JP5187200B2 - 天井搬送車 - Google Patents
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Description
この搬送車では、天井搬送車同士が衝突して連結部材が破損したとしても、ワイヤが物品収納部および物品の荷重を支える。この結果、物品収納部および物品が落下するのを防止できる。
なお、「位置を保持する」とは位置関係を保つことをいい、連結部材は回動やスライドする部材を含んでいても良い。
本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図1は、給電線を用いた非接触給電供給方式による天井搬送車システム1の模式図である。天井搬送車システム1は、半導体工場などのクリーンルームなどに設けられ、後述するFOUP(Front Opening Unified Pod)を搬送する。天井搬送車システム1は、主に、レール3と、レール3に沿って走行する天井搬送車5とを有している。
レール3は、図2に示すように、複数の支柱7によって天井9から吊り下げられている。レール3は、主に、走行レール11と、走行レール11の下部に設けられた給電レール13とを有している。
走行レール11は、例えばアルミ製であり、図3に示すように、断面視逆U字状に構成されており、上面部11aと、両側面部11bとを有している。両側面部11bの下には、内側に延びる一対の第1走行面11cが形成されている。さらに、両側面部11bの内側面の上部には第2走行面11dが形成され、上面部11aの下側面に第3走行面11eが形成されている。
給電レール13は、走行レール11の下部両側に設けられた一対の給電線ホルダ15から主に構成されている。給電線ホルダ15には、銅線などの導電線を絶縁材料で被覆しリッツ線からなる一対の給電線17が配置されている。給電線17の一端には電力供給装置(図示せず)が設けられ、一対の給電線17に高周波電流が供給されるようになっている。
天井搬送車5は、主に、走行部21と、受電部23と、昇降駆動部25とを有している。走行部21は、走行レール11内に配置され、レール3上を走行するための機構である。受電部23は、給電レール13内に配置され、一対の給電線17から電力を供給されるための機構である。昇降駆動部25は、給電レール13の下方に配置され、FOUP4を保持すると共に上下に昇降させるための機構である。
走行部21は、主に、走行レール11内に配置されており、一対の第1ガイド輪18と、一対の第2ガイド輪19と、走行駆動輪20と、モータ(図示せず)とを有している。一対の第1ガイド輪18は、走行部21の下部両側に配置され、左右方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。第1ガイド輪18は、走行レール11の第1走行面11c上に載置されている。
受電部23は、一対の給電線17から電力を得るための一対のピックアップユニット27を有している。具体的には、一対のピックアップユニット27は、給電レール13内で左右に並んで配置されている。各ピックアップユニット27は、断面が略E字型をしたフェライト製のコア29と、コア29に巻かれたピックアップコイル31とを有している。具体的には、コア29は、両側の突出部29aと、その間の中央の突出部29bとを有しており、ピックアップコイル31は中央の突出部29bに巻かれている。
昇降駆動部(ホイスト)25は、図2に示すように、主に、本体フレーム35と、横送り部37と、θドライブ39と、ホイスト本体41と、昇降台43とを備えている。
連結部61は、昇降駆動部25を走行部21に連結するための構造である。連結部61は、例えば、搬送方向前後の二カ所に設けられている。
なお、第2部材65には、隙間64bに対応する隙間65aが形成されている。
上側リング63bは、第1ピン75によって支持されている。第1ピン75は、水平方向に延びて、両端が第2部材65の切欠きに係合している。また、第1ピン75の上部には、第3部材66が当接または近接して配置されている。
下側リング63cは第2ピン76に支持されている。第2ピン76は、第1部材64の底面に形成された凹部64e内に配置されている。また、凹部64eは蓋79によって覆われている。
