치로 배치되어 있는 것이 바람직하다.
또, 상기 특징에 있어서, 상기 기판 반전 기구는, 수직으로 배치되고 외주부에 복수의 슬릿이 형성된 2장의 원반과, 이 2장의 원반의 중심부를 관통하여 수평으로 배치되는 회전축과, 이 회전축을 구동하는 구동원을 가지고, 상기 슬릿에 상기 기판을 협지(挾持)하고 상기 원반을 회전운동시켜서 상기 기판을 반전시키는 것인 것이 바람직하다. 또한, 상기 제1 검사부는 상기 기판에 부착된 위치 맞춤 마크를 검출하고 기억하는 수단을 가지고, 상기 인쇄부는 상기 기판에 인쇄하는 패턴이 형성되고 위치 맞춤 마크가 부착된 마스크와, 이 마스크를 수평 이동시키는 이동 수단을 가지고, 이 이동 수단은 상기 기억 수단이 기억한 상기 기판 상의 위치 맞춤 마크와 상기 마스크의 위치 맞춤 마크가 합치하도록 상기 마스크를 수평 이동시키고, 상기 인쇄 장치는, 상기 회전 테이블의 상기 테이블을 상승시키고 상기 마스크에 상기 기판을 접촉시켜서 인쇄하는 것인 것이 좋다.
또, 상기 회전 테이블의 상기 회전축을 사이에 둔 상기 인쇄부의 반대 측에 청소 스테이션을 설치하고, 이 청소 스테이션은 상기 기판의 갈라짐 및 깨짐 등으로 생긴 파손편을 고압 에어와 진공 흡인 중 적어도 어느 것에 의해 청소하는 청소 수단을 가지도록 해도 된다.
본 발명에 의하면, 회전 스테이지의 주위에 기판의 반입부, 인쇄부, 반출부, 회전 스테이지의 청소부를 구비하고, 반입부에서는 기판을 반전시키고 있기 때문에, 패널의 인쇄 장치가 먼지 등에 기인하는 인쇄 결함을 저감하고, 또한 고정밀도로 고속으로 인쇄할 수 있다. 또, 기판 반송계를 대략 직선 형상으로 배치하고, 인쇄부 및 청소부를 반송 방향으로 직각의 방향으로 배치하였기 때문에, 반송 시간의 단축과 각 장치의 소형화가 가능하게 된다.
도 1은 본 발명과 관련되는 인쇄 장치의 일 실시예의 평면도이다.
도 2는 본 발명과 관련되는 인쇄 장치의 동작 플로우 차트이다.
도 3은 도 1에 나타낸 인쇄 장치가 구비하는 기판 반전부의 모식도이며 정면도이다.
도 4는 도 1에 나타낸 인쇄 장치가 구비하는 검사부의 모식도이며 사시도이다.
도 5는 도 1에 나타낸 인쇄 장치가 구비하는 인쇄부의 정면도이다.
도 6은 도 1에 나타낸 인쇄 장치가 구비하는 회전 테이블의 평면도이다.
이하, 본 발명과 관련된 패널의 인쇄 장치의 일 실시예를, 도면을 이용하여 설명한다. 도 1은, 인쇄 장치(100)의 일 실시예의 평면도이다. 수평 방향으로 일직선 형상으로 배치된 반입 측의 스토커(10)와 반출 측의 스테이지 컨베이어(16) 사이에, 90도 피치로 배치하여 설치된 4개의 테이블(14A∼14D)을 가지는 회전 테이블(14)이 배치되어 있다.
반입 측의 스토커(10)의 반입 방향의 하류 측에는, 상세한 것을 후술하는 기판 반전 기구(11) 및 제1 검사부(12)가 설치되어 있다. 회전 테이블(14)과 반출 측의 스테이지 컨베이어(16)의 사이에는, 제2 검사부(15)가 설치되어 있다. 스토커(10)와 스테이지 컨베이어(16)의 배열 방향과 직각 방향(X 방향)으로서 회전 테이블(14)의 중심을 지나는 방향(Y 방향)으로, 인쇄부(13)가 배치되어 있다. 이 인쇄부(13)와 대향하는 방향으로는 청소 스테이션(40)이 배치되어 있다. 즉, 4개의 테이블(14A∼14D)을 직교하는 2개 또는 4개의 아암(37)으로 연결하고, 직교부에 설치한 상하 방향으로 연장되는 회전축(38)을 회전시켜서, 4개의 테이블(14A∼14D)의 위치를 변경 가능하게 되어 있다.
