KR101543882B1 - 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 검사 장치에 있어서, 상기 장치는 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈과, 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈과, 상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 기판 이송 모듈에 의해 이동되는 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈과, 상기 검사 모듈에 인접하도록 상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 상면으로 에어를 분사하기 위한 에어 분사 모듈과, 상기 에어 분사 모듈의 높이를 조절하여 상기 기판의 부상 높이를 조절하기 위한 높이 조절부를 포함한다.

Description

기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치{Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same}
본 발명의 실시예들은 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 디스플레이 제조 공정에서 기판을 이송하는 장치와 상기 기판 이송 장치에 의해 이송되는 기판의 결함을 검출하기 위한 기판 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치 등과 같은 디스플레이 장치의 제조 공정에서 기판 상에 형성된 패턴들의 결함을 검사하기 위한 검사 공정이 수행될 수 있다.
상기 검사 공정에서는 상기 기판의 상부면 이미지를 획득하기 위한 이미지 획득 유닛이 사용될 수 있으며 상기 기판은 상기 이미지 획득 유닛의 아래에서 수평 방향으로 이송될 수 있다. 일 예로서, 대한민국 등록특허공보 제10-0765124호에는 제1 및 제2 부상 플레이트들과, 상기 제1 및 제2 부상 플레이트들 사이에 배치되어 기판의 양측 단부들을 각각 파지하는 그리퍼들 및 상기 그리퍼들을 이동시키는 구동부를 포함하는 기판 이송 장치가 개시되어 있다.
상기와 같은 기판 이송 장치에서 상기 그리퍼들은 스테이지 상에 일체로 형성된 지지플레이트의 일측면 및 타측면에 장착되며 상기 기판의 중심 부분 일단 및 타단을 진공 흡착하도록 구성되고 있다.
상기와 같은 기판 이송 장치를 이용하여 상기 기판을 이송하는 경우 상기 기판의 부상 높이가 일정하게 유지되지 않는 문제점이 있다. 특히, 상기 그리퍼들에 의해 진공 흡착된 상기 기판의 중심 부분의 일단 및 타단을 제외한 나머지 영역들은 상기 제1 및 제2 부상 플레이트들로부터 분사되는 공기에 의해 부상된 상태이므로 상기 기판 하부의 공기압 변화에 따라 상기 기판의 높이가 변화될 수 있다.
특히 상기 기판이 검사 영역을 통과하는 동안 상기 기판의 부상 높이가 일정하게 유지되지 않을 수 있다. 이 경우 상기 기판의 상부면 이미지 선명도가 저하될 수 있으며 이에 따라 상기 검사 공정의 신뢰도가 크게 저하될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위한 것으로 기판의 부상 높이를 일정하게 조절할 수 있는 부상식 기판 이송 장치를 제공하는데 제1 목적이 있다.
본 발명의 실시예들은 상술한 바와 같은 기판 이송 장치를 포함하는 기판 검사 장치를 제공하는데 제2 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 기판 이송 장치는, 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈과, 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈과, 상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 상면으로 에어를 분사하기 위한 에어 분사 모듈과, 상기 에어 분사 모듈의 높이를 조절하여 상기 기판의 부상 높이를 조절하기 위한 높이 조절부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에어 분사 모듈은 사각 플레이트 형태를 가질 수 있으며 상기 부상된 기판의 상면으로 에어를 분사하기 위한 복수의 에어 분사구들을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에어 분사 모듈은 상기 에어 부상 모듈의 양측에 배치된 서포트 부재들에 수직 방향으로 이동 가능하게 장착될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 높이 조절부는 모터와 상기 모터에 연결된 볼 스크루 및 상기 볼 스크루의 회전에 의해 수직 방향으로 이동되는 볼 너트를 포함할 수 있으며, 상기 에어 분사 모듈은 상기 볼 너트에 연결될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 서포트 부재들이 배치되는 베이스 플레이트와, 상기 에어 분사 모듈 및 상기 베이스 플레이트 사이에 배치되는 탄성 부재가 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 에어 부상 모듈은 강자성체로 이루어질 수 있으며, 상기 높이 조절부는 상기 에어 분사 모듈에 장착된 전자석을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에어 분사 모듈과 상기 기판 사이의 간격을 측정하기 위한 상부 갭 센서 및 상기 에어 부상 모듈과 상기 기판 사이의 간격을 측정하기 위한 하부 갭 센서가 구비될 수 있으며, 상기 상부 및 하부 갭 센서들에 의해 측정된 간격들에 기초하여 상기 높이 조절부의 동작을 제어하는 제어부가 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 이송 모듈은 이송 패널과, 상기 이송 패널 