CN113329957B - 保管系统 - Google Patents

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Abstract

【课题】提供一种防止对顶棚的一部分施加较大载荷的保管系统。【解决方案】在保管系统(SYS)中，置物架(10)通过安装于网格顶棚(GC)的第1悬吊部件(3)而从顶棚的第1位置(P1)悬吊设置，第2空中轨道(30)通过安装于网格顶棚(GC)的第2悬吊部件(4)而从网格顶棚(GC)的第2位置(P2)悬吊设置，第1位置(P1)与第2位置(P2)至少隔开规定距离(L)而设定。

Description

保管系统
技术领域
本发明涉及保管系统。
背景技术
在半导体制造工厂等中，通过空中搬送车来搬送容纳半导体晶圆的FOUP(Front-Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒)或容纳标线片的标线片盒等物品，并相对于处理装置的装载口等移载目的地进行物品交接。已知由该空中搬送车搬送的物品保管于能够在与该空中搬送车之间交接物品的保管系统(例如参照专利文献1)。在专利文献1中，具备在上下方向上设有多层载置物品的保管部的置物架，该置物架从顶棚悬吊而配置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2017-30944号公报
发明内容
在设有专利文献1记载的保管系统的建筑物中，例如有时设有其它空中搬送车系统。在该情况下，若从顶棚悬吊其它空中搬送车系统的空中轨道的位置与悬吊置物架的位置靠近，则存在对顶棚的一部分施加的载荷变大而在顶棚的一部分超过可承受载荷的隐患。在这种情况下，需要进行顶棚的加强或通过梁等改变悬吊位置等大规模的追加工程，会导致设置成本的增加。
本发明的目的在于，提供一种防止对顶棚的一部分施加较大载荷的保管系统。
本发明的方案的保管系统具备：空中仓储装置，该空中仓储装置具备第1空中轨道、在上下方向上具备多层保管部的置物架、和沿着第1空中轨道行进并在多层保管部之间交接物品的吊车；以及空中搬送车系统，该空中搬送车系统具备与空中仓储装置的下端相比设于下方的第2空中轨道、和沿着第2空中轨道行进并相对于规定的移载目的地交接物品的空中搬送车，并以在俯视时至少一部分与空中仓储装置重叠的方式配置，置物架通过安装于顶棚的第1悬吊部件而从顶棚的第1位置悬吊设置，第2空中轨道通过安装于顶棚的第2悬吊部件而从顶棚的第2位置悬吊设置，第1位置与第2位置至少隔开规定距离而设定。
另外，也可以是，规定距离是以顶棚的每单位面积的载荷的大小不超过规定值的方式设定的距离。另外，也可以是，顶棚是在水平方向上的正交方向上分别排列有多个格子的网格顶棚，单位面积是一个格子的面积。另外，也可以是，第1位置与第2位置设定于网格顶棚中的不同的格子。另外，也可以是，第1空中轨道通过安装于顶棚的第3悬吊部件而从顶棚的第3位置悬吊设置，多个第1位置之一与多个第3位置之一设定于网格顶棚中的一个格子。另外，也可以是，第1空中轨道的一部分与第2空中轨道的一部分在俯视时重叠地配置。另外，也可以是，置物架在俯视时设于包含具有规定的移载目的地的处理装置的正上方的区域内。
发明效果
根据上述保管系统，由于悬吊置物架的第1悬吊部件与悬吊第2空中轨道的第2悬吊部件至少隔开规定距离而设定，所以能够避免空中仓储装置中的占重量较多比例的置物架的悬吊位置与空中搬送车系统的占重量较多比例的第2空中轨道的悬吊位置靠近，从而能够使置物架的悬吊位置与第2空中轨道的悬吊位置分散。其结果是，避免对顶棚的一部分施加较大载荷、且不再需要进行顶棚的加强等大规模的追加工程，因此能够抑制设置成本的增加。
另外，在规定距离是以顶棚的每单位面积的载荷的大小不超过规定值的方式设定的距离的结构中，通过以单位面积作为基准，能够容易地设定规定距离。另外，在顶棚是在水平方向上的正交方向上分别排列有多个格子的网格顶棚、且单位面积是一个格子的面积的结构中，能够容易地通过格子识别顶棚的单位面积，通过参照该格子，能够容易地设定规定距离。另外，在第1位置与第2位置设定于网格顶棚中的不同的格子的结构中，能够容易地使第1位置及第2位置分开规定距离以上。另外，在第1空中轨道通过安装于顶棚的第3悬吊部件而从顶棚的第3位置悬吊设置、且多个第1位置之一与多个第3位置之一设定于网格顶棚中的一个格子的结构中，通过将空中仓储装置中的重量比例较小的第1空中轨道的悬吊位置即第3位置配置于与第1位置相同的格子，第1悬吊部件及第3悬吊部件会靠近，能够提高这些悬吊部件的安装或维护的作业性。另外，在第1空中轨道的一部分与第2空中轨道的一部分在俯视时重叠地配置的结构中，能够将空中仓储装置及空中搬送车系统在俯视时紧凑地配置。另外，在置物架在俯视时设于包含具有规定的移载目的地的处理装置的正上方的区域内的结构中，通过在未配置第2空中轨道的处理装置的正上方配置置物架，能够容易地将悬吊置物架的第1位置与悬吊第2空中轨道的第2位置分开而使其分散。
附图说明
图1是从Y方向观察到的实施方式的保管系统的一例的图。
图2是在俯视时示意性表示保管系统的图。
图3是表示空中搬送车、上侧空中搬送车的一例的图。
图4是将图2的一部分放大来表示网格顶棚上的悬吊位置的一例的俯视图。
图5是表示第2空中轨道上的吊具的位置的一例的图。
图6是表示置物架及第1空中轨道上的吊具的位置的图。
图7是表示梁部与网格顶棚的位置关系的一例的图。
图8是表示第1位置与第2位置的距离的一例的图。
图9是表示网格顶棚的每一个格子的载荷的图。
具体实施方式
