KR100682390B1

KR100682390B1 - 천정운반차

Info

Publication number: KR100682390B1
Application number: KR1020020053746A
Authority: KR
Inventors: 이토야수히사
Original assignee: 무라타 기카이 가부시키가이샤
Priority date: 2001-11-30
Filing date: 2002-09-06
Publication date: 2007-02-15
Also published as: US20030127410A1; JP2003165687A; KR20030044775A; US7611023B2; TW544416B

Abstract

(과제) 호이스트가 부착된 천정운반차로, 운반중의 진동이 물품에 전달되는 것을 억제한다.

(해결수단) 물품(4)의 상부를 지지하는 척기구(10)를 호이스트(7)에 구비함과 아울러, 척기구(10)로 지지한 물품(4)의 낙하를 방지하는 낙하방지기구(14)를 설치하고, 상기 수납한 물품(4)에 대해서 수평하게 추진가능한 이동체(18)를 구비하고, 이동체(18)는 진퇴방향에 대한 측단면이 L자로 형성되고, 이동체(18)의 수평부분(18a)을 물품의 낙하방지수단으로 하고, 이동체의 수직부분(18b)의 물품(4)측의 면에 고무댐퍼(19)를 설치하여 물품(4)의 밀착부재를 구성하고, 낙하방지기구(14)에 설치한 가동부를 회전계의 가동부만으로 구성했다.

Description

천정운반차{OVERHEAD TRAVELLING VEHICLE}

도 1은 천정운반차(1)를 나타내는 사시도이다.

도 2는 궤도(12) 및 천정운반차(1)를 나타내는 정면단면도이다.

도 3은 천정운반차(1)를 나타내는 평면단면도이다.

도 4는 천정운반차(1)를 나타내는 측면단면도이다.

도 5는 낙하방지기구(14)를 나타내는 사시도이다.

도 6은 낙하방지기구(14)의 구동의 상태를 나타내는 평면도이다.

(부호의 설명)

1:천정운반차 4:물품

7:호이스트 10:척기구

14:낙하방지기구 18:이동체

18a:수평부분 18b:수직부분

본 발명은 호이스트를 구비하고, 바닥면의 상방에 설치한 궤도를 따라 주행하는 천정운반차에 관한 것으로, 특히, 호이스트에 의해 지지되어 운반차내에 수납 된 물품의 지지기구에 관한 것이다.

종래부터, 호이스트를 구비하고, 바닥면의 상방에 설치한 궤도를 따라 주행하는 천정운반차(이하, 운반차)가 알려져 있다. 운반차는 궤도를 따라 주행을 행하는 주행부와, 물품을 수납하는 물품지지부로 구성된다.

이러한 운반차는 호이스트에 설치한 척기구에 의해 물품의 상부에 형성되는 핸들을 지지해서 감아올림으로써, 운반차내부에 물품을 수납한다. 물품의 수납상태는 호이스트가 물품을 지지한 척기구를 최상위치에 도달시키면 종료되고, 이 상태에서 운반차의 물품운반이 행해진다.

최근, 웨이퍼를 운반하는 천정운반차에 있어서는, 고속화가 요구되고 있지만, 천정운반차를 고속으로 주행시키려고 하면, 운반차내부에 수납된 물품이 호이스트의 견인와이어선단에 설치한 척을 지점으로 해서 요동하게 된다. 운반되는 물품이 다수의 웨이퍼를 수납한 카셋트와 같이, 진동내구성이 낮은 경우에는, 전술한 요동에 의한 충격에 의해 악영향을 받게 된다.

그래서 본 발명은 호이스트가 부착된 천정운반차로, 운반중의 진동이 물품에 전달되는 것을 억제한다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상과 같으며, 다음에 상기 과제를 해결하기 위한 수단을 설명한다.

즉, 제1항에 있어서는, 호이스트를 구비하고, 바닥면의 상방에 설치한 궤도를 따라 주행하는 천정운반차로서, 호이스트에 설치되며, 물품의 상부를 지지하는 척기구와, 물품의 측면에 밀착되는 밀착부재를 구비하고, 상기 밀착부재는 척기구가 최상위치까지 상승한 상태에서 구동되는 것이다.

제2항에 있어서는, 상기 밀착부재는 운반차의 전후에 각각 설치되는 것이다.

