KR20210137262A - 타워 리프트 - Google Patents

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KR20210137262A
KR20210137262A KR1020200054238A KR20200054238A KR20210137262A KR 20210137262 A KR20210137262 A KR 20210137262A KR 1020200054238 A KR1020200054238 A KR 1020200054238A KR 20200054238 A KR20200054238 A KR 20200054238A KR 20210137262 A KR20210137262 A KR 20210137262A
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tower lift
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이성호
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명의 실시예에 의하면, 타워 리프트는 타워 리프트의 신장에 영향 없이 안정적으로 대상물을 수직 이동할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 택트 타임(tact time)을 보다 단축할 수 있다.

Description

타워 리프트{TOWER LIFT}
본 발명은 타워 리프트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐리지 모듈(carriage module)을 이용하여 이송 대상물을 수직 방향으로 이송하기 위한 타워 리프트에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 또는 디스플레이 제조 공장의 제조 라인은 복층의 클린룸들로 구성되며 각 층들에는 증착, 노광, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정 수행을 위한 설비들이 배치될 수 있다. 반도체 장치 또는 디스플레이 장치는 반도체 기판으로서 사용되는 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 기판으로서 사용되는 유리 기판에 대하여 일련의 단위 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 장치 또는 디스플레이 장치가 제조될 수 있다.
한편, 각 층들 사이에서의 자재 이송 즉 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재들의 이송은 각층들을 통해 수직 방향으로 설치되는 타워 리프트에 의해 이루어질 수 있다.
기존의 타워 리프트는 자재 이송을 위한 캐리지 모듈과 캐리지 모듈을 수직 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일들이 설치되는 메인 프레임과 타이밍 벨트와 같은 구동 벨트들을 이용하여 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈을 포함할 수 있다. 그러나, 캐리지 모듈의 동작을 위한 전원 라인과 신호 라인들의 길이를 증가시키는데 한계가 있다. 또한, 구동 벨트 파단에 따른 캐리지 모듈의 낙하에 대비하여 추가적인 대응 방안 마련이 필요한 문제가 있다.
타워 리프트의 신장이 길어질수록 타워 리프트가 흔들릴 위험이 있으며 설치되는 캐리지 모듈의 개수에 한계가 있게 된다. 이에 반송 시간 및 정체 시간이 지연되어 택트 타임(Tack Time)이 길어져 생산성이 저하되는 문제가 있다.
한국등록특허공보 제10-1731260호
본 발명의 일 측면에 따른 타워 리프트는 타워 리프트의 승강 높이가 증가되는 경우 유선 방식의 전원 공급과 신호 전달 체계를 개선하는데 목적이 있다.
또한, 캐리지 모듈의 개수가 증가되더라도 구동 벨트 파단과 같은 안정성 문제가 없으며, 2 이상의 캐리지 모듈을 구비함으로써, 반송 시간 및 정체 시간의 절감하여 대상물의 이동 물량에 제한이 없는 타워 리프트를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 따르면, 복층의 건물 내에서 수직 방향으로 대상물을 운반하기 위한 타워 리프트에 있어서, 상기 타워 리프트를 감싸도록 위치하는 순환 트랙; 상기 순환 트랙을 따라 이동하는 복수의 캐리지 모듈; 및 상기 복수의 캐리지 모듈을 일체적으로 구동시키기 위한 수직 구동 유닛;을 포함한다.
또한, 순환 트랙은 수직 방향으로 서로 평행하게 연장되는 가이드 레일을 포함할 수 있다.
또한, 수직 구동 유닛은 상기 순환 트랙을 감싸도록 배치되도록 한다.
또한, 수직 구동 유닛은 롤러, 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터 볼 또는 볼 스큐류 같은 직선 이동 기구 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.
