KR101488091B1 - 이물질 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 - Google Patents

이물질 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101488091B1
KR101488091B1 KR20130081131A KR20130081131A KR101488091B1 KR 101488091 B1 KR101488091 B1 KR 101488091B1 KR 20130081131 A KR20130081131 A KR 20130081131A KR 20130081131 A KR20130081131 A KR 20130081131A KR 101488091 B1 KR101488091 B1 KR 101488091B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
coupled
seal belt
support
lifting
block
Prior art date
Application number
KR20130081131A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20150007408A (ko
Inventor
윤대규
김동혁
김상현
Original Assignee
현대중공업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대중공업 주식회사 filed Critical 현대중공업 주식회사
Priority to KR20130081131A priority Critical patent/KR101488091B1/ko
Publication of KR20150007408A publication Critical patent/KR20150007408A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101488091B1 publication Critical patent/KR101488091B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0058Means for cleaning manipulators, e.g. dust removing means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames

Abstract

본 발명은 기판을 이송하기 위한 이송암이 승강하는 승강방향으로 승강프레임에 결합되는 엘엠가이드레일, 상기 엘엠가이드레일에 상기 승강방향으로 승강 가능하게 결합되는 엘엠가이드블록, 상기 엘엠가이드블록이 상기 엘엠가이드레일을 따라 승강함에 따라 발생하는 이물질을 차단하기 위해 상기 승강프레임에 결합되는 씰벨트, 상기 씰벨트가 삽입되는 삽입홈을 포함하고, 일측에 상기 이송암이 결합되고 타측에 상기 엘엠가이드블록이 결합되는 승강기구, 및 상기 승강기구에 회전 가능하게 결합되고, 상기 씰벨트에서 상기 승강기구가 승강하는 방향 쪽에 위치한 부분이 상기 엘엠가이드레일로부터 이격되는 방향으로 이동하도록 상기 씰벨트를 지지하는 이격기구를 포함하는 기판 이송장치용 이물질 차단장치에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 엘엠가이드레일 및 엘엠가이드블록으로부터 이격되는 거리가 감소되도록 할 수 있고, 이에 따라, 이물질이 외부로 이동하는 것을 차단하는 차단기능을 향상시킬 수 있다.

Description

이물질 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치{Apparatus for Blocking Foreign Substance and Transferring Apparatus having the same for Substrate}
본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 기판이 이물질에 오염되는 것을 방지하기 위해, 상기 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.
도1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도이다.
도1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 이송암(110), 승강부(120), 선회부(130) 및 주행부(140)를 포함한다.
상기 이송암(110)은 상기 기판(150)을 이송한다. 상기 이송암(110)은 상기 승강부(120)에 결합된다.
상기 승강부(120)는 상기 이송암(110)을 승강시킨다. 이에 따라, 상기 승강부(120)는 상기 이송암(110)이 위치하는 높이를 변경시킬 수 있다. 상기 승강부(120)는 상기 이송암(110)이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임(121), 상기 이송암(110)을 승강시키기 위한 랙기어(122), 상기 랙기어(122)에 치합되어 상기 이송암(110)을 승강시키기 위해 상기 이송암(110)에 결합되는 피니언기어(123), 상기 이송암(110)을 승강방향을 따라 승강하도록 안내하기 위한 엘엠가이드레일(124), 및 상기 엘엠가이드레일(124)에 이동 가능하게 결합되는 엘엠가이드블록(125)을 포함한다.
상기 선회부(130)는 상기 승강부(120)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(130)는 상기 이송암(110)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다.
상기 주행부(140)는 상기 선회부(130)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행부(140)는 상기 이송암(110)에 지지된 기판(150)을 주행방향으로 이동시킬 수 있다.
여기서, 상기 엘엠가이드블록(125)은 상기 이송암(110)이 승강하는 과정에서 상기 엘엠가이드레일(124)을 따라 이동함에 따라 이물질을 발생시킨다. 기판 이송장치(100)에는 상기 이물질이 외부로 이동하는 것을 차단하기 위해 씰벨트가 설치된다.
