TWI763871B - 搬運系統及搬運方法 - Google Patents

搬運系統及搬運方法

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Abstract

[課題] 將高架搬運車及起重機所行走的軌道共通化來減少軌道的設置成本，且藉由分擔高架搬運車及起重機的角色，將物品效率佳地搬運。 　　[技術內容] 具備：第1區域內空架軌道(11)及第2區域內空架軌道(12)、及第1區域間空架軌道(13)及第2區域間空架軌道(14)、及第1、第2保管部(20A、20B)、第1、第2收授通口(30A、30B)、及沿著第1區域內空架軌道(11)及第2區域內空架軌道(12)行走的第1、第2行走部(41A、41B)、第1、第2柱(42A、42B)、及具備第1、第2移載部(44A、44B)的第1、第2起重機(40A、40B)、及具備沿著第1區域內空架軌道(11)及第2區域內空架軌道(12)行走的行走部(51)和保持部(53)和昇降驅動部(54)和橫出機構(55)的高架搬運車(50)。

Description

搬運系統及搬運方法
本發明，是有關於搬運系統及搬運方法。
在半導體製造工場等的製造工場中，為了將收容半導體晶圓的FOUP(前開口式通用容器)或是收容光柵的光柵Pod等的物品，在處理裝置的裝載埠、保管部及收授通口之間搬運，已被提案使用：沿著被空架舖設的軌道行走的高架搬運車、及沿著與高架搬運車的軌道不同地被舖設在地面的軌道行走的起重機的構成(例如專利文獻1參照)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利第5880693號公報
[本發明所欲解決的課題]
專利文獻1的高架搬運車及起重機，雖皆可進出裝載埠、保管部及收授通口，但因為是行走於不同的軌道，所以有必要對應高架搬運車及起重機，各別設置空架的軌道及地面的軌道。因此，不是只有在軌道的設置上耗費成本，將各軌道舖設用的空間是成為必要，因為有必要將處理裝置或是保管部等的設置位置對應2個軌道，所以會發生在處理裝置等的佈局配置上具有限制的問題。
本發明的目的是提供一種搬運系統及搬運方法，將高架搬運車及起重機所行走的軌道共通化來減少軌道的設置成本，且藉由分擔高架搬運車及起重機的角色，可將物品效率佳地搬運。 [用以解決課題的手段]
本發明的搬運系統，是具備：從第1處理裝置的裝載埠的正上方偏離且沿著第1處理裝置的裝載埠設置的第1區域內空架軌道；及從第2處理裝置的裝載埠的正上方偏離且沿著第2處理裝置的裝載埠設置的第2區域內空架軌道；及將第1區域內空架軌道及第2區域內空架軌道連結的區域間空架軌道；及分別在第1區域內空架軌道及第2區域內空架軌道的下方且側方被上下方向設置複數層，保管物品的第1保管部及第2保管部；及分別設於第1區域內空架軌道及第2區域內空架軌道的下方且側方的第1收授通口及第2收授通口；及第1起重機，具備：沿著第1區域內空架軌道行走的第1行走部、及從第1行走部下垂的第1柱、及被第1柱導引地昇降的第1移載部，且在第1處理裝置的裝載埠、第1保管部、及第1收授通口之間將物品搬運；及第2起重機，具備：沿著第2區域內空架軌道行走的第2行走部、從第2行走部下垂的第2柱、及被第2柱導引地昇降的第2移載部，且在第2處理裝置的裝載埠、第2保管部、及第2收授通口之間將物品搬運；及高架搬運車，具備：沿著第1區域內空架軌道和第2區域內空架軌道和區域間空架軌道行走的行走部、及將物品保持的保持部、將保持部吊下地昇降的昇降驅動部、及將昇降驅動部朝側方突出的橫出機構，且在第1收授通口及第2收授通口之間將物品搬運。
且起重機，是懸吊式起重機也可以。且，第1區域內空架軌道及第2區域內空架軌道是周轉軌道，第1起重機及高架搬運車，是在第1區域內空架軌道朝同一方向周轉行走，第2起重機及高架搬運車，是在第2區域內空架軌道朝同一方向周轉行走也可以。且，第1收授通口及第2收授通口，是各別被配置於第1保管部及第2保管部的最上層也可以。
且本發明的搬運方法，是一種搬運系統的搬運方法，該搬運系統，具備：從第1處理裝置的裝載埠的正上方偏離且沿著前述第1處理裝置的裝載埠設置的第1區域內空架軌道；及從第2處理裝置的裝載埠的正上方偏離且沿著前述第2處理裝置的裝載埠設置的第2區域內空架軌道；及將前述第1區域內空架軌道及前述第2區域內空架軌道連結的區域間空架軌道；及分別在前述第1區域內空架軌道及前述第2區域內空架軌道的下方且側方被上下方向設置複數層，保管物品的第1保管部及第2保管部；及分別設於前述第1區域內空架軌道及前述第2區域內空架軌道的下方且側方的第1收授通口及第2收授通口；及第1起重機，具備：沿著前述第1區域內空架軌道行走的第1行走部、及從前述第1行走部下垂的第1柱、及被前述第1柱導引地昇降的第1移載部；及第2起重機，具備：沿著前述第2區域內空架軌道行走的第2行走部、及從前述第2行走部下垂的第2柱、及被前述第2柱導引地昇降的第2移載部；及高架搬運車，具備：沿著前述第1區域內空架軌道和前述第2區域內空架軌道和前述區域間空架軌道行走的行走部、及將物品保持的保持部、及將前述保持部吊下地昇降的昇降驅動部、及將前述昇降驅動部朝側方突出的橫出機構，該搬運系統的搬運方法：前述第1起重機，是在前述第1處理裝置的裝載埠、及前述第1保管部、及前述第1收授通口之間，將物品搬運，前述第2起重機，是在前述第2處理裝置的裝載埠、及前述第2保管部、及前述第2收授通口之間，將物品搬運，前述高架搬運車，是在前述第1收授通口及前述第2收授通口之間將物品搬運。 [發明的效果]
依據本發明的搬運系統及搬運方法的話，將區域內的物品的搬運藉由第1、第2起重機進行就可以將物品的保管數量增加，將區域間的物品的搬運藉由高架搬運車進行就可以抑制與空架軌道下方的設備的干涉。且，因為可以防止沿著區域內空架軌道行走的第1、第2起重機的第1、第2柱、及裝載埠、第1、第2保管部、及第1、第2收授通口的干涉，且將區域內空架軌道第1、第2起重機及高架搬運車共用，所以不必要各別對應地將空架軌道個別設置，可以減少在空架軌道的舖設所需要的成本。
