KR102247036B1 - 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클 - Google Patents

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Abstract

비히클의 카세트 고정 유닛은 천장의 주행 레일을 따라 주행하는 비히클의 내부에 구비되며, 상기 비히클에 파지된 카세트의 측면 전후를 각각 지지하여 상기 카세트의 진동을 방지하며 상기 카세트가 회전할 때 간섭을 회피하는 지지부재들 및 상기 지지부재들이 상기 카세트의 측면을 지지하는 지지 위치와, 상기 카세트가 상기 비히클에 수용되도록 상기 지지 위치로부터 후퇴한 후퇴 위치 사이에서 상기 지지부재들을 상기 카세트의 전후 방향과 수직하는 수평 방향을 따라 왕복 이동시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다.

Description

카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클{Unit for supporting cassette and vehicle having the unit}
본 발명은 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비히클에 파지된 카세트의 진동 및 낙하를 방지하기 위한 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다.
상기 비히클이 주행함에 따라 상기 카세트에 진동이 발생할 수 있고, 상기 진동에 의해 상기 카세트가 상기 비히클로부터 낙하할 수 있다. 따라서, 상기 비히클에는 상기 카세트의 진동과 낙하를 방지하기 위한 카세트 고정 유닛이 구비된다.
상기 카세트 고정 유닛은 상기 카세트의 측면 중앙 부위를 지지하는 지지부재를 갖는다. 상기 지지부재는 상기 카세트를 지지하는 지지위치와 회피 위치 사이를 왕복 이동할 수 있다. 상기 지지부재가 상기 카세트의 측면 중앙 부위를 지지하므로, 상기 카세트의 사이즈가 증가하는 경우 상기 지지부재가 상기 회피 위치에 있더라도 상기 카세트가 회전할 때 상기 카세트와 상기 지지부재가 서로 간섭될 수 있다. 따라서, 상기 카세트의 회전이 불가능할 수 있다.
또한, 상기 비히클의 공간적인 제약으로 인해 상기 카세트가 회전할 때 상기 카세트와 상기 지지부재의 간섭을 방지하기 위해 상기 카세트 고정 유닛의 회피 위치를 뒤로 배치하기도 어렵다.
본 발명은 카세트의 사이즈가 변경되더라도 상기 카세트의 회전시 상기 카세트와 지지부재의 간섭을 방지할 수 있는 카세트 고정 유닛을 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 카세트 고정 유닛을 갖는 비히클을 제공한다.
본 발명에 따른 카세트 고정 유닛은 천장의 주행 레일을 따라 주행하는 비히클의 내부에 구비되며, 상기 비히클에 파지된 카세트의 측면 전후를 각각 지지하여 상기 카세트의 진동을 방지하며 상기 카세트가 회전할 때 간섭을 회피하는 지지부재들 및 상기 지지부재들이 상기 카세트의 측면을 지지하는 지지 위치와, 상기 카세트가 상기 비히클에 수용되도록 상기 지지 위치로부터 후퇴한 후퇴 위치 사이에서 상기 지지부재들을 상기 카세트의 전후 방향과 수직하는 수평 방향을 따라 왕복 이동시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 고정 유닛은 상기 지지부재들의 하부면에 고정되고, 상기 카세트의 하부에 배치되어 상기 카세트가 낙하시 상기 카세트의 하부면을 지지하는 낙하 방지 부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 고정 유닛은 상기 비히클의 내부에 고정되며 상기 구동부가 장착되는 베이스 플레이트 및 상기 베이스 플레이트에 대해 상기 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트에 적층되어 결합되고, 상기 지지부재들을 고정하는 이동 플레이트를 더 포함하고, 상기 구동부는 상기 이동 플레이트를 상기 수평 방향을 따라 이동시켜 상기 지지부재들을 상기 왕복 이동시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 고정 유닛은 상기 이동 플레이트를 관통하여 상기 지지부재들에 고정되는 고정 핀들에 의해 상기 이동 플레이트와 상기 지지부재들이 고정되며, 상기 지지부재들이 상기 카세트와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 이동 플레이트와 상기 지지부재들 사이에 상기 고정 핀을 감싸도록 구비되는 코일 스프링을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 고정 유닛은, 상기 베이스 플레이트에 구비되며, 상기 지지부재들의 위치를 확인하기 위해 상기 이동 플레이트의 위치를 감지하기 위한 다수의 센서들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 지지부재들과 상기 카세트 사이의 마찰력으로 인한 파티클 발생을 방지하기 위해 상기 지지부재들은 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 비히클은 천장의 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛과 연결되며, 내부에 카세트를 파지하여 이송하는 이송 유닛 및 상기 이송 유닛의 내부에 구비되며, 상기 카세트의 측면 전후를 각각 지지하여 상기 카세트의 진동을 방지하며 상기 카세트가 회전할 때 간섭을 회피하는 지지부재들 및 상기 지지부재들이 상기 카세트의 측면을 지지하는 지지 위치와, 상기 카세트가 상기 비히클에 수용되도록 상기 지지 위치로부터 후퇴한 후퇴 위치 사이에서 상기 지지부재들을 왕복 이동시키기 위한 구동부로 이루어지는 카세트 고정 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클은 지지부재들이 카세트의 측면 전후를 지지함으로써 상기 카세트의 회전 반경을 증가시킬 수 있다. 따라서, 상기 비히클의 하우징에 보다 큰 사이즈의 카세트를 수용할 수 있고, 상기 큰 사이즈의 카세트를 상기 지지부재와 간섭없이 회전시킬 수 있다. 따라서, 상기 비히클은 보다 다양한 사이즈의 카세트를 수용하여 이송할 수 있다.