그러나 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 씰벨트가 상기 엘엠가이드레일(124) 및 엘엠가이드블록(125)에 근접하게 설치되면, 상기 씰벨트가 상기 엘엠가이드레일(124) 및 엘엠가이드블록(125) 사이에 집히는 등 이송암(310)이 승강하는 동작을 방해함으로써, 상기 승강부(120)가 승강기능을 수행하는 것을 방해하는 문제가 있다. 이러한 이유로, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 씰벨트가 상기 엘엠가이드레일(124) 및 엘엠가이드블록(125)으로부터 이격되게 설치된다. 그러나, 상기 씰벨트가 상기 엘엠가이드레일(124) 및 엘엠가이드블록(125)으로부터 이격되게 설치됨에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 엘엠가이드레일(124) 및 엘엠가이드블록(125)으로부터 발생하는 이물질이 외부로 이동하는 것을 차단하는 차단기능이 저하되는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 씰벨트가 엘엠가이드레일 및 엘엠가이드블록으로부터 이격되는 거리를 감소시키기 위한 이물질 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 씰벨트가 이송암의 승강을 방해하는 것을 방지하기 위한 이물질 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치는 기판을 이송하기 위한 이송암이 승강하는 승강방향으로 승강프레임에 결합되는 엘엠가이드레일, 상기 엘엠가이드레일에 상기 승강방향으로 승강 가능하게 결합되는 엘엠가이드블록, 상기 엘엠가이드블록이 상기 엘엠가이드레일을 따라 승강함에 따라 발생하는 이물질을 차단하기 위해 상기 승강프레임에 결합되는 씰벨트, 상기 씰벨트가 삽입되는 삽입홈을 포함하고, 일측에 상기 이송암이 결합되고 타측에 상기 엘엠가이드블록이 결합되는 승강기구, 및 상기 승강기구에 회전 가능하게 결합되고, 상기 씰벨트에서 상기 승강기구가 승강하는 방향 쪽에 위치한 부분이 상기 엘엠가이드레일로부터 이격되는 방향으로 이동하도록 상기 씰벨트를 지지하는 이격기구를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치는 상기 씰벨트에서 상기 삽입홈에 삽입되는 부분이 상기 엘엠가이드블록 쪽으로 이동하도록 상기 씰벨트를 지지하는 지지기구를 포함하고, 상기 이격기구는 상기 승강방향으로 서로 이격되게 복수개가 설치되고, 상기 지지기구는 상기 이격기구들 사이에 위치되게 상기 승강기구에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치는 상기 씰벨트를 지지하기 위해 상기 승강기구에 결합되는 지지기구를 포함하고, 상기 승강기구는 상기 엘엠가이드블록이 결합되는 블록브래킷, 및 상기 블록브래킷을 관통하여 형성되는 경량공을 포함하며, 상기 지지기구는 상기 씰벨트에서 상기 삽입홈에 삽입되는 부분을 상기 경량공 쪽으로 이동시킬 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치에 있어서, 상기 지지기구는 상기 승강방향으로 서로 이격되게 설치되는 제1지지부재 및 제2지지부재를 포함하고, 상기 제1지지부재 및 상기 제2지지부재는 상기 엘엠가이드블록이 결합되는 블록브래킷을 관통하여 형성되는 경량공이 상기 승강방향으로 갖는 길이에 비해 긴 거리로 이격되게 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치에 있어서, 상기 승강기구는 상기 이송암이 결합되는 이송암브래킷, 및 상기 엘엠가이드블록이 결합되는 블록브래킷을 포함하고, 상기 이송암브래킷은 상기 엘엠가이드블록을 상기 블록브래킷에 결합시키기 위한 결합공에 중첩되게 형성되는 통과공을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치는 상기 씰벨트에서 상기 삽입홈에 삽입되는 부분이 상기 엘엠가이드블록 쪽으로 이동하도록 상기 씰벨트를 지지하는 지지기구를 포함하고, 상기 이격기구는 상기 엘엠가이드블록으로부터 제1거리로 이격되게 상기 승강기구에 결합되며, 상기 지지기구는 상기 엘엠가이드블록으로부터 상기 제1거리에 비해 짧은 제2거리로 이격되게 상기 승강기구에 결합되고, 상기 씰벨트는 상기 엘엠가이드블록을 향하는 일면이 상기 이격기구에 접촉되고, 상기 이송암을 향하는 타면이 상기 지지기구에 접촉될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송하기 위한 이송암, 상기 이송암의 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키는 승강부, 상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부, 상기 선회부를 주행방향을 따라 이동시키기 위한 주행부; 및 이물질을 차단하기 위한 이물질 차단장치를 포함할 수 있다.
본 발명은 씰벨트가 이송암의 승강을 방해하지 않으면서도, 엘엠가이드레일 및 엘엠가이드블록으로부터 이격되는 거리가 감소되도록 할 수 있다.
또한, 본 발명은 씰벨트가 엘엠가이드레일 및 엘엠가이드블록으로부터 이격되는 거리를 감소시킴으로써, 이물질이 외부로 이동하는 것을 차단하는 차단기능을 향상시킬 수 있다.
