KR20220026772A - 대상물 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클 - Google Patents

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Abstract

비히클의 대상물 고정 유닛은, 대상물을 파지하여 주행 레일을 주행하는 비히클의 내부에서 전후 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 비히클의 전후에서 상기 대상물을 고정하여 상기 대상물의 진동을 방지한다. 상기 각 대상물 고정 유닛은, 제1 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제1 고정 부재와, 상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제2 고정 부재 및 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재를 상기 비히클의 전후 방향을 따라 왕복 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.

Description

대상물 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클{Unit for supporting object and vehicle having the same}
본 발명은 대상물 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비히클에 파지된 대상물의 진동을 방지하기 위한 대상물 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 대상물에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 대상물을 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
상기 대상물은 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 대상물을 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. 상기 대상물에는 웨이퍼, 인쇄회로 기판, 레티클 등과 같은 물품이 적재될 수 있다.
상기 비히클이 주행함에 따라 상기 대상물에 진동이 발생할 수 있다. 상기 진동에 의해 상기 대상물에 적재된 상기 물품이 손상되거나 상기 비히클로부터 상기 대상물이 낙하할 수 있다.
본 발명은 비히클에 파지된 대상물의 진동을 방지할 수 있는 대상물 고정 유닛을 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 대상물 고정 유닛을 갖는 비히클을 제공한다.
본 발명에 따른 대상물 고정 유닛은, 대상물을 파지하여 주행 레일을 주행하는 비히클의 내부에서 전후 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 비히클의 전후에서 상기 대상물을 고정하여 상기 대상물의 진동을 방지한다. 상기 각 대상물 고정 유닛은, 제1 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제1 고정 부재와, 상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제2 고정 부재 및 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재를 상기 비히클의 전후 방향을 따라 왕복 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 고정 유닛은, 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 구동부가 장착되는 베이스 플레이트와, 상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 구비되며, 상기 제1 고정 부재를 고정하며 제1 캠 팔로워를 갖는 제1 이동 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상방에 배치되고, 상기 제1 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제1 가이드 홈을 갖는 제1 슬라이드 캠과, 상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 하부면에 구비되며, 상기 제2 고정 부재를 고정하며 제2 캠 팔로워를 갖는 제2 이동 플레이트 및 상기 베이스 플레이트의 하방에 배치되고, 상기 제2 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제2 가이드 홈을 갖는 제2 슬라이드 캠을 포함하고, 상기 구동부는 상기 제1 슬라이드 캠 및 제2 슬라이드 캠을 상기 전후 방향과 수직하는 좌우 방향을 따라 이동시켜 상기 제1 고정 부재 및 상기 제2 고정 부재를 상기 왕복 이동시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 고정 부재의 이동 거리가 상기 제2 고정 부재의 이동 거리보다 길도록 상기 제1 가이드 홈의 상기 전후 방향 길이가 상기 제2 가이드 홈의 상기 전후 방향 길이보다 길 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 고정 유닛은, 상기 제1 및 제2 이동 플레이트들을 관통하여 상기 제1 및 제2 고정 부재들에 각각 고정되는 고정 핀들 및 상기 제1 및 제2 고정 부재들이 상기 대상물과 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 제1 및 제2 이동 플레이트들과 상기 제1 및 제2 고정 부재들 사이에 상기 고정 핀들을 감싸도록 구비되는 코일 스프링들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 고정 유닛은, 상기 베이스 플레이트에 구비되며, 상기 제1 및 제2 고정 부재들의 위치를 확인하기 위해 상기 제1 및 제2 이동 플레이트의 위치를 감지하기 위한 다수의 위치 센서들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 및 제2 고정 부재들과 상기 대상물 사이의 마찰력으로 인한 파티클 발생을 방지하기 위해 상기 제1 및 제2 고정 부재들은 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 고정 유닛은, 상기 제2 고정 부재의 하부면에 고정되고, 상기 대상물의 하부에 배치되어 상기 대상물이 낙하시 상기 대상물의 하부면을 지지하는 낙하 방지 부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 높이는 상기 비히클이 파지하는 상기 대상물 중 가장 작은 크기의 대상물의 하단보다 높고, 상기 제2 높이는 상기 비히클이 파지하는 상기 대상물 중 가장 큰 크기의 대상물의 하단보다 높을 수 있다.
