CN116253107A - 搬运台车以及包含该搬运台车的搬运系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于使搬运物的层间移动变得顺利的搬运台车以及包含该搬运台车的搬运系统。所述搬运系统包含轨道装置以及在所述轨道装置移动的搬运台车,所述轨道装置包含:第1轨道,具有第1倾斜角;第2轨道,具有大于所述第1倾斜角的第2倾斜角;第1连接轨道,连接所述第1轨道和所述第2轨道;以及齿轨,沿着所述第1连接轨道以及所述第2轨道设置,所述搬运台车包含:框架;行驶轮,与所述框架连接,并沿着所述第1轨道、所述第1连接轨道以及所述第2轨道移动;以及小齿轮,与所述框架连接,并沿着所述齿轨移动。
Description
技术领域
本发明涉及搬运台车以及包含该搬运台车的搬运系统。
背景技术
在半导体工厂内,搬运物(例如,FOUP(Front Opening Universal Pod,前开式通用舱)、FOSB(Front Opening Shipping Box,前开式装运箱))通过自动搬运系统进行移动。自动搬运系统例如包含OHT(overhead hoist transport,空中升降搬运机)、OHS(overheadshuttle,空中穿梭机)等。
另一方面,为了使搬运物进行层间移动,使用塔式升降机(tower lifter)。但是,需要从OHT那样的搬运台车将搬运物挪移到塔式升降机,在将搬运物载置于塔式升降机之前,要耗费许多等待的时间等。因此,在塔式升降机区域将聚集许多的搬运物。
发明内容
发明要解决的课题
本发明要解决的课题在于,提供一种使搬运物的层间移动变得顺利的搬运系统。
本发明要解决的另一个课题在于,提供一种在所述搬运系统中使用的搬运台车。
本发明的课题并不限于以上提及的课题,根据以下的记载,本领域技术人员能够明确地理解未提及的其它课题。
用于解决课题的技术方案
根据用于解决上述课题的本发明的搬运系统的一个方面,包含:轨道装置;以及搬运台车,在所述轨道装置移动,所述轨道装置包含:第1轨道,具有第1倾斜角;第2轨道,具有大于所述第1倾斜角的第2倾斜角;第1连接轨道,连接所述第1轨道和所述第2轨道;以及齿轨(rack rail),沿着所述第1连接轨道以及所述第2轨道设置,所述搬运台车包含:框架;行驶轮,与所述框架连接,并沿着所述第1轨道、所述第1连接轨道以及所述第2轨道移动;以及小齿轮(pinion gear),与所述框架连接,并沿着所述齿轨移动。
根据用于解决上述课题的本发明的搬运系统的另一个方面,包含:轨道装置,包含水平地延伸的第1轨道、与所述第1轨道连接且倾斜角增加的第1连接轨道、与所述第1连接轨道连接且垂直地延伸的第2轨道、与所述第2轨道连接且倾斜角减小的第2连接轨道、以及与所述第2连接轨道连接且水平地延伸的第3轨道;以及搬运台车,沿着所述第1轨道的侧面、所述第1连接轨道的侧面、所述第2轨道的侧面、所述第2连接轨道的侧面以及所述第3轨道的侧面移动,所述轨道装置还包含:齿轨,设置在所述第1连接轨道、所述第2轨道以及所述第2连接轨道,但是不设置于所述第1轨道以及所述第3轨道,所述搬运台车包含行驶轮和小齿轮,在所述搬运台车在所述第1轨道移动时,使用所述行驶轮,在所述搬运台车在所述第1连接轨道、所述第2轨道以及所述第2连接轨道爬升时,使用所述行驶轮以及所述小齿轮,在所述搬运台车在所述第3轨道移动时,使用所述行驶轮。
根据用于解决上述另一个课题的本发明的搬运台车的一个方面,包含:框架,包含外侧面、内侧面、上表面以及下表面;传递单元,设置在所述框架的外侧面,并支承搬运物;交叉滚子轴承(cross roller bearing),与所述传递单元连接,使所述传递单元维持水平;拾取单元,设置在所述框架的内侧面,被从轨道装置提供电源;第1副框架,在所述框架的上表面朝向所述轨道装置突出;第1导轮,设置在所述第1副框架的底面;第2副框架,在所述框架的下表面朝向所述轨道装置突出;第2导轮,设置在所述第2副框架的上表面;以及行驶轮和小齿轮,设置在所述第2副框架。
其它实施例的具体的事项包含于以下的详细的说明以及附图。
附图说明
图1是用于说明本发明的一个实施例涉及的搬运系统的概念图。
图2是沿着图1的A-A切断的剖视图。
图3是沿着图1的B-B切断的剖视图。
图4是用于说明图3所示的齿轨与小齿轮之间的关系的图。
图5是用于说明图1的第1轨道、第2轨道以及第1连接轨道的图。
图6是用于说明本发明的另一个实施例涉及的搬运系统的概念图。