이하에, 도 2에 나타낸 플로우 차트를 더불어 이용하여, 인쇄 장치(100)의 동작을 설명한다. 먼저, 인쇄하는 기판(17)이 스토커(10)부에 도 1의 화살표 X1 방향으로 반입된다(단계 S1). 기판(17)을 얹어 반송하는 반송용 트레이를 구비한 스테이지 컨베이어로 형성된 스토커(10)는, 로봇 핸드(44)를 사용하여, 스테이지 컨베이어의 스테이지(21) 상에 인쇄면을 하방향으로 하여 기판(17)을 얹는다. 기판(17)을 하방향으로 반입하고, 이동시키기 때문에, 인쇄면에 먼지 등이 부착되는 것을 방지하고 있다. 또, 스토커(10)에, 스테이지 컨베이어를 사용하고 있기 때문에, 반송처에서의 기판(17)의 위치 맞춤을 단시간에 행할 수 있다.
이어서, 스토커(10)의 하류단에 설치한 기판 반전 기구(11)까지 기판(17)을 반송하고, 이 기판 반전 기구(11)에서 인쇄하는 기판(17)을 반전시켜서 스테이지(27)에 재치한다(단계 S2). 반전된 기판(17)은 스테이지(27)마다, 제1 검사부(12)로 반송된다. 제1 검사부(12)에서는, 상세한 것을 후술하는 카메라(26)를 사용하여 기판(17)이 촬상된다.
촬상된 기판(17)의 화상은 도시 생략한 제어부로 보내지고, 제어부에서 화상 처리된다. 화상 처리된 기판(17)의 화상으로부터, 기판(17)의 크기나 기판(17)의 구부러짐 등의 배치 상태 및 변형 등의 성상(性狀) 상태, 위치 맞춤 마크의 위치 등을 검사 및 검출한다. 그리고, 미리 정한 기준을 만족하는 기판(17)인지의 여부를 판정한다(단계 S3). 기준을 만족하는 기판이면 위치 맞춤 마크의 위치를 기억한다. 기준을 충족시키지 않는 불합격의 기판(17)은 라인의 바깥으로 배출된다(S7).
기준을 만족하여 제1 검사부(12)를 통과한 기판(17)은, 로봇 핸드(44) 등을 사용하여, 회전 테이블(14)의 4개의 테이블(14A∼14D) 중 어느 것(도 1에서는 테이블 14A)에 재치된다. 그 후, 회전 테이블(14)을 90도만큼 Rz 방향으로 회전시키고, 기판(17) 상에 패턴을 인쇄하는 인쇄부(13)로 보내진다. 인쇄부(13)에는 스크린 인쇄기(39)가 설치되어 있다. 인쇄부(13)에서 기판(17)의 소정 위치에 소정 패턴을 인쇄한다(단계 4).
소정 패턴이 인쇄된 기판(17)은, 회전 테이블(14)을 추가로 90도만큼 Rz 방향으로 회전시킴으로써, 테이블(14A)에 재치된 스테이지(27)와 함께 제2 검사부(15)에 위치 결정되는, 제2 검사부(15)에서는, 기판(17)의 표면에 인쇄된 패턴이 미리 정한 패턴에 합치하고 있는지의 여부를 검사한다(단계 S5). 제2 검사부(15)에서 불량이라고 판정된 기판(17)은, 라인의 바깥으로 배출된다(단계 S7).
정상인 패턴이 형성되어 제2 검사부(15)를 통과한 기판(17)은, 제2 스테이지 컨베이어(16) 상의 스테이지(21)에 이송되고, 다음 공정을 위해, 도 1의 화살표 X3 방향으로 반송된다(단계 S6). 한편, 기판(17)이 제2 스테이지 컨베이어(16)에 이송되어 빈 테이블(14A)에는 스테이지(27)가 남는다. 회전 테이블(14)을 Rz 방향으로 추가로 90도만큼 회전시켜서, 스테이지(27)를 청소 스테이션(40)에 위치 결정한다. 청소 스테이션(40)에서는, 스테이지(27)에 잔존하는 기판(17)의 갈라짐이나 깨짐 등의 파손편이나, 인쇄에 수반하는 스테이지의 더러움을 청소한다(단계 S8).