且第1、第2起重機，是懸吊式起重機的情況時，因為不必要在對應第1、第2起重機的地上側(地面側)設置軌道，所以可以將軌道的設置由低成本進行。且，第1區域內空架軌道及第2區域內空架軌道是周轉軌道，第1起重機及高架搬運車是在第1區域內空架軌道朝同一方向周轉行走，第2起重機及高架搬運車是在第2區域內空架軌道朝同一方向周轉行走的情況時，可以減少從區域間空架軌道進入區域內空架軌道的高架搬運車，與沿著其區域內空架軌道行走的第1、第2起重機干涉的可能性，進一步，可以將高架搬運車及第1、第2起重機的控制簡易化。且，第1、第2收授通口是被配置於第1、第2保管部的最上層的情況時，可以藉由高架搬運車及第1、第2起重機的雙方進行物品的移載，可以在高架搬運車及第1、第2起重機之間將物品的收授容易地進行。
以下，對於實施例一邊參照圖面一邊說明。在以下的各圖中，使用XYZ座標系說明圖中的方向。在此XYZ座標系中，將垂直方向設成Z方向，將水平方向X方向設成Y方向。X方向，是水平方向內的一方向，沿著後述的第1區域間空架軌道13及第2區域間空架軌道14的方向。Y方向，是與X方向垂直交叉的方向，沿著第1區域內空架軌道11的直線部11a、及第2區域內空架軌道12的直線部12a的方向。且，對於X、Y、Z方向的各方向，適宜地將與箭頭相同側稱為+側(例，+X側、+Y側、+Z側)，將其相反側稱為-側(例，-X側、-Y側、-Z側)。
第1圖，是顯示本實施例的搬運系統100的一例的俯視圖。第1圖所示的搬運系統100，是例如，被設置在半導體裝置的製造工場等，搬運：將半導體裝置的製造所使用的半導體晶圓收容的FOUP(前開口式通用容器)、或是將光柵等收容的光柵容器等的物品2。在本實施例中，物品2雖是說明使用FOUP(前開口式通用容器)的例，但是物品2，是FOUP(前開口式通用容器)以外也可以。且，搬運系統100，可適用在半導體製造領域以外的設備，物品2，是在設有搬運系統100的設備中所處理的各種的物品也可以。
在本實施例中，搬運系統100，是在：被配置於第1、第2裝置區域TA1、TA2的第1、第2處理裝置TL1、TL2的裝載埠LP、及後述的第1、第2保管部20A、20B、第1、第2收授通口30A、30B之間，將物品2搬運。第1、第2處理裝置TL1、TL2，是例如曝光裝置、塗抹顯像裝置、製膜裝置、或是蝕刻裝置等，對於被收容於搬運系統100所搬運的物品2的半導體晶圓施加各種處理。第1、第2處理裝置TL1、TL2，是各別具備2處的裝載埠LP。第2圖，是顯示第1、第2處理裝置TL1、TL2及裝載埠LP的一例的圖。在第2圖中，顯示將第1、第2處理裝置TL1、TL2及裝載埠LP從+X側所見的情況的一例。
如第1圖及第2圖所示，第1處理裝置TL1，是 在設定成製造工場等的地部的第1裝置區域TA1內朝一方向(Y方向)並列地配置。第2處理裝置TL2，是在第2裝置區域TA2內朝一方向(Y方向)並列地配置。第1、第2裝置區域TA1、TA2，是各別朝X方向複數地配置。朝Y方向並列的複數第1、第2處理裝置TL1、TL2，是在X方向被設置複數列。又，複數第1、第2處理裝置TL1、TL2的配置只是一例，其他的配置也可以。且，第1、第2處理裝置TL1、TL2，不限定於具備2處的裝載埠LP，具備1處或是3處以上也可以。
且在製造工場等中，配置有將物品2暫時地保管用的第1、第2保管區域SA1、SA2。第1保管區域SA1，是對應第1處理裝置TL1地設置，被配置於2列的第1處理裝置TL1之間。第2保管區域SA2，是對應第2處理裝置TL2地設置，被配置於2列的第2處理裝置TL2之間。在各列的第1、第2處理裝置TL1、TL2中，裝載埠LP，是各別被配置於與第1、第2保管區域SA1、SA2相面對的側。
搬運系統100，是如第1圖所示，具備：空架軌道10、及第1、第2保管部20A、20B、及第1、第2收授通口30A、30B、及第1、第2起重機40A、40B、及高架搬運車50。空架軌道10，是具有：第1區域內空架軌道11、及第2區域內空架軌道12、及第1區域間空架軌道13、及第2區域間空架軌道14、及第1連接軌道15、及第2連接軌道16。第1區域間空架軌道13、第2區域間空架軌道14、第1連接軌道15、及第2連接軌道16，是將第1區域內空架軌道11及第2區域內空架軌道12連結的區域間空架軌道。第1區域內空架軌道11，是從第1處理裝置TL1的裝載埠LP的正上方偏離地配置，且沿著裝載埠LP地設置。第2區域內空架軌道12，是從第2處理裝置TL2的裝載埠LP的正上方偏離地配置，且沿著裝載埠LP地設置。第1區域內空架軌道11，雖是以將第1保管區域SA1包圍的方式被配置於環狀的周轉軌道，第2區域內空架軌道12，是以將第2保管區域SA2包圍的方式被配置於環狀的周轉軌道，但是不限定於此構成。
第1區域內空架軌道11，是具有：直線部11a、及循環部11b。直線部11a，是在裝載埠LP的正上方，沿著複數裝載埠LP朝Y方向被配置。直線部11a，從俯視看，是各別被配置在：第1保管區域SA1、及將第1保管區域SA1挾持地相面對地配置的複數裝載埠LP之間。循環部11b，是包含曲線部且被配置在Y方向的兩端，將2個直線部11a彼此連接。
第2區域內空架軌道12，是與第1區域內空架軌道11同樣，具有：直線部12a、及循環部12b。直線部12a，是在裝載埠LP的正上方，沿著裝載埠LP與Y方向平行配置。直線部12a，從俯視看，是各別被配置在：第2保管區域SA2、及將第2保管區域SA2挾持地相面對地配置的複數裝載埠LP之間。循環部12b，是包含曲線部且被配置於Y方向的兩端，將2個直線部12a彼此連接。又，在本實施例中，雖顯示第1區域內空架軌道11及第2區域內空架軌道12是相同或是幾乎相同的形狀的例，但是第1區域內空架軌道11及第2區域內空架軌道12是不同的形狀也可以。
第1區域間空架軌道13及第2區域間空架軌道14，是各別沿著X方向呈直線狀延伸地設置。第1區域間空架軌道13，是透過第1連接軌道15，分別與第1區域內空架軌道11及第2區域內空架軌道12的一方的端部(+Y側的端部)連結。第2區域間空架軌道14，是透過第2連接軌道16，分別與第1區域內空架軌道11及第2區域內空架軌道12的另一方的端部(-Y側的端部)連結。
第1連接軌道15，是具有入口部15a及出口部15b的2個軌道。入口部15a，是形成從第1區域間空架軌道13朝第1區域內空架軌道11或是第2區域內空架軌道12使高架搬運車50行走用的路徑。出口部15b，是形成從第1區域內空架軌道11或是第2區域內空架軌道12朝第1區域間空架軌道13使高架搬運車50行走用的路徑。
