KR20080066534A - 물품 공급 장치 - Google Patents

Abstract

(구성) 천정 주행차(22)는 포드 버퍼(16)와의 사이에서 포드(18)를 주고 받고, 이송 장치(28)가 부착된 대차(26)에 의해 포드(18)를 버퍼(16)와 로드 포트(14, 15) 사이에서 주고 받는다. 로드 포트(14, 15)로부터는 소터(4, 6)로 웨이퍼를 포드(18)로부터 출납하고, 처리 대기 중이거나 처리가 완료된 웨이퍼를 버퍼(8, 9)로 보관한다.

(효과) 처리 장치를 놀게 하지 않고, 또한 웨이퍼의 처리 순서나 포드로의 조합을 적절히 변경할 수 있다.

물품 공급 장치

Description

물품 공급 장치{APPARATUS FOR SUPPLYING ARTICLE}

본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 물품을 처리 장치로 공급하는 장치에 관한 것이다.

출원인은 액정 기판 혹은 플라즈마 디스플레이 기판 등을 트레이에 수용하고, 처리 장치로 공급하는 장치를 제안했다(특허문헌1 : 일본 특허 공개 2004-168483). 이 장치에서는 트레이를 컨베이어로 반송해서 처리 장치 앞에서 스톡하고, 기판을 트레이로부터 인출해서 처리 장치로 공급한다.

그런데 반도체 웨이퍼 등을 처리 장치에 공급할 경우 복수의 웨이퍼가 1개의 포드에 수용되어서 반송된다. 여기서 타이밍 좋게 처리 장치로 웨이퍼가 공급되지 않으면 처리 장치의 효율이 저하된다. 특히 포드의 수용 장수와 처리 장치에서 일괄하여 처리하는 장수가 다른 경우라도, 처리 장치로 필요 장수의 웨이퍼를 공급 할 필요가 있다. 또 포드가 도착하는 순서와 처리 장치에서 웨이퍼를 처리하는 우선도가 다른 경우에 대비해서, 처리 장치로 웨이퍼를 공급하는 순서를 포드의 도착순서로부터 변경하는 기구가 필요하다. 또한 포드 내의 웨이퍼의 조합을 다음 처리 장치에 맞춰서 변경할 필요가 생기는 일이 있으므로, 처리가 완료된 웨이퍼를 포드 로 공급할 때에 웨이퍼의 조합을 변경하는 기구가 필요하다. 그래서 발명자는 상기의 과제를 해결하기 위해서 본 발명에 이르렀다.

[특허문헌1] 일본 특허 공개 2004-168483

본 발명의 과제는 처리 장치에서 일괄하여 처리하는 물품의 수가, 용기에 수용된 물품의 수보다 많은 경우라도 처리 장치에 필요한 수의 물품을 공급할 수 있게 하는데 있다. 청구항 2의 발명에서의 추가의 과제는 처리의 우선도가 높은 물품을 처리 장치로의 도착 순서보다 우선해서 처리할 수 있게 하는데 있다. 청구항 3의 발명에서의 추가의 과제는 다음 처리 장치에 맞춰서 용기에 수납되는 물품의 조합을 변경할 수 있게 하는데 있다.

본 발명은 복수의 물품을 수용하는 용기로부터 물품을 인출해서 처리 장치로 공급하는 장치로서, 상기 용기를 보관하기 위한 용기 보관 선반과, 상기 용기로부터 인출한 물품을 보관하기 위한 물품 보관 선반과, 상기 용기로부터 상기 물품을 출납하여 상기 물품을 상기 용기와 상기 물품 보관 선반 사이에서 반송하기 위한 이송 수단과, 상기 이송 수단과 상기 용기 보관 선반 사이에서 상기 용기를 반송하기 위한 반송 수단과, 상기 물품 보관 선반으로부터 소요의 상기 물품을 인출해서 상기 처리 장치로 공급함과 아울러, 상기 처리 장치로부터의 상기 물품을 상기 물품 보관 선반으로 공급하기 위한 공급 수단을 설치한 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 공급 수단은 상기 물품 보관 선반으로부터 소요의 상기 물품을 랜덤하게 상기 처리 장치로 공급할 수 있다. 또 바람직하게는 상기 이송 수단은 상기 물품 보관 선반으로부터 소요의 상기 물품을 랜덤하게 상기 용기로 수납 할 수 있다.

(발명의 효과)

본 발명에서는 용기를 일단 용기 보관 선반에 보관하고, 용기에서 인출한 물품을 물품 보관 선반에 보관하므로 처리 장치가 필요로 하는 물품을 이들 선반에 스톡해서 신속하게 공급할 수 있다. 또 용기 보관 선반을 외부의 반송 장치와의 버퍼로 할 수 있으므로 외부의 반송 장치에 대해서도 효율적이다. 또한 용기 보관 선반으로부터 인출하는 순서를 제어함으로써 용기의 도착 순서와, 처리 장치에서의 처리 순서를 용기의 단위에 의해 변경할 수 있다.