도1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도
도2는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치의 제1실시예를 설명하기 위한 개략적인 측면도
도3은 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치의 제2실시예를 설명하기 위한 개략적인 측면도
도4는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도
도5는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치를 설명하기 위해 도4의 L-L선을 기준으로 자른 개략적인 단면도
도6은 본 발명에 따른 기판 이송장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판은 상기 전자부품을 제조하기 위한 유리기판일 수 있다. 상기 기판은 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수도 있다. 상기 전자부품이 디스플레이 장치인 경우, 상기 기판은 2매 이상의 기판이 서로 합착된 합착 기판일 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치는 상기 기판에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판을 이송할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 및 상기 기판이 저장되는 카세트 간에 상기 기판을 이송할 수도 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 안전장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치의 제1실시예를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도3은 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치의 제2실시예를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도4는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도5는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치를 설명하기 위해 도4의 L-L선을 기준으로 자른 개략적인 단면도이고, 도6은 본 발명에 따른 기판 이송장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)를 설명하기 이전에, 도6을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(300)는 기판(350)을 이송하기 위한 이송암(310), 상기 이송암(310)의 높이가 변경되도록 상기 이송암(310)을 승강시키는 승강부(320), 상기 이송암(310)이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부(320)를 회전시키는 선회부(330), 상기 선회부(330)를 주행방향을 따라 이동시키기 위한 주행부(340) 및 이물질을 차단하기 위한 이물질 차단장치를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 승강부(320)는 상기 이송암(310)이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임(321), 상기 승강프레임(321)의 에 결합되는 랙기어(322), 상기 이송암(310)에 결합되는 피니언기어(323), 및 상기 피니언기어(323)를 회전시키는 구동기구(324)를 포함한다. 상기 승강프레임(321)은 상기 이송암(310)이 승강하는 승강방향(Z축 방향)으로 길게 형성된다. 상기 랙기어(Rack gear, 320)는 상기 이송암(310)이 승강하는 승강방향을 따라 상기 승강프레임(210)에 결합된다. 상기 피니언기어(323)는 상기 구동기구(324)에 의해 회전함에 따라, 상기 랙기어(320)에 치합되면서 승강한다. 상기 피니언기어(323)는 승강함으로써, 상기 이송암(310)을 승강시킨다.
도2를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)는 기판 이송장치(300)의 외부로 이물질이 이동하는 것을 차단함에도, 씰벨트(230)가 이송암(310)의 승강을 방해하지 않으며, 씰벨트(230)가 엘엠가이드레일(210) 및 엘엠가이드블록(220)으로부터 이격되는 거리를 감소시키기 위한 것이다.
이를 위해, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)는 엘엠가이드레일(210), 엘엠가이드블록(220), 씰벨트(230), 승강기구(240), 및 이격기구(250)를 포함한다. 상기 엘엠가이드레일(210)은 승강프레임에 결합된다. 상기 엘엠가이드레일(210)은 기판(350)을 이송하기 위한 이송암(310)이 승강하는 승강방향(Z축 방향)으로 설치된다. 상기 엘엠가이드블록(220)은 상기 엘엠가이드레일(210)에 결합된다. 상기 엘엠가이드블록(220)은 상기 엘엠가이드레일(210)에 상기 승강방향(Z축 방향)으로 승강 가능하게 결합된다. 상기 씰벨트(230)는 상기 승강프레임에 결합된다. 상기 씰벨트(230)는 상기 엘엠가이드블록(220)이 상기 엘엠가이드레일(210)을 따라 승강함에 따라 발생하는 이물질을 차단하기 위한 것이다. 상기 승강기구(240)는 일측에 상기 이송암(310)이 결합되고 타측에 상기 엘엠가이드블록(220)이 결합된다. 상기 승강기구(240)는 상기 씰벨트(230)가 삽입되는 삽입홈(241)을 포함한다. 상기 이격기구(250)는 상기 승강기구(240)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 이격기구(250)는 상기 씰벨트(230)를 지지한다. 상기 이격기구(250)는 상기 씰벨트(230)에서 상기 승강기구(240)가 승강하는 방향 쪽에 위치한 부분이 상기 엘엠가이드레일(210)로부터 이격되는 방향으로 이동하도록 한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)는 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)는 상기 씰벨트(230)가 상기 이격기구(250)에 의해 상기 엘엠가이드레일(210) 및 엘엠가이드블록(220) 으로부터 이격됨으로써, 상기 이송암(310)이 승강하는 과정에서 상기 엘엠가이드레일(210) 및 엘엠가이드블록(220)에 집히지 않을 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)는 상기 씰벨트(230)가 이송암(310)의 승강을 방해하지 않으면서도, 상기 엘엠가이드레일(210) 및 엘엠가이드블록(220)으로부터 이격되는 거리가 감소되도록 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)는 상기 씰벨트(230)가 상기 엘엠가이드레일(210) 및 엘엠가이드블록(220)으로부터 이격되는 거리를 감소시킴으로써, 이물질이 외부로 이동하는 것을 차단하는 차단기능을 향상시킬 수 있다.
이하에서는, 상기 엘엠가이드레일(210), 상기 엘엠가이드블록(220), 상기 씰벨트(230), 상기 승강기구(240) 및 상기 이격기구(250)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2를 참고하면, 상기 엘엠가이드레일(210)은 상기 이송암(310)이 승강하는 승강방향(Z축 방향)으로 상기 승강프레임(321)에 결합된다. 상기 엘엠가이드레일(210)은 상기 랙기어(322)와 평행하게 상기 승강프레임(321)에 결합될 수 있다. 상기 엘엠가이드레일(210)은 상기 이송암(310)이 승강하는 승강방향(Z축 방향)을 따라 상기 엘엠가이드블록(220)이 승강하도록 안내한다.
