CN113998403B - 转运系统及转运方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种转运系统及转运方法，其中，转运系统包括：台车设备在运输轨道上移动；控制装置用于，当台车设备移动到第一预设位点，向台车设备发出第一控制信号；台车设备根据第一控制信号抓取第一类载具；控制装置还用于，当台车设备移动到第二预设位点，向台车设备发出第二控制信号；台车设备根据第二控制信号抓取第二类载具；第一类载具和第二类载具用于承载不同的半导体材料；使得台车设备可以在预设位点时基于不同的控制信号抓取不同类型的载具，从而提高了台车设备的可用性，节约成本。

Description

转运系统及转运方法

技术领域

本发明涉及物料搬送领域，特别涉及一种转运系统及转运方法。

背景技术

现有半导体自动物料搬送系统(AMHS系统)中有两种用途的台车，用于抓取不同规格的载具，例如用于搬运晶圆载具的台车，和用于搬运掩膜载具的台车，两种台车的使用区域不同，所以在台车上线前，需设定不同的控制程序从而使得台车在相应区域进行不同类型的载具搬运。

然而发明人发现：不同类型的台车之间相互独立不能交叉使用，且各自只能在特定区域发挥作用，造成了台车可用性降低、以及成本浪费的问题。

发明内容

本发明实施例提供一种转运系统及转运方法，使得台车设备可以在预设位点时基于不同的控制信号抓取不同类型的载具，从而提高了台车设备的可用性，节约成本。

为解决上述技术问题，本发明的实施例提供了一种转运系统，包括：台车设备在运输轨道上移动；控制装置用于，当台车设备移动到第一预设位点，向台车设备发出第一控制信号；台车设备根据第一控制信号抓取第一类载具；控制装置还用于，当台车设备移动到第二预设位点，向台车设备发出第二控制信号；台车设备根据第二控制信号抓取第二类载具；第一类载具和第二类载具用于承载不同的半导体材料。

与现有技术相比，本实施例通过设计一种台车设备以及控制装置，使得台车设备在到达预设位点时，控制系统向台车设备发出相应的控制信号，台车设备基于控制信号以抓取相应类型的载具，从而实现了同一台车设备可以抓取不同类型的载具，提高了台车设备的可用性，节约成本。

另外，台车设备包括：台车本体，台车本体上设置有通讯接口，通讯接口用于接收第一控制信号或第二控制信号，台车本体基于第一控制信号或第二控制信号于运输轨道上移动；抓取组件，连接台车本体，用于根据第一控制信号抓取第一类载具，或根据第二控制信号抓取第二类载具。

另外，抓取组件包括：伸缩部，一端固定连接台车本体，另一端固定连接抓取部，且伸缩部的本体可伸缩；伸缩部用于根据第一控制信号伸长至第一长度，或根据第二控制信号伸长至第二长度；抓取部用于抓取第一类载具或第二类载具。

另外，抓取组件还包括：第一旋转部，伸缩部通过第一旋转部连接台车本体，第一旋转部用于控制伸缩部自转；第一旋转部用于，基于第一控制信号旋转伸缩部至第一预设角度，或基于第二控制信号旋转伸缩部至第二预设角度。本发明实施例给出的一种旋转抓取组件的方式，通过可旋转的抓取组件，实现抓取组件可以抓取不同类型的载具。

另外，抓取组件还包括：第二旋转部，抓取部通过第二旋转部连接伸缩部，第二旋转部用于控制抓取部自转；第二旋转部用于，基于第一控制信号旋转抓取部至第一预设角度，或基于第二控制信号旋转抓取部至第二预设角度。本发明实施例给出的另一种旋转抓取组件的方式，通过可旋转的抓取组件，实现抓取组件可以抓取不同类型的载具。

另外，台车本体还包括：第一保护组件，设置在台车本体上；第二保护组件，可移动地设置在第一保护组件上，用于承载被抓取组件抓取的第一类载具的底部表面或第二类载具的底部表面；第一驱动组件，设置在第一保护组件上，用于控制第二保护组件在第一保护组件上移动。第一保护组件用于防止台车设备在移动的过程中，台车设备所抓取的载具的磕碰问题。

另外，第一保护组件包括：第一支撑杆，设置在台车本体上；第一滑块，第一滑块嵌套且可移动地设置在第一支撑杆上，且第二保护组件固定设置在第一滑块上；第一驱动组件设置在第一支撑杆上，用于控制第一滑块在第一支撑杆上移动。