여기서 공급 수단을 물품 보관 선반으로부터 소요 물품을 랜덤하게 처리 장치로 공급할 수 있게 하면, 물품 보관 선반으로부터 물품을 처리 장치로 공급하는 순서를 변경하여 물품의 우선도에 따라 처리할 수 있다. 또 이송 수단을 물품 보관 선반으로부터 소요 물품을 랜덤하게 용기로 수납할 수 있게 하면, 다음 처리 장치 등에 맞춰서 용기에 셋트되는 물품의 조합을 변경할 수 있다.

이하에 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다.

(실시예)

도 1~도 3에 클린룸 내에서의 반도체 웨이퍼의 반송과 공급을 예로 실시예를 나타낸다. 각 도면에 있어서, 부호 2는 처리 장치이고, 반도체 웨이퍼에 대한 가공이나 검사 등의 처리를 행한다. 처리 장치(2)의 앞면에는 예를 들면 한쌍의 소터(sorter)(4, 6)가 있고, 반도체 웨이퍼를 복수장 수용한 포드(18)로부터 반도체 웨이퍼를 1장씩 출납한다. 소터(4, 6)는 이송 수단과 공급 수단을 겸용하고, 이송 수단과 공급 수단을 별개의 부재로 구성해도 된다. 부호 8, 9는 웨이퍼 버퍼(wafer buffer)이고, 포드(18)로부터 인출한 웨이퍼를 보관하며, 물품 보관 선반의 예다. 웨이퍼 버퍼(8)에 대하여 소터(4)는 랜덤한 위치에 웨이퍼를 1장씩 출납할 수 있다. 마찬가지로, 웨이퍼 버퍼(9)에 대하여 소터(6)는 랜덤한 위치에 웨이퍼를 1장씩 출납할 수 있다. 웨이퍼 버퍼(8, 9)에 수용된 복수장의 반도체 웨이퍼를 부호 10, 11로 나타낸다. 소터(4, 6)와 로드 포트(load port)(14, 15) 사이에 도시 생략된 셔터가 부착된 출입구(12, 13)가 있다. 또 로드 포트(14, 15)의 상부나 하부 등에, 예를 들면 연직으로 봤을 때 겹치도록 포드 버퍼(pod buffer)(용기 보관 선반)(16, 17)가 있다.

클린룸의 천정 부근에 주행 레일(21)을 설치하고, 장치 사이의 반송 수단으로서의 천정 주행차(22)를 주행시킨다. 그리고 천정 주행차(22)는 포드 버퍼(16)와의 사이에서 포드(18)를 주고 받는다. 처리 장치(2)의 예를 들면 앞면측의 바닥면에 주행 레일(24)을 설치하고, 이송 장치(28)를 구비한 대차(26)를 설치한다. 이송 장치(28)는 예를 들면 스칼라 암 혹은 슬라이드 포크 등으로 이루어지고, 대차(26)에 설치된 마스트(mast)(29)를 따라 승강 가능하다. 그리고 이송 장치(28)는 포드 버퍼(16, 17) 사이, 혹은 포드 버퍼(16, 17)와 로드 포트(14, 15) 사이에서 포드(18)를 반송한다. 이송 장치(28)와 대차(26)로 처리 장치 내의 반송 장치를 구성하지만, 이들을 복수의 처리 장치에서 공용해도 된다. 마찬가지로 포드 버퍼(16, 17)를 복수의 처리 장치에서 공용해도 된다.

도 3에 실시예에서의 물품의 흐름을 나타낸다. 처리 장치(2) 사이의 반송 수단으로서 천정 주행차(22)가 있고, 천정 주행차(22)가 포드 버퍼(16)와의 사이에서 포드를 주고 받는다. 대차에 승강 가능하게 설치된 이송 장치(28)로 포드 버퍼(16, 17) 사이, 혹은 로드 포트(14, 15) 사이에서 포드를 주고 받는다. 이 때문에 소터(4, 6)가 필요로 할 때에 포드를 이송 장치(28)에서 로드 포트(14, 15)로 반송할 수 있다. 로드 포트(14, 15)에는 도시 생략된 컨베이어 등을 설치해서 소터(4, 6)와의 사이에서 포드를 반송한다. 그리고 소터(4)로 포드로부터 웨이퍼를 출납하고, 즉시 필요한 웨이퍼를 그대로 처리 장치(2)로 공급하며, 다른 웨이퍼는 웨이퍼 버퍼(8)로 일시 보관한다. 그리고 처리 장치(2)가 필요로 하는 웨이퍼를 소터(4)로 웨이퍼 버퍼(8)로부터 임의로 인출하여 처리 장치(2)로 공급한다. 또 모든 웨이퍼를 일단 웨이퍼 버퍼(8)로 보관하도록 해도 된다.

