KR102156153B1 - 전자부품 이송용 픽커장치 - Google Patents

전자부품 이송용 픽커장치 Download PDF

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KR102156153B1 KR1020140068809A KR20140068809A KR102156153B1 KR 102156153 B1 KR102156153 B1 KR 102156153B1 KR 1020140068809 A KR1020140068809 A KR 1020140068809A KR 20140068809 A KR20140068809 A KR 20140068809A KR 102156153 B1 KR102156153 B1 KR 102156153B1
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Abstract

본 발명은 전자부품을 흡착하기 위한 제1픽커, 전자부품을 흡착하기 위한 제2픽커, 상기 제1픽커의 이동을 가이드하는 제1가이드부, 상기 제2픽커의 이동을 가이드하는 제2가이드부, 상기 제1픽커와 상기 제2픽커 간의 간격을 조절하기 위한 간격조절부, 및 상기 제1픽커와 상기 제2픽커 간의 간격이 좁아지는 경우 상기 제2픽커의 일부 및 상기 제1픽커의 일부를 중첩시키기 위한 회피홈을 포함하는 전자부품 이송용 픽커장치에 관한 것이다.

Description

전자부품 이송용 픽커장치{Picker Apparatus for Transferring Electronic Component}
본 발명은 전자부품을 이송하기 위한 전자부품 이송용 픽커장치에 관한 것이다.
메모리 반도체 소자, 비메모리 반도체 소자, CPU(Central Processing Unit) 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 예컨대, 전자부품은 번인 소팅 핸들러, 테스트 핸들러 등과 같은 핸들러장비를 통해 테스트 공정을 거쳐 등급별로 분류되는 등 여러 가지 공정을 거치게 된다.
이러한 핸들러장비는 전자부품을 이송하기 위한 픽커장치를 포함한다. 상기 픽커장치는 고객트레이(User Tray)로부터 테스트될 전자부품들을 픽업하여 테스트 트레이(Test Tray) 또는 번인보드(Burn-in Board)(이하, '테스트 트레이'라 함)에 수납시키는 로딩공정을 수행한다. 상기 픽커장치는 테스트 트레이로부터 테스트된 전자부품들을 픽업하여 고객트레이에 수납시키는 언로딩공정을 수행한다.
여기서, 전자부품들은 고객트레이와 테스트 트레이에서 각각 서로 다른 간격으로 수납된다. 따라서, 전자부품 이송용 픽커장치는 로딩공정 및 언로딩공정을 수행하는 과정에서 전자부품들의 간격을 조절하여야 한다.
도 1 및 도 2는 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치가 전자부품들의 간격을 조절하는 상태를 나타낸 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(100)는 설치판(101), 베이스판(102), 캠판(103), 및 픽커(104)를 포함한다.
상기 설치판(101)은 베이스판(102), 캠판(103), 및 픽커(104)를 지지한다. 상기 설치판(101)이 이동함에 따라, 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(100)는 로딩공정 및 언로딩공정을 수행하는 과정에서 전자부품들은 운반할 수 있다.
상기 베이스판(102)은 상기 설치판(101)에 수직방향(A 화살표 방향)으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 베이스판(102)이 이동함에 따라, 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(100)는 로딩공정을 수행하는 과정에서 고객트레이로부터 전자부품들을 픽업할 수 있고, 테스트 트레이에 전자부품들을 수납시킬 수 있다. 상기 베이스판(102)이 이동함에 따라, 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(100)는 언로딩공정을 수행하는 과정에서 테스트 트레이로부터 전자부품들을 픽업할 수 있고, 고객트레이에 전자부품들을 수납시킬 수 있다.
상기 캠판(103)은 상기 베이스판(102)에 수직방향(A 화살표 방향)으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 캠판(103)은 서로 다른 기울기로 경사지게 형성된 복수개의 캠홈(1031)을 포함한다.
상기 픽커(104)는 상기 베이스판(102)에 수평방향(B 화살표 방항)으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 픽커(104)는 전자부품을 흡착할 수 있는 노즐(1041)을 포함한다. 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 픽커(104)를 복수개 포함한다.
상기 픽커(104)들은 상기 캠홈(1031)들 각각에 이동 가능하게 결합된다. 상기 캠판(103)이 수직방향(A 화살표 방향)으로 이동하면, 상기 픽커(104)들은 상기 캠홈(1031)들 각각이 이루는 기울기를 따라 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동한다. 이에 따라, 상기 픽커(104)들은 간격이 조절된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 캠판(103)이 제1위치(C)에 위치되면, 상기 픽커(104)들은 간격이 최소로 조절된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 캠판(103)이 제2위치(D)에 위치되면, 상기 픽커(104)들은 간격이 최대로 조절된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(100)는 로딩공정 및 언로딩공정을 수행하는 과정에서 전자부품들의 간격을 조절할 수 있다.
상기 픽커(104)들은 상기 베이스판(102)에 설치된 가이드레일(1042)를 따라 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동한다. 상기 픽커(104)들에는 가이드레일(1042)에 이동 가능하게 결합되는 가이드블록(미도시)들이 설치되어 있다. 상기 픽커(104)들은 상기 가이드레일(1042)에 의해 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동이 가이드됨으로써, 간격이 정확하게 조절될 수 있다.
최근 핸들러장비는 짧은 시간에 더 많은 전자부품들을 등급별로 분류할 수 있도록 개발되고 있다. 이를 위해, 테스트 트레이는 더 많은 개수의 전자부품을 수납할 수 있도록 구현된다.
테스트 트레이가 더 많은 개수의 전자부품들을 수납할 수 있음에 따라, 로딩공정 및 언로딩공정에 걸리는 시간이 증가할 수밖에 없다. 이러한 시간 증가를 줄이기 위해서는, 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(100)가 한번에 더 많은 개수의 전자부품들을 이송할 수 있어야 한다. 즉, 상기 베이스판(102)에는 더 많은 개수의 픽커(104)들이 결합되어야 한다.
그러나, 상기 픽커(104)들의 개수를 증가시키면, 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(100)는 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 상기 픽커(104)들의 개수가 증가할수록 상기 베이스판(102)의 크기가 커져야 한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(100)는 전체 크기가 커짐으로써, 로딩공정 및 언로딩공정을 수행하는 과정에서 이동 속도가 감소된다. 결국, 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(100)는 짧은 시간에 더 많은 개수의 전자부품들을 등급별로 분류하고자 하는 소기의 목적을 달성하지 못하게 되는 문제가 있다.
