KR101362534B1 - 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치 - Google Patents

반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치 Download PDF

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Abstract

반도체 소자를 픽업하기 위한 장치에서, 상기 장치는 수평 방향으로 연장하는 전면을 갖는 베이스 프레임과, 각각 수직 방향으로 연장하며 진공압을 이용하여 각각 반도체 소자를 픽업하기 위한 복수의 픽업 유닛들과, 상기 베이스 프레임의 전면 상에서 상기 수평 방향으로 나란하게 연장하며 상기 픽업 유닛들이 상기 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 베이스 프레임과 상기 픽업 유닛들을 서로 결합하는 상부 가이드부 및 하부 가이드부, 및 상기 상부 및 하부 가이드부들 사이에서 상기 수평 방향으로 연장하며 상기 픽업 유닛들을 상기 수평 방향으로 안내하는 중앙 가이드부를 포함한다. 상기와 같이 중앙 가이드부가 상기 상부 및 하부 가이드부들 사이에서 상기 픽업 유닛의 수평 방향 이동을 안내하므로 상기 픽업 유닛들 사이의 간격 조절시 상기 픽업 유닛들의 흔들림이 감소될 수 있다.

Description

반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치{Apparatus for picking up semiconductor devices}
본 발명의 실시예들은 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 소자들에 대한 절단 및 분류 공정 또는 검사 공정 등에서 반도체 소자들을 이송하기 위하여 상기 반도체 소자들을 픽업하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정과 다이 본딩 공정 및 몰딩 공정을 통해 반도체 스트립으로 제조될 수 있다.
상기와 같이 복수의 반도체 소자들이 탑재된 반도체 스트립은 절단 및 분류(Sawing & Sorting) 공정을 통해 개별화되고 양품 또는 불량품 판정에 따라 분류될 수 있다. 상기 절단 및 분류 공정은 상기 반도체 스트립을 척 테이블 상에 로드한 후 절단 블레이드를 이용하여 다수의 반도체 소자들로 개별화하며, 상기 개별화된 반도체 소자들은 픽업 장치에 의해 일괄적으로 픽업되어 세척 및 건조된다.
상기 반도체 소자들의 세척 공정이 완료된 후 상기 반도체 소자들은 버퍼 테이블 상에서 건조될 수 있으며, 또한 상기 버퍼 테이블 상에서 이면 검사 즉 상기 반도체 소자들의 이면에 형성된 솔더볼들에 대한 검사가 수행될 수 있다. 상기와 같이 1차 검사된 반도체 소자들은 반전 장치에 의해 반전된 후 팔레트 테이블에 적재될 수 있으며, 상기 팔레트 테이블 상에서 전면 검사 즉 몰딩된 면에 대한 검사가 수행될 수 있다.
상기 팔레트 테이블 상에 적재된 반도체 소자들은 상기 검사 공정의 결과에 따라 양품 트레이 또는 불량품 트레이로 이송될 수 있다. 한편, 상기와 다르게 상기 반도체 소자들에 대한 솔더볼 검사는 상기 트레이들로의 이송을 위한 피커들에 의해 픽업된 상태에서 수행될 수도 있다.
상기와 같이 반도체 소자들을 이송하기 위한 피커들은 상기 팔레트 테이블에 적재된 반도체 소자들의 간격과 상기 반도체 소자들이 수납되는 트레이의 소켓 간격이 서로 다르기 때문에 상기 반도체 소자들을 이송하는 동안 상기 피커들 사이의 간격이 조절되는 것이 바람직하다.