다음으로, 회전 테이블(14) 주위에 배치되는 기판 반전 기구(11)의 일 실시예의 상세를, 도 3을 이용하여 설명한다. 도 3(a)는, 기판 반전 기구(11)의 주요부의 측면도이고, 도 3(b)는 그 사시도이다. 기판 반전 기구(11)는, 기판(17)을 협지하기 위하여 형성된 복수의 슬릿(19)을 가지고, 격리하여 배치되고 수직으로 세워서 배치된 2장의 회전 원반(18)과, 2장의 회전 원반(18)의 중심을 관통하여 수평으로 배치된 회전축(20)과, 회전축(20)의 일방 단측에 접속된 모터(18b)를 구비한다.
회전 원반(18)에 형성한 복수의 슬릿(19)의 원주 방향 위치는, 기판(17)이 이 기판 반전 기구(11)에 반입되었을 때에, 기판(17)의 반송 방향에 대하여 직각 방향의 양단부 근방을 파지할 수 있도록, 2장의 회전 원반(18)에 있어서 원주 방향 위치(이송)가 일치하고 있다. 또, 복수의 슬릿(19)은, 원주 방향으로 대략 동일한 피치로 형성되어 있다.
스토커(10)가 가지는 스테이지 컨베이어의 스테이지(21L) 위를 반송되어 온 기판(17)은, 기판 반전부(11)의 회전 원반(18)의 단부까지 접근한다. 구동 모터(18b)에 의해 회전된 회전 원반(18)은, 슬릿(19)의 위치가 수평하게 된 상태로 정지하고 있다. 그래서, 스테이지 컨베이어가 기판(17)을 슬릿 내부로 보낸다. 슬릿(19)의 단부까지 기판(17)의 선단부가 보내지면, 슬릿(19)에 의해 협지된 기판(17)을, 회전 원반(18)과 함께 Ry 방향으로 180도만큼 회전시킨다.
회전 원반(18)을 180도 회전시킨 측에는, 스테이지(21R)가 배치되어 있고, 기판(17)은 이 기판 반전부(11)로의 반입 시에는 상측이었던 반인쇄면(17b)을 하측으로 하여, 스테이지(21R)에 재치된다. 즉, 기판(17)은, 표리 반전된다. 이어서, 제1 검사부(12) 측의 스테이지 컨베이어가 가지는 스테이지(21R)를, 도 2의 우측 방향으로 반송한다. 이것에 의해, 기판(17)은 회전 원반(18)의 슬릿(19)으로부터 빠져나와, 스테이지(21R)에 재치된 상태로, 제1 검사부(11)로 보내진다.
제1 검사부(11)의 일 실시예의 상세를, 도 4를 이용하여 설명한다. 도 4는, 제1 검사부(12)의 사시도이다. 제1 검사부(12)는, 문형(門形)의 프레임(45)을 구성하는 좌우 2개의 장착 다리(25)와, 이 장착 다리(25) 위에 수평으로 걸친 빔(24)을 구비하고 있다. 빔(24)에는, 기판(17)의 폭 방향(기판 이동 방향에 대하여 직각 방향)인 좌우 방향(Y1)으로 이동 가능하도록, 카메라 장착대(23)가 장착되어 있다. 또, 카메라 장착대(23)에는 Z축 테이블도 구비되어 있다. Z축 테이블에는 카메라(26)와 높이 센서(26b)가 장착되어 있고, 카메라(26)와 높이 센서(26b)를 함께 상하 방향(Z1)으로 이동 가능하다.
문형으로 구성한 프레임(45)의 빔(24) 아래를 기판(17)이 통과하도록, 스테이지 컨베이어를 배치하고 있다. 즉, 스테이지(21) 상에 재치한 기판(17)이 도면의 X2 방향으로 반송되고, 카메라(26) 아래를 통과할 때에, 기판의 인쇄면(17a)을 촬상할 수 있도록, 스테이지 컨베이어를 배치한다. Z축 테이블이나 카메라 장착대(23)를 구동하고, 카메라(26)를 사용하여 기판(17)의 각 부를 촬상한다. 또한, 제2 검사부(15)도 제1 검사부(12)와 대략 동일한 구성으로 되어 있다.
제1 검사부(12)에서의 검사가 종료되고, 회전 테이블(14)의 테이블(14A) 상에 설치한 스테이지(27)로 이송된 기판(17)은, 인쇄부(13)로 운반된다. 인쇄부(13)의 상세를, 도 5 및 도 6을 이용하여 설명한다. 도 5는, 인쇄부(13)의 정면도이고, 도 6은 회전 테이블(14)의 평면도이다.