图7至图9是用于说明在本发明的几个实施例中使用的搬运台车的图。
图10以及图11是用于说明本发明的又一个实施例涉及的搬运系统的立体图。
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的优选的实施例进行详细说明。参照以下结合附图详细说明的实施例,可明确本发明的优点、特征以及用于实现它们的方法。但是,本发明并不限定于以下记载的实施例,能够以各种各样的不同的方式来实现,这些实施例只是用于使本发明的公开完整,帮助本领域技术人员完整地理解发明的范畴,本发明仅由权利要求书定义。贯穿整个说明书,同一附图标记指代同一构成要素。
为了如图所示地使一个元件或构成要素与另一个元件或构成要素的相关关系的描述变得容易,可以使用“下(below)”、“下方(beneath)”、“下部(lower)”、“上(above)”、“上部(upper)”等空间上的相对的用语。空间上的相对的用语应理解为除了图中所示的方向以外还包含使用时或动作时的元件的相互不同的方向的用语。例如,在将图中所示的元件翻转的情况下,被描述为另一个元件的“下(below)”或“下方(beneath)”的元件可能被置于另一个元件之“上(above)”。因此,例示性的用语“下”可以包含下和上这两个方向。元件的取向也可以朝向其它方向,因此,空间上的相对的用语可以根据取向来解释。
虽然“第1”、“第2”等被用于描述多种多样的元件、构成要素和/或部分,但是这些元件、构成要素和/或部分并不被这些用语所限制,这是不言而喻的。这些用语仅用于将一个元件、构成要素或部分与其它元件、构成要素或部分进行区分。因此,关于以下提及的第1元件、第1构成要素或第1部分,在本发明的技术思想内也可能是第2元件、第2构成要素或第2部分,这是不言而喻的。
以下,参照附图对本发明的实施例进行详细说明,在参照附图进行说明时,对于与附图标记无关地相同或对应的构成要素,标注相同的附图标记,并省略其说明。
图1是用于说明本发明的一个实施例涉及的搬运系统的概念图。图2是沿着图1的A-A切断的剖视图。图3是沿着图1的B-B切断的剖视图。图4是用于说明图3所示的齿轨与小齿轮之间的关系的图。图5是用于说明图1的第1轨道、第2轨道以及第1连接轨道的图。
首先,参照图1,本发明的一个实施例涉及的搬运系统包含轨道装置100以及搬运台车200。
轨道装置100包含第1轨道110、第1连接轨道115、第2轨道120、齿轨115a、120a。
第1轨道110、第1连接轨道115以及第2轨道120可以物理连接。
如图1以及图5所示,第1轨道110沿着第1方向DR1(例如,x方向)延伸。第1轨道110具有第1倾斜角θ1。在图5中图示了第1倾斜角θ1为0°的情况(即,水平的情况),因此未图示θ1。
第2轨道120沿着第2方向DR2(例如,y方向)延伸。第2轨道120具有大于第1倾斜角θ1的第2倾斜角θ2。在图5中图示了第2倾斜角θ2为90°的情况(即,垂直的情况),但是并不限定于此。
为了将具有相互不同的倾斜角的第1轨道110和第2轨道120连接,第1连接轨道115的倾斜角θ31、θ32可以从第1倾斜角θ1逐渐增加至第2倾斜角θ2。
换句话说,第1连接轨道115是朝向第2轨道120弯曲的曲线轨道,例如可以是沿着具有内径R的假想的圆弧弯曲的形态。如图所示,第1连接轨道115的第1位置的倾斜角可以为θ31,第2位置的倾斜角可以为大于θ31的θ32。
或者,第1连接轨道115也可以是连接了多个较短的直线轨道的形态。多个较短的直线轨道各自具有相互不同的倾斜角。例如,第1连接轨道115也可以是将倾斜角每次增加5°的多个较短的直线轨道连接的形态。即,第1连接轨道115也可以是将倾斜角为5°的较短的直线轨道、倾斜角为10°的较短的直线轨道、倾斜角为15°的较短的直线轨道、...、倾斜角为85°的较短的直线轨道依次连接的形态。
另一方面,在图1中,例示性地对第1轨道110的第1倾斜角θ1为0°且第2轨道120的第2倾斜角θ2为90°的情况进行了说明,但是并不限定于此。例如,第1轨道110的第1倾斜角θ1也可以为0°以上且10°以下,第2轨道120的第2倾斜角θ2也可以为45°以上且90°以下。例如,也可以是,第1轨道110的第1倾斜角θ1为8°,且第2轨道120的第2倾斜角θ2为90°。
第1连接轨道115用于通过较短的区间将第1轨道110和第2轨道120连接,第1连接轨道115的长度可以比第1轨道110的长度短。
