JP6849065B2 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents

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Description

本発明は、搬送システム及び搬送方法に関する。
半導体製造工場等の製造工場では、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰあるいはレチクルを収容するレチクルＰｏｄなどの物品を処理装置のロードポート、保管部及び受け渡しポートの間で搬送するため、天井に敷設された軌道に沿って走行する天井搬送車と、天井搬送車の軌道とは別に床面に敷設された軌道に沿って走行するクレーンとを用いる構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特許第５８８０６９３号公報
特許文献１に記載の天井搬送車及びクレーンは、いずれもロードポート、保管部及び受け渡しポートにアクセスすることが可能であるが、異なる軌道を走行するため、天井搬送車及びクレーンに対応して、それぞれ天井の軌道及び床面の軌道を設ける必要がある。このため、軌道の設置にコストがかかり、各軌道を敷設するためのスペースが必要になるだけでなく、処理装置または保管部等の設置位置を２つの軌道に対応させる必要があるため処理装置等のレイアウトについて制約が生じるといった問題を有している。
本発明は、天井搬送車及びクレーンが走行する軌道を共通化して軌道の設置コストを低減させつつ、天井搬送車とクレーンとの役割を分担することにより、物品を効率よく搬送することが可能な搬送システム及び搬送方法を提供することを目的とする。
本発明に係る搬送システムは、第１処理装置のロードポートの直上からずれてかつ第１処理装置のロードポートに沿って設けられた第１ベイ内天井軌道と、第２処理装置のロードポートの直上からずれてかつ第２処理装置のロードポートに沿って設けられた第２ベイ内天井軌道と、第１ベイ内天井軌道と第２ベイ内天井軌道とを連結するベイ間天井軌道と、第１ベイ内天井軌道及び第２ベイ内天井軌道それぞれの下方かつ側方において上下方向に複数段設けられ、物品を保管する第１保管部及び第２保管部と、第１ベイ内天井軌道及び第２ベイ内天井軌道それぞれの下方かつ側方に設けられた第１受け渡しポート及び第２受け渡しポートと、第１ベイ内天井軌道に沿って走行する第１走行部、第１走行部から下垂する第１マスト、及び第１マストにガイドされて昇降する第１移載部を備えかつ第１処理装置のロードポート、第１保管部、及び第１受け渡しポートの間で物品を搬送する第１クレーンと、第２ベイ内天井軌道に沿って走行する第２走行部、第２走行部から下垂する第２マスト、及び第２マストにガイドされて昇降する第２移載部を備えかつ第２処理装置のロードポート、第２保管部、及び第２受け渡しポートの間で物品を搬送する第２クレーンと、第１ベイ内天井軌道、第２ベイ内天井軌道、及びベイ間天井軌道に沿って走行する走行部、物品を保持する保持部、保持部を吊り下げて昇降させる昇降駆動部、及び昇降駆動部を側方に突出させる横出し機構を備えかつ第１受け渡しポートと第２受け渡しポートとの間で物品を搬送する天井搬送車と、を備える。
また、クレーンは、懸垂式クレーンであってもよい。また、第１ベイ内天井軌道及び第２ベイ内天井軌道は周回軌道であり、第１クレーン及び天井搬送車は、第１ベイ内天井軌道を同一方向に周回走行し、第２クレーン及び天井搬送車は、第２ベイ内天井軌道を同一方向に周回走行してもよい。また、第１受け渡しポート及び第２受け渡しポートは、第１保管部及び第２保管部それぞれの最上段に配置されてもよい。
また、本発明に係る搬送方法は、第１処理装置のロードポートの直上からずれてかつ第１処理装置のロードポートに沿って設けられた第１ベイ内天井軌道と、第２処理装置のロードポートの直上からずれてかつ第２処理装置のロードポートに沿って設けられた第２ベイ内天井軌道と、第１ベイ内天井軌道と第２ベイ内天井軌道とを連結するベイ間天井軌道と、第１ベイ内天井軌道及び第２ベイ内天井軌道それぞれの下方かつ側方において上下方向に複数段設けられ、物品を保管する第１保管部及び第２保管部と、第１ベイ内天井軌道及び第２ベイ内天井軌道それぞれの下方かつ側方に設けられた第１受け渡しポート及び第２受け渡しポートと、第１ベイ内天井軌道に沿って走行する第１走行部、第１走行部から下垂する第１マスト、及び第１マストにガイドされて昇降する第１移載部を備える第１クレーンと、第２ベイ内天井軌道に沿って走行する第２走行部、第２走行部から下垂する第２マスト、及び第２マストにガイドされて昇降する第２移載部を備える第２クレーンと、第１ベイ内天井軌道、第２ベイ内天井軌道、及びベイ間天井軌道に沿って走行する走行部、物品を保持する保持部、保持部を吊り下げて昇降させる昇降駆動部、及び昇降駆動部を側方に突出させる横出し機構を備える天井搬送車と、を備える搬送システムにおける搬送方法であって、第１クレーンは、第１処理装置のロードポートと、第１保管部と、第１受け渡しポートとの間で物品を搬送し、第２クレーンは、第２処理装置のロードポートと、第２保管部と、第２受け渡しポートとの間で物品を搬送し、天井搬送車は、第１受け渡しポートと第２受け渡しポートとの間で物品を搬送する。
本発明に係る搬送システム及び搬送方法によれば、ベイ内の物品の搬送を第１、第２クレーンが行うことで物品の保管数を増加でき、ベイ間の物品の搬送を天井搬送車が行うことで天井軌道下方の設備との干渉を抑制できる。また、ベイ内天井軌道に沿って走行する第１、第２クレーンの第１、第２マストと、ロードポート、第１、第２保管部、及び第１、第２受け渡しポートと、の干渉を防止しつつ、ベイ内天井軌道を第１、第２クレーンおよび天井搬送車が共用できるため、それぞれに対応して天井軌道を別個設ける必要がなく、天井軌道の敷設に要するコストを低減できる。
また、第１、第２クレーンが、懸垂式クレーンである場合、第１、第２クレーンに対応する地上側（床面側）に軌道を設ける必要がないため、軌道の設置を低コストで行うことができる。また、第１ベイ内天井軌道及び第２ベイ内天井軌道が周回軌道であり、第１クレーン及び天井搬送車が第１ベイ内天井軌道を同一方向に周回走行し、第２クレーン及び天井搬送車が第２ベイ内天井軌道を同一方向に周回走行する場合、ベイ間天井軌道からベイ内天井軌道に乗り入れた天井搬送車が、そのベイ内天井軌道に沿って走行する第１、第２クレーンと干渉する可能性を低減でき、さらに、天井搬送車及び第１、第２クレーンの制御を簡易化できる。また、第１、第２受け渡しポートが第１、第２保管部の最上段に配置される場合、天井搬送車及び第１、第２クレーンの双方により物品の移載を行うことができ、天井搬送車と第１、第２クレーンとの間で物品の受け渡しを容易に行うことができる。
本実施形態に係る搬送システムの一例を示す平面図である。 第１、第２処理装置及びロードポートの一例を示す図である。 第１、第２保管部及び第１、第２受け渡しポートの一例を示す図である。 懸垂式クレーンの一例を示す図である。 天井搬送車の一例を示す図である。 第１、第２クレーンの第１、第２走行部、及び天井搬送車の走行部の一例を示す図である。 天井搬送車により物品を搬送する際の移動経路の一例を示す図である。 図７に続いて、天井搬送車により物品を搬送する際の移動経路の一例を示す図である。 図８に続いて、天井搬送車により物品を搬送する際の移動経路の一例を示す図である。 保管部及び受け渡しポートの他の例を示す図である。
以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。Ｘ方向は、水平方向内における一方向であって、後述する第１ベイ間天井軌道１３及び第２ベイ間天井軌道１４に沿った方向である。Ｙ方向は、Ｘ方向と直交する方向であって、第１ベイ内天井軌道１１の直線部１１ａ、及び第２ベイ内天井軌道１２の直線部１２ａ沿った方向である。また、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の各方向について、適宜、矢印と同じ側を＋側（例、＋Ｘ側）と称し、その反対側を−側（例、−Ｘ側）と称する。
図１は、本実施形態に係る搬送システム１００の一例を示す平面図である。図１に示す搬送システム１００は、例えば、半導体デバイスの製造工場等に設置されており、半導体デバイスの製造に用いられる半導体ウエハを収容したＦＯＵＰ、あるいはレチクルなどを収容したレチクルポッドなどの物品２を搬送する。本実施形態では、物品２がＦＯＵＰである例を用いて説明するが、物品２は、ＦＯＵＰ以外であってもよい。また、搬送システム１００は、半導体製造分野以外の設備に適用可能であり、物品２は、搬送システム１００が設置される設備で扱われる各種の物品でもよい。