본 발명에 따른 비히클은, 천장의 주행 레일을 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛과 연결되고, 내부에 대상물을 파지하여 이송하는 이송 유닛 및 상기 이송 유닛의 내부에서 전후 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 이송 유닛의 전후에서 상기 대상물을 고정하여 상기 대상물의 진동을 방지하는 대상물 고정 유닛을 포함하고, 상기 각 대상물 고정 유닛은, 제1 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제1 고정 부재와, 상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제2 고정 부재 및 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재를 상기 비히클의 전후 방향을 따라 왕복 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이송 유닛은 상기 주행 유닛과 연결되는 하우징을 포함하고, 상기 대상물 고정 유닛은 상기 하우징의 내부에 상기 전후 방향 양측에 각각 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 대상물 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클은 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재로 상기 대상물을 고정하므로, 상기 대상물이 진동하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 대상물에 적재된 물품이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재가 서로 다른 높이에 위치하고, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재의 이동 거리도 서로 다르다. 상기 비히클에 다양한 크기의 상기 대상물이 파지되더라도 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재가 상기 대상물을 안정적으로 고정할 수 있다.
상기 제2 고정 부재의 하부면에 상기 낙하 방지 부재를 구비하므로, 상기 대상물이 낙하하는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 상기 센서들이 상기 제1 고정 부재 및 상기 제2 고정 부재의 위치를 정확하게 감지할 수 있으므로, 상기 제1 고정 부재 및 상기 제2 고정 부재가 상기 대상물을 안정적으로 지지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 대상물 고정 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 대상물 고정 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 대상물 고정 유닛을 설명하기 위한 배면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 연결 부재를 설명하기 위한 확대도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 정면도이다.
도 1을 참조하면, 비히클(400)은 주행 유닛(100), 이송 유닛(200) 및 대상물 고정 유닛(300)을 갖는다.
상기 주행 유닛(100)은 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 상기 주행 레일(10)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비될 수 있다.
상기 주행 유닛(100)은 한 쌍의 주행부(110)들을 포함할 수 있다. 상기 주행부(110)들은 상기 비히클(400)이 주행하는 주행 방향, 예를 들면 전후 방향을 따라 서로 이격될 수 있다.
상기 주행부(110)는 대략 육면체 형상을 가지며, 상기 수평 방향과 수직하는 수평 방향의 양측에 주행 휠(112)들을 갖는다. 상기 주행 휠(112)들은 상기 주행 레일(10)과 접촉할 수 있다.
상기 주행부(110)의 상부면에는 조향 휠(120)이 구비된다. 상기 조향 휠(120)은 상기 수평 방향, 예를 들면 좌우 방향을 따라 이동 가능할 수 있다.
상기 조향 휠(120)은 가이드 레일(미도시)과 접촉할 수 있다. 상기 가이드 레일(20)은 상기 주행 레일(10)의 분기 영역에서 직진 레일과 분기 레일을 따라 분기되도록 구비되며, 상기 비히클(400)의 주행 경로를 조절하는데 이용된다.
상기 가이드 레일은 직진 가이드 레일과 분기 가이드 레일을 포함한다.
성기 직진 가이드 레일은 상기 직진 레일을 따라 연장하면서 직진 주행을 안내하고, 상기 분기 가이드 레일은 상기 분기 레일을 따라 연장하면서 분기 주행을 안내한다.
상기 조향 휠(120)은 상기 좌우 방향으로 이동하면서 상기 직진 가이드 레일의 측면 및 상기 분기 가이드 레일의 측면과 선택적으로 접촉할 수 있다.
예를 들면, 상기 비히클(400)이 직진 주행하는 경우, 상기 조향 휠(120)은 상기 좌우 방향으로 이동하여 상기 직진 가이드 레일의 측면과 접촉하고, 상기 비히클(400)이 분기 주행하는 경우, 상기 조향 휠(120)은 상기 좌우 방향으로 이동하여 상기 분기 가이드 레일과 접촉할 수 있다.