상기 엘엠가이드블록(220)은 상기 이송암(310)에 결합된다. 상기 엘엠가이드블록(220)은 상기 엘엠가이드레일(210)에 상기 승강방향(Z축 방향)으로 승강 가능하게 결합된다. 상기 엘엠가이드블록(220)은 상기 엘엠가이드레일(210)을 따라 승강한다. 상기 엘엠가이드블록(220)은 상기 엘엠가이드레일(210)에 결합됨으로써, 상기 피니언기어(323)가 상기 랙기어(322)에 맞물린 상태로 유지시킬 수 있다.
상기 씰벨트(230)는 상기 엘엠가이드블록(220)이 상기 엘엠가이드레일(210)을 따라 승강함에 따라 발생하는 이물질을 차단하기 위해 상기 승강프레임(321)에 결합된다. 상기 씰벨트(230)는 양단이 고정되도록 기판 이송장치(300)에 설치될 수 있다. 상기 씰벨트(230)는 양단이 서로 연결되도록 기판 이송장치(300)에 설치될 수도 있다. 상기 씰벨트(230)는 상기 이격기구(250)에 지지된다.
상기 승강기구(240)는 상기 씰벨트(230)가 상기 이송암(310)의 승강을 방해하지 않고도, 상기 엘엠가이드레일(210) 및 상기 엘엠가이드블록(220)으로부터 발생하는 이물질을 차단하도록 하기 위한 것이다. 상기 승강기구(240)는 일측에 상기 이송암(310)이 결합된다. 상기 승강기구(240)는 타측에 상기 엘엠가이드블록(220)이 결합된다. 상기 승강기구(240)는 상기 씰벨트(230)가 삽입되는 삽입홈(241)을 포함한다. 상기 삽입홈(241)에는 상기 씰벨트(230)가 삽입된다. 상기 씰벨트(230)는 상기 승강기구(240)가 이동 가능하도록 설치된다.
상기 승강기구(240)는 상기 이송암(310) 및 상기 엘엠가이드블록(220)이 결합될 수 있도록 결합공(242)을 포함할 수 있다. 상기 결합공(242)은 상기 승강기구(240)를 관통하도록 형성된다.
상기 이격기구(250)는 상기 씰벨트(230)를 지지하기 위한 것이다. 상기 이격기구(250)는 상기 승강기구(240)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 이격기구(250)는 상기 씰벨트(230)에서 상기 승강기구(240)가 승강하는 방향 쪽에 위치한 부분이 상기 엘엠가이드레일(210)로부터 이격되는 방향으로 이동하도록 한다.
여기서, 상기 이격기구(250)는 상기 승강방향(Z축 방향)으로 서로 이격되게 복수개가 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 이격기구(250)는 제1이격부재(251) 및 제2이격부재(252)를 포함할 수 있다. 상기 제1이격부재(251)는 상기 씰벨트(230)가 상기 엘엠가이드레일(210)로부터 이격되도록 할 수 있다. 상기 제1이격부재(251)는 상기 씰벨트(230)의 상기 삽입홈(241)에 삽입된 상부가 상기 엘엠가이드레일(210)로부터 이격되도록 할 수 있다. 상기 제1이격부재(251)는 상기 승강기구(240)가 상향으로 이동하는 경우 상기 씰벨트(230)가 상기 엘엠가이드레일(210) 및 상기 엘엠가이드블록(220) 사이에 집히는 것을 방지할 수 있다. 상기 제2이격부재(252)는 상기 씰벨트(230)가 상기 엘엠가이드레일(210)로부터 이격되도록 할 수 있다. 상기 제2이격부재(252)는 상기 씰벨트(230)의 상기 삽입홈(241)에 삽입된 하부가 상기 엘엠가이드레일(210)로부터 이격되도록 할 수 있다. 상기 제2이격부재(252)는 상기 승강기구(240)가 하향으로 이동하는 경우 상기 씰벨트(230)가 상기 엘엠가이드레일(210) 및 상기 엘엠가이드블록(220) 사이에 집히는 것을 방지할 수 있다.
도3을 참고하면, 상기 승강기구(240)는 블록브래킷(243)을 포함할 수 있다. 상기 블록브래킷(243)에는 상기 엘엠가이드블록(220)이 결합된다. 이 경우, 상기 결합공(252)은 블록결합공(244)을 포함할 수 있다. 상기 블록결합공(244)은 상기 블록브래킷(243)을 관통하여 형성된다. 상기 블록브래킷(243)은 볼트 등의 결합부재가 상기 블록결합공(244)에 삽입됨으로써 상기 엘엠가이드블록(220)이 결합될 수 있다.
