CN115427329A - 输送车系统 - Google Patents

输送车系统 Download PDF

Info

Publication number
CN115427329A
CN115427329A CN202180029801.9A CN202180029801A CN115427329A CN 115427329 A CN115427329 A CN 115427329A CN 202180029801 A CN202180029801 A CN 202180029801A CN 115427329 A CN115427329 A CN 115427329A
Authority
CN
China
Prior art keywords
unit
article
traveling
carriage
transport vehicle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202180029801.9A
Other languages
English (en)
Inventor
伊藤靖久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Publication of CN115427329A publication Critical patent/CN115427329A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0464—Storage devices mechanical with access from above
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C19/00—Cranes comprising trolleys or crabs running on fixed or movable bridges or gantries
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67715—Changing the direction of the conveying path
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

输送车系统(SYS)具备：输送台车(V)，其具有在轨道(R)行驶的第一行驶部(20)、和相对于第一行驶部(20)沿着水平方向移动并移载物品(M)的移载部(18)；以及暂存台车(VB)，其具有在供输送台车(V)行驶的轨道(R)行驶的第二行驶部(20A)、和设置为能够与第二行驶部(20A)一体地移动并且设置为能够通过输送台车(V)的移载部(18)进行物品(M)的交接的物品载置部(61)。

Description

输送车系统
技术领域
本发明的一方面涉及输送车系统。
背景技术
公知有输送车系统，具备多个输送台车、和对多个输送台车进行控制的控制器。作为这种技术，例如在专利文献1中公开了台车在栅格状的行驶路上输送物品(容器)的系统。
专利文献1：国际公开第2019/101725号
近年来，在这样的输送车系统中，期望伴随着物品的处理量的增大而提高物品的输送效率。
发明内容
因此，本发明的一方面的目的在于，提供能够提高物品的输送效率的输送车系统。
本发明的一方面的输送车系统具备：输送台车，其具有在轨道行驶的第一行驶部、和相对于第一行驶部沿着水平方向移动并在与被载置部之间移载物品的移载部；以及暂存台车，其具有在供输送台车行驶的轨道行驶的第二行驶部、和设置为能够与第二行驶部一体地移动并且设置为能够通过输送台车的移载部进行物品的交接的物品载置部。
在该结构的输送车系统中，例如，输送台车与暂存台车连接并移动，或者使输送台车所保持的物品暂时地退避至暂存台车，由此能够提高一台输送台车的物品的输送效率。
在本发明的一方面的输送车系统中，物品载置部也可以设置为能够载置多个物品。这里，为了提高一台输送台车的物品的输送效率，改进现有的输送台车，由此使一台输送台车输送多个物品，来提高物品的输送效率。然而，针对输送车系统所使用的输送台车，需要不与其他物体等干涉地在轨道行驶，因此对从上方观察的俯视时的输送台车的尺寸规定上限。因此，使现有的输送台车具有保持多个物品的结构不是容易的，但代替移载部的结构而设置了载置多个物品的物品载置部，因此能够维持台车的尺寸。由此，能够一次输送较多的物品，因此能够提高物品的输送效率。
本发明的一方面的输送车系统也可以进一步具有第一转动部，该第一转动部使物品载置部沿着水平方向转动。在该结构中，暂存台车的物品载置部能够任意地改变相对于输送台车交接物品时的姿势，因此输送台车能够从各种方向向暂存台车交接物品。
本发明的一方面的输送车系统也可以进一步具有引导部，该引导部具有防止物品从物品载置部向物品载置部的外部突出的突出防止功能，第一转动部使物品载置部在第一状态与第二状态之间转动，该第一状态是在物品载置部与外部之间不配置引导部而将突出防止功能设为无效的状态，该第二状态是在物品载置部与外部之间配置引导部而将突出防止功能设为有效的状态。在该结构中，能够利用使物品载置部转动的第一转动部的功能而容易地实现突出防止功能。
本发明的一方面的输送车系统也可以进一步具备对暂存台车进行控制的控制器，控制器在物品载置部为第一状态时禁止第二行驶部的行驶，在物品载置部为第二状态时允许第二行驶部的行驶。在该结构中，能够防止物品从行驶中的暂存台车落下。