둘째, 상기 픽커(104)의 개수를 증가시키면서 상기 베이스판(102)의 크기 증가를 줄이기 위해, 상기 픽커(104)의 폭(104L, 도 2에 도시됨)을 줄이는 방안이 있다. 그러나, 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(100)는 상기 픽커(104)의 폭(104L)을 줄이면, 상기 가이드레일(1042)에 이동 가능하게 결합되는 가이드블록의 폭 또한 줄어들게 된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 픽커(104)들과 상기 가이드레일(1042) 간의 결합력이 약해지게 되고, 상기 픽커(104)들의 이동을 가이드하는 가이드레일(1042)의 기능이 저하되게 된다. 따라서, 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(100)는 상기 픽커(104)들이 정확한 간격을 유지하면서 이동할 수 없으므로, 전자부품들의 간격을 정확하게 조절할 수 없는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 한번에 더 많은 전자부품들을 이송할 수 있으면서도 전자부품들의 간격을 정확하게 조절할 수 있는 전자부품 이송용 픽커장치를 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치는 전자부품을 흡착하기 위한 제1픽커; 상기 제1픽커에 결합되는 제1가이드블록; 전자부품을 흡착하기 위한 제2픽커; 상기 제2픽커에 결합되는 제2가이드블록; 상기 제1가이드블록이 수평방향으로 이동 가능하게 결합되는 제1가이드레일; 상기 제2가이드블록이 상기 수평방향으로 이동 가능하게 결합되는 제2가이드레일; 상기 제1가이드블록과 상기 제2가이드블록이 수직방향으로 서로 다른 높이에 위치되도록, 상기 제1가이드레일과 상기 제2가이드레일이 상기 수직방향으로 서로 이격되게 결합되는 베이스부; 및 상기 수평방향으로 상기 제1픽커와 상기 제2픽커 간의 간격을 조절하기 위한 간격조절부를 포함할 수 있다. 상기 제1픽커는 상기 제1가이드블록이 결합되는 제1돌출부재, 및 상기 제2픽커가 삽입되기 위한 회피홈을 포함할 수 있다. 상기 제2픽커는 상기 제2가이드블록이 결합되는 제2돌출부재를 포함할 수 있다. 상기 제2돌출부재는 상기 제1픽커와 상기 제2픽커 간의 간격이 좁아지는 경우, 상기 제1픽커를 회피하여 상기 제1픽커와 중첩되도록 상기 회피홈에 삽입될 수 있다.
본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치는 전자부품을 흡착하기 위한 제1픽커; 전자부품을 흡착하기 위한 제2픽커; 상기 제1픽커의 이동을 가이드하는 제1가이드부; 상기 제2픽커의 이동을 가이드하는 제2가이드부; 및 상기 제1픽커와 상기 제2픽커 간의 간격을 조절하기 위한 간격조절부를 포함할 수 있다. 상기 제1픽커는 상기 제1가이드부에 결합되는 제1돌출부재, 및 상기 제2픽커가 삽입되기 위한 회피홈을 포함할 수 있다. 상기 제2픽커는 상기 제2가이드부에 결합되는 제2돌출부재를 포함할 수 있다. 상기 제2돌출부재는 상기 제1픽커와 상기 제2픽커 간의 간격이 좁아지는 경우, 상기 제1픽커를 회피하여 상기 제1픽커와 중첩되도록 상기 회피홈에 삽입될 수 있다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 픽커와 가이드부 간의 결합력을 증대시킬 수 있도록 구현됨으로써, 픽커들 간의 간격을 조절하는 작업 및 전자부품들 간의 간격을 조절하는 작업에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 픽커들 간의 간격을 조절하는 작업에 대한 정확성을 향상시킬 수 있으면서도 전체적인 크기 및 중량이 증대되는 정도를 감소시킬 수 있도록 구현됨으로써, 전자부품을 이송하는데 걸리는 시간을 단축하는데 기여할 수 있다.
도 1 및 도 2는 종래 기술에 따른 전자부품 이송용 픽커장치가 전자부품들의 간격을 조절하는 상태를 나타낸 정면도
도 3은 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치의 개략적인 사시도
도 4 및 도 5는 제1픽커 및 제2픽커의 간격이 조절되는 과정을 설명하기 위한 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치의 개략적인 정면도
도 6은 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치에 있어서 회피홈이 형성된 제1픽커의 개략적인 측면도
도 7은 제1가이드부와 제2가이드부를 설명하기 위한 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치의 개략적인 배면도
도 8 및 도 9는 간격조절부가 픽커들의 간격을 조절하는 과정을 설명하기 위한 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치의 개략적인 정면도
도 10 및 도 11은 제3픽커 및 제4픽커의 간격이 조절되는 과정을 설명하기 위한 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치의 개략적인 정면도
도 12는 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치에 있어서 삽입홈이 형성된 제4픽커의 개략적인 측면도
도 13은 제3가이드부와 제4가이드부를 설명하기 위한 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치의 개략적인 배면도
도 14는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 전자부품 이송용 픽커장치의 개략적인 배면도
이하에서는 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3 내지 도 6을 참고하면, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 전자부품을 테스트하여 등급별로 분류하는 번인 소팅 핸들러, 테스트 핸들러 등과 같은 핸들러장비에 설치된다. 전자부품은 메모리 반도체 소자, 비메모리 반도체 소자, CPU 등일 수 있다.
본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 핸들러장비에서 전자부품에 대한 로딩공정 및 언로딩공정을 수행한다. 상기 로딩공정은 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)가 고객트레이로부터 테스트될 전자부품들을 픽업하여 테스트 트레이에 수납시키는 공정이다. 상기 언로딩공정은 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)가 테스트 트레이로부터 테스트된 전자부품들을 픽업하여 고객트레이에 수납시키는 공정이다.
본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 전자부품을 흡착하기 위한 제1픽커(21), 전자부품을 흡착하기 위한 제2픽커(22), 상기 제1픽커(21)의 이동을 가이드하는 제1가이드부(31), 상기 제2픽커(22)의 이동을 가이드하는 제2가이드부(32), 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22)의 간격을 조절하기 위한 간격조절부(4)를 포함한다.
상기 간격조절부(4)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22) 간의 간격이 벌어지도록 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22)를 이동시킨다. 상기 간격조절부(4)는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22) 간의 간격이 벌어지도록 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22)를 이동시킨다.
상기 제1픽커(21)는 상기 제1가이드부(31)에 결합되는 제1돌출부재(211), 및 상기 제2픽커(22)가 삽입되기 위한 회피홈(212, 도 6에 도시됨)을 포함한다. 상기 제1가이드부(31)는 상기 제1돌출부재(211)의 이동을 가이드함으로써, 상기 제1픽커(21)의 이동을 가이드한다. 상기 제2픽커(22)는 상기 제2가이드부(32)에 결합되는 제2돌출부재(221)를 포함한다. 상기 제2가이드부(32)는 상기 제2돌출부재(221)의 이동을 가이드함으로써, 상기 제2픽커(22)의 이동을 가이드한다.
상기 제2돌출부재(221)는 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22)의 간격이 좁아지는 경우, 상기 회피홈(212)에 삽입된다. 이에 따라, 상기 제2돌출부재(221)는 상기 제1픽커(21)를 회피하여 상기 제1픽커(21)와 중첩된다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제1돌출부재(211)를 통해 상기 제1픽커(21)와 상기 제1가이드부(31)가 결합되는 결합면적을 증대시킴으로써, 상기 제1픽커(21)와 상기 제1가이드부(31) 간의 결합력을 강화할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제2돌출부재(221)를 통해 상기 제2픽커(22)와 상기 제2가이드부(32)가 결합되는 결합면적을 증대시킴으로써, 상기 제2픽커(22)와 상기 제2가이드부(32) 간의 결합력을 강화할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22) 간의 간격을 조절하는 작업 및 전자부품들 간의 간격을 조절하는 작업에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제2돌출부재(221)가 상기 회피홈(212)에 삽입되어 상기 제1픽커(21)와 중첩되도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22) 간의 간격을 조절하는 작업에 대한 정확성을 향상시킬 수 있으면서도, 전체적인 크기 및 중량이 증대되는 정도를 감소시킬 수 있다.