일반적으로, 상기 피커들은 프레임의 전면 상에 수평 방향으로 이동 가능하도록 장착될 수 있으며, 상기 피커들 사이의 간격 조절은 상기 피커들 각각에 간격 조절 롤러를 장착하고, 상기 간격 조절 롤러들이 삽입되며 서로 다른 방향으로 연장하는 캠슬롯들이 구비된 캠플레이트를 이동시킴으로써 이루어질 수 있다. 그러나, 상기 캠플레이트에 의한 힘의 작용점과 상기 피커들을 수평 방향으로 안내하는 가이드 부재 사이의 간격이 상대적으로 크기 때문에 상기 피커들의 간격 조절시 상기 피커들의 수직축이 비틀어지는 문제점이 발생될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 반도체 소자들을 픽업하기 위하여 다수의 피커들을 갖는 장치에서 상기 피커들 사이의 간격 조절이 안정적으로 정확하게 이루어질 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치는, 수평 방향으로 연장하는 전면을 갖는 베이스 프레임과, 각각 수직 방향으로 연장하며 진공압을 이용하여 각각 반도체 소자를 픽업하기 위한 복수의 픽업 유닛들과, 상기 베이스 프레임의 전면 상에서 상기 수평 방향으로 나란하게 연장하며 상기 픽업 유닛들이 상기 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 베이스 프레임과 상기 픽업 유닛들을 서로 결합하는 상부 가이드부 및 하부 가이드부와, 상기 상부 및 하부 가이드부들 사이에서 상기 수평 방향으로 연장하며 상기 픽업 유닛들을 상기 수평 방향으로 안내하는 중앙 가이드부, 및 상기 베이스 프레임의 하부에 배치되며 상기 픽업 유닛들 사이의 간격을 조절하기 위한 간격 조절부를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 간격 조절부는 상기 픽업 유닛들에 각각 장착되며 수직 방향의 회전축을 갖는 복수의 간격 조절 롤러들과, 상기 간격 조절 롤러들이 삽입되며 상기 픽업 유닛들 사이의 간격을 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 캠슬롯들을 갖는 캠플레이트와, 상기 캠플레이트를 상기 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 중앙 가이드부는, 상기 상부 및 하부 가이드부들 사이에서 상기 수평 방향으로 연장하는 상부면과 하부면을 갖는 중앙 가이드 레일과, 상기 픽업 유닛들에 장착되어 상기 중앙 가이드 레일의 상부면과 하부면을 따라 이동 가능하도록 구성되는 복수의 중앙 가이드 부재들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 중앙 가이드 부재는 상기 픽업 유닛들 각각에 장착되어 상기 중앙 가이드 레일의 상부면 및 하부면에 밀착되는 복수의 가이드 롤러들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 상부 및 하부 가이드부들은, 상기 베이스 프레임의 전면 상에서 상기 수평 방향으로 나란하게 연장하는 상부 및 하부 가이드 레일들과, 상기 픽업 유닛들에 각각 장착되며 상기 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 상부 및 하부 가이드 레일들에 결합되는 복수의 상부 및 하부 가이드 부재들을 각각 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 픽업 유닛은, 수직 방향으로 연장하는 수직 프레임과, 상기 수직 프레임에 수직 방향으로 이동 가능하도록 장착되는 브래킷과, 상기 브래킷에 장착되어 상기 반도체 소자를 픽업하기 위한 피커를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 픽업 유닛은 상기 수직 프레임에 장착되어 상기 브래킷과 연결되며 상기 브래킷을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 수직 구동부는 리니어 모터를 포함하여 구성될 수 있다.
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상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 픽업 유닛들을 수평 방향으로 안내하기 위한 상부 및 하부 가이드부들 사이에 중앙 가이드부를 배치하고, 상기 중앙 가이드부를 상부 및 하부 가이드 롤러들이 중앙 가이드 레일의 상부면과 하부면에 각각 밀착되도록 구성함으로써 상기 중앙 가이드부에서 조립 공차가 요구되지 않도록 할 수 있다. 따라서, 상기 픽업 유닛들 사이의 간격 조절시 상기 픽업 유닛의 흔들림이 충분히 감소될 수 있으며, 이에 따라 상기 픽업 유닛들 사이의 간격 조절이 안정적으로 그리고 정확하게 이루어질 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 베이스 프레임을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 베이스 프레임과 픽업 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 마운팅 브래킷들을 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 2 및 도 3에 도시된 간격 조절부를 설명하기 위한 개략적인 저면도이다.