在本发明的一方面的输送车系统中，移载部也可以具有：物品保持部，其保持物品；升降驱动部，其使物品保持部升降；滑动机构，其使升降驱动部沿着水平方向滑动移动；第二转动部，其使滑动机构沿着水平方向转动；以及第三转动部，其使物品保持部或者升降驱动部沿着水平方向转动。该结构的移载部能够从各种方向以规定的姿势相对于暂存台车的物品载置部交接物品。
根据本发明的一方面，能够提高物品的输送效率。
附图说明
图1是表示一个实施方式的输送车系统的一个例子的立体图。
图2是表示输送台车的一个例子的立体图。
图3是表示输送台车的一个例子的侧视图。
图4是表示暂存台车的一个例子的立体图。
图5是表示暂存台车的一个例子的侧视图。
图6的(A)是表示从IV－IV方向观察的第一状态的物品载置部的图，图6的(B)是表示从IV－IV方向观察的第二状态的物品载置部的图。
图7是表示输送车系统的功能构成的框图。
图8是表示输送台车与暂存台车之间的物品的交接状态的侧视图。
图9的(A)～图9的(D)是表示输送台车与暂存台车的位置关系的变更的说明图。
具体实施方式
以下，参照附图，对一个实施方式的输送车系统SYS进行说明。在附图的说明中，对相同要素标注相同附图标记，并省略重复的说明。附图的尺寸比率不必与说明的情况一致。为了便于说明，在图1～图5中设定XYZ坐标。在XYZ坐标系中，将与水平面平行的平面设为XY平面。将沿着XY平面的一个方向记为X方向，将与X方向正交的方向记为Y方向。与XY平面垂直的方向记为Z方向。X方向、Y方向以及Z方向分别以图中的箭头所指的方向为+方向，与箭头所指的方向相反的方向为－方向的方式进行说明。另外，将绕垂直轴或者绕Z轴的转动方向记为θZ方向。
图1所示的输送车系统SYS例如是用于在半导体制造工厂的无尘室中通过输送台车V输送物品M的栅格系统。如图7所示，输送车系统SYS具备：第一输送台车V1～第n输送台车Vn(以下，也存在总称为输送台车V的情况)、第一暂存台车VB1～第n暂存台车VBn(以下，也存在总称为暂存台车VB的情况)、以及对多个输送台车V及多个暂存台车VB进行控制的系统控制器5。
在本实施方式中，对输送台车V(参照图2以及图3)以及暂存台车VB(参照图4以及图5)为高架输送台车的例子进行说明。输送台车V以及暂存台车VB沿着输送车系统SYS的导轨(轨道)R移动。导轨R是输送台车V以及暂存台车VB的行驶路。输送台车V以及暂存台车VB沿着输送车系统SYS的导轨R移动，输送收容半导体晶圆的FOUP或者收容中间掩膜的中间掩膜Pod等物品M。在本实施方式中，如图6的(A)所示，列举输送作为物品M的一个例子而具有设置有盖的前表面Mb与和前表面Mb对置的背面Mc的FOUP的例子进行说明。
如图1所示，导轨R铺设于无尘室等建筑物的天花板或者天花板附近。导轨R例如与处理装置、仓储(自动仓库)等邻接地设置。处理装置例如是曝光装置、涂布显影设备、制膜装置、蚀刻装置等，对输送台车V输送的容器内的半导体晶圆实施各种处理。仓储对输送台车V以及暂存台车VB所输送的物品M进行保管。导轨R是行驶路的形态的一个例子。导轨R在俯视时呈格子状配置。导轨R是沿着水平方向延伸并且从天花板等悬吊的导轨。导轨R具有多个第一导轨R1、多个第二导轨R2及多个交叉部R3。以下，将导轨R称为格子状导轨R。
多个第一导轨R1分别沿着X方向延伸。多个第二导轨R2分别沿着Y方向延伸。格子状导轨R通过多个第一导轨R1与多个第二导轨R2在俯视时形成为格子状。格子状导轨R通过多个第一导轨R1与多个第二导轨R2形成多个网格。交叉部R3配置于第一导轨R1与第二导轨R2交叉的部分。交叉部R3相对于第一导轨R1在X方向邻接，并且相对于第二导轨R2在Y方向邻接。交叉部R3是进行第一导轨R1与第二导轨R2的连接、第一导轨R1彼此的连接、第二导轨R2彼此的连接的连接轨道。交叉部R3是在输送台车V以及暂存台车VB沿着第一导轨R1行驶时、输送台车V以及暂存台车VB沿着第二导轨R2行驶时、输送台车V以及暂存台车VB从第一导轨R1向第二导轨R2或者从第二导轨R2向第一导轨R1行驶时的任一个时所使用的轨道。
格子状导轨R沿着多个第一导轨R1与多个第二导轨R2正交的方向被设置，由此成为在俯视时多个栅格单元(单元)2邻接的状态。一个栅格单元2相当于一个网格，在俯视时，是由在Y方向邻接的两个第一导轨R1与在X方向邻接的两个第二导轨R2围起的矩形区域。此外，在图1中示出了格子状导轨R的一部分，格子状导轨R由图示的结构形成为相同的结构在X方向以及Y方向连续。
第一导轨R1、第二导轨R2以及交叉部R3被悬吊部件H(参照图1)悬吊支承于未图示的天花板。悬吊部件H具有用于悬吊第一导轨R1的第一部分H1、用于悬吊第二导轨R2的第二部分H2以及用于悬吊交叉部R3的第三部分H3。第一部分H1以及第二部分H2分别设置于隔着第三部分H3的两处。
第一导轨R1、第二导轨R2以及交叉部R3分别具有供输送台车V以及暂存台车VB的后述的行驶车轮21行驶的行驶面R1a、R2a、R3a。在第一导轨R1与交叉部R3之间以及第二导轨R2与交叉部R3之间分别形成有间隙。第一导轨R1与交叉部R3之间以及第二导轨R2与交叉部R3之间的间隙是输送台车V以及暂存台车VB在第一导轨R1行驶并横穿第二导轨R2时，或者在第二导轨R2行驶并横穿第一导轨R1时，供输送台车V以及暂存台车VB的一部分亦即后述的第一连结部30通过的部分。因此，第一导轨R1与交叉部R3之间以及第二导轨R2与交叉部R3之间的间隙被设置为能够供第一连结部30通过的宽度。第一导轨R1、第二导轨R2以及交叉部R3沿着相同的水平面被设置。在本实施方式中，第一导轨R1、第二导轨R2以及交叉部R3的行驶面R1a、R2a、R3a被配置在相同的水平面上。
输送车系统SYS具备通信系统(未图示)。通信系统被使用于输送台车V以及系统控制器5的通信。输送台车V以及暂存台车VB与系统控制器5分别经由通信系统能够通信地被连接。