以下，参照附图对实施方式进行说明。但是，本发明并不限定于以下说明的实施方式。另外，在附图中，为了说明实施方式而将一部分放大或强调而记载等适当变更比例尺来表达。在以下各图中，通过XYZ坐标系来说明图中的方向。在该XYZ坐标系中，将铅垂方向作为Z方向，将水平方向作为X方向、Y方向。Y方向是水平方向内的一个方向，且是后述吊车40、空中搬送车50、上侧空中搬送车60的行进方向。X方向是与Y方向正交的方向。另外，关于X、Y、Z方向的各方向，适当将箭头所指方向表达为+方向(例如+X方向)，将箭头所指方向的相反方向表达为－方向(例如－X方向)。
图1是从Y方向观察到的实施方式的保管系统SYS的一例的图。图2是在俯视时示意性表示保管系统SYS的图。此外，在图2中，为了容易对图进行判别而将物品2以阴影线示出。
图1及图2所示的保管系统SYS例如设于半导体器件的制造工厂等，对容纳有用于制造半导体器件的半导体晶圆的FOUP或容纳有标线片的标线片盒等物品2进行保管。在本实施方式中，对物品2是FOUP的例子进行说明，但物品2也可以是FOUP以外的物品。另外，保管系统SYS也可以应用于半导体制造领域以外的设备，物品2也可以是能够用保管系统SYS保管的其它物品。
如图1及图2所示，保管系统SYS具备空中仓储装置100、空中搬送车系统200和搬送装置300。空中仓储装置100具备具有多个保管部11的置物架10、第1空中轨道20和吊车40。置物架10在俯视时沿着吊车40所行进的第1空中轨道20配置。另外，如图1所示，置物架10所具备的多个保管部11设于框架13内，并在上下方向(Z方向)上配置有三层。保管部11的层数能够任意设定。另外，多个保管部11沿着后述吊车40的行进方向(Y方向)并列配置有多个。
多个保管部11具备载置物品2的架板11a。各架板11a由框架13保持。在以下说明中，在保管部11放置物品2是指在保管部11的架板11a上放置物品2。此外，在保管部11的架板11a上，也可以分别设有当载置了物品2时进入设于物品2的底面的槽部中的多个销。通过使该销进入物品2的槽部，物品2能够相对于保管部11(架板11a)定位。
置物架10通过第1悬吊部件3从建筑物的网格顶棚GC的第1位置P1悬吊。网格顶棚GC是在水平方向上相互正交的各个方向上排列有多个格子的格子状。此外，也可以在网格顶棚GC的上方配置有从多个格子向建筑物内供给下降流(down flow)的下降流单元。
置物架10的下端设定为比处理装置TL的上端相对于地面F的高度高。处理装置TL例如对物品2即容纳在FOUP内的半导体晶圆进行成膜处理或蚀刻处理等各种处理。另外，后述的吊车40的下端的高度也设定为比处理装置TL的上端的高度高。即，空中仓储装置100与处理装置TL的上端相比配置于上方。此外，吊车40的下端设定于作业者等能够在地面F无障碍通行的高度。其结果是，能够将空中仓储装置100的下方空间的一部分作为作业者用通道PS利用。
保管部11通过吊车40载置物品2并取出物品2。另外，保管部11中的一部分通过后述的上侧空中搬送车60载置物品2并取出物品2。通过上侧空中搬送车60交接物品2的保管部11是置物架10中的最上层的保管部11。保管部11的上下尺寸(从架板11a的上表面到上方的保管部11的架板11a的下表面为止的尺寸)设定为后述的吊车40的移载装置42为了从下表面侧支承并抬升物品2所必需的尺寸。吊车40的移载装置42例如采用了从下表面侧支承并抬升物品2的结构，在物品2的上方不需要很大的空间。例如，保管部11的上下尺寸也能设为对物品2的上下尺寸增加几厘米的程度的尺寸。
如图1所示，第1空中轨道20从网格顶棚GC的第3位置P3通过第3悬吊部件5悬吊。如图2所示，第1空中轨道20是具有沿X方向延伸的两条直线部21、22和连接部23的环状轨道。连接部23设于两条直线部21、22的+X侧及－X侧并将直线部21与直线部22连接。吊车40及后述的上侧空中搬送车60能够沿着直线部21、22及连接部23在一个方向(例如在俯视时是顺时针方向)上环绕行进。
本实施方式的第1空中轨道20中，由两条直线部21、22和连接部23构成的环绕轨道在Y方向上并列配置有两个。两个环绕轨道由将+X侧的连接部23彼此连接的连接轨道24和将－X侧的连接部23彼此连接的连接轨道24连接。因此，如图2的箭头所示，吊车40及后述的上侧空中搬送车60能够从+X侧的环绕轨道经由连接轨道24向－X侧的环绕轨道移动，另外，还能从－X侧的环绕轨道经由连接轨道24向+X侧的环绕轨道移动。
上述的置物架10相对于直线部21、22设于+Y侧及－Y侧。即，置物架10在俯视时配置于吊车40所行进的环绕轨道即第1空中轨道20的内侧及外侧。这些置物架10与处理装置TL相比配置于上方。与处理装置TL相比处于上方的空间是以往被设为死角的空间，通过在这种空间内配置置物架10，能够有效利用建筑物内的空间。
如图1所示，吊车40保持物品2，并在第1空中轨道20行进而移动。吊车40在保管部11与其它保管部11之间搬送物品2。吊车40在第1空中轨道20环绕行进。此外，在本实施方式中，在+Y侧及－Y侧的环绕轨道上分别配置有一台吊车40，从而在一个第1空中轨道20上配置有两台吊车40，但吊车40的台数并不限定于两台。例如，也可以在一个第1空中轨道20上配置有一台吊车40，或者也可以配置有三台以上的吊车40。如图1所示，吊车40从第1空中轨道20悬吊。
吊车40具备两台行进部41、和移载装置42。在行进部41的下方经由安装部46安装有上部支承部47，通过上部支承部47将两台行进部41连结。各行进部41具备未图示的行进驱动部及多个车轮41a，并沿着第1空中轨道20行进。行进部41所具备的未图示的行进驱动部例如既可以是设于行进部41来驱动车轮41a的电动马达，也可以是线性马达。此外，在本实施方式的吊车40中，通过具备两台行进部41，能够可靠地支承作为重物的移载装置42及物品2。此外，吊车40并不限定于具备两台行进部41的结构，也可以具备一台或三台以上行进部41。