한편, 상기 조향 휠(120)은 구동부(122)에 의해 상기 좌우 방향으로 이동할 수 있다. 상기 구동부(122)는 조향 휠(120)을 직선 왕복 이동시킬 수 있으면 어느 것이나 무방하다. 일 예로는 스텝 모터, 솔레노이드, 리니어 모터 등을 들 수 있다.
상기 조향 휠(120)이 상기 좌우 방향으로 이동할 때 가이드 레일(미도시)에 의해 가이드될 수 있다. 상기 가이드 레일은 상기 주행부(110)의 상부면에 상기 좌우 방향을 따라 연장하도록 구비될 수 있다. 상기 조향 휠(120)이 상기 가이드 레일을 따라 상기 수평 이동하므로, 상기 조향 휠(120)이 안정적으로 이동할 수 있을 뿐만 아니라 상기 조향 휠(120)의 상기 수평 이동시 발생하는 진동을 줄일 수 있다.
모터(130)는 상기 주행부(110)들에 각각 구비되며, 상기 주행 휠(112)들을 회전시킬 수 있다. 상기 모터(130)의 예로는 서보 모터를 들 수 있다.
상기 이송 유닛(200)은 상기 주행 유닛(100)과 연결될 수 있다. 상기 주행 유닛(100)의 상기 주행부(110)들은 상기 이송 유닛(200)에 대해 회전 가능하도록 연결될 수 있다.
또한, 상기 이송 유닛(200)은 내부에 대상물(20)을 파지하여 이송한다. 상기 대상물(20)의 내부에는 이송하기 위한 물품이 수용될 수 있다. 상기 대상물(20)의 예로는 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드, 캐리어 등을 들 수 있다. 상기 물품의 예로는 웨이퍼, 인쇄회로 기판, 레티클 등을 들 수 있다.
상기 이송 유닛(200)은 하우징(210), 이동부(220), 승강부(230) 및 파지부(240)를 포함한다.
상기 하우징(210)은 상기 주행 유닛(210)의 하부에 매달리듯 고정된다. 상기 하우징(210)은 상기 대상물(20)의 상하 이동 및 수평 이동을 위해 하방과 일측 측면인 정면이 개방될 수 있다. 이때, 상기 일측 측면은 상기 좌우 방향일 수 있다.
상기 이동부(220)는 상기 하우징(210)의 내부 상면에 구비되며, 상기 하우징(210)의 개방된 정면을 통해 상기 좌우 방향을 따라 이동할 수 있다.
상기 승강부(230)는 상기 이동부(220)의 하부면에 고정된다. 상기 승강부(230)는 벨트(232)를 권취하거나 권출하여 상기 벨트(232)를 승강시킬 수 있다.
상기 파지부(240)는 상기 벨트(232)의 단부에 고정되며, 상기 대상물(20)을 파지한다.
상기 승강부(230)가 상기 벨트(232)를 승강시킴에 따라 상기 파지부(240)에 파지된 상기 대상물(20)이 상기 하우징(210)에 대해 승강할 수 있다.
또한, 상기 이동부(220)가 상기 좌우 방향을 따라 이동하므로, 상기 대상물가(20)가 상기 하우징(210)에 대해 상기 좌우 방향을 따라 이동할 수 있다.
상기 대상물 고정 유닛(300)은 상기 비히클(400)이 주행함에 따라 발생하는 상기 대상물(20)의 진동과 낙하를 방지한다.
상기 대상물 고정 유닛(300)은 상기 하우징(210)의 내부의 상기 전후 방향 양측에 각각 구비될 수 있다.
이하에서는 상기 하우징(210)의 내부의 상기 전후 방향 일측에 구비되는 하나의 대상물 고정 유닛(300)을 기준으로 설명한다.
도 2는 도 1에 도시된 대상물 고정 유닛을 설명하기 위한 측면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 대상물 고정 유닛을 설명하기 위한 평면도이고, 도 4는 도 2에 도시된 대상물 고정 유닛을 설명하기 위한 배면도이고, 도 5는 도 2에 도시된 연결 부재를 설명하기 위한 확대도이다.
