CN111032535B - 高架搬运车、输送系统、以及高架搬运车的控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及高架搬运车、输送系统、以及高架搬运车的控制方法。减少储存物品的主体部内的空间而实现主体部以及高架搬运车的小型化，并且以与移载目的地对应的方式使物品旋转规定角度以上。该高架搬运车具备：行驶部；主体部；具有保持部、移动机构以及旋转机构，在其与移载目的地之间交接物品的移载部；以及控制部，主体部在通过旋转机构使位于储存位置的保持部旋转规定角度θ的情况下，在被保持部保持的物品抵接的位置具有内壁，控制部在使保持部位于储存位置并通过行驶部行驶，进行物品交接时，通过移动机构使保持部位于脱离位置，并通过旋转机构使保持部绕旋转轴旋转规定角度θ以上，从而使物品与移载目的地的规定的朝向一致。

Description

高架搬运车、输送系统、以及高架搬运车的控制方法
技术领域
本发明涉及高架搬运车、输送系统、以及高架搬运车的控制方法。
背景技术
在半导体制造工厂等制造工厂中，为了在处理装置的装载端口、保管部或者交接端口等移载目的地之间输送收纳半导体晶圆的FOUP或者收纳标线片的标线片Pod等物品，提出了使用沿着被铺设在顶棚的轨道行驶的高架搬运车的输送系统。高架搬运车具备：在轨道行驶的行驶部、以及以与行驶部一体地移动的方式被安装于行驶部的主体部(例如，参照专利文献1)。专利文献1记载了在这样的高架搬运车中，主体部具有储存物品时，从行驶方向的前后夹住该物品的内壁，并且具有保持物品的物品保持部、使物品保持部升降的升降驱动部、使升降驱动部相对于主体部向行驶方向的侧方突出的横向伸出机构、以及使升降驱动部旋转的旋转机构的结构。
专利文献1：日本特开2001-171970号公报
高架搬运车在FOUP等的输送时将开闭盖相对于行驶方向设为横朝向而储存在主体部。在该状态下，往往即使将FOUP等载置于装载端口等而开闭盖也不与处理装置等对置。因此，为了使FOUP等的开闭盖与处理装置等对置，往往需要在载置前使FOUP等绕上下方向的轴旋转。专利文献1所记载的高架搬运车采用了具有使物品旋转的旋转机构，在使旋转机构的旋转轴从轨道的中心线偏移了的状态下使物品旋转的构成。该高架搬运车将被保持部保持的物品设置为在被储存于主体部内的状态下能够绕上下方向的旋转轴旋转，并且减小主体部内的物品的旋转空间，防止在旋转时物品干涉主体部的内壁。但是，为了在将物品储存于主体部内的状态下使物品旋转，需要在主体部内设置用于允许物品的旋转的空间。其结果是，存在主体部的外形尺寸变大而导致高架搬运车的大型化这样的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够减少储存物品的主体部内的空间而实现主体部以及高架搬运车的小型化，并且能够以与移载目的地对应的方式使物品旋转规定角度以上的高架搬运车、输送系统、以及高架搬运车的控制方法。
本发明的高架搬运车具备：行驶部，其在被设置于顶棚或者顶棚附近的轨道上行驶；主体部，其被安装于行驶部；移载部，其具有保持物品的保持部、在被保持部保持的物品被储存于主体部内的储存位置与从主体部脱离的脱离位置之间使保持部移动的移动机构、以及使保持部绕上下方向的旋转轴旋转的旋转机构，上述移载部在该移载部与以规定的朝向载置物品的移载目的地之间交接物品；以及控制部，其控制行驶部以及移载部的动作，主体部，在通过旋转机构使位于储存位置的保持部旋转了规定角度旋转的情况下被保持部保持的物品抵接的位置具有内壁，控制部，在通过移动机构使保持部位于储存位置的状态下利用行驶部而行驶，在通过移载部相对于移载目的地进行物品的交接时，在通过移动机构使保持部位于脱离位置的状态下，通过旋转机构使保持部旋转规定角度以上，从而使被保持部保持的物品与移载目的地的规定的朝向一致。
另外，移动机构也可以具有在储存位置、与被保持部保持的物品从主体部向下方脱离的脱离位置之间使保持部升降的升降驱动部。另外，旋转机构也可以能够升降，保持部也可以被设置于旋转机构。
另外，移动机构也可以具有在储存位置、与被保持部保持的物品从主体部向横向脱离的脱离位置之间使保持部沿轨道的横向进退的横向伸出机构。另外，横向伸出机构以及保持部的行驶方向的尺寸也可以比被储存于主体部内的物品的行驶方向的尺寸小。
另外，本发明的输送系统是具有被设置于顶棚或者顶棚附近的轨道、以及作为移动机构具备升降驱动部的高架搬运车的高架搬运车的输送系统，高架搬运车具备使保持部沿轨道的横向进退的横向伸出机构，轨道具有直线区间、以及与直线区间连接的弯道区间，移载目的地被设置于弯道区间的下方并且侧方，在通过移载部相对于移载目的地交接物品时，控制部以如下的方式进行控制，在轨道的弯道区间使行驶部停止，通过升降驱动部使保持部下降到脱离位置，通过旋转机构使保持部旋转，从而使被保持部保持的物品与移载目的地的规定的朝向一致，通过横向伸出机构使升降驱动部前进到保持部或者物品位于移载目的地的正上方的位置，通过升降驱动部使保持部下降。另外，直线区间沿着建筑物的侧壁而设置，弯道区间被设置为从直线区间的方向转弯并远离侧壁，移载目的地被设置于弯道区间的下方并且侧方且侧壁的附近，侧壁被设置于在高架搬运车使行驶部在弯道区间停止之后，不通过旋转机构使保持部旋转而通过横向伸出机构使升降驱动部前进到物品位于移载目的地的正上方的位置的情况下，与被保持部保持的物品抵接的位置。
另外，本发明的高架搬运车的控制方法，该高架搬运车具备：行驶部，其在被设置于顶棚或者顶棚附近的轨道上行驶；主体部，其被安装于行驶部；移载部，其具有保持物品的保持部、在被保持部保持的物品被储存于主体部内的储存位置与从主体部脱离的脱离位置之间移动的移动机构、以及使保持部绕上下方向的旋转轴旋转的旋转机构，上述移载部在该移载部与以规定的朝向载置物品的移载目的地之间交接物品，主体部在通过旋转机构使位于储存位置的保持部旋转了规定角度旋转的情况下被保持部保持的物品抵接的位置具有内壁，该高架搬运车的控制方法包含以下步骤：在通过移动机构使保持部位于储存位置的状态下利用行驶部而行驶；在通过移载部相对于移载目的地进行物品的交接时，在通过移动机构使保持部位于脱离位置的状态下，通过旋转机构使保持部旋转规定角度以上，从而使被保持部保持的物品与移载目的地的规定的朝向一致。
另外，移载目的地也可以被设置于轨道的弯道区间的下方或者弯道区间的下方并且侧方。
根据本发明的高架搬运车以及高架搬运车的控制方法，由于当使被储存于主体部内的物品旋转规定角度，物品与内壁的间隔会变窄到保持部的内壁与物品抵接的程度，所以能够减少由主体部内的内壁形成的物品储存用的空间。其结果是，能够使主体部以及高架搬运车小型化。另外，在通过移载部相对于移载目的地进行物品的交接的情况下，在物品位于脱离位置时允许规定角度以上的旋转，所以能够防止物品与主体部的内壁抵接的情况。另外，能够使保持部旋转规定角度以上，所以即使在移载目的地的角度与停止的高架搬运车不同的情况下，使保持部或者物品以与由移载目的地规定的朝向一致地旋转，由此能够容易且适当地进行针对移载目的地的物品的交接。
