KR20200010412A - 반송 시스템 및 반송 방법 - Google Patents

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Abstract

천장 반송차 및 크레인이 주행하는 궤도를 공통화하여 궤도의 설치 비용을 저감시키면서, 천장 반송차와 크레인과의 역할을 분담함으로써, 물품을 효율적으로 반송한다. 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 및 제 2 베이 내 천장 궤도(12)와, 제 1 베이 간 천장 궤도(13) 및 제 2 베이 간 천장 궤도(14)와 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B), 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)와, 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 및 제 2 베이 내 천장 궤도(12)를 따라 주행하는 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B), 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B), 및 제 1, 제 2 이동 재치부(44A 44B)를 구비하는 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)과, 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 및 제 2 베이 내 천장 궤도(12)를 따라 주행하는 주행부(51), 보지부(53), 승강 구동부(54), 횡측 돌출 기구(55)를 구비하는 천장 반송차(50)를 구비한다.

Description

반송 시스템 및 반송 방법
본 발명은 반송 시스템 및 반송 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 공장 등의 제조 공장에서는, 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP 혹은 레티클을 수용하는 레티클 Pod 등의 물품을 처리 장치의 로드 포트, 보관부 및 전달 포트의 사이에서 반송하기 위하여, 천장에 부설된 궤도를 따라 주행하는 천장 반송차와, 천장 반송차의 궤도와는 별개로 바닥면에 부설된 궤도를 따라 주행하는 크레인을 이용하는 구성이 제안되고 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
특허 제5,880,693호 공보
특허 문헌 1에 기재된 천장 반송차 및 크레인은, 모두 로드 포트, 보관부 및 전달 포트에 액세스하는 것이 가능하지만, 상이한 궤도를 주행하기 위하여, 천장 반송차 및 크레인에 대응하여, 각각 천장의 궤도 및 바닥면의 궤도를 마련할 필요가 있다. 이 때문에, 궤도의 설치에 비용이 들고, 각 궤도를 부설하기 위한 스페이스가 필요하게 될 뿐 아니라, 처리 장치 또는 보관부 등의 설치 위치를 2 개의 궤도에 대응시킬 필요가 있기 때문에 처리 장치 등의 레이아웃에 대하여 제약이 생긴다고 하는 문제를 가지고 있다.
본 발명은 천장 반송차 및 크레인이 주행하는 궤도를 공통화하여 궤도의 설치 비용을 저감시키면서, 천장 반송차와 크레인과의 역할을 분담함으로써, 물품을 효율적으로 반송하는 것이 가능한 반송 시스템 및 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 반송 시스템은, 제 1 처리 장치의 로드 포트의 직상(直上)으로부터 어긋나고 또한 제 1 처리 장치의 로드 포트를 따라 마련된 제 1 베이 내 천장 궤도와, 제 2 처리 장치의 로드 포트의 직상으로부터 어긋나고 또한 제 2 처리 장치의 로드 포트를 따라 마련된 제 2 베이 내 천장 궤도와, 제 1 베이 내 천장 궤도와 제 2 베이 내 천장 궤도를 연결하는 베이 간 천장 궤도와, 제 1 베이 내 천장 궤도 및 제 2 베이 내 천장 궤도 각각의 하방 또한 측방에 있어서 상하 방향으로 복수 단 마련되어, 물품을 보관하는 제 1 보관부 및 제 2 보관부와, 제 1 베이 내 천장 궤도 및 제 2 베이 내 천장 궤도 각각의 하방 또한 측방에 마련된 제 1 전달 포트 및 제 2 전달 포트와, 제 1 베이 내 천장 궤도를 따라 주행하는 제 1 주행부, 제 1 주행부로부터 하수하는 제 1 마스트, 및 제 1 마스트로 가이드되어 승강하는 제 1 이동 재치부(載置部)를 구비하고 또한 제 1 처리 장치의 로드 포트, 제 1 보관부, 및 제 1 전달 포트의 사이에서 물품을 반송하는 제 1 크레인과, 제 2 베이 내 천장 궤도를 따라 주행하는 제 2 주행부, 제 2 주행부로부터 하수하는 제 2 마스트, 및 제 2 마스트로 가이드되어 승강하는 제 2 이동 재치부를 구비하고 또한 제 2 처리 장치의 로드 포트, 제 2 보관부, 및 제 2 전달 포트의 사이에서 물품을 반송하는 제 2 크레인과, 제 1 베이 내 천장 궤도, 제 2 베이 내 천장 궤도, 및 베이 간 천장 궤도를 따라 주행하는 주행부, 물품을 보지(保持)하는 보지부, 보지부를 매달아 승강시키는 승강 구동부, 및 승강 구동부를 측방으로 돌출시키는 횡측 돌출 기구를 구비하고 또한 제 1 전달 포트와 제 2 전달 포트와의 사이에서 물품을 반송하는 천장 반송차를 구비한다.
또한, 크레인은 현수식 크레인이어도 된다. 또한, 제 1 베이 내 천장 궤도 및 제 2 베이 내 천장 궤도는 주회 궤도이며, 제 1 크레인 및 천장 반송차는 제 1 베이 내 천장 궤도를 동일 방향으로 주회 주행하고, 제 2 크레인 및 천장 반송차는 제 2 베이 내 천장 궤도를 동일 방향으로 주회 주행해도 된다. 또한, 제 1 전달 포트 및 제 2 전달 포트는, 제 1 보관부 및 제 2 보관부 각각의 최상단에 배치되어도 된다.
또한 본 발명에 따른 반송 방법은, 제 1 처리 장치의 로드 포트의 직상으로부터 어긋나고 또한 제 1 처리 장치의 로드 포트를 따라 마련된 제 1 베이 내 천장 궤도와, 제 2 처리 장치의 로드 포트의 직상으로부터 어긋나고 또한 제 2 처리 장치의 로드 포트를 따라 마련된 제 2 베이 내 천장 궤도와, 제 1 베이 내 천장 궤도와 제 2 베이 내 천장 궤도를 연결하는 베이 간 천장 궤도와, 제 1 베이 내 천장 궤도 및 제 2 베이 내 천장 궤도 각각의 하방 또한 측방에 있어서 상하 방향으로 복수 단 마련되어, 물품을 보관하는 제 1 보관부 및 제 2 보관부와, 제 1 베이 내 천장 궤도 및 제 2 베이 내 천장 궤도 각각의 하방 또한 측방에 마련된 제 1 전달 포트 및 제 2 전달 포트와, 제 1 베이 내 천장 궤도를 따라 주행하는 제 1 주행부, 제 1 주행부로부터 하수하는 제 1 마스트, 및 제 1 마스트로 가이드되어 승강하는 제 1 이동 재치부를 구비하는 제 1 크레인과, 제 2 베이 내 천장 궤도를 따라 주행하는 제 2 주행부, 제 2 주행부로부터 하수하는 제 2 마스트, 및 제 2 마스트로 가이드되어 승강하는 제 2 이동 재치부를 구비하는 제 2 크레인과, 제 1 베이 내 천장 궤도, 제 2 베이 내 천장 궤도, 및 베이 간 천장 궤도를 따라 주행하는 주행부, 물품을 보지하는 보지부, 보지부를 매달아 승강시키는 승강 구동부, 및 승강 구동부를 측방으로 돌출시키는 횡측 돌출 기구를 구비하는 천장 반송차를 구비하는 반송 시스템에 있어서의 반송 방법으로서, 제 1 크레인은 제 1 처리 장치의 로드 포트와, 제 1 보관부와, 제 1 전달 포트와의 사이에서 물품을 반송하고, 제 2 크레인은 제 2 처리 장치의 로드 포트와, 제 2 보관부와 제 2 전달 포트와의 사이에서 물품을 반송하고, 천장 반송차는 제 1 전달 포트와 제 2 전달 포트와의 사이에서 물품을 반송한다.
본 발명에 따른 반송 시스템 및 반송 방법에 의하면, 베이 내의 물품의 반송을 제 1, 제 2 크레인이 행함으로써 물품의 보관수를 증가시킬 수 있고, 베이 간의 물품의 반송을 천장 반송차가 행함으로써 천장 궤도 하방의 설비와의 간섭을 억제할 수 있다. 또한, 베이 내 천장 궤도를 따라 주행하는 제 1, 제 2 크레인의 제 1, 제 2 마스트와, 로드 포트, 제 1, 제 2 보관부, 및 제 1, 제 2 전달 포트와의 간섭을 방지하면서, 베이 내 천장 궤도를 제 1, 제 2 크레인 및 천장 반송차가 공용할 수 있기 때문에, 각각에 대응하여 천장 궤도를 별개 마련할 필요가 없어, 천장 궤도의 부설에 요하는 비용을 저감할 수 있다.