도 2 내지 도 5를 추가로 참고하면, 상기 대상물 고정 유닛(300)은 제1 고정 부재(310), 제2 고정 부재(312) 및 상기 구동부(320)를 포함한다.
상기 제1 고정 부재(310)는 상기 비히클(400)의 내부, 구체적으로 상기 하우징(210)의 내부에 구비된다. 상기 제1 고정 부재(310)는 상기 파지부(240)에 파지된 상기 대상물(20)의 상기 전후 방향 일측면을 고정한다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 대상물(20)의 상기 일측면을 고정하므로, 상기 대상물(20)의 진동을 방지할 수 있다.
상기 제1 고정 부재(310)는 상기 하우징(210) 내부의 제1 높이에 위치할 수 있다.
상기 비히클(400)에 다양한 종류의 상기 대상물(20)이 파지되는 경우, 상기 제1 높이는 상기 파지부(240)에 파지된 상기 대상물(20) 중 가장 작은 크기의 상기 대상물(20)의 하단보다 높을 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)가 가장 작은 크기의 상기 대상물(20)의 상기 전후 방향 일측면을 고정할 수 있다.
상기 제2 고정 부재(312)도 상기 하우징(210)의 내부에 구비된다. 상기 제2 고정 부재(312)는 상기 파지부(240)에 파지된 상기 대상물(20)의 상기 전후 방향 일측면을 고정한다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 대상물(20)의 상기 일측면을 고정하므로, 상기 대상물(20)의 진동을 방지할 수 있다.
상기 제2 고정 부재(312)는 상기 하우징(210) 내부의 제2 높이에 위치할 수 있다. 상기 제2 높이는 상기 제1 높이보다 낮을 수 있다.
상기 제2 높이는 상기 비히클(400)이 파지하는 상기 대상물(20) 중 가장 큰 크기의 상기 대상물(20)의 하단보다 높을 수 있다. 따라서, 상기 제2 고정 부재(312)가 가장 큰 크기의 상기 대상물(20)의 상기 전후 방향 일측면을 고정할 수 있다.
상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 서로 다른 높이에 위치하므로, 상기 파지부(240)에 파지된 상기 대상물(20)의 크기에 따라 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 동시에 상기 대상물(20)을 고정하거나, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312) 중 어느 하나가 상기 대상물(20)을 고정할 수 있다. 따라서, 상기 비히클(400)에 다양한 크기의 상기 대상물(20)이 파지되더라도 상기 제1 고정 부재(310)와 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 대상물(20)을 안정적으로 고정할 수 있다.
일 예로, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)는 상기 대상물(20)의 상기 일측면 중앙을 지지할 수 있다.
다른 예로, 자세히 도시되지는 않았지만, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)는 각각 한 쌍이 구비되며, 상기 좌우 방향으로 이격되어 상기 대상물(20)의 상기 일측면 좌우를 각각 지지할 수 있다. 상기 한 쌍의 제1 고정 부재(310)들 및 상기 한 쌍의 제2 고정 부재(312)들이 상기 좌우 방향으로 이격되므로, 상기 제1 고정 부재(310)들 사이 및 상기 제2 고정 부재(312)들 사이에 공간이 생긴다. 따라서, 상기 대상물(20)이 회전할 때 상기 제1 고정 부재(310)들 사이 및 상기 제2 고정 부재(312)들 사이를 지날 수 있다. 따라서, 상기 대상물(20)의 회전 반경을 증가시킬 수 있다. 즉, 동일한 위치에서 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 대상물(20)의 일측면 중앙을 지지할 때보다 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 대상물(20)의 일측면 전후를 각각 지지하는 경우, 상기 대상물(20)의 회전 반경을 증가시킬 수 있다.
상기 한 쌍의 제1 고정 부재(310)들 및 상기 한 쌍의 제2 고정 부재(312)들이 상기 대상물(20)의 일측면 전후를 각각 지지하는 경우, 상기 하우징(210)에 보다 큰 사이즈의 상기 대상물(20)을 수용하여 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 간섭없이 회전시킬 수 있다. 따라서, 상기 비히클(400)은 보다 다양한 사이즈의 상기 대상물(20)을 수용하여 이송할 수 있다.