另外，在移动机构是在储存位置、与被保持部保持的物品从主体部向下方脱离的脱离位置之间使保持部升降的升降驱动部的情况下，通过升降驱动部使物品下降到从主体部向下方脱离的位置之后旋转，从而能够可靠地防止在使物品旋转时物品与主体部的内壁抵接的情况。并且，即使在障碍物与高架搬运车的横向接近的情况下，也能够在主体部的下方使物品旋转。另外，在旋转机构能够通过升降驱动部升降，保持部被设置于旋转机构的情况下，相对于包含升降驱动部整体地旋转的情况，使旋转的对象变小，所以能够使旋转机构小型化。
另外，在移动机构是在储存位置、与被保持部保持的物品从主体部想横向脱离的脱离位置之间使保持部沿轨道的横向进退的横向伸出机构的情况下，能够可靠地防止在使物品旋转时物品与主体部的内壁的抵接。并且，即使在障碍物与高架搬运车的下方接近的情况下，也能够在主体部的横向上使物品旋转。另外，在横向伸出机构以及保持部的行驶方向的尺寸比被储存于主体部内的物品的行驶方向的尺寸小的情况下，在使横向伸出机构前进时，能够防止横向伸出机构或者保持部与壁等障碍物抵接的情况。
根据本发明的输送系统，在高架搬运车与移载目的地之间交接物品时，在轨道的弯道区间使行驶部停止，通过升降驱动部使保持部下降到脱离位置，通过旋转机构以使被保持部保持的物品与移载目的地的规定的朝向一致的方式使保持部旋转，通过横向伸出机构使升降驱动部前进到保持部或者物品位于移载目的地的正上方的位置，通过升降驱动部使保持部下降，所以在相对于轨道的弯道区间的下方并且侧方的移载目的地移载物品时，能够在与移载目的地的规定的朝向一致地旋转了的状态下适当地向该移载目的地载置物品而不使物品与接近于移载目的地的障碍物碰撞。另外，即使在移载目的地被设置于弯道区间的下方并且侧方且建筑物的附近的情况下，也能够在高架搬运车与移载目的地之间适当地交接物品而物品不会与侧壁接触。
另外，在上述高架搬运车的控制方法中，在移载目的地被配置于轨道的弯道区间的下方或者弯道区间的下方并且侧方的情况下，使保持部旋转规定角度以上，由此能够相对于这样的移载目的地进行物品的交接。
附图说明
图1是表示实施方式的高架搬运车的一个例子的图。
图2是沿着图1的A-A线的剖视图。
图3是表示在行驶方向的侧方(横向)分解高架搬运车的各构成的一个例子的俯视图。
图4是表示从行驶方向观察高架搬运车时的一个例子的图。
图5是示意性表示旋转机构的图。
图6是表示实施方式的输送系统以及高架搬运车的控制方法的一个例子的图，(A)是高架搬运车在弯道区间停止了的图，(B)是使物品下降到脱离位置的图。
图7接着图6，(A)是使物品旋转的图，(B)是使物品前进的图。
图8接着图7，是使物品下降而载置于装载端口的图。
图9是表示实施方式的输送系统以及高架搬运车的控制方法的其它例的图。
图10是表示高架搬运车的控制方法的其它例的图，(A)是高架搬运车在弯道区间停止了的图，(B)是高架搬运车在其它位置停止时的参考图。
图11是表示高架搬运车的控制方法的其它例的图。
图12表示高架搬运车使物品在脱离位置前进的状态，(A)是俯视图，(B)是从高架搬运车的行驶方向观察的图。
图13接着图12，表示使物品旋转的状态，(A)是俯视图，(B)是从高架搬运车的行驶方向观察的图。
图14接着图13，表示使物品进一步前进后而使其下降，将物品载置于搁板部的状态，(A)是俯视图，(B)是从高架搬运车的行驶方向观察的图。
图15表示其它轨道的高架搬运车保持了搁板部的物品的状态，(A)是俯视图，(B)是从高架搬运车的行驶方向观察的图。
图16接着图15，表示使物品上升并且返回到脱离位置的状态，(A)是俯视图，(B)是从高架搬运车的行驶方向观察的图。
图17接着图16，表示使物品旋转的状态，(A)是俯视图，(B)是从高架搬运车的行驶方向观察的图。
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的实施方式。但是，本发明并不限于实施方式。另外，在附图中为了说明实施方式，将一部分放大或强调记载等适当变更比例尺来表现。在以下的说明中，使用XYZ坐标系来说明图中的方向。在该XYZ坐标系中，将与水平面平行的平面设为XY平面。X方向设为与高架搬运车10(行驶部11)的行驶方向。另外，与XY平面垂直的方向标记为Z方向。对于X方向、Y方向以及Z方向的各个，在图中的箭头的方向是+方向，与箭头的方向相反的方向是-方向的情况下进行说明。
图1是表示实施方式的高架搬运车10的一个例子的图。图1所示的高架搬运车10例如在半导体设备的制造工厂中被设置为能够行驶，输送收纳了在半导体设备的制造使用的半导体晶圆的FOUP、或者收纳了标线片等加工用部件的标线片容器等物品M。在本实施方式中，虽作为物品M是FOUP的例子来进行说明，但物品M也可以是FOUP以外的。另外，高架搬运车10也能够适用于半导体设备制造领域以外的设备，被用于输送各种物品。
物品M例如具备用于取出半导体晶圆等收纳物的盖部Ma(参照图2)。盖部Ma能够装卸地被设置于物品M的一个侧面。另外，在物品M的收纳物是半导体晶圆等圆形的物体的情况下，在物品M中，在与盖部Ma相反的一侧的两个角部设置倾斜部Mb(参照图2)。通过该结构，在使物品M旋转时，能够抑制物品M的角部与其他部件的干涉。
如图1所示，高架搬运车10具备：行驶部11、主体部12、移载部13以及控制部14。行驶部11沿着被铺设在制造工厂等建筑物的顶棚C或者顶棚C附近的轨道R在X方向上行驶。行驶部11的行驶方向(X方向)是大致与轨道R的方向平行的方向。行驶部11具备未图示的行驶驱动部以及多个车轮11a，通过车轮11a在轨道R内滚动而行驶。行驶驱动部例如也可以是被设置于行驶部11并驱动车轮11a的电动马达，也可以是使用轨道R而被设置的线性马达。行驶部11的行驶以及停止被控制部14控制。
主体部12以与行驶部11一体地移动的方式被安装于行驶部11。主体部12能够储存物品M。主体部12具有连结部件21、支承部件22以及罩部件23。连结部件21与行驶部11连结。支承部件22沿着水平面配置，支承移载部13。罩部件23从支承部件22朝向上下方向(Z方向)的下方突出配置。罩部件23夹着储存物品M的储存位置P1而被分别配置于行驶方向的+X侧以及-X侧。各罩部件23具有在储存位置P1侧相互对置的内壁23a。两个内壁23a分别是平面状，并且被平行地配置。
图2是沿着图1的A-A线的剖视图，是表示主体部12中的罩部件23与物品M的位置关系的图。如图2所示，罩部件23在使被储存于储存位置P1的物品M绕旋转轴AX的轴旋转规定角度θ的情况下，被配置于内壁23a与物品M抵接的位置。因此，例如若保持物品M的后述的保持部15通过旋转机构19而旋转规定角度θ以上，则被保持部15保持的物品M旋转相同的规定角度θ以上，物品M的一部分与罩部件23的内壁23a抵接。即、在将物品M储存在储存位置P1的状态下，则成为使保持部15旋转则物品M碰到内壁23a程度那样物品M与内壁23a的间隔狭窄的状态。