이하에서는 상기 제1픽커(21), 상기 제2픽커(22), 상기 제1가이드부(31), 상기 제2가이드부(32), 및 상기 간격조절부(4)를 첨부된 도면을 참고하여 구체적으로 설명한다.
도 3 내지 도 6을 참고하면, 상기 제1픽커(21)는 전자부품을 흡착하기 위한 것이다. 상기 제1픽커(21)는 상기 제1가이드부(31)를 따라 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동한다. 상기 수평방향(B 화살표 방향)은 상기 제1픽커(21)와 상기 제2기판(22) 간의 간격이 조절되는 방향이다.
상기 제1픽커(21)는 상기 제1돌출부재(211)를 포함한다. 상기 제1돌출부재(211)는 상기 제1가이드부(31)에 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1돌출부재(211)는 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제1픽커(21)로부터 돌출되게 형성된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제1픽커(21)가 상기 제1가이드부(31)에 결합되기 위한 결합면적을 증대시킴으로써, 상기 제1픽커(21)와 상기 제1가이드부(31) 간의 결합력을 증대시킬 수 있다. 상기 제1돌출부재(211)는 상기 제2픽커(22)에서 상기 제1픽커(21)를 향하는 제1방향(C 화살표 방향)으로 돌출되게 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제1돌출부재(211)에 방해됨이 없이 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22) 간의 간격을 좁힐 수 있다.
상기 제1픽커(21)는 상기 회피홈(212)을 포함한다. 상기 회피홈(212)은 상기 제1픽커(21)의 일면에 형성된다. 상기 제1픽커(21)의 일면은 상기 제1픽커(21)에서 상기 제1가이드부(31)를 향하는 면이다. 상기 회피홈(212)은 수직방향(A 화살표 방향)으로 상기 제1돌출부재(211)로부터 이격된 위치에 형성된다. 상기 회피홈(212)은 상기 제1돌출부재(211)으로부터 상측으로 이격된 위치에 형성될 수 있다.
상기 제1픽커(21)는 제1노즐(213)을 포함한다. 상기 제1노즐(213)은 전자부품을 흡착한다. 상기 제1노즐(213)은 유체를 흡입하기 위한 흡입력을 발생시키는 흡입장치(미도시)에 연결된다. 전자부품은 상기 제1노즐(213)에 접촉된 상태에서 상기 흡입장치가 발생시킨 흡입력에 의해 상기 제1노즐(213)에 흡착된다. 상기 제1픽커(21)는 상기 제1노즐(213)을 복수개 포함할 수 있다.
상기 제1픽커(21)는 제1픽커본체(214)를 포함한다. 상기 제1픽커본체(214)에는 상기 제1노즐(213)이 결합된다. 상기 제1돌출부재(211)는 상기 제1픽커본체(214)에서 상기 제1방향(C 화살표 방향)으로 돌출되게 형성된다. 상기 회피홈(212)은 상기 제1픽커본체(214)의 일면에 형성된다. 상기 제1픽커본체(214)의 일면은 상기 제1가이드부(31)를 향하는 면이다. 상기 제1픽커본체(214)는 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 회피홈(212)이 형성되도록 절곡되어 형성된다. 상기 제1픽커본체(214)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제2픽커(22)를 향하는 면이 평평하게 형성될 수 있다.
도 3 내지 도 6을 참고하면, 상기 제2픽커(22)는 전자부품을 흡착하기 위한 것이다. 상기 제2픽커(22)는 상기 제2가이드부(32)를 따라 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동한다.
상기 제2픽커(22)는 상기 제2돌출부재(221)를 포함한다. 상기 제2돌출부재(221)는 상기 제2가이드부(32)에 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 제2돌출부재(221)는 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제2픽커(22)로부터 돌출되게 형성된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제2픽커(22)가 상기 제2가이드부(32)에 결합되기 위한 결합면적을 증대시킴으로써, 상기 제2픽커(22)와 상기 제2가이드부(32) 간의 결합력을 증대시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22) 간의 간격을 조절하는 작업에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.
상기 제2돌출부재(221)는 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22) 간의 간격이 좁아지는 경우, 상기 제1픽커(21)를 회피하여 상기 제1픽커(21)와 중첩되도록 상기 회피홈(212)에 삽입된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제2돌출부재(221)에 방해됨이 없이 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22) 간의 간격을 좁힐 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제2돌출부재(221)를 통해 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22) 간의 간격을 조절하는 작업에 대한 정확성을 향상시킬 수 있으면서도, 상기 제2돌출부재(221)로 인해 전체적인 크기 및 중량이 증대되는 정도를 감소시킬 수 있다.
상기 제2돌출부재(221)는 상기 제1방향(C 화살표 방향)으로 돌출되게 형성될 수 있다. 상기 제2픽커(22)는 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 상기 제2돌출부재(221)가 상기 회피홈(212)에 대응되는 높이에 위치되게 설치된다. 이에 따라, 상기 제2돌출부재(221) 및 상기 제1돌출부재(211)는 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 서로 이격되게 위치된다. 예컨대, 상기 제2돌출부재(221)는 상기 제1돌출부재(211)에 비해 높은 위치에 위치될 수 있다. 따라서, 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22) 간의 간격이 좁아지는 경우, 상기 제2돌출부재(221)는 상기 제1돌출부재(211)에 방해됨이 없이 상기 회피홈(212)에 삽입된다.
상기 제2픽커(22)는 제2노즐(222)을 포함한다. 상기 제2노즐(222)은 전자부품을 흡착한다. 상기 제2노즐(222)은 유체를 흡입하기 위한 흡입력을 발생시키는 흡입장치(미도시)에 연결된다. 전자부품은 상기 제2노즐(222)에 접촉된 상태에서 상기 흡입장치가 발생시킨 흡입력에 의해 상기 제2노즐(222)에 흡착된다. 상기 제2픽커(22)는 상기 제2노즐(222)을 복수개 포함할 수 있다.
상기 제2픽커(22)는 제2픽커본체(223)를 포함한다. 상기 제2픽커본체(223)에는 상기 제2노즐(222)이 결합된다. 상기 제2돌출부재(221)는 상기 제2픽커본체(223)에서 상기 제1방향(C 화살표 방향)으로 돌출되게 형성된다.
도 7을 참고하면, 상기 제1가이드부(31)는 상기 제1픽커(21)의 이동을 가이드한다. 상기 제1가이드부(31)는 베이스부(5)에 결합된다. 상기 베이스부(5)는 상기 핸들러장비에 결합된다. 상기 베이스부(5)는 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 승강될 수 있다. 상기 베이스부(5)가 승강함에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 로딩공정 및 상기 언로딩공정을 수행하는 과정에서 승강할 수 있다.
상기 제1가이드부(31)는 제1가이드레일(311) 및 제1가이드블록(312)을 포함할 수 있다.
상기 제1가이드레일(311)은 상기 베이스부(5)에 결합된다. 상기 제1가이드레일(311)은 상기 수평방향(B 화살표 방향)과 평행하도록 상기 베이스부(5)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제1픽커(21)는 상기 제1가이드레일(311)을 따라 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 직선 이동할 수 있다.
상기 제1가이드블록(312)은 일측이 상기 제1픽커(21)에 결합된다. 상기 제1가이드블록(312)은 상기 제1돌출부재(211)에 결합된다. 상기 제1가이드블록(312)은 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제1돌출부재(211)와 대략 일치하는 길이로 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제1가이드블록(312)의 길이를 증대시킴으로써, 상기 제1가이드부(31)가 상기 제1픽커(21)의 이동을 가이드하는 기능을 강화할 수 있다.