第2連接軌道16，是與第1連接軌道15同樣，2個軌道是具有入口部16a及出口部16b。入口部16a，是形成從第2區域間空架軌道14朝第1區域內空架軌道11或是第2區域內空架軌道12使高架搬運車50行走用的路徑。出口部16b，是形成從第1區域內空架軌道11或是第2區域內空架軌道12朝第2區域間空架軌道14使高架搬運車50行走用的路徑。又，在本實施例中，雖顯示第1連接軌道15及第2連接軌道16是相同或是幾乎相同的形狀的例，但是第1連接軌道15及第2連接軌道16是不同的形狀也可以。
第1保管部20A及第1收授通口30A，是如第1圖所示，被配置於第1保管區域SA1。第2保管部20B及第2收授通口30B，是如第1圖所示，被配置於第2保管區域SA2。第1保管部20A及第1收授通口30A，是在第1區域內空架軌道11，被配置於下方且側方。第2保管部20B及第2收授通口30B，是在第2區域內空架軌道12，被配置於下方且側方。第1保管部20A及第1收授通口30A，是在第1區域內空架軌道11，被配置於可藉由後述的第1起重機40A及高架搬運車50進行物品2的收授的範圍。第2保管部20B及第2收授通口30B，是在第2區域內空架軌道12，被配置於可藉由後述的第2起重機40B及高架搬運車50進行物品2的收授的範圍。
第3圖，是顯示第1、第2保管區域SA1、SA2中的第1、第2保管部20A、20B及第1、第2收授通口30A、30B的一例的圖。在第3圖中，顯示將第1、第2保管部20A、20B及第1、第2收授通口30A、30B從+X側所見的情況的一例。如第3圖所示，第1、第2保管部20A、20B及第1、第2收授通口30A、30B，是使用可載置物品2的棚部等。在將物品2載置的棚部中，設有可進入設於物品2底面的溝部的複數銷也可以。藉由將此銷進入物品2的溝部，使物品2被定位於棚部。各第1、第2保管部20A、20B及第1、第2收授通口30A、30B，是例如，在從建屋的空架等被吊下的狀態下被支撐。藉由使第1、第2保管部20A、20B及第1、第2收授通口30A、30B從空架被吊下，而在第1、第2保管部20A、20B等的下方，成為可利用作為例如作業者等可通行的通路。
第1、第2保管部20A、20B，是沿著裝載埠LP在Y方向並列複數地配置。第1、第2保管部20A、20B，是在第1、第2保管區域SA1、SA2各別被配置2列。第1、第2保管部20A、20B的列，是各別對於裝載埠LP的列在X方向相面對地配置。第1保管部20A，是被配置於對於第1區域內空架軌道11的直線部11a的正下方朝X方向偏離的位置。第2保管部20B，是被配置於對於第2區域內空架軌道12的直線部12a的正下方朝X方向偏離的位置。在第1、第2保管區域SA1、SA2中，第1、第2保管部20A、20B，是上下方向被設置2層。但是，第1、第2保管部20A、20B，不限定於2層，設置1層或是3層以上也可以。且，第1、第2保管部20A、20B，可取代從空架被吊下，而設置在地面上也可以。
第1收授通口30A，是設於第1保管部20A的列。第2收授通口30B，是設於第2保管部20B的列。第1、第2收授通口30A、30B，是具有與第1、第2保管部20A、20B同樣的構成，第1、第2保管部20A、20B的1個或是複數是作為第1、第2收授通口30A、30B使用。在本實施例中，在上下方向且Y方向並列的複數第1、第2保管部20A、20B之中，將最上層且Y方向的兩端的2個作為第1、第2收授通口30A、30B，將其他作為第1、第2保管部20A、20B使用。在第1圖中，在第1、第2收授通口30A、30B施加剖面線。如此，藉由使用第1、第2保管部20A、20B的最上層作為第1、第2收授通口30A、30B，而成為可藉由高架搬運車50及第1、第2起重機40A、40B的雙方進行物品2的收授。又，第1、第2收授通口30A、30B，不限定於Y方向的兩端的2個，可以將最上層的第1、第2保管部20A、20B的全部作為第1、第2收授通口30A、30B使用。又，第1、第2收授通口30A、30B，不限定於第1、第2保管部20A、20B的最上層。第1、第2收授通口30A、30B，是例如，與第1、第2保管部20A、20B另外設置也可以。例如，如第1圖所示，從俯視看，在第1區域間空架軌道13及第1區域內空架軌道11之間、第2區域間空架軌道14及第1區域內空架軌道11之間、第1區域間空架軌道13及第2區域內空架軌道12之間、第2區域間空架軌道14及第2區域內空架軌道12之間，設有收授通口130也可以。第1、第2起重機40A、40B，是可對於此收授通口130進行物品2的收授。且，高架搬運車50，是可從第1區域內空架軌道11或是第2區域內空架軌道12對於收授通口130進行物品2的收授，進一步，也可從第1區域間空架軌道13或是第2區域間空架軌道14對於收授通口130進行物品2的收授。其結果，第1區域間空架軌道13或是第2區域間空架軌道14中的高架搬運車50，不會進入第1區域內空架軌道11或是第2區域內空架軌道12，藉由收授通口130成為可在與第1、第2起重機40A、40B之間進行物品2的收授。
第1起重機40A，是朝第1保管區域SA1將物品2搬運。第2起重機40B，是朝第2保管區域SA2將物品2搬運。第4圖，是顯示第1、第2起重機40A、40B的一例的圖。如第4圖所示，第1、第2起重機40A、40B，是使用懸吊式起重機。因為第1、第2起重機40A、40B是懸吊式起重機，所以在對應第1、第2起重機40A、40B的地上側(地面側)不必要設置軌道，可以將起重機用的軌道由低成本設置。第1、第2起重機40A、40B，是如第4圖所示，各別具備：第1、第2行走部41A、41B、及第1、第2柱42A、42B、及第1、第2移載部44A、44B。第1、第2移載部44A、44B，是各別具備：第1、第2昇降台43A、43B、及第1、第2昇降驅動部45A、45B。
第1行走部41A，是具備未圖示的行走驅動部及複數車輪71a(第6圖參照)，沿著第1區域內空架軌道11行走。第2行走部41B，是具備相同的未圖示的行走驅動部及複數車輪71a(第6圖參照)，沿著第2區域內空架軌道12行走。行走驅動部，是例如，設在第1、第2行走部41A、41B且將車輪71a驅動的電動馬達也可以，使用空架軌道10地設置的線性馬達也可以。第1行走部41A，是可從第1區域內空架軌道11進入第1區域間空架軌道13或是第2區域間空架軌道14地行走也可以。第2行走部41B，是可從第2區域內空架軌道12進入第1區域間空架軌道13或是第2區域間空架軌道14地行走也可以。藉由此構成，第1、第2起重機40A、40B，可依據需要，在第1區域內空架軌道11及第2區域內空架軌道12之間，可以透過第1區域間空架軌道13或是第2區域間空架軌道14容易地移動。