도 5에서는, 회전 테이블(14)이 회전축(38)을 회전시키고 테이블(14B)을 인쇄부(13)에 위치 결정한 상태를 나타내고 있다. 각 테이블(14A∼14D)은, 테이블(14A∼14D)의 중앙부에 테이블(14A∼14D) 관통하여 볼 나사 등을 장착한 승강축(35)이 장착되어 있고, 승강축(35)의 상단(上端)에는 스테이지(27)가 장착되어 있다. 승강축(35)의 타단[하단(下端)]부에는, 상하 구동 기구인 구동 모터(36)가 장착되어 있고, 이 구동 모터(36)가 회전하면, 스테이지(27)는 상하 방향으로 승강 가능하게 되어 있다.
스테이지(27)의 상면에는, 기판(17)이 재치 가능하게 되어 있다. 또한, 본 실시예에서는 각 스테이지를 개별의 상하 방향으로 이동시키도록 하고 있지만, 모든 스테이지를 동시에 이동시키기 위하여, 구동 모터를 1개만 설치하도록 해도 된다. 그 경우, 기구를 간소화할 수 있다.
인쇄부(13)는, 기판(17)의 상방에 주요 부분이 배치되어 있고, 이들 주요 부분은, 테이블(14A∼14D)의 궤적의 가장 외주보다 외측에 배치한 도시 생략한 지지부에 의해 외팔보 지지되어 있다. 인쇄부(13)의 주요부는 마스크(33)와 스퀴지 헤드(28)를 가지고 있고, 스테이지(27)의 바로 위에 위치하도록 배치되어 있다.
마스크(33)는 직사각형의 박판 부재로, 주변부를 마스크 프레임(34)에 장착하여 평면 형상으로 유지된다. 마스크 프레임(34)은, 지지부에 장착되어 있다. 스퀴지 헤드(28)도 인쇄부(13)의 지지부에, 수평 방향으로 이동 가능하게 장착되어 있다. 스퀴지 헤드(28)는, 인쇄부(17)의 상기 지지부에 장착한 이동 프레임(29)과, 상하 이동하는 스퀴지(30)와, 스퀴지(30)를 상하 이동시키는 구동 기구(31)(31a, 31b)를 구비하고 있다.
구동 기구(31)는, 스퀴지(30)를 크게 상하 이동시키는 러프 구동 기구(31a)와 스퀴지(30)를 기판(17)으로 누를 때의 가압력 조정용의 정밀 구동 기구(31b)로 구성되어 있다. 정밀 구동 기구(31b)에 의한 이동량은, 미소(微小)하다. 또한, 이동 프레임(29)을 수평 방향으로 이동시키기 위하여, 상기 지지부에 구동용 모터와 리니어 레일(모두 도시 생략)을 가지는 이동 수단을 설치하고 있다. 이동 프레임(29)에는 리니어 레일 위를 이동하는 회전 롤러(32)를 설치하고 있다.
마스크(33)와 기판(17)의 위치를 맞추기 위하여, 마스크(33) 및 기판(17)에는, 각각 도시 생략한 위치 맞춤 마크가 부착되어 있다. 기판(17) 측의 위치 맞춤 마크를 미리 제1 검사부(12)에서 계측하고, 도시 생략한 기억 수단에 기억시킨다. 마스크(33) 측의 위치 맞춤 마크를, 도시 생략한 카메라로 계측한다. 기판(17)으로 패턴을 인쇄할 때에는, 회전 테이블(14)의 회전을 정지시키고, 제1 검사부의 기억 수단에 기억된 기판(17)의 위치 맞춤 마크와, 제2 검사부의 카메라가 촬상한 마스크 측의 위치 맞춤 마크를 이용하여 위치 결정한다. 그 후, 기판(17)으로 소정의 패턴을 인쇄한다. 또한, 위치 맞춤은, 마스크(33)를 장착한 마스크 프레임(34)을 수평 방향으로 이동시켜서 실행한다. 그를 위해, 도시 생략하나, 마스크 프레임(34)을 수평 이동시키는 구동 기구를 설치하고 있다.
