KR100609877B1 - 기판반송장치 - Google Patents

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KR100609877B1
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최용원
강경원
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Abstract

본 발명은 기판의 반송구조를 개선한 기판반송장치에 관한 것으로서, 베이스(20)와; 베이스(20)를 따라 슬라이딩 가능하게 설치되는 슬라이더(30)와; 슬라이더(30) 상에 병립 배치되며, 슬라이더(30)에 고정되는 고정부(42)와, 고정부(42)에 대해 승강 가능하게 설치되는 제1승강부(44)와, 제1승강부(44)에 대해 승강 가능하게 설치되는 제2승강부(46)와, 제1승강부(44) 및 제2승강부(46)를 승강시키는 승강구동부(48)를 갖는 한 쌍의 승강부재(40a,40b)와; 제2승강부(46)에 연결되어, 제1승강부(44) 및 제2승강부(46)의 승강동작에 의해 상하직선운동하는 기판반송부재(50)를 포함하여 구성된다. 이에 따라, 구조적인 안정성을 확보한 상태에서 기판의 반송작업을 간편하고 정밀하게 수행할 수 있다.
베이스, 슬라이더, 승강부재, 기판반송부재

Description

기판반송장치 {SUBSTRATE DELIVERING APPARATUS}
도 1은 본 발명에 따른 기판반송장치를 도시한 정면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 기판반송장치를 도시한 측면도이고,
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 기판반송장치에 마련된 승강부재의 제1실시예를 도시한 작동상태도이고,
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 기판반송장치에 마련된 승강부재의 제2실시예를 도시한 작동상태도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
20 : 베이스 30 : 슬라이더
32 : 회전부 40 : 승강부재
42 : 고정부 44 : 제1승강부
46 : 제2승강부 48 : 승강구동부
48a : 제1볼스크류 48b : 제2볼스크류
48c : 제1커넥터 48d : 제2커넥터
48e : 회전기어 48f : 모터
50 : 기판반송부재 52 : 암/핸드모듈
54 : 승강플레이트 56 : 플레이트승강부
56a : 풀리 56b : 벨트
본 발명은 기판반송장치에 관한 것으로서, 기판의 반송구조를 개선한 기판반송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조설비에는 작업라인의 무인자동화를 통해 작업의 효율성을 높이기 위하여 기판 등과 같은 반도체 부품을 자동으로 반송하기 위한 기판반송장치가 구비된다.
최근 소비자의 요구에 따라 소형보다는 대형의 디스플레이 장치가 차지하는 비율이 점차 커지고 있으며, 이에 따라 기판의 크기도 급속히 대형화되고 있는 추세이다. 기판의 대형화는 이를 취급하는 장비의 대형화를 야기함으로써 기판을 반송하는 기판반송장치에 있어서도 수직방향으로 요구되는 이동거리가 길어지고 있다.
종래의 기판반송장치 대부분은 기판의 반송을 실질적으로 담당하는 암/핸드모듈 등과 같은 반송부를 하나의 직동축(수직축)으로 지지하고 있는 구조를 가진다. 그로 인해, 대형의 기판을 반송할 경우에는 무게중심이 회전중심과 일치하지 않아 반송부의 회전운동시 회전축에 부담되는 부하가 증가하게 되어 구조적인 안정성에 문제가 발생될 가능성이 높다.
또한, 직동축의 높이가 상대적으로 높아지게 되면 반송부의 하중에 의해 직 동축에 변형이 발생되고, 이는 기판반송장치의 정밀도를 저하시키는 하나의 원인이 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 기판의 반송작업을 안정적으로 수행할 수 있는 기판반송장치를 제공하고자 하는 데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 베이스와; 상기 베이스를 따라 슬라이딩 가능하게 설치되는 슬라이더와; 상기 슬라이더 상에 병립 배치되며, 상기 슬라이더에 고정되는 고정부와, 상기 고정부에 대해 승강 가능하게 설치되는 제1승강부와, 상기 제1승강부에 대해 승강 가능하게 설치되는 제2승강부와, 상기 제1승강부 및 상기 제2승강부를 승강시키는 승강구동부를 갖는 한 쌍의 승강부재와; 상기 제2승강부에 연결되어, 상기 제1승강부 및 상기 제2승강부의 승강동작에 의해 상하직선운동하는 기판반송부재를 포함하여 구성되는 데 그 특징이 있다.
상기 승강구동부는, 상기 제1승강부에 나란하게 마련되는 제1,2볼스크류와, 일측은 상기 고정부 상단에 연결되고 타측은 상기 제1볼스크류에 결합되는 제1커넥터와, 일측은 상기 제2승강부 하단에 연결되고 타측은 상기 제2볼스크류에 결합되는 제2커넥터와, 상기 제1,2볼스크류를 서로 반대방향으로 회전시켜 상기 제1승강부 및 상기 제2승강부를 승강시키는 회전기어와, 상기 회전기어를 구동시키는 모터를 포함한다.
상기 기판반송부재는, 기판을 반송시키는 암/핸드모듈과, 상기 제2승강부에 승강 가능하게 설치되어 상기 암/핸드모듈을 지지하는 승강플레이트와, 상기 승강플레이트를 승강시키는 플레이트승강부를 포함한다.
상기 플레이트승강부는, 상기 제2승강부의 상부에 설치되는 풀리와, 일측은 상기 제1승강부의 상단에 연결되고 타측은 상기 승강플레이트에 연결되어 상기 풀리에 안착되는 벨트를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판반송장치는 베이스(20)와; 베이스(20)를 따라 슬라이딩 가능하게 설치되며, 회전부(32)를 갖는 슬라이더(30)와; 슬라이더(30) 상에 병립 배치되며, 다단으로 높이조절이 가능한 한 쌍의 승강부재(40)와; 제2승강부(46)에 연결되어, 제1승강부(44) 및 제2승강부(46)의 승강동작에 의해 상하직선운동하는 기판반송부재(50)를 포함하여 구성된다.