另外，第一保护组件还包括；支撑杆固定部，固定连接第一支撑杆远离台车本体的一端。通过支撑杆固定部固定在第一支撑杆远离台车本体的一端，防止第一滑块在第一支撑杆上滑脱。

另外，第一支撑杆包括第一丝杆，第一驱动组件设置在第一丝杆上，用于控制第一丝杆旋转，第一滑块可移动地设置在第一丝杆上，在第一丝杆旋转的过程中，第一滑块沿第一丝杆设置的方向上移动。本发明实施方式给出的一种实现第一滑块在第一丝杆上滑动的实施方式。

另外，第二保护组件包括：第二支撑杆，可移动地设置在第一保护组件上，且第二支撑杆设置的方向与第一保护组件设置的方向相互垂直；第二滑块，第二滑块嵌套且可移动地设置在第二支撑杆上；支撑架，连接第二滑块，用于承载被抓取组件抓取的第一类载具的底部表面或第二类载具的底部表面。

另外，第二保护组件还包括：第二驱动组件，设置在第二支撑杆上，用于控制第二滑块在第二支撑杆上移动；当第二滑块处于第一预设位置时，支撑架处于收缩状态；当第二滑块处于第二预设位置时，支撑架处于打开状态；收缩状态为：支撑架之间的空隙尺寸大于第一类载具的尺寸或大于第二类载具的尺寸，打开状态为：支撑架之间的空隙尺寸小于第一类载具的尺寸或小于第二类载具的尺寸；第二滑块由第一预设位置向第二预设位置移动的过程中，支撑架由收缩状态变更为打开状态；第二滑块由第二预设位置向第一预设位置移动的过程中，支撑架由打开状态变更为收缩状态。支撑架包括打开状态和收缩状态，台车设备抓取载具，支撑架处于收缩状态；台车设备抓取载具移动时，支撑架处于打开状态，用以承载载具的底部表面，进一步保证台车设备在移动的过程中，台车设备所抓取的载具的稳定性。

另外，第二支撑杆包括：第二丝杆，第二驱动组件设置在第二丝杆上，用于控制第二丝杆旋转，第二滑块可移动地设置在第二丝杆上，在第二丝杆旋转的过程中，第二滑块沿第二丝杆设置的方向上移动。本发明实施方式给出的一种实现第二滑块在第二丝杆上滑动的实施方式。

另外，支撑架的一端固定设置在第二滑块上，通过伸缩或旋转的方式实现支撑架的打开状态和收缩状态的切换。本发明实施例给出的一种支撑架实现打开状态和收缩状态切换的实施方式。

另外，支撑架通过滚轮固定连接在第二滑块上，在第二滑块在第二支撑杆上移动的过程中，推动滚轮的位置实现支撑架的打开状态和收缩状态的切换。本发明实施例给出的另一种支撑架实现打开状态和收缩状态切换的实施方式。

本发明实施例还提供了一种转运方法，应用于上述控制装置，包括：获取台车设备于各个预设位点时所需的控制信号；控制信号包括：台车设备所需抓取的载具的类型，以及台车设备所需移动的下一预设位点的位置；当台车设备于预设位点时，向台车设备发送对应的控制信号。

另外，控制信号还包括台车设备所需的旋转角度及伸长长度。

另外，获取台车设备于各个预设位点时所需的控制信号，包括：模拟台车设备在各个预设位点时执行的动作；记录台车设备在各个预设位点时执行的动作，获取转运记录；基于转运记录，生成台车设备在各个预设位点所需的控制信号。

相比于现有技术而言，本实施例通过控制装置先获取台车设备于各个位点所需的控制信号，在实际应用过程中，当台车设备到达相应的预设位点时，向台车设备发出相应的控制信号，以控制台车设备抓取相应类型的载具并进行移动，实现了同一台车设备可以抓取不同类型的载具，提高了台车设备的可用性，节约成本。

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1为本发明第一实施例提供的转运系统的结构示意图；

图2至图4为本发明第二实施例提供的转运系统的结构示意图；

图5至图7为本发明第三实施例提供的转运系统的结构示意图；

图8为本发明第四实施例提供的转运方法的流程示意图。

具体实施方式

目前，不同类型的台车之间相互独立不能交叉使用，且各自只能在特定区域发挥作用，造成了台车可用性降低、以及成本浪费的问题。

为解决上述问题，本发明第一实施例提供了一种转运系统，包括：台车设备在运输轨道上移动；控制装置用于，当台车设备移动到第一预设位点，向台车设备发出第一控制信号；台车设备根据第一控制信号抓取第一类载具；控制装置还用于，当台车设备移动到第二预设位点，向台车设备发出第二控制信号；台车设备根据第二控制信号抓取第二类载具；第一类载具和第二类载具用于承载不同的半导体材料。