如图1所示，移载部13具有：保持物品M的保持部15、使保持部15绕上下方向(Z方向)的旋转轴AX的轴旋转的旋转机构19、以及使保持部15以及旋转机构19相对于主体部12移动的移动机构16。
保持部15被设置于旋转机构19。保持部15把持物品M的顶部所具备的凸缘部Mc，由此悬挂地保持物品M。保持部15例如是具有能够沿水平方向移动的多个爪部15a的卡盘，使各个爪部15a进入物品M的凸缘部Mc的下方，使保持部15上升，从而以悬挂的状态保持物品M。保持部15与线或者带等悬挂部件15b连接。悬挂部件15b被设置多根，例如被设置两根。保持部15的动作被控制部14控制。
移动机构16具有：使保持部15在上下方向(Z方向)升降的升降驱动部17、以及使保持部15以及升降驱动部17沿轨道R的侧方(Y方向、轨道R的横向、或者与行驶方向正交的方向)进退的(横向伸出的)横向伸出机构18。升降驱动部17例如是升降机，放出悬挂部件15b由此使保持部15下降，卷绕悬挂部件15b由此使保持部15上升。
升降驱动部17被控制部14控制，由此以规定的速度使保持部15以及旋转机构19下降或者上升。另外，升降驱动部17被控制部14控制，由此将保持部15保持在目标的高度。高架搬运车10在从停止状态开始利用行驶部11进行的行驶时，例如通过升降驱动部17使保持部15上升到最高位置之后，开始行驶。在高架搬运车10行驶时，高架搬运车10的一部分利用该动作来防止与轨道R的下方的障碍物的接触。
横向伸出机构18例如具有：在上下方向重叠地配置的多个可动板18a、以及引导各种电缆的电缆引导部件18b(参照图3)。多个可动板18a能够在行驶部11的行驶方向的侧方(Y方向)移动。在最下层的可动板18a安装有升降驱动部17。横向伸出机构18具有将可动板18a向Y方向引导的未图示的引导件、以及使可动板18a在行驶方向的侧方(Y方向)移动的未图示的驱动部。该驱动部的动作被控制部14控制。电缆引导部件18b收纳各种电缆，追随横向伸出机构18的动作。电缆引导部件18b引导的各种电缆例如是与保持部15、以及升降驱动部17、旋转机构19连接的控制信号用的电缆、以及电力供给用的电缆等。
图3是表示在行驶方向的侧方(Y方向)分解高架搬运车10的各构成并从顶棚侧观察时的一个例子的图。如图3所示，行驶方向上的横向伸出机构18的尺寸L2、升降驱动部17的尺寸L3以及保持部15的尺寸L4都比行驶方向的物品M的尺寸L1小。此外，横向伸出机构18是在行驶方向排列地配置可动板18a与电缆引导部件18b的构成。如图3所示，横向伸出机构18的尺寸L2是合并行驶方向上排列地配置的可动板18a与电缆引导部件18b的尺寸。
如图3所示，由于横向伸出机构18、升降驱动部17以及保持部15的尺寸L2、L3、L4比物品M的尺寸L1小，所以在通过横向伸出机构18使保持部15等前进时，能够避免横向伸出机构18等在物品M之前与壁或者各种装置接触。
图4是表示从行驶方向(X方向)观察高架搬运车10时的一个例子的图。如图4所示，移载部13进行升降驱动部17的悬挂部件15b的放出以及卷绕，由此能够使被保持部15保持的物品M在储存位置P1与脱离位置P2之间移动。储存位置P1是物品M被收纳于被罩部件23的内壁23a夹着的空间内的位置。脱离位置P2是使物品M从主体部12向下方脱离的位置。
另外，移载部13通过来自未图示的驱动部的驱动力，使横向伸出机构18的可动板18a沿着未图示的引导件移动，从而能够使被保持部15保持的物品M在储存位置P1与脱离位置P3之间移动。储存位置P1如上所述。脱离位置P3是使物品M从主体部12向横向(Y方向)、即行驶方向侧方脱离的位置。此外，脱离位置P3相对于主体部12的行驶方向被设定在两侧的侧方(+Y侧以及-Y侧)。
旋转机构19使保持部15绕上下方向(Z方向)的旋转轴AX的轴旋转。另外，旋转机构19能够通过升降驱动部17进行升降。如图4所示，旋转机构19在被保持部15保持的物品M被配置于脱离位置P2或者脱离位置P3的状态下，能够使保持部15以上述的规定角度θ(参照图2)以上的角度绕旋转轴AX的轴方向旋转。
图5是示意性表示旋转机构19的图。如图5所示，旋转机构19具有驱动源19a、传感器19b、控制基板19c以及旋转轴19d。驱动源19a例如使用能够使旋转轴19d旋转的电动马达等。传感器19b检测旋转轴19d等的旋转量等。控制基板19c基于来自控制部14的控制信号以及传感器19b的检测结果来控制驱动源19a的动作。旋转轴19d能够相对于通过升降驱动部17升降的部分17a旋转，并且在上下方向(Y方向)与部分17a卡止。旋转轴19d的下端被安装于保持部15，使旋转轴19d旋转，由此能够使保持部15(以及物品M)旋转。此外，驱动源19a、传感器19b以及控制基板19c被配置于部分17a。
旋转机构19被配置于保持部15的上部，驱动升降驱动部17，由此与保持部15成为一体而沿上下方向(Z方向)移动。这样，旋转机构19被配置于保持部15的上部，由此相对于包含升降驱动部17旋转的情况能够使旋转对象变小。其结果是，能够使旋转机构19小型化。
此外，旋转机构19并不限于被配置于保持部15的上部的情况。例如，也可以是被配置于横向伸出机构18的可动板18a与升降驱动部17之间的构成。即使是该构成，在物品M被配置于脱离位置P2以及脱离位置P3的状态下，驱动旋转机构19，由此也能够包含升降驱动部17地使保持部15旋转，能够使被保持部15保持的物品M以规定角度θ以上的角度绕旋转轴AX的轴旋转。
如图5所示，电缆20具有：与保持部15电连接的保持部用电缆20a、以及与旋转机构19电连接的旋转机构用电缆20b。保持部用电缆20a与旋转机构用电缆20b分别被不同的悬挂部件15b支承。保持部用电缆20a包含：控制保持部15的控制用电缆、以及向保持部15供给电力的电源用电缆。保持部用电缆20a与旋转机构19的旋转轴19d连接，经由旋转轴19d将控制用的信号或者电力向保持部15供给。旋转机构用电缆20b包含：控制旋转机构19的控制用电缆、以及向旋转机构19供给电力的电源用电缆。旋转机构用电缆20b与控制基板19c连接。这样，电缆20被配置于悬挂部件15b，由此能够以紧凑的构成对保持部15以及旋转机构19进行控制信号或者电力的供给。
如图1所示，控制部14控制行驶部11以及移载部13的各部的动作。通过控制部14的指示，行驶部11在利用移动机构16将保持部15配置于储存位置P1的状态下行驶。此外，行驶部11停止时，由设置于高架搬运车10的传感器读取与移载目的地对应地设置于轨道R或者轨道R的附近的停止指标由此来进行。另外，在通过移载部13相对于移载目的地进行物品M的交接时，通过控制部14的指示，在利用移动机构16将保持部15配置于脱离位置P2、P3的状态下，旋转机构19使保持部15旋转规定角度θ以上，由此使被保持部15保持着的物品M旋转规定角度θ以上。