또한, 캐리지 모듈은 상기 대상물을 반송하기 위한 캐리지 로봇 유닛; 상기 캐리지 로봇 유닛을 구동하는 캐리지 로봇 구동 유닛;을 포함한다.
이때, 캐리지 로봇 유닛은 상기 대상물을 주고받기를 행하기 위한 개구부를 갖는 로봇 몸체; 상기 로봇 몸체의 일면에 위치하며, 상기 대상물을 보지하는 암;
상기 암의 바닥면에 위치하며, 상기 대상물을 수평 방향으로 이동시키는 복수개의 핸드; 및 상기 암과 상기 로봇 몸체를 연결하는 연결 축;을 포함한다.
더불어, 로봇 구동 유닛은 래크, 피니언에 의해 구동하는 것을 특징으로 한다.
또한, 로봇 구동 유닛은 비접촉 방식으로 전원을 인가하기 위한 비접촉식 전원 공급부를 더 포함할 수 있다.
또한, 캐리지 모듈의 동작을 제어하기 위한 제어 모듈을 더 포함하되, 상기 제어 모듈은 상기 캐리지 모듈의 제어를 위한 제어 신호를 제공하는 주 제어부와 상기 캐리지 모듈에 장착되며 상기 제어 신호에 따라 상기 캐리지 모듈의 동작을 제어하는 캐리지 제어부를 포함하며, 상기 주 제어부와 상기 캐리지 제어부 사이의 신호 전달은 무선 통신 방식으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 순환 트랙과 상기 캐리지 모듈 사이를 연결하는 연결 유닛을 더 포함하며, 상기 연결 유닛을 상기 순환 트랙에 장착시키는 연결 브래킷; 상기 연결 브래킷을 관통하여 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성되는 연결 로드; 및 상기 연결 브래킷의 하부에서 상기 연결 로드에 결합되며 상기 연결 로드가 상기 연결 브래킷으로부터 상방으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈 방지 부재;를 포함한다.
본 발명의 실시예에 의하면, 타워 리프트는 타워 리프트의 신장에 영향 없이 안정적으로 대상물을 수직 이동할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 택트 타임(tact time)을 보다 단축할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 타워 리프트를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 캐리지 모듈을 설명하기 위한 개략적인 측면사시도이다.
도 3은 캐리지 모듈이 타워 리프트의 최고점에 위치하였을 때, 캐리지 모듈을 나타낸 개략적인 도면이다.
도 4는 캐리지 모듈이 대상물을 이송하기 위한 핸드의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 캐리지 모듈이 수직 구동 유닛을 따라 이동할 때의 암의 위치를 보여주기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예인 로봇 구동 유닛을 보여주기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명의 실시예를 설명하기 위하여 참조하는 도면에서 구성 요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예를 설명하는 데 사용되는 용어는 주로 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자의 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 용어에 대해서는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석하는 것이 마땅하겠다.
본 발명의 실시예에 따른 타워 리프트(1000)는 반도체, 디스플레이 등을 제조하기 위하여 요구되는 대상물을 수직 방향으로 이동하는데 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 따른 타워 리프트(1000)는 물품을 반송 장치로 반송하거나 반송장치로부터의 물품을 반송할 수 있다.
여기에서, 대상물(반송 대상)은 웨이퍼(wafer), 글라스(glass) 등의 기판을 포함할 수 있다. 구체적으로, 대상물은 기판들이 수납된 컨테이너(container)일 수 있다. 물론, 대상물은 빈 컨테이너일 수도 있다. 이때, 컨테이너는 수납된 기판들을 각종 불순물로부터 보호할 수 있는 밀폐 구조를 가질 수 있다. 일례로, 밀폐형 컨테이너는 전면 개방 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 타워 리프트(1000)의 구성이 도 1에 개략적으로 도시되어 있다.