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的各实施例进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本发明各实施例中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。以下各个实施例的划分是为了描述方便，不应对本发明的具体实现方式构成任何限定，各个实施例在不矛盾的前提下可以相互结合，相互引用。

图1为本发明实施例提供的转运系统对应的剖面结构示意图，下面结合附图对本实施例的转运系统进行具体说明。

参考图1，转运系统包括：台车设备，运输轨道111以及控制装置(未图示)。

需要说明的是，本实施例中，以两种类型的载具，分别为第一类载具和第二类载具为例进行举例说明，以体现本实施例中的台车设备可以根据不同的控制信号和抓取不同类型的载具，并不构成对本发明实施例的限定，在其他实施里中，台车设备可以根据不同的控制信号抓取三种或三种以上的载具。

台车设备在运输轨道111上运动，控制装置通过发出的控制信号，控制台车设备在运输轨道111上运动。

即控制装置需获取台车设备于各个预设位点时所需的控制信号。具体地，控制装置中的控制信号的获取方式如下：

通过模拟台车设备在各个预设位点时执行的动作。例如，台车设备所需抓取的载具的类型和台车设备所需移动的下一预设位点的位置。记录台车设备在各个预设位点时执行的动作，获取台车设备的转运记录。基于转运记录，生成台车设备在各个预设位点所需的控制信号，控制信号包括：台车设备所需抓取的载具的类型，台车设备所需移动的下一预设位点的位置。例如，台车设备在第一预设位点时所需的第一控制信号；台车设备在第二预设位点时所需的第二控制信号。

当台车设备于预设位点时，控制装置向台车和设备发送对应的控制信号。

具体地，在本实施例中，第一控制信号即用于台车设备抓取第一类载具的控制信号；第二控制信号即用于台车和设备抓取第二类载具的控制信号。由于第一类载具和第二类载具是用于承载不同材质或尺寸的材料，相应的第一类载具和第二类载具的尺寸也不同；具体地，第一类载具是用于承载晶圆的载具，第二类载具是用于承载掩膜的载具。

当台车设备移动到第一预设位点时，控制装置向台车设备发出第一控制信号，台车设备基于第一控制信号抓取第一类载具；当台车设备移动到第二预设位点时，控制装置向台车设备发出第二控制信号，台车设备基于第二控制信号抓取第二类载具。

在本实施例中，台车设备包括：台车本体100，台车本体100上设置有通讯接口，通讯接口用于接收控制装置所发出的第一控制信号或第二控制信号，台车本体100基于第一控制信号或第二控制信号于运输轨道111上移动。

在一个例子中，台车设备100与控制装置之间通过有线通讯模式进行信息交互。有线通讯模式为台车设备与控制装置通过连接线路实现控制信号传递与接收，其中，连接线路的一端连接在控制装置上，另一端安装在台车本体100的通讯接口上。

在一个例子中，台车设备100与控制装置之间通过有线或无线相结合的通讯模式进行信息交互。无线通讯模式为台车设备与控制装置通过WiFi网络或蓝牙通讯等方式实现控制信号传递与接收。

具体地，台车设备100与控制装置之间通过E84通讯模式进行信息交互，E84通讯模式为在半导体制造装置的控制装置与高架行走的台车设备等搬运台车之间的通讯，系适用SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International，国际半导体设备材料产业协会)的E84通讯序列。将收纳有晶圆或掩膜等的载具作为被搬运物，借由高架行走的台车设备进行搬运，通过E84通讯序列，在高架行走台车设备与控制装置之间收发控制信号。

台车本体100上设置有移动轮101，台车本体100通过移动轮101在运输轨道111上移动。

台车设备还包括抓取组件102，连接在台车本体100上，用于根据第一控制信号抓取第一类载具，或根据第二控制信号抓取第二类载具。

具体地，抓取组件102包括：伸缩部112和抓取部122，其中伸缩部112用于伸长或缩短以使抓取部122抓取不同类型的载具，抓取部122用于抓取不同类型的载具。

伸缩部112一端固定连接台车本体100，另一端固定连接抓取部122，且伸缩部112的本体可伸缩，即伸缩部112可以伸长和缩短，当台车设备接收到控制信号，伸缩部112伸长至抓取部122可以抓取所需抓取的载具；当台车设备抓起所需抓取的载具，伸缩部112缩短至原始位置。