베이스(20)는 슬라이더(30)가 좌우로 이동할 수 있도록 장형 구조를 가지며, 그 상부면에는 슬라이더(30)의 슬라이딩 동작을 안내하는 가이드부(미도시)가 형성되어 있다.
슬라이더(30)의 상부는 한 쌍의 승강부재(40)를 안정적으로 지지할 수 있도록 플레이트 형상을 가지며, 슬라이더(30)는 베이스(20)에 형성되어 있는 가이드부를 따라 슬라이딩 가능할 뿐 아니라 회전부(32)를 통해 승강부재(40)를 회전시킬 수 있도록 되어 있다. 회전부(32)의 구동수단은 공지된 형태의 것을 선택적으로 적 용할 수 있음은 물론이다.
슬라이더(30)는 한 쌍의 승강부재(40)를 안정적으로 지지할 수 있을 정도의 강도를 지닌 재질로 이루어진다.
한 쌍의 승강부재(40)는 슬라이더(30)에 고정되는 고정부(42)와, 고정부(42)에 대해 승강 가능하게 설치되는 제1승강부(44)와, 제1승강부(44)에 대해 승강 가능하게 설치되는 제2승강부(46)를 포함한다.
고정부(42), 제1승강부(44) 및 제2승강부(46)는 바아형상으로 기립 설치되어 있다. 고정부(42), 제1승강부(44) 및 제2승강부(46)의 형상 및 배치구조는 필요에 따라 다양하게 변경 가능하다.
제1승강부(44) 및 제2승강부(46)는 승강구동부(48,도3참조)의 작동에 의해 상하로 승강됨으로써 기판반송부재(50)의 위치조절이 가능하다. 승강구동부(48)는 제1,2승강부(44,46)를 자유롭게 승강시킬 수 있는 범위 내에서 다양하게 변경 가능하다.
기판반송부재(50)는, 기판을 반송시키는 암/핸드모듈(52)과, 제2승강부(46)에 승강 가능하게 설치되어 암/핸드모듈(52)을 지지하는 승강플레이트(54)를 포함한다. 암/핸드모듈(52)은 기판이 장착되는 로봇핸드 및 로봇핸드의 전·후진운동을 담당하는 로봇암을 포함하며, 그 구조는 공지된 형태의 것을 선택적으로 적용할 수 있다.
승강플레이트(54)는 플레이트승강부(56,도3참조)에 의해 제2승강부(46)를 따라 자유롭게 승강 가능하다. 플레이트승강부(56)의 구조는 필요에 따라 다양하게 변경 가능하다.
도 3a 및 도 3b에서와 같이, 승강구동부(48)는 제1승강부(44)에 나란하게 마련되는 제1,2볼스크류(48a,48b)와, 일측은 고정부(42) 상단에 연결되고 타측은 제1볼스크류(48a)에 결합되는 제1커넥터(48c)와, 일측은 제2승강부(46) 하단에 연결되고 타측은 제2볼스크류(48b)에 결합되는 제2커넥터(48d)와, 제1,2볼스크류(48a,48b)를 서로 반대방향으로 회전시켜 제1승강부(44) 및 제2승강부(46)를 승강시키는 회전기어(48e)와, 회전기어(48)를 구동시키는 모터(48f)를 포함한다. 제1,2볼스크류(48a,48b)와 결합되는 제1커넥터(48c) 및 제2커넥터(48d)의 일측에는 나사선이 형성되어 있다.
한편, 승강플레이트(54)를 승강시키는 플레이트승강부(56)는 제2승강부(46)의 상부에 설치되는 풀리(56a)와, 일측은 제1승강부(44)의 상단에 연결되고 타측은 승강플레이트(54)에 연결되어 풀리(56)에 안착되는 벨트(56b)를 포함하는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성에 의해, 모터(48f)에 의해 회전기어(48e)가 작동되면 제1볼스크류(48a) 및 제2볼스크류(48b)가 서로 반대방향으로 회전하게 되고, 제1볼스크류(48a)의 회전에 의해 제1승강부(44)가 승강됨과 동시에 제2볼스크류(48b)의 회전에 의해 제2승강부(46)가 승강된다. 즉, 제1승강부(44)는 제1커넥터(48c)와 결합되어 있는 제1볼스크류(48a)의 이동에 의해 승강되고, 제2승강부(46)는 제2볼스크류(48b)의 회전에 의한 제2커넥터부(48d)의 이동에 의해 승강된다.
그리고 제2승강부(46)의 승강동작에 의해 풀리(56a)에 안착되어 있는 벨트 (56b)가 유동되고, 이와 연결되어 있는 승강플레이트(54)가 승강되어 제2승강부(46)의 최상단에 위치하게 된다.
도 4a 및 도 4b에서와 같이, 승강구동부(48)는 필요에 따라 그 구조를 변경시킬 수 있다. 즉, 고정부(42)에 마련되는 볼스크류(43)와, 일측은 제1승강부(44)의 하단에 연결되고 타측은 볼스크류(43)에 결합되는 제1커넥터(49a)와, 일측은 제2승강부(46)의 하단에 연결되고 타측은 제1승강부(44)에 승강 가능하게 결합되는 제2커넥터(49b)와, 볼스크류(43)를 회전시켜 제1커넥터(49a)를 상방향으로 이동시킴으로써 제1승강부(44)를 승강시키는 회전기어(49c)와, 회전기어(49c)를 구동시키는 모터(49d)와, 제1승강부(44)의 상단에 설치되는 제1풀리(56c)와, 일측은 고정부(42)의 상단에 연결되고 타측은 제2커넥터(49b)에 연결되어 제1풀리(56c)에 안착되는 제1벨트(56d)를 포함하여 구성할 수 있다.
한편, 승강플레이트(54)를 승강시키는 플레이트승강부(56)는 제2승강부(46)의 상부에 설치되는 풀리(56a)와, 일측은 제2커넥터(49b)에 연결되고 타측은 승강플레이트(54))에 연결되어 풀리(56a)에 안착되는 벨트(56b)를 포함한다.
이와 같이 구성에 의해, 모터(49d)에 의해 회전기어(49c)가 작동되면 스크류(43)가 회전하게 되고, 스크류(43)의 회전에 의해 제1커넥터(49a)가 상방향으로 이동되어 고정부(42)에 대해 제1승강부(44)가 승강됨과 아울러 제1승강부(44)의 승강동작에 의해 이와 연결되어 있는 제1벨트(56d)가 유동되어 제2승강부(46)가 승강된다.
그리고 제2승강부(46)의 승강동작에 의해 이와 연결되어 있는 벨트(56b)가 유동되어 승강플레이트(54)가 제2승강부(46)를 따라 승강되어 제2승강부(46)의 최상단에 위치하게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 기판 반송시, 특히 대형기판의 반송시 구조적인 안정성을 확보한 상태에서 간편하고 정밀하게 반송작업을 수행할 수 있다.
또한, 승강부재 및 승강플레이트를 통해 기판반송장치의 높이조절을 용이하게 할 수 있다.