이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치(100)는 반도체 소자들(미도시)에 대한 절단 및 분류 공정 또는 검사 공정 등에서 상기 반도체 소자들을 이송하기 위하여 사용될 수 있다. 특히, 상기 반도체 소자들의 분류 공정에서 다수의 반도체 소자들이 적재된 팔레트 테이블로부터 상기 반도체 소자들을 양품 또는 불량품 트레이로 이송하기 위하여 사용될 수 있다. 그러나, 경우에 따라서, 상기 반도체 소자 픽업 장치(100)는 상기 반도체 소자들에 대한 검사를 위한 테스트 핸들러 등과 같은 설비에서 사용될 수도 있다.
상기 반도체 소자 픽업 장치(100)는 상기 반도체 소자들을 각각 픽업하기 위한 복수의 픽업 유닛들(102)을 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 픽업 유닛들(102)은 각각 수직 방향으로 연장할 수 있으며 진공압을 이용하여 상기 반도체 소자들을 픽업할 수 있도록 구성될 수 있다.
상기 픽업 유닛들(102)은 베이스 프레임(130; 도 2 참조)의 전면 상에서 제1 수평 방향으로 이동 가능하게 장착될 수 있다. 상기 베이스 프레임(130)은 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 픽업 유닛들(102)이 장착되는 전면을 갖는 베이스 플레이트(132)를 포함할 수 있다.
상기 베이스 플레이트(132)의 전면에는 상기 제1 수평 방향으로 나란하게 연장하며 상기 픽업 유닛들(102)이 상기 제1 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트(132)와 상기 픽업 유닛들(102)을 서로 결합하는 상부 가이드부(140)와 하부 가이드부(145)가 배치될 수 있다.
상기 상부 가이드부(140)는 상부 가이드 레일(142)과 복수의 상부 가이드 부재들(143)을 포함할 수 있다. 상기 상부 가이드 레일(142)은 상기 베이스 플레이트(132)의 전면 상부에서 상기 제1 수평 방향으로 연장할 수 있으며, 상기 상부 가이드 부재들(143)은 상기 픽업 유닛들(102)에 각각 장착되어 상기 제1 수평 방향으로 상기 픽업 유닛들(102)을 안내하기 위하여 상기 상부 가이드 레일(142)에 결합될 수 있다.
상기 하부 가이드부(145)는 하부 가이드 레일(147)과 복수의 하부 가이드 부재들(148)을 포함할 수 있다. 상기 하부 가이드 레일(147)은 상기 베이스 플레이트(132)의 전면 하부에서 상기 제1 수평 방향으로 연장할 수 있으며, 상기 하부 가이드 부재들(148)은 상기 픽업 유닛들(102)에 각각 장착되어 상기 제1 수평 방향으로 상기 픽업 유닛들(102)을 안내하기 위하여 상기 하부 가이드 레일(148)에 결합될 수 있다.
특히, 상기 상부 및 하부 가이드부들(140,145)로는 통상의 리니어 모션 가이드(Linear Motion Guide)가 사용될 수 있다. 즉, 상기 각각의 상부 및 하부 가이드 부재들(140,145)로는 복수의 볼들을 포함하는 가이드 블록들이 사용될 수 있으며, 상기 픽업 유닛들(102)은 상기 상부 및 하부 가이드부들(140,145)에 의해 상기 베이스 플레이트(132) 상에서 상기 제1 수평 방향으로만 이동 가능하도록 구성될 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 베이스 프레임을 설명하기 위한 개략적인 정면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 베이스 프레임과 픽업 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 베이스 프레임(130)은 상기 베이스 플레이트(132)의 양측에 각각 배치되는 사이드 플레이트들(134)과 상기 베이스 플레이트(132)의 하부에 배치되는 하부 플레이트(136)를 포함할 수 있다.
상기 베이스 프레임(130)의 하부에는 상기 픽업 유닛들(102) 사이의 간격을 조절하기 위한 간격 조절부(150)가 배치될 수 있다. 상기 간격 조절부(150)는 상기 픽업 유닛들(102) 각각의 하부에 장착되는 간격 조절 롤러들(152; 도 5 참조)과 상기 간격 조절 롤러들(152)을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 캠플레이트(154; 도 5 참조)를 이용하여 상기 픽업 유닛들(102) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 상기 간격 조절부(150)에 대하여는 후술하기로 한다.