再次参照图1,齿轨115a、120a可以沿着第1连接轨道115和第2轨道120设置。齿轨115a、120a不设置于第1轨道110。
第1轨道110的第1倾斜角θ1相当小(例如为0°以上且10°以下),因此搬运台车200能够毫无困难地在第1轨道110移动。通过搬运台车200的行驶轮(参照图2的220)在第1轨道110上旋转,从而搬运台车200能够沿着第1轨道110移动。
不过,第2轨道120的第2倾斜角θ2相当大(例如为45°以上且90°以下),因此搬运台车200不能直接在第2轨道120爬升。因此,在第1连接轨道115和第2轨道120设置有齿轨115a、120a,且在搬运台车200设置有小齿轮(参照图3的230)。随着小齿轮230在齿轨115a、120a上旋转以及啮合,搬运台车200能够在具有高倾斜角的第2轨道120爬升。
另一方面,搬运台车200沿着第1轨道110的侧面、第1连接轨道115的侧面以及第2轨道120的侧面移动。
在搬运台车200的框架设置有支承搬运物的传递单元210。如图1所示,在搬运台车200沿着第1轨道110、第1连接轨道115以及第2轨道120移动的期间,传递单元210通过调节与框架的相对位置来维持水平。即,传递单元210与搬运台车200的位置无关地沿着重力方向朝向下方。像这样,通过调节传递单元210,从而即使搬运台车200沿着第1连接轨道115以及第2轨道120移动,也能够防止搬运物从传递单元210脱离。
在此,参照图2对搬运台车200沿着第1轨道110移动的情况进行说明。
搬运台车200位于第1轨道110的侧面(例如,z方向)。
搬运台车200包含框架290、传递单元210、交叉滚子轴承215、多个导轮271、272、273、行驶轮220、小齿轮230。
框架290包含外侧面、内侧面、上表面以及下表面。在将搬运台车200的行进方向设为x方向时,框架290的外侧面以及内侧面可以在z方向上配置,框架290的上表面和下表面可以在y方向上配置。
框架290的内侧面与第1轨道110的侧面(或主面(main surface))对置。
在框架290的外侧面设置有传递单元210。传递单元210具有拾取并支承搬运物的作用,搬运物例如可以是载置了多个基板的容器(例如,FOUP(Front Opening UniversalPod,前开式通用舱)、FOSB(Front Opening Shipping Box,前开式装运箱)),但是并不限定于此。
在框架290的外侧面与传递单元210之间配置有交叉滚子轴承215。交叉滚子轴承215是在内轮与外轮之间排列有多个滚子(roller)的紧凑型轴承。在交叉滚子轴承215中,滚子表面为线接触,因此由轴承荷重造成的弹性变形非常小,能够同时承受径向荷重、轴向荷重、力矩等复合性的荷重。如前所述,在搬运台车200移动的期间,通过交叉滚子轴承215的动作使传递单元210维持水平。即,传递单元210与搬运台车200的位置无关地沿着重力方向朝向下方。
另一方面,第1副框架291在框架290的上表面形成为朝向所述轨道装置110突出。在第1副框架291的底面设置有第1导轮271。
第2副框架292在框架290的下表面形成为朝向所述轨道装置110突出。可选地,在第2副框架292的上表面设置有第2导轮272。
此外,可选地,也可以在框架290的内侧面设置有第3导轮273。
第1导轮271、第2导轮272以及第3导轮273调节搬运台车200与第1轨道110之间的位置/间隔,使得搬运台车200能够在正确的位置沿着第1轨道110移动。
此外,也可以在第2副框架292设置有行驶轮220和小齿轮230。如图所示,行驶轮220和小齿轮230彼此耦接,行驶轮220和小齿轮230由一个电机驱动。因此,行驶轮220的旋转数和小齿轮230的旋转数可以相同。即,在小齿轮230旋转一周的期间,行驶轮220也旋转一周。
另一方面,第1轨道190包含沿着搬运台车200的行驶方向(即,x方向)长长地延伸的轨道主体190。
轨道主体190包含主面(main surface)、背面、上表面、下表面。在将搬运台车200的行进方向设为x方向时,轨道主体190的主面以及背面可以在z方向上配置,轨道主体190的上表面和下表面可以在y方向上配置。