Claims (4)

  1. 기판반송장치에 있어서,
    베이스와;
    상기 베이스를 따라 슬라이딩 가능하게 설치되는 슬라이더와;
    상기 슬라이더 상에 병립 배치되며, 상기 슬라이더에 고정되는 고정부와, 상기 고정부에 대해 승강 가능하게 설치되는 제1승강부와, 상기 제1승강부에 대해 승강 가능하게 설치되는 제2승강부와, 상기 제1승강부 및 상기 제2승강부를 승강시키는 승강구동부를 갖는 한 쌍의 승강부재와;
    상기 제2승강부에 연결되어, 상기 제1승강부 및 상기 제2승강부의 승강동작에 의해 상하직선운동하는 기판반송부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 승강구동부는, 상기 제1승강부에 나란하게 마련되는 제1,2볼스크류와, 일측은 상기 고정부 상단에 연결되고 타측은 상기 제1볼스크류에 결합되는 제1커넥터와, 일측은 상기 제2승강부 하단에 연결되고 타측은 상기 제2볼스크류에 결합되는 제2커넥터와, 상기 제1,2볼스크류를 서로 반대방향으로 회전시켜 상기 제1승강부 및 상기 제2승강부를 승강시키는 회전기어와, 상기 회전기어를 구동시키는 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판반송부재는, 기판을 반송시키는 암/핸드모듈과, 상기 제2승강부에 승강 가능하게 설치되어 상기 암/핸드모듈을 지지하는 승강플레이트와, 상기 승강플레이트를 승강시키는 플레이트승강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 플레이트승강부는, 상기 제2승강부의 상부에 설치되는 풀리와, 일측은 상기 제1승강부의 상단에 연결되고 타측은 상기 승강플레이트에 연결되어 상기 풀리에 안착되는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
KR1020050040107A 2005-05-13 2005-05-13 기판반송장치 KR100609877B1 (ko)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1187461A (ja) 1997-09-11 1999-03-30 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置およびそれを適用した基板処理装置

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