기판(17)과 마스크(33)의 위치 맞춤이 종료되면, 구동용 모터(36)를 구동하여 상하 승강축(35)을 승강시킨다. 그리고, 스테이지(27)와 함께 기판(17)을 마스크(33) 측으로 상승시키고, 기판(17)과 마스크(33)를 근접시킨다. 마스크(33)의 상면에는, 미리 패턴을 형성하는 페이스트가 공급되어 있다. 다음으로, 스퀴지(30)를 마스크(33)까지 강하시키고, 스퀴지(30)를 마스크(33)의 상면으로 누름으로써 마스크(33)에 소정 압력을 가한다. 그와 동시에 스퀴지(30)를 수평 이동시킨다. 스퀴지(30)가 수평으로 이동하면, 마스크(33)에 형성한 패턴의 개구부에 페이스트가 밀려들어간다. 개구부로부터 페이스트가 기판(17)의 표면으로 눌려, 기판(17)에 패턴이 인쇄된다. 또한, 기판(17)에는 앞의 공정에서 전극 패턴이 형성되어 있고, 인쇄부(13)에서는, 이 형성된 전극 사이에 스크린 인쇄에 의해 패턴을 인쇄한다. 기판(17)의 표면으로의 패턴의 인쇄가 종료되면, 테이블(14A) 상에 스테이지(27)를 강하시키고, 회전 테이블(14)을 회전시켜서 제2 검사부(15)에 기판(17)을 스테이지(27)마다 이동시킨다.
본 실시예에서는, 기판(17)과 마스크(33)의 위치 맞춤 등의 검사를 인쇄부(17)에 기판을 반송시키기 전에 실시하고 있다. 또, 기판(17)을 재치한 스테이지(27)는, 승강할(ZA∼ZD 방향으로 이동할) 뿐으로 수평 방향으로는 이동하고 있지 않다. 마스크(33)와 기판(17)의 최종적인 위치 맞춤에서는, 마스크를 수평 이동시킬 뿐이다. 이것들에 의해, 마스크(33)와 기판(17)의 위치 맞춤에 필요한 구동력을 저감하고, 위치 맞춤에 필요한 시간을 단축할 수 있다.
회전축(38)을 사이에 두고 인쇄부(13)의 반대 측에는, 스테이지(27)만이 남은 테이블(14A∼14D)을 위치 결정하고, 스테이지(27)의 상면을 청소하는 청소 스테이션(40)이 배치되어 있다. 청소 스테이션(40)에서는, 고압 에어에 의한 블로와 진공 흡인을 실시한다. 그 때문에, 블로 기구(41)와 흡인 청소 기구(42)가 구비되어 있고, 마이크로의 파편이나 갈라지거나 또는 깨진 조각을 고효율로 단시간에 집진하거나, 더러움을 제거한다. 이들 기구(41, 42) 외에, 도시 생략한 청소용 솔(브러시) 장치나 점착 롤러 기구를 부가 또는 바꾸어도 된다.
본 실시예에 의하면, 기판의 검사부 및 인쇄부, 스테이지의 청소부 등을 1군데로 모아 형성할 수 있기 때문에, 장치의 설치 면적을 작게 하는 것이 가능하게 된다. 또, 기판 검사 이전에는, 기판의 인쇄면을 노출시키지 않고 기판을 반송하고 있기 때문에, 기판의 인쇄면에 먼지가 부착되는 것을 최대한 저감할 수 있고, 먼지에 의한 더러움이 극소가 되어 고정밀도의 인쇄가 가능하게 된다. 또한, 작업 시간의 단축이 가능하게 된다. 또한, 상기 설명에서는, 제1 검사부를 독립적으로 설치하고 있지만, 제1 검사부(12)를 인쇄부(13)의 기판 반입구에 설치하여 회전 테이블의 스테이지 상에서 검사하는 구성으로 해도 된다.
또, 상기 실시예에서는 1장의 기판이 제1 검사부로 반송되고 나서, 제2 검사부를 거쳐서 다음 공정으로 반송될 때까지는, 다른 기판이 반송되지 않도록 하고 있지만, 회전 테이블의 각처 스테이션에서 다른 작업, 즉 제1 검사부에서의 검사, 인쇄부에서의 스크린 인쇄, 제2 검사부에서의 검사, 청소 스테이션에서의 청소를 동시 평행으로 실행하도록 해도 된다. 그 경우 스루풋이 약 4배 향상된다.