또한, 제 1, 제 2 크레인이 현수식 크레인인 경우, 제 1, 제 2 크레인에 대응하는 지상측(바닥면측)에 궤도를 마련할 필요가 없기 때문에, 궤도의 설치를 저비용으로 행할 수 있다. 또한, 제 1 베이 내 천장 궤도 및 제 2 베이 내 천장 궤도가 주회 궤도이며, 제 1 크레인 및 천장 반송차가 제 1 베이 내 천장 궤도를 동일 방향으로 주회 주행하고, 제 2 크레인 및 천장 반송차가 제 2 베이 내 천장 궤도를 동일 방향으로 주회 주행하는 경우, 베이 간 천장 궤도로부터 베이 내 천장 궤도로 노선 연장한 천장 반송차가 그 베이 내 천장 궤도를 따라 주행하는 제 1, 제 2 크레인과 간섭할 가능성을 저감시킬 수 있고, 또한 천장 반송차 및 제 1, 제 2 크레인의 제어를 간이화할 수 있다. 또한, 제 1, 제 2 전달 포트가 제 1, 제 2 보관부의 최상단에 배치되는 경우, 천장 반송차 및 제 1, 제 2 크레인의 쌍방에 의해 물품의 이동 재치를 행할 수 있어, 천장 반송차와 제 1, 제 2 크레인과의 사이에서 물품의 전달을 용이하게 행할 수 있다.
도 1은 본 실시 형태에 따른 반송 시스템의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 2는 제 1, 제 2 처리 장치 및 로드 포트의 일례를 나타내는 도이다.
도 3은 제 1, 제 2 보관부 및 제 1, 제 2 전달 포트의 일례를 나타내는 도이다.
도 4는 현수식 크레인의 일례를 나타내는 도이다.
도 5는 천장 반송차의 일례를 나타내는 도이다.
도 6은 제 1, 제 2 크레인의 제 1, 제 2 주행부, 및 천장 반송차의 주행부의 일례를 나타내는 도이다.
도 7은 천장 반송차에 의해 물품을 반송할 시의 이동 경로의 일례를 나타내는 도이다.
도 8은 도 7에 이어, 천장 반송차에 의해 물품을 반송할 시의 이동 경로의 일례를 나타내는 도이다.
도 9는 도 8에 이어, 천장 반송차에 의해 물품을 반송할 시의 이동 경로의 일례를 나타내는 도이다.
도 10은 보관부 및 전달 포트의 다른 예를 나타내는 도이다.
이하, 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 이하의 각 도면에서 XYZ 좌표계를 이용하여 도면 중의 방향을 설명한다. 이 XYZ 좌표계에서는 연직 방향을 Z 방향으로 하고, 수평 방향을 X 방향, Y 방향으로 한다. X 방향은 수평 방향 내에 있어서의 일방향으로서, 후술하는 제 1 베이 간 천장 궤도(13) 및 제 2 베이 간 천장 궤도(14)를 따른 방향이다. Y 방향은 X 방향과 직교하는 방향으로서, 제 1 베이 내 천장 궤도(11)의 직선부(11a), 및 제 2 베이 내 천장 궤도(12)의 직선부(12a)를 따른 방향이다. 또한, X, Y, Z 방향의 각 방향에 대하여, 적절히, 화살표와 동일한 측을 +측(예, +X측)이라 칭하고, 그 반대측을 -X측(예, -X측)이라 칭한다.
도 1은 본 실시 형태를 따른 반송 시스템(100)의 일례를 나타내는 평면도이다. 도 1에 나타내는 반송 시스템(100)은, 예를 들면 반도체 디바이스의 제조 공장 등에 설치되어 있고, 반도체 디바이스의 제조에 이용되는 반도체 웨이퍼를 수용한 FOUP, 혹은 레티클 등을 수용한 레티클 포드 등의 물품(2)을 반송한다. 본 실시 형태에서는, 물품(2)이 FOUP인 예를 이용하여 설명하지만, 물품(2)은 FOUP 이외여도 된다. 또한, 반송 시스템(100)은 반도체 제조 분야 이외의 설비에 적용 가능하며, 물품(2)은 반송 시스템(100)이 설치되는 설비에서 취급되는 각종의 물품이어도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 반송 시스템(100)은, 제 1, 제 2 장치 에어리어(TA1, TA2)에 배치되는 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)의 로드 포트(LP), 및, 후술하는 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B), 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)와의 사이에서 물품(2)을 반송한다. 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)는, 예를 들면 노광 장치, 코터 디벨로퍼, 제막 장치 혹은 에칭 장치 등이며, 반송 시스템(100)이 반송하는 물품(2)에 수용된 반도체 웨이퍼에 각종 처리를 실시한다. 각 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)는 각각 2 개소의 로드 포트(LP)를 구비하고 있다. 도 2는 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2) 및 로드 포트(LP)의 일례를 나타내는 도이다. 도 2에서는 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2) 및 로드 포트(LP)를 +X측에서 본 경우의 일례를 나타내고 있다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 제 1 처리 장치(TL1)는, 제조 공장 등의 바닥부에 설정되는 제 1 장치 에어리어(TA1) 내에 일방향(Y 방향)으로 배열되어 배치된다. 제 2 처리 장치(TL2)는, 제 2 장치 에어리어(TA2) 내에 일방향(Y 방향)으로 배열되어 배치된다. 제 1, 제 2 장치 에어리어(TA1, TL2)는 각각 X 방향으로 복수 배치된다. Y 방향으로 배열된 복수의 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)는, X 방향으로 복수 열 마련된다. 또한, 복수의 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)의 배치는 일례이며, 다른 배치여도 된다. 또한, 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)는 2 개소의 로드 포트(LP)를 구비하는 것에 한정되지 않고, 1 개소 또는 3 개소 이상 구비하고 있어도 된다.
또한, 제조 공장 등에는 물품(2)을 일시적으로 보관하기 위한 제 1, 제 2 보관 에어리어(SA1, SA2)가 배치된다. 제 1 보관 에어리어(SA1)는 제 1 처리 장치(TL1)에 대응하여 마련되고, 2 열의 제 1 처리 장치(TL1)의 사이에 배치된다. 제 2 보관 에어리어(SA2)는 제 2 처리 장치(TL2)에 대응하여 마련되고, 2 열의 제 2 처리 장치(TL2)의 사이에 배치된다. 각 열의 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)에 있어서, 로드 포트(LP)는 제 1, 제 2 보관 에어리어(SA1, SA2)의 각각에 대향하는 측에 배치된다.
반송 시스템(100)은, 도 1에 나타내는 바와 같이 천장 궤도(10)와, 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)와, 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)와, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)과, 천장 반송차(50)를 구비한다. 천장 궤도(10)는, 제 1 베이 내 천장 궤도(11)와, 제 2 베이 내 천장 궤도(12)와, 제 1 베이 간 천장 궤도(13)와, 제 2 베이 간 천장 궤도(14)와, 제 1 접속 궤도(15)와, 제 2 접속 궤도(16)를 가진다. 제 1 베이 간 천장 궤도(13), 제 2 베이 간 천장 궤도(14), 제 1 접속 궤도(15) 및 제 2 접속 궤도(16)는, 제 1 베이 내 천장 궤도(11)와 제 2 베이 내 천장 궤도(12)를 연결하는 베이 간 천장 궤도이다. 제 1 베이 내 천장 궤도(11)는, 제 1 처리 장치(TL1)의 로드 포트(LP)의 직상으로부터 어긋나 배치되고, 또한 로드 포트(LP)를 따라 마련된다. 제 2 베이 내 천장 궤도(12)는, 제 2 처리 장치(TL2)의 로드 포트(LP)의 직상으로부터 어긋나 배치되고, 또한 로드 포트(LP)를 따라 마련된다. 제 1 베이 내 천장 궤도(11)는, 제 1 보관 에어리어(SA1)를 둘러싸도록 환상으로 배치되는 주회 궤도이며, 제 2 베이 내 천장 궤도(12)는, 제 2 보관 에어리어(SA2)를 둘러싸도록 환상으로 배치되는 주회 궤도이지만, 이 구성에 한정되지 않는다.
제 1 베이 내 천장 궤도(11)는 직선부(11a)와, 순환부(11b)를 가진다. 직선부(11a)는, 로드 포트(LP)의 직상에 있어서, 복수의 로드 포트(LP)를 따라 Y 방향으로 배치된다. 직선부(11a)는, 평면으로 봤을 때, 제 1 보관 에어리어(SA1)와, 제 1 보관 에어리어(SA1)를 사이에 두고 대향하여 배치되는 복수의 로드 포트(LP)와의 사이에 각각 배치된다. 순환부(11b)는, 곡선부를 포함하여 Y 방향의 양단에 배치되고, 2 개의 직선부(11a)끼리를 접속한다.