상기 제1가이드블록(312)은 타측이 상기 제1가이드레일(311)에 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1픽커(21)는 상기 제1가이드블록(312)을 통해 상기 제1가이드레일(311)에 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동 가능하게 결합된다.
도 7을 참고하면, 상기 제2가이드부(32)는 상기 제2픽커(22)의 이동을 가이드한다. 상기 제2가이드부(32)는 상기 베이스부(5)에 결합된다. 상기 제2가이드부(32)는 제2가이드레일(321) 및 제2가이드블록(322)을 포함할 수 있다.
상기 제2가이드레일(321)은 상기 베이스부(5)에 결합된다. 상기 제2가이드레일(321)은 상기 수평방향(B 화살표 방향)과 평행하도록 상기 베이스부(5)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제2픽커(22)는 상기 제2가이드레일(321)을 따라 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 직선 이동할 수 있다.
상기 제2가이드블록(322)은 일측이 상기 제2픽커(22)에 결합된다. 상기 제2가이드블록(322)은 상기 제2돌출부재(221)에 결합된다. 상기 제2가이드블록(322)은 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제2돌출부재(221)와 대략 일치하는 길이로 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제2가이드블록(322)의 길이를 증대시킴으로써, 상기 제2가이드부(32)가 상기 제2픽커(22)의 이동을 가이드하는 기능을 강화할 수 있다.
상기 제2가이드블록(322)은 타측이 상기 제2가이드레일(321)에 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 제2픽커(22)는 상기 제2가이드블록(322)을 통해 상기 제2가이드레일(321)에 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동 가능하게 결합된다.
상기 제2가이드블록(322) 및 상기 제1가이드블록(312)은 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 서로 다른 높이에 위치된다. 이 경우, 상기 제2가이드레일(321) 및 상기 제1가이드레일(311)은 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 서로 이격되게 상기 베이스부(5)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22) 간의 간격이 좁아지는 경우, 상기 제2가이드블록(322)은 상기 제1가이드블록(312)에 방해됨이 없이 상기 제2돌출부재(221)와 함께 상기 회피홈(212)에 삽입될 수 있다. 상기 제2가이드레일(321)은 상기 제2가이드블록(322)이 상기 제1가이드블록(312)에 비해 높은 위치에 위치되도록 상기 제1가이드레일(311)로부터 상측으로 이격된 위치에 위치되게 상기 베이스부(5)에 결합될 수 있다.
도 8 및 도 9를 참고하면, 상기 간격조절부(4)는 상기 제1픽커(21)와 상기 제2픽커(22) 간의 간격을 조절한다. 상기 간격조절부(4)는 캠판(41), 및 구동부(42)를 포함할 수 있다.
상기 캠판(41)은 상기 베이스부(5)에 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 승강 가능하게 결합된다. 상기 캠판(41)은 상기 제1픽커(21)가 이동 가능하게 결합되는 제1캠홈(411), 및 상기 제2픽커(22)가 이동 가능하게 결합되는 제2캠홈(412)을 포함한다. 상기 제1캠홈(411) 및 상기 제2캠홈(412)은 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 서로 이격되게 형성된다. 상기 제1캠홈(411) 및 상기 제2캠홈(412)은 서로 다른 기울기로 경사지게 형성된다. 상기 제1캠홈(411) 및 상기 제2캠홈(412)은 하측을 향할수록 서로 간의 간격이 벌어지게 형성될 수 있다.
상기 제1캠홈(411)에는 상기 제1픽커(21)의 제1이동부재(215)가 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1이동부재(215)가 상기 제1캠홈(411)을 따라 이동하면, 상기 제1픽커(21)가 상기 제2픽커(22)에 가까워지는 방향 및 상기 제2픽커(22)로부터 멀어지는 방향으로 이동한다. 상기 제1이동부재(215)는 상기 제1픽커본체(214)에 회전 가능하게 결합된다.
상기 제2캠홈(412)에는 상기 제2픽커(22)의 제2이동부재(224)가 이동 가능하게 결합된다. 상기 제2이동부재(224)가 상기 제2캠홈(412)을 따라 이동하면, 상기 제2픽커(22)가 상기 제1픽커(21)에 가까워지는 방향 및 상기 제1픽커(21)로부터 멀어지는 방향으로 이동한다. 상기 제2이동부재(224)는 상기 제2픽커본체(223)에 회전 가능하게 결합된다.
상기 구동부(42)는 상기 베이스부(5)에 결합된다. 상기 구동부(42)는 상기 캠판(41)을 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 승강시킨다. 상기 구동부(42)가 상기 캠판(41)을 승강시키면, 상기 제1이동부재(215) 및 상기 제2이동부재(224)가 각각 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제1캠홈(411) 및 상기 제2캠홈(412)을 따라 이동한다. 이에 따라, 상기 간격조절부(4)는 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제1픽커(21) 및 상기 제2픽커(22)를 이동시킴으로써, 상기 제1픽커(21) 및 상기 제2픽커(22) 간의 간격을 조절할 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이 상기 구동부(42)가 상기 캠판(41)을 상승시키면, 상기 제1이동부재(215) 및 상기 제2이동부재(224)는 각각 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동하여 상기 제1캠홈(411) 및 상기 제2캠홈(412)의 하측에 위치된다. 이에 따라, 상기 제1픽커(21) 및 상기 제2픽커(22)는 서로 간의 간격이 벌어지게 이동한다. 상기 제1캠홈(411) 및 상기 제2캠홈(412)이 하측을 향할수록 서로 간의 간격이 벌어지게 형성되기 때문이다.
도 9에 도시된 바와 같이 상기 구동부(42)가 상기 캠판(41)을 하강시키면, 상기 제1이동부재(215) 및 상기 제2이동부재(224)는 각각 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동하여 상기 제1캠홈(411) 및 상기 제2캠홈(412)의 상측에 위치된다. 이에 따라, 상기 제1픽커(21) 및 상기 제2픽커(22)는 서로 간의 간격이 좁아지게 이동한다. 상기 제1캠홈(411) 및 상기 제2캠홈(412)이 상측을 향할수록 서로 간의 간격이 좁아지게 형성되기 때문이다.
도시되지 않았지만, 상기 제1캠홈(411) 및 상기 제2캠홈(412)은 상측을 향할수록 서로 간의 간격이 벌어지게 형성될 수도 있다. 이 경우, 상기 구동부(42)가 상기 캠판(41)을 상승시키면, 상기 제1픽커(21) 및 상기 제2픽커(22)는 서로 간의 간격이 좁아지게 이동한다. 상기 구동부(42)가 상기 캠판(41)을 하강시키면, 상기 제1픽커(21) 및 상기 제2픽커(22)는 서로 간의 간격이 벌어지게 이동한다.
도 3, 도 10 내지 도 13을 참고하면, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 제3픽커(23), 제4픽커(24), 제3가이드부(33), 및 제4가이드부(34)를 더 포함할 수 있다.
상기 제3픽커(23)는 전자부품을 흡착하기 위한 것이다. 상기 제3픽커(23)는 상기 제1가이드레일(311)을 따라 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동한다. 상기 제3픽커(23)는 상기 제2픽커(22) 및 상기 제4픽커(24) 사이에 위치되게 설치된다.