图6至图8是表示实施方式的输送系统SYS以及高架搬运车10的控制方法的一个例子的图。输送系统SYS具备轨道R与高架搬运车10。高架搬运车10例如向处理装置42的装载端口(移载目的地)30输送物品M。在装载端口30中，以规定的朝向(例如使盖部Ma与处理装置42对置的朝向)载置物品M。另外，高架搬运车10从装载端口30接受物品M并向其它位置输送。在本实施方式中，作为移载目的地虽以处理装置42的装载端口30为例进行了说明，但作为移载目的地也可以是自动仓库的交接端口，或者保管架等。另外，处理装置42例如是成膜装置、涂布机/显影机、曝光装置、蚀刻装置等，在制造设备(例如半导体设备)的过程中对半导体晶圆进行各种处理的装置。
在本实施方式中，处理装置42被配置于建筑物的侧壁41的附近。例如如图6所示，以处理装置42的前面侧的壁部与建筑物的侧壁41垂直的方式设置了处理装置42。根据该构成，处理装置42的装载端口30被配置于侧壁41的附近。为了将被处理体(例如半导体晶圆等)从物品M取入处理装置42内而开闭的装载端口30的取入口被设置为大致与处理装置42的前面侧的壁部共面。即该取入口被设置为与建筑物的侧壁41垂直。被处理体从被载置于装载端口30的物品M向处理装置42内的出入在物品M的盖部Ma被取下并且安装有该盖部Ma的部位与装载端口30的取入口一致的状态下被进行。因此，物品M被预先决定，以便以盖部Ma与装载端口30的取入口一致的朝向(换言之，物品M的盖部Ma处于与装载端口30的取入口平行并且接近的位置的朝向)被载置于该装载端口30。在本实施方式中，该朝向相当于物品M被载置于装载端口30时的规定的朝向。
轨道R包含：沿着侧壁41以及处理装置42而被配置的直线区间R1、R2，以及被配置于从处理装置42的装载端口30的上方偏移的位置的弯道区间R3。弯道区间R3被设置为连接沿着侧壁41的直线区间R1与沿着处理装置42的直线区间R2。弯道区间R3以从直线区间R1的方向转弯并远离侧壁41的方式被设置，与直线区间R2连接。直线区间R1、R2以及弯道区间R3被配置于在高架搬运车10行驶时不干涉侧壁41以及处理装置42的位置。
首先，对高架搬运车10向装载端口30输送物品M的情况下的动作进行说明。如图6(A)所示，行驶部11通过控制部14的指示，在轨道R的弯道区间R3停止。在该情况下，高架搬运车10在从上方观察不与侧壁41或者处理装置42平行的状态下停止。因此，被储存于主体部12的物品M不与处理装置42的前面侧的壁部平行，成为偏离装载端口30的上方，并且从装载端口30的规定的朝向旋转了的状态。控制部14在该状态下，通过移载部13对被配置于弯道区间R3的下方的装载端口30执行物品M的输送。
此外，最初在通过横向伸出机构18使物品M沿横向突出之后，在与装载端口30一致地使物品M旋转的情况下，如图6(A)的单点划线所示，物品M的角部碰到侧壁41。另外，在使物品M沿横向突出之前，若在被配置于储存位置P1的状态下通过旋转机构19与装载端口30一致地旋转，则如上所述，物品M碰到罩部件23的内壁23a。因此，控制部14为了避免物品M与侧壁41抵接的情况，并且避免物品M与罩部件23的内壁23a抵接的情况，进行图6(B)以后所示那样的控制。
首先，如图6(B)所示，升降驱动部17使保持部15下降而将物品M配置于脱离位置P2。此外，弯道区间R3的下方没有高的障碍物，所以在使物品M从高架搬运车10的主体部12下降到脱离位置P2时能够避免物品M与其他物品的碰撞。至少，在使物品M从储存位置P1下降到脱离位置P2时，能够避免与侧壁41或者处理装置42抵接。
在物品M被配置于脱离位置P2之后，如图7(A)所示，旋转机构19通过控制部14的指示，使保持部15旋转，而使物品M绕旋转轴AX(参照图2)的轴方向旋转，与物品M的移载目的地亦即装载端口30的规定的朝向一致。即，以装载端口30的取入口(处理装置42的前面侧的壁部)与物品M的盖部Ma成为平行的朝向的方式，使物品M旋转。在该情况下，在物品M被配置于不干涉罩部件23的脱离位置P2的状态下使保持部15旋转，所以能够使物品M以规定角度θ以上的角度旋转。另外，物品M以盖部Ma与处理装置42对置的方式旋转。因此，在储存位置P1即使盖部Ma的朝向是任何方向的情况下，利用旋转机构19使物品M旋转，由此也能够变成装载端口30的规定的朝向，使盖部Ma与处理装置42对置。
在使物品M的朝向与装载端口30的规定的朝向一致之后，如图7(B)所示，横向伸出机构18通过控制部14的指示，使升降驱动部17(保持部15)前进到物品M位于装载端口30的正上方的位置。在该情况下，物品M与装载端口30一致地旋转，所以物品M不与侧壁41或者处理装置42等障碍物抵接。另外，横向伸出机构18、升降驱动部17以及保持部15的行驶方向的尺寸比物品M的行驶方向的尺寸小(参照图3)，所以在横向伸出机构18前进时，能够防止横向伸出机构18等与侧壁41或者处理装置42等障碍物抵接的情况。
在物品M被配置于装载端口30的正上方之后，如图8所示，升降驱动部17通过控制部14的指示而使保持部15下降，在将物品M载置于装载端口30后，释放保持部15对物品M的保持。通过该一系列动作，高架搬运车10结束物品M向装载端口30的输送。此外，在将物品M载置于装载端口30后，通过升降驱动部17使保持部15上升，将横向伸出机构18撤回到主体部12，由此高架搬运车10成为能够行驶的状态。
接下来，对高架搬运车10接受被载置于装载端口30的物品M时的动作进行说明。在该情况下，与将物品M载置于装载端口30的情况相同，行驶部11在轨道R的弯道区间R3停止。此外，保持部15处于没有保持物品M的状态。在该状态下，与图6(B)至图8所示的动作相同，保持部15下降，由此保持物品M。此外，保持部15没有保持物品M，所以也可以首先在通过横向伸出机构18使保持部15前进到物品M的正上方之后，通过旋转机构19使保持部15与物品M一致地旋转，接着通过升降驱动部17使保持部15下降。
在保持部15保持物品M之后，通过升降驱动部17使保持部15上升，以脱离位置P2的高度保持物品M。接着，通过横向伸出机构18使升降驱动部17(保持部15)退避到主体部12的下方。根据该结果，物品M成为与图6(B)相同的状态。接着，通过旋转机构19使保持部15旋转，而使物品M绕旋转轴AX的轴旋转，使物品M的朝向与主体部12的罩部件23的配置一致。接着，通过升降驱动部17使保持部15上升，将物品M配置于储存位置P1。通过该一系列动作，高架搬运车10结束被载置于装载端口30的物品M的接受。
这样，根据本实施方式的高架搬运车10，被储存于主体部12内的物品M与罩部件23的间隔狭窄，由罩部件23形成的物品储存用的空间小，所以能够使主体部12以及高架搬运车10小型化。另外，在通过移载部13相对于移载目的地(装载端口30)进行物品M的交接的情况下，在物品M位于脱离位置P2时允许规定角度θ以上的旋转，所以能够防止物品M与主体部12的罩部件23抵接的情况。另外，在脱离位置P2能够使保持部15旋转规定角度θ以上，所以能够相对于被配置于侧壁41等的附近的装载端口30进行物品M的交接而不使物品M碰撞侧壁41等。另外，即使装载端口30在建筑物的侧壁41的附近也能够适当地进行物品M的交接，所以能够将处理装置42(装载端口)配置到侧壁41的附近，能够提高建筑物内的空间效率。