제 2 베이 내 천장 궤도(12)는, 제 1 베이 내 천장 궤도(11)와 마찬가지로 직선부(12a)와, 순환부(12b)를 가진다. 직선부(12a)는, 로드 포트(LP)의 직상에 있어서, 로드 포트(LP)를 따라 Y 방향으로 평행하게 배치된다. 직선부(12a)는, 평면으로 봤을 때, 제 2 보관 에어리어(SA2)와, 제 2 보관 에어리어(SA2)를 사이에 두고 대향하여 배치되는 복수의 로드 포트(LP)와의 사이에 각각 배치된다. 순환부(12b)는 곡선부를 포함하여 Y 방향의 양단에 배치되고, 2 개의 직선부(12a)끼리를 접속한다. 또한 본 실시 형태에서는, 제 1 베이 내 천장 궤도(11)와 제 2 베이 내 천장 궤도(12)가 동일 또는 거의 동일한 형상인 예를 나타내고 있지만, 제 1 베이 내 천장 궤도(11)와 제 2 베이 내 천장 궤도(12)가 상이한 형상이어도 된다.
제 1 베이 간 천장 궤도(13) 및 제 2 베이 간 천장 궤도(14)는, 각각 X 방향을 따라 직선 형상으로 연장되어 마련되어 있다. 제 1 베이 간 천장 궤도(13)는, 제 1 접속 궤도(15)를 개재하여, 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 및 제 2 베이 내 천장 궤도(12)의 각각에 있어서의 일방의 단부(+Y측의 단부)에 연결된다. 제 2 베이 간 천장 궤도(14)는, 제 2 접속 궤도(16)를 개재하여, 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 및 제 2 베이 내 천장 궤도(12)의 각각에 있어서의 타방의 단부(-Y측의 단부)에 연결된다.
제 1 접속 궤도(15)는, 2 개의 궤도로서 입구부(15a) 및 출구부(15b)를 가진다. 입구부(15a)는, 제 1 베이 간 천장 궤도(13)로부터 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 또는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)로 천장 반송차(50)가 주행하기 위한 경로를 형성한다. 출구부(15b)는, 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 또는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)로부터 제 1 베이 간 천장 궤도(13)로 천장 반송차(50)가 주행하기 위한 경로를 형성한다.
제 2 접속 궤도(16)는, 제 1 접속 궤도(15)와 마찬가지로 2 개의 궤도로서 입구부(16a) 및 출구부(16b)를 가진다. 입구부(16a)는, 제 2 베이 간 천장 궤도(14)로부터 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 또는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)로 천장 반송차(50)가 주행하기 위한 경로를 형성한다. 출구부(16b)는, 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 또는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)로부터 제 2 베이 간 천장 궤도(14)로 천장 반송차(50)가 주행하기 위한 경로를 형성한다. 또한 본 실시 형태에서는, 제 1 접속 궤도(15)와 제 2 접속 궤도(16)가 동일 또는 거의 동일한 형상인 예를 나타내고 있지만, 제 1 접속 궤도(15)와 제 2 접속 궤도(16)가 상이한 형상이어도 된다.
제 1 보관부(20A) 및 제 1 전달 포트(30A)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 제 1 보관 에어리어(SA1)에 배치된다. 제 2 보관부(20B) 및 제 2 전달 포트(30B)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 제 2 보관 에어리어(SA2)에 배치된다. 제 1 보관부(20A) 및 제 1 전달 포트(30A)는, 제 1 베이 내 천장 궤도(11)에 있어서 하방 또한 측방에 배치된다. 제 2 보관부(20B) 및 제 2 전달 포트(30B)는, 제 2 베이 내 천장 궤도(12)에 있어서 하방 또한 측방에 배치된다. 제 1 보관부(20A) 및 제 1 전달 포트(30A)는, 제 1 베이 내 천장 궤도(11)에 있어서, 후술하는 제 1 크레인(40A) 및 천장 반송차(50)에 의해 물품(2)의 전달이 가능한 범위에 배치된다. 제 2 보관부(20B) 및 제 2 전달 포트(30B)는, 제 2 베이 내 천장 궤도(12)에 있어서, 후술하는 제 2 크레인(40B) 및 천장 반송차(50)에 의해 물품(2)의 전달이 가능한 범위에 배치된다.
도 3은 제 1, 제 2 보관 에어리어(SA1, SA2)에 있어서의 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B) 및 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)의 일례를 나타내는 도이다. 도 3에서는 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B) 및 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)를 +X측에서 본 경우의 일례를 나타내고 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B) 및 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)는 물품(2)을 재치 가능한 선반부 등이 이용된다. 물품(2)을 재치하는 선반부에는, 물품(2)의 저면에 마련된 홈부에 들어가는 복수의 핀이 마련되어도 된다. 이 핀이 물품(2)의 홈부에 들어감으로써, 선반부에 대하여 물품(2)이 위치 결정된다. 각 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B) 및 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)는, 예를 들면 건물의 천장 등으로부터 매달린 상태로 지지된다. 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B) 및 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)가 천장으로부터 매달림으로써, 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B) 등의 하방에 있어서, 예를 들면 작업자 등이 통행 가능한 통로로서 이용 가능하게 된다.
제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)는 로드 포트(LP)를 따라 Y 방향으로 배열되어 복수 배치된다. 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)는 제 1, 제 2 보관 에어리어(SA1, SA2)의 각각 2 열로 배치된다. 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)의 열의 각각은, 로드 포트(LP)의 열에 대하여 X 방향으로 대향하여 배치된다. 제 1 보관부(20A)는, 제 1 베이 내 천장 궤도(11)의 직선부(11a)의 직하(直下)에 대하여 X 방향으로 어긋난 위치에 배치된다. 제 2 보관부(20B)는, 제 2 베이 내 천장 궤도(12)의 직선부(12a)의 직하에 대하여 X 방향으로 어긋난 위치에 배치된다. 제 1, 제 2 보관 에어리어(SA1, SA2)에 있어서, 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)는 상하 방향으로 2 단 마련된다. 단, 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)는 2 단에 한정되지 않고, 1 단 또는 3 단 이상 마련되어도 된다. 또한, 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)는 천장으로부터 매달리는 것 대신에, 바닥면 상에 설치되어도 된다.
제 1 전달 포트(30A)는 제 1 보관부(20A)의 열에 마련된다. 제 2 전달 포트(30B)는 제 2 보관부(20B)의 열에 마련된다. 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)는 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)와 동일한 구성을 가지고 있으며, 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)의 하나 혹은 복수가 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)로서 이용된다. 본 실시 형태에서는, 상하 방향 또한 Y 방향으로 배열된 복수의 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B) 중, 최상단 또한 Y 방향의 양단의 2 개를 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)로서, 다른 것을 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)로서 이용하고 있다. 도 1에서는 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)에 해칭을 넣고 있다. 이와 같이, 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)로서 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)의 최상단을 이용함으로써, 천장 반송차(50) 및 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)의 쌍방에 의해 물품(2)의 전달이 가능해진다. 또한, 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)는 Y 방향의 양단의 2 개에 한정되지 않고, 최상단의 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B) 모두를 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)로서 이용할 수 있다. 또한, 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)는 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)의 최상단인 것에 한정되지 않는다. 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)는, 예를 들면 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)와는 별도로 마련되어도 된다. 예를 들면, 도 1에 나타내는 바와 같이 평면으로 봤을 때, 제 1 베이 간 천장 궤도(13)와 제 1 베이 내 천장 궤도(11)와의 사이, 제 2 베이 간 천장 궤도(14)와 제 1 베이 내 천장 궤도(11)와의 사이, 제 1 베이 간 천장 궤도(13)와 제 2 베이 내 천장 궤도(12)와의 사이, 제 2 베이 간 천장 궤도(14)와 제 2 베이 내 천장 궤도(12)와의 사이에 전달 포트(130)가 마련되어도 된다. 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)은 이 전달 포트(130)에 대하여 물품(2)의 전달이 가능하다. 또한, 천장 반송차(50)는 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 또는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)로부터 전달 포트(130)에 대하여 물품(2)의 전달이 가능하며, 또한 제 1 베이 간 천장 궤도(13) 또는 제 2 베이 간 천장 궤도(14)로부터도 전달 포트(130)에 대하여 물품(2)의 전달이 가능하게 된다. 그 결과, 제 1 베이 간 천장 궤도(13) 또는 제 2 베이 간 천장 궤도(14)에 있어서의 천장 반송차(50)는, 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 또는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)에 진입하지 않고, 전달 포트(130)에 의해 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)과의 사이에서 물품(2)의 전달이 가능하게 된다.
제 1 크레인(40A)은 제 1 보관 에어리어(SA1)에 있어서 물품(2)을 반송한다. 제 2 크레인(40B)은 제 2 보관 에어리어(SA2)에 있어서 물품(2)을 반송한다. 도 4는 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)의 일례를 나타내는 도이다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)은 현수식 크레인이 이용된다. 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)이 현수식 크레인이기 때문에, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)에 대응하는 지상측(바닥면측)에 궤도를 마련할 필요가 없고, 크레인용의 궤도를 저비용으로 설치할 수 있다. 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)은, 도 4에 나타내는 바와 같이 각각 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)와, 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)와, 제 1, 제 2 이동 재치부(44A, 44B)를 구비한다. 제 1, 제 2 이동 재치부(44A, 44B)는 각각 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)와, 제 1, 제 2 승강 구동부(45A, 45B)를 구비한다.