在此,轨道主体190的宽度W小于轨道主体190的高度H。轨道主体190的宽度W意味着与框架290对置的主面和位于主面的相反侧的背面之间的距离。轨道主体190的高度H意味着上表面与下表面之间的距离。如图所示,轨道主体190的高度H可以相比于宽度W为2倍以上。轨道主体190的截面(即,通过yz平面切断的截面)是在主面一背面方向(z方向)上窄且在上表面一下表面方向(y方向)上长的形态。搬运台车200的传递单元210位于轨道主体190的主面(即,侧面)侧。
轨道主体190的主面与框架290的内侧面对置。
在轨道主体190的上表面(例如,y方向上的一侧面)形成有第1槽191,在下表面(例如,y方向上的另一侧面)形成有第2槽192。此外,在下表面设置有第1行驶面199。
轨道主体190的第1槽191对搬运台车200的第1导轮271进行支承以及引导。轨道主体190的第2槽192对搬运台车200的第2导轮272进行支承以及引导。
第1行驶面199可以是定义第2槽192的侧壁中的至少一个。在图2中,图示为在定义第2槽192的侧壁中的位于右侧的侧壁形成了第1行驶面199。换句话说,第2槽192可以包含从第1行驶面199朝向轨道主体190凹陷的槽。第1行驶面199与搬运台车200的行驶轮220直接相接。行驶轮220一边沿着第1行驶面199旋转,一边使搬运台车200向行驶方向(即,x方向)移动。
另外,也可以在轨道主体190的主面设置有相互隔开的第3槽193和第4槽194。第3槽193和第4槽194用于对搬运台车200的第3导轮273进行支承以及引导。例如,在底层(例如,一层),第3导轮273沿着位于主面的下方的第3槽193移动,但是在搬运台车200沿着第2轨道120移动到上层(例如,三层)之后,第3导轮273将沿着位于主面的上方的第4槽194移动(参照图6)。
此外,在轨道主体190的主面,在第3槽193与第4槽194之间存在空间195。从外部的电源供给部300提供电源的电源电缆160位于该空间195。在框架290的内侧面设置有拾取单元260,拾取单元260以无线方式从电源电缆160接收电源。利用像这样接收的电源,电机(未图示)使行驶轮220以及小齿轮230驱动。
在此,参照图3,对搬运台车200沿着第1连接轨道115移动的情况进行说明。
搬运台车200连续地从第1轨道110挪移到第1连接轨道115,因此在图2中说明的第1轨道110的截面和在图3中说明的第1连接轨道115的截面实质上相同。
第1连接轨道115的轨道主体1905与第1轨道110的轨道主体190连接。第1连接轨道115的多个槽1915、1925、1935、1945、1955与第1轨道110的多个槽191、192、193、194、195连接。第1连接轨道115的电源电缆1605也与第1轨道110的电源电缆160连接。
不过,齿轨115a虽然不设置于第1轨道110,但是沿着第1连接轨道115设置。因为搬运台车200的行驶轮220和小齿轮230相互耦接,所以齿轨115a与行驶面1995并列地设置。小齿轮230在齿轨115a上旋转,行驶轮220在行驶面1995上旋转。
通过小齿轮230和齿轨115a的啮合,搬运台车200能够稳定地沿着第1连接轨道115爬升。
如前所述,行驶轮220以及小齿轮230能够由一个电机(未图示)驱动。这样的电机可以是制动电机。制动电机在内部设置有制动器,因此即使在搬运台车200沿着第1连接轨道115或第2轨道120爬升的中途电源供给中断,搬运台车200也不会从第1连接轨道115或第2轨道120掉落。即,能够预防安全事故。
虽然没有另外对截面进行图示,但是第1连接轨道115的截面和第2轨道120的截面彼此相同。
再次参照图1进行说明为,搬运台车200可以不使用塔式升降机而沿着与第1轨道110连续的第1连接轨道115以及第2轨道120向上层移动。这是因为,搬运台车200不仅包含行驶轮220,还包含小齿轮230,并且小齿轮230与沿着第1连接轨道115以及第2轨道120设置的齿轨115a、120a啮合。因此,不同于塔式升降机,无需耗费搬运物转移时间、等待时间等,所以搬运物的层间移动变得快且顺利。
图6是用于说明本发明的另一个实施例涉及的搬运系统的概念图。为了便于说明,以与使用图1至图5进行的说明的不同点为主进行说明。
参照图6,轨道装置100包含第1轨道110、第1连接轨道115、第2轨道120、第2连接轨道125、第3轨道130、齿轨115a、120a、125a。
在底层(例如,一层)与中层(例如,二层)之间设置有层间壁991,在中层与上层(例如,三层)之间设置有层间壁992。