한편, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)는 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 상기 물질의 예로는 테프론, 나일론 등을 들 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 상기 대상물(20) 사이의 마찰력을 최소화할 수 있다. 그러므로, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 상기 대상물(20) 사이의 마찰력으로 인한 파티클 발생을 방지할 수 있다.
상기 낙하 방지 부재(314)는 상기 제2 고정 부재(312)의 하부면에 고정된다. 상기 낙하 방지 부재(314)는 상기 대상물(20)의 하부에 배치되어 상기 대상물(20)의 낙하시 상기 대상물(20)의 하부면을 지지한다. 따라서, 상기 대상물(20)이 상기 파지부(240)로부터 분리되더라도 상기 대상물(20)이 낙하하는 것을 방지할 수 있다.
상기 낙하 방지 부재(314)도 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 마찬가지로 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다.
상기 구동부(320)는 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 고정 위치와 후퇴 위치 사이에서 왕복 이동시킨다. 예를 들면, 상기 구동부(320)는 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 상기 전후 방향을 따라 이동시킨다.
상기 고정 위치는 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 대상물(20)의 일측면을 고정하는 위치이다. 상기 후퇴 위치는 상기 대상물(20)이 승강을 통해 상기 하우징(210)에 수용되도록 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 고정 위치로부터 후퇴한 위치이다.
상기 낙하 방지 부재(314)는 상기 제2 고정 부재(312)에 고정되므로, 상기 구동부(320)에 의해 상기 제2 고정 부재(312)가 이동할 때 상기 낙하 방지 부재(314)도 같이 이동한다.
상기 대상물 고정 유닛(300)은 베이스 플레이트(330), 제1 이동 플레이트(340), 제1 슬라이드 캠(350), 제2 이동 플레이트(360), 제2 슬라이드 캠(370) 및 연결 부재(380)를 더 포함할 수 있다.
상기 베이스 플레이트(330)는 상기 비히클(400)의 내부, 구체적으로 상기 하우징(210)의 내부에서 상기 전후 방향 일측 측면에 고정된다.
상기 제1 이동 플레이트(340)는 상기 베이스 플레이트(330)에 대해 상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트(330)의 상부면에 적층되어 결합된다.
상기 베이스 플레이트(330)와 상기 제1 이동 플레이트(340) 사이에는 제1 가이드 부재(342)가 구비될 수 있다. 상기 제1 가이드 부재(342)는 상기 제1 이동 플레이트(340)의 상기 전후 방향 이동을 가이드 한다.
상기 제1 이동 플레이트(340)의 상부면에 제1 캠 팔로워(344)가 구비될 수 있다.
상기 제1 슬라이드 캠(350)은 상기 베이스 플레이트(330)의 상방에 구비된다. 상기 제1 슬라이드 캠(350)은 상기 제1 이동 플레이트(340)의 상방에 배치될 수 있다. 상기 제1 슬라이드 캠(350)은 제1 가이드 홈(352)이 구비된다. 상기 제1 가이드 홈(352)에 상기 제1 캠 팔로워(344)가 삽입되며, 상기 제1 가이드 홈(352)이 상기 제1 캠 팔로워(344)의 이동을 안내할 수 있다.
상기 제1 캠 팔로워(344)가 상기 제1 가이드 홈(352)을 따라 이동함에 따라 상기 제1 이동 플레이트(340) 및 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 전후 방향으로 이동할 수 있다.
상기 제2 이동 플레이트(360)는 상기 베이스 플레이트(330)에 대해 상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트(330)의 하부면에 적층되어 결합된다.
상기 베이스 플레이트(330)와 상기 제2 이동 플레이트(360) 사이에는 제2 가이드 부재(362)가 구비될 수 있다. 상기 제2 가이드 부재(362)는 상기 제2 이동 플레이트(360)의 상기 전후 방향 이동을 가이드 한다.
상기 제2 이동 플레이트(360)의 하부면에 제2 캠 팔로워(364)가 구비될 수 있다.