제 1 주행부(41A)는 미도시의 주행 구동부 및 복수의 차륜(71a)(도 6 참조)을 구비하고, 제 1 베이 내 천장 궤도(11)를 따라 주행한다. 제 2 주행부(41B)는 마찬가지로 미도시의 주행 구동부 및 복수의 차륜(71a)(도 6 참조)을 구비하고, 제 2 베이 내 천장 궤도(12)를 따라 주행한다. 주행 구동부는, 예를 들면 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)에 구비되어 차륜(71a)을 구동하는 전동 모터여도 되고, 천장 궤도(10)를 이용하여 마련된 리니어 모터여도 된다. 제 1 주행부(41A)는 제 1 베이 내 천장 궤도(11)로부터 제 1 베이 간 천장 궤도(13) 또는 제 2 베이 간 천장 궤도(14)로 노선 연장하여 주행 가능해도 된다. 제 2 주행부(41B)는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)로부터 제 1 베이 간 천장 궤도(13) 또는 제 2 베이 간 천장 궤도(14)로 노선 연장하여 주행 가능해도 된다. 이 구성에 의해, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)이, 필요에 따라 제 1 베이 내 천장 궤도(11)와 제 2 베이 내 천장 궤도(12)와의 사이를, 제 1 베이 간 천장 궤도(13) 또는 제 2 베이 간 천장 궤도(14)를 개재하여 용이하게 이동할 수 있다.
제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)는 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)로부터 하수하여 상하 방향으로 연장되어 있으며, 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)를 안내한다. 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)는 중공 또는 내부가 찬 봉 형상으로 형성되어, 단면이 원 형상, 타원 형상, 장원 형상 또는 사각형 형상 등의 다각형 형상으로 형성된다. 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)의 하단은 바닥면으로부터 정해진 간격을 둔 상태로 설정된다. 도 4에 있어서, 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)의 하방에는 장착부(46)를 개재하여 상부 지지체(47)가 장착되어 있다. 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)는 상부 지지체(47)의 하면측에 장착되어 있고, 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)로부터 매달린 상태로 되어 있다. 상부 지지체(47)에의 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)의 장착은, 예를 들면 볼트 및 너트 등의 체결 부재가 이용되어도 되며, 용접 등이 이용되어도 된다. 또한, 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)는 1 개여도 되며, 예를 들면 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)의 주행 방향의 전후에 각각 마련되어도 된다.
또한, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)은 2 대의 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)를 이용하고 있다(도 2 및 도 3 참조). 2 대의 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)는 주행 방향으로 배열되어 배치되고, 상부 지지체(47)에 의해 연결되어 있다. 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)는 2 대의 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)에 의해 지지되어 있다. 이와 같이, 중량물인 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)를 2 대의 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)로 확실하게 지지할 수 있다. 또한, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)은 2 대의 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)를 이용하는 것에 한정되지 않고, 1 대 또는 3 대 이상의 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)가 이용되어도 된다. 제 1 크레인(40A)의 제 1 주행부(41A)는 제 1 베이 내 천장 궤도(11)로부터 베이 간 천장 궤도로 노선 연장하여 주행 가능하다. 즉, 제 1 주행부(41A)는 제 1 베이 내 천장 궤도(11)로부터, 제 1 접속 궤도(15) 또는 제 2 접속 궤도(16)를 개재하여, 제 1 베이 간 천장 궤도(13) 또는 제 2 베이 간 천장 궤도(14)로 노선 연장하여 주행할 수 있다. 제 2 크레인(40B)의 제 2 주행부(41B)는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)로부터 베이 간 천장 궤도로 노선 연장하여 주행 가능하다. 즉, 제 2 주행부(41B)는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)로부터, 제 1 접속 궤도(15) 또는 제 2 접속 궤도(16)를 개재하여, 제 1 베이 간 천장 궤도(13) 또는 제 2 베이 간 천장 궤도(14)로 노선 연장하여 주행할 수 있다. 이 구성에 의해, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)은, 필요에 따라 제 1 베이 내 천장 궤도(11)와 제 2 베이 내 천장 궤도(12)와의 사이를, 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 또는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)를 개재하여 용이하게 이동할 수 있다.
제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)는 하면측에 제 1, 제 2 이동 재치부(44A, 44B)가 장착되어 있으며, 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)로 가이드되어 승강 가능하다. 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)는 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)의 표면에 접촉하는 미도시의 가이드 롤러를 구비하고 있어, 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)를 따른 승강 동작을 원활하게 행하고 있다. 또한, 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)의 하부에는 미도시의 하부 지지체가 마련되어 있고, 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)는 이 하부 지지체 상에 접촉하는 위치까지 하강 가능하다. 또한 하부 지지체는, 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)가 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)로부터 하방으로 빠지는 것을 방지한다.
제 1, 제 2 이동 재치부(44A 44B)는, 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)의 주행 방향과 직교하는 방향으로 신축 가능한 암부(48)와, 암부(48)의 선단에 마련되어 물품(2)을 보지하는 보지부(49)를 구비하고 있다. 보지부(49)는 물품(2)의 플랜지부(2a)를 파지함으로써, 물품(2)을 매달아 보지한다. 보지부(49)는, 예를 들면 수평 방향으로 이동 가능한 클로부(49a)를 가지는 척이며, 클로부(49a)를 물품(2)의 플랜지부의 하방에 진입시켜, 보지부(49)를 상승시킴으로써, 물품(2)을 매달아 보지한다.
제 1, 제 2 이동 재치부(44A 44B)는 물품(2)을 수취할 시, 암부(48)를 연장하여 보지부(49)를 물품(2)의 상방에 배치시키고, 클로부(49a)에 플랜지부(2a)를 보지시킨 상태로 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)를 상승시킴으로써, 보지부(49)로 물품(2)을 들어올린다. 이어서, 제 1, 제 2 이동 재치부(44A 44B)는 보지부(49)로 물품(2)을 보지한 채로 암부(48)를 축소함으로써, 물품(2)을 보지한 보지부(49)를 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)의 하방에 배치한다. 또한, 제 1, 제 2 이동 재치부(44A, 44B)는 상기한 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 보지부(49)가 물품(2)을 재치하는 구성이어도 되며, 보지부(49)가 물품(2)의 측면을 파지하여 보지하는 구성이어도 된다.
제 1, 제 2 승강 구동부(45A, 45B)는 예를 들면 호이스트 등이 이용되고, 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)를 따라 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)를 승강시킨다. 제 1, 제 2 승강 구동부(45A, 45B)는 현수 부재(45a) 및 구동부(45b)를 구비한다. 현수 부재(45a)는 예를 들면 벨트 혹은 와이어 등이며, 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)는 이 현수 부재(45a)에 의해 상부 지지체(47)로부터 매달려 있다. 구동부(45b)는 상부 지지체에 마련되어, 현수 부재(45a)의 풀어내기, 감기를 행한다. 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)는 구동부(45b)가 현수 부재를 풀어내면, 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)로 안내되어 하강한다. 또한, 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)는 구동부(45b)가 현수 부재(45a)를 감으면, 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)로 안내되어 상승한다. 구동부(45b)는 제어 장치(60) 등으로 제어되어, 정해진 속도로 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)를 하강 혹은 상승시킨다. 또한, 구동부(45b)는 제어 장치(60) 등으로 제어되어, 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)를 목표의 높이로 유지한다.
제 1, 제 2 승강 구동부(45A, 45B)는 상부 지지체(47)(제 1, 제 2 주행부(41A, 41B))에 마련되지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 제 1, 제 2 승강 구동부(45A, 45B)는, 예를 들면 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)에 마련되어도 된다. 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)에 제 1, 제 2 승강 구동부(45A, 45B)가 마련되는 구성으로서는, 예를 들면 상부 지지체(47)로부터 매단 벨트 혹은 와이어 등을 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)에 탑재한 호이스트 등에 의해 감기 또는 풀어내기를 행하여 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)를 승강시켜도 된다. 또한, 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)에 피니언 기어를 구동하는 전동 모터 등이 탑재되고, 이 피니언 기어가 서로 맞물리는 랙이 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)에 형성되고, 전동 모터 등을 구동하여 피니언 기어를 회전시킴으로써 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)를 승강시켜도 된다.
제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)은, 도 4에 나타내는 바와 같이 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)의 로드 포트(LP)와, 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)와, 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)와의 사이에서 물품(2)을 반송한다. 또한, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)은 물품(2)을 현재의 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)로부터 다른 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)로 반송한다. 예를 들면, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)은 하단의 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)와 상단의 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)와의 사이에서 물품(2)을 반송한다.