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척과, 상기 이송 패널을 수평 이동시키는 수평 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에어 부상 모듈은 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 에어 부상 패널들을 포함할 수 있으며, 상기 기판 이송 모듈은 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들 사이에 배치될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 기판 검사 장치는 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈과, 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈과, 상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 기판 이송 모듈에 의해 이동되는 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈과, 상기 검사 모듈에 인접하도록 상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 상면으로 에어를 분사하기 위한 에어 분사 모듈과, 상기 에어 분사 모듈의 높이를 조절하여 상기 기판의 부상 높이를 조절하기 위한 높이 조절부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 검사 모듈을 기준으로 상기 에어 분사 모듈의 반대측에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 상면으로 에어를 분사하기 위한 제2 에어 분사 모듈과, 상기 제2 에어 분사 모듈의 높이를 조절하여 상기 기판의 부상 높이를 조절하기 위한 제2 높이 조절부가 더 구비될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 상면으로 에어를 분사하는 에어 분사 모듈을 상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치하고, 상기 에어 분사 모듈의 높이를 조절함으로써 상기 기판의 부상 높이를 기 설정된 값으로 조절할 수 있으며, 또한 상기 기판의 부상 높이를 일정하게 유지시킬 수 있다.
특히, 상기 에어 부상 모듈과 상기 기판 및 상기 에어 분사 모듈 사이의 간격들을 측정하고, 상기 측정된 값들에 기초하여 상기 에어 분사 모듈의 높이를 조절함으로써 상기 기판의 부상 높이 조절 및 유지가 더욱 안정적으로 수행될 수 있다.
결과적으로, 상기 기판이 검사 영역을 통과하는 동안 상기 기판의 부상 높이가 일정하게 유지될 수 있으며, 이에 따라 상기 기판의 검사 신뢰도가 크게 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 모듈을 포함하는 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 에어 분사 모듈 및 높이 조절부를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 높이 조절부의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 모듈을 포함하는 기판 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치(100)는 디스플레이 제조 공정에서 기판(10) 상의 결함을 검출하기 위하여 사용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 검사 장치(100)는 상기 기판(10)의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판(10)을 부상시키는 에어 부상 모듈(110)과, 상기 에어 부상 모듈(110)에 의해 부상된 기판(10)을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈(120) 및 상기 기판 이송 모듈(120)에 의해 이동되는 상기 기판(10)의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈(190)을 포함할 수 있다.
상기 에어 부상 모듈(110)은 베이스 플레이트(102) 상에 배치될 수 있으며 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)을 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 각각은 상기 기판(10)의 이송 방향(도 1에 도시된 화살표 방향)으로 연장하는 대략 직사각 형태를 가질 수 있으며, 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114)의 상부면에는 상기 기판(10)의 하면으로 에어를 분사하기 위한 복수의 에어 분사구들이 구비될 수 있다.
상기 기판 이송 모듈(120)은 상기 베이스 플레이트(102) 상에서 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 사이에 배치될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 상에서 부상된 기판(10)을 상기 이송 방향으로 이동시킬 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2를 참조하면, 상기 기판 이송 모듈(120)은 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들(112, 114) 사이에서 상기 기판(10)의 이송 방향으로 연장하는 이송 패널(122)과, 상기 이송 패널(122) 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈(110)에 의해 부상된 기판(10)의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척(124, 126)과, 상기 이송 