对输送台车V的结构进行说明。如图1～图3以及图7所示，输送台车V被设置为能够沿着格子状导轨R行驶。输送台车V具有：第一主体部10、第一行驶部20、第一连结部30以及输送台车控制器50。
第一主体部10配置于格子状导轨R的下方(－Z方向侧)。第一主体部10在俯视时例如形成为矩形状。第一主体部10在俯视时形成为能够收纳于格子状导轨R中的一个栅格单元2的尺寸。因此，能够确保与在邻接的第一导轨R1或者第二导轨R2行驶的其他的输送台车V以及暂存台车VB会车的空间。第一主体部10具备上部单元17与移载装置(移载部)18。上部单元17经由第一连结部30从第一行驶部20被悬吊。上部单元17例如在俯视时呈矩形状，在上表面17a以及下表面17b具有四个角部。
第一主体部10在上表面17a的四个角部分别具有行驶车轮21、第一连结部30、方向转换机构34。在该结构中，通过配置于第一主体部10的上表面17a的四个角部的行驶车轮21，能够对第一主体部10稳定地进行悬吊支承，且能够使第一主体部10稳定地行驶。
移载装置18相对于第一行驶部20沿着水平方向移动并在与装卸口P或者暂存台车VB的物品载置部61等的被载置部之间移载物品M。移载装置18设置于上部单元17的下方。移载装置18能够绕Z方向的转动轴AX1转动。移载装置18具有：物品保持部13，其在格子状导轨R的下侧保持物品M；升降驱动部14，其使物品保持部13沿铅垂方向升降；第三转动部16，其使升降驱动部14沿着水平方向转动；横向伸出机构(滑动机构)11，其使升降驱动部14沿水平方向滑动移动；以及第二转动部12，其保持横向伸出机构11。
装卸口P是输送台车V的移载目的地或者移载起始地，且是在与输送台车V之间交接物品M的地点。暂存台车VB之后详述。
物品保持部13把持物品M的凸缘部Ma，由此将物品M悬吊来保持。物品保持部13例如是具有能够沿水平方向移动的爪部13a的卡盘，通过使爪部13a进入物品M的凸缘部Ma的下方，并使物品保持部13上升，而保持物品M。物品保持部13与线或带等的悬吊部件13b连接。
升降驱动部14例如是吊车，通过陆续放出悬吊部件13b而使物品保持部13下降，通过卷绕悬吊部件13b而使物品保持部13上升。升降驱动部14被输送台车控制器50控制，而使物品保持部13以规定的速度下降或者上升。另外，升降驱动部14被输送台车控制器50控制，而将物品保持部13保持在目标的高度。
第三转动部16设置于横向伸出机构11与升降驱动部14之间。第三转动部16具有转动部件16a以及转动驱动部16b。转动部件16a被设置为能够向绕Z方向的轴的方向转动。转动部件16a支承升降驱动部14。转动驱动部16b例如使用电动马达等，使转动部件16a向绕转动轴AX3的轴的方向转动。第三转动部16能够通过来自转动驱动部16b的驱动力使转动部件16a转动，而使升降驱动部14以及物品保持部13向绕转动轴AX3的轴的方向转动。
横向伸出机构11例如具有在Z方向重叠地配置的多个可动板。在最下层的可动板安装有升降驱动部14。在横向伸出机构11中，可动板在水平面内向与输送台车V的行驶方向垂直的方向移动，安装于最下层的可动板的升降驱动部14以及物品保持部13向与输送台车V的行驶方向垂直的方向横向伸出(滑动移动)。
第二转动部12设置于横向伸出机构11与上部单元17之间。第二转动部12具有转动部件12a以及转动驱动部12b。转动部件12a设置为能够向绕Z方向的轴的方向转动。转动部件12a支承横向伸出机构11。转动驱动部12b例如使用电动马达等，使转动部件12a向绕转动轴AX1的轴的方向转动。第二转动部12能够通过来自转动驱动部12b的驱动力使转动部件12a转动，而使横向伸出机构11(升降驱动部14以及物品保持部13)向绕转动轴AX1的轴的方向转动。输送台车V使用移载装置18，由此能够相对于装卸口P以及暂存台车VB(参照图8)交接物品M。此外，输送台车V与暂存台车VB的物品M的交接之后详述。
此外，在横向伸出机构11不使升降驱动部14以及物品保持部13滑动移动的状态下，转动轴AX1与转动轴AX3一致。
在输送台车V也可以设置有外罩W。外罩W包围移载装置18以及保持在移载装置18的物品M。外罩W具有下端敞开的形状，且具有将供横向伸出机构11的可动板突出的部分切开而成的形状。外罩W的上端安装于第二转动部12的转动部件12a，外罩W伴随着转动部件12a的转动而绕转动轴AX1的轴转动。
第一行驶部20具有行驶车轮21以及辅助车轮22。行驶车轮21分别配置于上部单元17(第一主体部10)的上表面17a的四个角部。行驶车轮21分别安装于在第一连结部30设置的车轴。行驶车轮21分别通过行驶驱动部33的驱动力而旋转驱动。行驶车轮21分别在格子状导轨R上滚动。行驶车轮21分别在第一导轨R1、第二导轨R2以及交叉部R3的行驶面R1a、R2a、R3a滚动，使输送台车V行驶。此外，四个行驶车轮21不限定于全部通过行驶驱动部33的驱动力进行旋转驱动，也可以是使四个行驶车轮21中的一部分旋转驱动的结构。
行驶车轮21设置为能够以转动轴AX2为中心向θZ方向转动。行驶车轮21通过后述的方向转换机构34向θZ方向转动，其结果，能够变更输送台车V的行驶方向。辅助车轮22在行驶车轮21的行驶方向的前后分别各配置一个。辅助车轮22分别与行驶车轮21相同地，能够绕沿着XY平面平行或者大致平行的车轴的轴旋转。辅助车轮22的下端设定为比行驶车轮21的下端高。因此，在行驶车轮21在行驶面R1a、R2a、R3a行驶时，辅助车轮22不与行驶面R1a、R2a、R3a接触。
另外，在行驶车轮21通过第一导轨R1与交叉部R3之间以及第二导轨R2与交叉部R3之间的间隙时，辅助车轮22与行驶面R1a、R2a、R3a接触，而抑制行驶车轮21的陷落。此外，不限定于在一个行驶车轮21设置两个辅助车轮22，例如，可以在一个行驶车轮21设置一个辅助车轮22，也可以不设置辅助车轮22。