상기 픽업 유닛(102)은 수직 방향으로 연장하는 수직 프레임(104)과, 상기 수직 프레임(104)에 수직 방향으로 이동 가능하도록 장착되는 브래킷(106)과, 상기 브래킷(106)에 장착되어 상기 반도체 소자를 픽업하기 위한 피커(112)를 포함할 수 있다.
상기 수직 프레임(104)에는 상기 상부 및 하부 가이드 부재들()이 장착될 수 있으며, 상기 브래킷(106)은 상기 수직 프레임(104)의 전면 상에 이동 가능하게 장착될 수 있다. 일 예로서, 상기 브래킷(106)은 상기 수직 프레임(104)의 전면 상에 이동 가능하게 장착되는 가동 브래킷(108)과, 상기 가동 브래킷(108)의 하부에 분리 가능하도록 장착되어 상기 피커(112)와 결합되는 마운팅 브래킷(110)을 포함할 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 마운팅 브래킷들을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4를 참조하면, 상기 마운팅 브래킷들(110)에 장착된 상기 피커들(112) 사이의 간격과 상기 가동 브래킷들(108) 사이의 간격이 서로 다르게 구성될 수 있다. 즉, 상기 마운팅 브래킷들(110)에 의해 상기 피커들(112) 사이의 간격 조절 범위가 결정될 수 있다. 결과적으로, 상기 마운팅 브래킷들(110)만 교체함으로써 상기 피커들(112) 사이의 간격 조절 범위를 조절할 수 있다.
다시 도 3을 참조하면, 상기 픽업 유닛(102)은 상기 수직 프레임(104)에 장착되어 상기 가동 브래킷(108)과 연결되며 상기 가동 브래킷(108)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(114)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 수직 구동부(114)로는 리니어 모터가 사용될 수 있다. 이 경우, 상기 수직 프레임(104)의 중앙 부위에는 상기 수직 구동부(114)를 장착하기 위한 리세스가 구비될 수 있다.
또한, 상기 수직 프레임(104)의 전면 상부와 하부에는 상기 가동 브래킷(108)의 수직 방향 이동을 안내하기 위한 수직 가이드부들(116A,116B)이 각각 구비될 수 있다. 일 예로서, 상기 수직 가이드부들(116A,116B)로는 리니어 모션 가이드가 사용될 수 있다.
상기 상부 수직 가이드부(116A)의 상부에는 수직축 엔코더(118)와 수직축 스케일(미도시)이 장착될 수 있다. 또한, 상기 가동 브래킷(108)의 상부에는 센싱 도그(120)가 장착될 수 있으며, 상기 수직 프레임(104)의 전면 상단 부위에는 상기 수직 구동부(114)의 원점을 검출하기 위하여 상기 센싱 도그(120)를 검출하는 원점 센서(122)가 장착될 수 있다. 일 예로서, 상기 원점 센서(122)로는 광 센서가 사용될 수 있다.
한편, 상기 수직 프레임(104)의 상단 부위에는 상부 브래킷(124)이 장착될 수 있으며, 도시된 바와 같이, 상기 상부 브래킷(124)과 상기 가동 브래킷(108) 사이에는 코일 스프링(126)이 장착될 수 있다. 상기 코일 스프링(126)은 상기 수직 구동부(114)에 전원이 차단된 경우 상기 가동 브래킷(108)의 처짐을 방지하기 위하여 구비될 수 있다. 즉, 상기 수직 구동부(114)에 전원이 차단되는 경우라도 상기 피커들(112)은 일정한 높이를 유지할 수 있다.
도 5는 도 2 및 도 3에 도시된 간격 조절부를 설명하기 위한 개략적인 저면도이다.
도 2, 도 3 및 도 5를 참조하면, 상기 간격 조절부(150)는 상기 픽업 유닛들(102) 각각에 장착되며 수직 방향의 회전축을 갖는 간격 조절 롤러들(152)과, 상기 간격 조절 롤러들(152)이 삽입되는 캠슬롯들(156)을 갖는 캠플레이트(154)와, 상기 캠플레이트(154)를 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부(158)를 포함할 수 있다.