제3항에 있어서는, 상기 밀착부재는 운반차에 설치된 케이싱의 전후에 각각 설치되는 것이다.

제4항에 있어서는, 상기 밀착부재는 탄성부재를 포함하고, 상기 물품에 가해지는 충격을 흡수할 수 있도록 상기 물품에 상기 탄성부재를 통해 밀착되는 것이다.

삭제

제6항에 있어서는, 상기 밀착부재는 물품의 하부를 누르도록 배치되는 것이다.

제7항에 있어서는, 상기 척기구로 지지한 물품의 낙하를 방지하는 낙하방지기구가 운반차에 설치되며, 상기 낙하방지기구에 상기 밀착부재가 설치되는 것이다.

본 발명의 일실시예인 천정운반차(1)의 구성에 대해서 도 1에서 도 3을 이용해서 설명한다.

도 1, 도 2에 나타내듯이, 운반차(1)는 상부에 주행부(2)를 설치하고, 하부에 물품지지장치(3)를 설치하고 있고, 주행부(2)와 물품지지장치(3)는 연결체(6)에 의해 연결된다.

도 3에 나타내듯이, 주행부(2)는 중앙의 메인프레임(31)과, 상기 메인프레임(31)의 전후에 위치하는 차륜지지부(32,32)로 구성된다. 차륜지지부(32,32)와 메인프레임(31)은 회전축(33,33)을 통해 연결되어 있고, 차륜지지부(32,32)가 메인프레임(31)에 대해서 회전가능하게 되어 있다. 그리고, 궤도(12)에 설치한 곡선부를 운반차(1)가 주행가능하게 되도록 하고 있다.

또, 주행부(2)의 하방에는 하물을 탑재할 수 있도록 구성한 물품지지장치(3)가 설치되어 있다. 물품지지장치(3)는 연결체(6)를 통해 주행부(2)에 지지된다.

또, 연결체(6)의 좌우에는 운반차(1)로의 급전수단으로서, 한 쌍의 픽업유닛(9,9)이 각각 좌우에 설치되어 있다. 픽업유닛(9)은 E자형상의 코어(15)를 구비하고, 상기 코어(15)의 개구부에, 궤도(12)의 하방에 설치한 급전선(5,5)을 삽입가능하게 하고 있다. 그리고, 급전선(5,5)을 흐르는 교류전류로부터 발생하는 자장으로부터, 전자유도를 이용해서 코어(15)에 설치한 픽업코일(17)로 전력을 수전한다. 급전선(5,5)은 궤도(12)의 하측에 설치한 급전선홀더(34)에 지지된다.

또, 운반차(1)로의 급전수단으로서는 코어와 급전선에 의한 비접촉급전방식에 한정되는 것은 아니다.

주행부(2)에는 운반차(1)의 구동수단으로서, 도 2, 도 3에 나타내듯이, 모터(16)가 설치되며, 상기 모터(16)는 상기 메인프레임(31)에 부착되어 있다.

또, 모터(16)의 모터축과 동축에 구동차륜(25)이 설치되어 있고, 모터(16)의 구동에 의해 구동차륜(25)이 회전하도록 되어 있다.

도 1에서 도 3에 나타내듯이, 차륜지지부(32)는 주행방향에서 본 단면이 상측으로 개구하는 오목형상으로 형성되어 있다. 차륜지지부(32)의 하부의 좌우양측에는 좌우방향의 차축을 갖는 주행차륜(23,23)이 배치되어 있고, 상기 차축이 차륜 지지부(32)에 고정설치되어 있다.

주행차륜(23)은 전후의 차륜지지부(32)의 좌우에 각각 배치되고, 주행부(2)전체에서는 전후좌우에 4륜의 주행차륜(23)이 설치되어 있다. 주행차륜(23,23,…)은 궤도(12)에 형성한 주행면(40,40)(후술)에 접촉해서 운반차(1)를 궤도(12)상에 지지한다.

궤도(12)는 바닥면의 상방에 설치되며, 운반차(1)는 궤도(12)에 매달려진 상태로 주행한다.

궤도(12)는 궤도방향에서 본 단면이 하측으로 개구하는 오목형상으로 형성되고, 수평방향으로 연장하는 베이스부(42)와, 베이스부(42)의 양단으로부터 하방으로 연장되는 측벽(41,41)으로 이루어진다. 또, 측벽(41,41)의 하단으로부터 내측을 향해 연장하는 수평부가 형성되며, 상기 수평부의 상면은 주행차륜(23)이 접촉하는 주행면(40)에 형성되어 있다.