또한, 베이스 플레이트와 이동 플레이트가 적층된 상태에서 구동부에 의해 상기 이동 플레이트가 상기 베이스 플레이트에 대해 수평 방향을 따라 이동 가능하고, 상기 지지부재들의 이동을 위한 카세트 고정 유닛의 스트로크를 상기 하우징 내의 좁은 공간에서 구현할 수 있다.
그리고, 센서들이 상기 지지부재들의 지지위치들과 후퇴 위치를 정확하게 감지할 수 있으므로, 여러 사이즈의 카세트를 안정적으로 지지할 수 있도록 상기 카세트 고정 유닛의 스트로크를 정확하게 구현할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 카세트 고정 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 이동 플레이트와 지지부재의 연결을 설명하기 위한 확대도이다.
도 4는 도 1에 도시된 카세트 고정 유닛의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 정면도이다.
도 1을 참조하면, 비히클(400)은 주행 유닛(100), 이송 유닛(200) 및 카세트 고정 유닛(300)을 갖는다.
주행 유닛(100)은 별도 구동부에 의해 주행 롤러(110)가 회전하면서 천장의 주행 레일(10)을 따라 주행한다.
이송 유닛(200)은 주행 유닛(100)과 연결되며, 내부에 카세트(20)를 파지하여 이송한다.
이송 유닛(200)은 하우징(210), 이동부(220), 승강부(230)) 및 파지부(240)를 포함한다.
하우징(210)은 주행 유닛(110)의 하부에 매달리듯 고정된다. 하우징(210)은 카세트(20)의 상하 이동 및 수평 이동을 위해 하방과 일측 측면인 정면이 개방될 수 있다. 이때, 상기 일측 측면은 비히클(400)의 주행 방향과 수직하는 방향일 수 있다.
이동부(220)는 하우징(210)의 내부 상면에 구비되며, 하우징(210)의 개방된 정면을 통해 수평 이동할 수 있다.
승강부(230)는 이동부(220)의 하부면에 고정된다. 승강부(230)는 벨트(232)를 권취하거나 권출하여 벨트(232)를 승강시킬 수 있다.
파지부(240)는 벨트(232)의 단부에 고정되며, 카세트(20)를 파지한다.
승강부(230)가 벨트(232)를 승강시킴에 따라 파지부(240)에 파지된 카세트(20)가 하우징(210)에 대해 승강할 수 있다.
또한, 이동부(220)의 수평 이동에 따라 카세트가(20)가 하우징(210)에 대해 수평 이동할 수 있다.
카세트 고정 유닛(300)은 비히클(400)이 주행함에 따라 발생하는 카세트(20)의 진동과 낙하를 방지한다. 카세트 고정 유닛(300)은 하우징(210)의 내부 양측에 각각 구비될 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 카세트 고정 유닛을 설명하기 위한 평면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 이동 플레이트와 지지부재의 연결을 설명하기 위한 확대도이며, 도 4는 도 1에 도시된 카세트 고정 유닛의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 2 내지 도 4를 추가로 참고하면, 카세트 고정 유닛(300)은 지지부재(310), 낙하 방지 부재(320), 구동부(330)를 포함한다.
지지부재(310)는 비히클(400)의 내부, 구체적으로 하우징(210)의 내부에 구비된다. 지지부재(310)는 한 쌍이 구비되며, 파지부(240)에 파지된 카세트(20)의 측면 전후를 각각 지지한다. 이때, 지지부재(310)는 카세트(20)의 측면 하단부를 지지할 수 있다. 따라서, 지지부재(310)가 카세트(20)를 측면을 지지하므로, 카세트(20)의 진동을 방지할 수 있다.