移载装置42具备柱杆43、升降台44、升降驱动部45、伸缩部48和载置台49。柱杆43从上部支承部47悬吊并沿上下方向延伸。柱杆43在行进部41的行进方向上的前后分别各设有一根。此外，柱杆43并不限定于合计两根，也可以是一根。如上所述，柱杆43被设为柱杆43的下端相对于地面F的高度比处理装置TL的上端的高度高。例如，柱杆43的下端是吊车40的下端。
伸缩部48由能够在与行进部41的行进方向正交的方向上伸缩的多个臂构成。载置台49设于伸缩部48的前端。载置台49是能够载置物品2的三角形的板状部件。载置台49通过从下侧进行支承来保持载置于该载置台49上的物品2。在载置台49的上表面设有插入物品2的底面所具备的槽部中来定位物品2的销。此外，在上述保管部11的架板11a上设有载置台49能够沿上下方向通过的未图示的缺口。
移载装置42在从保管部11收取物品2时，通过使伸缩部48伸长以使载置台49位于物品2的下方并使升降台44上升，从而利用载置台49提起物品2。移载装置42通过保持着在载置台49上载置有物品2的状态直接使伸缩部48收缩，从而使载置有物品2的载置台49配置于升降台44的上方。另外，当通过移载装置42将物品2向保管部11交付时，通过与上述相反的动作来进行。此外，移载装置42并不限定于上述结构，例如也可以是保持着物品2的一部分(例如FOUP的设于上部的凸缘部2a)将其抬升的结构等其它结构。
升降驱动部45例如为卷扬机(hoist)，使升降台44沿着柱杆43升降。升降驱动部45具备悬吊部件45a及未图示的驱动部。悬吊部件45a例如是带或线材等，升降台44通过该悬吊部件45a从上部支承部47悬吊。升降驱动部45所具备的未图示的驱动部例如设于上部支承部47，进行悬吊部件45a的放出、卷绕。当升降驱动部45所具备的未图示的驱动部放出悬吊部件45a时，升降台44被柱杆43引导而下降。另外，当升降驱动部45所具备的未图示的驱动部卷绕悬吊部件45a时，升降台44被柱杆43引导而上升。升降驱动部45由未图示的控制装置等控制以使升降台44以规定速度下降或上升。另外，升降驱动部45由未图示的控制装置等控制以将升降台44保持在目标高度。
升降驱动部45设于上部支承部47。此外，升降驱动部45也可以代替设于上部支承部47而设于例如升降台44。作为在升降台44设有升降驱动部45的结构，例如可以是通过搭载于升降台44的卷扬机等将从上部支承部47悬吊的带或线材等进行卷绕或放出而使升降台44升降的结构。另外，也可以是以下结构：在升降台44上搭载有驱动小齿轮的电动马达等，在柱杆43上形成有与该小齿轮啮合的齿条，通过由电动马达等使小齿轮旋转而使升降台44升降。
空中搬送车系统200具备第2空中轨道30和空中搬送车50。空中搬送车50沿着第2空中轨道30行进，并相对于与第2空中轨道30相比配置于下方的规定的移载目的地即处理装置TL的装载口LP进行物品2的交接。如图1所示，第2空中轨道30从网格顶棚GC的第2位置P2通过第2悬吊部件4悬吊。
如图2所示，第2空中轨道30在俯视时配置于区划间路线(Inter-bay route)(区划间轨道)R1与区划间路线R2之间。第2空中轨道30分别设于区划内(内部区划内)，区划间路线R1等为了连接多个第2空中轨道30而设置。在本实施方式中，区划(内部区划(Intra-bay))是指例如在俯视时多个处理装置TL中的装载口LP以彼此相对的方式设置、且在以彼此相对的方式设置的装载口LP之间设有作业者用通道PS的范围(区域)。第2空中轨道30经由进入用或退出用的两条支线S1而相对于区划间路线R1连接，并经由进入用或退出用的两条支线S2而相对于区划间路线R2连接。
第2空中轨道30具有直线部31和连接部32。空中搬送车50沿着直线部31及连接部32在一个方向(例如在俯视时是顺时针方向)上环绕行进。直线部31在装载口LP的正上方沿着多个装载口LP在Y方向上配置。两条直线部31以在俯视时与第1空中轨道20的连接轨道24并行的方式(平行地)配置。连接部32包含曲线部在内配置于+Y侧及－Y侧的两端，并将两个直线部31彼此连接。第2空中轨道30与空中仓储装置100的吊车40(柱杆43)及置物架10相比配置于下方。在该第2空中轨道30行进的空中搬送车50与空中仓储装置100相比在下方行进。
空中搬送车50从区划间路线R1、R2经由支线S1、S2进入第2空中轨道30，或从第2空中轨道30经由支线S1、S2退出到区划间路线R1、R2。空中搬送车50沿着第2空中轨道30行进，并在直线部31上在与处理装置TL的装载口LP之间进行物品2的交接。另外，空中搬送车50在直线部31上在与后述的载置部14(包含交接口12)之间进行物品2的交接。此外，关于空中搬送车50的结构详见后述。
第2空中轨道30的直线部31沿着隔开规定间隔(作业者用通道PS)相对置的多个装载口LP的正上方设置。在本实施方式中，在一台处理装置TL的装载口LP能够载置多个物品2(图2中在装载口LP载置有六个物品2)。但是，能够载置于装载口LP的物品2的数量针对每台处理装置TL预先确定。第2空中轨道30设于装载口LP的正上方，在第2空中轨道30行进的空中搬送车50仅通过使物品2升降而在与装载口LP之间进行物品2的交接，而相对于后述的载置部14(交接口12)则将把持部53横向送出(通过横向移载)来进行物品2的交接。另外，如图2所示，第1空中轨道20的一部分与第2空中轨道30的一部分在俯视时重叠配置。因此，能够将空中仓储装置100及空中搬送车系统200在俯视时紧凑地配置。
图3是表示空中搬送车50及后述的上侧空中搬送车60的一例的图。如图3所示，空中搬送车50具有行进部51和主体部52。行进部51具备未图示的行进驱动部及多个车轮51a，并沿着第2空中轨道30行进。行进部51所具备的未图示的行进驱动部例如既可以是设于行进部51来驱动车轮51a的电动马达，也可以是线性马达。