第1、第2柱42A、42B，是從第1、第2行走部41A、41B下垂地上下方向延伸，導引第1、第2昇降台43A、43B。第1、第2柱42A、42B，是形成中空或是中實的棒狀，剖面是形成圓形狀、橢圓形狀、長圓形狀、或是四角形狀等的多角形狀。第1、第2柱42A、42B的下端，是設定成從地面空出規定間隔的狀態。在第4圖中，在第1、第2行走部41A、41B的下方，透過安裝部46安裝有上部支撐體47。第1、第2柱42A、42B，是被安裝於上部支撐體47的下面側，成為從第1、第2行走部41A、41B被吊下的狀態。第1、第2柱42A、42B朝上部支撐體47的安裝，是例如使用螺栓及螺帽等的結合構件也可以，使用焊接等也可以。又，第1、第2柱42A、42B，是1根也可以，例如，各別設置在第1、第2行走部41A、41B的行走方向的前後也可以。
且第1、第2起重機40A、40B，是使用2台的第1、第2行走部41A、41B(第2圖及第3圖參照)。2台的第1、第2行走部41A、41B，是在行走方向並列地配置，藉由上部支撐體47而被連結。第1、第2柱42A、42B，是藉由2台的第1、第2行走部41A、41B而被支撐。如此，可以將重量物也就是第1、第2柱42A、42B由2台的第1、第2行走部41A、41B確實地支撐。又，第1、第2起重機40A、40B，不限定於使用2台的第1、第2行走部41A、41B，使用1台或是3台以上的第1、第2行走部41A、41B也可以。第1起重機40A的第1行走部41A，可從第1區域內空架軌道11進入區域間空架軌道地行走。即，第1行走部41A，是可以從第1區域內空架軌道11，透過第1連接軌道15或是第2連接軌道16，進入第1區域間空架軌道13或是第2區域間空架軌道14地行走。第2起重機40B的第2行走部41B，是可從第2區域內空架軌道12進入區域間空架軌道地行走。即，第2行走部41B，是可以從第2區域內空架軌道12，透過第1連接軌道15或是第2連接軌道16，進入第1區域間空架軌道13或是第2區域間空架軌道14地行走。藉由此構成，第1、第2起重機40A、40B，可以依據需要，在第1區域內空架軌道11及第2區域內空架軌道12之間，透過第1區域內空架軌道11或是第2區域內空架軌道12容易地移動。
第1、第2昇降台43A、43B，是在下面側安裝有第1、第2移載部44A、44B，可被第1、第2柱42A、42B導引地昇降。第1、第2昇降台43A、43B，是具備與第1、第2柱42A、42B的表面接觸的未圖示的導引滾子，將沿著第1、第2柱42A、42B的昇降動作圓滑地進行。且，在第1、第2柱42A、42B的下部設有未圖示的下部支撐體，第1、第2昇降台43A、43B，是直到與此下部支撐體上抵接的位置為止可下降。又，下部支撐體，是防止第1、第2昇降台43A、43B從第1、第2柱42A、42B朝下方脫落。
第1、第2移載部44A、44B，是具備：可朝與第1、第2行走部41A、41B的行走方向垂直交叉的方向伸縮的臂部48、及設於臂部48的先端將物品2保持的保持部49。保持部49，是藉由將物品2的凸緣部2a把持，而將物品2吊下地保持。保持部49，是例如，具有朝水平方向可移動的爪部49a的挾盤，藉由將爪部49a侵入物品2的凸緣部2a的下方，將保持部49上昇，而將物品2吊下地保持。
第1、第2移載部44A、44B，是將物品2收取時，將臂部48延伸將保持部49配置於物品2的上方，在將凸緣部2a保持在爪部49a的狀態下藉由將第1、第2昇降台43A、43B上昇，而由保持部49舉升物品2。接著，第1、第2移載部44A、44B，是藉由在由保持部49將物品2保持的狀態將臂部48縮短，將保持物品2的保持部49配置於第1、第2昇降台43A、43B的下方。又，第1、第2移載部44A、44B，不限定於上述的構成。例如，保持部49是將物品2載置的構成也可以，保持部49是將物品2的側面把持保持的構成也可以。
第1、第2昇降驅動部45A、45B，是例如，使用吊車等，沿著第1、第2柱42A、42B將第1、第2昇降台43A、43B昇降。第1、第2昇降驅動部45A、45B，是具備吊下構件45a及驅動部45b。吊下構件45a，是例如，皮帶或是金屬線等，第1、第2昇降台43A、43B，是藉由此吊下構件45a而從上部支撐體47被吊下。驅動部45b，是設於上部支撐體47，進行吊下構件45a的吐出、捲取。第1、第2昇降台43A、43B，是驅動部45b將吊下構件45a吐出的話，被第1、第2柱42A、42B導引地下降。且，第1、第2 昇降台43A、43B，是驅動部45b將吊下構件45a捲取的話，被第1、第2柱42A、42B導引地上昇。驅動部45b，是被控制裝置60等控制，由規定的速度將第1、第2昇降台43A、43B下降或是上昇。且，驅動部45b，是被控制裝置60等控制，將第1、第2昇降台43A、43B保持於目標的高度。
第1、第2昇降驅動部45A、45B，雖是設於上部支撐體47(第1、第2行走部41A、41B)，但是不限定於此構成。第1、第2昇降驅動部45A、45B，是例如，設於第1、第2昇降台43A、43B也可以。在第1、第2昇降台43A、43B設有第1、第2昇降驅動部45A、45B的構成，是例如，藉由將從上部支撐體47吊下的皮帶或是金屬線等搭載在第1、第2昇降台43A、43B的吊車等進行捲起或是吐出而將第1、第2昇降台43A、43B昇降也可以。且，藉由將小齒輪驅動的電動馬達等搭載在第1、第2昇降台43A、43B，使此小齒輪嚙合的齒條形成於第1、第2柱42A、42B，將電動馬達等驅動將小齒輪旋轉，而將第1、第2昇降台43A、43B昇降也可以。
第1、第2起重機40A、40B，是如第4圖所示，在第1、第2處理裝置TL1、TL2的裝載埠LP、及第1、第2保管部20A、20B、及第1、第2收授通口30A、30B之間，將物品2搬運。且，第1、第2起重機40A、40B，是將物品2從現在的第1、第2保管部20A、20B朝別的第1、第2保管部20A、20B搬運。例如，第1、第2起重機40A、40B，是在下層的第1、第2保管部20A、20B及上層的第 1、第2保管部20A、20B之間將物品2搬運。
高架搬運車50，是沿著空架軌道10(第1區域內空架軌道11、第2區域內空架軌道12、第1區域間空架軌道13、及第2區域間空架軌道14)移動，在第1、第2處理裝置TL1、TL2的裝載埠LP、及第1、第2保管部20A、20B、及第1、第2收授通口30A、30B之間，進行物品2的收授。