第1轨道110设置在底层,第3轨道130设置在上层。第1轨道110和第3轨道130通过第1连接轨道115、第2轨道120以及第2连接轨道125连接。第1轨道110具有第1倾斜角(例如,0°),第2轨道120具有大于第1倾斜角的第2倾斜角(例如,90°)。第1连接轨道115连接第1轨道110和第2轨道120,第1连接轨道115的倾斜角从第1倾斜角逐渐增加至第2倾斜角。第3轨道130具有小于第2倾斜角的第3倾斜角(例如,0°),第2连接轨道125的倾斜角从第2倾斜角逐渐减小至第3倾斜角。
例如,第1轨道110的第1倾斜角可以为0°以上且10°以下,第2轨道120的第2倾斜角θ2可以为45°以上且90°以下,第3轨道130的第3倾斜角可以为0°以上且10°以下。
第2连接轨道125与第1连接轨道115类似,可以是沿着具有内径R的假想的圆弧弯曲的形态。或者,第2连接轨道125也可以是将多个较短的直线轨道连接的形态,多个较短的直线轨道各自可以具有彼此不同的倾斜角。
第1连接轨道115用于通过较短的区间将第1轨道110和第2轨道120连接,第1连接轨道115的长度可以比第1轨道110的长度短。同样地,第2连接轨道125用于通过较短的区间将第2轨道120和第3轨道130连接,第2连接轨道125的长度可以比第3轨道130的长度短。
搬运台车200沿着第1轨道110的侧面、第1连接轨道115的侧面、第2轨道120的侧面、第2连接轨道125的侧面以及第3轨道130的侧面移动。
此外,齿轨115a、120a、125a可以沿着第1连接轨道115、第2轨道120以及第2连接轨道125设置。齿轨115a、120a不设置于第1轨道110以及第3轨道130。因此,在搬运台车200从底层向上层移动时,搬运台车200的小齿轮与齿轨115a、120a、125a啮合。
另一方面,在搬运台车200沿着第1轨道110移动时,上表面U朝向层间壁991。在搬运台车200沿着第1连接轨道115移动时,上表面U开始向侧方倾斜。在搬运台车200沿着第2轨道120移动时,上表面U完全倾斜而朝向右侧。在搬运台车200沿着第3轨道130移动时,上表面U朝向层间壁992。即,底层(例如,一层)的搬运台车200的框架290的方向和上层(例如,三层)的搬运台车200的框架290的方向变得彼此相反(即,上下颠倒)。即使框架290的方向像这样改变,传递单元210仍维持水平。即,传递单元210沿着重力方向朝向下方。
图7至图9是用于说明在本发明的几个实施例中使用的搬运台车的图。是具体地实现了利用图2说明的搬运台车的例子。图7是以搬运台车的框架的内侧面可见的方向进行了图示的立体图,图8是以搬运台车的框架的外侧面可见的方向进行了图示的立体图,图9是用于说明搬运台车的传递单元的动作的图。
首先,参照图7,框架290的内侧面与第1轨道110的侧面(或主面)对置。
第1副框架291在框架290的上表面形成为朝向轨道装置突出。在第1副框架291的底面设置有第1导轮271。关于第1导轮271,图示为沿着搬运台车200的行进方向设置有两个,但是并不限定于此。
第2副框架292在框架290的下表面形成为朝向轨道装置突出。可选地,在第2副框架292的上表面设置有第2导轮272。关于第2导轮272,图示为沿着搬运台车200的行进方向设置有两个,但是并不限定于此。
在框架290的内侧面,可以设置有第3导轮273。关于第3导轮273,图示为沿着搬运台车200的行进方向设置有两个,但是并不限定于此。
在第2副框架292设置有行驶轮220和小齿轮230。行驶轮220和小齿轮230由一个电机298驱动。电机298通过减速器299将驱动力传递给行驶轮220和小齿轮230。
此外,在框架290的内侧面设置有拾取单元260,拾取单元260以无线方式从设置于轨道的电源电缆接收电源。
参照图8,在框架290的外侧面设置有传递单元210。传递单元210具有拾取并支承搬运物F的作用。在框架290的外侧面与传递单元210之间配置有交叉滚子轴承215。
参照图9,传递单元210包含多个板219、传动带211、212、导向器213、214。
多个板219配置为多层,能够拾取并支承搬运物F。若传递单元210的前罩210a打开,则多个板219能够通过传动带211、212以及导向器213、214向上下移动或前进/后退。若板219前进并拾取搬运物F,然后后退而返回原位,则前罩210a重新关闭。
图10以及图11是用于说明本发明的又一个实施例涉及的搬运系统的立体图。图10是具体地实现了利用图6说明的搬运系统的例子。图11是将图10中设置于上层的搬运系统放大示出的图。