本実施形態において、搬送システム１００は、第１、第２装置エリアＴＡ１、ＴＡ２に配置される第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２のロードポートＬＰ、及び、後述する第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂ、第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂとの間で物品２を搬送する。第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２は、例えば、露光装置、コータディベロッパ、製膜装置、あるいはエッチング装置などであり、搬送システム１００が搬送する物品２に収容された半導体ウエハに各種処理を施す。各第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２は、それぞれ２カ所のロードポートＬＰを備えている。図２は、第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２及びロードポートＬＰの一例を示す図である。図２では、第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２及びロードポートＬＰを＋Ｘ側から見た場合の一例を示している。
図１及び図２に示すように、第１処理装置ＴＬ１は、製造工場等の床部に設定される第１装置エリアＴＡ１内に一方向（Ｙ方向）に並んで配置される。第２処理装置ＴＬ２は、第２装置エリアＴＡ２内に一方向（Ｙ方向）に並んで配置される。第１、第２装置エリアＴＡ１、ＴＡ２は、それぞれＸ方向に複数配置される。Ｙ方向に並んだ複数の第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２は、Ｘ方向に複数列設けられる。なお、複数の第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２の配置は一例であり、他の配置であってもよい。また、第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２は、２カ所のロードポートＬＰを備えることに限定されず、１カ所又は３カ所以上備えていてもよい。
また、製造工場等には、物品２を一時的に保管するための第１、第２保管エリアＳＡ１、ＳＡ２が配置される。第１保管エリアＳＡ１は、第１処理装置ＴＬ１に対応して設けられ、２列の第１処理装置ＴＬ１の間に配置される。第２保管エリアＳＡ２は、第２処理装置ＴＬ２に対応して設けられ、２列の第２処理装置ＴＬ２の間に配置される。各列の第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２において、ロードポートＬＰは、第１、第２保管エリアＳＡ１、ＳＡ２のそれぞれに対向する側に配置される。
搬送システム１００は、図１に示すように、天井軌道１０と、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂと、第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂと、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂと、天井搬送車５０とを備える。天井軌道１０は、第１ベイ内天井軌道１１と、第２ベイ内天井軌道１２と、第１ベイ間天井軌道１３と、第２ベイ間天井軌道１４と、第１接続軌道１５と、第２接続軌道１６とを有する。第１ベイ間天井軌道１３、第２ベイ間天井軌道１４、第１接続軌道１５、及び第２接続軌道１６は、第１ベイ内天井軌道１１と第２ベイ内天井軌道１２とを連結するベイ間天井軌道である。第１ベイ内天井軌道１１は、第１処理装置ＴＬ１のロードポートＬＰの直上からずれて配置され、かつロードポートＬＰに沿って設けられる。第２ベイ内天井軌道１２は、第２処理装置ＴＬ２のロードポートＬＰの直上からずれて配置され、かつロードポートＬＰに沿って設けられる。第１ベイ内天井軌道１１は、第１保管エリアＳＡ１を囲むように環状に配置される周回軌道であり、第２ベイ内天井軌道１２は、第２保管エリアＳＡ２を囲むように環状に配置される周回軌道であるが、この構成に限定されない。
第１ベイ内天井軌道１１は、直線部１１ａと、循環部１１ｂとを有する。直線部１１ａは、ロードポートＬＰの直上において、複数のロードポートＬＰに沿ってＹ方向に配置される。直線部１１ａは、平面視において、第１保管エリアＳＡ１と、第１保管エリアＳＡ１を挟んで対向して配置される複数のロードポートＬＰとの間にそれぞれ配置される。循環部１１ｂは、曲線部を含んでＹ方向の両端に配置され、２つの直線部１１ａ同士を接続する。
第２ベイ内天井軌道１２は、第１ベイ内天井軌道１１と同様に、直線部１２ａと、循環部１２ｂとを有する。直線部１２ａは、ロードポートＬＰの直上において、ロードポートＬＰに沿ってＹ方向に平行に配置される。直線部１２ａは、平面視において、第２保管エリアＳＡ２と、第２保管エリアＳＡ２を挟んで対向して配置される複数のロードポートＬＰとの間にそれぞれ配置される。循環部１２ｂは、曲線部を含んでＹ方向の両端に配置され、２つの直線部１２ａ同士を接続する。なお、本実施形態では、第１ベイ内天井軌道１１と第２ベイ内天井軌道１２とが同一またはほぼ同一の形状である例を示しているが、第１ベイ内天井軌道１１と第２ベイ内天井軌道１２とが異なる形状であってもよい。
第１ベイ間天井軌道１３及び第２ベイ間天井軌道１４は、それぞれＸ方向に沿って直線状に延びて設けられている。第１ベイ間天井軌道１３は、第１接続軌道１５を介して、第１ベイ内天井軌道１１及び第２ベイ内天井軌道１２のそれぞれにおける一方の端部（＋Ｙ側の端部）に連結される。第２ベイ間天井軌道１４は、第２接続軌道１６を介して、第１ベイ内天井軌道１１及び第２ベイ内天井軌道１２のそれぞれにおける他方の端部（−Ｙ側の端部）に連結される。
第１接続軌道１５は、２つの軌道として入口部１５ａ及び出口部１５ｂを有する。入口部１５ａは、第１ベイ間天井軌道１３から第１ベイ内天井軌道１１又は第２ベイ内天井軌道１２へと天井搬送車５０が走行するための経路を形成する。出口部１５ｂは、第１ベイ内天井軌道１１又は第２ベイ内天井軌道１２から第１ベイ間天井軌道１３へと天井搬送車５０が走行するための経路を形成する。
第２接続軌道１６は、第１接続軌道１５と同様に、２つの軌道として入口部１６ａ及び出口部１６ｂを有する。入口部１６ａは、第２ベイ間天井軌道１４から第１ベイ内天井軌道１１又は第２ベイ内天井軌道１２へと天井搬送車５０が走行するための経路を形成する。出口部１６ｂは、第１ベイ内天井軌道１１又は第２ベイ内天井軌道１２から第２ベイ間天井軌道１４へと天井搬送車５０が走行するための経路を形成する。なお、本実施形態では、第１接続軌道１５と第２接続軌道１６とが同一またはほぼ同一の形状である例を示しているが、第１接続軌道１５と第２接続軌道１６とが異なる形状であってもよい。
第１保管部２０Ａ及び第１受け渡しポート３０Ａは、図１に示すように、第１保管エリアＳＡ１に配置される。第２保管部２０Ｂ及び第２受け渡しポート３０Ｂは、図１に示すように、第２保管エリアＳＡ２に配置される。第１保管部２０Ａ及び第１受け渡しポート３０Ａは、第１ベイ内天井軌道１１において、下方かつ側方に配置される。第２保管部２０Ｂ及び第２受け渡しポート３０Ｂは、第２ベイ内天井軌道１２において、下方かつ側方に配置される。第１保管部２０Ａ及び第１受け渡しポート３０Ａは、第１ベイ内天井軌道１１において、後述の第１クレーン４０Ａ及び天井搬送車５０により物品２の受け渡しが可能な範囲に配置される。第２保管部２０Ｂ及び第２受け渡しポート３０Ｂは、第２ベイ内天井軌道１２において、後述の第２クレーン４０Ｂ及び天井搬送車５０により物品２の受け渡しが可能な範囲に配置される。