상기 간격 조절 롤러들(152)은 상기 픽업 유닛들(102)의 수직 프레임들(104) 하부에 장착될 수 있으며, 상기 캠플레이트(154)는 상기 간격 조절 롤러들(152)이 상기 캠슬롯들(156)에 삽입되도록 배치될 수 있다. 이때, 상기 캠슬롯들(156)은 상기 픽업 유닛들(102) 사이의 간격 조절을 위하여 서로 다른 방향으로 연장할 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 캠슬롯들(156)은 부채꼴 형태를 이루도록 각각 연장할 수 있다.
상기 캠플레이트(154)는 상기 베이스 프레임(130)의 하부면 즉 상기 하부 플레이트(136)의 하부면 상에서 상기 제2 수평 방향으로 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 캠플레이트(154)는 상기 하부 플레이트(136)의 하부면 상에서 상기 제2 수평 방향으로 연장하는 수평 가이드부들(160)을 통해 상기 하부 플레이트(136)에 장착될 수 있다. 일 예로서, 상기 수평 가이드부들(160)로는 리니어 모션 가이드들이 사용될 수 있다.
상기 수평 구동부(158)로는 도시된 바와 같이 공압 또는 유압 실린더가 사용될 수 있다. 그러나, 상기와 다르게, 상기 수평 구동부(158)는 상기 캠플레이트(154)에 장착되는 볼 블록과, 상기 볼 블록에 결합되는 볼 스크루 및 상기 볼 스크루를 회전시키기 위한 구동 모터 등으로 구성될 수도 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 픽업 장치(100)는 상기 상부 및 하부 가이드부들(140,145)을 이용하여 상기 픽업 유닛들(102)을 상기 제1 수평 방향으로 안내하므로 하나의 수평 가이드부를 이용하는 경우와 비교하여 상기 픽업 유닛들(102) 사이의 안정적인 간격 조절이 가능하다. 그러나, 상기 간격 조절부(150)에 의한 힘의 작용점이 상기 수직 프레임(104)의 하부에 위치되므로, 상기 픽업 유닛들(102)에는 상기 하부 가이드부들(145)을 회전 중심으로 하는 요동 운동 즉 흔들림이 발생될 수 있다. 상기 픽업 유닛들(102)의 흔들림은 상기 상부 및 하부 가이드부들(140,145)의 상부 및 하부 가이드 레일들(142,147)과 상부 및 하부 가이드 부재들(143,148) 사이의 조립 공차에 기인하는 것으로 판단될 수 있다. 특히, 상기와 같은 상부 및 하부 가이드부들(140,145)의 조립 공차에 기인하는 픽업 유닛들(102)의 흔들림은 동일한 형태의 가이드부를 추가적으로 설치하는 경우에도 유사하게 발생될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 반도체 소자 픽업 장치(100)는 상기 픽업 유닛들(102)의 흔들림을 감소시키기 위하여 중앙 가이드부(170)를 포함할 수 있다.
상기 중앙 가이드부(170)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상기 상부 및 하부 가이드부들(140,145) 사이에서 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 픽업 유닛들(102)을 상기 제1 수평 방향으로 안내할 수 있다. 예를 들면, 상기 중앙 가이드부(170)는 상기 상부 및 하부 가이드부들(140,145) 사이에서 상기 제1 수평 방향으로 연장하는 상부면과 하부면을 갖는 중앙 가이드 레일(172)과, 상기 픽업 유닛들(102)에 장착되어 상기 중앙 가이드 레일(172)의 상부면과 하부면을 따라 이동 가능하도록 구성되는 복수의 중앙 가이드 부재들을 포함할 수 있다.
특히, 상기 중앙 가이드 부재들 각각은 상기 픽업 유닛들(102) 각각에 장착되어 상기 중앙 가이드 레일(172)의 상부면과 하부면에 각각 밀착되는 복수의 가이드 롤러들(174A,174B)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 하나의 픽업 유닛(102)에는 상기 중앙 가이드 레일(172)의 상부면에 밀착되는 두 개의 상부 가이드 롤러들(174A)과 상기 중앙 가이드 레일(172)의 하부면에 밀착되는 두 개의 하부 가이드 롤러들(174B)을 포함할 수 있다. 상기 상부 및 하부 가이드 롤러들(174A,174B)은 마운팅 블록(176)을 통하여 상기 픽업 유닛(102)의 수직 프레임(104)에 장착될 수 있다.