처리 장치(2)에서 처리한 후의 웨이퍼를 소터(6)로 처리 장치로부터 인출하고, 웨이퍼 버퍼(9)에 일시 보관한다. 여기서 즉시 반출할 필요가 있는 웨이퍼가 있으면, 웨이퍼 버퍼(9)를 경유하지 않고, 소터(6)로 포드에 수납한다. 웨이퍼 버퍼(9)로부터 필요한 웨이퍼를 랜덤하게, 바꿔 말하면 선택적으로 인출해서 포드에 수납한다. 웨이퍼를 수납한 포드는 포드 버퍼(16, 17)에 보관되고, 천정 주행차에 의해 반출된다.

실시예에서는 이하의 효과가 얻어진다. (1) 처리 장치(2)가 필요로 하는 웨이퍼를 웨이퍼 버퍼(8)에 스톡할 수 있다. 또 포드 버퍼(16, 17)를 천정 주행차(22)와 처리 장치(2) 사이의 포드의 버퍼로 한다. 그리고 웨이퍼 버퍼(8)로부터 필요한 웨이퍼를 선택적으로 처리 장치(2)에 공급한다. 이 때문에 처리 장치(2)는 항상 필요 장수의 웨이퍼를 공급받는다. 예를 들면 포드(18)에서의 웨이퍼의 반송 장수와, 처리 장치(2)가 필요로 하는 웨이퍼의 장수가 달라도 문제가 생기지 않는다. (2) 처리 장치(2)로 공급되는 웨이퍼의 순서는 포드 버퍼(16, 17)로부터 소터(4)로 공급되는 포드의 순서, 및 웨이퍼 버퍼(8) 등으로부터 소터(4)에 의해 처리 장치(2)로 공급되는 웨이퍼의 순서로, 2단계로 변경할 수 있다. 이 때문에 웨이퍼마다 처리의 우선도가 다를 경우, 우선도에 따라 처리할 수 있다. (3) 처리 장치(2)에서 처리가 완료된 웨이퍼는 웨이퍼 버퍼에 일단 축적되고, 소터(6)로 랜덤하게 필요한 웨이퍼를 인출해서 포드에 수납한다. 따라서 다음 공정의 처리 장치에 맞춰서 포드에 수납하는 웨이퍼의 조합을 변경할 수 있다. 이 때문에 복수의 처리 장치를 경유하고, 도중에 사용하는 처리 장치가 다른 조합이여도 같은 포드에 수용해서 반송할 수 있다.

실시예에서는 포드 버퍼(17)를 로드 포트(14, 15)와 포드 버퍼(16) 사이에 예를 들면 1단 설치했지만, 로드 포트(14, 15)의 하단에 다수의 단을 더 설치해도 된다. 또 포드 버퍼(16, 17)의 보관 능력이 부족할 경우, 도 1에서의 처리 장치(2)의 반대측에도 포드 보관용 선반을 설치하면 된다. 포드 버퍼(16, 17)와 로드 포트(14, 15) 사이의 반송 장치로서 레일(24) 상을 주행하는 대차(26)에 승강 가능하게 이송 장치(28)를 설치했지만, 그 종류나 구조는 임의이다. 소터(4, 6)의 처리 능력이 부족할 경우, 웨이퍼 버퍼(8, 9)와 처리 장치(2) 사이에 웨이퍼 버퍼에 대하여 랜덤하게 웨이퍼를 출납할 수 있는 소터를 추가하면 된다.

도 1은 실시예의 물품 공급 장치의 평면도,

도 2는 실시예의 물품 공급 장치의 정면도,

도 3은 실시예에서의 물품의 공급 루트를 나타내는 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

2 : 처리 장치 4, 6 : 소터

8, 9 : 웨이퍼 버퍼 10, 11 : 웨이퍼

12, 13 : 출입구 14, 15 : 로드 포트

16, 17 : 포드 버퍼 18 : 포드

21, 24 : 주행 레일 22 : 천정 주행차

26 : 대차 28 : 이송 장치

29 : 마스트

Claims (3)

1. 복수의 물품을 수용하는 용기로부터 물품을 인출해서 처리 장치로 공급하는 장치로서: 상기 용기를 보관하기 위한 용기 보관 선반과, 상기 용기로부터 인출한 물품을 보관하기 위한 물품 보관 선반과, 상기 용기로부터 상기 물품을 출납하여 상기 물품을 상기 용기와 상기 물품 보관 선반 사이에서 반송하기 위한 이송 수단과, 상기 이송 수단과 상기 용기 보관 선반 사이에서 상기 용기를 반송하기 위한 반송 수단과, 상기 물품 보관 선반으로부터 소요의 상기 물품을 인출해서 상기 처리 장치로 공급함과 아울러 상기 처리 장치로부터의 상기 물품을 상기 물품 보관 선반으로 공급하기 위한 공급 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 물품 공급 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 공급 수단은 상기 물품 보관 선반으로부터 소요의 상기 물품을 랜덤하게 상기 처리 장치로 공급할 수 있는 것을 특징으로 하는 물품 공급 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 이송 수단은 상기 물품 보관 선반으로부터 소요의 상기 물품을 랜덤하게 상기 용기로 수납할 수 있는 것을 특징으로 하는 물품 공급 장치.

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