천장 반송차(50)는 천장 궤도(10)(제 1 베이 내 천장 궤도(11), 제 2 베이 내 천장 궤도(12), 제 1 베이 간 천장 궤도(13) 및 제 2 베이 간 천장 궤도(14))를 따라 이동하고, 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)의 로드 포트(LP)와, 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)와, 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)와의 사이에서 물품(2)의 전달을 행한다.
도 5는 천장 반송차(50)의 일례를 나타내는 도이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 천장 반송차(50)는 주행부(51)와, 본체부(52)를 가진다. 주행부(51)는 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)와 마찬가지로, 미도시의 주행 구동부 및 복수의 차륜(71a)(도 6 참조)을 구비하고, 천장 궤도(10)를 따라 주행한다. 주행 구동부는, 예를 들면 주행부(51)에 구비되어 차륜(71a)을 구동하는 전동 모터여도 되며, 천장 궤도(10)를 이용하여 마련된 리니어 모터여도 된다.
본체부(52)는 장착부(52a)를 개재하여 주행부(51)의 하부에 장착되어 있다. 본체부(52)는 물품(2)을 보지하는 보지부(53)와, 보지부(53)를 매달아 승강시키는 승강 구동부(54)와, 승강 구동부(54)를 이동시키는 횡측 돌출 기구(55)를 가진다. 보지부(53)는 물품(2)의 플랜지부(2a)를 파지함으로써, 물품(2)을 매달아 보지한다. 보지부(53)는, 예를 들면 수평 방향으로 이동 가능한 클로부(53a)를 가지는 척이며, 클로부(53a)를 물품(2)의 플랜지부의 하방에 침입시켜, 보지부(53)를 상승시킴으로써, 물품(2)을 보지한다. 보지부(53)는 와이어 혹은 벨트 등의 현수 부재(53b)와 접속되어 있다. 보지부(53)는 승강 구동부(54)로부터 매달려 요동 가능한 상태로 승강한다. 보지부(53)와, 상기한 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)의 보지부(49)는 동일한 구성이어도 되며, 다른 구성이어도 된다.
승강 구동부(54)는 예를 들면 호이스트이며, 현수 부재(53b)를 풀어냄으로써 보지부(53)를 강하시키고, 현수 부재(53b)를 감음으로써 보지부(53)를 상승시킨다. 승강 구동부(54)는 제어 장치(60) 등으로 제어되고, 정해진 속도로 보지부(53)를 강하 혹은 상승시킨다. 또한, 승강 구동부(54)는 제어 장치(60) 등으로 제어되고, 보지부(53)를 목표의 높이로 유지한다.
횡측 돌출 기구(55)는, 예를 들면 상하 방향으로 적층하여 배치된 가동판을 가진다. 가동판은 주행부(51)의 주행 방향의 측방(주행 방향에 직교하는 방향)으로 이동 가능하다. 가동판에는 회동부 및 승강 구동부(54)가 장착되어 있다. 본체부(52)는 횡측 돌출 기구(55)를 안내하는 미도시의 가이드, 및 횡측 돌출 기구(55)를 구동하는 미도시의 구동부 등을 가진다. 횡측 돌출 기구(55)는 전동 모터 등의 구동부로부터의 구동력에 의해, 승강 구동부(54) 및 보지부(53)를 가이드를 따라, 돌출 위치와 저장 위치와의 사이에서 이동시킨다. 돌출 위치는 본체부(52)로부터 측방으로 돌출하는 위치이다. 저장 위치는 본체부(52) 내에 저장되는 위치이다.
회동부는 미도시의 회동 부재 및 회동 구동부를 가진다. 회동 부재는 상하 방향의 축 둘레로 회동 가능하게 마련된다. 회동 부재는 승강 구동부(54) 혹은 보지부(53)에 장착된다. 회동 구동부는 전동 모터 등이 이용되고, 회동 부재를 상하 방향의 축 둘레로 회동시킨다. 회동부는 회동 구동부로부터의 구동력에 의해 회동하고, 승강 구동부(54) 혹은 보지부(53)를 상하 방향의 축 둘레로 회동 가능하다. 이 회동부에 의해 보지부(53)로 보지하는 물품(2)의 방향을 바꿀 수 있다. 또한, 천장 반송차(50)는 회동부를 구비하지 않아도 된다.
도 6은 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B) 및 주행부(51)의 일례를 나타내는 도이다. 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B) 및 주행부(51)는, 예를 들면 공통의 구성(동일 또는 거의 동일한 구성)이 채용되고 있다. 또한, 천장 궤도(10)에 있어서의 제 1 베이 내 천장 궤도(11), 제 2 베이 내 천장 궤도(12), 제 1 베이 간 천장 궤도(13) 및 제 2 베이 간 천장 궤도(14)는 주행 방향에 직교하는 평면에 의한 단면이 동일 또는 거의 동일하며, 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B) 및 주행부(51) 모두 주행 가능하게 되어 있다. 이와 같이, 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B) 및 주행부(51)가 공통이기 때문에, 제 1, 제 2 주행부(41A, 41B)와 주행부(51)를 별도의 구성으로 제조할 필요가 없어, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B) 및 천장 반송차(50)의 제조 비용을 저감할 수 있다.
제 1, 제 2 주행부(41A, 41B) 및 주행부(51)는, 천장 궤도(10)의 하방의 내면에 접촉하는 복수의 차륜(71a)과, 이들 복수의 차륜(71a)이 장착되는 주행부 본체(71b)를 가지고 있다. 주행부 본체(71b)는 차륜(71a)을 구동하기 위한 주행 구동부, 및 각종 센서를 구비하고 있다. 천장 궤도(10)는 급전부(70)를 구비하고 있다. 급전부(70)는 급전 레일(75)과, 급전 레일(75)에 마련된 비접촉 급전선(76)을 가지고 있다. 급전부(70)는 천장 궤도(10)의 하방에 배치되고, 천장 궤도(10)를 따라 연속적으로 또는 단속적으로 마련되어 있다. 또한, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)의 장착부(46) 및 천장 반송차(50)의 장착부(52a)에는 수전부(73)가 마련되어 있다. 수전부(73)는 비접촉 급전선(76)을 개재하여 수전하고, 주행부 본체(71b) 등에 전력을 공급한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 제어 장치(60)는 반송 시스템(100)을 통괄하여 제어한다. 제어 장치(60)는 무선 또는 유선에 의한 통신에 의해 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B) 및 천장 반송차(50)의 동작을 제어한다. 또한, 제어 장치(60)는 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)을 제어하는 제어 장치와, 천장 반송차(50)를 제어하는 제어 장치로 분할되어도 된다. 또한, 제 1 크레인(40A)과 제 2 크레인(40B)에서, 상이한 제어 장치에 의해 제어되어도 된다.
상기한 반송 시스템(100)에 있어서, 제 1 크레인(40A)은 제 1 보관 에어리어(SA1) 내에서 물품(2)을 반송한다. 예를 들면, 제 1 크레인(40A)은 제 1 베이 내 천장 궤도(11)를 따라 일방향, 예를 들면 도 1에 있어서의 반시계 방향으로 주행하고, 제 1 처리 장치(TL1)의 로드 포트(LP)와, 제 1 보관부(20A)와, 제 1 전달 포트(30A)와의 사이에서 물품(2)을 반송한다. 제 2 크레인(40B)은 제 2 보관 에어리어(SA2) 내에서 물품(2)을 반송한다. 예를 들면, 제 2 크레인(40B)은 제 2 베이 내 천장 궤도(12)를 따라 일방향, 예를 들면 도 1에 있어서의 반시계 방향으로 주행하고, 제 2 처리 장치(TL2)의 로드 포트(LP)와, 제 2 보관부(20B)와, 제 2 전달 포트(30B)와의 사이에서 물품(2)을 반송한다. 예를 들면, 천장 반송차(50)에 의해 물품(2)이 제 1 전달 포트(30A) 또는 제 2 전달 포트(30B)에 재치된 경우, 제 1 크레인(40A)은 제 1 전달 포트(30A)까지 이동하여 물품(2)을 제 1 이동 재치부(44A)(도 4 참조)에 의해 수취할 수 있고, 제 2 크레인(40B)은 제 2 전달 포트(30B)까지 이동하여 물품(2)을 제 2 이동 재치부(44B)(도 4 참조)에 의해 수취할 수 있다.