상기 제3픽커(23)는 제3돌출부재(231)를 포함한다. 상기 제3돌출부재(231)는 상기 제1가이드레일(311)에 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 제3돌출부재(231)는 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제3픽커(23)로부터 돌출되게 형성된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제3픽커(23)가 상기 제1가이드레일(311)에 결합되기 위한 결합면적을 증대시킴으로써, 상기 제3픽커(23)와 상기 제1가이드레일(311) 간의 결합력을 증대시킬 수 있다.
상기 제3돌출부재(231)는 제2방향(D 화살표 방향)으로 돌출되게 형성될 수 있다. 상기 제2방향(D 화살표 방향)은 상기 제1방향(C 화살표 방향)에 대해 반대되는 방향으로, 상기 제2픽커(22)에서 상기 제3픽커(23)를 향하는 방향이다. 이에 따라, 상기 제3돌출부재(231) 및 상기 제2돌출부재(221)는 서로 반대되는 방향으로 돌출되게 형성된다. 따라서, 상기 제2픽커(22)와 상기 제3픽커(23)는 상기 제3돌출부재(231) 및 상기 제2돌출부재(221) 간에 간섭 없이 간격이 좁아지게 이동할 수 있다.
상기 제3픽커(23)는 제3노즐(232)을 포함한다. 상기 제3노즐(232)은 전자부품을 흡착한다. 상기 제3노즐(232)은 유체를 흡입하기 위한 흡입력을 발생시키는 흡입장치(미도시)에 연결된다. 전자부품은 상기 제3노즐(232)에 접촉된 상태에서 상기 흡입장치가 발생시킨 흡입력에 의해 상기 제3노즐(232)에 흡착된다. 상기 제3픽커(23)는 상기 제3노즐(232)을 복수개 포함할 수 있다.
상기 제3픽커(23)는 제3픽커본체(233)를 포함한다. 상기 제3픽커본체(233)에는 상기 제3노즐(232)이 결합된다. 상기 제3돌출부재(231)는 상기 제3픽커본체(233)에서 상기 제2방향(D 화살표 방향)으로 돌출되게 형성된다. 상기 제3픽커본체(233)는 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 제2픽커(22)를 향하는 면이 평평하게 형성될 수 있다.
도 3, 도 10 내지 도 13을 참고하면, 상기 제4픽커(24)는 전자부품을 흡착하기 위한 것이다. 상기 제4픽커(24)는 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동한다. 도시되지 않았지만, 상기 제4픽커(24)는 상기 제2가이드레일(321)를 따라 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동할 수도 있다.
상기 제4픽커(24)는 제4돌출부재(241)를 포함한다. 상기 제4돌출부재(241)는 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제4픽커(24)로부터 돌출되게 형성된다. 상기 제4돌출부재(241)는 상기 제2방향(D 화살표 방향)으로 돌출되게 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제4돌출부재(241)에 방해됨이 없이 상기 제4픽커(24)와 상기 제3픽커(23) 간의 간격을 좁힐 수 있다.
상기 제4픽커(24)는 삽입홈(242, 도 12에 도시됨)을 포함한다. 상기 삽입홈(242)은 상기 제4픽커(24)의 일면에 형성된다. 상기 제4픽커(24)의 일면은 상기 제4픽커(24)에서 상기 베이스부(5)를 향하는 면이다. 상기 삽입홈(242)은 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 상기 제4돌출부재(241)로부터 이격된 위치에 형성된다. 상기 삽입홈(242)은 상기 제4돌출부재(241)으로부터 상측으로 이격된 위치에 형성될 수 있다. 상기 제3돌출부재(231)는 상기 제3픽커(23)와 상기 제4픽커(24) 간의 간격이 좁아지는 경우, 상기 제4픽커(24)를 회피하여 상기 제4픽커(24)와 중첩되도록 상기 삽입홈(242)에 삽입된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제3돌출부재(231)에 방해됨이 없이 상기 제3픽커(23)와 상기 제4픽커(24) 간의 간격을 좁힐 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제3돌출부재(231)를 통해 상기 제3픽커(23)와 상기 제4픽커(24) 간의 간격을 조절하는 작업에 대한 정확성을 향상시킬 수 있으면서도, 상기 제3돌출부재(231)로 인해 전체적인 크기 및 중량이 증대되는 정도를 감소시킬 수 있다.
이 경우, 상기 제3픽커(23)는 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 상기 제3돌출부재(231)가 상기 삽입홈(242)에 대응되는 높이에 위치되게 설치된다. 이에 따라, 상기 제3돌출부재(231) 및 상기 제4돌출부재(241)는 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 서로 이격되게 위치된다. 예컨대, 상기 제3돌출부재(231)는 상기 제4돌출부재(241)에 비해 높은 위치에 위치될 수 있다. 따라서, 상기 제3픽커(23)와 상기 제4픽커(24) 간의 간격이 좁아지는 경우, 상기 제3돌출부재(231)는 상기 제4돌출부재(241)에 방해됨이 없이 상기 삽입홈(242)에 삽입된다.
상기 제4픽커(24)는 제4노즐(243)을 포함한다. 상기 제4노즐(243)은 전자부품을 흡착한다. 상기 제4노즐(243)은 유체를 흡입하기 위한 흡입력을 발생시키는 흡입장치(미도시)에 연결된다. 전자부품은 상기 제4노즐(243)에 접촉된 상태에서 상기 흡입장치가 발생시킨 흡입력에 의해 상기 제4노즐(243)에 흡착된다. 상기 제4픽커(24)는 상기 제4노즐(243)을 복수개 포함할 수 있다.
상기 제4픽커(24)는 제4픽커본체(244)를 포함한다. 상기 제4픽커본체(244)에는 상기 제4노즐(243)이 결합된다. 상기 제4돌출부재(241)는 상기 제4픽커본체(244)에서 상기 제2방향(D 화살표 방향)으로 돌출되게 형성된다. 상기 삽입홈(242)은 상기 제4픽커본체(244)의 일면에 형성된다. 상기 제4픽커본체(244)의 일면은 상기 베이스부(5)를 향하는 면이다. 상기 제4픽커본체(244)는 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 삽입홈(242)이 형성되도록 절곡되어 형성된다. 상기 제4픽커본체(244)는 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 제3픽커(23)를 향하는 면이 평평하게 형성될 수 있다.
도 13을 참고하면, 상기 제3가이드부(33)는 제3가이드블록(331), 및 제3가이드레일(332)을 포함한다.
상기 제3가이드블록(331)은 일측이 상기 제3픽커(23)에 결합된다. 상기 제3가이드블록(331)은 상기 제3돌출부재(231)에 결합된다. 상기 제3가이드블록(331)은 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제3돌출부재(231)와 대략 일치하는 길이로 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제3가이드블록(331)의 길이를 증대시킴으로써, 상기 제3가이드블록(331)이 상기 제3픽커(23)의 이동을 가이드하는 기능을 강화할 수 있다.
상기 제3가이드블록(331)은 타측이 상기 제1가이드레일(311)에 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 제3픽커(23)는 상기 제3가이드블록(331)을 통해 상기 제1가이드레일(311)에 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동 가능하게 결합된다.