主体部52经由安装部52a安装于行进部51的下部。主体部52具有：保持物品2的把持部53；悬吊把持部53并使其升降的升降驱动部54；和使升降驱动部54向轨道的侧方移动的横向送出机构55。把持部53通过从上方抓住并把持物品2的凸缘部2a来悬吊并保持物品2。把持部53例如是具有能够沿水平方向进退的多个爪部53a的卡盘，通过使爪部53a进入物品2的凸缘部2a的下方并使把持部53上升来悬吊并保持物品2。把持部53与线材或带等悬吊部件53b连接。把持部53经由悬吊部件53b从升降驱动部54悬吊，并通过该升降驱动部54而升降。
升降驱动部54例如为卷扬机，通过放出悬吊部件53b而使把持部53下降，并通过卷绕悬吊部件53b而使把持部53上升。升降驱动部54由未图示的控制装置等控制以使把持部53以规定速度下降或上升。另外，升降驱动部54由未图示的控制装置等控制以将把持部53保持在目标高度。
横向送出机构55具有例如在上下方向上重叠配置的可动板。可动板能够向行进部51的行进方向的侧方(与行进方向正交的方向、横向)移动。在可动板上安装有升降驱动部54。主体部52具有引导横向送出机构55的未图示的引导件及驱动横向送出机构55的未图示的驱动部等。横向送出机构55通过来自电动马达等驱动部的驱动力使升降驱动部54及把持部53在突出位置与收纳位置之间移动。突出位置是把持部53从主体部52向侧方突出的位置。收纳位置是在主体部52内收纳把持部53的位置。此外，也可以设有用于使升降驱动部54或把持部53绕上下方向旋转的旋转机构。
空中搬送车50如上所述通过升降驱动部54使把持部53(物品2)升降，从而在与装载口LP之间进行物品2的交接。另外，空中搬送车50能够通过横向送出机构55使升降驱动部54(把持部53)移动到多个载置部14(包含交接口12)中的任一个的上方，并通过升降驱动部54使把持部53(物品2)升降而在与该载置部14之间交接物品2。
搬送装置300在空中仓储装置100与空中搬送车系统200之间沿上下方向搬送物品2。在本实施方式中，搬送装置300是上侧空中搬送车60。另外，保管系统SYS具备用于在空中搬送车系统200与搬送装置300(上侧空中搬送车60)之间交接物品的交接口12。交接口12是能够载置物品2的载置部14的一部分。如图1所示，包含交接口12的载置部14通过第4悬吊部件6从网格顶棚GC的第4位置P4悬吊。
载置部14在俯视时配置于作为环绕轨道的第2空中轨道30的内侧，并沿着Y方向呈直线状设置。载置部14能够将物品2排成两列来载置。载置部14的一部分是交接口12。此外，载置部14中的除交接口12以外的部分是能够载置物品2、并能通过空中搬送车50交接物品2的缓冲区。
在交接口12能够载置多个物品2。交接口12配置于上侧空中搬送车60所行进的第1空中轨道20中的连接轨道24的正下方(在图2中为+X侧那列的交接口12)、和相对于连接轨道24而言的横向且下方(在图2中为－X侧那列的交接口12)。另外，交接口12相对于第2空中轨道30配置于横向且下方。因此，空中搬送车50能够在图2中从+X侧的直线部31通过横向移载而相对于+X侧那列的交接口12进行物品2的交接。另外，空中搬送车50能够在图2中从－X侧的直线部31通过横向移载而相对于－X侧那列的交接口12进行物品2的交接。
上侧空中搬送车60在空中仓储装置100与交接口12(载置部14中的一部分)之间沿上下方向搬送物品2。如图3所示，上侧空中搬送车60具有第2行进部61和第2主体部62。第2行进部61应用了与吊车40的行进部41同样的结构，具备未图示的行进驱动部及多个车轮61a，并沿着第1空中轨道20行进。第2主体部62经由安装部62a安装于第2行进部61的下部。第2主体部62具有：保持物品2的第2把持部63(包含爪部63a及悬吊部件63b)；悬吊第2把持部63并使其升降的第2升降驱动部64；和使第2升降驱动部64向轨道的侧方移动的第2横向送出机构65。
如图3所示，这些第2行进部61、第2主体部62、第2把持部63、第2升降驱动部64及第2横向送出机构65应用了与上述空中搬送车50的行进部51、主体部52、把持部53、升降驱动部54及横向送出机构55相同的结构。因此，上侧空中搬送车60能够直接应用空中搬送车系统200的空中搬送车50。另外，上侧空中搬送车60由于在第1空中轨道20行进，所以无需另行设置轨道，能够降低保管系统SYS的制造成本。
上侧空中搬送车60能够通过第2升降驱动部64使第2把持部63(物品2)升降从而在与位于连接轨道24的正下方的交接口12之间交接物品2。另外，在与相对于连接轨道24处于横向且下方的交接口12(在图2中为－X侧那列的交接口12)之间，上侧空中搬送车60通过利用第2横向送出机构65使第2升降驱动部64移动到交接口12的上方并利用第2升降驱动部64使第2把持部63(物品2)升降，从而能够在与该交接口12之间交接物品2。
另外，上侧空中搬送车60能够通过第2横向送出机构65使第2升降驱动部64移动到多层保管部11中的至少一个保管部11的上方，并通过第2升降驱动部64使第2把持部63(物品2)升降，从而在与存在于第2升降驱动部64下方的保管部11之间交接物品2。在本实施方式中，上侧空中搬送车60能够在与置物架10中的最上层的保管部11之间交接物品2。此外，作为与上侧空中搬送车60交接的交接对象的保管部11也可以是最上层以外的保管部11。另外，搬送装置300并不限定于上侧空中搬送车60，例如也可以是输送机装置等能够在保管部11与交接口12之间搬送物品2的其它装置。
在本实施方式中，置物架10的一部分与作为规定的移载目的地的处理装置TL的装载口LP在俯视时重叠。因此，能够使置物架10在水平方向上扩张至装载口LP的上方，从而能够保管很多物品2。另外，置物架10设于空中搬送车系统200的上方。即，不管空中搬送车系统200的第2空中轨道30的配置如何都能设置置物架10，因此置物架10的配置自由度高，能够容易地实现物品2的收纳效率高的置物架10的配置。
另外，保管系统SYS具有未图示的控制装置。该未图示的控制装置统括地控制保管系统SYS。未图示的控制装置通过无线或有线的通信来控制吊车40、空中搬送车50及上侧空中搬送车60的动作。此外，未图示的控制装置也可以被分割为控制吊车40的控制装置、控制空中搬送车50的控制装置、和控制上侧空中搬送车60的控制装置。
当在保管系统SYS中从保管部11向装载口LP搬送物品2时，未图示的控制装置对上侧空中搬送车60(搬送装置300)进行控制，指示其从最上层的保管部11收取作为搬送对象的物品2、并向所指定的交接口12交付物品2。在作为搬送对象的物品2处于最上层以外的保管部11的情况下，空中仓储装置100的吊车40将作为搬送对象的物品2移载到置物架10中的最上层的保管部11。
接着，上侧空中搬送车60沿着第1空中轨道20行进，并在载置有作为搬送对象的物品2的保管部11的侧方停止，在使第2横向送出机构65突出之后通过第2升降驱动部64使第2把持部63下降，并通过第2把持部63把持物品2。接着，上侧空中搬送车60在通过第2升降驱动部64使第2把持部63上升之后，使第2横向送出机构65收缩而使第2把持部63返回收纳位置，由此，将物品2容纳到第2主体部62内。
接着，上侧空中搬送车60通过第2把持部63保持着物品2而沿着第1空中轨道20行进，并在所指定的交接口12的正上方停止。接着，上侧空中搬送车60驱动第2升降驱动部64以使第2把持部63及物品2下降，并在使物品2载置于交接口12之后释放第2把持部63的把持，由此，将物品2交付到交接口12。
接着，未图示的控制装置对空中搬送车系统200的空中搬送车50进行控制，指示其从交接口12收取物品2、并向所指定的装载口LP交付物品2。空中搬送车50沿着第2空中轨道30行进，并在载置有物品2的交接口12的侧方停止，在使横向送出机构55突出之后通过升降驱动部54使把持部53下降，并通过把持部53把持物品2。之后，空中搬送车50在通过升降驱动部54使把持部53上升之后使横向送出机构55收缩而使把持部53返回收纳位置，由此，将物品2容纳到主体部52内。
接着，空中搬送车50通过把持部53保持着物品2而沿着第2空中轨道30行进，并在所指定的装载口LP的正上方停止。接着，空中搬送车50驱动升降驱动部54以使把持部53及物品2下降，并在使物品2载置于装载口LP之后释放把持部53的把持，由此，将物品2交付到装载口LP。通过以上一系列动作，物品2从保管部11被搬送至装载口LP。
另外，在从处理装置TL的装载口LP向空中仓储装置100的保管部11搬送物品2的情况下，通过进行上述一系列动作的相反动作，物品2从处理装置TL的装载口LP经由交接口12而被搬送至空中仓储装置100的保管部11。此外，即使物品2的移载目的地是装载口LP以外的地方也与上述相同，关于从装载口LP以外的地方收取物品2的情况也与上述相同。
图4是将图2的一部分放大表示的俯视图，且是表示网格顶棚GC上的悬吊位置的一例的图。在图4中，示出了悬吊置物架10的第1悬吊部件3所配置的第1位置P1、悬吊第2空中轨道30的第2悬吊部件4所配置的第2位置P2、悬吊第1空中轨道20的第3悬吊部件5所配置的第3位置P3、悬吊交接口12的第4悬吊部件6所配置的第4位置P4之间的位置关系。此外，在图1中示意性示出了第1悬吊部件3、第2悬吊部件4、第3悬吊部件5及第4悬吊部件6，与图4所示的各个悬吊位置不同。
在图4中，第1位置P1以白圆点表示。如图4所示，多个第1位置P1设定于在俯视时与置物架10重叠的位置。多个第1位置P1在各个置物架10的X方向的端部附近沿Y方向隔开间隔而并列设定。也能够设想置物架10具备多个保管部11、并在所有保管部11上载置物品2的情况。因此，多个第1位置P1以网格顶棚GC能够承受所设想的置物架10的最大载荷的方式分散设定。在本实施方式中，多个第1位置P1设定为在俯视时在Y方向上夹着载置于置物架10的－X侧的物品2。此外，在置物架10的+X侧也同样设定有多个第1位置P1。
在图4中，第2位置P2以黑圆点表示。多个第2位置P2在俯视时沿着第2空中轨道30的直线部31设定。多个第2位置P2在俯视时沿Y方向隔开间隔而并列设定于从第2空中轨道30向行进方向的侧方偏离的位置。各第2位置P2相对于直线部31设定于X方向上的两侧。第2空中轨道30由于供空中搬送车50行进，所以也能够设想多个空中搬送车50并列行进的情况等。多个第2位置P2以网格顶棚GC能够承受所设想的第2空中轨道30的最大载荷的方式分散设定。此外，第2位置P2在Y方向上以固定间隔设定，但并不限定于该形态，Y方向上的间隔也可以有一部分不同。另外，在第2空中轨道30的连接部32也同样设定有多个第2位置P2。
在图4中，第3位置P3以白色三角形表示。多个第3位置P3在俯视时沿着第1空中轨道20的直线部21、22、连接部23及连接轨道24的各部设定。多个第3位置P3在俯视时沿行进方向隔开间隔而并列设定于从第1空中轨道20向行进方向的侧方偏离的位置。各第3位置P3设定于直线部21、22、连接部23及连接轨道24的两侧。第1空中轨道20由于供吊车40及上侧空中搬送车60行进，所以也能够设想吊车40与上侧空中搬送车60靠近的情况等。多个第3位置P3以网格顶棚GC能够承受所设想的第1空中轨道20的最大载荷的方式分散设定。