베이스부(42)의 좌우중앙부의 하면은 구동차륜(25)이 접촉하는 주행면(42a)에 형성되어 있다.

또, 도 1에 나타내듯이(도 2에는 도시하지 않음), 차륜지지부(32)의 상부의 좌우양측에는 상하방향의 차축을 갖는 가이드륜(24,24)이 좌우 각각에 한 쌍씩 설치되어 있다. 좌우의 가이드륜(24,24,…)은 궤도(12)에 형성한 후술하는 수직부(41,41)에 대략 접촉상태로서, 운반차(1)가 궤도(12)를 따라 좌우에 위치어긋남없이 주행하도록 하고 있다.

물품지지장치(3)의 구성에 대해서, 도 1, 도 4를 이용해서 설명한다. 물품지 지장치(3)에는 호이스트(7)와, 호이스트(7)를 궤도방향에 대해서 좌우이동가능하게 하는 암(8)이 설치되어 있다. 암(8)의 하방에 호이스트(7)가 배치된다.

호이스트(7)는 척기구(10)와, 척기구(10)의 승강수단인 윈치(11)로 구성된다. 윈치(11)의 하방에 척기구(10)가 배치되고, 척기구(10)에는 도시하지 않은 와이어의 선단이 부착되어 있다. 그리고, 와이어를 감기·풀기함으로써, 척기구(10)를 승강가능하게 하고 있다.

물품지지장치(3)를 둘러싸는 케이싱(13)은 하면과 좌우 일측면에, 개구부를 형성하고 있고, 호이스트(7)를 좌우이동가능하게 함과 아울러, 척기구(10)의 승강이 가능하게 되도록 하고 있다.

물품(4)의 상단부에는 척기구(10)에 의해 고정해서 물품(4)을 지지하기 위한 핸들(4a)이 설치되어 있다. 핸들(4a)은 수평방향에서 볼 때 T자형상으로 형성되어 있다.

한편, 상기 척기구(10)는 T자형상인 핸들(4a)의 수평연장부분을 지지가능하게 구성되어 있다. 그리고 척기구(10)에 의해 물품(4)의 상부에 설치한 핸들(4a)을 지지해서 윈치(11)와 암(7)의 구동에 의해, 물품(4)을 케이싱(13)내에 수납한다. 또, 윈치(11)가 물품(4)을 지지한 척기구(10)를 최상위치까지 상승시킨 상태가 물품지지장치(3)에 있어서의 물품(4)의 수납상태이다.

물품지지장치(3)내에 수납한 물품(4)의 낙하를 방지하는 낙하방지기구(14)에 대해서 도 1, 도 4, 도 5를 이용해서 설명한다. 도 1, 도 4에 나타내듯이, 상기 케이싱(13)내의 하부의 전후에는 낙하방지기구(14,14)가 설치되어 있다.

낙하방지기구(14)는 척기구(10)로 지지한 물품(4)의 낙하를 방지하기 위한 기구이며, 이동체(18)를 수평방향(운반차(1)의 주행방향인 전후방향)으로 진퇴가능하게 구성되어 있다.

이동체(18)는 진퇴방향에 대한 측단면이 L자형상으로 형성되어 있고, 수평부분(18a)과 수직부분(18b)으로 구성된다.

이동체(18)의 수평부분(18a)은 물품지지장치(3)내에 수납한 물품(4)의 낙하방지수단으로 되어 있다.

전후에 설치한 낙하방지지구(14,14)의 구동(후술)에 의해, 이동체(18,18)를 케이싱(14)의 내측을 향해 진출시키면, 양 이동체(18,18)의 수평부분(18a,18a)이 수납한 물품(4)의 전후단의 하방위치에 위치한다.

이 때문에, 척기구(10)에 의한 물품(4)의 지지가 해제된 경우에도 물품(4)이 물품지지장치(3)로부터 낙하하는 것을 낙하방지수단인 수평부분(18a,18a)에 의해 제지가능하다.

이동체(18)의 수직부분(18b)에는 수납한 물품(4)측의 면에, 탄성부재인 고무댐퍼(19)가 한 쌍 설치되어 있고, 상기 고무댐퍼(19)는 수납한 물품(4)으로의 밀착부재로서 구성되어 있다. 고무댐퍼(19)는 도 5에 나타내듯이, 물품(4)측(케이싱(13)의 내측)에 돌출하는 산형으로 형성됨과 아울러, 산형의 돌출부내에 상하방향의 공동부분(19a)을 설치하고 있고, 충격흡수작용이 증대하도록 형성되어 있다.

그리고, 전후에 설치한 낙하방지기구(14,14)의 구동(후술)에 의해, 이동체(18,18)를 케이싱(13)의 내측을 향해 진출시키면, 양 이동체(18,18)의 수직부분(18b,18b)은 수납한 물품(4)을 향해 접근하고, 수직부분(18b)각각에 한 쌍 설치한 고무댐퍼(19,19)가 물품(4)의 측면에 접촉한다.

이 때문에, 물품(4)의 하단부는 전후로부터 고무댐퍼(19,19)의 쌍에 의해, 밀착되고, 안정적으로 낙하방지기구(14,14)에 의해 유지된다.

고무댐퍼(19,19)에 의한 밀착이 없는 경우에는, 물품(4)의 수납상태에 있어서 운반차(1)가 주행하면, 주행장치(2)에서의 진동이 물품지지장치(3)에 전달되고, 척기구(10)에 의한 물품(4)의 핸들(4a)의 지지개소를 지점으로 해서 물품(4)이 전후로 요동하게 된다.

그러나, 본 발명에서는 고무댐퍼(19)에 의해 구성한 밀착부재에 의해 물품(4)측면의 전후를 압압해서, 물품(4)을 안정적으로 유지할 수 있다. 그리고 운반차(1)의 주행 등에 의해 물품지지장치(3)에 진동이 전달된 경우라도, 물품(4)이 척기구(10)에 의한 지지개소를 지점으로 해서 전후로 요동하는 것을 방지할 수 있다.

낙하방지기구(14)에는 물품(4)의 밀착부재인 고무댐퍼(19)가 설치되는 구성이다. 그리고, 낙하방지기구(14)는 수납한 물품(4)의 낙하방지수단과, 상기 물품(4)의 밀착부재인 고무댐퍼(19)를 양쪽 모두 구성할 수 있다.

즉, 본 실시예의 낙하방지기구(14)는 낙하방지수단을 구동시키는 낙하방지기구와, 밀착부재를 구동시키는 밀착기구를 겸용한 구성이다.

이상과 같이, 본 실시예의 낙하방지기구(14)를 구성함으로써, 물품지지장치(3)에 척기구(10)로 지지한 물품(4)의 낙하를 방지하는 낙하방지기구와, 물품의 측면에 밀착시키는 밀착부재가 구비되어져 있다.

이 때문에, 물품의 탈락방지를 꾀함과 아울러, 물품지지장치(3)(운반차(1))에 진동이 가해진 경우에도 물품(4)이 요동하는 것을 방지할 수 있다. 특히, 물품(4)이 웨이퍼를 수납한 카셋트 등과 같이, 진동내구성이 낮은 부재로 구성되어 있는 경우라도 물품(4)의 요동을 방지할 수 있으므로, 고속에서의 운반작업을 지장없이 행할 수 있다.

또, 이상에 있어서, 수납한 물품(4)에 대해서 수평하게 진퇴가능한 이동체(18)를 구비하고, 이동체(18)에 낙하방지수단인 수평부분(18a)과, 밀착부재인 고무댐퍼(19)를 겸용시키고 있다. 따라서, 본 실시예의 낙하방지기구(14)는 전술한 바와 같이, 수납한 물품(4)의 낙하방지수단과, 수납한 물품(4)의 밀착부재를 겸용하는 구성이다.

이 때문에, 물품(4)의 낙하방지를 위한 낙하방지기구(14)에 의해, 물품(4)의 요동방지를 동시에 실현할 수 있다. 따라서, 부재점수의 삭감도 실현된다.