在本实施例中，抓取部122用于抓取第一类载具或用于抓取第二类载具。

由前文所述内容可知，第一类载具和第二类载具是用于承载不同材质或尺寸的材料，相应的第一类载具和第二类载具的尺寸也不同，即当抓取组件102所需抓取的载具为不同类型时，伸缩部112伸长的长度也不相同。在一个例子中，伸缩部112根据第一控制信号伸长至第一长度，以抓取第一类载具；或伸缩部112根据第二控制信号伸长至第二长度，以抓取第二类载具。

基于以上论述可知，在本实施例中，控制信号还包括伸缩部112所需的伸长长度，即控制信号还包括抓取组件102所需的伸长长度。

第一类载具和第二类载具是用于承载不同材质或者尺寸的材料，相应的第一类载具和第二类载具的尺寸也不同，为了使抓取部122可以更好地抓取不同类型的载具，需要抓取部122于相应的抓取角度进行抓取。

具体地，本实施例给出了两种旋转抓取部122的方式，具体如下：

第一种旋转方式：抓取组件102还包括：第一旋转部(未图示)。伸缩部112通过第一旋转部连接台车本体100，第一旋转部用于控制伸缩部112自转。由于伸缩部112固定连接抓取部122，当伸缩部112自转的过程中带抓取部122旋转。

第一旋转部用于基于控制信号旋转伸缩部112至预设角度。在一个例子中，第一旋转部用于基于第一控制信号旋转伸缩部112至第一预设角度，以使抓取部122可以抓取第一类载具；或第一旋转部用于基于第二控制信号旋转伸缩部112至第二预设角度，以使抓取部122可以抓取第二类载具。

需要说明的是，第一旋转部可以设置在伸缩部112上以控制伸缩部112自转；第一旋转部也可以设置在其他设备上以实现第一旋转部的自转，本实施例并不对第一旋转部所属的部件进行具体限定。

第二种旋转方式：抓取组件102还包括：第二旋转部(未图示)。抓取部122通过第二旋转部连接伸缩部112，第二旋转部用于控制抓取部122自转。

第二旋转部用于基于控制信号旋转抓取部122至预设角度。在一个例子中，第二旋转部用于基于第一控制信号旋转抓取部122至第一预设角度，以使抓取部122可以抓取第一类载具；或第二旋转部用于基于第二控制信号旋转抓取部122至第二预设角度，以使抓取部122可以抓取第二类载具。

需要说明的是，第二旋转部可以设置在抓取部122上以控制抓取部122自转；第二旋转部也可以设置在其他设备上以实现第二旋转部的自转，本实施例并不对第二旋转部所属的部件进行具体限定。

基于以上论述可知，在本实施例中，控制信号还包括伸缩部112或抓取部122所需旋转的角度，即控制信号还包括抓取组件102所需旋转的角度。

相对于现有技术而言，本实施例通过设计一种台车设备以及控制装置，使得台车设备在到达预设位点时，控制系统向台车设备发出相应的控制信号，台车设备基于控制信号以抓取相应类型的载具，从而实现了同一台车设备可以抓取不同类型的载具，提高了台车设备的可用性，节约成本。

值得一提的是，本实施例中所涉及到的各部件均为功能部件，在实际应用中，一个功能部件可以是一个物理单元，也可以是一个物理单元的一部分，还可以以多个物理单元的组合实现。此外，为了突出本发明的创新部分，本实施例中并没有将与解决本发明所提出的技术问题关系不太密切的单元引入，但这并不表明本实施例中不存在其它的单元。

本发明第二实施例涉及一种转运系统。与第一实施例不同的是，第二实施例还包括用于防止台车设备在移动的过程中，台车设备所抓取的载具的磕碰问题。

图2至图4为本发明实施例提供的转运系统对应的剖面结构示意图，下面结合附图对本实施例的转运系统进行具体说明。

参考图2，转运系统还包括：第一保护组件200，设置在台车本体100上，用于防止台车设备在移动的过程中，台车设备所抓取的载具的磕碰问题。第二保护组件206，可移动地设置在第一保护组件200上，用于承载被抓取组件102抓取的第一类载具的底部表面或第二类载具的底部表面。第一驱动组件(未图示)，设置在第一保护组件200上，用于控制第二保护组件206在第一保护组件200上移动。