第5圖，是顯示高架搬運車50的一例的圖。如第5圖所示，高架搬運車50，是具有：行走部51、及本體部52。行走部51，是與第1、第2行走部41A、41B同樣，具備未圖示的行走驅動部及複數車輪71a(第6圖參照)，沿著空架軌道10行走。行走驅動部，是例如，設在行走部51且將車輪71a驅動的電動馬達也可以，使用空架軌道10地設置的線性馬達也可以。
本體部52，是透過安裝部52a被安裝於行走部51的下部。本體部52，是具有：將物品2保持的保持部53、及將保持部53吊下地昇降的昇降驅動部54、及將昇降驅動部54移動的橫出機構55。保持部53，是藉由將物品2的凸緣部2a把持，而將物品2吊下地保持。保持部53，是例如，具有朝水平方向可移動的爪部53a的挾盤，藉由將爪部53a侵入物品2的凸緣部2a的下方，將保持部53上昇，而將物品2保持。保持部53，是與金屬線或是皮帶等的吊下構件53b連接。保持部53，是從昇降驅動部54被吊下的可晃動的狀態下昇降。保持部53、及上述的第1、第2起重機40A、40B的保持部49，是同一的構成也可以，不同的 構成也可以。
昇降驅動部54，是例如吊車，藉由將吊下構件53b吐出而將保持部53降下，藉由將吊下構件53b捲取而將保持部53上昇。昇降驅動部54，是被控制裝置60等控制，由規定的速度將保持部53降下或是上昇。且，昇降驅動部54，是被控制裝置60等控制，將保持部53保持於目標的高度。
橫出機構55，是例如具有上下方向重疊配置的可動板。可動板，是朝行走部51的行走方向的側方(與行走方向垂直交叉的方向)可移動。在可動板中，安裝有轉動部及昇降驅動部54。本體部52，是具有：導引橫出機構55的未圖示的導引部、及將橫出機構55驅動的未圖示的驅動部等。橫出機構55，是藉由來自電動馬達等的驅動部的驅動力，而將昇降驅動部54及保持部53沿著導引部，在突出位置及存儲位置之間移動。突出位置，是從本體部52朝側方突出的位置。存儲位置，是被存儲於本體部52內的位置。
轉動部，是具有未圖示的轉動構件及轉動驅動部。轉動構件，是繞上下方向的軸周圍可轉動地設置。轉動構件，是被安裝於昇降驅動部54或是保持部53。轉動驅動部，是使用電動馬達等，將轉動構件繞上下方向的軸周圍轉動。轉動部，可藉由來自轉動驅動部的驅動力而轉動，將昇降驅動部54或是保持部53朝上下方向的軸周圍轉動。藉由此轉動部而可以將由保持部53保持的物品2的方向改變。又，高架搬運車50不具備轉動部也可以。
第6圖，是顯示第1、第2行走部41A、41B及行走部51的一例的圖。第1、第2行走部41A、41B及行走部51，是例如採用共通的構成(相同或是幾乎相同的構成)。且，空架軌道10中的第1區域內空架軌道11、第2區域內空架軌道12、第1區域間空架軌道13、及第2區域間空架軌道14，其與行走方向垂直交叉的平面的剖面是相同或是幾乎相同，成為第1、第2行走部41A、41B及行走部51皆可行走。如此，因為第1、第2行走部41A、41B及行走部51是共通，所以不必要將第1、第2行走部41A、41B及行走部51由別的構成製造，可以減少第1、第2起重機40A、40B及高架搬運車50的製造成本。
第1、第2行走部41A、41B及行走部51，是具有：與空架軌道10的下方的內面抵接的複數車輪71a、及安裝有這些複數車輪71a的行走部本體71b。行走部本體71b，是具備：將車輪71a驅動用的行走驅動部、及各種感測器。空架軌道10是具備供電部70。供電部70，是具有：供電軌道75、及設於供電軌道75的非接觸供電線76。供電部70，是被配置於空架軌道10的下方，沿著空架軌道10連續或是間斷地設置。且，在第1、第2起重機40A、40B的安裝部46及高架搬運車50的安裝部52a中，設有受電部73。受電部73，是透過非接觸供電線76受電，朝行走部本體71b等供給電力。
如第1圖所示，控制裝置60，是將搬運系統100總括地控制。控制裝置60，是藉由由無線或是有線所進行的通訊將第1、第2起重機40A、40B及高架搬運車50的動作控制。又，控制裝置60，是被分割成：將第1、第2起重機40A、40B控制的控制裝置、及將高架搬運車50控制的控制裝置也可以。且，在第1起重機40A及第2起重機40B，藉由不同的控制裝置被控制也可以。
在上述的搬運系統100中，第1起重機40A，是在第1保管區域SA1內將物品2搬運。例如，第1起重機40A，是沿著第1區域內空架軌道11朝一方向，例如朝第1圖中的逆時針的方向行走，在第1處理裝置TL1的裝載埠LP、及第1保管部20A、及第1收授通口30A之間將物品2搬運。第2起重機40B，是在第2保管區域SA2內將物品2搬運。例如，第2起重機40B，是沿著第2區域內空架軌道12朝一方向，例如朝第1圖中的逆時針的方向行走，在第2處理裝置TL2的裝載埠LP、及第2保管部20B、及第2收授通口30B之間將物品2搬運。例如，物品2是藉由高架搬運車50被載置於第1收授通口30A或是第2收授通口30B的情況時，第1起重機40A，是可以直到第1收授通口30A為止移動將物品2藉由第1移載部44A(第4圖參照)收取，第2起重機40B，是可以直到第2收授通口30B為止移動將物品2藉由第2移載部44B(第4圖參照)收取。
其後，第1起重機40A，是直到第1處理裝置TL1的裝載埠LP或是第1保管部20A為止行走，可以將物品2載置在第1處理裝置TL1的裝載埠LP或是第1保管部20A。且，第1起重機40A，是可以藉由第1移載部44A來收取被保管在第1保管部20A的物品2，直到第1處理裝置TL1的裝載埠LP或是第1收授通口30A為止行走，藉由第1移載部44A而將物品2載置在第1處理裝置TL1的裝載埠LP或是第1收授通口30A。第2起重機40B，是可以直到第2處理裝置TL2的裝載埠LP或是第2保管部20B為止行走，將物品2載置在第2處理裝置TL2的裝載埠LP或是第2保管部20B。且，第2起重機40B，是可以藉由第2移載部44B收取被保管在第2保管部20B的物品2，直到第2處理裝置TL2的裝載埠LP或是第2收授通口30B為止行走，藉由第2移載部44B將物品2載置在第2處理裝置TL2的裝載埠LP或是第2收授通口30B。且，第1、第2起重機40A、40B，是可以在上下的第1、第2保管部20A、20B之間將物品2搬運。且，第1起重機40A，是藉由高架搬運車50使物品2被載置於第1收授通口30A的情況時，可朝搬運目的地的第1處理裝置TL1的裝載埠LP搬運的話，朝該裝載埠LP將物品2搬運，不是可朝搬運目的地的裝載埠LP搬運的話就將物品2朝第1保管部20A搬運，在成為可搬運的時點從第1保管部20A朝搬運目的地的第1處理裝置TL1的裝載埠LP將物品2搬運。且，第2起重機40B，是藉由高架搬運車50使物品2被載置於第2收授通口30B的情況時，可朝搬運目的地的第2處理裝置TL2的裝載埠LP搬運的話，朝該裝載埠LP將物品2搬運，不是可朝搬運目的地的裝載埠LP搬運的話就將物品2朝第2保管部20B搬運，在成為可搬運的時點從第2保管部20B朝搬運目的地的第2處理裝置TL2的裝載埠LP將物品2搬運。