도 1을 참조하면, 대상물을 반송하는 과정에서 캐리지 모듈(200)이 대상물을 향하여 이송되는 방향을 Y축 방향이라고 정의하고, 대상물이 이송되는 방향(Y축 방향)에 교차하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 대상물이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 타워 리프트(1000)는 순환 트랙(100), 캐리지 모듈(200), 수직 구동 유닛(300)을 포함한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 순환 트랙(100)은 타워 리프트(1000)의 둘레를 감싸도록 위치한다. 순환 트랙(100)은 직선 트랙과 커브 트랙을 포함하고, 이를 따라 캐리지 모듈(200)이 무한 순환한다.
순환 트랙(100)을 따라 수직 방향으로 서로 평행하게 연장하는 가이드 레일(110)을 포함할 수 있다.
수직 구동 유닛(300)은 순환 트랙(100)을 따라 캐리지 모듈(200)을 수직 방향으로 안내할 수 있다.
수직 구동 유닛(300)은 롤러(310), 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다. 이러한, 수직 이동 유닛에 의해 캐리어 모듈이 Z축 방향으로 이동될 수 있다.
예를 들면, 도 1 및 도 2에 나타난 바와 같이, 순환 트랙(100)의 양쪽 측면들에는 수직 방향으로 서로 평행하게 연장하는 한쌍의 가이드 레일(110)들이 구비될 수 있으며, 캐리지 모듈(200)에는 가이드 레일(110)들에 결합되는 롤러(310)가 캐리지 모듈(200)의 상하 좌우에 장착될 수 있다.
캐리지 모듈(200)은 타워 리프트(1000)에 복수개 배치한다. 캐리지 모듈(200)의 설치 수량에 따라 대상물의 공급 및 배출되는 양 및 생산성에 크게 영향을 미친다. 이에, 본 발명에서는 타워 리프트(1000)에 설치되는 캐리지 모듈(200)은 적어도 3개 이상 포함하는 것을 특징으로 한다. 이로써, 대상물의 반송 시간의 절감, 정체 시간을 절감하여 이동 물량에 제한이 없고 대상물을 일정하게 순환하여 생산성을 향상시킬 수 있다.
캐리지 모듈(200)은 캐리지 로봇 유닛(210) 및 캐리지 로봇 구동 유닛(220)을 포함한다.
도 2 내지 도 4에 나타난 바와 같이, 캐리지 로봇 유닛(210)은 로봇 몸체(211), 로봇 몸체(211)와 연결축으로 연결되는 암(212), 암(212)의 바닥면에 위치하고 대상물을 이동하는 복수개의 핸드(213)를 포함한다.
로봇 몸체(211)의 일 측면은 대상물을 주고받기를 행하기 위하여 대상물을 주고받는 쪽에서는 개구되어 있다. 로봇 몸체(211)의 다른 일 측면은 바닥면과 연결되기 위하여 측벽을 갖는다.
암(212) 역시 대상물을 반송하기 위한 개구부를 갖추는 프레임 형상을 갖는다. 도 2 내지 도 4에 나타난 바와 여러 번 절곡된 형상일 수도 있고, 도시되지 아니하였으나, 알파벳 'L' 형상일 수도 있다. 즉, 암(212)은 대상물을 파지할 수 있도록 바닥과 측벽이 존재하면 되는 것일 뿐 이에 대한 형상이 제한되는 것은 아니다.
암(212)은 로봇 몸체(211)의 내부에 위치하며, 로봇 몸체(211)와 암(212)이 연결축에 의해 연결되며, 대상물을 안정적으로 보지할 수 있다.
암(212)의 바닥면에는 3개의 핸드(213a, 213b, 213c)가 적재되어 있다. 즉, 핸드(213)는 암(212)에 고정 설치된다. 암(212)은 바 형상을 가지도록 제공된다. 또한, 암(212)은 신축 가능한 구조로 제공되어 핸드(213)가 대상물을 수평 방향으로 이동 가능하도록 한다.
3개의 핸드(213a, 213b, 213c)는 Y축 방향으로 이동하여 대상물을 이송시킬 수 있다. 핸드(213)의 수는 한정되지 아니하나, 도 4에 나타난 바와 같이, 본 발명에서는 3개를 일례로 들어 설명한다.
도 4를 참조하여 보면, 핸드(213a, 213b, 213c)는 대상물을 향한 방향(+Y축 방향) 또는 암(212)을 향한 방향(-Y축 방향)으로 왕복운동 한다. 각각의 핸드(213a, 213b, 213c)는 대상물을 향한 방향(선단부 부근)에 각각 설치된 풀리와의 사이에 각각 걸쳐져 있는 각 구동벨트에 각각 벨트 크램프를 매개로 하여 고착되어 있다. 각 풀리는 각각 축받침을 매개로 하여 풀리에 각각 동축결합되고, 이들 각 풀리는 각각 구동벨트를 매개로 하여 각각 풀리에 연결되고, 이들 각 풀리는 각각 구동모터의 회전축에 고착되어 있다.
각 모터의 회전축이 회전되면 각 풀리, 각 구동벨트, 각 풀리를 매개로 하여 각 풀리가 회전하고, 각 풀리의 회전구동에 의하여 각 구동벨트가 구동하고, 각 구동벨트와 함께 각 핸드(213a, 213b, 213c)가 각 레일 상을 레일을 따라 이동하도록 되어 있고, 이 이동방향은 각 모터의 회전방향에 따라 +Y축 방향 또는 -Y축 방향으로 이동할 수 있다. 덧붙여 설명하면, 이들 모터는 당연히 각각 독립하여 구동하도록 되어 있고, 각 핸드(213a, 213b, 213c)는 각각 독립하여 이동이 가능하도록 되어 있다.
이에 도 4에 나타난 바와 같이, 각각의 핸드(213)가 대상물 쪽으로 이동할 수 있다.