在图4中，第4位置P4以黑色三角形表示。多个第4位置P4在俯视时设定于与载置部14(参照图2)重叠的位置。此外，在图4中省略了载置部14的记载。多个第4位置P4沿Y方向隔开间隔而并列设定。在载置部14(包含交接口12)上由于载置多个物品，所以也能够设想载置有最多物品2的情况。多个第4位置P4以网格顶棚GC能够承受所设想的载置部14的最大载荷的方式分散设定。此外，第4位置P4在Y方向上以固定间隔设定，但并不限定于该形态，Y方向上的间隔也可以有一部分不同。
在网格顶棚GC的下表面侧固定有沿X方向或Y方向延伸的梁部70(参照图5、图6等)。梁部70例如为棒状的金属部件。梁部70的长度能够任意设定。梁部70在当俯视时网格顶棚GC与梁部70重叠的各个部分处通过例如螺栓等固定部件等固定于网格顶棚GC。或者，梁部70通过悬吊部件从网格顶棚GC悬吊。该梁部70相对于网格顶棚GC既可以是能够进行拆卸，也可以是通过焊接等而被固定。通过梁部70能够在网格顶棚GC的格子G的内侧设定第1位置P1、第2位置P2、第3位置P3、第4位置P4。
第1悬吊部件3、第2悬吊部件4、第3悬吊部件5及第4悬吊部件6分别从梁部70悬吊。即，第1位置P1、第2位置P2、第3位置P3及第4位置P4分别设定于在俯视时与梁部70重叠的位置。
图5是表示与第2空中轨道30及载置部14的悬吊位置有关的第2位置P2及第4位置P4的图。此外，在图5中省略了载置部14的记载。如图5所示，梁部70包含沿着第2空中轨道30的直线部31在Y方向上延伸的第2梁部72。另外，梁部70包含沿着载置部14的长度方向(交接口12的长度方向)在Y方向上延伸的第4梁部74。第2位置P2在俯视时沿着第2梁部72隔开间隔而设定。第4位置P4在俯视时沿着第4梁部74隔开间隔而设定。
图6是表示与置物架10及第1空中轨道20的悬吊位置有关的第1位置P1及第3位置P3的图。如图6所示，梁部70包含沿着排列于置物架10上的物品2的方向即X方向延伸的第1梁部71。另外，梁部70具有沿着第1空中轨道20的连接部23及连接轨道24在Y方向上延伸的第3梁部73、和沿着直线部21、22在X方向上延伸的第3梁部73。第1位置P1在俯视时沿着第1梁部71隔开间隔而设定。第3位置P3在俯视时沿着第3梁部73隔开间隔而设定。
图7是表示梁部70与网格顶棚GC的位置关系的一例的图。在图7中，网格顶棚GC通过直线呈格子状示出。如图7所示，网格顶棚GC具有沿着X方向及Y方向排列的多个格子G。第1梁部71、第2梁部72、第3梁部73及第4梁部74例如分别沿着网格顶棚GC的格子G在X方向或Y方向上配置。此外，梁部70并不限定于在X方向或Y方向上配置，例如也可以是相对于X方向或Y方向倾斜规定角度而固定的形态。
如图7所示，存在多个第1位置P1之一与多个第3位置P3之一以落在一个格子G内的方式设定的形态。即，空中仓储装置100中的重量比例较大的置物架10的悬吊位置即第1位置P1与空中仓储装置100中的重量比例较小的第1空中轨道20的悬吊位置即第3位置P3以落在一个格子G内的方式设定。通过将该第1位置P1与第3位置P3设定于同一格子G内，第1悬吊部件3及第3悬吊部件5会靠近配置。其结果是，能够在第1悬吊部件3及第3悬吊部件5的安装或维护中进行同一处的作业，能够提高作业性。
另外，如图7所示，一个格子G的一条边(X方向或Y方向)的长度的一半即规定距离L成为将第1位置P1与第2位置P2分开设定时的指标。该规定距离L是以网格顶棚GC的每单位面积的载荷的大小不超过规定值(可承受载荷)的方式设定的距离。单位面积例如在俯视时相当于一个格子G的面积。第1位置P1与第2位置P2至少隔开规定距离L(分开规定距离L以上)而设定。如图7所示，第1位置P1与第2位置P2设定于不同的格子G。此外，在图7中，在表示网格顶棚GC的线上存在悬吊位置的情况下，设为该悬吊位置包含于由该直线划分的两侧的格子G中的某一方。因此，在图7中，在包含第2位置P2的一个格子G的线上存在第1位置P1的情况下，第1位置P1与第2位置P2设定于各不相同的格子G。
例如，在第2位置P2配置于格子G的中央附近的情况下，通过将第1位置P1设为与第2位置P2不同的格子G，能够使第1位置P1与第2位置P2至少隔开规定距离L而设定。其结果是，能够避免在网格顶棚GC的各格子G中超过预先设定的规定值(可承受载荷)而设定第1位置P1及第2位置P2这两者。
图8是表示第1位置P1与第2位置P2的位置关系的一例的图。图8是将图7中的区域A内的第1位置P1与第2位置P2的位置关系放大的图。区域A内的第2位置P2设定于格子G的中央附近(参照图7)。如图8所示，四个第1位置P1相对于第2位置P2分别隔开距离L1、L2、L3、L4而设定。这些距离L1、L2、L3、L4比上述的规定距离L长。即，悬吊作为重物的置物架10的各个第1悬吊部件3与同样悬吊作为重物的第2空中轨道30的第2悬吊部件4至少隔开规定距离L而配置。
另外，距离L1、L2、L3、L4是以网格顶棚GC的每单位面积(一个格子G)的载荷的大小不超过规定值(可承受载荷)的方式设定的距离。在将单位面积设为一个格子G的面积的结构中，能够通过格子G容易地识别网格顶棚GC的单位面积，通过参照该格子G，能够容易地设定第1位置P1与第2位置P2的距离(例如距离L1、L2、L3、L4)。此外，上述的单位面积并不限定于一个格子G的面积，例如也可以是以多个格子G设定的面积等其它设定。
另外，在本实施方式中，在俯视时置物架10设于包含处理装置TL的正上方的区域。因此，通过在未配置第2空中轨道30的处理装置TL的正上方配置置物架10，能够容易地将悬吊置物架10的第1位置P1与悬吊第2空中轨道30的第2位置P2分开而使其分散。
图9是表示网格顶棚GC的每一个格子G的载荷的图。图9所示的数据例如通过模拟等而获取。当进行该模拟时，对第1位置P1施加的载荷V1、对第2位置P2施加的载荷V2、对第3位置P3施加的载荷V3、对第4位置P4施加的载荷V4已分别通过实验等预先求出。已确认载荷V1～V4中的载荷V1、V2的值较大。另外，在图9中，在网格顶棚GC中的例如12个格子G(单位面积)中求出了各自的总载荷。