在搬運系統100中，高架搬運車50，是在不同的第1保管區域SA1及第2保管區域SA2之間將物品2搬運。高架搬運車50的行走速度，是設成比第1、第2起重機40A、40B更快速。其結果，即使遠離的第1、第2保管區域SA1、SA2之間也可藉由高架搬運車50由短時間將物品2搬運。又，第1、第2起重機40A、40B及高架搬運車50的行走速度可任意地設定，將第1、第2起重機40A、40B及高架搬運車50的行走速度同一也可以。
第7圖～第9圖，是顯示藉由高架搬運車50將物品2搬運時的移動路徑的一例的圖。在第7圖～第9圖中，顯示從第2保管區域SA2使將第1保管區域SA1或是第1裝置區域TA1作為下一個搬運目的地的物品2藉由第2起重機40B而被載置於第2收授通口30B的例。
例如，如第7圖所示，物品2是被載置在被配置於第2保管區域SA2的+Y側端部且-X側的第2收授通口30B的情況時，控制裝置60(第1圖參照)，是對於高架搬運車50指示：將第2保管區域SA2的第2收授通口30B的物品2，朝第1保管區域SA1的第1收授通口30A搬運。高架搬運車50，是沿著第2區域內空架軌道12直到第2收授通口30B為止移動，將橫出機構55朝+X方向突出，藉由將昇降驅動部54驅動且將保持部53下降，而將第2收授通口30B的物品2藉由保持部53保持。又，高架搬運車50，是藉由來自控制裝置60等的資訊，取得：所收取的物品2的搬運目的地是被配置於第1保管區域SA1的+Y側端部且+X側的第1收授通口30A。
又，第2起重機40B及高架搬運車50，是在第2區域內空架軌道12內，例如朝順時針的同一方向周轉行走。其結果，可以減少：第2起重機40B及高架搬運車50干涉的時間點、及高架搬運車50彼此干涉的時間點。
且在第2區域內空架軌道12中第2起重機40B或是其他的高架搬運車50雖也有存在行走或是停止的狀態的情況，但是藉由設在高架搬運車50的接近感測器等就可以迴避與第2起重機40B或是其他的高架搬運車50干涉。第2起重機40B或是其他的高架搬運車50若存在於高架搬運車50的行走方向的情況時，從控制裝置60等對於第2起重機40B或是其他的高架搬運車50指示周期行走，來確保將物品2搬運的高架搬運車50的行走也可以。且，第2起重機40B或是其他的高架搬運車50，可取代在第2區域內空架軌道12周轉行走，而從第2區域內空架軌道12透過第1連接軌道15或是第2連接軌道16朝第1區域間空架軌道13或是第2區域間空架軌道14移動也可以。
接著，如第8圖所示，高架搬運車50，是在將物品2保持的狀態在第2區域內空架軌道12朝順時針的方向行走，從第2區域內空架軌道12的直線部12a透過第1連接軌道15的出口部15b朝第1區域間空架軌道13移動(第8圖的箭頭參照)。第2區域內空架軌道12、第1連接軌道15、及第1區域間空架軌道13，因為剖面形狀是相同或是幾乎相同(第6圖參照)，所以高架搬運車50，可以從第2區域內空架軌道12無障礙地朝第1區域間空架軌道13移動。
接著，如第9圖所示，高架搬運車50，是將第1區域間空架軌道13朝向-X方向行走，從第1區域間空架軌道13透過第1連接軌道15的入口部15a朝第1區域內空架軌道11移動(第9圖的箭頭參照)。其後，高架搬運車50，是從第1連接軌道15的入口部15a朝第1區域內空架軌道11的直線部11a移動，在對應搬運目的地的第1收授通口30A的位置停止。接著，高架搬運車50，是將橫出機構55朝-X方向突出，藉由將昇降驅動部54驅動且將保持部53下降，而將物品2載置在第1收授通口30A。
藉由以上的動作，可以將物品2從第2保管區域SA2朝第1保管區域SA1搬運。且，如上述，藉由將第1、第2收授通口30A、30B配置在第1、第2保管區域SA1、SA2的+Y側或是-Y側端部，就可以迴避高架搬運車50為了物品2的收授而在第1、第2保管區域SA1、SA2內的中間部分等停止，使第1、第2起重機40A、40B的運轉範圍變廣。
且例如，物品2(搬運目的地是第2保管區域SA2的第2收授通口30B)，是藉由第1起重機40A被載置在第1保管區域SA1的第1收授通口30A的情況時，控制裝置60，是對於高架搬運車50指示：將第1保管區域SA1的第1收授通口30A的物品2，朝第2保管區域SA2的第2收授通口30B搬運。高架搬運車50，是沿著第1區域內空架軌道11直到第1收授通口30A為止移動，將橫出機構55朝-X方向或是+X方向突出，將昇降驅動部54驅動且藉由保持部53將第1收授通口30A的物品2保持。又，高架搬運車50，是藉由來自控制裝置60等的資訊，將收取的物品2的搬運目的地也就是第2保管區域SA2的第2收授通口30B的位置資訊(位址)取得。
接著，高架搬運車50，是在將物品2保持的狀態在第1區域內空架軌道11朝順時針的方向行走，從第1區域內空架軌道11的直線部11a透過第2連接軌道16的出口部16b(第1圖參照)朝第2區域間空架軌道14移動。又，第2連接軌道16，因為第1區域內空架軌道11及第2區域間空架軌道14的剖面形狀是相同或是幾乎相同(第6圖參照)，所以高架搬運車50，可以從第1區域內空架軌道11無障礙地朝第2區域間空架軌道14移動。
接著，高架搬運車50，是在第2區域間空架軌道14朝向+X方向行走，從第2區域間空架軌道14透過第2連接軌道16的入口部16a朝第2區域內空架軌道12移動。其後，高架搬運車50，是在第2區域內空架軌道12周轉行走，在對應搬運目的地的第2收授通口30B的位置停止。接著，高架搬運車50，是將橫出機構55朝+X方向或是-X方向突出，將昇降驅動部54驅動且藉由保持部53將物品2載置在第2收授通口30B。藉由以上的動作，可以將物品2從第1保管區域SA1朝第2保管區域SA2搬運。
又，在上述的實施例中，顯示將物品2在第1保管區域SA1及第2保管區域SA2之間搬運的例，但是對於第1保管區域SA1及其他的保管區域之間，或是第2保管區域SA2及其他的保管區域之間，也可以藉由與上述同樣的動作將物品2搬運。且，被載置於其他的保管區域的收授通口的物品2，是藉由存在於其保管區域的起重機而朝保管部或是處理裝置的裝載埠被搬運的點是如上述。
如以上，依據本實施例的搬運系統100的話，第1、第2起重機40A、40B，因為可以一邊行走一邊將第1、第2昇降台43A、43B昇降，所以比在停止後必需將保持部53昇降的高架搬運車50更縮短在物品2的移載所需要的時間，可以提高區域內(第1、第2保管區域SA1、SA2內)的物品2的搬運效率。進一步，藉由第1、第2起重機40A、40B進行區域內的物品2的搬運就可以增加物品2的保管數量。且，高架搬運車50，是沒有如第1、第2起重機40A、40B的第1、第2柱42A、42B的垂下的構件，因為可以比第1、第2起重機40A、40B更快速移動，所以將區域間(例如第1保管區域SA1及第2保管區域SA2之間)的物品2的搬運藉由高架搬運車50進行，就可以將物品2由短時間搬運。如此，藉由將第1、第2起重機40A、40B及高架搬運車50的角色分開，就可以提高搬運系統100整體的物品2的搬運效率。且，因為第1起重機40A及高架搬運車50共用第1區域內空架軌道11，第2起重機40B及高架搬運車50共用第2區域內空架軌道12，所以不必要另外設置空架軌道，可以減少在空架軌道10的舖設所需要的成本。
且高架搬運車50，因為是可行走於第1區域內空架軌道11及第2區域間空架軌道14，所以如第5圖的一點鎖線所示，可在第1、第2處理裝置TL1、TL2的裝載埠LP之間進行物品2的收授。其結果，第1、第2起重機40A、40B的故障，或是第1、第2起重機40A、40B進行其他的物品2的搬運而沒空等的事態發生的情況時，可以暫時地將與裝載埠LP的物品2的收授藉由高架搬運車50進行，可防止搬運效率的下降。進一步，若從其他的區域被搬運來的物品2的搬運目的地的裝載埠LP是空的情況(可搬運的情況)，高架搬運車50，是藉由直接將物品2朝搬運目的地的裝載埠LP搬運，就可以提高物品2的搬運效率。
在上述的實施例中，雖舉例說明了將第1、第2保管部20A、20B及第1、第2收授通口30A、30B的棚部配置於第1、第2保管區域SA1、SA2內的構成的例，但是不限定於此構成，保管部及收授通口，是配置於第1、第2保管區域SA1、SA2的外側也可以。
第10圖，是顯示保管部及收授通口的其他例的圖。在以下的說明中，對於與上述的實施例相同或是同等的構成部分是附加同一符號省略說明或是簡略化。如第10圖所示，保管部220(或是收授通口230)，是在第1、第2裝置區域TA1、TA2，被配置於第1、第2處理裝置TL1、TL2的裝載埠LP的上方也可以。藉由此構成，可以將裝載埠LP的上方的空間作為保管區域有效地活用。又，第1、第2起重機40A、40B及高架搬運車50的雙方，可以對於此 保管部220(或是收授通口230)，進行物品2的收授。但是，在此構成中，高架搬運車50，無法直接對於裝載埠LP進行物品2的收授。另一方面，第1、第2起重機40A、40B，可以對於裝載埠LP進行物品2的收授。
且如第10圖所示，在第1、第2處理裝置TL1、TL2、及第1、第2處理裝置TL1、TL2之間，設有保管棚80也可以。保管棚80，是在內部的上下方向及左右方向(Y方向)設有複數保管部320，在上面80a設有收授通口330。藉由此構成，可以將在第1、第2處理裝置TL1、TL2之間發生的空間作為保管區域有效地活用。第1、第2起重機40A、40B可以對於保管棚80的保管部320進行物品2的收授。且，第1、第2起重機40A、40B及高架搬運車50的雙方，可以對於保管棚80的上面80a的收授通口330進行物品2的收授。且，第1、第2起重機40A、40B，是可以在保管部220及保管部320之間將物品2搬運。又，在第10圖中，雖顯示設有保管部220及保管棚80的雙方的例，但是可取代此構成，在裝載埠LP的上方不設置保管部220，而在第1、第2處理裝置TL1、TL2、及第1、第2處理裝置TL1、TL2之間(或是裝載埠LP及裝載埠LP之間)設置保管棚80的構成也可以。例如，在第1圖所示的第1處理裝置TL1及第1處理裝置TL1之間，或是第2處理裝置TL2及第2處理裝置TL2之間(或是裝載埠LP及裝載埠LP之間)設置保管棚80的構成也可以。藉由此構成，與上述同樣，可以將在第1、第2處理裝置TL1、TL2之間(裝載埠LP之間)發生的空間作為保管區域有效地活用。
如此，藉由配置保管部220、及具備保管部320的保管棚80，在搬運系統100中，可以將物品2的保管數量容易地增大。又，在搬運系統100中，保管部220或是保管棚80的設置數量可任意地設定。
以上，雖說明了實施例，但是本發明，不限定於上述的說明，在不脫離本發明的實質範圍可進行各種變更。例如，在上述的搬運系統100中，貯藏庫(自動倉庫)等是被配置在高架搬運車50的移動路徑中也可以。貯藏庫，是例如，被設置在第1區域間空架軌道13及第2區域間空架軌道14的其中任一方或是雙方也可以。高架搬運車50，可對於此貯藏庫的收授通口進行物品2的收授，例如，在貯藏庫及第1、第2收授通口30A、30B之間將物品2搬運也可以。且，只要法令容許，援用日本專利申請的日本特願2014-213528、及本說明書所引用全部的文獻的內容作成本文的記載的一部分。
LP‧‧‧裝載埠SA1‧‧‧第1保管區域SA2‧‧‧第2保管區域TA1‧‧‧第1裝置區域TA2‧‧‧第2裝置區域TL1‧‧‧第1處理裝置TL2‧‧‧第2處理裝置2‧‧‧物品2a‧‧‧凸緣部10‧‧‧空架軌道11‧‧‧第1區域內空架軌道11a‧‧‧直線部11b‧‧‧循環部12‧‧‧第2區域內空架軌道12a‧‧‧直線部12b‧‧‧循環部13‧‧‧第1區域間空架軌道14‧‧‧第2區域間空架軌道15‧‧‧第1連接軌道15a‧‧‧入口部15b‧‧‧出口部16‧‧‧第2連接軌道16a‧‧‧入口部16b‧‧‧出口部20A‧‧‧第1保管部20B‧‧‧第2保管部23‧‧‧收授通口30A‧‧‧第1收授通口30B‧‧‧第2收授通口33‧‧‧收授通口40A‧‧‧第1起重機40B‧‧‧第2起重機41A‧‧‧第1行走部41B‧‧‧第2行走部42A‧‧‧第1柱42B‧‧‧第2柱43A‧‧‧第1昇降台43B‧‧‧第2昇降台44A‧‧‧第1移載部44B‧‧‧第2移載部45a‧‧‧吊下構件45b‧‧‧驅動部45A‧‧‧第1昇降驅動部45B‧‧‧第2昇降驅動部46‧‧‧安裝部47‧‧‧上部支撐體48‧‧‧臂部49‧‧‧保持部49a‧‧‧爪部50‧‧‧高架搬運車51‧‧‧行走部52‧‧‧本體部52a‧‧‧安裝部53‧‧‧保持部53a‧‧‧爪部53b‧‧‧吊下構件54‧‧‧昇降驅動部55‧‧‧橫出機構60‧‧‧控制裝置70‧‧‧供電部71a‧‧‧車輪71b‧‧‧行走部本體73‧‧‧受電部75‧‧‧供電軌道76‧‧‧非接觸供電線80‧‧‧保管棚80a‧‧‧上面100‧‧‧搬運系統130‧‧‧收授通口220、320‧‧‧保管部230、330‧‧‧收授通口