以上より、ワイヤ63は、連結部材62の両端に第1ピン75と第2ピン76を介して固定されている。
この実施形態での高強度部分とは、連結部材62の下方では第1部材64のフランジ64dやリブ64eが形成された部分であり、連結部材62の上方では第1部材64に第2部材65や第3部材66が固定された部分である。これら部分は、第1部材64の中間部に比べて剛性が高くなっている。
天井搬送車5は、天井9から吊り下げられたレール3に沿って走行してFOUP4を搬送するものである。天井搬送車5は、走行部21と、昇降駆動部25と、連結部材62と、ワイヤ63とを備えている。走行部21は、レール3に支持され、レール3に沿って走行する。昇降駆動部25は、走行部21から吊り下げられ、FOUP4を収納する。連結部材62は、走行部21と昇降駆動部25とを位置を保持して連結する。ワイヤ63は、走行部21と昇降駆動部25とを接続する。ワイヤ63は、昇降駆動部25およびFOUP4の荷重を支えることが可能である。
この搬送車では、天井搬送車5同士が衝突して連結部材62が破損したとしても、ワイヤ63が昇降駆動部25およびFOUP4の荷重を支える。この結果、昇降駆動部25およびFOUP4が落下するのを防止できる。
なお、「位置を保持する」とは位置関係を保つことをいい、連結部材は回動やスライドする部材を含んでいても良い。
この実施形態での高強度部分とは、連結部材62の下方では第1部材64のフランジ64dやリブ64eが形成された部分であり、連結部材62の上方では第1部材64に第2部材65や第3部材66が固定された部分である。これら部分は、第1部材64の中間部に比べて剛性が高くなっている。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
ワイヤは連結部材の外側に配置されていても良い。
ワイヤは一つの連結部材に対して複数配置されていても良い。
ワイヤはピン以外の部材によって他の部材に係止されていても良い。
前記実施形態では、搬送物品はFOUPであったが、他の部材であっても良い。
3 レール
4 FOUP
5 天井搬送車
7 支柱
9 天井
11 走行レール(軌道)
11a 上面部
11b 両側面部
11c 第1走行面
11d 第2走行面
11e 第3走行面
13 給電レール
15 給電線ホルダ
17 給電線
18 第1ガイド輪
19 第2ガイド輪
20 走行駆動輪
21 走行部
23 受電部
25 昇降駆動部(物品収納部)
27 ピックアップユニット
29 コア
29a 突出部
29b 突出部
31 ピックアップコイル
33 非接触給電部
35 本体フレーム
37 横送り部
39 θドライブ
41 ホイスト本体
43 昇降台
45 前側フレーム
47 後側フレーム
49 フランジ
51 インターベイルート
53 イントラベイルート
55 処理装置
57 ロードポート
59 ベルト
61 連結部
62 連結部材
63 ワイヤ
63a 本体
63b 上側リング
63c 下側リング
64 第1部材
64a 中空部
64b 隙間
64c フランジ
64d リブ
64e 凹部
65 第2部材
65a 隙間
66 第3部材
67 第4部材
68 第1ボルト
69 第2ボルト
70 支持プレート
72 第3ボルト
75 第1ピン
76 第2ピン
79 蓋
Claims (4)
- 天井から吊り下げられた軌道に沿って走行して物品を搬送する天井搬送車であって、
前記軌道に支持され、前記軌道に沿って走行する走行部と、
前記走行部から吊り下げられ、前記物品を収納するための物品収納部と、
前記走行部と前記物品収納部とを位置を保持して連結する連結部材と、
前記走行部と前記物品収納部とを接続する、前記物品収納部および前記物品の荷重を支えることが可能なワイヤと、を備え、
前記連結部材は中空形状であり、
前記ワイヤは前記連結部材の内部に配置されている、
天井搬送車。 - 前記連結部材と前記ワイヤは一つのユニットを構成している、請求項1に記載の天井搬送車。
- 前記ワイヤの両端は前記連結部材に固定されている、請求項1または2に記載の天井搬送車。
- 前記連結部材は、両端に他の部分より強度が高い高強度部分を有しており、
前記ワイヤの両端は前記高強度部分に固定されている、請求項3に記載の天井搬送車。
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