이 후, 제 1 크레인(40A)은 제 1 처리 장치(TL1)의 로드 포트(LP) 또는 제 1 보관부(20A)까지 주행하여, 물품(2)을 제 1 처리 장치(TL1)의 로드 포트(LP) 또는 제 1 보관부(20A)에 재치할 수 있다. 또한, 제 1 크레인(40A)은 제 1 보관부(20A)에 보관된 물품(2)을 제 1 이동 재치부(44A)에 의해 수취하고, 제 1 처리 장치(TL1)의 로드 포트(LP) 또는 제 1 전달 포트(30A)까지 주행하여, 제 1 이동 재치부(44A)에 의해 물품(2)을 제 1 처리 장치(TL1)의 로드 포트(LP) 또는 제 1 전달 포트(30A)에 재치할 수 있다. 제 2 크레인(40B)은 제 2 처리 장치(TL2)의 로드 포트(LP) 또는 제 2 보관부(20B)까지 주행하여, 물품(2)을 제 2 처리 장치(TL2)의 로드 포트(LP) 또는 제 2 보관부(20B)에 재치할 수 있다. 또한, 제 2 크레인(40B)은 제 2 보관부(20B)에 보관된 물품(2)을 제 2 이동 재치부(44B)에 의해 수취하고, 제 2 처리 장치(TL2)의 로드 포트(LP) 또는 제 2 전달 포트(30B)까지 주행하여, 제 2 이동 재치부(44B)에 의해 물품(2)을 제 2 처리 장치(TL2)의 로드 포트(LP) 또는 제 2 전달 포트(30B)에 재치할 수 있다. 또한, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)은 상하의 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B)의 사이에서 물품(2)을 반송할 수 있다. 또한, 제 1 크레인(40A)은 천장 반송차(50)에 의해 물품(2)이 제 1 전달 포트(30A)에 재치된 경우, 반송처의 제 1 처리 장치(TL1)의 로드 포트(LP)로 반송 가능하면, 그 로드 포트(LP)로 물품(2)을 반송하고, 반송처의 로드 포트(LP)로 반송 가능하지 않으면 물품(2)을 제 1 보관부(20A)로 반송하여, 반송 가능하게 된 시점에서 제 1 보관부(20A)로부터 반송처의 제 1 처리 장치(TL1)의 로드 포트(LP)로 물품(2)을 반송한다. 또한, 제 2 크레인(40B)은 천장 반송차(50)에 의해 물품(2)이 제 2 전달 포트(30B)에 재치된 경우, 반송처의 제 2 처리 장치(TL2)의 로드 포트(LP)로 반송 가능하면, 그 로드 포트(LP)로 물품(2)을 반송하고, 반송처의 로드 포트(LP)로 반송 가능하지 않으면 물품(2)을 제 2 보관부(20B)로 반송하여, 반송 가능하게 된 시점에서 제 2 보관부(20B)로부터 반송처의 제 2 처리 장치(TL2)의 로드 포트(LP)로 물품(2)을 반송한다.
반송 시스템(100)에 있어서, 천장 반송차(50)는 상이한 제 1 보관 에어리어(SA1)와 제 2 보관 에어리어(SA2)와의 사이에서 물품(2)을 반송한다. 천장 반송차(50)는 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)보다 주행 속도가 빠르게 설정되어 있다. 그 결과, 떨어져 있는 제 1, 제 2 보관 에어리어(SA1, SA2)의 사이라도 천장 반송차(50)에 의해 단시간에 물품(2)을 반송하는 것이 가능하다. 또한, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B) 및 천장 반송차(50)의 주행 속도는 임의로 설정 가능하며, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B) 및 천장 반송차(50)의 주행 속도를 동일하게 해도 된다.
도 7 내지 도 9는 천장 반송차(50)에 의해 물품(2)을 반송할 시의 이동 경로의 일례를 나타내는 도이다. 도 7 내지 도 9에서는, 제 2 보관 에어리어(SA2)로부터 제 1 보관 에어리어(SA1) 또는 제 1 장치 에어리어(TA1)를 다음의 반송처로 하는 물품(2)이 제 2 크레인(40B)에 의해 제 2 전달 포트(30B)에 재치된 예를 나타내고 있다.
예를 들면, 도 7에 나타내는 바와 같이 제 2 보관 에어리어(SA2)의 +Y측 단부 또한 -X측에 배치되는 제 2 전달 포트(30B)에 물품(2)이 재치된 경우, 제어 장치(60)(도 1 참조)는 천장 반송차(50)에 대하여 제 2 보관 에어리어(SA2)의 제 2 전달 포트(30B)의 물품(2)을, 제 1 보관 에어리어(SA1)의 제 1 전달 포트(30A)로 반송하도록 지시한다. 천장 반송차(50)는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)를 따라 제 2 전달 포트(30B)까지 이동하여, 횡측 돌출 기구(55)를 +X 방향으로 돌출시키고, 승강 구동부(54)를 구동하여 보지부(53)를 하강시킴으로써, 제 2 전달 포트(30B)의 물품(2)을 보지부(53)에 의해 보지한다. 또한, 천장 반송차(50)는 제어 장치(60) 등으로부터의 정보에 의해, 수취한 물품(2)의 반송처가 제 1 보관 에어리어(SA1)의 +Y측 단부 또한 +X측에 배치되는 제 1 전달 포트(30A)인 것을 취득하고 있다.
또한, 제 2 크레인(40B) 및 천장 반송차(50)는 제 2 베이 내 천장 궤도(12) 내에 있어서, 예를 들면 시계 방향의 동일 방향으로 주회 주행한다. 그 결과, 제 2 크레인(40B)과 천장 반송차(50)가 간섭하는 타이밍, 및 천장 반송차(50)끼리가 간섭하는 타이밍을 감소시킬 수 있다.
또한, 제 2 베이 내 천장 궤도(12)에는 제 2 크레인(40B) 혹은 다른 천장 반송차(50)도 주행 또는 정지한 상태로 존재하는 경우도 있지만, 천장 반송차(50)에 구비하는 근접 센서 등에 의해 제 2 크레인(40B) 혹은 다른 천장 반송차(50)와의 간섭을 회피할 수 있다. 천장 반송차(50)의 주행 방향으로 제 2 크레인(40B) 혹은 다른 천장 반송차(50)가 존재하고 있는 경우, 제어 장치(60) 등으로부터 제 2 크레인(40B) 혹은 다른 천장 반송차(50)에 대하여 주기 주행을 지시하고, 물품(2)을 반송하는 천장 반송차(50)의 주행을 확보해도 된다. 또한, 제 2 크레인(40B) 혹은 다른 천장 반송차(50)는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)를 주회 주행하는 것 대신에, 제 2 베이 내 천장 궤도(12)로부터 제 1 접속 궤도(15) 또는 제 2 접속 궤도(16)를 개재하여 제 1 베이 간 천장 궤도(13) 또는 제 2 베이 간 천장 궤도(14)로 이동해도 된다.
이어서 도 8에 나타내는 바와 같이, 천장 반송차(50)는 물품(2)을 보지한 채로 제 2 베이 내 천장 궤도(12)를 시계 방향으로 주행하고, 제 2 베이 내 천장 궤도(12)의 직선부(12a)로부터 제 1 접속 궤도(15)의 출구부(15b)를 거쳐 제 1 베이 간 천장 궤도(13)로 이동한다(도 8의 화살표 참조). 제 2 베이 내 천장 궤도(12), 제 1 접속 궤도(15) 및 제 1 베이 간 천장 궤도(13)는 단면 형상이 동일 또는 거의 동일하기 때문에(도 6 참조), 천장 반송차(50)는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)로부터 지장 없이 제 1 베이 간 천장 궤도(13)로 이동할 수 있다.
이어서 도 9에 나타내는 바와 같이, 천장 반송차(50)는, 제 1 베이 간 천장 궤도(13)를 -X 방향을 향해 주행하고, 제 1 베이 간 천장 궤도(13)로부터 제 1 접속 궤도(15)의 입구부(15a)를 거쳐 제 1 베이 내 천장 궤도(11)로 이동한다(도 9의 화살표 참조). 이 후, 천장 반송차(50)는 제 1 접속 궤도(15)의 입구부(15a)로부터 제 1 베이 내 천장 궤도(11)의 직선부(11a)로 이동하고, 반송처의 제 1 전달 포트(30A)에 대응하는 위치에서 정지한다. 이어서, 천장 반송차(50)는 횡측 돌출 기구(55)를 -X 방향으로 돌출시켜, 승강 구동부(54)를 구동하여 보지부(53)를 하강시킴으로써, 제 1 전달 포트(30A)에 물품(2)을 재치한다.
이상의 동작에 의해, 물품(2)을 제 2 보관 에어리어(SA2)로부터 제 1 보관 에어리어(SA1)로 반송할 수 있다. 또한 상기와 같이, 제 1, 제 2 보관 에어리어(SA1, SA2)의 +Y측 또는 -Y측 단부에 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)를 배치함으로써, 제 1, 제 2 보관 에어리어(SA1, SA2) 내의 중간 부분 등에 있어서, 물품(2)의 전달을 위하여 천장 반송차(50)가 정지하는 것을 회피할 수 있어, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)의 가동 범위를 넓게 하는 것이 가능해진다.