如图9所示，在12个格子G中，各自的总载荷作为A1～A12而求出。总载荷A1～A12在各格子G中是上述的载荷V1、载荷V2、载荷V3和载荷V4的合计值。例如，总载荷A1是一个载荷V2、两个载荷V3和两个载荷V4的合计值。另外，总载荷A2是两个载荷V2的合计值。另外，总载荷A3是两个载荷V1和两个载荷V3的合计值。关于总载荷A4～A12的详情省略。如图9所示，由于载荷较大的载荷V1、V2设定于不同的格子G，所以在模拟中确认了总载荷A1～A12比一个格子G中的可承受载荷VA小。
这样，根据本实施方式的保管系统SYS，由于悬吊置物架10的第1悬吊部件3与悬吊第2空中轨道30的第2悬吊部件4分开距离L1、L2、L3、L4而设定，所以能够避免空中仓储装置100的占重量较多比例的置物架10的悬吊位置即第1位置P1与空中搬送车系统200的占重量较多比例的第2空中轨道30的悬吊位置即第2位置P2靠近，从而能够使置物架10的悬吊位置与第2空中轨道30的悬吊位置分散。其结果是，避免对网格顶棚GC的一部分施加较大载荷、且不再需要进行网格顶棚GC的加强等大规模的追加工程，因此能够抑制设置成本的增加。
以上，对实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述说明，在不脱离本发明的要旨的范围内能够进行各种变更。例如，在上述实施方式中，列举在保管系统SYS中第1空中轨道20与第2空中轨道30未连接的结构为例进行了说明，但并不限定于该结构。例如，也可以将第1空中轨道20与第2空中轨道30经由连接轨道等而连接。
此外，有时省略上述实施方式等所说明的一个以上要件。另外，上述实施方式等所说明的要件能够适当组合。另外，在法律允许的范围内，将日本专利申请特愿2019-011281及上述实施方式等中引用的所有文献的公开内容援引为本文记载的一部分。
附图标记说明
G：格子
GC：网格顶棚
L：规定距离
P1：第1位置
P2：第2位置
P3：第3位置
P4：第4位置
LP：装载口
TL：处理装置
SYS：保管系统
2：物品
3：第1悬吊部件
4：第2悬吊部件
5：第3悬吊部件
6：第4悬吊部件
10：置物架
12：交接口
20：第1空中轨道
30：第2空中轨道
40：吊车
50：空中搬送车
60：上侧空中搬送车
70：梁部
100：空中仓储装置
200：空中搬送车系统
300：搬送装置。

Claims (8)

1.一种保管系统，其特征在于，具备：
空中仓储装置，该空中仓储装置具备第1空中轨道、在上下方向上具备多层保管部的置物架、和沿着所述第1空中轨道行进并在所述多层保管部之间交接物品的吊车；以及
空中搬送车系统，该空中搬送车系统具备与所述空中仓储装置的下端相比设于下方的第2空中轨道、和沿着所述第2空中轨道行进并相对于规定的移载目的地交接物品的空中搬送车，并且该空中搬送车系统以在俯视时至少一部分与所述空中仓储装置重叠的方式配置，
所述置物架通过安装于顶棚的第1悬吊部件而从所述顶棚的第1位置悬吊设置，
所述第2空中轨道通过安装于所述顶棚的第2悬吊部件而从所述顶棚的第2位置悬吊设置，
所述第1位置与所述第2位置至少隔开规定距离而设定，
所述规定距离是以所述顶棚的每单位面积的载荷的大小不超过规定值的方式设定的距离。
2.根据权利要求1所述的保管系统，其特征在于，
所述顶棚是在水平方向上的正交方向上分别排列有多个格子的网格顶棚，
所述单位面积是一个所述格子的面积。
3.根据权利要求2所述的保管系统，其特征在于，
所述第1位置与所述第2位置设定于所述网格顶棚中的不同的所述格子。
4.根据权利要求2所述的保管系统，其特征在于，
所述第1空中轨道通过安装于所述顶棚的第3悬吊部件而从所述顶棚的第3位置悬吊设置，
多个所述第1位置之一与多个所述第3位置之一设定于所述网格顶棚中的一个所述格子。
5.根据权利要求3所述的保管系统，其特征在于，
所述第1空中轨道通过安装于所述顶棚的第3悬吊部件而从所述顶棚的第3位置悬吊设置，
多个所述第1位置之一与多个所述第3位置之一设定于所述网格顶棚中的一个所述格子。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的保管系统，其特征在于，
所述第1空中轨道的一部分与所述第2空中轨道的一部分在俯视时重叠地配置。
7.根据权利要求1～5中任一项所述的保管系统，其特征在于，
所述置物架在俯视时设于包含具有所述规定的移载目的地的处理装置的正上方的区域。
8.根据权利要求6所述的保管系统，其特征在于，
所述置物架在俯视时设于包含具有所述规定的移载目的地的处理装置的正上方的区域。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11958689B2 (en) 2019-09-18 2024-04-16 Murata Machinery, Ltd. Vehicle system
CN111994538B (zh) * 2020-08-25 2022-01-18 无锡职业技术学院 全自动双库区拉动式物流系统
EP4234439A1 (en) * 2020-10-26 2023-08-30 Murata Machinery, Ltd. Hanging tool
US11830750B2 (en) * 2021-08-11 2023-11-28 Changxin Memory Technologies, Inc. Storage apparatus, transporting device and transporting method for front opening unified pod