参考图3和图4，图3为从第二保护组件206看向第一保护组件200的剖面结构示意图；图4为在图2方向上的剖面结构示意图。

在本实施例中，第一保护组件200包括：

第一支撑杆201，设置在台车本体上。

第一滑块202，第一滑块嵌套且可移动地设置在第一支撑杆201上，且第二保护组件206固定设置在第一滑块202上。

具体地，第一滑块202上设置有连接部212，连接部212固定连接第二驱动组件206，且第一驱动组件200与第二驱动组件206互相垂直设置。

第一驱动组件203设置在第一支撑杆201上，用于控制第一滑块202在第一支撑杆201上移动。

在本实施例中，第一保护组件200还包括：第一感应装置204和第二感应装置214，用于检测第一滑块202是否位于第一支撑杆201的边缘位置。具体地，第一感应装置204用于检测第一滑块202是否位于第一支撑杆201的顶部边缘位置；第二感应装置214用于检测第一滑块202是否位于第一支撑杆201的底部边缘位置。

需要说明的是，第一感应装置204和第二感应装置214可以设置在第一支撑杆201上，也可以设置在第一支撑杆201所在的第一保护组件200中，本实施例并不对第一感应装置204和第二感应装置214的位置进行限定。

在本实施例中，第一保护组件200还包括：支撑杆固定部215，设置在第一保护组件200上，用于控制第二保护组件206在第一保护组件200上移动。通过支撑杆固定部215固定在第一支撑杆201远离台车本体的一端，防止第二保护组件206在第一支撑杆201上滑脱。

具体地，在本实施例中，第一支撑杆201包括第一丝杆，即第一支撑杆201采用丝杆的方式设置。第一驱动组件设置203设置在第一丝杆上，用于控制第一丝杆旋转，第一滑块202可移动地设置在第一丝杆上，在第一丝杆旋转的过程中，第一滑块202沿第一丝杆设置的方向上移动。此时由于第一丝杆需要旋转，设置在第一丝杆底部的支撑杆固定部215通过轴承的方式设置在第一支撑杆201上，即支撑杆固定部215通过旋转轴承205设置在第一支撑杆201上。

本实施例以在第一支撑杆201上设置螺纹的方式实现第一滑块202在第一支撑杆201上移动，在其他实施例中还可以通过卡口等方式实现第一滑块在第一支撑杆上移动。

相对于现有技术而言，本实施例通过设计一种台车设备以及控制装置，使得台车设备在到达预设位点时，控制系统向台车设备发出相应的控制信号，台车设备基于控制信号以抓取相应类型的载具，从而实现了同一台车设备可以抓取不同类型的载具，提高了台车设备的可用性，节约成本。

值得一提的是，本实施例中所涉及到的各部件均为功能部件，在实际应用中，一个功能部件可以是一个物理单元，也可以是一个物理单元的一部分，还可以以多个物理单元的组合实现。此外，为了突出本发明的创新部分，本实施例中并没有将与解决本发明所提出的技术问题关系不太密切的单元引入，但这并不表明本实施例中不存在其它的单元。

本发明第三实施例涉及一种转运系统。与第二实施例不同的是，第三实施例还包括用于承载台车设备所抓取的载具的底部，进一步保证台车设备在移动的过程中，台车设备所抓取的载具的稳定性。

图5至图7为本发明实施例提供的转运系统对应的剖面结构示意图，下面结合附图对本实施例的转运系统进行具体说明。

参考图5～图7，图6为支撑杆为收缩状态时的剖面结构示意图，图7为支撑杆为打开状态时的剖面结构示意图，第二保护组件300包括：

第二支撑杆301，可移动地设置在第一保护组件200上，且第二支撑杆301设置的方向与第一保护组件200设置的方向相互垂直。

第二滑块302，嵌套且可移动地设置在第二支撑杆301上。

支撑架，通过支持板306和黏合组件316组成，连接第二滑块302，用于承载被抓取组件102抓取的第一类载具的底部表面或第二类载具的底部表面。

在本实施例中，第二保护组件300还包括：第二驱动组件303，设置在第二支撑杆301上，用于控制第二滑块302在第二支撑杆301上移动。

在一个例子中，第二支撑杆301包括第二丝杆，即第二支撑杆301采用丝杆的方式设置。第二驱动组件303设置在第二丝杆上，用于控制第二丝杆旋转，第二滑块302可移动地设置在第二丝杆上，在第二丝杆旋转的过程中，第二滑块302沿第二丝杆设置的方向上移动。