상기 제3가이드레일(331)은 상기 베이스부(5)에 결합된다. 상기 제4픽커(24)는 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제3가이드레일(331)을 따라 이동 가능하게 결합된다. 상기 제3가이드레일(331)은 상기 수평방향(B 화살표 방향)과 평행하도록 상기 베이스부(5)에 결합된다. 상기 제4픽커(24)는 상기 제3가이드레일(331)을 따라 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 직선 이동할 수 있다.
도 13을 참고하면, 상기 제4가이드부(34)는 제4가이드블록(341)을 포함한다.
상기 제4가이드블록(341)은 일측이 상기 제4픽커(24)에 결합된다. 상기 제4가이드블록(341)은 상기 제4돌출부재(241)에 결합된다. 상기 제4가이드블록(341)은 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제4돌출부재(241)와 대략 일치하는 길이로 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제4가이드블록(341)의 길이를 증대시킴으로써, 상기 제4가이드블록(341)이 상기 제4픽커(24)의 이동을 가이드하는 기능을 강화할 수 있다.
상기 제4가이드블록(341)은 타측이 상기 제3가이드레일(331)에 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동 가능하게 결합된다. 상기 제4픽커(24)는 상기 제4가이드블록(341)을 통해 상기 제3가이드레일(331)에 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 이동 가능하게 결합된다.
상기 제4가이드블록(341) 및 상기 제3가이드블록(331)은 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 서로 다른 높이에 위치된다. 이 경우, 상기 제3가이드레일(331) 및 상기 제1가이드레일(311)은 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 서로 이격되게 상기 베이스부(5)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제3픽커(23)와 상기 제4픽커(24) 간의 간격이 좁아지는 경우, 상기 제3가이드블록(331)은 상기 제4가이드블록(341)에 방해됨이 없이 상기 제3돌출부재(231)와 함께 상기 삽입홈(232)에 삽입될 수 있다. 상기 제3가이드레일(331)은 상기 제4가이드블록(341)이 상기 제3가이드블록(331)에 비해 낮은 위치에 위치되도록 상기 제1가이드레일(311)로부터 하측으로 이격된 위치에 위치되게 상기 베이스부(5)에 결합될 수 있다. 상기 제1가이드레일(311)은 상기 제2가이드레일(321) 및 상기 제3가이드레일(331) 사이에 위치되게 상기 베이스부(5)에 결합될 수 있다.
도 8 및 도 9를 참고하면, 상기 간격조절부(4)는 상기 제1픽커(21), 상기 제2픽커(22), 상기 제3픽커(23), 및 상기 제4픽커(24) 간의 간격을 조절한다.
상기 캠판(41)은 상기 제3픽커(23)가 이동 가능하게 결합되는 제3캠홈(413), 및 상기 제4픽커(24)가 이동 가능하게 결합되는 제4캠홈(414)을 포함한다. 상기 제3캠홈(413) 및 상기 제4캠홈(414)은 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 서로 이격되게 형성된다. 상기 제3캠홈(413) 및 상기 제4캠홈(414)은 서로 다른 기울기로 경사지게 형성된다. 상기 제1캠홈(411), 상기 제2캠홈(412), 상기 제3캠홈(413) 및 상기 제4캠홈(414)은 하측을 향할수록 서로 간의 간격이 벌어지게 형성될 수 있다.
상기 제3캠홈(413)에는 상기 제3픽커(23)의 제3이동부재(234)가 이동 가능하게 결합된다. 상기 제3이동부재(234)가 상기 제3캠홈(413)을 따라 이동하면, 상기 제3픽커(23)가 상기 제4픽커(24)에 가까워지는 방향 및 상기 제4픽커(24)로부터 멀어지는 방향으로 이동한다. 상기 제3이동부재(234)는 상기 제3픽커본체(233)에 회전 가능하게 결합된다.
상기 제4캠홈(414)에는 상기 제4픽커(24)의 제4이동부재(245)가 이동 가능하게 결합된다. 상기 제4이동부재(245)가 상기 제4캠홈(414)을 따라 이동하면, 상기 제4픽커(24)가 상기 제3픽커(23)에 가까워지는 방향 및 상기 제3픽커(23)로부터 멀어지는 방향으로 이동한다. 상기 제4이동부재(245)는 상기 제4픽커본체(244)에 회전 가능하게 결합된다.
상기 구동부(42)는 상기 캠판(41)을 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 승강시킴으로써, 상기 제1픽커(21), 상기 제2픽커(22), 상기 제3픽커(23), 및 상기 제4픽커(24) 간의 간격을 조절한다.
도 8에 도시된 바와 같이 상기 구동부(42)가 상기 캠판(41)을 상승시키면, 상기 제1픽커(21), 상기 제2픽커(22), 상기 제3픽커(23), 및 상기 제4픽커(24)는 서로 간의 간격이 벌어지게 이동한다. 상기 제1캠홈(411), 상기 제2캠홈(412), 상기 제3캠홈(413), 및 상기 제4캠홈(414)이 하측을 향할수록 서로 간의 간격이 벌어지게 형성되기 때문이다.
도 9에 도시된 바와 같이 상기 구동부(42)가 상기 캠판(41)을 하강시키면, 상기 제1픽커(21), 상기 제2픽커(22), 상기 제3픽커(23), 및 상기 제4픽커(24)는 서로 간의 간격이 좁아지게 이동한다. 상기 제1캠홈(411), 상기 제2캠홈(412), 상기 제3캠홈(413), 및 상기 제4캠홈(414)이 상측을 향할수록 서로 간의 간격이 좁아지게 형성되기 때문이다.
도시되지 않았지만, 상기 제1캠홈(411), 상기 제2캠홈(412), 상기 제3캠홈(413), 및 상기 제4캠홈(414)은 상측을 향할수록 서로 간의 간격이 벌어지게 형성될 수도 있다. 이 경우, 상기 구동부(42)가 상기 캠판(41)을 상승시키면, 상기 제1픽커(21), 상기 제2픽커(22), 상기 제3픽커(23), 및 상기 제4픽커(24)는 서로 간의 간격이 좁아지게 이동한다. 상기 구동부(42)가 상기 캠판(41)을 하강시키면, 상기 제1픽커(21), 상기 제2픽커(22), 상기 제3픽커(23), 및 상기 제4픽커(24)는 서로 간의 간격이 벌어지게 이동한다.
도 14를 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제1가이드부(31), 상기 제2가이드부(32), 상기 제3가이드부(33), 및 상기 제4가이드부(34)가 다음과 같은 구성을 더 포함할 수 있다.
우선, 상기 제4가이드부(34)는 제4가이드레일(342)을 포함한다. 상기 제4가이드레일(342)은 상기 제2가이드레일(321)의 상측에 위치되게 상기 베이스부(5)에 결합된다. 상기 베이스부(5)에는 하측에서 상측을 향하는 방향으로, 상기 제3가이드레일(332), 상기 제1가이드레일(311), 상기 제2가이드레일(321), 및 상기 제4가이드레일(342)이 서로 이격되게 결합될 수 있다.