参照图10以及图11,在底层(例如,一层)与中层(例如,二层)之间设置有层间壁991,在中层与上层(例如,三层)之间设置有层间壁992。
在图10以及图11中,公开了用于使搬运台车200在底层和上层之间往返的循环型轨道装置。这样的轨道装置包含第1轨道110、第1连接轨道115、第2轨道120、第2连接轨道125、第3轨道130、第3连接轨道1131、第4轨道1130、第4连接轨道1125、第5轨道1120、第5连接轨道1115、第6轨道1110、第6连接轨道1111以及齿轨。齿轨设置在第1连接轨道115、第2轨道120、第2连接轨道125、第4连接轨道1125、第5轨道1120、第5连接轨道1115。
具体地,搬运台车200在底层顺着第1轨道110、第1连接轨道115、第2轨道120、第2连接轨道125以及第3轨道130贯通中层而到达上层。
在上层,搬运台车200从第3轨道130经由第3连接轨道1131到达第4轨道1130。第3连接轨道1131与第3轨道130连接,并与第3轨道130配置在同一平面上,且为U字形。搬运台车200能够经由第3连接轨道1131掉头。搬运台车200沿着第3轨道130的侧面、第3连接轨道1131的侧面以及第4轨道1130的侧面移动。
搬运台车200在第4轨道1130上时,传递单元210将搬运物传递给储藏部S1。
搬运台车200在上层顺着第4连接轨道1125、第5轨道1120、第5连接轨道1115以及第6轨道1110贯通中层而到达底层。
在底层,搬运台车200在第6轨道1110上时,传递单元210从储藏部S2拾取搬运物。
搬运台车200从第6轨道1110经由第6连接轨道1111到达第1轨道110。第6连接轨道1111与第1轨道110以及第6轨道1110连接,并与第1轨道110以及第6轨道1110配置在同一平面上,且为U字形。搬运台车200能够经由第6连接轨道1111掉头。搬运台车200沿着第6轨道1110的侧面、第6连接轨道1111的侧面以及第1轨道110的侧面移动。
另一方面,在中层,为了保护相当于垂直轨道的第2轨道120、第5轨道1120,用保护板1122包围第2轨道120、第5轨道1120。
此外,虽然对在底层的储藏部S2拾取搬运物并将搬运物传递给上层的储藏部S1的情况进行了说明,但是并不限定于此。即,也可以从上层的储藏部S1拾取搬运物并将搬运物传递给底层的储藏部S2。
以上,参照附图对本发明的实施例进行了说明,但是本领域技术人员应当能够理解,本发明能够在不变更其技术思想或必要的特征的情况下以其它具体的方式来实施。因此,应当理解,以上记载的实施例在所有的方面均为例示,而不是限制性的。
Claims (20)
1.一种搬运系统,包含:
轨道装置;以及
搬运台车,在所述轨道装置移动,
所述轨道装置包含:
第1轨道,具有第1倾斜角;
第2轨道,具有大于所述第1倾斜角的第2倾斜角;
第1连接轨道,连接所述第1轨道和所述第2轨道;以及
齿轨,沿着所述第1连接轨道以及所述第2轨道设置,
所述搬运台车包含:
框架;
行驶轮,与所述框架连接,并沿着所述第1轨道、所述第1连接轨道以及所述第2轨道移动;以及
小齿轮,与所述框架连接,并沿着所述齿轨移动。
2.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,
所述行驶轮和所述小齿轮彼此耦接,并由一个电机驱动。
3.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,
所述搬运台车沿着所述第1轨道的侧面、所述第1连接轨道的侧面以及所述第2轨道的侧面移动。
4.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,
所述第1轨道包含:
第1轨道主体,沿着行驶方向长长地延伸;
第1槽,设置在所述第1轨道主体的上表面,用于支承所述搬运台车的第1导轮;以及
第1行驶面,设置在所述第1轨道主体的下表面,并与所述行驶轮直接相接。
5.根据权利要求4所述的搬运系统,其中,
所述第1轨道主体的宽度小于所述第1轨道主体的高度,
所述第1轨道主体的宽度是与所述框架对置的主面和位于所述主面的相反侧的背面之间的距离,
所述第1轨道主体的高度是所述上表面与所述下表面之间的距离。
6.根据权利要求4所述的搬运系统,其中,
所述第1轨道还包含:
第2槽,设置在所述第1轨道主体的下表面,用于支承所述搬运台车的第2导轮;以及