또한, 예를 들면 제 1 크레인(40A)에 의해, 제 1 보관 에어리어(SA1)의 제 1 전달 포트(30A)에, 물품(2)(반송처가 제 2 보관 에어리어(SA2)인 제 2 전달 포트(30B))이 재치된 경우, 제어 장치(60)는 제 1 보관 에어리어(SA1)의 제 1 전달 포트(30A)의 물품(2)을, 제 2 보관 에어리어(SA2)의 제 2 전달 포트(30B)로 반송하도록 천장 반송차(50)에 대하여 지시한다. 천장 반송차(50)는 제 1 베이 내 천장 궤도(11)를 따라 제 1 전달 포트(30A)까지 이동하고, 횡측 돌출 기구(55)를 -X 방향 또는 +X 방향으로 돌출시켜, 승강 구동부(54)를 구동하여 보지부(53)에 의해 제 1 전달 포트(30A)의 물품(2)을 보지한다. 또한, 천장 반송차(50)는 제어 장치(60) 등으로부터의 정보에 의해, 수취한 물품(2)의 반송처인 제 2 보관 에어리어(SA2)의 제 2 전달 포트(30B)의 위치 정보(주소)를 취득하고 있다.
이어서, 천장 반송차(50)는 물품(2)을 보지한 채로 제 1 베이 내 천장 궤도(11)를 시계 방향으로 주행하고, 제 1 베이 내 천장 궤도(11)의 직선부(11a)로부터 제 2 접속 궤도(16)의 출구부(16b)(도 1 참조)를 거쳐 제 2 베이 간 천장 궤도(14)로 이동한다. 또한, 제 2 접속 궤도(16)는 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 및 제 2 베이 간 천장 궤도(14)와 단면 형상이 동일 또는 거의 동일하기 때문에(도 6 참조), 천장 반송차(50)는 제 1 베이 내 천장 궤도(11)로부터 지장 없이 제 2 베이 간 천장 궤도(14)로 이동할 수 있다.
이어서, 천장 반송차(50)는 제 2 베이 간 천장 궤도(14)를 +X 방향을 향해 주행하고, 제 2 베이 간 천장 궤도(14)로부터 제 2 접속 궤도(16)의 입구부(16a)를 거쳐 제 2 베이 내 천장 궤도(12)로 이동한다. 이 후, 천장 반송차(50)는 제 2 베이 내 천장 궤도(12)를 주회 주행하고, 반송처의 제 2 전달 포트(30B)에 대응하는 위치에서 정지한다. 이어서, 천장 반송차(50)는 횡측 돌출 기구(55)를 +X 방향 또는 -X 방향으로 돌출시켜, 승강 구동부(54)를 구동하여 보지부(53)에 의해 제 2 전달 포트(30B)에 물품(2)을 재치한다. 이상의 동작에 의해, 물품(2)을 제 1 보관 에어리어(SA1)로부터 제 2 보관 에어리어(SA2)로 반송할 수 있다.
또한 상기한 실시 형태에서는, 물품(2)을 제 1 보관 에어리어(SA1)와 제 2 보관 에어리어(SA2)와의 사이에서 반송하는 예를 나타내고 있지만, 제 1 보관 에어리어(SA1)와 다른 보관 에어리어와의 사이, 또는 제 2 보관 에어리어(SA2)와 다른 보관 에어리어와의 사이에 대해서도, 상기와 같은 동작에 의해 물품(2)을 반송할 수 있다. 또한, 다른 보관 에어리어의 전달 포트에 재치된 물품(2)은, 그 보관 에어리어에 존재하는 크레인에 의해 보관부 또는 처리 장치의 로드 포트로 반송되는 점은 상기와 같다.
이상과 같이, 본 실시 형태를 따른 반송 시스템(100)에 의하면, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)은 주행하면서 제 1, 제 2 승강대(43A, 43B)를 승강시킬 수 있기 때문에, 정지 후에 보지부(53)를 승강시켜야 하는 천장 반송차(50)보다 물품(2)의 이동 재치에 요하는 시간이 짧아, 베이 내(제 1, 제 2 보관 에어리어(SA1, SA2) 내)에 있어서의 물품(2)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 베이 내에 있어서의 물품(2)의 반송을 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)이 행함으로써 물품(2)의 보관수를 증가시킬 수 있다. 또한, 천장 반송차(50)는 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)의 제 1, 제 2 마스트(42A, 42B)와 같은 수하하는 부재가 없어, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)보다 빠르게 이동할 수 있으므로, 베이 간(예를 들면 제 1 보관 에어리어(SA1)와 제 2 보관 에어리어(SA2)와의 사이)의 물품(2)의 반송을 천장 반송차(50)가 행함으로써 물품(2)을 단시간에 반송할 수 있다. 이와 같이, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)과 천장 반송차(50)와의 역할을 나눔으로써, 반송 시스템(100) 전체에 있어서의 물품(2)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 제 1 베이 내 천장 궤도(11)를 제 1 크레인(40A)와 천장 반송차(50)에서 공용하고, 제 2 베이 내 천장 궤도(12)를 제 2 크레인(40B)와 천장 반송차(50)에서 공용하기 때문에, 천장 궤도를 따로 마련할 필요가 없어, 천장 궤도(10)의 부설에 요하는 비용을 저감할 수 있다.
또한, 천장 반송차(50)는 제 1 베이 내 천장 궤도(11) 및 제 2 베이 간 천장 궤도(14)를 주행 가능하기 때문에, 도 5의 일점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)의 로드 포트(LP)와의 사이에서 물품(2)의 전달이 가능하다. 그 결과, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)의 고장, 또는 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)이 다른 물품(2)의 반송으로 손이 미치지 못하는 등의 사태가 생겼을 경우, 일시적으로 로드 포트(LP)와의 물품(2)의 전달을 천장 반송차(50)에 의해 행할 수 있어, 반송 효율의 저하를 방지할 수 있다. 또한 천장 반송차(50)는, 다른 에어리어로부터 반송되어 온 물품(2)의 반송처의 로드 포트(LP)가 비어 있는 경우(반송 가능한 경우)에는, 그대로 물품(2)을 반송처의 로드 포트(LP)로 반송함으로써, 물품(2)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
상기한 실시 형태에서는, 제 1, 제 2 보관부(20A, 20B) 및 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)의 선반부를 제 1, 제 2 보관 에어리어(SA1, SA2) 내에 배치하는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이 구성에 한정되지 않고, 보관부 및 전달 포트가 제 1, 제 2 보관 에어리어(SA1, SA2)의 외측에 배치되어도 된다.
도 10은 보관부 및 전달 포트의 다른 예를 나타내는 도이다. 이하의 설명에 있어서, 상기한 실시 형태와 동일 또는 동등의 구성 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하여 설명을 생략 또는 간략화한다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 보관부(220)(또는 전달 포트(330))는 제 1, 제 2 장치 에어리어(TA1, TA2)에 있어서, 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)의 로드 포트(LP)의 상방에 배치되어도 된다. 이 구성에 의해, 로드 포트(LP)의 상방의 스페이스를 보관 에어리어로서 유효하게 활용할 수 있다. 또한, 이 보관부(220)(또는 전달 포트(230))에 대하여, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B) 및 천장 반송차(50)의 쌍방이 물품(2)의 전달을 행할 수 있다. 단, 이 구성에서는, 천장 반송차(50)는 로드 포트(LP)에 대하여 직접 물품(2)의 전달을 행할 수 없다. 한편, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)은 로드 포트(LP)에 대하여 물품(2)의 전달을 행할 수 있다.
또한 도 10에 나타내는 바와 같이, 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)와, 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)와의 사이에 보관 선반(80)이 마련되어도 된다. 보관 선반(80)은 내부의 상하 방향 및 좌우 방향(Y 방향)으로 복수의 보관부(320)가 마련되고, 상면(80a)에 전달 포트(330)가 마련되어 있다. 이 구성에 의해, 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2) 사이에 생긴 스페이스를 보관 에어리어로서 유효하게 활용할 수 있다. 보관 선반(80)의 보관부(320)에 대해서는, 제 1, 제 2 크레인(40)이 물품(2)의 전달을 행할 수 있다. 또한, 보관 선반(80)의 상면(80a)의 전달 포트(330)에 대해서는, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B) 및 천장 반송차(50)의 쌍방이 물품(2)의 전달을 행할 수 있다. 또한, 제 1, 제 2 크레인(40A, 40B)은 보관부(220)와 보관부(320)와의 사이에서 물품(2)을 반송할 수 있다. 또한, 도 10에서는 보관부(220) 및 보관 선반(80)의 쌍방이 마련되는 예를 나타내고 있지만, 이 구성 대신에, 로드 포트(LP)의 상방에 보관부(220)가 마련되지 않고, 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)와 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2)와의 사이(혹은 로드 포트(LP)와 로드 포트(LP)와의 사이)에 보관 선반(80)이 마련되는 구성이어도 된다. 예를 들면, 도 1에 나타내는 제 1 처리 장치(TL1)와 제 1 처리 장치(TL1)와의 사이, 또는 제 2 처리 장치(TL2)와 제 2 처리 장치(TL2)와의 사이(혹은 로드 포트(LP)와 로드 포트(LP)와의 사이)에 보관 선반(80)이 마련되는 구성이어도 된다. 이 구성에 의해, 상기와 마찬가지로 제 1, 제 2 처리 장치(TL1, TL2) 사이(로드 포트(LP) 사이)에 생긴 스페이스를 보관 에어리어로서 유효하게 활용할 수 있다.