패널(122)을 상기 기판 이송 방향으로 수평 이동시키는 수평 구동부(128)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 패널(122)은 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 길게 연장하는 직사각 형태를 가질 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 수평 구동부(128)는 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 연장하는 선형 가이드 레일과, 상기 선형 가이드 레일에 이동 가능하게 결합되는 가동 블록과, 회전력을 제공하는 모터와, 상기 모터에 결합된 볼 스크루 및 상기 볼 스크루의 회전에 의해 수평 방향으로 이동되는 볼 너트 등을 이용하여 구성될 수 있으며, 상기 이송 패널(122)은 상기 가동 블록 상에 장착되어 상기 선형 가이드 레일을 따라 안내되고 상기 볼 너트와 결합되어 수평 방향으로 이동될 수 있다. 그러나, 상기와 같은 수평 구동부(128)의 세부 구성은 다양하게 변경 가능하므로 상기 수평 구동부(128)의 세부 구성에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
또한 일 예로서, 상기 이송 패널(122) 상에는 상기 부상된 기판(10)의 전방측 하면 부위를 파지하는 제1 진공척(124)과 상기 부상된 기판(10)의 후방측 하면 부위를 파지하는 제2 진공척(126)이 배치될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제1 및 제2 진공척들(124, 126)은 진공 펌프 등을 포함하는 진공 모듈(미도시)과 연결될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 진공척들(124, 126)의 상부에는 상기 기판(10)을 진공 흡착하기 위한 복수의 진공홀들이 구비될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 검사 모듈(190)은 상기 기판 이송 모듈(120)에 의해 이송되는 기판(10) 상의 결함을 검출하기 위한 적어도 하나의 스캔 카메라(192)를 포함할 수 있다. 도시된 바에 의하면, 6대의 스캔 카메라(192)가 구비되고 있으나 상기 스캔 카메라(192)의 개수는 다양하게 변경될 수 있으며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
상기 스캔 카메라(192)는 상기 에어 부상 모듈(110)의 상부에서 상기 기판(10)의 이송 방향에 대하여 수직 방향으로 연장하는 브리지 구조물(194)에 장착될 수 있으며, 상기 브리지 구조물(194)의 길이 방향 즉 상기 기판(10)의 이송 방향에 직교하는 제2 수평 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 기판(10)은 상기 검사 공정을 수행하는 동안 상기 기판(10)의 이송 방향을 따라 왕복 이동 즉 전진 및 후진이 반복될 수 있으며, 상기 스캔 카메라(192)는 상기 브리지 구조물(194) 상에서 그 위치가 조절될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 검사 장치(100)는 상기 에어 부상 모듈(110)에 의해 부상된 기판(10)의 상면으로 에어를 분사하기 위한 에어 분사 모듈(130) 및 상기 에어 분사 모듈(130)의 높이를 조절함으로써 상기 기판(10)의 부상 높이를 조절하기 위한 높이 조절부(140)를 포함할 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 에어 분사 모듈 및 높이 조절부를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 에어 분사 모듈(130)은 대략 사각 플레이트 형태를 가질 수 있으며, 상기 부상된 기판(10)의 상면으로 에어를 분사하기 위한 복수의 에어 분사구들(미도시)을 가질 수 있다.
상기 에어 분사 모듈(130)은 상기 에어 부상 모듈(110)의 양측에 각각 배치된 서포트 부재들(132)에 수직 방향으로 이동 가능하게 장착될 수 있다. 예를 들면, 상기 서포트 부재들(132)은 상기 베이스 플레이트(102) 상에 배치될 수 있으며 수직 방향으로 연장될 수 있다. 상기 서포트 부재들(132)에는 수직 방향으로 연장하는 가이드 레일(134)이 구비될 수 있으며, 상기 가이드 레일(134)을 따라 이동 가능하게 구성된 가동 블록(136)에 상기 에어 분사 모듈(130)이 연결될 수 있다.
상기 높이 조절부(140)는 모터(142)와 상기 모터(142)에 연결된 볼 스크루(144) 및 상기 볼 스크루(144)에 의해 수직 방향으로 이동되는 볼 너트(146)를 포함할 수 있으며, 상기 에어 분사 모듈(130)은 상기 볼 너트(146)와 연결될 수 있다.
상기에서는 서포트 부재들(132)이 상기 베이스 플레이트(102) 상에 배치되고, 상기 높이 조절부(140)가 모터(142)와 볼 스크루(144) 및 볼 너트(146) 등을 이용하여 구성되고 있으나, 상기와 같은 세부 구성은 필요에 따라 변경 가능하므로 본 발명의 범위가 상기 서포트 부재들(132)의 배치 관계 및 상기 높이 조절부(140)의 세부 구성에 의해 제한되지는 않을 것이다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 검사 장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 상기 검사 모듈(190)을 기준으로 상기 에어 분사 모듈(130)의 반대측에 배치되는 제2 에어 분사 모듈(150)과 상기 제2 에어 분사 모듈(150)의 높이를 조절하기 위한 제2 높이 조절부(160)를 포함할 수 있다. 상기 제2 에어 분사 모듈(150)과 제2 높이 조절부(160)의 구성은 상기 에어 분사 모듈(130)과 높이 조절부(140)와 각각 동일하므로 이에 대한 추가적인 상세 설명은 생략한다.
상기와 같은 본 발명의 일 실시예에 따르면, 도시된 바와 같이 상기 검사 모듈(190)의 전방측 및 후방측에 각각 인접하도록 에어 분사 모듈(130) 및 제2 에어 분사 모듈(150)을 배치하고, 상기 에어 분사 모듈(130)과 제2 에어 분사 모듈(150)의 높이를 조절함으로써 상기 검사 모듈(190) 아래에 위치되는 검사 영역을 통과하는 기판(10)의 부상 높이를 기 설정된 값으로 조절할 수 있으며, 또한 상기 기판(10)의 부상 높이를 일정하게 유지할 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 에어 부상 모듈(110)의 검사 영역에는 상기 에어 부상 모듈(110)의 에어 분사구들로부터 상기 기판(10)의 하면으로 분사된 에어를 흡입하기 위한 진공홀들(미도시)이 구비될 수 있다.
다시 도 3을 참조하면, 상기 에어 분사 모듈(130)의 하부면 부위에는 상기 에어 분사 모듈(130)과 상기 기판(10) 사이의 상부 간격을 측정하기 위한 상부 갭 센서(170)가 배치될 수 있으며, 상기 에어 분사 모듈(130)과 대응하는 상기 에어 부상 모듈(110)의 상부면 부위에는 상기 기판(10)과 상기 에어 부상 모듈(110) 사이의 하부 간격 즉 상기 기판(10)의 부상 높이를 측정하기 위한 하부 갭 센서(172)가 배치될 수 있다.
또한, 상기 검사 장치(100)는 도시되지는 않았으나 상기 상부 갭 센서(170)와 하부 갭 센서(172)에 의해 측정된 상기 상부 및 하부 간격들에 기초하여 상기 높이 조절부(140)의 동작을 제어하기 위한 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 제어부는 상기 기판(10)의 부상 높이를 기 설정된 값으로 조절할 수 있으며, 특히 상기 상부 및 하부 갭 센서들(170, 172)에 의해 측정되는 상부 및 하부 간격들에 기초하여 상기 기판(10)의 부상 높이를 일정하게 유지시킬 수 있다.
한편, 상기 제2 에어 분사 모듈(150)의 하부면 부위와 상기 제2 에어 분사 모듈(150)과 대응하는 상기 에어 부상 모듈(110)의 상부면 부위에는 제2 상부 갭 센서(미도시) 및 제2 하부 갭 센서(미도시)가 각각 구비될 수 있으며, 상기 제어부는 상기 제2 상부 및 하부 갭 센서들에 의해 측정된 값들에 기초하여 상기 제2 높이 조절부(160)의 동작을 제어할 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 높이 조절부의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 4를 참조하면, 상기 에어 분사 모듈(130)과 상기 베이스 플레이트(102) 사이에는 탄성 부재(180)가 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 베이스 플레이트(102) 상에는 수직 방향으로 연장하는 가이드 로드(182)가 배치될 수 있으며, 상기 에어 분사 모듈(130)에는 상기 가이드 로드(182)가 통과되는 가이드 홀이 구비될 수 있다. 상기 탄성 부재(180)로는 코일 스프링이 사용될 수 있으며, 상기 코일 스프링은 상기 가이드 로드(182)를 감싸도록 배치될 수 있다.
한편, 상기 탄성 부재(180)를 설치하는 방법은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
상기 높이 조절부(140)는 상기 에어 분사 모듈(130)에 장착된 전자석(184)을 포함할 수 있으며, 이 경우 상기 에어 부상 모듈(110)은 강자성체로 이루어질 수 있다. 즉 상기 에어 분사 모듈(130)에 상기 탄성 부재(180)의 탄성 복원력이 상방으로 인가되도록 상기 탄성 부재(180)를 배치하고, 상기 전자석(184)에 인가되는 전류 및 전압을 조절함으로써 상기 에어 분사 모듈(130)의 높이를 조절할 수 있다. 즉, 상기 전자석(184)과 상기 에어 부상 모듈(110) 사이에서 발생되는 자기력과 상기 탄성 부재(180)에 의해 상기 에어 분사 모듈(130)에 인가되는 탄성 복원력의 합력에 의해 상기 에어 분사 모듈(130)의 높이가 결정될 수 있으며, 상기 자기력을 조절함으로써 상기 에어 분사 모듈(130)의 높이를 조절할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 에어 부상 모듈(110)에 의해 부상된 기판(10)의 상면으로 에어를 분사하는 에어 분사 모듈(130)을 상기 에어 부상 모듈(110)의 상부에 배치하고, 상기 에어 분사 모듈(130)의 높이를 조절함으로써 상기 기판(10)의 부상 높이를 기 설정된 값으로 조절할 수 있으며, 또한 상기 기판(10)의 부상 높이를 일정하게 유지시킬 수 있다.