本实施例以在第二支撑杆301上设置螺纹的方式实现第二滑块302在第二支撑杆301上移动，在其他实施例中还可以通过卡口等方式实现第二滑块在第二支撑杆上移动。

具体地，当第二滑块302位于第一预设位置时，支撑架处于收缩状态；当第二滑块302位于第二预设位置时，支撑架处于打开状态。收缩状态为：支撑架之间的空隙尺寸大于第一类载具的尺寸或大于第二类载具的尺寸，打开状态为：支撑架之间的空隙尺寸小于第一类载具的尺寸或小于第二类载具的尺寸；支撑架之间的空隙尺寸指位于抓取组件102两侧的第二保护组件300之间的空隙。第二滑块302由第一预设位置向第二预设位置移动的过程中，支撑架由收缩状态变更为打开状态；第二滑块302由第二预设位置向第一预设位置移动的过程中，支撑架由打开状态变更为收缩状态。

在本实施例中，第二保护组件300还包括：第三感应装置304和第四感应装置314，用于检测第二滑块302是否位于第一预设位置或第二预设位置。具体地，第三感应装置304用于检测第二滑块302是否位于第二支撑杆301的第一预设位置；第四感应装置314用于检测第二滑块302是否位于第二支撑杆301的第二预设位置。

需要说明的是，第三感应装置304和第四感应装置314可以设置在第二支撑杆301上，也可以设置在第二支撑杆301所在的第二保护组件300中，本实施例并不对第三感应装置304和第四感应装置314的位置进行限定。

在本实施例中，支撑架通过滚轮固定连接在第二滑块302上，参考图6和图7，第二滑块302通过第一连接杆312连接滚轮305，滚轮305通过第二连接杆322连接支撑架，第二滑块302在第二支撑杆301上移动的过程中，推动滚轮305的位置实现支撑架的打开状态和收缩状态的切换。

在其他实施例中，支撑架的一端可以固定设置在第二滑块上，通过伸缩或旋转的方式实现支撑架的打开状态和收缩状态的切换。

具体地，若采用旋转的方式，支撑架的一端固定设置在第二滑块上，当支撑架处于收缩状态时，旋转支撑架与第一保护组件200的夹角为0°或者180°；当支撑架处于打开状态时，旋转支撑架与第一保护组件200的夹角为90°。

若采用伸缩的方式，支撑架的一端固定设置在第二滑块上，当支撑架处于收缩状态时，控制支撑架收缩至最短长度；当支撑架处于打开状态时，控制支撑架伸长至最长长度。

需要说明的是，本实施例中对支撑架的打开状态和收缩状态的切换的举例说明，仅是为了本领域技术人员能够清楚本方案的切换方式，并不构成对本实施例的限定，在具体的使用过程中，可以根据相应需求设置支撑架的打开状态和收缩状态的切换方式。

相对于现有技术而言，本实施例通过设计一种台车设备以及控制装置，使得台车设备在到达预设位点时，控制系统向台车设备发出相应的控制信号，台车设备基于控制信号以抓取相应类型的载具，从而实现了同一台车设备可以抓取不同类型的载具，提高了台车设备的可用性，节约成本。

值得一提的是，本实施例中所涉及到的各部件均为功能部件，在实际应用中，一个功能部件可以是一个物理单元，也可以是一个物理单元的一部分，还可以以多个物理单元的组合实现。此外，为了突出本发明的创新部分，本实施例中并没有将与解决本发明所提出的技术问题关系不太密切的单元引入，但这并不表明本实施例中不存在其它的单元。

本发明第四实施例涉及一种转运方法。

参考图8，以下将结合附图对本实施例提供的转运方法进行详细说明，与第一实施例相同或相应的部分，以下将不做详细赘述。

转运方法，包括：获取台车设备于各个预设位点时所需的控制信号；控制信号包括：台车设备所需抓取的载具的类型，以及台车设备所需移动的下一预设位点的位置；当台车设备于预设位点时，向台车设备发送对应的控制信号。

需要说明的是，本实施例中，以两种类型的载具，分别为第一类载具和第二类载具为例进行举例说明，以体现本实施例中的台车设备可以根据不同的控制信号和抓取不同类型的载具，并不构成对本发明实施例的限定，在其他实施里中，台车设备可以根据不同的控制信号抓取三种或三种以上的载具。

参考图8，转运方法包括以下步骤：

步骤401，获取台车设备于预设位点时所需的控制信号。

控制装置需获取台车设备于各个预设位点时所需的控制信号，才能对台车设备到达各个预设位线时进行准确控制，具体包括以下步骤：

子步骤411，模拟台车设备在各个预设位点时执行的动作。

通过模拟台车设备在各个预设位点时执行的动作。例如，台车设备所需抓取的载具的类型和台车设备所需移动的下一预设位点的位置。

子步骤421，记录台车设备在各个预设位点时执行的动作，获取转运记录。

将子步骤411中模拟台车设备执行的动作，并将动作转化成相应的文字语言，获取相应额的转运记录并存储。

子步骤431，基于转运记录生成台车设备在各个预设位点所需的控制信号。

基于转运记录，生成台车设备在各个预设位点所需的控制信号，控制信号包括：台车设备所需抓取的载具的类型，台车设备所需移动的下一预设位点的位置。例如，台车设备在第一预设位点时所需的第一控制信号；台车设备在第二预设位点时所需的第二控制信号。