在上述实施方式中，虽示出了相对于与侧壁41接近的装载端口30进行物品M的交接的例子，但在图9以及图10中示出了相对于其它装载端口31的物品M的交接。此外，高架搬运车10、10A的结构与上述实施方式相同，所以标注相同的符号并省略说明。
图9以及图10是表示实施方式的高架搬运车10的控制方法的其它例的图。高架搬运车10向未图示的处理装置或者保管架、自动仓库等的装载端口31、31A输送物品M。另外，高架搬运车10从装载端口31、31A接受物品M并向其它位置输送。此外，以物品M的盖部Ma朝向后述的外部轨道R5的行进方向的后方的方式将物品M载置于装载端口31、31A的情况为例来进行说明。即、示出了由装载端口31、31A规定的物品M的朝向是使盖部Ma朝向外部轨道R5的行进方向的后方的状态的例子。此外，关于盖部Ma的方向，并不限于图9所示的例，也可以被配置为朝向其它方向。
在图9以及图10所示的实施方式中，轨道R具有环绕轨道R4、以及外部轨道R5。环绕轨道R4例如沿着未图示的处理装置或者保管架、自动仓库等而设置。环绕轨道R4具有直线区间R41、R42、以及弯道区间R43、R44。外部轨道R5被配置于环绕轨道R4的外部。外部轨道R5通过两个连接轨道R6与环绕轨道R4连接。两个连接轨道R6的一方是用于从外部轨道R5进入环绕轨道R4的轨道，连接轨道R6的一方是用于从环绕轨道R4前往外部轨道R5的轨道。在本实施方式中，装载端口31被配置于连接轨道R6的下方、弯道区间R44的下方并且侧方的位置。另外，装载端口31A被配置于外部轨道R5的下方的位置。
在高架搬运车10向装载端口31输送物品M的情况下，如图10(A)所示，行驶部11通过控制部14的指示，在环绕轨道R4的弯道区间R44停止。在该状态下，高架搬运车10例如以与上述图6至图8相同的顺序，在与被配置于弯道区间R44的下方并且侧方的装载端口31之间进行物品M的交接。通过控制部14控制高架搬运车10的动作这一点与上述相同。
首先，通过升降驱动部17使保持部15下降并将物品M配置于脱离位置P2。在物品M被配置于脱离位置P2之后，旋转机构19使保持部15绕旋转轴AX的轴旋转，使物品M的朝向与由装载端口31规定的朝向一致。此时，在物品M被配置于脱离位置P2的状态下使保持部15旋转，所以能够以规定角度θ以上的角度旋转。在使物品M的朝向与由装载端口31规定的朝向一致之后，横向伸出机构18使升降驱动部17(保持部15)前进到物品M位于装载端口31的正上方的位置。接着，通过升降驱动部17使保持部15下降，将物品M载置于装载端口31。通过该一系列动作，高架搬运车10结束物品M向装载端口31的输送。
此外，在装载端口31的附近没有障碍物的情况下，横向伸出机构18也可以在使升降驱动部17(保持部15)前进到物品M位于装载端口31的正上方的位置之后，通过旋转机构19使物品M的朝向与在装载端口31求得的朝向一致，接着，通过升降驱动部17使保持部15下降并将物品M载置于装载端口31。
另外，关于高架搬运车10接受被载置于装载端口31的物品M的情况也以与上述相同的顺序进行。首先，使行驶部11在环绕轨道R4的弯道区间R44停止，以与上述相同的顺序使保持部15下降并保持被载置于装载端口31的物品M。在保持部15保持物品M之后，通过升降驱动部17使保持部15上升，以脱离位置P2的高度保持物品M。接着，通过横向伸出机构18使升降驱动部17(保持部15)退避到主体部12的下方。接着，通过旋转机构19使保持部15旋转，使物品M的朝向与主体部12的罩部件23的配置一致。接着，通过升降驱动部17使保持部15上升，将物品M配置于储存位置P1。通过该一系列动作，高架搬运车10结束被载置于装载端口31的物品M的接受。
装载端口31被配置于连接轨道R6的下方。因此，例如如图10(B)所示，在高架搬运车10从外部轨道R5向连接轨道R6移动，使行驶部11在连接轨道R6停止的状态下，能够通过移载部13在与装载端口31之间进行物品M的交接。但是，在这种情况下，往往高架搬运车10的一部分(例如罩部件23等)向外部轨道R5侧突出。其结果是，存在成为在外部轨道R5上行驶的其它高架搬运车10A的障碍的情况，所以需要使其它高架搬运车10A的行驶暂时停止。
在图10(A)所示的例子中，通过在环绕轨道R4上行驶的高架搬运车10在与装载端口31之间进行物品M的交接，所以高架搬运车10的一部分不会成为在外部轨道R5上行驶的其它高架搬运车10A的障碍物，不需要使其它高架搬运车10A的行驶停止。因此，能够抑制在外部轨道R5中产生高架搬运车10A的堵塞。
另外，在图10(A)所示的例子中，在通过高架搬运车10相对于装载端口31进行物品M的交接的同时，能够利用在外部轨道R5上行驶的高架搬运车10A相对于装载端口31A进行物品M的交接。例如，在利用高架搬运车10相对于装载端口31进行物品M的交接的时刻，高架搬运车10A的行驶部11能够在外部轨道R5中在装载端口31A的上方停止，在该状态下，通过移载部13在与装载端口31A之间进行物品M的交接。
高架搬运车10A的升降驱动部17使保持部15下降而将物品M配置于脱离位置P2。接着，旋转机构19使保持部15旋转而使物品M的朝向与装载端口31A一致。例如，旋转机构19以物品M的盖部Ma朝向外部轨道R5的行进方向的后方的方式旋转。此外，在高架搬运车10A中，在物品M被配置于脱离位置P2的状态下而旋转，所以能够以规定角度θ以上的角度使物品M旋转。在使物品M的朝向与装载端口31A一致之后，升降驱动部17使保持部15下降而将物品M载置于装载端口31A。通过该一系列动作，高架搬运车10A结束物品M向装载端口31A的输送。
另外，对高架搬运车10A接受被载置于装载端口31A的物品M的情况进行说明。与上述相同，高架搬运车10A使行驶部11在装载端口31A的上方停止，使保持部15下降并保持物品M。接着，升降驱动部17使保持部15上升而将物品M配置于脱离位置P2。接着，旋转机构19使保持部15旋转而使物品M的朝向与主体部12的罩部件23的配置一致。接着，升降驱动部17使保持部15上升而将物品M配置于储存位置P1。通过该一系列动作，高架搬运车10A结束被载置于装载端口31A的物品M的接受。
这样，在图9以及图10所示的实施方式中，在通过高架搬运车10相对于装载端口31进行物品M的交接时，能够确保外部轨道R5的高架搬运车10A的顺畅的行驶而不使高架搬运车10成为在外部轨道R5上行驶的高架搬运车10A的障碍。并且，在通过高架搬运车10相对于装载端口31进行物品M的交接时，同时能够通过在外部轨道R5上行驶的高架搬运车10A在与装载端口31A之间进行物品M的交接，所以能够提高物品M的输送效率。