특히, 상기 에어 부상 모듈(110)과 상기 기판(10) 및 상기 에어 분사 모듈(130) 사이의 간격들을 측정하고, 상기 측정된 값들에 기초하여 상기 에어 분사 모듈(130)의 높이를 조절함으로써 상기 기판(10)의 부상 높이 조절 및 유지가 더욱 안정적으로 수행될 수 있다.
결과적으로, 상기 기판(10)이 검사 영역을 통과하는 동안 상기 기판(10)의 부상 높이가 일정하게 유지될 수 있으며, 이에 따라 상기 기판(10)의 검사 신뢰도가 크게 향상될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 100 : 검사 장치
110 : 에어 부상 모듈 112, 114 : 에어 부상 패널
120 : 기판 이송 모듈 122 : 베이스 패널
124, 126 : 진공척 128 : 수평 구동부
130 : 에어 분사 모듈 140 : 높이 조절부
150 : 제2 에어 분사 모듈 160 : 제2 높이 조절부
170, 172 : 갭 센서 190 : 검사 모듈

Claims (12)

  1. 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈;
    상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈;
    상기 에어 부상 모듈의 양측에 배치되는 서포트 부재들;
    상기 에어 부상 모듈의 상부에서 상기 서포트 부재들에 수직 방향으로 이동 가능하게 장착되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 상면으로 에어를 분사하기 위한 에어 분사 모듈;
    상기 에어 분사 모듈의 높이를 조절하여 상기 기판의 부상 높이를 조절하기 위한 높이 조절부;
    상기 서포트 부재들이 배치되는 베이스 플레이트; 및
    상기 에어 분사 모듈과 상기 베이스 플레이트 사이에 배치되는 탄성 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 에어 분사 모듈은 사각 플레이트 형태를 가지며 상기 부상된 기판의 상면으로 에어를 분사하기 위한 복수의 에어 분사구들을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 에어 부상 모듈은 강자성체로 이루어지며, 상기 높이 조절부는 상기 에어 분사 모듈에 장착된 전자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 에어 분사 모듈과 상기 기판 사이의 간격을 측정하기 위한 상부 갭 센서 및 상기 에어 부상 모듈과 상기 기판 사이의 간격을 측정하기 위한 하부 갭 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 상부 및 하부 갭 센서들에 의해 측정된 간격들에 기초하여 상기 높이 조절부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 기판 이송 모듈은,
    이송 패널;
    상기 이송 패널 상에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 하면을 파지하는 적어도 하나의 진공척; 및
    상기 이송 패널을 수평 이동시키는 수평 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 에어 부상 모듈은 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 에어 부상 패널들을 포함하며, 상기 기판 이송 모듈은 상기 제1 및 제2 에어 부상 패널들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  11. 기판의 하면으로 에어를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 에어 부상 모듈;
    상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 모듈;
    상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되며 상기 기판 이송 모듈에 의해 이동되는 기판의 결함을 검출하기 위한 검사 모듈;
    상기 에어 부상 모듈의 양측에 배치되는 서포트 부재들;
    상기 검사 모듈에 인접하도록 상기 에어 부상 모듈의 상부에 배치되고 상기 서포트 부재들에 수직 방향으로 이동 가능하게 장착되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 상면으로 에어를 분사하기 위한 에어 분사 모듈;
    상기 에어 분사 모듈의 높이를 조절하여 상기 기판의 부상 높이를 조절하기 위한 높이 조절부;
    상기 서포트 부재들이 배치되는 베이스 플레이트; 및
    상기 에어 분사 모듈과 상기 베이스 플레이트 사이에 배치되는 탄성 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 검사 모듈을 기준으로 상기 에어 분사 모듈의 반대측에 배치되며 상기 에어 부상 모듈에 의해 부상된 기판의 상면으로 에어를 분사하기 위한 제2 에어 분사 모듈; 및
    상기 제2 에어 분사 모듈의 높이를 조절하여 상기 기판의 부상 높이를 조절하기 위한 제2 높이 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
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