[第1圖] 顯示本實施例的搬運系統的一例的俯視圖。 　　[第2圖] 顯示第1、第2處理裝置及裝載埠的一例的圖。 　　[第3圖] 顯示第1、第2保管部及第1、第2收授通口的一例的圖。 　　[第4圖] 顯示懸吊式起重機的一例的圖。 　　[第5圖] 顯示高架搬運車的一例的圖。 　　[第6圖] 顯示第1、第2起重機的第1、第2行走部、及高架搬運車的行走部的一例的圖。 　　[第7圖] 顯示藉由高架搬運車將物品搬運時的移動路徑的一例的圖。 　　[第8圖] 接著第7圖，顯示藉由高架搬運車將物品搬運時的移動路徑的一例的圖。 　　[第9圖] 接著第8圖，顯示藉由高架搬運車將物品搬運時的移動路徑的一例的圖。 　　[第10圖] 顯示保管部及收授通口的其他例的圖。
2‧‧‧物品
10‧‧‧空架軌道
11‧‧‧第1區域內空架軌道
11a‧‧‧直線部
11b‧‧‧循環部
12‧‧‧第2區域內空架軌道
12a‧‧‧直線部
12b‧‧‧循環部
13‧‧‧第1區域間空架軌道
14‧‧‧第2區域間空架軌道
15‧‧‧第1連接軌道
15a‧‧‧入口部
15b‧‧‧出口部
16‧‧‧第2連接軌道
16a‧‧‧入口部
16b‧‧‧出口部
20A‧‧‧第1保管部
20B‧‧‧第2保管部
30A‧‧‧第1收授通口
30B‧‧‧第2收授通口
40A‧‧‧第1起重機
40B‧‧‧第2起重機
50‧‧‧高架搬運車
60‧‧‧控制裝置
100‧‧‧搬運系統
130‧‧‧收授通口
LP‧‧‧裝載埠
SA1‧‧‧第1保管區域
SA2‧‧‧第2保管區域
TA1‧‧‧第1裝置區域
TA2‧‧‧第2裝置區域
TL1‧‧‧第1處理裝置
TL2‧‧‧第2處理裝置

Claims (5)

  1. 一種搬運系統，具備： 　　從第1處理裝置的裝載埠的正上方偏離且沿著前述第1處理裝置的裝載埠設置的第1區域內空架軌道；及 　　從第2處理裝置的裝載埠的正上方偏離且沿著前述第2處理裝置的裝載埠設置的第2區域內空架軌道；及 　　將前述第1區域內空架軌道及前述第2區域內空架軌道連結的區域間空架軌道；及 　　分別在前述第1區域內空架軌道及前述第2區域內空架軌道的下方且側方被上下方向設置複數層，保管物品的第1保管部及第2保管部；及 　　分別設於前述第1區域內空架軌道及前述第2區域內空架軌道的下方且側方的第1收授通口及第2收授通口；及 　　第1起重機，具備：沿著前述第1區域內空架軌道行走的第1行走部、從前述第1行走部下垂的第1柱、及被前述第1柱導引地昇降的第1移載部，且在前述第1處理裝置的裝載埠、前述第1保管部、及前述第1收授通口之間將物品搬運；及 　　第2起重機，具備：沿著前述第2區域內空架軌道行走的第2行走部、從前述第2行走部下垂的第2柱、及被前述第2柱導引地昇降的第2移載部，且在前述第2處理裝置的裝載埠、前述第2保管部、及前述第2收授通口之間將物品搬運；及 　　高架搬運車，具備：沿著前述第1區域內空架軌道和前述第2區域內空架軌道和前述區域間空架軌道行走的行走部、及將物品保持的保持部、及將前述保持部吊下地昇降的昇降驅動部、及將前述昇降驅動部朝側方突出的橫出機構，且在前述第1收授通口及前述第2收授通口之間將物品搬運。
  2. 如申請專利範圍第1項的搬運系統，其中， 　　前述起重機，是懸吊式起重機。
  3. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中， 　　前述第1區域內空架軌道及前述第2區域內空架軌道是周轉軌道， 　　前述第1起重機及前述高架搬運車，是在前述第1區域內空架軌道朝同一方向周轉行走， 　　前述第2起重機及前述高架搬運車，是在前述第2區域內空架軌道朝同一方向周轉行走。
  4. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中， 　　前述第1收授通口及前述第2收授通口，是各別被配置於前述第1保管部及前述第2保管部的最上層。
  5. 一種搬運系統的搬運方法，該搬運系統，具備： 　　從第1處理裝置的裝載埠的正上方偏離且沿著前述第1處理裝置的裝載埠設置的第1區域內空架軌道；及 　　從第2處理裝置的裝載埠的正上方偏離且沿著前述第2處理裝置的裝載埠設置的第2區域內空架軌道；及 　　將前述第1區域內空架軌道及前述第2區域內空架軌道連結的區域間空架軌道；及 　　分別在前述第1區域內空架軌道及前述第2區域內空架軌道的下方且側方被上下方向設置複數層，保管物品的第1保管部及第2保管部；及 　　分別設於前述第1區域內空架軌道及前述第2區域內空架軌道的下方且側方的第1收授通口及第2收授通口；及 　　第1起重機，具備：沿著前述第1區域內空架軌道行走的第1行走部、及從前述第1行走部下垂的第1柱、及被前述第1柱導引地昇降的第1移載部；及 　　第2起重機，具備：沿著前述第2區域內空架軌道行走的第2行走部、及從前述第2行走部下垂的第2柱、及被前述第2柱導引地昇降的第2移載部；及 　　高架搬運車，具備：沿著前述第1區域內空架軌道和前述第2區域內空架軌道和前述區域間空架軌道行走的行走部、及將物品保持的保持部、及將前述保持部吊下地昇降的昇降驅動部、及將前述昇降驅動部朝側方突出的橫出機構， 　　該搬運系統的搬運方法：前述第1起重機，是在前述第1處理裝置的裝載埠、及前述第1保管部、及前述第1收授通口之間，將物品搬運， 　　前述第2起重機，是在前述第2處理裝置的裝載埠、及前述第2保管部、及前述第2收授通口之間，將物品搬運， 　　前述高架搬運車，是在前述第1收授通口及前述第2收授通口之間將物品搬運。
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