상기 제2 슬라이드 캠(370)은 상기 베이스 플레이트(330)의 하방에 구비된다. 상기 제2 슬라이드 캠(370)은 상기 제2 이동 플레이트(360)의 하방에 배치될 수 있다. 상기 제2 슬라이드 캠(370)은 제2 가이드 홈(372)이 구비된다. 상기 제2 가이드 홈(372)에 상기 제2 캠 팔로워(364)가 삽입되며, 상기 제2 가이드 홈(372)이 상기 제2 캠 팔로워(364)의 이동을 안내할 수 있다.
상기 제2 캠 팔로워(364)가 상기 제2 가이드 홈(372)을 따라 이동함에 따라 상기 제2 이동 플레이트(360), 상기 제2 고정 부재(312) 및 상기 낙하 방지 부재(314)가 상기 전후 방향으로 이동할 수 있다.
상기 제1 가이드 홈(352)의 상기 전후 방향 길이가 상기 제2 가이드 홈(372)의 상기 전후 방향 길이보다 길 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)의 상기 전후 방향의 이동 거리가 상기 제2 고정 부재(314)의 상기 전후 방향의 이동 거리보다 길 수 있다.
상기 제1 고정 부재(310)가 상기 제2 고정 부재(312)보다 높게 위치하므로, 상기 제1 고정 부재(310)의 상기 이동 거리가 상기 제2 고정 부재(312)의 상기 이동 거리보다 길어야 상기 파지부(240)에 파지된 상기 대상물(20)의 크기가 작더라도 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 대상물(20)의 일측면을 고정할 수 있다.
상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)의 상기 전후 방향의 이동 거리가 서로 다르므로, 상기 파지부(240)에 다양한 크기의 상기 대상물(20)이 파지되더라도 상기 제1 고정 부재(310)와 상기 제2 고정 부재(312) 중 어느 하나가 상기 대상물(20)을 안정적으로 고정할 수 있다.
상기 연결 부재(380)는 상기 제1 이동 플레이트(340)와 상기 제1 고정 부재(310)를 연결한다.
상기 연결 부재(380)는 고정 핀(382) 및 코일 스프링(384)을 포함한다.
상기 고정 핀(382)은 상기 제1 이동 플레이트(340)로부터 상방으로 돌출된 제1 돌출부(341)를 관통하여 상기 제1 고정 부재(310)에 고정된다. 이때 상기 고정 핀(382)은 상기 제1 돌출부(341)에 대해 이동 가능하도록 구비된다. 단, 상기 고정 핀(382)은 상기 제1 고정 부재(310)에 고정된 단부와 반대되는 단부에 걸림턱이 형성된다. 그러므로, 상기 고정 핀(382)이 제1 돌출부(341)로부터 상기 제1 고정 부재(310)가 고정된 방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
상기 코일 스프링(384)은 상기 제1 이동 플레이트(340)의 상기 제1 돌출부(341)와 상기 제1 고정 부재(310) 사이에 상기 고정 핀(382)을 감싸도록 구비된다. 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 대상물(20)과 접촉할 때, 상기 고정 핀(382)이 제1 돌출부(341)에 대해 이동하면서 상기 코일 스프링(384)이 수축할 수 있다. 따라서, 상기 코일 스프링(384)은 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 대상물(20)과 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시킬 수 있다.
또한, 상기 연결 부재(380)는 상기 제2 이동 플레이트(360) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 각각 연결한다.
상기 고정 핀(382)은 상기 제2 이동 플레이트(360)로부터 상방으로 돌출된 제2 돌출부(361)를 관통하여 상기 제2 고정 부재(312)에 고정된다. 상기 코일 스프링(384)은 상기 제2 이동 플레이트(360)의 상기 제2 돌출부(361)와 상기 제2 고정 부재(312) 사이에 상기 고정 핀(382)을 감싸도록 구비된다.
한편, 상기 구동부(320)는 상기 베이스 플레이트(330)에 구비된다. 예를 들면, 상기 구동부(320)는 상기 베이스 플레이트(330)의 하부면에 장착될 수 있다. 상기 구동부(320)는 연결 부재(322)를 이용하여 상기 제1 슬라이드 캠(350) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)과 같이 연결될 수 있다.
상기 구동부(320)는 상기 제1 슬라이드 캠(350) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)을 상기 좌우 방향을 따라 이동시켜 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 상기 고정 위치와 상기 후퇴 위치 사이에서 왕복 이동시킨다.