한 쌍의 지지부재(310)들이 카세트(20)의 측면 전후를 각각 지지하므로, 지지부재들(310) 사이에 공간이 생긴다. 따라서, 파지부(240)에 파지된 카세트(20)를 회전시키는 경우, 지지부재들(310) 사이공간에서도 카세트(20)가 회전할 수 있으므로, 카세트(20)의 회전 반경(r)을 증가시킬 수 있다. 즉, 동일한 위치에서 지지부재(310)가 카세트(20)의 측면 중앙을 지지할 때보다 지지부재(310)가 카세트(20)의 측면 전후를 각각 지지하는 경우, 카세트(20)의 회전 반경(r)을 증가시킬 수 있다.
한 쌍의 지지부재(310)들이 카세트(20)의 측면 전후를 각각 지지하는 경우, 하우징(210)에 보다 큰 사이즈의 카세트(20)를 수용할 수 있고, 상기 큰 사이즈의 카세트(20)를 지지부재(310)와 간섭없이 회전시킬 수 있다. 따라서, 비히클(400)은 보다 다양한 사이즈의 카세트(20)를 수용하여 이송할 수 있다.
한편, 지지부재(310)들은 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 상기 물질의 예로는 테프론, 나일론 등을 들 수 있다. 따라서, 지지부재(310)들과 카세트(20) 사이의 마찰력을 최소화할 수 있다. 그러므로, 지지부재(310)들과 카세트(20) 사이의 마찰력으로 인한 파티클 발생을 방지할 수 있다.
낙하 방지 부재(320)는 지지부재(310)들의 하부면에 고정된다. 일 예로, 낙하 방지 부재(320)는 한 쌍이 구비되어 지지부재(310)들의 하부면에 각각 고정될 수 있다. 다른 예로, 낙하 방지 부재(320)는 카세트(20)의 전후 방향으로 연장하여 지지부재(310)들의 하부면에 동시에 고정될 수 있다.
낙하 방지 부재(320)는 카세트(20)의 하부에 배치되어 비히클(400)의 주행 중 카세트(20)가 낙하시 카세트(20)의 하부면을 지지한다. 따라서, 카세트(20)가 파지부(240)로부터 분리되더라도 카세트(20)가 낙하하는 것을 방지할 수 있다.
구동부(330)는 지지부재(310)들을 지지위치와 후퇴위치 사이에서 왕복 이동시킨다. 예를 들면, 구동부(330)는 지지부재(310)들을 상기 전후 방향과 수직하는 수평 방향을 따라 이동시킨다.
상기 지지위치는 지지부재(310)들이 카세트(20)의 측면을 지지하는 위치이다. 상기 후퇴위치는 카세트(20)가 승강을 통해 비히클(400)의 하우징(210)에 수용되도록 상기 지지 위치로부터 후퇴한 위치이다.
낙하 방지 부재(320)는 지지부재(310)에 고정되므로, 구동부(330)에 의해 지지부재(310)가 이동할 때 낙하 방지 부재(320)도 같이 이동한다.
카세트 고정 유닛(300)은 베이스 플레이트(340), 이송 플레이트(350), 가이드 부재(360), 연결 부재(370)를 더 포함할 수 있다.
베이스 플레이트(340)는 비히클(400)의 내부, 구체적으로 하우징(210)의 내부에 측면에 고정된다.
이동 플레이트(350)는 베이스 플레이트(340)에 대해 상기 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 베이스 플레이트(340)에 적층되어 결합된다. 이동 플레이트(350)는 베이스 플레이트(340)의 하부에 구비되거나 베이스 플레이트(340)의 상부에 구비될 수 있다.
가이드 부재(360)는 베이스 플레이트(340)와 이동 플레이트(350) 사이에 구비되며, 이동 플레이트(350)의 상기 수평 이동을 가이드한다. 가이드 부재(360)는 베이스 플레이트(340)와 이동 플레이트(350) 사이에서 상기 전후 방향 양단에 각각 구비될 수 있다. 따라서, 가이드 부재(360)가 이동 플레이트(350)의 상기 수평 이동을 안정적으로 가이드할 수 있다. 또한, 가이드 부재(360)가 회전하는 카세트(20)와 간섭되는 것을 방지할 수 있다.
연결 부재(370)는 이동 플레이트(350)와 지지부재(310)들을 연결한다.
연결 부재(370)는 고정 핀(372) 및 코일 스프링(374)을 포함한다.