다음, 상기 제1가이드부(31)는 상기 제1픽커(21)에 결합되는 제1보조가이드블록(313)을 포함한다. 상기 제1보조가이드블록(313)은 일측이 상기 제1픽커(21)에 결합된다. 상기 제1보조가이드블록(313)은 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 상기 제1가이드블록(312)의 상측에 위치되게 상기 제1픽커(21)에 결합된다. 상기 제1보조가이드블록(313)은 상기 제1픽커본체(214)에 결합될 수 있다. 상기 제1보조가이드블록(313)은 타측이 상기 제4가이드레일(342)에 이동 가능하게 결합된다. 이에 따라, 상기 제1픽커(21)는 상기 제4가이드레일(342) 및 상기 제1가이드레일(311)을 따라 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 더 정확하게 이동할 수 있다. 상기 제1보조가이드블록(313)은 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제1가이드블록(312)에 비해 짧은 길이로 형성된다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제1보조가이드블록(313)이 상기 제2픽커(22)에 간섭되는 것을 방지하면서, 상기 제1픽커(21)를 더 정확하게 이동시킬 수 있다.
다음, 상기 제2가이드부(32)는 상기 제2픽커(22)에 결합되는 제2보조가이드블록(323)을 포함한다. 상기 제2보조가이드블록(323)은 일측이 상기 제2픽커(22)에 결합된다. 상기 제2보조가이드블록(323)은 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 상기 제2가이드블록(322)의 하측에 위치되게 상기 제2픽커(22)에 결합된다. 상기 제2보조가이드블록(323)은 상기 제2픽커본체(223)에 결합될 수 있다. 상기 제2보조가이드블록(323)은 타측이 상기 제3가이드레일(332)에 이동 가능하게 결합된다. 이에 따라, 상기 제2픽커(22)는 상기 제3가이드레일(332) 및 상기 제2가이드레일(321)을 따라 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 더 정확하게 이동할 수 있다. 상기 제2보조가이드블록(323)은 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제2가이드블록(322)에 비해 짧은 길이로 형성된다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제2보조가이드블록(323)이 상기 제1픽커(21) 및 상기 제3픽커(23)에 간섭되는 것을 방지하면서, 상기 제2픽커(22)를 더 정확하게 이동시킬 수 있다.
다음, 상기 제3가이드부(33)는 상기 제3픽커(23)에 결합되는 제3보조가이드블록(333)을 포함한다. 상기 제3보조가이드블록(333)은 일측이 상기 제3픽커(23)에 결합된다. 상기 제3보조가이드블록(333)은 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 상기 제3가이드블록(331)의 상측에 위치되게 상기 제3픽커(23)에 결합된다. 상기 제3보조가이드블록(333)은 상기 제3픽커본체(233)에 결합될 수 있다. 상기 제3보조가이드블록(333)은 타측이 상기 제4가이드레일(342)에 이동 가능하게 결합된다. 이에 따라, 상기 제3픽커(23)는 상기 제4가이드레일(342) 및 상기 제1가이드레일(311)을 따라 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 더 정확하게 이동할 수 있다. 상기 제3보조가이드블록(333)은 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제3가이드블록(331)에 비해 짧은 길이로 형성된다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제3보조가이드블록(333)이 상기 제2픽커(22) 및 상기 제4픽커(24)에 간섭되는 것을 방지하면서, 상기 제3픽커(23)를 더 정확하게 이동시킬 수 있다.
다음, 상기 제4가이드부(34)는 상기 제4픽커(24)에 결합되는 제4보조가이드블록(343)을 포함한다. 상기 제4보조가이드블록(343)은 일측이 상기 제4픽커(24)에 결합된다. 상기 제4보조가이드블록(343)은 상기 수직방향(A 화살표 방향)으로 상기 제4가이드블록(341)의 상측에 위치되게 상기 제4픽커(24)에 결합된다. 상기 제4보조가이드블록(343)은 상기 제4픽커본체(244)에 결합될 수 있다. 상기 제4보조가이드블록(343)은 타측이 상기 제2가이드레일(321)에 이동 가능하게 결합된다. 이에 따라, 상기 제4픽커(24)는 상기 제3가이드레일(332) 및 상기 제2가이드레일(321)을 따라 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 더 정확하게 이동할 수 있다.
상기 제4보조가이드블록(343)은 상기 수평방향(B 화살표 방향)으로 상기 제4가이드블록(341)에 비해 짧은 길이로 형성된다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 전자부품 이송용 픽커장치(1)는 상기 제4보조가이드블록(343)이 상기 제3픽커(23)에 간섭되는 것을 방지하면서, 상기 제4픽커(24)를 더 정확하게 이동시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
1 : 전자부품 이송용 픽커장치 21 : 제1픽커
22 : 제2픽커 31 : 제1가이드부
32 : 제2가이드부 4 : 간격조절부

Claims (11)

  1. 전자부품을 흡착하기 위한 제1픽커;
    상기 제1픽커에 결합되는 제1가이드블록;
    전자부품을 흡착하기 위한 제2픽커;
    상기 제2픽커에 결합되는 제2가이드블록;
    상기 제1가이드블록이 수평방향으로 이동 가능하게 결합되는 제1가이드레일;
    상기 제2가이드블록이 상기 수평방향으로 이동 가능하게 결합되는 제2가이드레일;
    상기 제1가이드블록과 상기 제2가이드블록이 수직방향으로 서로 다른 높이에 위치되도록, 상기 제1가이드레일과 상기 제2가이드레일이 상기 수직방향으로 서로 이격되게 결합되는 베이스부; 및
    상기 수평방향으로 상기 제1픽커와 상기 제2픽커 간의 간격을 조절하기 위한 간격조절부를 포함하고,
    상기 제1픽커는 상기 제1가이드블록이 결합되는 제1돌출부재, 및 상기 제2픽커가 삽입되기 위한 회피홈을 포함하며,
    상기 제2픽커는 상기 제2가이드블록이 결합되는 제2돌출부재를 포함하고,
    상기 제2돌출부재는 상기 제1픽커와 상기 제2픽커 간의 간격이 좁아지는 경우, 상기 제1픽커를 회피하여 상기 제1픽커와 중첩되도록 상기 회피홈에 삽입되며,

    상기 제2가이드레일은 상기 제1픽커 및 상기 제1가이드블록으로부터 이격되게 형성되고,
    상기 제1 가이드레일을 따라 움직이는 상기 제1픽커 및 상기 제2가이드레일을 따라 움직이는 상기 제2픽커는 상기 베이스부에 대해 이동 가능하게 형성된 전자부품 이송용 픽커장치.