상기 구동부(320)는 상기 제1 슬라이드 캠(350) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)을 상기 좌우 방향을 따라 직선 왕복 운동시킬 수 있는 것이면 어느 것이나 무방하다. 예를 들면, 상기 구동부(320)는 실린더, 볼 스크류 등일 수 있다.
상기 베이스 플레이트(330)에 상기 제1 이동 플레이트(340), 상기 제1 슬라이드 캠(350), 상기 제2 이동 플레이트(360) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)이 적층된 구조를 가지므로, 상기 하우징(210) 내의 좁은 공간에서 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 이동시킬 수 있다.
상기 대상물 고정 유닛(300)은 다수의 위치 센서(390)들을 더 포함할 수 있다.
상기 위치 센서(390)들은 상기 베이스 플레이트(330)에 구비되며, 제1 센서(392)들 및 제2 센서(394)를 포함할 수 있다.
상기 제1 센서(392)들은 상기 베이스 플레이트(330)의 상부면에 상기 전후 방향을 따라 구비될 수 있다. 상기 대상물(20)의 사이즈가 달라지면, 상기 제1 고정 부재(310)들의 고정 위치가 가변된다. 따라서, 상기 제1 센서(392)들은 상기 다수의 고정 위치들과 상기 후퇴 위치 사이의 간격만큼 이격될 수 있다.
상기 제1 고정 부재(310)의 이동에 따라 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 베이스 플레이트(330)와 이격되므로, 상기 제1 센서(392)들이 상기 제1 고정 부재(310)를 직접 감지하기 어렵다. 따라서, 상기 제1 센서(392)들이 상기 제1 이동 플레이트(340)의 위치를 감지하여 상기 제1 고정 부재(310)의 위치를 확인할 수 있다.
한편, 상기 제1 센서(392)들은 상기 제1 가이드 부재(342)에서 슬라이더의 위치를 감지하여 상기 제1 고정 부재(310)의 위치를 확인할 수도 있다.
상기 제2 센서(394)들은 상기 베이스 플레이트(330)의 하부면에 상기 전후 방향을 따라 구비될 수 있다. 상기 대상물(20)의 사이즈가 달라지면, 상기 제2 고정 부재(312)의 고정 위치가 가변된다. 따라서, 상기 제2 센서(394)들은 상기 다수의 고정 위치들과 상기 후퇴 위치 사이의 간격만큼 이격될 수 있다.
상기 제2 고정 부재(312)의 이동 거리가 상기 제1 고정 부재(310)의 이동 거리와 다르므로, 상기 제2 센서(394)들의 위치와 상기 제1 센서(392)들의 위치는 다를 수 있다.
상기 위치 센서(390)들이 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)의 고정 위치들과 후퇴 위치를 정확하게 감지할 수 있으므로, 상기 구동부(320)와 상기 위치 센서(390)들을 이용하여 여러 사이즈의 상기 대상물(20)을 지지할 수 있도록 대상물 고정 유닛(300)의 동작을 정확하게 구현할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 대상물 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클은 상기 대상물의 진동과 낙하를 방지할 수 있으므로, 상기 대상물의 이송 안정성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 대상물 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클은 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재의 높이가 다르고, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재의 이동 거리도 서로 다르므로, 상기 비히클에 다양한 크기의 상기 대상물이 파지되더라도 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재가 상기 대상물을 안정적으로 고정할 수 있다. 상기 비히클이 다양한 크기의 대상물을 이송할 수 있으므로, 상기 비히클의 활용도를 높일 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 주행 유닛 110 : 주행부
112 : 주행 휠 120 : 조향 휠
122 : 구동부 130 : 모터
200 : 이송 유닛 210 : 하우징
220 : 이동부 230 : 승강부
240 : 파지부 300 : 대상물 고정 유닛
310 : 제1 고정 부재 312 : 제2 고정 부재
314 : 낙하 방지 부재 320 : 구동부
330 : 베이스 플레이트 340 : 제1 이동 플레이트
350 : 제1 슬라이드 캠 360 : 제2 이동 플레이트
370 : 제2 슬라이드 캠 380 : 연결 부재
390 : 위치 센서 392 : 제1 센서
392 : 제2 센서 10 : 주행 레일
20 : 대상물

Claims (10)

  1. 대상물을 파지하여 주행 레일을 주행하는 비히클의 내부에서 전후 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 비히클의 전후에서 상기 대상물을 고정하여 상기 대상물의 진동을 방지하는 대상물 고정 유닛에 있어서,
    상기 각 대상물 고정 유닛은,
    제1 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제1 고정 부재;
    상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제2 고정 부재; 및