도3을 참고하면, 상기 승강기구(240)는 경량공(245)을 포함할 수 있다. 상기 경량공(245)은 상기 블록브래킷(243)을 관통하여 형성된다. 상기 경량공(245)은 상기 이송암(310)의 승강방향(Z축 방향)으로 연장되게 형성될 수 있다. 상기 경량공(245)은 상기 블록브래킷(243)의 상기 엘엠가이드블록(220)이 결합되지 않는 부분이 상기 승강방향(Z축 방향)과 상이한 방향으로 돌출되게 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)는 상기 승강기구(240)에 소모되는 재료량을 절감할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)는 상기 승강기구(240)의 무게가 감소됨으로써, 상기 승강부(320)에 가해지는 부하 내지 하중이 감소될 수 있고, 이는 상기 이송암(310)의 승강속도 내지 기판 이송장치(300)의 이동속도에 영향을 주는 등 기판 이송장치(300) 전체의 작업능률을 향상시킬 수 있다.
도4를 참고하면, 상기 지지기구(260)는 상기 씰벨트(230)를 지지하기 위한 것이다. 상기 지지기구(260)는 상기 승강기구(240)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 이격기구(250)가 상기 승강방향(Z축 방향)으로 서로 이격되게 복수개가 설치되고, 상기 지지기구(260)는 상기 이격기구(250)들 사이에 위치될 수 있다. 상기 지지기구(260)는 상기 씰벨트(230)에서 상기 삽입홈(241)에 삽입되는 부분이 상기 엘엠가이드블록(220) 쪽으로 이동하도록 한다. 이를 위해, 상기 씰벨트(230)는 상기 엘엠가이드블록(220)을 향하는 일면이 상기 이격기구(250)에 접촉되고, 상기 이송암(310)을 향하는 타면이 상기 지지기구(260)에 접촉될 수 있다.
상기 지지기구(260)는 상기 이격기구(250)들의 사이에 설치될 수 있다. 상기 지지기구(260)는 상기 이격기구(250)들과 상기 승강방향(Z축 방향)으로 일렬로 배열될 수 있다. 상기 지지기구는 상기 이격기구(250)와 같은 높이로 설치될 수 있다.
상기 지지기구(260)는 상기 씰벨트(230)에서 상기 삽입홈(241)에 삽입되는 부분을 상기 경량공(245) 쪽으로 이동시킬 수 있다. 상기 지지기구(260)는 상기 씰벨트(230)가 상기 경량공(245)을 차단하도록 지지한다. 상기 지지기구(260)는 상기 이격기구(250)에 의해 상기 엘엠가이드레일(210)로부터 이격된 상기 씰벨트(230)가 상기 엘엠가이드레일(210) 쪽으로 이동하도록 한다. 상기 지지기구(260)는 상기 씰벨트(230)가 상기 엘엠가이드레일(210)로부터 이격된 거리를 축소시킬 수 있다. 상기 씰벨트(230)는 상기 삽입홈(241)에 삽입된 부분이 상기 엘엠가이드레일(210)로부터 이격된 거리가 축소되면, 상기 블록브래킷(243)에 밀착될 수 있다. 상기 씰벨트(230)는 상기 블록브래킷(243)에 밀착되면 상기 경량공(245)을 차단할 수 있다.
여기서, 상기 지지기구(260)는 제1지지부재(261) 및 제2지지부재(262)를 포함할 수 있다. 상기 제1지지부재(261)는 상기 씰벨트(230)가 상기 엘엠가이드레일(210) 쪽으로 이동하도록 할 수 있다. 상기 제1지지부재(261)는 상기 씰벨트(230)의 상기 삽입홈(241)에 삽입된 상부가 상기 엘엠가이드레일(210) 쪽으로 이동하도록 할 수 있다. 상기 제2지지부재(262)는 상기 씰벨트(230)가 상기 엘엠가이드레일(210) 쪽으로 이동하도록 할 수 있다. 상기 제2지지부재(262)는 상기 씰벨트(230)의 상기 삽입홈(241)에 삽입된 하부가 상기 엘엠가이드레일(210) 쪽으로 이동하도록 할 수 있다.
상기 제1지지부재(261) 및 상기 제2지지부재(262)는 상기 승강방향(Z축 방향)으로 서로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제1지지부재(261) 및 상기 제2지지부재(262)가 서로 이격된 거리가 증가할수록, 상기 블록브래킷(243)에서 상기 씰벨트(230)가 밀착되는 면적이 증가된다. 상기 씰벨트(230)가 상기 블록브래킷(243)에 밀착되는 면적이 증가할수록, 상기 씰벨트(230) 차단할 수 있는 상기 경량공(245)의 크기가 증가된다. 따라서, 상기 제1지지부재(261) 및 상기 제2지지부재(262)가 서로 이격되는 거리가 증가할수록, 상기 경량공(245)은 크게 형성될 수 있다. 상기 제1지지부재(261) 및 상기 제2지지부재(262)는 상기 경량공(245)이 상기 승강방향(Z축 방향)으로 갖는 길이에 비해 긴 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)는 상기 경량공(245)을 크게 형성함으로써, 무게를 감소시킬 수 있다.