  2. 제1항에 있어서,
    전자부품을 흡착하기 위한 제3픽커, 상기 제3픽커에 결합되는 제3가이드블록, 전자부품을 흡착하기 위한 제4픽커, 상기 제4픽커에 결합되는 제4가이드블록을 포함하고;
    상기 제3픽커는 상기 제3가이드블록이 결합되는 제3돌출부재를 포함하고,
    상기 제4픽커는 상기 제4가이드블록이 결합되는 제4돌출부재, 및 상기 제3돌출부재가 삽입되기 위한 삽입홈을 포함하며,
    상기 제3돌출부재는 상기 제3픽커와 상기 제4픽커 간의 간격이 좁아지는 경우, 상기 제4픽커를 회피하여 상기 제4픽커와 중첩되도록 상기 삽입홈에 삽입되는 것을 특징으로 하는 전자부품 이송용 픽커장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1가이드레일에는 상기 제1가이드블록 및 상기 제3가이드블록이 결합되고,
    상기 제2픽커는 상기 제1픽커와 상기 제3픽커 사이에 위치되게 설치되는 것을 특징으로 하는 전자부품 이송용 픽커장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제2픽커는 상기 제1픽커와 상기 제3픽커 사이에 위치되고,
    상기 제3픽커는 상기 제2픽커와 상기 제4픽커 사이에 위치되며,
    상기 제1돌출부재와 상기 제2돌출부재는 각각 상기 제2픽커에서 상기 제1픽커를 향하는 제1방향으로 돌출되게 형성되고,
    상기 제3돌출부재와 상기 제4돌출부재는 각각 상기 제1방향에 대해 반대되는 제2방향으로 돌출되게 형성되는 것을 특징으로 하는 전자부품 이송용 픽커장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 제1돌출부재와 상기 제2돌출부재는 상기 수직방향으로 서로 이격되게 위치되고,
    상기 제3돌출부재와 상기 제4돌출부재는 상기 수직방향으로 서로 이격되게 위치되는 것을 특징으로 하는 전자부품 이송용 픽커장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 제1가이드레일의 하측에 위치되게 상기 베이스부에 결합되는 제3가이드레일을 포함하고;
    상기 제1가이드레일은 상기 제2가이드레일과 상기 제3가이드레일 사이에 위치되게 상기 베이스부에 결합되며;
    상기 제2픽커는 상기 제1픽커와 상기 제3픽커 사이에 위치되고;
    상기 제3픽커는 상기 제2픽커와 상기 제4픽커 사이에 위치되며;
    상기 제1가이드블록과 상기 제3가이드블록은 상기 제1가이드레일에 결합되고;
    상기 제2가이드블록은 상기 제2가이드레일에 결합되며;
    상기 제4가이드블록은 상기 제3가이드레일에 결합되는 것을 특징으로 하는 전자부품 이송용 픽커장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2가이드레일의 상측에 위치되게 상기 베이스부에 결합되는 제4가이드레일;
    일측이 상기 제1픽커에 결합되고, 타측이 상기 제4가이드레일에 이동 가능하게 결합되는 제1보조가이드블록;
    일측이 상기 제2픽커에 결합되고, 타측이 상기 제3가이드레일에 이동 가능하게 결합되는 제2보조가이드블록;
    일측이 상기 제3픽커에 결합되고, 타측이 상기 제4가이드레일에 이동 가능하게 결합되는 제3보조가이드블록; 및
    일측이 상기 제4픽커에 결합되고, 타측이 상기 제3가이드레일에 이동 가능하게 결합되는 제4보조가이드블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품 이송용 픽커장치.
  8. 제6항에 있어서,
    일측이 상기 제2픽커에 결합되고, 타측이 상기 제3가이드레일에 이동 가능하게 결합되는 제2보조가이드블록을 포함하고;
    상기 제2가이드블록은 상기 수평방향으로 상기 제2보조가이드블록에 비해 긴 길이를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 전자부품 이송용 픽커장치.
  9. 전자부품을 흡착하기 위한 제1픽커;
    상기 제1픽커에 결합되는 제1가이드블록;
    전자부품을 흡착하기 위한 제2픽커;
    상기 제2픽커에 결합되는 제2가이드블록;
    상기 제1가이드블록이 수평방향으로 이동 가능하게 결합되는 제1가이드레일;
    상기 제2가이드블록이 상기 수평방향으로 이동 가능하게 결합되는 제2가이드레일;
    상기 제1가이드블록과 상기 제2가이드블록이 수직방향으로 서로 다른 높이에 위치되도록, 상기 제1가이드레일과 상기 제2가이드레일이 상기 수직방향으로 서로 이격되게 결합되는 베이스부; 및
    상기 수평방향으로 상기 제1픽커와 상기 제2픽커 간의 간격을 조절하기 위한 간격조절부를 포함하고,
    상기 제1픽커는 상기 제1가이드블록이 결합되는 제1돌출부재, 및 상기 제2픽커가 삽입되기 위한 회피홈을 포함하며,
    상기 제2픽커는 상기 제2가이드블록이 결합되는 제2돌출부재를 포함하고,
    상기 제2가이드레일은 상기 제1픽커 및 상기 제1가이드블록으로부터 이격되게 형성되며,
    상기 제1 가이드레일을 따라 움직이는 상기 제1픽커 및 상기 제2가이드레일을 따라 움직이는 상기 제2픽커는 상기 베이스부에 대해 이동 가능하게 형성되고,

    상기 제1픽커에는 전자부품을 흡착하기 위한 제1노즐, 상기 수직방향을 따라 연장되고 상기 제1노즐에 결합되는 제1픽커본체가 마련되며,
    상기 제2픽커에는 상기 전자부품을 흡착하기 위한 제2노즐, 상기 수직방향을 따라 연장되고 상기 제2노즐에 결합되는 제2픽커본체가 마련되고,
    상기 제2돌출부재는 상기 제1픽커본체에 대면되는 상기 제2픽커본체의 일측면으로부터 상기 제1픽커본체를 향해 돌출되며,
    상기 제2돌출부재에 대면되는 상기 제1픽커본체의 가운데는 상기 회피홈이 형성되도록 절곡되어 형성되고,
    상기 제2돌출부재는 상기 제1픽커와 상기 제2픽커 간의 간격이 좁아지는 경우, 상기 절곡으로 인해 상기 제1픽커본체의 가운데에 형성된 상기 회피홈에 삽입되고 상기 제1픽커본체에 중첩되는 전자부품 이송용 픽커장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1돌출부재는 상기 제2픽커에서 상기 제1픽커를 향하는 제1방향으로 돌출되게 형성되고,
    상기 제2돌출부재는 상기 제1방향으로 돌출되게 형성되며,
    상기 제2돌출부재의 돌출 길이는 상기 제1픽커본체의 상기 제1방향 길이보다 길게 형성된 전자부품 이송용 픽커장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 제1픽커는 전자부품을 흡착하기 위한 제1노즐, 및 상기 제1노즐이 결합되는 제1픽커본체를 포함하고,
    상기 제1픽커본체는 상기 회피홈이 형성되도록 절곡되어 형성되며,
    상기 절곡으로 인해 상기 회피홈은 상기 수평방향에 수직하고 상기 수직방향에 수직한 방향을 따라 함몰된 오목한 홈 형상으로 형성되는 전자부품 이송용 픽커장치.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210104967A (ko) * 2020-02-18 2021-08-26 (주)테크윙 전자부품 파지용 픽킹장치
KR102348842B1 (ko) * 2020-05-06 2022-01-10 주식회사 우일에프에이 자동 캡 체결장치
CN113911696A (zh) * 2021-09-24 2022-01-11 苏州诚拓智能装备有限公司 一种用于对硅片节距进行改变的装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002164413A (ja) 2000-11-24 2002-06-07 Toshiba Ceramics Co Ltd ピッチ変換装置
KR100828406B1 (ko) 2007-03-13 2008-05-08 미래산업 주식회사 테스트 핸들러용 반도체 소자 이송장치 및 그를 포함하는테스트 핸들러

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100622415B1 (ko) * 2004-12-06 2006-09-19 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 반송장치
KR101227827B1 (ko) * 2011-06-02 2013-01-29 세크론 주식회사 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002164413A (ja) 2000-11-24 2002-06-07 Toshiba Ceramics Co Ltd ピッチ変換装置
KR100828406B1 (ko) 2007-03-13 2008-05-08 미래산업 주식회사 테스트 핸들러용 반도체 소자 이송장치 및 그를 포함하는테스트 핸들러

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