図３は、第１、第２保管エリアＳＡ１、ＳＡ２における第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂ及び第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂの一例を示す図である。図３では、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂ及び第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂを＋Ｘ側から見た場合の一例を示している。図３に示すように、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂ及び第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂは、物品２を載置可能な棚部等が用いられる。物品２を載置する棚部には、物品２の底面に設けられた溝部に入り込む複数のピンが設けられてもよい。このピンが物品２の溝部に入り込むことにより、棚部に対して物品２が位置決めされる。各第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂ及び第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂは、例えば、建屋の天井等から吊り下げられた状態で支持される。第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂ及び第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂが天井から吊り下げられることにより、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂ等の下方において、例えば作業者等が通行可能な通路として利用可能となる。
第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂは、ロードポートＬＰに沿ってＹ方向に並んで複数配置される。第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂは、第１、第２保管エリアＳＡ１、ＳＡ２のそれぞれに２列に配置される。第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂの列のそれぞれは、ロードポートＬＰの列に対してＸ方向に対向して配置される。第１保管部２０Ａは、第１ベイ内天井軌道１１の直線部１１ａの直下に対してＸ方向にずれた位置に配置される。第２保管部２０Ｂは、第２ベイ内天井軌道１２の直線部１２ａの直下に対してＸ方向にずれた位置に配置される。第１、第２保管エリアＳＡ１、ＳＡ２において、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂは、上下方向に２段設けられる。ただし、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂは、２段に限定されず、１段又は３段以上設けられてもよい。また、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂは、天井から吊り下げられることに代えて、床面上に設置されてもよい。
第１受け渡しポート３０Ａは、第１保管部２０Ａの列に設けられる。第２受け渡しポート３０Ｂは、第２保管部２０Ｂの列に設けられる。第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂは、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂと同様の構成を有しており、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂの１つあるいは複数が第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂとして用いられる。本実施形態では、上下方向かつＹ方向に並んだ複数の第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂのうち、最上段かつＹ方向の両端の２つを第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂとし、他を第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂとして用いている。図１では、第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂにハッチングを施している。このように、第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂとして第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂの最上段を用いることにより、天井搬送車５０及び第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂの双方により物品２の受け渡しが可能となる。なお、第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂは、Ｙ方向の両端の２つに限定されず、最上段の第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂの全てを第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂとして用いることができる。なお、第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂは、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂの最上段であることに限定されない。第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂは、例えば、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂとは別に設けられてもよい。例えば、図１に示すように、平面視において、第１ベイ間天井軌道１３と第１ベイ内天井軌道１１との間、第２ベイ間天井軌道１４と第１ベイ内天井軌道１１との間、第１ベイ間天井軌道１３と第２ベイ内天井軌道１２との間、第２ベイ間天井軌道１４と第２ベイ内天井軌道１２との間に受け渡しポート１３０が設けられてもよい。第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂは、この受け渡しポート１３０に対して物品２の受け渡しが可能である。また、天井搬送車５０は、第１ベイ内天井軌道１１又は第２ベイ内天井軌道１２から受け渡しポート１３０に対して物品２の受け渡しが可能であり、さらに、第１ベイ間天井軌道１３又は第２ベイ間天井軌道１４からも受け渡しポート１３０に対して物品２の受け渡しが可能となる。その結果、第１ベイ間天井軌道１３又は第２ベイ間天井軌道１４における天井搬送車５０は、第１ベイ内天井軌道１１又は第２ベイ内天井軌道１２に進入せずに、受け渡しポート１３０により第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂとの間で物品２の受け渡しが可能となる。
第１クレーン４０Ａは、第１保管エリアＳＡ１において物品２を搬送する。第２クレーン４０Ｂは、第２保管エリアＳＡ２において物品２を搬送する。図４は、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂの一例を示す図である。図４に示すように、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂは、懸垂式クレーンが用いられる。第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂが懸垂式クレーンであるため、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂに対応する地上側（床面側）に軌道を設ける必要がなく、クレーン用の軌道を低コストで設置することができる。第１、第２クレーン４０Ａ，４０Ｂは、図４に示すように、それぞれ第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂと、第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂと、第１、第２移載部４４Ａ、４４Ｂと、を備える。第１、第２移載部４４Ａ、４４Ｂは、それぞれ第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂと、第１、第２昇降駆動部４５Ａ、４５Ｂと、を備える。
第１走行部４１Ａは、不図示の走行駆動部及び複数の車輪７１ａ（図６参照）を備え、第１ベイ内天井軌道１１に沿って走行する。第２走行部４１Ｂは、同じく不図示の走行駆動部及び複数の車輪７１ａ（図６参照）を備え、第２ベイ内天井軌道１２に沿って走行する。走行駆動部は、例えば、第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂに備えられて車輪７１ａを駆動する電動モータであってもよいし、天井軌道１０を用いて設けられたリニアモータであってもよい。第１走行部４１Ａは、第１ベイ内天井軌道１１から第１ベイ間天井軌道１３又は第２ベイ間天井軌道１４に乗り入れて走行可能であってもよい。第２走行部４１Ｂは、第２ベイ内天井軌道１２から第１ベイ間天井軌道１３又は第２ベイ間天井軌道１４に乗り入れて走行可能であってもよい。この構成により、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂが、必要に応じて、第１ベイ内天井軌道１１と第２ベイ内天井軌道１２との間を、第１ベイ間天井軌道１３又は第２ベイ間天井軌道１４を介して容易に移動できる。