상술한 바와 같이 상기 상부 및 하부 가이드 롤러들(174A,174B)이 상기 중앙 가이드 레일(172)의 상부면과 하부면에 각각 밀착되므로 상기 중앙 가이드부(170)에서는 상기 상부 및 하부 가이드부들(140,145)과는 다르게 조립 공차가 요구되지 않는다. 따라서, 상기 픽업 유닛들(102) 사이의 간격 조절시 상기 픽업 유닛(102)의 흔들림이 충분히 감소될 수 있으며, 이에 따라 상기 픽업 유닛들(102) 사이의 간격 조절이 안정적으로 그리고 정확하게 이루어질 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 반도체 소자 픽업 장치 102 : 픽업 유닛
104 : 수직 프레임 106 : 브래킷
112 : 피커 130 : 베이스 프레임
132 : 베이스 플레이트 140 : 상부 가이드부
145 : 하부 가이드부 150 : 간격 조절부
152 : 간격 조절 롤러 154 : 캠플레이트
170 : 중앙 가이드부 172 : 중앙 가이드 레일
174A,174B : 가이드 롤러

Claims (9)

  1. 수평 방향으로 연장하는 전면을 갖는 베이스 프레임;
    각각 수직 방향으로 연장하며 진공압을 이용하여 각각 반도체 소자를 픽업하기 위한 복수의 픽업 유닛들;
    상기 베이스 프레임의 전면 상에서 상기 수평 방향으로 나란하게 연장하며 상기 픽업 유닛들이 상기 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 베이스 프레임과 상기 픽업 유닛들을 서로 결합하는 상부 가이드부 및 하부 가이드부;
    상기 상부 및 하부 가이드부들 사이에서 상기 수평 방향으로 연장하며 상기 픽업 유닛들을 상기 수평 방향으로 안내하는 중앙 가이드부; 및
    상기 베이스 프레임의 하부에 배치되며 상기 픽업 유닛들 사이의 간격을 조절하기 위한 간격 조절부를 포함하되,
    상기 간격 조절부는,
    상기 픽업 유닛들에 각각 장착되며 수직 방향의 회전축을 갖는 복수의 간격 조절 롤러들;
    상기 간격 조절 롤러들이 삽입되며 상기 픽업 유닛들 사이의 간격을 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 캠슬롯들을 갖는 캠플레이트; 및
    상기 캠플레이트를 상기 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 중앙 가이드부는,
    상기 상부 및 하부 가이드부들 사이에서 상기 수평 방향으로 연장하는 상부면과 하부면을 갖는 중앙 가이드 레일; 및
    상기 픽업 유닛들에 장착되어 상기 중앙 가이드 레일의 상부면과 하부면을 따라 이동 가능하도록 구성되는 복수의 중앙 가이드 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.
  3. 제2항에 있어서, 각각의 중앙 가이드 부재는 상기 픽업 유닛들 각각에 장착되어 상기 중앙 가이드 레일의 상부면 및 하부면에 밀착되는 복수의 가이드 롤러들을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 상부 및 하부 가이드부들은,
    상기 베이스 프레임의 전면 상에서 상기 수평 방향으로 나란하게 연장하는 상부 및 하부 가이드 레일들; 및
    상기 픽업 유닛들에 각각 장착되며 상기 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 상부 및 하부 가이드 레일들에 결합되는 복수의 상부 및 하부 가이드 부재들을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.
  5. 제1항에 있어서, 각각의 픽업 유닛은,
    수직 방향으로 연장하는 수직 프레임;
    상기 수직 프레임에 수직 방향으로 이동 가능하도록 장착되는 브래킷; 및
    상기 브래킷에 장착되어 상기 반도체 소자를 픽업하기 위한 피커를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.
  6. 제5항에 있어서, 각각의 픽업 유닛은 상기 수직 프레임에 장착되어 상기 브래킷과 연결되며 상기 브래킷을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 수직 구동부는 리니어 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.
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