이와 같이, 보관부(220), 및 보관부(320)를 구비하는 보관 선반(80)을 배치함으로써, 반송 시스템(100)에 있어서, 물품(2)의 보관수를 용이하게 증대시킬 수 있다. 또한, 반송 시스템(100)에 있어서, 보관부(220) 또는 보관 선반(80)의 설치 수는 임의로 설정 가능하다.
이상, 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다. 예를 들면, 상기한 반송 시스템(100)에 있어서, 천장 반송차(50)의 이동 경로 중에 스토커(자동 창고) 등이 배치되어도 된다. 스토커는, 예를 들면 제 1 베이 간 천장 궤도(13) 및 제 2 베이 간 천장 궤도(14) 중 어느 일방 또는 쌍방에 마련되어도 된다. 천장 반송차(50)는 이 스토커의 전달 포트에 대하여 물품(2)의 전달이 가능하며, 예를 들면 스토커와 제 1, 제 2 전달 포트(30A, 30B)와의 사이에서 물품(2)을 반송 가능해도 된다. 또한, 법령으로 허용되는 한에 있어서, 일본 특허출원인 특허출원 2017-128570 및 본 명세서에서 인용한 모든 문헌 의 내용을 원용하여 본문의 기재의 일부로 한다.
SA1 : 제 1 보관 에어리어
SA2 : 제 2 보관 에어리어
TA1 : 제 1 장치 에어리어
TA2 : 제 2 장치 에어리어
LP : 로드 포트
TL1 : 제 1 처리 장치
TL2 : 제 2 처리 장치
2 : 물품
2a : 플랜지부
10 : 천장 궤도
11 : 제 1 베이 내 천장 궤도
12 : 제 2 베이 내 천장 궤도
13 : 제 1 베이 간 천장 궤도
14 : 제 2 베이 간 천장 궤도
15 : 제 1 접속 궤도
16 : 제 2 접속 궤도
20A : 제 1 보관부
20B : 제 2 보관부
30A : 제 1 전달 포트
30B : 제 2 전달 포트
40A : 제 1 크레인
40B : 제 2 크레인
41A : 제 1 주행부
41B : 제 2 주행부
42A : 제 1 마스트
42B : 제 2 마스트
43A : 제 1 승강대
43B : 제 2 승강대
44A : 제 1 이동 재치부
44B : 제 2 이동 재치부
45A : 제 1 승강 구동부
45B : 제 2 승강 구동부
50 : 천장 반송차
51 : 주행부
52 : 본체부
53 : 보지부
54 : 승강 구동부
60 : 제어 장치
80 : 보관 선반
100 : 반송 시스템
220, 320 : 보관부
230, 330 : 전달 포트

Claims (5)

  1. 제 1 처리 장치의 로드 포트의 직상으로부터 어긋나고 또한 상기 제 1 처리 장치의 로드 포트를 따라 마련된 제 1 베이 내 천장 궤도와,
    제 2 처리 장치의 로드 포트의 직상으로부터 어긋나고 또한 상기 제 2 처리 장치의 로드 포트를 따라 마련된 제 2 베이 내 천장 궤도와,
    상기 제 1 베이 내 천장 궤도와 상기 제 2 베이 내 천장 궤도를 연결하는 베이 간 천장 궤도와,
    상기 제 1 베이 내 천장 궤도 및 상기 제 2 베이 내 천장 궤도 각각의 하방 또한 측방에 있어서 상하 방향으로 복수 단 마련되어, 물품을 보관하는 제 1 보관부 및 제 2 보관부와,
    상기 제 1 베이 내 천장 궤도 및 상기 제 2 베이 내 천장 궤도 각각의 하방 또한 측방에 마련된 제 1 전달 포트 및 제 2 전달 포트와,
    상기 제 1 베이 내 천장 궤도를 따라 주행하는 제 1 주행부, 상기 제 1 주행부로부터 하수하는 제 1 마스트, 및 상기 제 1 마스트로 가이드되어 승강하는 제 1 이동 재치부를 구비하고 또한 상기 제 1 처리 장치의 로드 포트, 상기 제 1 보관부, 및 상기 제 1 전달 포트의 사이에서 물품을 반송하는 제 1 크레인과,
    상기 제 2 베이 내 천장 궤도를 따라 주행하는 제 2 주행부, 상기 제 2 주행부로부터 하수하는 제 2 마스트, 및 상기 제 2 마스트로 가이드되어 승강하는 제 2 이동 재치부를 구비하고 또한 상기 제 2 처리 장치의 로드 포트, 상기 제 2 보관부, 및 상기 제 2 전달 포트의 사이에서 물품을 반송하는 제 2 크레인과,
    상기 제 1 베이 내 천장 궤도, 상기 제 2 베이 내 천장 궤도, 및 상기 베이 간 천장 궤도를 따라 주행하는 주행부, 물품을 보지하는 보지부, 상기 보지부를 매달아 승강시키는 승강 구동부, 및 상기 승강 구동부를 측방으로 돌출시키는 횡측 돌출 기구를 구비하고 또한 상기 제 1 전달 포트와 상기 제 2 전달 포트와의 사이에서 물품을 반송하는 천장 반송차를 구비하는, 반송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 크레인은 현수식 크레인인, 반송 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 베이 내 천장 궤도 및 상기 제 2 베이 내 천장 궤도는 주회 궤도이며,
    상기 제 1 크레인 및 상기 천장 반송차는 상기 제 1 베이 내 천장 궤도를 동일 방향으로 주회 주행하고,
    상기 제 2 크레인 및 상기 천장 반송차는 상기 제 2 베이 내 천장 궤도를 동일 방향으로 주회 주행하는, 반송 시스템.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 전달 포트 및 상기 제 2 전달 포트는, 상기 제 1 보관부 및 상기 제 2 보관부 각각의 최상단에 배치되는, 반송 시스템.
  5. 제 1 처리 장치의 로드 포트의 직상으로부터 어긋나고 또한 상기 제 1 처리 장치의 로드 포트를 따라 마련된 제 1 베이 내 천장 궤도와,
    제 2 처리 장치의 로드 포트의 직상으로부터 어긋나고 또한 상기 제 2 처리 장치의 로드 포트를 따라 마련된 제 2 베이 내 천장 궤도와,
    상기 제 1 베이 내 천장 궤도와 상기 제 2 베이 내 천장 궤도를 연결하는 베이 간 천장 궤도와,
    상기 제 1 베이 내 천장 궤도 및 상기 제 2 베이 내 천장 궤도 각각의 하방 또한 측방에 있어서 상하 방향으로 복수 단 마련되어, 물품을 보관하는 제 1 보관부 및 제 2 보관부와,
    상기 제 1 베이 내 천장 궤도 및 상기 제 2 베이 내 천장 궤도 각각의 하방 또한 측방에 마련된 제 1 전달 포트 및 제 2 전달 포트와,
    상기 제 1 베이 내 천장 궤도를 따라 주행하는 제 1 주행부, 상기 제 1 주행부로부터 하수하는 제 1 마스트, 및 상기 제 1 마스트로 가이드되어 승강하는 제 1 이동 재치부를 구비하는 제 1 크레인과,
    상기 제 2 베이 내 천장 궤도를 따라 주행하는 제 2 주행부, 상기 제 2 주행부로부터 하수하는 제 2 마스트, 및 상기 제 2 마스트로 가이드되어 승강하는 제 2 이동 재치부를 구비하는 제 2 크레인과,
    상기 제 1 베이 내 천장 궤도, 상기 제 2 베이 내 천장 궤도, 및 상기 베이 간 천장 궤도를 따라 주행하는 주행부, 물품을 보지하는 보지부, 상기 보지부를 매달아 승강시키는 승강 구동부, 및 상기 승강 구동부를 측방으로 돌출시키는 횡측 돌출 기구를 구비하는 천장 반송차를 구비하는 반송 시스템에 있어서의 반송 방법으로서,
    상기 제 1 크레인은 상기 제 1 처리 장치의 로드 포트와, 상기 제 1 보관부와, 상기 제 1 전달 포트와의 사이에서 물품을 반송하고,
    상기 제 2 크레인은 상기 제 2 처리 장치의 로드 포트와, 상기 제 2 보관부와, 상기 제 2 전달 포트와의 사이에서 물품을 반송하고,
    상기 천장 반송차는 상기 제 1 전달 포트와 상기 제 2 전달 포트와의 사이에서 물품을 반송하는, 반송 방법.
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KR20200010351A (ko) * 2017-06-30 2020-01-30 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 방법

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