第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂは、第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂから下垂して上下方向に延在しており、第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂを案内する。第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂは、中空又は中実の棒状に形成され、断面が円形状、楕円形状、長円形状、又は四角形状等の多角形状に形成される。第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂの下端は、床面から所定間隔を空けた状態に設定される。図４において、第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂの下方には、取付部４６を介して上部支持体４７が取り付けられている。第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂは、上部支持体４７の下面側に取り付けられており、第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂから吊り下げられた状態となっている。上部支持体４７への第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂの取り付けは、例えば、ボルト及びナットなどの締結部材が用いられてもよいし、溶接などが用いられてもよい。なお、第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂは、１本であってもよいし、例えば、第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂの走行方向の前後にそれぞれ設けられてもよい。
また、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂは、２台の第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂを用いている（図２及び図３参照）。２台の第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂは、走行方向に並んで配置され、上部支持体４７によって連結されている。第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂは、２台の第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂによって支持されている。このように、重量物である第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂを２台の第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂで確実に支持することができる。なお、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂは、２台の第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂを用いることに限定されず、１台又は３台以上の第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂが用いられてもよい。第１クレーン４０Ａの第１走行部４１Ａは、第１ベイ内天井軌道１１からベイ間天井軌道に乗り入れて走行可能である。すなわち、第１走行部４１Ａは、第１ベイ内天井軌道１１から、第１接続軌道１５又は第２接続軌道１６を介して、第１ベイ間天井軌道１３又は第２ベイ間天井軌道１４に乗り入れて走行できる。第２クレーン４０Ｂの第２走行部４１Ｂは、第２ベイ内天井軌道１２からベイ間天井軌道に乗り入れて走行可能である。すなわち、第２走行部４１Ｂは、第２ベイ内天井軌道１２から、第１接続軌道１５又は第２接続軌道１６を介して、第１ベイ間天井軌道１３又は第２ベイ間天井軌道１４に乗り入れて走行できる。この構成により、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂは、必要に応じて、第１ベイ内天井軌道１１と第２ベイ内天井軌道１２との間を、第１ベイ間天井軌道１３又は第２ベイ間天井軌道１４を介して容易に移動できる。
第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂは、下面側に第１、第２移載部４４Ａ、４４Ｂが取り付けられており、第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂにガイドされて昇降可能である。第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂは、第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂの表面に接触する不図示のガイドローラーを備えており、第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂに沿った昇降動作を円滑に行っている。また、第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂの下部には不図示の下部支持体が設けられおり、第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂは、この下部支持体上に当接する位置まで下降可能である。なお、下部支持体は、第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂが第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂから下方に抜け落ちるのを防止する。
第１、第２移載部４４Ａ、４４Ｂは、第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂの走行方向と直交する方向に伸縮可能なアーム部４８と、アーム部４８の先端に設けられて物品２を保持する保持部４９とを備えている。保持部４９は、物品２のフランジ部２ａを把持することにより、物品２を吊り下げて保持する。保持部４９は、例えば、水平方向に移動可能な爪部４９ａを有するチャックであり、爪部４９ａを物品２のフランジ部２ａの下方に侵入させ、保持部４９を上昇させることで、物品２を吊り下げて保持する。
第１、第２移載部４４Ａ、４４Ｂは、物品２を受け取る際、アーム部４８を伸ばして保持部４９を物品２の上方に配置させ、爪部４９ａにフランジ部２ａを保持させた状態で第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂを上昇させることによって、保持部４９で物品２を持ち上げる。続いて、第１、第２移載部４４Ａ、４４Ｂは、保持部４９で物品２を保持したままアーム部４８を縮めることにより、物品２を保持した保持部４９を第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂの下方に配置する。なお、第１、第２移載部４４Ａ、４４Ｂは、上記した構成に限定されない。例えば、保持部４９が物品２を載置する構成であってもよいし、保持部４９が物品２の側面を把持して保持する構成であってもよい。