在上述实施方式中，虽示出了装载端口30、31、31A被设置于建筑物的地面的例子，但存在相对于作为移载目的地而被配置于建筑物内的上部的、距离地面规定高度的搁板部32进行物品M的交接的情况。图11至图17是表示实施方式的高架搬运车10(10A、10B)的控制方法的其它例的图。此外，在图12至图17中，各图的(A)是从上方向下方(-Z方向)观察时的图，各图的(B)是从行驶方向(X方向)观察时的图。另外，高架搬运车10(10B、10C)的结构与上述实施方式相同，所以标注相同的符号并省略说明。
如图11以及图12所示，轨道R具有直线轨道R7、R8。如图12所示，直线轨道R7、R8分别沿着X方向延伸，并且从上方观察时夹着搁板部32而被平行地配置。搁板部32以沿着直线轨道R7、R8的方式在X方向排列地配置多个。以下，在区别多个搁板部32的情况下，标记为搁板部32a、32b等。
如图12所示，高架搬运车10在直线轨道R7、R8上朝向相反方向行驶。以下，将高架搬运车10作为在直线轨道R7上行驶的高架搬运车10B和在直线轨道R8上行驶的高架搬运车10C来进行说明。高架搬运车10B、10C相对于多个搁板部32的各个输送物品M。另外，高架搬运车10B、10C从各个搁板部32接受物品M并向其它位置输送。另外，在本实施方式中，在高架搬运车10B与高架搬运车10C之间能够经由搁板部32进行物品M的交接。以下，对高架搬运车10B以及高架搬运车10C的动作进行说明。
首先，对高架搬运车10B向搁板部32a输送物品M时的动作进行说明。如图12(A)以及(B)所示，高架搬运车10B的行驶部11在直线轨道R7中在搁板部32a的侧方停止。接着，横向伸出机构18朝向搁板部32a侧以将物品M配置于脱离位置P3(参照图4)的方式前进。此时，横向伸出机构18以使物品M旋转时的最外周的轨迹S1不与在直线轨道R8上行驶的高架搬运车10C重合的方式，设定前进量。在该状态下，物品M没有到达搁板部32a的正上方。其结果是，能够防止在直线轨道R8上行驶的高架搬运车10C、与高架搬运车10B正在输送的物品M的干涉。
接着，如图13(A)以及(B)所示，旋转机构19使保持部15绕旋转轴AX的轴旋转，使物品M的朝向与由搁板部32a规定的朝向一致。例如旋转机构19以物品M的盖部Ma朝向高架搬运车10B的行驶方向的前方(+X方向)的方式来调整物品M的朝向。另外，在物品M被配置于不与罩部件23干涉的脱离位置P3的状态下使保持部15旋转，所以能够以规定角度θ以上的角度使物品M旋转。另外，被载置于各搁板部32的物品M的朝向以使盖部Ma朝向+X方向的方式被统一地设定，但也可以被统一于其它朝向，也可以在各搁板部32任意地设定盖部Ma的朝向。
另外，如图13(A)所示，按照使被载置于搁板部32a的物品M旋转时的最外周的轨迹S1、不与在直线轨道R8上行驶的高架搬运车10C使被载置于搁板部32a相邻的搁板部32b的物品M旋转时的最外周的轨迹S2重合的方式，设定了搁板部32a与搁板部32b的间隔。根据该构成，即使利用高架搬运车10B和高架搬运车10C同时对相邻的搁板部32a、32b进行物品M的交接，也能够避免物品M彼此的干涉，同时对搁板部32a、32b进行物品M的交接，由此能够提高物品M的输送效率。
在使物品M的朝向与由搁板部32a规定的朝向一致之后，如图14(A)所示，高架搬运车10B的横向伸出机构18使升降驱动部17(保持部15)前进到物品M位于搁板部32a的正上方的位置。在该情况下，物品M的朝向与由搁板部32a规定的朝向一致，所以能够防止物品M与在直线轨道R8上行驶的高架搬运车10C干涉的情况。接着，升降驱动部17使保持部15下降，将物品M载置于搁板部32a，释放保持部15对物品M的保持。在将物品M载置于搁板部32a后，如图14(B)所示，升降驱动部17使保持部15上升。接着，横向伸出机构18使升降驱动部17(保持部15)向主体部12内退避。通过该一系列动作，高架搬运车10B结束物品M向搁板部32a的输送。
另外，对高架搬运车10B接受被载置于搁板部32a的物品M的情况进行说明。与上述相同，高架搬运车10B使行驶部11在搁板部32a的侧方停止，使横向伸出机构18前进后，使保持部15下降并保持物品M。接着，升降驱动部17使保持部15上升而抬起物品M。接着，横向伸出机构18使保持部15稍退避(向-Y方向稍微移动)，如图13(A)所示，将物品M配置于脱离位置P3。接着，旋转机构19使保持部15旋转而使物品M的朝向与主体部12的罩部件23的配置一致。接着，横向伸出机构18使升降驱动部17(保持部15)退避而将物品M配置于储存位置P1(参照图4)。通过该一系列动作，高架搬运车10B结束被载置于搁板部32a的物品M的接受。
接下来，对在直线轨道R8上行驶的高架搬运车10C接受被载置于搁板部32a的物品M时的动作进行说明。如图15(A)以及(B)所示，高架搬运车10C的行驶部11在搁板部32a的侧方停止。接着，在横向伸出机构18前进到使保持部15位于物品M的正上方的位置之后，通过升降驱动部17使保持部15下降并保持物品M。
在保持部15保持物品M之后，升降驱动部17使保持部15上升从而使物品M上升。此外，已上升的物品M以与搁板部32b一致的朝向上升，所以不干涉在直线轨道R7上行驶的高架搬运车10B。接着，横向伸出机构18使升降驱动部17(保持部15)稍微向高架搬运车10C侧退避(稍微向+Y方向移动)，将物品M配置于脱离位置P3。在脱离位置P3中，使物品M旋转时的最外周的轨迹S3不与在直线轨道R7上行驶的高架搬运车10B重合。根据该构成，即使在使物品M旋转时，也能够防止高架搬运车10B与物品M的干涉。
接着，如图16(A)以及(B)所示，旋转机构19使保持部15绕旋转轴AX的轴旋转，使物品M的朝向与罩部件23一致。此时，旋转机构19以物品M的盖部Ma朝向高架搬运车10C的行驶方向的左侧/即搁板部32a侧的方式来调整物品M的配置。在调整了物品M的朝向之后，如图17(A)以及(B)所示，横向伸出机构18使升降驱动部17(保持部15)退避，将物品M配置于储存位置P1(参照图4)。通过该一系列动作，高架搬运车10C结束被载置于搁板部32a的物品M的接受。
这样，在本实施方式中，在直线轨道R7、R8上行驶的高架搬运车10B、10C都能够相对于搁板部32进行物品M的交接，能够在高架搬运车10B、10C之间经由搁板部32进行物品M的交接。并且，在高架搬运车10B、10C的任一方相对于搁板部32进行物品M的交接的情况下，高架搬运车10B、10C的任一方不妨碍另一方的行驶，所以能够提高物品M的输送效率。此外，在本实施方式中，在高架搬运车10B、10C的主体部12的下方的脱离位置P2(参照图4)使物品M旋转，不能高效地进行针对搁板部32的物品M的交接。因此，如上述那样，将物品M配置于横向的脱离位置P3(参照图4)而使其旋转，由此能够高效地进行针对搁板部32的物品M的交接。