需要说明的是，在其他实施例中，在获取到台车设备在各个预设位点所需的控制信号后，还需要对多次测试，以保证台车设备转运的准确性。

步骤402，当台车到预设位点时，向所述台车设备发送对应的控制信号。

具体地，在本实施例中，第一控制信号即用于台车设备抓取第一类载具的控制信号；第二控制信号即用于台车和设备抓取第二类载具的控制信号。由于第一类载具和第二类载具是用于承载不同材质或尺寸的材料，相应的第一类载具和第二类载具的尺寸也不同；具体地，第一类载具是用于承载晶圆的载具，第二类载具是用于承载掩膜的载具。

当台车设备移动到第一预设位点时，控制装置向台车设备发出第一控制信号，台车设备基于第一控制信号抓取第一类载具；当台车设备移动到第二预设位点时，控制装置向台车设备发出第二控制信号，台车设备基于第二控制信号抓取第二类载具。

还需要说明的是，在其他实施例中，控制信号还包括台车设备中的抓取组件所需旋转的角度或者台车设备中的抓取组件所需伸长的伸长长度。

与现有技术相比，本实施例通过控制装置先获取台车设备于各个位点所需的控制信号，在实际应用过程中，当台车设备到达相应的预设位点时，向台车设备发出相应的控制信号，以控制台车设备抓取相应类型的载具并进行移动，实现了同一台车设备可以抓取不同类型的载具，提高了台车设备的可用性，节约成本。

上面各种步骤划分，只是为了描述清楚，实现时可以合并为一个步骤或者对某些步骤进行拆分，分解为多个步骤，只要包括相同的逻辑关系，都在本专利的保护范围内；对流程中添加无关紧要的修改或者引入无关紧要的设计，但不改变其流程的核心设计都在该专利的保护范围内。

由于第一实施例与本实施例相互对应，因此本实施例可与第一实施例互相配合实施。第一实施例中提到的相关技术细节在本实施例中依然有效，在第一实施例中所能达到的技术效果在本实施例中也同样可以实现，为了减少重复，这里不再赘述。相应地，本实施例中提到的相关技术细节也可应用在第一实施例中。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施例是实现本发明的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。

Claims (15)

1.一种转运系统，其特征在于，包括：台车设备、运输轨道以及控制装置；

所述台车设备包括：台车本体和抓取组件；

所述台车本体上设置有通讯接口，所述通讯接口用于接收第一控制信号或第二控制信号，所述台车本体基于所述第一控制信号或所述第二控制信号于所述运输轨道上移动；

所述控制装置用于，当所述台车设备移动到第一预设位点，向所述台车设备发出所述第一控制信号；

所述控制装置还用于，当所述台车设备移动到第二预设位点，向所述台车设备发出所述第二控制信号；

抓取组件，连接所述台车本体，用于根据所述第一控制信号抓取第一类载具或根据所述第二控制信号抓取第二类载具；

所述第一类载具和所述第二类载具用于承载不同的半导体材料；

所述抓取组件，包括：伸缩部，一端固定连接所述台车本体，另一端固定连接抓取部，且所述伸缩部的本体可伸缩；所述伸缩部用于根据所述第一控制信号伸长至第一长度，或根据所述第二控制信号伸长至第二长度；所述抓取部用于抓取所述第一类载具或所述第二类载具。