第一连结部30将第一主体部10的上部单元17与第一行驶部20连结。第一连结部30分别设置于上部单元17(第一主体部10)的上表面17a的四个角部。第一主体部10通过该第一连结部30而成为从第一行驶部20被悬吊的状态，其配置于比格子状导轨R靠下方。第一连结部30具有支承部件31以及连接部件32。支承部件31能够旋转地支承行驶车轮21的旋转轴以及辅助车轮22的旋转轴。支承部件31保持行驶车轮21与辅助车轮22的相对位置。支承部件31例如形成为板状，且形成为能够通过第一导轨R1与交叉部R3之间以及第二导轨R2与交叉部R3之间的间隙的厚度。
连接部件32从支承部件31向下方延伸而与上部单元17的上表面17a连结，从而保持上部单元17。连接部件32在内部具备将后述的行驶驱动部33的驱动力传递至行驶车轮21的传递机构。该传递机构可以是使用链或者带的结构，也可以是使用齿轮系的结构。连接部件32设置为能够以转动轴AX2为中心向θZ方向转动。该连接部件32以转动轴AX2为中心转动，由此能够经由支承部件31使行驶车轮21向绕转动轴AX2的θZ方向转动。
在第一连结部30设置有行驶驱动部33以及方向转换机构34。行驶驱动部33安装于连接部件32。行驶驱动部33是驱动行驶车轮21的驱动源，例如使用电动马达等。四个行驶车轮21分别是被行驶驱动部33驱动的驱动轮。四个行驶车轮21以成为相同的转速的方式被输送台车控制器50控制。
方向转换机构34通过使第一连结部30的连接部件32以转动轴AX2为中心转动，而使行驶车轮21向绕转动轴AX2的θZ方向转动。使行驶车轮21向θZ方向转动，由此能够将输送台车V的行驶方向从将行驶方向设为X方向的第一状态向将行驶方向设为Y方向的第二状态切换，或者从将行驶方向设为Y方向的第二状态向将行驶方向设为X方向的第一状态切换。通过方向转换机构34的转动，配置于上表面17a的四个角部的行驶车轮21以及辅助车轮22分别以转动轴AX2为中心向θZ方向在90度的范围内转动。
方向转换机构34的驱动被输送台车控制器50控制。使行驶车轮21以及辅助车轮22转动，由此行驶车轮21从与第一导轨R1以及第二导轨R2的一方接触的状态移至与另一方接触的状态。因此，能够在将输送台车V的行驶方向设为X方向的第一状态与将行驶方向设为Y方向的第二状态进行切换。
输送台车V具备检测位置信息的位置检测部38。位置检测部38检测表示位置信息的位置标记(未图示)，由此检测输送台车V的当前位置。位置检测部38通过非接触检测位置标记。位置标记被设置于格子状导轨R的每一个栅格单元2。
输送台车控制器50总括地控制输送台车V。输送台车控制器50是由CPU(CentralProcessing Unit)、ROM(Read Only Memory)以及RAM(Random Access Memory)等构成的计算机。输送台车控制器50能够构成为例如储存于ROM的程序被载入RAM上并由CPU执行的软件。输送台车控制器50也可以构成为由电子电路等形成的硬件。输送台车控制器50可以由一个装置构成，也可以由多个装置构成。在由多个装置构成的情况下，它们经由网络或者内部网络等通信网络被连接，由此在逻辑上构建一个输送台车控制器50。输送台车控制器50在本实施方式中表示设置于第一主体部10的例子(参照图3)，但也可以设置于第一主体部10的外部。
输送台车控制器50基于输送指令控制输送台车V的行驶。输送台车控制器50通过对行驶驱动部33、方向转换机构34等进行控制，而对输送台车V的行驶进行控制。输送台车控制器50例如对行驶速度、与停止有关的动作、与方向转换有关的动作进行控制。输送台车控制器50基于输送指令，控制输送台车V的移载动作。输送台车控制器50控制移载装置18等，由此控制输送台车V的移载动作。输送台车控制器50对把持配置于规定的装卸口P或者暂存台车VB的物品载置部61的物品M的抓货的动作、将保持的物品M卸下至规定的装卸口P或者暂存台车VB的物品载置部61的卸货的动作进行控制。
对暂存台车VB的结构进行说明。如图1以及图4～图8所示，暂存台车VB设置为能够沿着供输送台车V行驶的格子状导轨R行驶。暂存台车VB共用供输送台车V的第一行驶部20行驶的格子状导轨R的行驶面。
暂存台车VB具有第二主体部10A、第二行驶部20A、第二连结部30A及暂存台车控制器50A。此外，暂存台车VB所具备的第二行驶部20A、第二连结部30A以及位置检测部38是与输送台车V所具备的第一行驶部20、第一连结部30以及位置检测部38相同的结构，因此这里省略详细的说明。
第二主体部10A配置于格子状导轨R的下方(－Z方向侧)。第二主体部10A在俯视时例如形成为矩形状。第二主体部10A在俯视时形成为能够收纳于格子状导轨R中的一个栅格单元2的尺寸。因此，能够与在邻接的第一导轨R1或者第二导轨R2行驶的其他的输送台车V以及暂存台车VB会车。第二主体部10A具备上部单元17、引导部65以及被载置装置60。上部单元17经由第二连结部30A从第二行驶部20A被悬吊支承。上部单元17例如在俯视时呈矩形状，在上表面17a具有四个角部。
第二主体部10A在上表面17a的四个角部分别具有行驶车轮21、第二连结部30A、方向转换机构34。在该结构中，通过配置于第二主体部10A的上表面17a的四个角部的行驶车轮21，能够对第二主体部10A稳定地进行悬吊支承，并且，能够使第二主体部10A稳定地行驶。
引导部65分别设置于上部单元17的下表面17b的四个角部。引导部65是以下表面17b为基端朝向下方的前端延伸的三棱柱的部件。引导部65具有防止载置于物品载置部61的物品M向外部E突出的突出防止功能。