以上，虽对实施方式进行了说明，但本发明并不限于上述说明，在不脱离本发明的宗旨的范围内能够进行各种改变。例如，在图11至图17所示的实施方式中，虽举出在直线轨道R7、R8上行驶的高架搬运车10B、10C相互沿相反方向行驶的例子来进行了说明，但并不限于该构成。例如，也可以是在直线轨道R7、R8上行驶的高架搬运车10B、10C沿相同方向行驶的构成。另外，只要在法律允许的范围内，引用作为日本专利申请的特愿2017-157189以及本说明书所引用的全部的文献的内容并作为正文的记载的一部分。
附图标记的说明
C…顶棚、M…物品、Ma…盖部、P1…储存位置、P2、P3…脱离位置、R…轨道、R1、R2、R41、R42…直线区间、R3、R43、R44…弯道区间、SYS…输送系统、10、10A、10B、10C…高架搬运车、11…行驶部、12…主体部、13…移载部、14…控制部、15…保持部、15b…悬挂部件、16…移动机构、17…升降驱动部、17a…部分、18…横向伸出机构、19…旋转机构、20…电缆、20a…保持部用电缆、20b…旋转机构用电缆、23…罩部件、23a…内壁、30、31、31A…装载端口(移载目的地)、32、32a、32b…搁板部、41…侧壁、42…处理装置。

Claims (2)

1.一种输送系统，是具有被设置于顶棚或者顶棚附近的轨道、以及高架搬运车的输送系统，其中，
所述高架搬运车，其具备：
行驶部，其在被设置于顶棚或者顶棚附近的轨道上行驶；
主体部，其被安装于上述行驶部；
移载部，其具有保持物品的保持部、在被上述保持部保持的物品被储存于上述主体部内的储存位置与从上述主体部脱离的脱离位置之间使上述保持部移动的移动机构、以及使上述保持部绕上下方向的旋转轴旋转的旋转机构，上述移载部在该移载部与以规定的朝向载置物品的移载目的地之间交接物品；以及
控制部，其控制上述行驶部以及上述移载部的动作，
上述主体部，在通过上述旋转机构使位于上述储存位置的上述保持部旋转了规定角度旋转的情况下被上述保持部保持的物品抵接的位置具有内壁，
上述控制部，在通过上述移动机构使上述保持部位于上述储存位置的状态下利用上述行驶部而行驶，在通过上述移载部相对于上述移载目的地进行物品的交接时，在通过上述移动机构使上述保持部位于上述脱离位置的状态下，通过上述旋转机构使上述保持部旋转上述规定角度以上，从而使被上述保持部保持的物品与上述移载目的地的上述规定的朝向一致，
上述移动机构具有在上述储存位置、与被上述保持部保持的物品从上述主体部向下方脱离的上述脱离位置之间使上述保持部升降的升降驱动部，
上述高架搬运车具备使上述保持部沿上述轨道的横向进退的横向伸出机构，
上述轨道具有直线区间、以及与上述直线区间连接的弯道区间，
上述移载目的地被设置于上述弯道区间的下方并且侧方，
在通过上述移载部相对于上述移载目的地交接物品时，上述控制部以如下的方式进行控制，
在上述轨道的上述弯道区间使上述行驶部停止，
通过上述升降驱动部使上述保持部下降到上述脱离位置，
通过上述旋转机构使上述保持部旋转，从而使被上述保持部保持的物品与上述移载目的地的上述规定的朝向一致，
通过上述横向伸出机构使上述升降驱动部前进到上述保持部或者物品位于上述移载目的地的正上方的位置，
通过上述升降驱动部使上述保持部下降。
2.根据权利要求1所述的输送系统，其中，
上述直线区间沿着建筑物的侧壁而设置，
上述弯道区间被设置为从上述直线区间的方向转弯并远离上述侧壁，
上述移载目的地被设置于上述弯道区间的下方并且侧方且上述侧壁的附近，
上述侧壁被设置于，在上述高架搬运车使上述行驶部在上述弯道区间停止之后，不通过上述旋转机构使上述保持部旋转而通过上述横向伸出机构使上述升降驱动部前进到物品位于上述移载目的地的正上方的位置的情况下，与被上述保持部保持的物品抵接的位置。
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20210237972A1 (en) * 2018-04-24 2021-08-05 Rutgers, The State University Of New Jersey Low profile transfer mechanism for controlled environment
JP7063277B2 (ja) * 2019-01-10 2022-05-09 株式会社ダイフク 天井搬送車
KR102501706B1 (ko) * 2019-03-22 2023-02-17 무라다기카이가부시끼가이샤 반송차 시스템
CN110466984A (zh) * 2019-08-12 2019-11-19 苏州富强科技有限公司 一种自动上下料装置
CN113998403B (zh) * 2020-07-28 2022-09-23 长鑫存储技术有限公司 转运系统及转运方法
JP7283500B2 (ja) * 2021-06-07 2023-05-30 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP2023069914A (ja) 2021-11-08 2023-05-18 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP2023074704A (ja) 2021-11-18 2023-05-30 株式会社ダイフク 物品搬送装置
WO2023188769A1 (ja) * 2022-03-29 2023-10-05 村田機械株式会社 搬送システム
CN116534668A (zh) * 2022-12-02 2023-08-04 苏州正齐半导体设备有限公司 用于更换卷盘的系统及其方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5857848A (en) * 1996-09-13 1999-01-12 Tokyo Electron Limited Transfer apparatus and vertical heat-processing system using the same
JP2001171970A (ja) * 1999-12-20 2001-06-26 Tsubakimoto Chain Co 天井走行搬送車におけるワーク旋回方法
CN1333730A (zh) * 1998-12-18 2002-01-30 阿赛斯特技术公司 一体式的隔舱内部输送、存放及运送装置
WO2011020469A1 (de) * 2009-08-20 2011-02-24 Sasit Industrietechnik Gmbh Zwickau Vorrichtung zur bestückung und ausrüstung von kfz-batteriegehäusen
WO2014115472A1 (ja) * 2013-01-28 2014-07-31 村田機械株式会社 移載装置及び移載方法
CN103964111A (zh) * 2013-01-28 2014-08-06 西部电机株式会社 物品移动装置