第１、第２昇降駆動部４５Ａ、４５Ｂは、例えば、ホイストなどが用いられ、第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂに沿って第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂを昇降させる。第１、第２昇降駆動部４５Ａ、４５Ｂは、吊り下げ部材４５ａおよび駆動部４５ｂを備える。吊り下げ部材４５ａは、例えば、ベルトあるいはワイヤなどであり、第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂは、この吊り下げ部材４５ａによって上部支持体４７から吊り下げられている。駆動部４５ｂは、上部支持体４７に設けられ、吊り下げ部材４５ａの繰り出し、巻き取りを行う。第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂは、駆動部４５ｂが吊り下げ部材４５ａを繰り出すと、第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂに案内されて下降する。また、第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂは、駆動部４５ｂが吊り下げ部材４５ａを巻き取ると、第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂに案内されて上昇する。駆動部４５ｂは、制御装置６０等に制御され、所定の速度で第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂを下降あるいは上昇させる。また、駆動部４５ｂは、制御装置６０等に制御され、第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂを目標の高さに保持する。
第１、第２昇降駆動部４５Ａ、４５Ｂは、上部支持体４７（第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂ）に設けられるが、この構成に限定されない。第１、第２昇降駆動部４５Ａ、４５Ｂは、例えば、第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂに設けられてもよい。第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂに第１、第２昇降駆動部４５Ａ、４５Ｂが設けられる構成としては、例えば、上部支持体４７から吊り下げたベルトあるいはワイヤなどを第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂに搭載したホイストなどにより巻き上げまたは繰り出しを行って第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂを昇降させてもよい。また、第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂにピニオンギアを駆動する電動モータ等が搭載され、このピニオンギアが噛み合うラックが第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂに形成され、電動モータ等を駆動してピニオンギアを回転させることにより第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂを昇降させてもよい。
第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂは、図４に示すように、第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２のロードポートＬＰと、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂと、第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂとの間で物品２を搬送する。また、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂは、物品２を現在の第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂから別の第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂへ搬送する。例えば、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂは、下段の第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂと上段の第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂとの間で物品２を搬送する。
天井搬送車５０は、天井軌道１０（第１ベイ内天井軌道１１、第２ベイ内天井軌道１２、第１ベイ間天井軌道１３、及び第２ベイ間天井軌道１４）に沿って移動し、第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２のロードポートＬＰと、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂと、第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂとの間で物品２の受け渡しを行う。
図５は、天井搬送車５０の一例を示す図である。図５に示すように、天井搬送車５０は、走行部５１と、本体部５２とを有する。走行部５１は、第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂと同様に、不図示の走行駆動部及び複数の車輪７１ａ（図６参照）を備え、天井軌道１０に沿って走行する。走行駆動部は、例えば、走行部５１に備えられて車輪７１ａを駆動する電動モータであってもよいし、天井軌道１０を用いて設けられたリニアモータであってもよい。
本体部５２は、取付部５２ａを介して走行部５１の下部に取り付けられている。本体部５２は、物品２を保持する保持部５３と、保持部５３を吊り下げて昇降させる昇降駆動部５４と、昇降駆動部５４を移動させる横出し機構５５とを有する。保持部５３は、物品２のフランジ部２ａを把持することにより、物品２を吊り下げて保持する。保持部５３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部５３ａを有するチャックであり、爪部５３ａを物品２のフランジ部２ａの下方に侵入させ、保持部５３を上昇させることで、物品２を保持する。保持部５３は、ワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材５３ｂと接続されている。保持部５３は、昇降駆動部５４から吊り下げられて揺動可能な状態で昇降する。保持部５３と、上記した第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂの保持部４９とは、同一の構成であってもよいし、異なる構成であってもよい。
昇降駆動部５４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材５３ｂを繰り出すことにより保持部５３を降下させ、吊り下げ部材５３ｂを巻き取ることにより保持部５３を上昇させる。昇降駆動部５４は、制御装置６０等に制御され、所定の速度で保持部５３を降下あるいは上昇させる。また、昇降駆動部５４は、制御装置６０等に制御され、保持部５３を目標の高さに保持する。
横出し機構５５は、例えば上下方向に重ねて配置された可動板を有する。可動板は、走行部５１の走行方向の側方（走行方向に直交する方向）に移動可能である。可動板には、回動部及び昇降駆動部５４が取り付けられている。本体部５２は、横出し機構５５を案内する不図示のガイド、及び横出し機構５５を駆動する不図示の駆動部などを有する。横出し機構５５は、電動モータ等の駆動部からの駆動力によって、昇降駆動部５４及び保持部５３をガイドに沿って、突出位置と格納位置との間で移動させる。突出位置は、本体部５２から側方に突出する位置である。格納位置は、本体部５２内に格納される位置である。
回動部は、不図示の回動部材及び回動駆動部を有する。回動部材は、上下方向の軸周りに回動可能に設けられる。回動部材は、昇降駆動部５４あるいは保持部５３に取り付けられる。回動駆動部は、電動モータ等が用いられ、回動部材を上下方向の軸周りに回動させる。回動部は、回動駆動部からの駆動力によって回動し、昇降駆動部５４あるいは保持部５３を上下方向の軸周りに回動可能である。この回動部によって保持部５３で保持する物品２の向きを変えることができる。なお、天井搬送車５０は回動部を備えなくてもよい。