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000124284A (ja) * 1998-10-13 2000-04-28 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 搬送装置
DE29922538U1 (de) * 1999-12-22 2001-05-03 Autefa Automation Gmbh Verteileinrichtung für Güter
US8180483B2 (en) * 2006-05-15 2012-05-15 Hirata Corporation Overhead transfer/storage system and overhead transfer/storage method
JP2007331906A (ja) 2006-06-16 2007-12-27 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP5163866B2 (ja) * 2007-12-10 2013-03-13 村田機械株式会社 天井バッファとその移設方法
CN103201198B (zh) * 2010-11-04 2015-03-11 村田机械株式会社 搬运系统以及搬运方法
WO2013183376A1 (ja) 2012-06-08 2013-12-12 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送システムでの物品の一時保管方法
CN102826316B (zh) * 2012-08-31 2015-06-17 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃基板的仓储系统以及玻璃基板仓储方法
CN104291112B (zh) * 2013-07-17 2017-06-06 深南电路有限公司 自动下料输送机和下料输送方法
US9633879B2 (en) 2014-05-14 2017-04-25 Murata Machinery, Ltd. Storage system in the ceiling space and storage method for goods thereby
US9415934B2 (en) * 2014-05-14 2016-08-16 Murata Machinery, Ltd. Transport system and transport method
US10153189B2 (en) * 2014-06-19 2018-12-11 Murata Machinery, Ltd. Carrier buffering device and buffering method
EP3192751B1 (en) * 2014-09-10 2021-06-16 Murata Machinery, Ltd. Temporary storage system, conveyance system using same, and temporary storage method
JP6048686B2 (ja) * 2014-09-25 2016-12-21 村田機械株式会社 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
WO2016189975A1 (ja) * 2015-05-26 2016-12-01 村田機械株式会社 多段棚及びこれを用いた天井走行車システム
CN106315116B (zh) * 2015-06-24 2019-01-15 沈阳铝镁设计研究院有限公司 一种铝用阳极炭块输送的方法
JP2017030944A (ja) 2015-08-04 2017-02-09 村田機械株式会社 搬送システム
JP6642577B2 (ja) 2015-08-14 2020-02-05 村田機械株式会社 搬送システム
US10043699B2 (en) * 2015-11-13 2018-08-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. High capacity overhead transport (OHT) rail system with multiple levels
CN107450482B (zh) * 2016-05-31 2023-02-24 海南大学 一种天然橡胶干燥生产线卸胶工序自动控制系统
CN109791906B (zh) * 2016-09-26 2023-11-24 村田机械株式会社 顶棚搬运系统以及顶棚搬运车
CN109843751B (zh) 2016-10-18 2021-06-08 村田机械株式会社 高架输送车以及输送系统
JP6766584B2 (ja) * 2016-10-19 2020-10-14 株式会社ダイフク 物品搬送設備
WO2019003799A1 (ja) 2017-06-30 2019-01-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP6998006B2 (ja) 2017-06-30 2022-02-10 地方独立行政法人大阪産業技術研究所 油増粘剤
WO2019003753A1 (ja) * 2017-06-30 2019-01-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法

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