    상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재를 상기 비히클의 전후 방향을 따라 왕복 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 고정 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 구동부가 장착되는 베이스 플레이트;
    상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 구비되며, 상기 제1 고정 부재를 고정하며 제1 캠 팔로워를 갖는 제1 이동 플레이트;
    상기 베이스 플레이트의 상방에 배치되고, 상기 제1 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제1 가이드 홈을 갖는 제1 슬라이드 캠;
    상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 하부면에 구비되며, 상기 제2 고정 부재를 고정하며 제2 캠 팔로워를 갖는 제2 이동 플레이트; 및
    상기 베이스 플레이트의 하방에 배치되고, 상기 제2 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제2 가이드 홈을 갖는 제2 슬라이드 캠을 포함하고,
    상기 구동부는 상기 제1 슬라이드 캠 및 제2 슬라이드 캠을 상기 전후 방향과 수직하는 좌우 방향을 따라 이동시켜 상기 제1 고정 부재 및 상기 제2 고정 부재를 상기 왕복 이동시키는 것을 특징으로 하는 대상물 고정 유닛.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 고정 부재의 이동 거리가 상기 제2 고정 부재의 이동 거리보다 길도록 상기 제1 가이드 홈의 상기 전후 방향 길이가 상기 제2 가이드 홈의 상기 전후 방향 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 대상물 고정 유닛.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 이동 플레이트들을 관통하여 상기 제1 및 제2 고정 부재들에 각각 고정되는 고정 핀들; 및
    상기 제1 및 제2 고정 부재들이 상기 대상물과 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 제1 및 제2 이동 플레이트들과 상기 제1 및 제2 고정 부재들 사이에 상기 고정 핀들을 감싸도록 구비되는 코일 스프링들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 고정 유닛.
  5. 제4항에 있어서, 상기 베이스 플레이트에 구비되며, 상기 제1 및 제2 고정 부재들의 위치를 확인하기 위해 상기 제1 및 제2 이동 플레이트의 위치를 감지하기 위한 다수의 위치 센서들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 고정 유닛.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 고정 부재들과 상기 대상물 사이의 마찰력으로 인한 파티클 발생을 방지하기 위해 상기 제1 및 제2 고정 부재들은 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 대상물 고정 유닛.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제2 고정 부재의 하부면에 고정되고, 상기 대상물의 하부에 배치되어 상기 대상물이 낙하시 상기 대상물의 하부면을 지지하는 낙하 방지 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 고정 유닛.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1 높이는 상기 비히클이 파지하는 상기 대상물 중 가장 작은 크기의 대상물의 하단보다 높고,
    상기 제2 높이는 상기 비히클이 파지하는 상기 대상물 중 가장 큰 크기의 대상물의 하단보다 높은 것을 특징으로 하는 대상물 고정 유닛.
  9. 천장의 주행 레일을 주행하는 주행 유닛:
    상기 주행 유닛과 연결되고, 내부에 대상물을 파지하여 이송하는 이송 유닛: 및
    상기 이송 유닛의 내부에서 전후 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 이송 유닛의 전후에서 상기 대상물을 고정하여 상기 대상물의 진동을 방지하는 대상물 고정 유닛을 포함하고,
    상기 각 대상물 고정 유닛은,
    제1 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제1 고정 부재;
    상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제2 고정 부재; 및
    상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재를 상기 비히클의 전후 방향을 따라 왕복 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  10. 제9항에 있어서, 상기 이송 유닛은 상기 주행 유닛과 연결되는 하우징을 포함하고,
    상기 대상물 고정 유닛은 상기 하우징의 내부에 상기 전후 방향 양측에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 비히클.
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