2.根据权利要求1所述的转运系统，其特征在于，所述抓取组件还包括：

第一旋转部，所述伸缩部通过所述第一旋转部连接所述台车本体，所述第一旋转部用于控制所述伸缩部自转；

所述第一旋转部用于，基于所述第一控制信号旋转所述伸缩部至第一预设角度，或基于所述第二控制信号旋转所述伸缩部至第二预设角度。

3.根据权利要求1所述的转运系统，其特征在于，所述抓取组件还包括：

第二旋转部，所述抓取部通过所述第二旋转部连接所述伸缩部，所述第二旋转部用于控制所述抓取部自转；

所述第二旋转部用于，基于所述第一控制信号旋转所述抓取部至第一预设角度，或基于所述第二控制信号旋转所述抓取部至第二预设角度。

4.根据权利要求2或3所述的转运系统，其特征在于，所述台车本体还包括：

第一保护组件，设置在所述台车本体上；

第二保护组件，可移动地设置在所述第一保护组件上，用于承载被所述抓取组件抓取的所述第一类载具的底部表面或所述第二类载具的底部表面；

第一驱动组件，设置在所述第一保护组件上，用于控制所述第二保护组件在所述第一保护组件上移动。

5.根据权利要求4所述的转运系统，其特征在于，所述第一保护组件包括：

第一支撑杆，设置在所述台车本体上；

第一滑块，所述第一滑块嵌套且可移动地设置在所述第一支撑杆上，且所述第二保护组件固定设置在所述第一滑块上；

所述第一驱动组件设置在所述第一支撑杆上，用于控制所述第一滑块在所述第一支撑杆上移动。

6.根据权利要求5所述的转运系统，其特征在于，所述第一保护组件还包括；

支撑杆固定部，固定连接所述第一支撑杆远离所述台车本体的一端。

7.根据权利要求5所述的转运系统，其特征在于，所述第一支撑杆包括第一丝杆，所述第一驱动组件设置在所述第一丝杆上，用于控制所述第一丝杆旋转，所述第一滑块可移动地设置在所述第一丝杆上，在所述第一丝杆旋转的过程中，所述第一滑块沿所述第一丝杆设置的方向上移动。

8.根据权利要求4所述的转运系统，其特征在于，所述第二保护组件包括：

第二支撑杆，可移动地设置在所述第一保护组件上，且所述第二支撑杆设置的方向与所述第一保护组件设置的方向相互垂直；

第二滑块，所述第二滑块嵌套且可移动地设置在所述第二支撑杆上；

支撑架，连接所述第二滑块，用于承载被所述抓取组件抓取的所述第一类载具的底部表面或所述第二类载具的底部表面。

9.根据权利要求8所述的转运系统，其特征在于，所述第二保护组件还包括：

第二驱动组件，设置在所述第二支撑杆上，用于控制所述第二滑块在所述第二支撑杆上移动；

当所述第二滑块处于第一预设位置时，所述支撑架处于收缩状态；

当所述第二滑块处于第二预设位置时，所述支撑架处于打开状态；

所述收缩状态为：所述支撑架之间的空隙尺寸大于所述第一类载具的尺寸或大于所述第二类载具的尺寸，所述打开状态为：所述支撑架之间的空隙尺寸小于所述第一类载具的尺寸或小于所述第二类载具的尺寸；

所述第二滑块由所述第一预设位置向所述第二预设位置移动的过程中，所述支撑架由所述收缩状态变更为所述打开状态；所述第二滑块由所述第二预设位置向所述第一预设位置移动的过程中，所述支撑架由所述打开状态变更为所述收缩状态。

10.根据权利要求9所述的转运系统，其特征在于，所述第二支撑杆包括：第二丝杆，所述第二驱动组件设置在所述第二丝杆上，用于控制所述第二丝杆旋转，所述第二滑块可移动地设置在所述第二丝杆上，在所述第二丝杆旋转的过程中，所述第二滑块沿所述第二丝杆设置的方向上移动。

11.根据权利要求9所述的转运系统，其特征在于，所述支撑架的一端固定设置在所述第二滑块上，通过伸缩或旋转的方式实现所述支撑架的所述打开状态和所述收缩状态的切换。

12.根据权利要求9所述的转运系统，其特征在于，所述支撑架通过滚轮固定连接在所述第二滑块上，在所述第二滑块在所述第二支撑杆上移动的过程中，推动所述滚轮的位置实现所述支撑架的所述打开状态和所述收缩状态的切换。

13.一种转运方法，应用于如权利要求1～12任一项所述的转运系统，其特征在于，包括：

获取台车设备于各个预设位点时所需的控制信号；

所述控制信号包括：所述台车设备所需抓取的载具的类型，以及所述台车设备所需移动的下一预设位点的位置；

当台车设备于所述预设位点时，向所述台车设备发送对应的所述控制信号。

14.根据权利要求13所述的转运方法，其特征在于，所述控制信号还包括所述台车设备所需的旋转角度及伸长长度。

15.根据权利要求13所述的转运方法，其特征在于，所述获取台车设备于各个预设位点时所需的控制信号，包括：

模拟所述台车设备在各个预设位点时执行的动作；

记录所述台车设备在各个预设位点时执行的动作，获取转运记录；

基于所述转运记录，生成所述台车设备在各个预设位点所需的所述控制信号。

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