被载置装置60是通过输送台车V的移载装置18载置物品M，通过输送台车V的移载装置18取出物品M的装置。被载置装置60设置于上部单元17的下方。被载置装置60能够绕Z方向的转动轴AX4转动。被载置装置60具有物品载置部61与第一转动部63。
物品载置部61设置为能够与第二行驶部20A一体地移动，并且设置为能够通过输送台车V的移载装置18交接物品M。物品载置部61具有：板状的载置部61a，其以成为从下方支承物品M的底面的状态的方式载置物品M；以及板状的侧方部61b，其覆盖物品M的侧方，并且将载置部61a与第一转动部63之间连接。物品载置部61例如通过冲压加工等将板状部件弯折，由此从图4的X方向观察时的形状被形成为U字状。另外，物品载置部61在+X方向以及－X方向的两端形成有开口部61c，形成为能够从+X方向以及－X方向双方交接(搬入搬出)物品M。即，物品载置部61的开口部61c形成为能够供保持了物品M的横向伸出机构11的可动板进入。
在物品载置部61以两个物品M、M的前表面Mb、Mb彼此相互对置的方式载置有两个(多个)物品M、M(参照图6的(A))。物品载置部61形成为能够载置两个物品M、M的尺寸。更详细而言，物品载置部61在俯视时形成为比上部单元17小一圈的尺寸，并且形成为能够在上部单元17的范围内转动的尺寸。在物品载置部61也可以设置供形成于物品M的底面的槽等卡合的定位销。
第一转动部63设置于物品载置部61与上部单元17之间。第一转动部63具有转动部件63a以及转动驱动部63b。转动部件63a设置为能够向绕Z方向的轴的方向转动。转动部件63a支承物品载置部61。转动驱动部63b例如使用电动马达等，使转动部件63a向绕转动轴AX4的轴的方向转动。第一转动部63通过来自转动驱动部63b的驱动力使转动部件63a转动，从而能够使物品载置部61向绕转动轴AX4的轴的方向转动。即，第一转动部63通过来自转动驱动部63b的驱动力使转动部件63a转动，从而能够使物品载置部61沿着水平方向向绕转动轴AX4的轴的方向转动。
如图9的(A)～图9的(D)所示，第一转动部63使物品载置部61对准输送台车V的位置而转动。更详细而言，第一转动部63以使物品载置部61的开口部61c的位置对准输送台车V的横向伸出机构11的可动板的送出方向的方式使物品载置部61转动。当在物品载置部61载置有一个物品M的情况下，第一转动部63以使未载置有物品M的一侧的开口部61c的位置对准输送台车V的横向伸出机构11的可动板的送出方向的方式使物品载置部61转动。
如图9的(A)～图9的(D)所示，第一转动部63以能够从前后左右的四个方向向停止在规定的位置的输送台车V交接物品M(参照图8)的方式使物品载置部61转动。第一转动部63设置为至少能够使物品载置部61旋转270度。
如图4～图8所示，第一转动部63使物品载置部61在第一状态(参照图6的(A))与第二状态(参照图6的(B))之间转动，该第一状态是在物品载置部61的开口部61c与外部E之间不配置引导部65，而将突出防止功能设为无效的状态，该第二状态是在物品载置部61的开口部61c与外部E之间配置有引导部65，而将突出防止功能设为有效的状态。
图6的(A)所示的第一状态是在与输送台车V之间交接物品M(参照图8)时的物品载置部61的状态。第一状态是保持了物品M的横向伸出机构11的可动板能够插入的状态。即，在第一状态下，保持了物品M的横向伸出机构11的可动板的动作不会被侧方部61b以及引导部65阻碍。在第一状态下，载置于规定的载置位置的物品M的背面Mc向外侧稍微突出(在俯视时从上部单元17的外形稍微凸出)。
图6的(B)所示的第二状态是输送物品M时的物品载置部61的状态。第二状态是保持了物品M的横向伸出机构11的可动板无法进入的状态。即，在第二状态下，保持了物品M的横向伸出机构11的可动板的动作被侧方部61b以及引导部65阻碍。载置于物品载置部61的物品M被引导部65阻碍从物品载置部61的开口部61c向外部E突出，因此能够防止物品M从物品载置部61突出。在第二状态下，载置于规定的载置位置的物品M的背面Mc不向外侧突出(在俯视时不从上部单元17的外形凸出)。
暂存台车控制器50A总括地控制暂存台车VB。暂存台车控制器50A是由CPU、ROM以及RAM等构成的计算机，也可以是与上述的输送台车控制器50相同的计算机的结构。
暂存台车控制器50A基于输送指令，控制暂存台车VB的行驶。暂存台车控制器50A通过控制行驶驱动部33、方向转换机构34等，而控制暂存台车VB的行驶。暂存台车控制器50A例如对行驶速度、与停止有关的动作、与方向转换有关的动作进行控制。暂存台车控制器50A基于输送指令，控制暂存台车VB的移载动作。
暂存台车控制器50A控制第一转动部63，由此与输送台车V的移载动作连动。具体而言，暂存台车控制器50A使物品载置部61对准输送台车V的横向伸出机构11的可动板的滑动方向而转动。暂存台车控制器50A在物品载置部61为第一状态时禁止第二行驶部20A的行驶，在物品载置部61为第二状态时允许第二行驶部20A的行驶。
系统控制器5是由CPU、ROM以及RAM等构成的计算机，也可以是与上述的输送台车控制器50相同的结构。系统控制器5选择能够输送物品M的多个输送台车V中的任一个，对选择出的输送台车V分配输送指令。输送指令包含执行使输送台车V行驶至装卸口P或者暂存台车VB的物品载置部61的行驶指令、配置于装卸口P或者暂存台车VB的物品载置部61的物品M的抓货指令或者保持的物品M向装卸口P或者暂存台车VB的物品载置部61的卸货指令。
接下来，对输送台车V与暂存台车VB的物品M的交接进行说明。输送台车V若接收到配置于暂存台车VB的物品载置部61的物品M的抓货指令或者保持的物品M向暂存台车VB的物品载置部61的卸货指令，则如图8所示，移动至与由指令指示的暂存台车VB邻接的栅格。暂存台车VB以使开口部61c与向邻接的栅格移动来的输送台车V的移载装置18的可动板的滑动方向一致的方式使物品载置部61转动。