10 : 스토커 11 : 기판 반전기
12 : 제1 검사부 13 : 인쇄부
14 : 회전 테이블 14A∼14D : 테이블
15 : 제2 검사부 16 : 스테이지 컨베이어
17 : 기판 18 : 반전 기구
18a : 회전 원반 18b : 모터
18c : 구동축 19 : 슬릿
20 : 회전축 21L, 21R : 스테이지
23 : 카메라 장착대 24 : 빔
25 : 장착 다리 26 : 카메라
27 : 스테이지 28 : 스퀴지 헤드
29 : 이동 프레임 30 : 스퀴지
31a, 31b : 구동 기구 32 : 회전 롤러,
33 : 마스크 34 : 마스크 프레임
35 : 승강축 36 : 구동 모터
37 : 아암 38 : 회전축
39 : 스크린 인쇄기 40 : 청소 스테이션
41 : 블로 기구 42 : 흡인 청소 기구
44 : 로봇 핸드 45 : 프레임
100 : 인쇄 장치 Rz : 회전 테이블의 회전 방향
Ry : 회전 원반의 회전 방향 X1 : 기판의 반입 방향
X2 : 검사부에서의 기판의 진행 방향
X3 : 기판의 반출 방향 Y1 : 카메라의 트래버스 방향
Z1 : 카메라의 초점 맞춤 방향 ZA∼ZC : 테이블의 높이 위치 결정 방향

Claims (6)

  1. 기판면 상에 스크린 인쇄에 의해 소정의 패턴을 형성하는 패널의 인쇄 장치에 있어서,
    스테이지 컨베이어로 구성된 스토커와,
    상기 스토커의 일단(一端) 측에 인쇄면을 하방향으로 하여 기판을 반입하고, 상기 스토커의 타단(他端) 측에 설치되고, 수직으로 배치되고 외주부에 복수의 슬릿이 형성된 2장의 원반과, 이 2장의 원반의 중심부를 관통하여 수평으로 배치되는 회전축과, 이 회전축을 구동하는 구동원을 가지고, 상기 슬릿에 상기 기판을 협지(挾持)하고 상기 원반을 회전운동시켜서 상기 기판의 인쇄면을 상방향으로 반전 가능한 기판 반전 기구와,
    수직 방향으로 배치되는 회전축과, 이 회전축에 아암 부재를 개재하여 접속되어 원주 방향으로 동일한 피치로 배치되어 있는 4개의 테이블과, 상기 테이블에 구동 기구를 개재하여 접속되어 상기 기판을 상하 이동 가능한 스테이지를 가지는 회전 테이블과,
    상기 스토커와 상기 스테이지 컨베이어의 배열 방향과 직각 방향이고, 상기 회전 테이블의 중심을 지나는 방향으로 배치되는 스테이지 상에 있는 상기 기판을 인쇄하는 인쇄부과,
    상기 회전 테이블의 회전 방향으로 상기 회전 테이블의 회전축을 사이에 둔 상기 인쇄부의 반대 측에, 인쇄를 끝낸 상기 기판 스테이지의 상면을 청소하는 청소 스테이션을 구비하고,
    상기 인쇄부에서의 인쇄와 상기 청소 스테이션에서의 청소를 병행하여 실행 가능한 것을 특징으로 하는 패널의 인쇄 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    반전된 상기 기판을 상기 회전 테이블로 반송함과 함께 상기 기판의 위치 및 변형 중 적어도 어느 하나를 검사하는 카메라를 구비한 제1 검사부를 가지는 제1 스테이지 컨베이어와, 상기 인쇄부에서 상기 기판면 상에 인쇄한 패턴을, 카메라를 사용하여 검사하는 제2 검사부와, 상기 인쇄부에서 인쇄된 상기 기판을 다음 공정으로 반송하는 제2 스테이지 컨베이어를 구비한 것을 특징으로 하는 패널의 인쇄 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 검사부는 상기 기판에 부착된 위치 맞춤 마크를 검출하고 기억하는 기억 수단을 가지고, 상기 인쇄부는 상기 기판에 인쇄하는 패턴이 형성되고 위치 맞춤 마크가 부착된 마스크와, 이 마스크를 수평 이동시키는 이동 수단을 가지고, 이 이동 수단은 상기 기억 수단이 기억한 상기 기판 상의 위치 맞춤 마크와 상기 마스크의 위치 맞춤 마크가 합치하도록 상기 마스크를 수평 이동시키고, 상기 인쇄 장치는, 상기 회전 테이블의 상기 테이블을 상승시키고 상기 마스크에 상기 기판을 접촉시켜서 인쇄하는 것을 특징으로 하는 패널의 인쇄 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 청소 스테이션은 상기 기판의 갈라짐 및 깨짐으로 생긴 파손편이나 더러움을 고압 에어와 진공 흡인과 청소용 솔 중 적어도 하나에 의해 청소하는 청소 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 패널의 인쇄 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
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