図６は、第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂ及び走行部５１の一例を示す図である。第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂ及び走行部５１は、例えば、共通の構成（同一又はほぼ同一の構成）が採用されている。また、天井軌道１０における第１ベイ内天井軌道１１、第２ベイ内天井軌道１２、第１ベイ間天井軌道１３、及び第２ベイ間天井軌道１４は、走行方向に直交する平面による断面が同一又はほぼ同一であり、第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂ及び走行部５１のいずれも走行可能となっている。このように、第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂ及び走行部５１が共通であるため、第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂと走行部５１とを別の構成で製造する必要がなく、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂ及び天井搬送車５０の製造コストを低減できる。
第１、第２走行部４１Ａ、４１Ｂ及び走行部５１は、天井軌道１０の下方の内面に当接する複数の車輪７１ａと、これら複数の車輪７１ａが取り付けられる走行部本体７１ｂとを有している。走行部本体７１ｂは、車輪７１ａを駆動するための走行駆動部、及び各種センサを備えている。天井軌道１０は給電部７０を備えている。給電部７０は、給電レール７５と、給電レール７５に設けられた非接触給電線７６とを有している。給電部７０は、天井軌道１０の下方に配置され、天井軌道１０に沿って連続的に又は断続的に設けられている。また、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂの取付部４６及び天井搬送車５０の取付部５２ａには、受電部７３が設けられている。受電部７３は、非接触給電線７６を介して受電し、走行部本体７１ｂなどに電力を供給する。
図１に示すように、制御装置６０は、搬送システム１００を統括して制御する。制御装置６０は、無線又は有線による通信により第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂ及び天井搬送車５０の動作を制御する。なお、制御装置６０は、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂを制御する制御装置と、天井搬送車５０を制御する制御装置に分割されてもよい。また、第１クレーン４０Ａと第２クレーン４０Ｂとで、異なる制御装置によって制御されてもよい。
上記した搬送システム１００において、第１クレーン４０Ａは、第１保管エリアＳＡ１内で物品２を搬送する。例えば、第１クレーン４０Ａは、第１ベイ内天井軌道１１に沿って一方向、例えば図１における時計回りの方向に走行し、第１処理装置ＴＬ１のロードポートＬＰと、第１保管部２０Ａと、第１受け渡しポート３０Ａとの間で物品２を搬送する。第２クレーン４０Ｂは、第２保管エリアＳＡ２内で物品２を搬送する。例えば、第２クレーン４０Ｂは、第２ベイ内天井軌道１２に沿って一方向、例えば図１における時計回りの方向に走行し、第２処理装置ＴＬ２のロードポートＬＰと、第２保管部２０Ｂと、第２受け渡しポート３０Ｂとの間で物品２を搬送する。例えば、天井搬送車５０により物品２が第１受け渡しポート３０Ａ又は第２受け渡しポート３０Ｂに載置された場合、第１クレーン４０Ａは、第１受け渡しポート３０Ａまで移動して物品２を第１移載部４４Ａ（図４参照）によって受け取ることができ、第２クレーン４０Ｂは、第２受け渡しポート３０Ｂまで移動して物品２を第２移載部４４Ｂ（図４参照）によって受け取ることができる。
その後、第１クレーン４０Ａは、第１処理装置ＴＬ１のロードポートＬＰ又は第１保管部２０Ａまで走行し、物品２を第１処理装置ＴＬ１のロードポートＬＰ又は第１保管部２０Ａに載置することができる。また、第１クレーン４０Ａは、第１保管部２０Ａに保管された物品２を第１移載部４４Ａによって受け取り、第１処理装置ＴＬ１のロードポートＬＰ又は第１受け渡しポート３０Ａまで走行し、第１移載部４４Ａによって物品２を第１処理装置ＴＬ１のロードポートＬＰ又は第１受け渡しポート３０Ａに載置することができる。第２クレーン４０Ｂは、第２処理装置ＴＬ２のロードポートＬＰ又は第２保管部２０Ｂまで走行し、物品２を第２処理装置ＴＬ２のロードポートＬＰ又は第２保管部２０Ｂに載置することができる。また、第２クレーン４０Ｂは、第２保管部２０Ｂに保管された物品２を第２移載部４４Ｂによって受け取り、第２処理装置ＴＬ２のロードポートＬＰ又は第２受け渡しポート３０Ｂまで走行し、第２移載部４４Ｂによって物品２を第２処理装置ＴＬ２のロードポートＬＰ又は第２受け渡しポート３０Ｂに載置することができる。また、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂは、上下の第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂの間で物品２を搬送することができる。また、第１クレーン４０Ａは、天井搬送車５０により物品２が第１受け渡しポート３０Ａに載置された場合、搬送先の第１処理装置ＴＬ１のロードポートＬＰに搬送可能であれば、そのロードポートＬＰに物品２を搬送し、搬送先のロードポートＬＰに搬送可能でなければ物品２を第１保管部２０Ａに搬送して、搬送可能となった時点で第１保管部２０Ａから搬送先の第１処理装置ＴＬ１のロードポートＬＰに物品２を搬送する。また、第２クレーン４０Ｂは、天井搬送車５０により物品２が第２受け渡しポート３０Ｂに載置された場合、搬送先の第２処理装置ＴＬ２のロードポートＬＰに搬送可能であれば、そのロードポートＬＰに物品２を搬送し、搬送先のロードポートＬＰに搬送可能でなければ物品２を第２保管部２０Ｂに搬送して、搬送可能となった時点で第２保管部２０Ｂから搬送先の第２処理装置ＴＬ２のロードポートＬＰに物品２を搬送する。
搬送システム１００において、天井搬送車５０は、異なる第１保管エリアＳＡ１と第２保管エリアＳＡ２との間で物品２を搬送する。天井搬送車５０は、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂよりも走行速度が速く設定されている。その結果、離れた第１、第２保管エリアＳＡ１、ＳＡ２の間であっても天井搬送車５０により短時間で物品２を搬送することが可能である。なお、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂ及び天井搬送車５０の走行速度は任意に設定可能であり、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂ及び天井搬送車５０の走行速度を同一としてもよい。
図７から図９は、天井搬送車５０により物品２を搬送する際の移動経路の一例を示す図である。図７から図９では、第２保管エリアＳＡ２から第１保管エリアＳＡ１又は第１装置エリアＴＡ１を次なる搬送先とする物品２が第２クレーン４０Ｂによって第２受け渡しポート３０Ｂに載置された例を示している。
例えば、図７に示すように、第２保管エリアＳＡ２の＋Ｙ側端部かつ−Ｘ側に配置される第２受け渡しポート３０Ｂに物品２が載置された場合、制御装置６０（図１参照）は、天井搬送車５０に対して第２保管エリアＳＡ２の第２受け渡しポート３０Ｂの物品２を、第１保管エリアＳＡ１の第１受け渡しポート３０Ａに搬送するように指示する。天井搬送車５０は、第２ベイ内天井軌道１２に沿って第２受け渡しポート３０Ｂまで移動し、横出し機構５５を＋Ｘ方向に突出させ、昇降駆動部５４を駆動して保持部５３を下降させることにより、第２受け渡しポート３０Ｂの物品２を保持部５３により保持する。なお、天井搬送車５０は、制御装置６０等からの情報により、受け取った物品２の搬送先が第１保管エリアＳＡ１の＋Ｙ側端部かつ＋Ｘ側に配置される第１受け渡しポート３０Ａであることを取得している。
なお、第２クレーン４０Ｂ及び天井搬送車５０は、第２ベイ内天井軌道１２内において、例えば時計回りの同一方向に周回走行する。その結果、第２クレーン４０Ｂと天井搬送車５０とが干渉するタイミング、及び天井搬送車５０どうしが干渉するタイミングを減少させることができる。
また、第２ベイ内天井軌道１２には第２クレーン４０Ｂあるいは他の天井搬送車５０も走行又は停止した状態で存在する場合もあるが、天井搬送車５０に備える近接センサ等により第２クレーン４０Ｂあるいは他の天井搬送車５０との干渉を回避することができる。天井搬送車５０の走行方向に第２クレーン４０Ｂあるいは他の天井搬送車５０が存在している場合、制御装置６０等から第２クレーン４０Ｂあるいは他の天井搬送車５０に対して周期走行を指示し、物品２を搬送する天井搬送車５０の走行を確保してもよい。また、第２クレーン４０Ｂあるいは他の天井搬送車５０は、第２ベイ内天井軌道１２を周回走行することに代えて、第２ベイ内天井軌道１２から第１接続軌道１５又は第２接続軌道１６を介して第１ベイ間天井軌道１３又は第２ベイ間天井軌道１４に移動してもよい。
次に、図８に示すように、天井搬送車５０は、物品２を保持したまま第２ベイ内天井軌道１２を時計回りの方向に走行し、第２ベイ内天井軌道１２の直線部１２ａから第１接続軌道１５の出口部１５ｂを介して第１ベイ間天井軌道１３へと移動する（図８の矢印参照）。第２ベイ内天井軌道１２、第１接続軌道１５、及び第１ベイ間天井軌道１３は、断面形状が同一又はほぼ同一であるため（図６参照）、天井搬送車５０は、第２ベイ内天井軌道１２から支障なく第１ベイ間天井軌道１３に移動することができる。
次に、図９に示すように、天井搬送車５０は、第１ベイ間天井軌道１３を−Ｘ方向に向けて走行し、第１ベイ間天井軌道１３から第１接続軌道１５の入口部１５ａを介して第１ベイ内天井軌道１１へと移動する（図９の矢印参照）。その後、天井搬送車５０は、第１接続軌道１５の入口部１５ａから第１ベイ内天井軌道１１の直線部１１ａに移動し、搬送先の第１受け渡しポート３０Ａに対応する位置で停止する。続いて、天井搬送車５０は、横出し機構５５を−Ｘ方向に突出させ、昇降駆動部５４を駆動して保持部５３を下降させることにより、第１受け渡しポート３０Ａに物品２を載置する。
以上の動作により、物品２を第２保管エリアＳＡ２から第１保管エリアＳＡ１に搬送することができる。また、上記のように、第１、第２保管エリアＳＡ１、ＳＡ２の＋Ｙ側又は−Ｙ側端部に第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂを配置することにより、第１、第２保管エリアＳＡ１、ＳＡ２内の中間部分等において、物品２の受け渡しのために天井搬送車５０が停止することを回避でき、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂの稼働範囲を広くすることが可能となる。
また、例えば、第１クレーン４０Ａにより、第１保管エリアＳＡ１の第１受け渡しポート３０Ａに、物品２（搬送先が第２保管エリアＳＡ２の第２受け渡しポート３０Ｂ）が載置された場合、制御装置６０は、第１保管エリアＳＡ１の第１受け渡しポート３０Ａの物品２を、第２保管エリアＳＡ２の第２受け渡しポート３０Ｂに搬送するように天井搬送車５０に対して指示する。天井搬送車５０は、第１ベイ内天井軌道１１に沿って第１受け渡しポート３０Ａまで移動し、横出し機構５５を−Ｘ方向又は＋Ｘ方向に突出させ、昇降駆動部５４を駆動して保持部５３により第１受け渡しポート３０Ａの物品２を保持する。なお、天井搬送車５０は、制御装置６０等からの情報により、受け取った物品２の搬送先である第２保管エリアＳＡ２の第２受け渡しポート３０Ｂの位置情報（アドレス）を取得している。
次に、天井搬送車５０は、物品２を保持したまま第１ベイ内天井軌道１１を時計回りの方向に走行し、第１ベイ内天井軌道１１の直線部１１ａから第２接続軌道１６の出口部１６ｂ（図１参照）を介して第２ベイ間天井軌道１４へと移動する。なお、第２接続軌道１６は、第１ベイ内天井軌道１１及び第２ベイ間天井軌道１４と断面形状が同一又はほぼ同一であるため（図６参照）、天井搬送車５０は、第１ベイ内天井軌道１１から支障なく第２ベイ間天井軌道１４に移動することができる。
次に、天井搬送車５０は、第２ベイ間天井軌道１４を＋Ｘ方向に向けて走行し、第２ベイ間天井軌道１４から第２接続軌道１６の入口部１６ａを介して第２ベイ内天井軌道１２へと移動する。その後、天井搬送車５０は、第２ベイ内天井軌道１２を周回走行し、搬送先の第２受け渡しポート３０Ｂに対応する位置で停止する。続いて、天井搬送車５０は、横出し機構５５を＋Ｘ方向又は−Ｘ方向に突出させ、昇降駆動部５４を駆動して保持部５３により第２受け渡しポート３０Ｂに物品２を載置する。以上の動作により、物品２を第１保管エリアＳＡ１から第２保管エリアＳＡ２に搬送することができる。
なお、上記した実施形態では、物品２を第１保管エリアＳＡ１と第２保管エリアＳＡ２との間で搬送する例を示しているが、第１保管エリアＳＡ１と他の保管エリアとの間、又は第２保管エリアＳＡ２と他の保管エリアとの間についても、上記と同様の動作により物品２を搬送することができる。また、他の保管エリアの受け渡しポートに載置された物品２は、その保管エリアに存在するクレーンによって保管部又は処理装置のロードポートに搬送される点は上記のとおりである。
以上のように、本実施形態に係る搬送システム１００によれば、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂは、走行しながら第１、第２昇降台４３Ａ、４３Ｂを昇降させることができるため、停止後に保持部５３を昇降させなければならない天井搬送車５０よりも物品２の移載に要する時間が短く、ベイ内（第１、第２保管エリアＳＡ１、ＳＡ２内）における物品２の搬送効率を向上させることができる。さらに、ベイ内における物品２の搬送を第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂが行うことで物品２の保管数を増加させることができる。また、天井搬送車５０は、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂの第１、第２マスト４２Ａ、４２Ｂのような垂下した部材がなく、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂより速く移動できるので、ベイ間（例えば第１保管エリアＳＡ１と第２保管エリアＳＡ２との間）の物品２の搬送を天井搬送車５０が行うことで物品２を短時間で搬送することができる。このように、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂと天井搬送車５０との役割を分けることにより、搬送システム１００全体における物品２の搬送効率を向上させることができる。また、第１ベイ内天井軌道１１を第１クレーン４０Ａと天井搬送車５０とで共用し、第２ベイ内天井軌道１２を第２クレーン４０Ｂと天井搬送車５０とで共用するため、天井軌道を別に設ける必要がなく、天井軌道１０の敷設に要するコストを低減できる。
また、天井搬送車５０は、第１ベイ内天井軌道１１及び第２ベイ間天井軌道１４を走行可能であるため、図５の一点鎖線で示すように、第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２のロードポートＬＰとの間で物品２の受け渡しが可能である。その結果、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂの故障、又は第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂが他の物品２の搬送で手が回らない等の事態が生じた場合、一時的にロードポートＬＰとの物品２の受け渡しを天井搬送車５０によって行うことができ、搬送効率の低下を防止できる。さらに、天井搬送車５０は、他のエリアから搬送されてきた物品２の搬送先のロードポートＬＰが空いている場合（搬送可能な場合）は、そのまま物品２を搬送先のロードポートＬＰに搬送することにより、物品２の搬送効率を向上できる。
上記した実施形態では、第１、第２保管部２０Ａ、２０Ｂ及び第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂの棚部を第１、第２保管エリアＳＡ１、ＳＡ２内に配置する構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されず、保管部及び受け渡しポートが、第１、第２保管エリアＳＡ１、ＳＡ２の外側に配置されてもよい。
図１０は、保管部及び受け渡しポートの他の例を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。図１０に示すように、保管部２２０（又は受け渡しポート２３０）は、第１、第２装置エリアＴＡ１、ＴＡ２において、第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２のロードポートＬＰの上方に配置されてもよい。この構成により、ロードポートＬＰの上方のスペースを保管エリアとして有効に活用することができる。なお、この保管部２２０（又は受け渡しポート２３０）に対して、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂ及び天井搬送車５０の双方が物品２の受け渡しを行うことができる。ただし、この構成では、天井搬送車５０は、ロードポートＬＰに対して直接物品２の受け渡しを行うことができない。一方、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂは、ロードポートＬＰに対して物品２の受け渡しを行うことができる。
また、図１０に示すように、第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２と、第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２との間に保管棚８０が設けられてもよい。保管棚８０は、内部の上下方向及び左右方向（Ｙ方向）に複数の保管部３２０が設けられ、上面８０ａに受け渡しポート３３０が設けられている。この構成により、第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２間に生じたスペースを保管エリアとして有効に活用することができる。保管棚８０の保管部３２０に対しては、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂが物品２の受け渡しを行うことができる。また、保管棚８０の上面８０ａの受け渡しポート３３０に対しては、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂ及び天井搬送車５０の双方が物品２の受け渡しを行うことができる。また、第１、第２クレーン４０Ａ、４０Ｂは、保管部２２０と保管部３２０との間で物品２を搬送することができる。なお、図１０では、保管部２２０及び保管棚８０の双方が設けられる例を示しているが、この構成に代えて、ロードポートＬＰの上方に保管部２２０が設けられず、第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２と、第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２との間（あるいはロードポートＬＰとロードポートＬＰとの間）に保管棚８０が設けられる構成であってもよい。例えば、図１に示す第１処理装置ＴＬ１と第１処理装置ＴＬ１との間、又は第２処理装置ＴＬ２と第２処理装置ＴＬ２との間（あるいはロードポートＬＰとロードポートＬＰとの間）に保管棚８０が設けられる構成であってもよい。この構成により、上記と同様に、第１、第２処理装置ＴＬ１、ＴＬ２間（ロードポートＬＰ間）に生じたスペースを保管エリアとして有効に活用することができる。
このように、保管部２２０、及び保管部３２０を備える保管棚８０を配置することにより、搬送システム１００において、物品２の保管数を容易に増大させることができる。なお、搬送システム１００において、保管部２２０又は保管棚８０の設置数は任意に設定可能である。
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した搬送システム１００において、天井搬送車５０の移動経路中にストッカ（自動倉庫）等が配置されてもよい。ストッカは、例えば、第１ベイ間天井軌道１３及び第２ベイ間天井軌道１４のいずれか一方又は双方に設置されてもよい。天井搬送車５０は、このストッカの受け渡しポートに対して物品２の受け渡しが可能であり、例えば、ストッカと第１、第２受け渡しポート３０Ａ、３０Ｂとの間で物品２を搬送可能であってもよい。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１７−１２８５７０、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
ＳＡ１・・・第１保管エリア
ＳＡ２・・・第２保管エリア
ＴＡ１・・・第１装置エリア
ＴＡ２・・・第２装置エリア
ＬＰ・・・ロードポート
ＴＬ１・・・第１処理装置
ＴＬ２・・・第２処理装置
２・・・物品
２ａ・・・フランジ部
１０・・・天井軌道
１１・・・第１ベイ内天井軌道
１２・・・第２ベイ内天井軌道
１３・・・第１ベイ間天井軌道
１４・・・第２ベイ間天井軌道
１５・・・第１接続軌道
１６・・・第２接続軌道
２０Ａ・・・第１保管部
２０Ｂ・・・第２保管部
３０Ａ・・・第１受け渡しポート
３０Ｂ・・・第２受け渡しポート
４０Ａ・・・第１クレーン
４０Ｂ・・・第２クレーン
４１Ａ・・・第１走行部
４１Ｂ・・・第２走行部
４２Ａ・・・第１マスト
４２Ｂ・・・第２マスト
４３Ａ・・・第１昇降台
４３Ｂ・・・第２昇降台
４４Ａ・・・第１移載部
４４Ｂ・・・第２移載部
４５Ａ・・・第１昇降駆動部
４５Ｂ・・・第２昇降駆動部
５０・・・天井搬送車
５１・・・走行部
５２・・・本体部
５３・・・保持部
５４・・・昇降駆動部
６０・・・制御装置
８０・・・保管棚
１００・・・搬送システム
２２０、３２０・・・保管部
２３０、３３０・・・受け渡しポート

Claims (5)

  1. 第１処理装置のロードポートの直上からずれてかつ前記第１処理装置のロードポートに沿って設けられた第１ベイ内天井軌道と、
    第２処理装置のロードポートの直上からずれてかつ前記第２処理装置のロードポートに沿って設けられた第２ベイ内天井軌道と、
    前記第１ベイ内天井軌道と前記第２ベイ内天井軌道とを連結するベイ間天井軌道と、
    前記第１ベイ内天井軌道及び前記第２ベイ内天井軌道それぞれの下方かつ側方において上下方向に複数段設けられ、物品を保管する第１保管部及び第２保管部と、
    前記第１ベイ内天井軌道及び前記第２ベイ内天井軌道それぞれの下方かつ側方に設けられた第１受け渡しポート及び第２受け渡しポートと、
    前記第１ベイ内天井軌道に沿って走行する第１走行部、前記第１走行部から下垂する第１マスト、及び前記第１マストにガイドされて昇降する第１移載部を備えかつ前記第１処理装置のロードポート、前記第１保管部、及び前記第１受け渡しポートの間で物品を搬送する第１クレーンと、
    前記第２ベイ内天井軌道に沿って走行する第２走行部、前記第２走行部から下垂する第２マスト、及び前記第２マストにガイドされて昇降する第２移載部を備えかつ前記第２処理装置のロードポート、前記第２保管部、及び前記第２受け渡しポートの間で物品を搬送する第２クレーンと、
    前記第１ベイ内天井軌道、前記第２ベイ内天井軌道、及び前記ベイ間天井軌道に沿って走行する走行部、物品を保持する保持部、前記保持部を吊り下げて昇降させる昇降駆動部、及び前記昇降駆動部を側方に突出させる横出し機構を備えかつ前記第１受け渡しポートと前記第２受け渡しポートとの間で物品を搬送する天井搬送車と、を備える、搬送システム。
  2. 前記クレーンは、懸垂式クレーンである、請求項１に記載の搬送システム。
  3. 前記第１ベイ内天井軌道及び前記第２ベイ内天井軌道は周回軌道であり、
    前記第１クレーン及び前記天井搬送車は、前記第１ベイ内天井軌道を同一方向に周回走行し、
    前記第２クレーン及び前記天井搬送車は、前記第２ベイ内天井軌道を同一方向に周回走行する、請求項１又は請求項２に記載の搬送システム。
  4. 前記第１受け渡しポート及び前記第２受け渡しポートは、前記第１保管部及び前記第２保管部それぞれの最上段に配置される、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の搬送システム。
  5. 第１処理装置のロードポートの直上からずれてかつ前記第１処理装置のロードポートに沿って設けられた第１ベイ内天井軌道と、
    第２処理装置のロードポートの直上からずれてかつ前記第２処理装置のロードポートに沿って設けられた第２ベイ内天井軌道と、
    前記第１ベイ内天井軌道と前記第２ベイ内天井軌道とを連結するベイ間天井軌道と、
    前記第１ベイ内天井軌道及び前記第２ベイ内天井軌道それぞれの下方かつ側方において上下方向に複数段設けられ、物品を保管する第１保管部及び第２保管部と、
    前記第１ベイ内天井軌道及び前記第２ベイ内天井軌道それぞれの下方かつ側方に設けられた第１受け渡しポート及び第２受け渡しポートと、
    前記第１ベイ内天井軌道に沿って走行する第１走行部、前記第１走行部から下垂する第１マスト、及び前記第１マストにガイドされて昇降する第１移載部を備える第１クレーンと、
    前記第２ベイ内天井軌道に沿って走行する第２走行部、前記第２走行部から下垂する第２マスト、及び前記第２マストにガイドされて昇降する第２移載部を備える第２クレーンと、
    前記第１ベイ内天井軌道、前記第２ベイ内天井軌道、及び前記ベイ間天井軌道に沿って走行する走行部、物品を保持する保持部、前記保持部を吊り下げて昇降させる昇降駆動部、及び前記昇降駆動部を側方に突出させる横出し機構を備える天井搬送車と、を備える搬送システムにおける搬送方法であって、
    前記第１クレーンは、前記第１処理装置のロードポートと、前記第１保管部と、前記第１受け渡しポートとの間で物品を搬送し、
    前記第２クレーンは、前記第２処理装置のロードポートと、前記第２保管部と、前記第２受け渡しポートとの間で物品を搬送し、
    前記天井搬送車は、前記第１受け渡しポートと前記第２受け渡しポートとの間で物品を搬送する、搬送方法。
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