KR20100130395A - 반도체소자용 픽업장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 제1평면 및 상기 제1평면과 일측이 맞닿은 제2평면을 가진 기저부;상기 제1ㆍ제2평면이 맞닿은 부분을 따라 일방향으로 왕복 이송될 수 있도록 가이드부재를 통해 상기 기저부에 설치되는 복수의 피커몸체;상기 피커몸체에 각각 설치되어 반도체소자를 파지하는 복수의 피커;상기 피커몸체의 일측부에 구비된 제1팔로워가 각각 설치되는 복수의 제1안내장공이 형성되고, 상기 피커몸체의 이송방향에 대해 직각방향으로 왕복 이송될 수 있도록 제1안내부재를 통해 상기 기저부에 설치되는 구동플레이트;상기 피커몸체의 타측부에 구비된 제2팔로워가 각각 설치되는 복수의 제2안내장공이 형성되고, 상기 피커몸체의 이송방향에 대해 직각방향으로 자유로이 왕복 이송될 수 있도록 제2안내부재를 통해 상기 기저부에 설치되는 안내플레이트; 및상기 구동플레이트를 왕복 이송하는 구동부;를 포함하되,상기 구동플레이트의 왕복 이송에 따라 상기 제1ㆍ제2팔로워가 상기 제1ㆍ제2안내장공 내에서 안내 이송되어 상기 복수의 피커의 간격이 조절되는 것을 특징으로 하는 반도체소자용 픽업장치.
- 제1항에 있어서,상기 구동플레이트는,수평하게 구비된 상기 제1평면상에 설치되어 수평 이송되고,상기 안내플레이트는,수직하게 구비된 상기 제2평면에 대하여 기울기를 갖는 연결체를 통해 상기 기저부에 설치되어 경사지게 승강 이송되는 것을 특징으로 하는 반도체소자용 픽업장치.
- 제2항에 있어서,상기 안내플레이트는,하강 이송된 경우 인장되어 상측 방향으로 탄성력을 인가하도록 상기 안내플레이트와 상기 기저부를 연결하는 하나 이상의 탄성부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체소자용 픽업장치.
- 제1항에 있어서,상기 피커몸체는,상기 제1평면과 평행하게 구비되는 제1암; 및상기 제2평면과 평행하게 구비되는 제2암;을 포함하며,상기 제1ㆍ제2팔로워는,상기 제1ㆍ제2암의 끝단부에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체소자용 픽업장치.
- 제1항에 있어서,상기 피커는,상기 피커몸체에 승강할 수 있도록 가이드체를 통해 연결된 승강부재의 하단에 구비되어, 상기 승강부재를 통해 상기 피커몸체에 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체소자용 픽업장치.
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