연결 축(214)은 로봇 몸체(211)와 암(212)의 동일한 위치의 측판에 설치된다. 연결 축(214)은 캐리지 모듈(200)의 위치가 변동되어도 암(212)이 지면과 수평을 이를 수 있도록 회전이 가능하다. 도 5는 캐리지 모듈(200)이 최고점에서 하측 방향(-Z방향)으로 이동하는 동작을 나타낸 도면이다. 도 5에 나타난 바와 같이, 로봇 몸체(211)가 기울어져도 연결 축(214)으로 인하여 로봇 몸체(211)의 내측에 위치한 암(212)은 지면과 수평을 이룰 수 있다.
캐리지 로봇 구동 유닛(220)은 캐리지 로봇 유닛(210)의 로봇 몸체(211) 저면에 위치하며, 순환 트랙(100)과 접촉되어 있다.
도 6에 나타난 바와 같이, 캐리지 로봇 구동 유닛(220)의 일례로 래크(221)와 피니언(222)에 의한 구동을 들 수 있다. 이 경우, 래크(221)는 순환 트랙(100)을 둘러싸도록 위치시킬 수 있으며, 피니언(222)은 캐리지 로봇 유닛(210)의 로봇 몸체(211)의 저면에 고정 배치시킬 수 있다. 또한, 피니언(222)에 연결된 구동모터의 구동력에 의해 수직 방향으로 승강이동이 가능하도록 설계할 수 있다.
구동모터에 구동력을 인가하기 위하여, 캐리지 모듈(200)에 비접촉 방식으로 전원을 인가할 수 있다. 즉, 캐리지 모듈(200)에 비접촉 방식으로 전원을 인가하기 위한 비접촉식 전원 공급부를 포함할 수 있다.
일 예로서, 비접촉식 전원 공급부는 순환 트랙(100)을 따라 수직 방향으로 연장하는 유도 레일과 유도 레일에 인접하도록 캐리지 모듈(200)에 장착되며 유도 레일로부터 전자 유도 방식으로 전력을 전송받고 캐리지 모듈(200)에 전원을 인가하는 픽업 유닛을 포함할 수 있다. 유도 레일에 고주파 교류 전원이 인가되면 전자 유도 법칙에 따라 유도 레일에 인접하는 픽업 유닛에서 기전력이 발생될 수 있으며, 기전력은 캐리지 모듈(200) 등의 동작을 위한 동력원으로서 사용될 수 있다.
또한, 캐리지 모듈(200)의 동작을 제어하기 위한 제어 모듈을 더 포함할 수 있다.
제어 모듈은 캐리지 모듈(200)의 제어를 위한 제어 신호를 제공하는 주 제어부와 캐리지 모듈(200)에 장착되며 제어 신호에 따라 캐리지 모듈(200)의 동작을 제어하는 캐리지 제어부를 포함할 수 있으며, 주 제어부와 캐리지 제어부 사이의 신호 전달은 무선 통신 방식으로 이루어질 수 있다.
주 제어부는 캐리지 모듈(200)의 위치 제어를 위하여 수직 구동 유닛(300)의 동작을 제어할 수 있으며, 아울러 캐리지 모듈(200)의 캐리지 로봇의 동작을 위한 제어 신호를 캐리지 제어부로 전송할 수 있다.
또한, 수직 구동 유닛(300)은 한 쌍의 롤러(310) 등을 이용하여 캐리지 모듈(200)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있으며, 롤러(310) 등은 연결 유닛에 의해 캐리지 모듈(200)에 연결될 수 있다. 연결 유닛은 캐리지 모듈(200)에 장착된 연결 브래킷, 연결 브래킷을 관통하여 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성되며 수직 구동 유닛(300)과 연결되는 상단부를 갖는 연결 로드와 연결 브래킷의 하부에서 연결 로드에 결합되며 연결 로드가 연결 브래킷으로부터 상방으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈 방지 부재를 포함할 수 있다.
연결 브래킷은 대략 사각 블록 형태를 가질 수 있으며 볼트 등과 같은 체결 부재들에 의해 승강 플레이트에 장착될 수 있다. 연결 로드의 일례로는 스터드 볼트가 사용될 수 있으며, 연결 로드의 상단부에는 구동 벨트의 하단부를 파지하는 클램핑 부재가 너트들에 의해 결합될 수 있다. 클램핑 부재에는 수직 방향으로 연장하는 가이드 슬롯들이 구비될 수 있으며, 캐리지 모듈(200)의 승강 플레이트에는 가이드 슬롯에 삽입되는 가이드 핀들이 구비될 수 있다.
이탈 방지 부재는 연결 로드가 연결 브래킷으로부터 상방으로 이탈되는 것을 방지할 뿐만 아니라 캐리지 모듈(200)의 하중을 지지하기 위해 사용할 수 있다. 예를 들면, 이탈 방지 부재는 상부가 개방된 캡 형태를 가질 수 있으며, 너트들에 의해 연결 로드에 결합될 수 있다.
연결 로드가 수직 방향으로 이동 가능하게 구성하는 것은 수직 구동 유닛(300)에 문제가 생긴 경우 연결 로드가 자중에 의해 하방으로 이동되도록 하고 연결 로드의 하방 이동 감지를 통해 수직 구동 유닛(300)의 문제를 확인하기 위함이다.
이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1000: 타워 리프트
100: 순환 트랙
110: 가이드 레일
200: 캐리지 모듈
210: 캐리지 로봇 유닛
211: 로봇 몸체
212: 암
213: 핸드
213a: 상단 핸드
213b: 중단 핸드
213c: 하단 핸드
214: 연결 축
220: 캐리지 로봇 구동 유닛
221: 래크
222: 피니언
300: 수직 구동 유닛
310: 롤러

Claims (10)

  1. 복층의 건물 내에서 수직 방향으로 대상물을 운반하기 위한 타워 리프트에 있어서,
    상기 타워 리프트를 감싸도록 위치하는 순환 트랙;
    상기 순환 트랙을 따라 이동하는 복수의 캐리지 모듈; 및
    상기 복수의 캐리지 모듈을 일체적으로 구동시키기 위한 수직 구동 유닛;
    을 포함하는 타워 리프트.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 순환 트랙은 수직 방향으로 서로 평행하게 연장되는 가이드 레일을 포함하는 타워 리프트.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 수직 구동 유닛은 상기 순환 트랙을 감싸도록 배치되는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 수직 구동 유닛은 직선 이동 기구 중 어느 하나 인 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 캐리지 모듈은
    상기 대상물을 반송하기 위한 캐리지 로봇 유닛;
    상기 캐리지 로봇 유닛을 구동하는 캐리지 로봇 구동 유닛;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 캐리지 로봇 유닛은
    상기 대상물을 주고받기를 행하기 위한 개구부를 갖는 로봇 몸체;
    상기 로봇 몸체의 일면에 위치하며, 상기 대상물을 보지하는 암;
    상기 암의 바닥면에 위치하며, 상기 대상물을 수평 방향으로 이동시키는 복수개의 핸드; 및
    상기 암과 상기 로봇 몸체를 연결하며, 자유롭게 회전이 가능하여 상기 암을 지면과 수평하게 유지시키는 연결 축;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 로봇 구동 유닛은 래크, 피니언에 의해 구동하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 로봇 구동 유닛은 비접촉 방식으로 전원을 인가하기 위한 비접촉식 전원 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 캐리지 모듈의 동작을 제어하기 위한 제어 모듈을 더 포함하되,
    상기 제어 모듈은 상기 캐리지 모듈의 제어를 위한 제어 신호를 제공하는 주 제어부와 상기 캐리지 모듈에 장착되며 상기 제어 신호에 따라 상기 캐리지 모듈의 동작을 제어하는 캐리지 제어부를 포함하며, 상기 주 제어부와 상기 캐리지 제어부 사이의 신호 전달은 무선 통신 방식으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 순환 트랙과 상기 캐리지 모듈 사이를 연결하는 연결 유닛을 더 포함하며,
    상기 연결 유닛을 상기 순환 트랙에 장착시키는 연결 브래킷;
    상기 연결 브래킷을 관통하여 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성되는 연결 로드; 및
    상기 연결 브래킷의 하부에서 상기 연결 로드에 결합되며 상기 연결 로드가 상기 연결 브래킷으로부터 상방으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈 방지 부재;
    를 포함하는 타워 리프트.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20230087262A (ko) * 2021-12-09 2023-06-16 세메스 주식회사 반송대차 및 이를 포함하는 반송 시스템

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101731260B1 (ko) 2015-09-17 2017-04-28 주식회사 에스에프에이 수직반송 시스템

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101731260B1 (ko) 2015-09-17 2017-04-28 주식회사 에스에프에이 수직반송 시스템

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230087262A (ko) * 2021-12-09 2023-06-16 세메스 주식회사 반송대차 및 이를 포함하는 반송 시스템

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