도4를 참고하면, 상기 이격기구(250)는 상기 엘엠가이드블록(220)으로부터 제1거리(D1)로 이격되게 상기 승강기구(240)에 결합되며, 상기 지지기구(260)는 상기 엘엠가이드블록(220)으로부터 상기 제1거리(D1)에 비해 짧은 제2거리(D2)로 이격되게 상기 승강기구(240)에 결합될 수 있다. 상기 제2거리가 짧을수록, 상기 씰벨트(230)는 상기 블록브래킷(243)에 밀착될 수 있다. 상기 제2거리가 짧을수록, 상기 씰벨트(230)는 상기 경량공(245)를 효과적으로 차단할 수 있다.
도3을 참고하면, 상기 승강기구(240)는 상기 이송암브래킷(246)을 포함할 수 있다. 상기 이송암브래킷(246)에는 상기 이송암이 결합된다. 이 경우, 상기 이송암브래킷(246)은 이송암결합공(247)을 포함할 수 있다. 상기 이송암결합공(247)은 상기 이송암브래킷(246)을 관통하여 형성된다. 상기 이송암브래킷(246)은 볼트 등의 결합부재가 상기 블록결합공(244)에 삽입됨으로써 상기 이송암(310)이 결합될 수 있다.
도3 및 도5를 참고하면, 상기 이송암브래킷(246)은 통과공(248)을 포함할 수 있다. 상기 통과공(248)은 상기 엘엠가이드블록(220)을 상기 블록브래킷(243)에 결합시키기 위한 결합공(242)에 드라이버 내지 드릴 등의 작업공구를 삽입하기 위한 것이다. 이 경우, 상기 엘엠가이드블록(220)을 상기 블록브래킷(243)에 결합시키기 위한 결합공(242)은 상기 블록결합공(244)일 수 있다. 상기 작업공구는 상기 통과공(248)을 통과하여 상기 볼트 등의 결합부재를 상기 블록결합공(244)에 삽입시킬 수 있다. 이를 위해, 상기 통과공(248)은 상기 엘엠가이드블록(220)을 상기 블록브래킷(243)에 결합시키기 위한 결합공(242), 즉 상기 블록결합공(244)에 중첩되게 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)는 볼트 등의 결합부재를 이용하여 상기 엘엠가이드블록(220)을 상기 블록브래킷(243)을 향하는 방향으로 결합시키기 위해, 상기 승강기구(240)가 상기 엘엠가이드레일(210)로부터 분리되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)는 상기 승강기구(240)가 상기 엘엠가이드레일(210)에 결합된 상태에서, 상기 엘엠가이드블록(220)이 결합되도록 할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)는 상기 이송암브래킷(246)으로부터 상기 통과공(248)을 통해 상기 블록결합공(244)을 향하는 방향으로 상기 결합부재가 상기 엘엠가이드블록(220)에 결합되도록 할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)는 상기 엘엠가이드블록(220)을 결합시키는 작업에 대한 용이성이 향상되고, 나아가 기판 이송장치(300) 전체에 대한 설치작업의 용이성을 향상시킬 수 있다.
도6을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(300)는 기판(350)을 이송하기 위한 이송암(310), 상기 이송암(310)의 높이가 변경되도록 상기 이송암(310)을 승강시키는 승강부(320), 상기 이송암(310)이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부(320)를 회전시키는 선회부(330), 상기 선회부(330)를 주행방향을 따라 이동시키기 위한 주행부(340) 및 이물질을 차단하기 위한 이물질 차단장치를 포함할 수 있다. 상기 이물질 차단장치는 상술한 본 발명에 따른 기판 이송장치용 이물질 차단장치(200)와 대략 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
이하에서는, 상기 이송암(310), 상기 승강부(320), 상기 선회부(330) 및 상기 주행부(340)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
상기 이송암(310)은 상기 기판(350)을 이송한다. 상기 이송암(310)은 상기 승강부(320)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(310)은 상기 승강부(320)가 상기 선회부(330)에 의해 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 이송암(310)은 암베이스(311), 암바디(312), 암유닛(313) 및 지지핸드(316)를 포함할 수 있다.
상기 암베이스(311)는 상기 승강부(320)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(311)는 상기 승강부(320)에 의해 승강된다. 이에 따라, 상기 이송암(310)이 위치하는 높이가 변경될 수 있다. 상기 암베이스(311)는 상기 이송암브래킷(246)에 결합될 수 있다.
상기 암바디(312)는 상기 암베이스(311)에 결합된다. 상기 암베이스(311)의 일측이 상기 승강부(320)에 결합되는 경우, 상기 암바디(312)는 상기 암베이스(311)의 타측에 결합될 수 있다.
상기 암유닛(313)은 상기 암바디(312)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(313)이 이동함에 따라 상기 지지핸드(316)가 함께 이동할 수 있다. 상기 암유닛(313)는 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 암유닛(313)는 직선으로 이동함으로써, 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 암유닛(313)은 회전 이동함으로써, 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛(313)는 제1암기구(314) 및 제2암기구(315)를 포함할 수 있다.
상기 제1암기구(314)는 상기 암바디(312)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(313)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(314)는 상기 암바디(312)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(313)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(314)는 상기 암바디(312)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제2암기구(315)는 상기 제1암기구(314)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(314)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(313)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(315)는 상기 제1암기구(314)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(313)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(315)는 상기 제1암기구(314)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2암기구(315) 및 상기 제1암기구(314)는 서로 반대되는 방향으로 회전함으로써, 상기 지지핸드(316)를 직선으로 이동시킬 수 있다.
상기 지지핸드(316)는 상기 암유닛(313)에 결합된다. 상기 지지핸드(316)는 상기 암유닛(313)이 이동함에 따라 직선으로 이동함으로써, 기판(350)을 이송할 수 있다. 상기 지지핸드(316)는 상기 제2암기구(315)에 결합될 수 있다.
상기 이송암(310)는 복수개의 기판(350)을 이송할 수 있도록 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 이송암(310)은 상기 제2암기구(315) 및 상기 지지핸드(316)를 각각 복수개 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 이송암(310)이 2개의 기판(350)을 이송할 수 있도록 구현되는 경우, 상기 이송암(310)은 상기 제2암기구(315) 및 상기 지지핸드(316)를 각각 2개씩 포함할 수 있다. 상기 제2암기구(315)들은 각각 상기 제1암기구(314)를 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 제1암기구(314)에 결합될 수 있다. 상기 지지핸드(316)들은 각각 상기 승강부(320)가 상기 이송암(310)을 승강시키는 방향을 기준으로 서로 다른 높이에 위치되게 상기 제2암기구(315)들에 결합될 수 있다.
상기 승강부(320)는 상기 이송암(310)을 승강시킨다. 이에 따라, 상기 승강부(320)는 상기 이송암(310)이 위치하는 높이를 변경시킬 수 있다. 상기 승강부(320)는 상기 선회부(330)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 승강부(320)는 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식으로 상기 이송암(310)을 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(320)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 상기 이송암(310)을 승강시킬 수도 있다.
상기 선회부(330)는 상기 승강부(320)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(330)는 상기 이송암(310)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(330)는 상기 주행부(340)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(330)는 상기 주행부(340)에 결합된 상태에서 회전축을 중심으로 회전함으로써, 상기 승강부(320)를 회전시킬 수 있다.
상기 주행부(340)는 상기 선회부(330)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행부(340)는 상기 이송암(310)에 지지된 기판(350)을 주행방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 주행부(340)는 상기 선회부(330)를 지지하는 주행베이스(341), 및 상기 주행베이스(341)를 상기 주행방향을 따라 이동시키기 위해 안내하는 주행프레임(342)을 포함할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
200 : 기판 이송장치용 이물질 차단장치
210 : 엘엠가이드레일 220 : 엘엠가이드블록
230 : 씰벨트 240 : 승강기구
250 : 이격기구 260 : 지지기구
241 : 삽입홍 242 : 결합공
243 : 블록브래킷 244 : 블록결합공
245 : 경량공 246 : 이송암브래킷
247 : 이송암결합공 248 : 통과공
250 : 이격기구 251 : 제1이격부재
252 : 제2이격부재 260 : 지지기구
261 : 제1지지부재 262 : 제2지지부재
300 : 기판 이송장치
310 : 이송암 311 : 암베이스
312 : 암바디 313 : 암유닛
314 : 제1암기구 315 : 제2암기구
316 : 지지핸드 320 : 승강부
330 : 선회부 340 : 주행부
341 : 주행베이스 342 : 주행프레임
350 : 기판

Claims (7)

  1. 기판을 이송하기 위한 이송암이 승강하는 승강방향으로 승강프레임에 결합되는 엘엠가이드레일;
    상기 엘엠가이드레일에 상기 승강방향으로 승강 가능하게 결합되는 엘엠가이드블록;
    상기 엘엠가이드블록이 상기 엘엠가이드레일을 따라 승강함에 따라 발생하는 이물질을 차단하기 위해 상기 승강프레임에 결합되는 씰벨트;
    상기 씰벨트가 삽입되는 삽입홈을 포함하고, 일측에 상기 이송암이 결합되고 타측에 상기 엘엠가이드블록이 결합되는 승강기구; 및
    상기 승강기구에 회전 가능하게 결합되고, 상기 씰벨트에서 상기 승강기구가 승강하는 방향 쪽에 위치한 부분이 상기 엘엠가이드레일로부터 이격되는 방향으로 이동하도록 상기 씰벨트를 지지하는 이격기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 이물질 차단장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 씰벨트에서 상기 삽입홈에 삽입되는 부분이 상기 엘엠가이드블록 쪽으로 이동하도록 상기 씰벨트를 지지하는 지지기구를 포함하고;
    상기 이격기구는 상기 승강방향으로 서로 이격되게 복수개가 설치되고;
    상기 지지기구는 상기 이격기구들 사이에 위치되게 상기 승강기구에 회전 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 이물질 차단장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 씰벨트를 지지하기 위해 상기 승강기구에 결합되는 지지기구를 포함하고;
    상기 승강기구는 상기 엘엠가이드블록이 결합되는 블록브래킷, 및 상기 블록브래킷을 관통하여 형성되는 경량공을 포함하며;
    상기 지지기구는 상기 씰벨트에서 상기 삽입홈에 삽입되는 부분을 상기 경량공 쪽으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 이물질 차단장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 지지기구는 상기 승강방향으로 서로 이격되게 설치되는 제1지지부재 및 제2지지부재를 포함하고;
    상기 제1지지부재 및 상기 제2지지부재는 상기 엘엠가이드블록이 결합되는 블록브래킷을 관통하여 형성되는 경량공이 상기 승강방향으로 갖는 길이에 비해 긴 거리로 이격되게 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 이물질 차단장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 승강기구는 상기 이송암이 결합되는 이송암브래킷, 및 상기 엘엠가이드블록이 결합되는 블록브래킷을 포함하고;
    상기 이송암브래킷은 상기 엘엠가이드블록을 상기 블록브래킷에 결합시키기 위한 결합공에 중첩되게 형성되는 통과공을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 이물질 차단장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 씰벨트에서 상기 삽입홈에 삽입되는 부분이 상기 엘엠가이드블록 쪽으로 이동하도록 상기 씰벨트를 지지하는 지지기구를 포함하고;
    상기 이격기구는 상기 엘엠가이드블록으로부터 제1거리로 이격되게 상기 승강기구에 결합되며;
    상기 지지기구는 상기 엘엠가이드블록으로부터 상기 제1거리에 비해 짧은 제2거리로 이격되게 상기 승강기구에 결합되고;
    상기 씰벨트는 상기 엘엠가이드블록을 향하는 일면이 상기 이격기구에 접촉되고, 상기 이송암을 향하는 타면이 상기 지지기구에 접촉되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 이물질 차단장치.
  7. 기판을 이송하기 위한 이송암;
    상기 이송암의 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키는 승강부;
    상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부;
    상기 선회부를 주행방향을 따라 이동시키기 위한 주행부; 및
    이물질을 차단하기 위한 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 이물질 차단장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
KR20130081131A 2013-07-10 2013-07-10 이물질 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 KR101488091B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20130081131A KR101488091B1 (ko) 2013-07-10 2013-07-10 이물질 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20130081131A KR101488091B1 (ko) 2013-07-10 2013-07-10 이물질 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150007408A KR20150007408A (ko) 2015-01-21
KR101488091B1 true KR101488091B1 (ko) 2015-02-04

Family

ID=52570317

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20130081131A KR101488091B1 (ko) 2013-07-10 2013-07-10 이물질 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101488091B1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101076481B1 (ko) 2007-12-27 2011-10-24 가부시키가이샤 야스카와덴키 방진 기구를 구비한 기판 반송 장치 및 시스템, 이들을 이용한 반도체 제조 장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101076481B1 (ko) 2007-12-27 2011-10-24 가부시키가이샤 야스카와덴키 방진 기구를 구비한 기판 반송 장치 및 시스템, 이들을 이용한 반도체 제조 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150007408A (ko) 2015-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1292967C (zh) 晶圆载入埠的搬运装置
KR100900388B1 (ko) 가공 테이블
KR20130033292A (ko) 반송 로봇 및 기판 처리 장치
KR101587337B1 (ko) 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101488091B1 (ko) 이물질 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101563780B1 (ko) 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
TWI496233B (zh) Substrate positioning device
KR20150008297A (ko) 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR102279408B1 (ko) 멀티 암 반송 로봇
KR101500158B1 (ko) 기판 이송장치용 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20120079982A (ko) 기판 수직 이송장치
KR20150010437A (ko) 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR100730459B1 (ko) 액정표시장치의 글라스 셀 자동 로딩장치
KR20150010442A (ko) 안전장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
WO2015102420A1 (ko) 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101587336B1 (ko) 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20150012158A (ko) 기판 이송장치용 보관장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101580390B1 (ko) 기판 이송장치용 선회장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20150009195A (ko) 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101478915B1 (ko) 구동장치용 풀리, 구동장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101491925B1 (ko) 주행장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20150008302A (ko) 커버결합장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR101488604B1 (ko) 이송암 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR102226761B1 (ko) 대상물 이송 장치
KR101750963B1 (ko) 집적회로 소자 제조용 이송 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181226

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191226

Year of fee payment: 6