CN205132683U (zh) * 2015-10-15 2016-04-06 杭州爱科科技有限公司 用于提供卷材张力的机构
JP2016199348A (ja) * 2015-04-09 2016-12-01 株式会社ダイフク 物品搬送設備及び物品搬送設備の保守作業方法
CN205920055U (zh) * 2016-07-16 2017-02-01 深圳市兴禾自动化有限公司 一种治具旋转驱动及卡紧限位装置
CN107857064A (zh) * 2016-09-21 2018-03-30 株式会社大福 物品搬运设备

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4702693B2 (ja) 2004-02-12 2011-06-15 ムラテックオートメーション株式会社 搬送台車及び搬送装置
JP4915051B2 (ja) * 2005-03-28 2012-04-11 ムラテックオートメーション株式会社 自動搬送システム
JP2006298566A (ja) * 2005-04-20 2006-11-02 Murata Mach Ltd 天井走行車とそのシステム
JP2007191235A (ja) 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP5145686B2 (ja) * 2006-10-20 2013-02-20 村田機械株式会社 搬送システム
JP4264840B2 (ja) 2006-10-20 2009-05-20 村田機械株式会社 天井走行車
JP4193186B2 (ja) * 2006-11-02 2008-12-10 村田機械株式会社 天井走行車
JP5187200B2 (ja) * 2009-01-13 2013-04-24 村田機械株式会社 天井搬送車
JP2011035022A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Murata Machinery Ltd 天井搬送車
JP5636849B2 (ja) * 2010-09-30 2014-12-10 村田機械株式会社 移載システム
KR101940564B1 (ko) * 2012-02-22 2019-01-21 삼성전자주식회사 기판 캐리어 자동 이송 장치와 이를 이용한 기판 캐리어 이송방법
KR20130113205A (ko) * 2012-04-05 2013-10-15 삼성전자주식회사 호이스트 장치
US20150203333A1 (en) 2012-07-26 2015-07-23 Murata Machinery, Ltd. Overhead traveling vehicle system and control method for overhead traveling vehicle system
KR20150130850A (ko) * 2014-05-14 2015-11-24 삼성전자주식회사 오퍼헤드 호이스트 트랜스퍼 시스템 및 이를 채택하는 공장 시스템
SG11201800794UA (en) * 2015-08-14 2018-02-27 Murata Machinery Ltd Conveyor car system
JP2017120510A (ja) * 2015-12-28 2017-07-06 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6140351B1 (ja) 2016-10-31 2017-05-31 ファナック株式会社 複数の機械と相互通信を行う機械システム

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5857848A (en) * 1996-09-13 1999-01-12 Tokyo Electron Limited Transfer apparatus and vertical heat-processing system using the same
CN1333730A (zh) * 1998-12-18 2002-01-30 阿赛斯特技术公司 一体式的隔舱内部输送、存放及运送装置
JP2001171970A (ja) * 1999-12-20 2001-06-26 Tsubakimoto Chain Co 天井走行搬送車におけるワーク旋回方法
WO2011020469A1 (de) * 2009-08-20 2011-02-24 Sasit Industrietechnik Gmbh Zwickau Vorrichtung zur bestückung und ausrüstung von kfz-batteriegehäusen
WO2014115472A1 (ja) * 2013-01-28 2014-07-31 村田機械株式会社 移載装置及び移載方法
CN103964111A (zh) * 2013-01-28 2014-08-06 西部电机株式会社 物品移动装置
JP2016199348A (ja) * 2015-04-09 2016-12-01 株式会社ダイフク 物品搬送設備及び物品搬送設備の保守作業方法
CN205132683U (zh) * 2015-10-15 2016-04-06 杭州爱科科技有限公司 用于提供卷材张力的机构
CN205920055U (zh) * 2016-07-16 2017-02-01 深圳市兴禾自动化有限公司 一种治具旋转驱动及卡紧限位装置
CN107857064A (zh) * 2016-09-21 2018-03-30 株式会社大福 物品搬运设备

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
小型自动化立体库的应用;张宏兵，田奇;《建筑科学与工程学报》;20040630;第21卷(第2期);全文 *

Also Published As

Publication number Publication date
KR102386052B1 (ko) 2022-04-14
TWI751368B (zh) 2022-01-01
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EP3670389A1 (en) 2020-06-24
US20200251366A1 (en) 2020-08-06
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TW201910243A (zh) 2019-03-16
US11069549B2 (en) 2021-07-20

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