고정 핀(372)은 이동 플레이트(350)의 표면으로부터 돌출된 돌출부(352)를 관통하여 지지부재(310)에 고정된다. 이때 고정 핀(372)은 돌출부(352)에 대해 이동 가능하도록 구비된다. 단, 고정 핀(372)은 지지부재(310)에 고정된 단부와 반대되는 단부에 걸림턱이 형성된다. 그러므로, 고정 핀(372)이 돌출부(352)로부터 지지부재(310)가 고정된 방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
코일 스프링(374)은 이동 플레이트(350)의 돌출부(352)와 지지부재(310) 사이에 고정 핀(372)을 감싸도록 구비된다. 지지부재(310)가 카세트(20)와 접촉할 때, 고정 핀(372)이 돌출부(352)에 대해 이동하면서 코일 스프링(374)이 수축할 수 있다. 따라서, 코일 스프링(374)은 지지부재(310)가 카세트(20)와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시킬 수 있다.
한편, 구동부(330)는 베이스 플레이트(340)에 장착되며, 이동 플레이트(350)를 상기 수평 방향을 따라 이동시켜 지지부재(310)들을 상기 지지 위치와 상기 후퇴 위치 사이에서 왕복 이동시킨다.
구체적으로, 구동부(330)는 모터(332), 벨트(334), 볼 스크류(336), 연결 블록(338)을 포함한다.
스텝 모터(332)는 베이스 플레이트(340)에 장착되며, 이동 플레이트(350)를 이동시키기 위한 회전력을 제공한다. 스텝 모터(332)는 이동 플레이트(350)의 이동 거리에 따라 일정한 각도만큼 단계적으로 회전할 수 있다.
벨트(334)를 모터(332)의 회전력을 볼 스크류(336)로 전달할 수 있다.
볼 스크류(336)는 베이스 플레이트(34)의 상기 전후 방향 양단 중 어느 하나에 구비될 수 있다. 따라서, 볼 스크류(336)가 회전하는 카세트(20)와 간섭되는 것을 방지할 수 있다.
볼 스크류(336)는 벨트(334)를 통해 전달되는 회전력에 의해 스크류 축이 회전하고, 상기 스크류 축의 회전에 따라 너트가 직선 이동한다.
연결 블록(338)은 볼 스크류(336)의 너트와 이동 플레이트(350)를 연결한다. 따라서, 상기 너트가 직선 이동에 따라 이동 플레이트(350)도 상기 너트와 같이 직선 이동한다.
한편, 구동부(330)가 베이스 플레이트(340)와 이동 플레이트(350)가 적층된 상태에서 베이스 플레이트(340)에 대해 이동 플레이트(350)를 상기 수평 방향을 따라 이동시킬 수 있다면, 구동부(330)는 다양한 형태로 변경될 수 있다.
베이스 플레이트(340)와 이동 플레이트(350)가 적층된 상태에서 구동부(330)가 베이스 플레이트(340)에 대해 이동 플레이트(350)를 상기 수평 방향을 따라 이동시킬 수 있고, 가이드 부재(360)와 볼 스크류(336)가 베이스 플레이트(34)의 상기 전후 방향 양단에 구비되므로, 지지부재(310)들의 이동을 위한 스트로크를 좁은 공간에서 구현할 수 있다.
카세트 고정 유닛(300)은 다수의 센서(380)들을 더 포함할 수 있다.
센서(380)들은 베이스 플레이트(340)에 상기 수평 방향을 따라 구비될 수 있다. 카세트(20)의 사이즈가 달라지면, 지지부재(310)들의 지지위치가 가변된다. 따라서, 센서(380)들은 상기 다수의 지지위치들과 상기 후퇴 위치 사이의 간격만큼 이격될 수 있다.
지지부재(310)들은 베이스 플레이트(340)로부터 상기 수평 방향으로 이격되어 있으므로, 센서(380)들이 지지부재(310)들을 직접 감지하기 어렵다. 따라서, 센서(380)들이 이동 플레이트(350)의 위치를 감지하여 지지부재(310)들의 위치를 확인할 수 있다.
한편, 센서(380)들은 연결 블록(338)의 위치를 감지하거나, 가이드 부재(360)에서 슬라이더의 위치를 감지하여 지지부재(310)들의 위치를 확인할 수도 있다.
센서(380)들이 지지부재(310)들의 지지위치들과 후퇴 위치를 정확하게 감지할 수 있도록 베이스 플레이트(340)에 구비되는 경우, 구동부(330)의 스텝 모터(332)와 센서(380)들을 이용하여 여러 사이즈의 카세트(20)를 지지할 수 있도록 카세트 고정 유닛(300)의 스트로크를 정확하게 구현할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 주행 유닛 110 : 주행 롤러
200 : 이송 유닛 210 : 하우징
220 : 이동부 230 : 승강부
240 : 파지부 300 : 카세트 고정 유닛
310 : 지지부재 320 : 낙하 방지 부재
330 : 구동부 340 : 베이스 플레이트
350 : 이동 플레이트 360 : 가이드 부재
370 : 연결 부재 380 : 센서
400 : 비히클 10 : 주행 레일
20 : 카세트

Claims (7)

  1. 천장의 주행 레일을 따라 주행하는 비히클의 내부에 구비되며, 상기 비히클에 파지된 카세트의 측면 전후를 각각 지지하여 상기 카세트의 진동을 방지하며 상기 카세트가 회전할 때 간섭을 회피하는 지지부재들; 및
    상기 지지부재들이 상기 카세트의 측면을 지지하는 지지 위치와, 상기 카세트가 상기 비히클에 수용되도록 상기 지지 위치로부터 후퇴한 후퇴 위치 사이에서 상기 지지부재들을 상기 카세트의 전후 방향과 수직하는 수평 방향을 따라 왕복 이동시키기 위한 구동부를 포함하고,
    상기 비히클의 내부에 고정되며 상기 구동부가 장착되는 베이스 플레이트; 및
    상기 베이스 플레이트에 대해 상기 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트에 적층되어 결합되고, 상기 지지부재들을 고정하는 이동 플레이트를 더 포함하고,
    상기 구동부는 상기 이동 플레이트를 상기 수평 방향을 따라 이동시켜 상기 지지부재들을 상기 왕복 이동시키고,
    상기 카세트의 회전 반경을 증가시키기 위해 상기 지지부재들은 한 쌍이 상기 카세트의 측면 전후에 서로 이격되어 배치되고,
    상기 이동 플레이트를 관통하여 상기 지지부재들에 고정되는 고정 핀들에 의해 상기 이동 플레이트와 상기 지지부재들이 고정되며,
    상기 지지부재들이 상기 카세트와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 이동 플레이트와 상기 지지부재들 사이에 상기 고정 핀을 감싸도록 구비되는 코일 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 고정 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지지부재들의 하부면에 고정되고, 상기 카세트의 하부에 배치되어 상기 카세트가 낙하시 상기 카세트의 하부면을 지지하는 낙하 방지 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 고정 유닛.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 베이스 플레이트에 구비되며, 상기 지지부재들의 위치를 확인하기 위해 상기 이동 플레이트의 위치를 감지하기 위한 다수의 센서들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 고정 유닛.
  6. 제1항에 있어서, 상기 지지부재들과 상기 카세트 사이의 마찰력으로 인한 파티클 발생을 방지하기 위해 상기 지지부재들은 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 카세트 고정 유닛.
  7. 천장의 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛:
    상기 주행 유닛과 연결되며, 내부에 카세트를 파지하여 이송하는 이송 유닛: 및
    상기 이송 유닛의 내부에 구비되며, 상기 카세트의 측면 전후를 각각 지지하여 상기 카세트의 진동을 방지하며 상기 카세트가 회전할 때 간섭을 회피하는 지지부재들 및 상기 지지부재들이 상기 카세트의 측면을 지지하는 지지 위치와, 상기 카세트가 상기 이송 유닛에 수용되도록 상기 지지 위치로부터 후퇴한 후퇴 위치 사이에서 상기 지지부재들을 왕복 이동시키기 위한 구동부로 이루어지는 카세트 고정 유닛을 포함하고,
    상기 카세트 고정 유닛은,
    상기 이송 유닛의 내부에 고정되며 상기 구동부가 장착되는 베이스 플레이트; 및
    상기 베이스 플레이트에 대해 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트에 적층되어 결합되고, 상기 지지부재들을 고정하는 이동 플레이트를 더 포함하고,
    상기 구동부는 상기 이동 플레이트를 상기 수평 방향을 따라 이동시켜 상기 지지부재들을 상기 왕복 이동시키고,
    상기 카세트의 회전 반경을 증가시키기 위해 상기 지지부재들은 한 쌍이 상기 카세트의 측면 전후에 서로 이격되어 배치되고,
    상기 이동 플레이트를 관통하여 상기 지지부재들에 고정되는 고정 핀들에 의해 상기 이동 플레이트와 상기 지지부재들이 고정되며,
    상기 지지부재들이 상기 카세트와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 이동 플레이트와 상기 지지부재들 사이에 상기 고정 핀을 감싸도록 구비되는 코일 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
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