第3槽,设置在所述第1轨道主体的主面,用于支承所述搬运台车的第3导轮。
7.根据权利要求6所述的搬运系统,其中,
所述第2槽包含从所述第1行驶面朝向所述第1轨道主体凹陷的槽。
8.根据权利要求4所述的搬运系统,其中,
所述第1连接轨道包含:
第2轨道主体,沿着行驶方向长长地延伸;
第4槽,设置在所述第2轨道主体的上表面,用于支承所述搬运台车的第1导轮;以及
第2行驶面,设置在所述第2轨道主体的下表面,与所述行驶轮直接相接,
所述齿轨与所述第2行驶面并列地设置。
9.根据权利要求4所述的搬运系统,其中,
在所述第1轨道主体的主面设置有用于供给电源的电源电缆,
在所述框架的内侧面设置有用于以无线方式接收从所述电源电缆供给的电源的拾取单元。
10.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,
所述齿轨不设置于所述第1轨道。
11.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,
还包含:
第3轨道,具有小于所述第2倾斜角的第3倾斜角;以及
第2连接轨道,连接所述第2轨道和所述第3轨道,
所述齿轨还沿着所述第2连接轨道设置,但是不设置于所述第3轨道。
12.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,
所述搬运台车还包含:
传递单元,设置在所述框架,并支承搬运物,
在所述搬运台车沿着所述第1轨道、所述第1连接轨道以及所述第2轨道移动的期间,所述传递单元通过调节与所述框架的相对位置来维持水平。
13.根据权利要求12所述的搬运系统,其中,
在所述框架与所述传递单元之间配置有交叉滚子轴承,所述传递单元通过所述交叉滚子轴承的动作来维持水平。
14.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,
所述第1轨道是用于使所述搬运台车向水平方向移动的轨道,
所述第2轨道是用于使所述搬运台车向垂直方向移动的轨道。
15.根据权利要求14所述的搬运系统,其中,
所述第1连接轨道沿着假想的圆弧弯曲。
16.一种搬运系统,包含:
轨道装置,包含水平地延伸的第1轨道、与所述第1轨道连接且倾斜角增加的第1连接轨道、与所述第1连接轨道连接且垂直地延伸的第2轨道、与所述第2轨道连接且倾斜角减小的第2连接轨道、以及与所述第2连接轨道连接且水平地延伸的第3轨道;以及
搬运台车,沿着所述第1轨道的侧面、所述第1连接轨道的侧面、所述第2轨道的侧面、所述第2连接轨道的侧面以及所述第3轨道的侧面移动,
所述轨道装置还包含:齿轨,设置在所述第1连接轨道、所述第2轨道以及所述第2连接轨道,但是不设置于所述第1轨道以及所述第3轨道,
所述搬运台车包含行驶轮和小齿轮,
在所述搬运台车在所述第1轨道移动时,使用所述行驶轮,
在所述搬运台车在所述第1连接轨道、所述第2轨道以及所述第2连接轨道爬升时,使用所述行驶轮以及所述小齿轮,
在所述搬运台车在所述第3轨道移动时,使用所述行驶轮。
17.根据权利要求16所述的搬运系统,其中,
所述行驶轮和所述小齿轮彼此耦接,并由一个电机驱动。
18.根据权利要求16所述的搬运系统,其中,
所述搬运台车还包含:
框架,设置有所述行驶轮和所述小齿轮;以及
传递单元,设置在所述框架,并支承搬运物,
在所述搬运台车沿着所述第1轨道、所述第1连接轨道、所述第2轨道、所述第2连接轨道以及所述第3轨道移动的期间,所述传递单元通过调节与所述框架的相对位置来维持水平。
19.根据权利要求16所述的搬运系统,其中,
所述轨道装置包含:
U字形的第3连接轨道,与所述第3轨道连接,并与所述第3轨道配置在同一平面上;以及
第4轨道,与所述第3连接轨道连接,且水平地延伸,
所述搬运台车沿着所述第3轨道的侧面、所述第3连接轨道的侧面以及所述第4轨道的侧面移动。
20.一种搬运台车,包含:
框架,包含外侧面、内侧面、上表面以及下表面;
传递单元,设置在所述框架的外侧面,并支承搬运物;
交叉滚子轴承,与所述传递单元连接,使所述传递单元维持水平;
拾取单元,设置在所述框架的内侧面,被从轨道装置提供电源;
第1副框架,在所述框架的上表面朝向所述轨道装置突出;
第1导轮,设置在所述第1副框架的底面;
第2副框架,在所述框架的下表面朝向所述轨道装置突出;
第2导轮,设置在所述第2副框架的上表面;以及