또, 본 실시형태에서는 낙하방지기구(14)에 밀착부재와 낙하방지수단을 겸용하고 있지만, 밀착부재와 낙하방지기구(14)를 따로 설치해서, 각각 독립적으로 구동하도록 해도 좋다. 또, 궤도의 밑에 낙하방지네트가 설치되는 등 천정운반차 이외에 낙하방지대책이 실시되어 있는 경우에는 천정운반차에 낙하방지기구를 설치하지 않아도 좋다. 그 때, 밀착부재는 물품(4)의 하방측면에 접촉시키도록 함으로써, 보다 효율적으로 물품(4)의 요동을 억제할 수 있다.

다음에, 낙하방지기구(14)에 설치한 이동체(18)를 구동시키는 구동전달기구에 대해서 도 1, 도 4, 도 5, 도 6을 이용해서 설명한다.

도 1에 나타내듯이, 부착판(20)은 낙하방지기구(14)의 케이싱(13)으로의 부착부재이며, 상기 부착판(20)상에 이동체(18)를 구동시키는 구동원 및 구동전달기구가 설치되어 있다.

도 5에 나타내듯이, 부착판(20)상에는 지주(21,21)가 고정설치되어 있고, 상기 지주(21,21)상에 지지판(22)이 고정설치되어 있다. 지지판(22)상에는 상기 구동원으로서 모터(43)가 설치됨과 아울러, 브레이크(44)가 설치되어 있다.

도 5, 도 6에 나타내듯이, 상기 구동전달기구는 모터(43)의 모터축(43a)의 회전구동을 이동체(18)의 전후이동으로 변환하는 크랭크기구에 구성되어 있다.

지지판(22)에는 모터(43)의 모터축(43a)과 동축에 삽입통과구멍이 형성되어 있고, 상기 삽입통과구멍을 통해, 모터축(43a)은 지지판(22)의 하방으로 연장하고 있다. 모터축(43a)의 하단에는 기어(45)가 고정설치되어 있다. 기어(45)의 하면에는 모터축(43a)에 대해서 기어(45)의 반경방향외측에 회동축(26)이 설치되어 있다. 즉 회동축(26)은 모터(43)의 구동에 의해 모터축(43a)둘레로 회전한다. 여기에서, 기어(45)는 상기 크랭크기구의 크랭크에 구성되어 있다.

모터(43)의 측방에 설치한 브레이크(44)로부터 브레이크축(44a)이 연장되어 있다. 브레이크(44a)의 하단에는 기어(46)가 고정설치되어 있고, 상기 기어(45)와 맞물리고 있다. 브레이크축(44a)은 기어(45,46)의 맞물림을 통해 모터축(43a)의 회전시에는 종동회전하는 구성이다. 그리고, 브레이크(44)는 브레이크축(44a)을 제지함으로써, 낙하방지기구(14)에 설치한 구동전달기구의 구동을 정지가능하게 하고 있다.

또, 브레이크(44)에는 이동체(18)의 진퇴위치를 검출하는 위치검출수단이 설치되어 있다.

브레이크축(44a)상단은 브레이크(44)의 상방에 위치하고 있고, 상기 상단에 브레이크축(44a)의 반경방향으로 연장하는 피검출체(38)가 설치되어 있다. 또, 브레이크축(44a)상단부에 있어서, 브레이크(44a)의 반경방향외측에 위치검출센서(39A,39B)가 설치되어 있다. 피검출체(38) 및 위치검출센서(39A,39B)에 의해 이동체(18)의 위치검출수단이 구성된다.

위치검출센서(39A,39B)는 광로가 차단된 것을 검출하는 광센서, 예를 들면, 투과형 광전센서이다. 위치검출센서(39A,39B)의 브레이크축(44a)측 선단은 오목하게 형성되고, 브레이크축(44a)의 회전에 따라 피검출체(38)가 통과가능하게 되어 있다. 피검출체(38)가 센서(39A,39B)의 브레이크축(44a)측 선단을 통과하면, 센서(39A,39B)선단의 오목형상 내부에 형성되는 광통로가 차단되어 피검출체(38)가 센서(39A,39B)에 의해 검출된다. 위치검출센서(39A,39B)는 이동체(18)의 최대퇴입위치와, 최대진출위치를 검출할 수 있도록 되어 있다. 이동체(18)의 최대퇴입위치란, 도 6의 (a)에 나타내듯이, 이동체(18)가 물품(4)측으로부터 최대한 퇴입해서 부착판(20)의 하방에 수납된 위치이다. 또, 이동체(18)의 최대진출위치란 도 6의 (c)에 나타내듯이, 이동체(18)가 물품(4)측에 최대한 진출해서 물품(4)의 낙하방지와 밀착이 실현되는 위치이다.

이동체(18)의 진퇴위치와, 브레이크축(44a)의 회전위치(모터축(43a)의 회전위치)는 대응하고 있다. 따라서, 이동체(18)의 최대퇴입위치와 최대진출위치를 검출하는 센서(39A,39B)의 설치위치가 이 대응관계로부터 결정된다.

회동축(26)의 하단은 제1링크(27)의 일단에 회전가능하게 설치되어 있다. 제1링크(27)의 상기 일단에 대한 타단에는 회동축(28)이 설치되어 있고, 회동축(28)은 제2링크(29L)의 중앙부에 회전가능하게 설치되어 있다.

제2링크(29L,29R)는 이동체(18)의 진퇴방향에 대한 좌우에 설치되어 있고, 다음에 설명하듯이, 평행링크에 구성되어 있다.

제2링크(29L,29R)의 양단부에는 각각 지점축(30L,30R) 및 회동축(35L,35R)이 설치되어 있다. 지점축(30)은 제2링크(29)의 일단(물품(4)측단)에 설치됨과 아울러, 부착판(20)에 회동가능하게 설치되어 있다. 회동축(35L,35R)사이는 연결링크(36)에 의해 접속되어 있다. 연결링크(36)의 양단부에서 회동축(35L,35R)이 회동가능하게 설치되어 있다.

이상에 있어서, 지점축(30L,30R)은 부착판(20)에 설치되어 있고(수평면내에 있어서)위치변동은 없다. 한편, 회동축(26,28,35L,35R)은 모터축(43a)의 회전에 의해 수평면내에서 위치가 변동한다.

따라서, 모터(43)의 구동에 의해, 기어(45)의 회전이나 제1링크(27) 등의 이동을 통해 제2링크(29L)가 지점축(30)둘레로 회전하면, 연결링크(36)를 통해 제2링크(29R)가 제2링크(29L)와 평행하게 회전한다.

지점축(30L,30R)은 각각 제2링크(29L,29R)에 고정설치되어 있다. 부착판(20)에는 지점축(30L,30R)과 동시에 삽입구멍이 형성되어 있고, 상기 삽입구멍을 통해 지점축(30L,30R)이 부착판(20)의 하방으로 연장되어 있다. 또, 지점축(30L,30R)의 하단에는 각각 암(37L,37R)이 일단에 고정설치되어 있다.

즉, 제2링크(29L)와 암(37L)은 서로 고정되어 있고, 지점축(30L)을 지점으로 해서 회전한다. 제2링크(29R)와 암(37R)도 서로 고정되어 있고, 지점축(30R)을 지점으로 해서 회전한다.

암(37L,37R)은 암(37L,37R)의 지점축(30L,30R) 반대측의 단부에서 이동체(18)에 회동가능하게 설치되어 있다.

보다 상세하게는 이동체(18)의 수직부(18b)의 반물품(4)측의 면부에, 이동체(18)의 진퇴방향의 좌우에서, 부착부(18c,18c)가 고정설치되어 있다. 그리고, 부착부(18c,18c)에 암(37L,37R)의 (지점축(30L,30R) 반대측의) 단부가 회동가능하게 설치되어 있다.

그리고, 평행링크인 제2링크(29L,29R)가 각각 지점축(30L,30R)둘레로 회전하면, 제2링크(29L,29R)에 고정된 암(27L,37R)이 각각 지점축(30L,30R)둘레로 회전해서 이동체(18)가 물품(4)측을 향해 진퇴한다.

이상과 같이 해서, 부착판(20)에 이동체(18)를 물품(4)측을 향해서 진퇴이동가능하게 하는 구동전달기구가 설치되어 있다.

상기 구동전달기구는 전술한 바와 같이, 모터축(43a)의 회전운동을 이동체(18)의 전후이동으로 변환하는 크랭크기구이다.

즉, 낙하방지기구(14)에 설치한 구동전달기구는 회전계의 가동부만으로 구성 되는 것이다. 또 전술한 바와 같이, 본 실시예의 낙하방지기구(18)는 물품(4)의 낙하방지와, 밀착을 겸용하는 기구이다.

이 때문에, 전동실린더 등을 이용해서, 부재끼리를 미끄럽게 해서 이동시키는 상대위치변동계의 가동부를 설치하는 경우와 비교해서, 구동전달기구로부터의 먼지 등의 발생량을 현저히 감소시킬 수 있다.

또, 이동체(18)는 전술한 크랭크기구에 의해 대략 직선적으로 진출하기 때문에 상기 이동체(18)가 물품과 스치는 일이 없고, 먼지의 발생을 억제할 수 있다. 따라서, 본 발명의 낙하방지기구(14)는 클린룸 등, 먼지의 발생이 문제가 되는 작업장에서도 이용가능하다.

제1항에 기재된 바와 같이, 호이스트를 구비하고, 바닥면의 상방에 설치한 궤도를 따라 주행하는 천정주행운반차로서, 호이스트에 설치되며, 물품이 상부를 지지하는 척기구와, 물품의 측면에 밀착되는 밀착부재를 구비한 것으로, 운반차에 진동이 가해진 경우에도, 물품이 요동하는 것을 방지할 수 있다. 특히, 물품이 웨이퍼를 수납한 카셋트 등과 같이, 진동내구성이 낮은 부재로 구성되어 있는 경우라도, 물품의 요동을 방지할 수 있으므로, 운반작업을 지장없이 행할 수 있다.
그리고 상기 밀착부재는 척기구가 최상위치까지 상승한 상태에서 구동되므로, 물품을 케이싱으로 보다 확실하게 보호한 상태에서 물품의 요동을 억제할 수 있다.

제2항에 기재된 바와 같이, 상기 밀착부재는 운반차의 전후에 각각 설치되므로, 가감속에 따른 물품의 요동을 효과적으로 방지할 수 있다.

제3항에 기재된 바와 같이, 상기 밀착부재는 운반차에 설치된 케이싱의 전후에 각각 설치되므로, 가감속에 따른 물품의 요동에 추가로 호이스트의 요동도 효과 적으로 방지할 수 있다.

제4항에 기재된 바와 같이, 상기 밀착부재는 충격흡수작용을 구비하고 있으므로, 주행중의 물품의 진동을 보다 효과적으로 흡수할 수 있음과 아울러, 밀착부재가 물품에 접촉했을 때의 진동도 흡수할 수 있다.

삭제

제6항에 기재된 바와 같이, 상기 밀착부재는 물품의 하부를 누르도록 배치되므로, 물품을 보다 안정적으로 확실히 지지할 수 있다.

제7항에 기재된 바와 같이, 상기 척기구로 지지한 물품의 낙하를 방지하는 낙하방지기구가 운반차에 설치되고, 상기 낙하방지기구에 상기 밀착부재가 설치되므로, 궤도에 낙하방지기구가 설치되어 있지 않은 경우라도, 운반차로부터 물품이 낙하하는 것을 방지할 수 있다. 또, 밀착부재가 낙하방지기구에 설치되므로, 물품의 낙하방지와 요동방지를 동시에 행할 수 있음과 아울러, 물품의 하부를 밀착부재에 의해 억제할 수 있고, 물품을 보다 안정적으로 확실히 지지할 수 있다.

Claims

호이스트를 구비하고, 바닥면의 상방에 설치한 궤도를 따라 주행하는 천정운반차로서, 호이스트에 설치되어 물품의 상부를 지지하는 척기구와, 물품의 측면에 밀착되는 밀착부재를 구비하고,

상기 밀착부재는 척기구가 최상위치까지 상승한 상태에서 구동되는 것을 특징으로 하는 천정운반차.
제1항에 있어서, 상기 밀착부재는 운반차의 전후에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 천정운반차.
제2항에 있어서, 상기 밀착부재는 운반차에 설치된 케이싱의 전후에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 천정운반차.
제1항에 있어서, 상기 밀착부재는 탄성부재를 포함하고, 상기 물품에 가해지는 충격을 흡수할 수 있도록 상기 물품에 상기 탄성부재를 통해 밀착되는 것을 특징으로 하는 천정운반차.
삭제
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밀착부재는 물품의 하부를 누르도록 배치되는 것을 특징으로 하는 천정운반차.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 척기구로 지지한 물품의 낙하를 방지하는 낙하방지기구가 운반차에 설치되며, 상기 낙하방지기구에 상기 밀착부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 천정운반차.