输送台车V使移载装置18的可动板滑动，由此使保持物品M的物品保持部13位于物品载置部61的载置部61a的上方，使升降驱动部14动作，由此使保持物品M的物品保持部13向下方移动。由此，物品M从输送台车V向暂存台车VB的移载结束。物品M从暂存台车VB向输送台车V的移载通过实施与上述相反的顺序而进行。
对上述实施方式的输送车系统SYS的作用效果进行说明。在上述实施方式的输送车系统SYS中，例如，通过输送台车V与暂存台车VB连接并移动，或者使输送台车V所保持的物品M暂时退避至暂存台车VB，由此能够提高一台输送台车V的物品M的输送效率。另外，在上述实施方式的输送车系统SYS中，能够将通过悬吊于天花板等或设置于地板面而被设置的暂时的物品M的退避部(暂存口)构建为暂存台车VB。
在上述实施方式的输送车系统SYS中，暂存台车VB的物品载置部61设置为能够载置两个(多个)物品M、M。在上述实施方式的结构中，代替通常的输送台车具备的移载部的结构，而设置载置两个物品M、M的物品载置部61，因此能够将台车的尺寸维持为与输送台车同等的尺寸。
在上述实施方式的输送车系统SYS中，具有使物品载置部61沿着水平方向转动的第一转动部63。由此，暂存台车VB的物品载置部61能够任意地改变相对于输送台车V交接物品时的姿势，因此输送台车V能够从各种方向向暂存台车VB交接物品M。其结果，输送台车V无需移动至相对于暂存台车VB的规定位置(开口部61c的位置)，因此能够进一步提高输送效率。
在上述实施方式的输送车系统SYS中，第一转动部63使物品载置部61在第一状态(参照图6的(A))与第二状态(参照图6的(B))之间转动，该第一状态是在物品载置部61的开口部61c与外部E之间不配置引导部65，而将突出防止功能设为无效的状态，该第二状态是在物品载置部61的开口部61c与外部E之间配置有引导部65，而将突出防止功能设为有效的状态。在该结构中，利用使物品载置部61转动的第一转动部63的功能，能够容易地切换将物品M的突出防止功能设为无效的第一状态与将物品的突出防止功能设为有效的第二状态。
上述实施方式的输送车系统SYS的暂存台车控制器50A在物品载置部61为第一状态时禁止第二行驶部20A的行驶，在物品载置部61为第二状态时允许第二行驶部20A的行驶。由此，能够防止物品M从行驶中的暂存台车VB落下。
以上，对一个实施方式进行了说明，但本发明的一方面不限定于上述实施方式。能够在不脱离发明的主旨的范围内进行各种变更。
虽列举在上述实施方式的暂存台车VB能够载置两个物品M的结构为例进行了说明，但可以是能够仅载置一个物品M的结构，也可以是能够载置三个以上的物品M的结构。另外，虽列举上述实施方式的暂存台车VB通过引导部65以及第一转动部63的转动来实现防止输送时的物品M的突出的功能为例进行了说明，但例如也可以具备卡止物品M的止动器等，来防止物品M的突出。
虽列举上述实施方式的输送台车V具备第二转动部12以及第三转动部16为例进行了说明，但也可以是不具备第二转动部12以及第三转动部16双方的结构，也可以是仅具备第二转动部12以及第三转动部16的一方的结构。
上述实施方式以及变形例的输送车系统SYS能够进行例如下述那样的使用。其一个例子是输送台车V与暂存台车VB成为一组，移动至被指定的装卸口P的例子。输送台车V将物品M捧起，并将该物品M移载至暂存台车VB，之后将被载置于暂存台车VB的物品M卸货至装卸口P。当在输送台车V与暂存台车VB之间交接物品M时，使暂存台车VB的物品载置部61转动，由此输送台车V与暂存台车VB双方即使不从最初的指定位置进行行驶(移动)，也能够进行两个物品M的交接。这样，在从一个装卸口P取出物品M并载置其他的物品M的情况下，也能够进行高效的处理。
另外，使用方法的其他的例子是输送台车V与暂存台车VB一边共用所行驶的导轨的行驶面，一边作用分担主要行驶的部分的例子。例如，将规定的栅格范围(导轨范围)设定为主要供暂存台车VB行驶的范围。输送台车V在与在规定的栅格范围(导轨范围)行驶的暂存台车VB之间，在规定的栅格范围(导轨范围)的边界部交接物品M。由此，能够将规定的栅格范围(导轨范围)使用为主要以物品M的输送或者暂时存积为目的的区域。
例如，能够将连接配备有处理装置的建筑物彼此的建筑物之间部分设为上述的规定的栅格范围(导轨范围)。即，将上述建筑物之间部分设为主要供暂存台车VB行驶的区间。输送台车V在建筑物之间部分的两端向暂存台车VB交接物品M。在建筑物之间部分不存在移载物品M的部分，或者即使存在其位置也较少，因此使物品M向不具有移载功能且能够输送多个物品M的暂存台车VB输送，由此能够进行高效的物品M的输送。另外，暂存台车VB不安装移载装置，相应地作为台车的重量被轻型化。由此，能够提高暂存台车的输送速度，因此能够提高物品M的输送效率。
上述实施方式以及变形例的输送车系统SYS虽列举输送台车V以及暂存台车VB在配置为格子状的导轨R行驶的例子进行了说明，但也可以将上述实施方式以及变形例的输送台车V以及暂存台车VB应用于沿着向一个方向延伸的导轨(包含分支以及合流)向一个方向行驶的以往的输送车系统。
【附图标记的说明】
10…第一主体部；10A…第二主体部；12…第二转动部；13…物品保持部；14…升降驱动部；16…第三转动部；17…上部单元；18…移载装置；20…第一行驶部；20A…第二行驶部；50…输送台车控制器；50A…暂存台车控制器；60…被载置装置；61…物品载置部；63…第一转动部；65…引导部；M…物品；SYS…输送车系统；V…输送台车；VB…暂存台车。