行驶轮和小齿轮,设置在所述第2副框架。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210176055A KR102587566B1 (ko) | 2021-12-09 | 2021-12-09 | 반송대차 및 이를 포함하는 반송 시스템 |
KR10-2021-0176055 | 2021-12-09 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN116253107A true CN116253107A (zh) | 2023-06-13 |
Family
ID=86681571
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202211431211.1A Pending CN116253107A (zh) | 2021-12-09 | 2022-11-15 | 搬运台车以及包含该搬运台车的搬运系统 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230183012A1 (zh) |
JP (1) | JP7508532B2 (zh) |
KR (1) | KR102587566B1 (zh) |
CN (1) | CN116253107A (zh) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5324734Y2 (zh) * | 1974-03-05 | 1978-06-24 | ||
JPH08119099A (ja) * | 1994-10-26 | 1996-05-14 | Yamaha Motor Co Ltd | モノレール式搬送装置 |
JP3389757B2 (ja) * | 1995-11-08 | 2003-03-24 | 株式会社ダイフク | 自走車使用の搬送装置 |
JPH10265006A (ja) * | 1997-03-19 | 1998-10-06 | Nippon Shiyuutaa:Kk | 搬送設備 |
JP3906950B2 (ja) * | 1998-02-03 | 2007-04-18 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 搬送台車の非接触給電装置 |
JP2002321810A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-08 | Tsubakimoto Chain Co | キャリッジ走行型搬送装置、及び、その継ぎ目レール |
KR101201335B1 (ko) | 2010-09-27 | 2012-11-14 | 에너지움 주식회사 | 모노레일형 물품 이송장치 |
KR101833310B1 (ko) * | 2010-10-04 | 2018-03-02 | 삼성전자주식회사 | 곡선 주행 시스템 |
KR20210137262A (ko) * | 2020-05-07 | 2021-11-17 | 세메스 주식회사 | 타워 리프트 |
-
2021
- 2021-12-09 KR KR1020210176055A patent/KR102587566B1/ko active IP Right Grant
-
2022
- 2022-11-02 US US17/978,966 patent/US20230183012A1/en active Pending
- 2022-11-15 CN CN202211431211.1A patent/CN116253107A/zh active Pending
- 2022-12-05 JP JP2022194006A patent/JP7508532B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2023086114A (ja) | 2023-06-21 |
KR20230087262A (ko) | 2023-06-16 |
JP7508532B2 (ja) | 2024-07-01 |
KR102587566B1 (ko) | 2023-10-10 |
US20230183012A1 (en) | 2023-06-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |