JPH07323905A - 搬送設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 ループ状の搬送経路３を有する搬送装置４を
配設し、搬送経路３の内側に、荷７を保管する保管装置
８を設け、保管装置８の両側に、荷７を搬送装置４と保
管装置８との間で受渡しする受渡し装置20を設け、搬送
経路３の途中に荷７の作業部27を設けた。 【効果】 保管装置８の両側に設けられた受渡し装置20
を用いることにより、保管装置８の両側で同時に荷７の
搬入出が行え、搬入出にかかる時間を短縮し得る。ま
た、両側の受渡し装置20のうち、どちらか一方の受渡し
装置20を選択的に用いて荷７を保管装置８から出庫し、
作業部27での加工後、どちらか一方の受渡し装置20を選
択的に用いて荷７を保管装置８内へ入庫することによ
り、搬送経路３上を搬送される荷７の搬送距離を最短に
することができ、したがって搬入出にかかる時間を一層
短縮し得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばクリーンルーム
内に設置される搬送設備に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えばクリーンルーム内などに設
置される搬送設備としては、特開平３−１４７６０６号
公報に示されるものがある。すなわち、荷保管装置の一
側方には、荷搬送装置の自走台車の搬送経路が形成され
ている。また、荷保管装置の本体の一側方には、ステー
ション位置の自走台車と荷保管装置の本体内との間で荷
を受け渡しする受け渡し装置（移載装置）が設けられて
いる。

【０００３】これによると、荷保管装置内に保管されて
いる荷は、受け渡し装置（移載装置）により荷保管装置
内から出庫されて荷搬送装置の自走台車に載置され、搬
送経路上を搬送される。また、自走台車によりステーシ
ョン位置まで搬送された荷は、受け渡し装置（移載装
置）により自走台車から持ち上げられて荷保管装置内に
入庫される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来例では、受け渡し装置（移載装置）を荷保管装置の
一側方のみにしか設けていないため、荷の搬入出に時間
がかかるといった問題があった。

【０００５】本発明は上記問題を解決するもので、荷の
搬入出にかかる時間を短縮し得る搬送設備を提供するこ
とを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に本第１発明における搬送設備は、ループ状の搬送経路
を有する搬送装置を配設し、上記搬送経路の内側に、荷
を保管する保管装置を設け、この保管装置の両側に、荷
を搬送装置と保管装置との間で受け渡しする受け渡し装
置を設け、上記搬送経路の途中に荷の作業部を設けたも
のである。

【０００７】本第２発明における搬送設備は、受け渡し
装置を、回転体と、この回転体に取付けられて荷を支持
可能な一対の接近離間自在な腕とから構成し、上記回転
体の回転により上記腕を搬送経路側と保管装置内側とに
回転自在に構成したものである。

【０００８】

【作用】上記本第１発明の構成によると、保管装置内に
保管されている荷は、両側の受け渡し装置により保管装
置内から出庫されて搬送装置に渡され、搬送経路上を一
方向に搬送される。そして荷は、搬送経路上を作業部ま
で搬送され、作業部で加工などを施される。その後、荷
は、作業部から搬送装置により受け渡し装置の位置まで
搬送され、両側の受け渡し装置により搬送装置から受け
取られて保管装置内に入庫される。このように、保管装
置の両側に設けられた受け渡し装置をそれぞれ用いて荷
の搬入出が行えるため、保管装置の両側で同時に搬入出
が行え、搬入出にかかる時間を短縮し得る。

【０００９】また、上記のような荷の入出庫において、
両側の受け渡し装置のうち、どちらか一方の受け渡し装
置を選択的に用いて荷を保管装置から出庫し、作業部で
の加工後、どちらか一方の受け渡し装置を選択的に用い
て荷を保管装置内へ入庫することにより、搬送経路上を
搬送される荷の搬送距離を最短にすることができる。し
たがって搬入出にかかる時間を一層短縮し得る。

【００１０】上記本第２発明の構成によると、出庫時、
一対の腕が互いに接近して保管装置内の荷を挾んで支持
し、その後、回転体が半回転することにより、腕で支持
された荷は保管装置の内側から搬送経路側に移動する。
そして、一対の腕が互いに離間することにより、荷は搬
送装置に渡され搬送経路上を搬送される。

【００１１】また、入庫時、一対の腕が互いに接近して
搬送装置上の荷を挾んで支持し、その後、回転体が半回
転することにより、腕で支持された荷は搬送経路側から
保管装置の内側に移動する。そして、一対の腕が互いに
離間することにより、荷は保管装置内に入庫される。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜図４に基づ
いて説明する。１はクリーンルーム２内に設置された搬
送設備である。すなわち、ループ状の搬送経路３を有す
る搬送装置４が配設され、この搬送装置４は、搬送経路
３に沿って敷設されたレール５と、このレール５に支持
案内されて走行可能な複数台の自走台車６とにより構成
されている。

【００１３】上記搬送経路３の内側には、ウエハなどの
荷７を保管する保管装置８が複数台設けられている。こ
れら保管装置８は、矩形箱体状の本体10と、本体10内に
配設される一対の棚11と、荷捌き部12と、棚11の区画収
納空間13と荷捌き部12との間で荷７を出し入れする出し
入れ装置14とを備えている。

【００１４】上記出し入れ装置14は、一対の棚11間を走
行自在な走行機台16と、この走行機台16にポスト19を介
して設けられた昇降自在な昇降台17と、この昇降台17に
両側方に出退自在に設けられかつ荷７を保持可能なフォ
ーク18とから構成される。

【００１５】上記各保管装置８の上部両側にはそれぞ
れ、荷７を搬送装置４の自走台車６と保管装置８の荷捌
き部12との間で受け渡しする受け渡し装置20が設けられ
ている。すなわち、保管装置８の両側壁21にはそれぞ
れ、荷捌き部12に連通する開口部22と、これら開口部22
を開閉する回転体23とが設けられている。上記回転体23
は、板状に形成され、電動機（図示せず）により垂直軸
24を中心に回転自在に取付けられている。また、回転体
23の表側と裏側とにはそれぞれ、荷７を支持可能な一対
の接近離間自在かつ昇降自在な腕25が設けられている。

【００１６】図１に示すように、上記搬送経路３におい
て、各保管装置８の開口部22に対向する位置はステーシ
ョン26に形成されている。また、搬送経路３の途中に
は、荷７の作業部27が設けられている。この作業部27に
は、荷７の一例であるウエハに回路を焼き付けたりする
半導体製造設備28が設けられている。

【００１７】以下、上記構成における作用を説明する。
荷７を出庫する場合は、出し入れ装置14の走行機台16が
両棚11間に沿って走行するとともに昇降台17が昇降しさ
らにフォーク18が出退することにより、棚11の区画収納
空間13内に保管されている目的の荷７を区画収納空間13
から荷捌き部12に取り出すことができる。その後、受け
渡し装置20の一対の腕25が互いに接近して荷捌き部12の
荷７を挾み上昇して荷７を支持する。その後、回転体23
が半回転することにより、腕25で支持された荷７は荷捌
き部12から搬送経路３側に移動する。そして、一対の腕
25が下降するとともに互いに離間することにより、荷７
はステーション26に待機している自走台車６に載置され
搬送経路３上を搬送される。

【００１８】このようにして出庫された荷７は、自走台
車６により作業部27まで搬送され、作業部27で自走台車
６から一旦取り出される。そして、荷７であるウエハは
半導体製造設備28によって回路の焼付け加工などを施さ
れる。

【００１９】加工後、荷７は、作業部27から自走台車６
に載置され、自走台車６により目的のステーション26ま
で搬送される。そして、目的のステーション26で自走台
車６が待機し、その間、一対の腕25が荷７を支持すると
ともに回転体23が半回転して荷７を自走台車６上から荷
捌き部12に載置させる。その後、走行機台16が走行する
とともに昇降台17が昇降しさらにフォーク18が出退する
ことにより、荷７は荷捌き部12から棚11の所定の区画収
納空間13内に入庫される。上記のような荷７の搬入出
は、各保管装置の両側に設けられた受け渡し装置20をそ
れぞれ用いることにより、各保管装置８の両側で同時に
行えるため、搬入出にかかる時間を短縮し得る。

【００２０】また、図１に示すように、（イ）で示す保
管装置８から荷７を出庫して作業部27で加工した後、こ
の荷７を再び（イ）で示す保管装置８に入庫する場合、
（Ａ）で示す一方の受け渡し装置20を用いて保管装置８
から荷７を出庫し、作業部27での加工後、（Ｂ）で示す
他方の受け渡し装置20を用いて保管装置８内へ入庫する
ことにより、荷７は最短距離で搬送経路３上を搬送され
る。したがって搬入出にかかる時間を一層短縮し得る。
同様に、（ロ）で示す保管装置８から荷７を出庫して作
業部27で加工した後、この荷７を（イ）で示す別の保管
装置８に入庫する場合も、（Ａ）で示す一方の受け渡し
装置20を用いて（ロ）の保管装置８から荷７を出庫し、
その後、（Ｂ）で示す他方の受け渡し装置20を用いて
（イ）の保管装置８内へ入庫することにより、荷７は最
短距離で搬送経路３上を搬送され、したがって搬入出に
かかる時間を一層短縮し得る。