Claims (6)

1.一种输送车系统，其特征在于，具备：
输送台车，其具有在轨道行驶的第一行驶部、和相对于所述第一行驶部沿着水平方向移动并在与被载置部之间移载物品的移载部；以及
暂存台车，其具有在供所述输送台车行驶的所述轨道行驶的第二行驶部、和设置为能够与所述第二行驶部一体地移动并且设置为能够通过所述输送台车的所述移载部进行所述物品的交接的物品载置部。
2.根据权利要求1所述的输送车系统，其特征在于，
所述物品载置部设置为能够载置多个所述物品。
3.根据权利要求1或2所述的输送车系统，其特征在于，
进一步具有第一转动部，所述第一转动部使所述物品载置部沿着水平方向转动。
4.根据权利要求3所述的输送车系统，其特征在于，
进一步具有引导部，所述引导部具有防止所述物品从所述物品载置部向所述物品载置部的外部突出的突出防止功能，
所述第一转动部使所述物品载置部在第一状态与第二状态之间转动，所述第一状态是在所述物品载置部与所述外部之间不配置所述引导部，而将所述突出防止功能设为无效的状态，所述第二状态是在所述物品载置部与所述外部之间配置所述引导部，而将所述突出防止功能设为有效的状态。
5.根据权利要求4所述的输送车系统，其特征在于，
进一步具备对所述暂存台车进行控制的控制器，
所述控制器在所述物品载置部为所述第一状态时禁止所述第二行驶部的行驶，在所述物品载置部为所述第二状态时，允许所述第二行驶部的行驶。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的输送车系统，其特征在于，
所述移载部具有：物品保持部，其保持所述物品；升降驱动部，其使所述物品保持部升降；滑动机构，其使所述升降驱动部沿着水平方向滑动移动；第二转动部，其使所述滑动机构沿着水平方向转动；以及第三转动部，其使所述物品保持部或者所述升降驱动部沿着水平方向转动。
CN202180029801.9A 2020-04-30 2021-03-08 输送车系统 Pending CN115427329A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020080394 2020-04-30
JP2020-080394 2020-04-30
PCT/JP2021/008998 WO2021220621A1 (ja) 2020-04-30 2021-03-08 搬送車システム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN115427329A true CN115427329A (zh) 2022-12-02