【００２１】また、上記実施例では、回転体23の表側と
裏側とにそれぞれ一対の腕25を設けたため、保管装置８
から出庫される荷７を一方側の一対の腕25で支持すると
同時に、保管装置８に入庫される荷７を他方側の一対の
腕25で支持することができ、この状態で回転体23を半回
転させることによって１つの受け渡し装置20で荷７の出
庫と入庫とが同時に行える。これにより、荷７の搬入出
の効率が向上する。

【００２２】また、上記実施例では、図２に示すよう
に、回転体23が回転している時以外は、開口部22は回転
体23により閉じられているため、塵埃が搬送装置４側か
ら開口部22を通って保管装置８内に侵入することを防止
できる。

【００２３】上記実施例では荷７の一例としてウエハを
挙げたが、ウエハに限らず液晶板などであってもよい。
また、上記実施例では図１に示すように搬送経路３の途
中に作業部27を１箇所設けているが、これは複数箇所設
けてもよい。また、図１の仮想線に示すように、上記搬
送経路３の外側周囲に、コンベヤなどから成る副搬送経
路29を形成してもよい。

【００２４】上記実施例では一対の腕25で荷７をクラン
プしているが、これは荷７をフォークで持ち上げたりあ
るいは真空吸着装置で吸着して受け渡してもよい。

【００２５】

【発明の効果】以上のように本第１発明によれば、保管
装置内に保管されている荷は、両側の受け渡し装置によ
り保管装置内から出庫されて搬送装置に渡され、搬送経
路上を一方向に搬送される。そして荷は、搬送経路上を
作業部まで搬送され、作業部で加工などを施される。そ
の後、荷は、作業部から搬送装置により受け渡し装置の
位置まで搬送され、両側の受け渡し装置により搬送装置
から受け取られて保管装置内に入庫される。このよう
に、保管装置の両側に設けられた受け渡し装置をそれぞ
れ用いて荷の搬入出が行えるため、保管装置の両側で同
時に搬入出が行え、搬入出にかかる時間を短縮し得る。

【００２６】また、上記のような荷の入出庫において、
両側の受け渡し装置のうち、どちらか一方の受け渡し装
置を選択的に用いて荷を保管装置から出庫し、作業部で
の加工後、どちらか一方の受け渡し装置を選択的に用い
て荷を保管装置内へ入庫することにより、搬送経路上を
搬送される荷の搬送距離を最短にすることができる。し
たがって搬入出にかかる時間を一層短縮し得る。

【００２７】本第２発明によれば、出庫時、一対の腕が
互いに接近して保管装置内の荷を挾んで支持し、その
後、回転体が半回転することにより、腕で支持された荷
は保管装置の内側から搬送経路側に移動する。そして、
一対の腕が互いに離間することにより、荷は搬送装置に
渡され搬送経路上を搬送される。

【００２８】また、入庫時、一対の腕が互いに接近して
搬送装置上の荷を挾んで支持し、その後、回転体が半回
転することにより、腕で支持された荷は搬送経路側から
保管装置の内側に移動する。そして、一対の腕が互いに
離間することにより、荷は保管装置内に入庫される。こ
のように一対の腕で荷を支持した状態で回転体を半回転
させることにより、荷の入出庫が迅速に行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における搬送設備の平面図で
ある。

【図２】保管装置の内部構成を示す平面図である。

【図３】保管装置の一部切欠き正面図である。

【図４】保管装置の一部切欠き側面図である。

【符号の説明】

１ 搬送設備 ３ 搬送経路 ４ 搬送装置 ７ 荷 ８ 保管装置 20 受け渡し装置 23 回転体 25 腕 27 作業部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ループ状の搬送経路を有する搬送装置を
   配設し、上記搬送経路の内側に、荷を保管する保管装置
   を設け、この保管装置の両側に、荷を搬送装置と保管装
   置との間で受け渡しする受け渡し装置を設け、上記搬送
   経路の途中に荷の作業部を設けたことを特徴とする搬送
   設備。
2. 【請求項２】 受け渡し装置を、回転体と、この回転体
   に取付けられて荷を支持可能な一対の接近離間自在な腕
   とから構成し、上記回転体の回転により上記腕を搬送経
   路側と保管装置内側とに回転自在に構成したことを特徴
   とする請求項１記載の搬送設備。