Family

ID=78373607

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202180029801.9A Pending CN115427329A (zh) 2020-04-30 2021-03-08 输送车系统

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20230170237A1 (zh)
JP (1) JP7323059B2 (zh)
CN (1) CN115427329A (zh)
WO (1) WO2021220621A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024068454A (ja) * 2022-11-08 2024-05-20 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013183384A1 (ja) * 2012-06-08 2013-12-12 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法
US9415934B2 (en) * 2014-05-14 2016-08-16 Murata Machinery, Ltd. Transport system and transport method
EP3192751B1 (en) * 2014-09-10 2021-06-16 Murata Machinery, Ltd. Temporary storage system, conveyance system using same, and temporary storage method
NO346519B1 (en) * 2017-11-02 2022-09-19 Autostore Tech As An automated storage and retrieval system, use of a multi trolley vehicle on the system and a method of operating the system
NO344995B1 (en) * 2018-04-26 2020-08-17 Autostore Tech As Support vehicle for performing support operations in an automated storage and retrieval system

Also Published As

Publication number Publication date
TW202206357A (zh) 2022-02-16
WO2021220621A1 (ja) 2021-11-04
US20230170237A1 (en) 2023-06-01
JPWO2021220621A1 (zh) 2021-11-04
JP7323059B2 (ja) 2023-08-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3505416B1 (en) Rail-guided trolley system, and rail-guided trolley
CN111032535B (zh) 高架搬运车、输送系统、以及高架搬运车的控制方法
EP2450296B1 (en) System and method for transporting an article between processing devices
CN113056405A (zh) 高架搬运车以及高架搬运车系统
CN109415163B (zh) 输送系统
CN110831873B (zh) 搬运系统以及搬运方法
CN101278384A (zh) 悬挂式升降搬运台车上的物品交接方法以及装置
CN114341026A (zh) 搬运系统及网格系统
CN115427329A (zh) 输送车系统
WO2022149305A1 (ja) 天井保管システム
CN115175842B (zh) 高架输送车以及高架输送系统
JP7173291B2 (ja) 搬送車システム
TWI841837B (zh) 搬送車系統
EP3950457B1 (en) Traveling vehicle system
CN113716252A (zh) 物品输送设备
JP2000124284A (ja) 搬送装置
WO2023188769A1 (ja) 搬送システム
WO2024070303A1 (ja) 天井搬送車
WO2024070299A1 (ja) 天井搬送車
WO2024142502A1 (ja) 搬送車システム
KR102637694B1 (ko) 주행차 시스템
KR20220060485A (ko) 반송차

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination