JP6849074B2 - 搬送システム、及び天井搬送車の制御方法 - Google Patents

搬送システム、及び天井搬送車の制御方法 Download PDF

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Description

本発明は、天井搬送車、搬送システム、及び天井搬送車の制御方法に関する。
半導体製造工場等の製造工場では、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰあるいはレチクルを収容するレチクルＰｏｄなどの物品を、処理装置のロードポート、保管部又は受け渡しポートなどの移載先の間で搬送するため、天井に敷設された軌道に沿って走行する天井搬送車を用いる搬送システムが提案されている。天井搬送車は、軌道を走行する走行部と、走行部と一体的に移動するように走行部に取付けられた本体部とを備えている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１には、このような天井搬送車において、本体部が物品を格納した際に、この物品を走行方向の前後から挟むような内壁を有しており、さらに、物品を保持する物品保持部、物品保持部を昇降させる昇降駆動部、昇降駆動部を本体部に対して走行方向の側方に突出させる横出し機構、及び昇降駆動部を回転させる回転機構を有する構成が記載されている。
特開２００１−１７１９７０号公報
天井搬送車は、ＦＯＵＰ等の搬送時に開閉蓋を走行方向に対して横向きとして本体部に格納している。この状態で、ロードポート等にＦＯＵＰ等を載置しても開閉蓋が処理装置等に対向しない場合がある。このため、ＦＯＵＰ等の開閉蓋を処理装置等に対向させるため、載置前にＦＯＵＰ等を上下方向の軸周りに回転させることが必要となる場合がある。特許文献１に記載の天井搬送車は、物品を回転させる回転機構を有しており、回転機構の回転軸を軌道のセンターラインからオフセットさせた状態で物品を回転させる構成が採用されている。この天井搬送車は、保持部に保持された物品を、本体部内に格納した状態で上下方向の回転軸まわりに回転可能としつつ、本体部内における物品の旋回スペースを小さくして、旋回時に物品が本体部の内壁に干渉することを防止している。ただし、本体部内に物品を格納した状態で物品を回転させるため、本体部内には、物品の回転を許容するためのスペースを設ける必要がある。その結果、本体部の外形寸法が大きくなって天井搬送車の大型化を招くといった問題がある。
本発明は、物品を格納する本体部内のスペースを小さくして、本体部並びに天井搬送車の小型化を図りつつ、移載先に対応するように物品を所定角度以上回転させることが可能な天井搬送車、搬送システム、及び天井搬送車の制御方法を提供することを目的とする。
本発明に係る天井搬送車は、天井又は天井近傍に設けられた軌道を走行する走行部と、走行部に取付けられた本体部と、物品を保持する保持部、保持部に保持された物品が本体部内に格納される格納位置と本体部から抜け出す脱出位置との間で保持部を移動させる移動機構、及び保持部を上下方向の回転軸まわりに回転させる回転機構を有し、規定された向きで物品が載置される移載先との間で物品を受け渡しする移載部と、走行部及び移載部の動作を制御する制御部と、を備え、本体部は、格納位置とした保持部を回転機構により所定角度回転させる場合に保持部に保持された物品が当接する位置に内壁を有し、制御部は、移動機構により保持部を格納位置とした状態で走行部により走行させ、移載部により移載先に対して物品の受け渡しを行う際に、移動機構により保持部を脱出位置とした状態で、回転機構により保持部を所定角度以上回転させて、前記保持部に保持された物品を前記移載先の前記規定された向きに合わせる。
また、移動機構は、格納位置と、保持部に保持された物品が本体部から下方に抜け出す脱出位置と、の間で保持部を昇降させる昇降駆動部を有してもよい。また、回転機構は、昇降自在であり、保持部は、回転機構に設けられてもよい。
また、移動機構は、格納位置と、保持部に保持された物品が本体部から横方向に抜け出す脱出位置と、の間で保持部を軌道の横方向に進退させる横出し機構を有してもよい。また、横出し機構及び保持部は、走行方向の寸法が、本体部内に格納された物品の走行方向の寸法より小さくてもよい。
また、本発明に係る搬送システムは、天井又は天井近傍に設けられた軌道と、天井搬送車とを有する搬送システムであって、天井搬送車は、軌道を走行する走行部と、走行部に取付けられた本体部と、物品を保持する保持部、保持部に保持された物品が本体部内に格納される格納位置と本体部から抜け出す脱出位置との間で保持部を移動させる移動機構、及び保持部を上下方向の回転軸まわりに回転させる回転機構を有し、規定された向きで物品が載置される移載先との間で物品を受け渡しする移載部と、走行部及び移載部の動作を制御する制御部と、を備え、本体部は、格納位置とした保持部を回転機構により所定角度回転させる場合に保持部に保持された物品が当接する位置に内壁を有し、制御部は、移動機構により保持部を格納位置とした状態で走行部により走行させ、移載部により移載先に対して物品の受け渡しを行う際に、移動機構により保持部を脱出位置とした状態で、回転機構により保持部を所定角度以上回転させて、保持部に保持された物品を移載先の規定された向きに合わせ、移動機構は、格納位置と、保持部に保持された物品が本体部から下方に抜け出す脱出位置と、の間で保持部を昇降させる昇降駆動部を有し、移動機構は、保持部を軌道の横方向に進退させる横出し機構を有し、軌道は、直線区間と、直線区間に接続されたカーブ区間とを有し、移載先は、カーブ区間の下方かつ側方に設けられており、制御部は、移載部により移載先に対して物品を受け渡しする際に、軌道のカーブ区間で走行部を停止させ、昇降駆動部により脱出位置まで保持部を下降させ、回転機構により保持部を回転させて、保持部に保持された物品を移載先の規定された向きに合わせ、保持部又は物品が移載先の直上となる位置まで横出し機構により昇降駆動部を進出させ、昇降駆動部により保持部を下降させるように制御する。
また、回転機構は、昇降駆動部により昇降自在であり、保持部は、回転機構に設けられてもよい。
また、本発明に係る搬送システムは、天井又は天井近傍に設けられた軌道と、移動機構として昇降駆動部を備える天井搬送車とを有する搬送システムであって、天井搬送車は、保持部を軌道の横方向に進退させる横出し機構を備え、軌道は、直線区間と、直線区間に接続されたカーブ区間とを有し、移載先は、カーブ区間の下方かつ側方に設けられており、制御部は、移載部により移載先に対して物品を受け渡しする際に、軌道のカーブ区間で走行部を停止させ、昇降駆動部により脱出位置まで保持部を下降させ、回転機構により保持部を回転させて、保持部に保持された物品を移載先の規定された向きに合わせ、保持部又は物品が移載先の直上となる位置まで横出し機構により昇降駆動部を進出させ、昇降駆動部により保持部を下降させるように制御する。また、直線区間は、建屋の側壁に沿って設けられており、カーブ区間は、直線区間の方向から曲がって側壁から離れるように設けられており、移載先は、カーブ区間の下方かつ側方であって側壁の近傍に設けられており、側壁は、天井搬送車がカーブ区間で走行部を停止させた後、回転機構により保持部を回転させることなく、物品が移載先の直上となる位置まで横出し機構により昇降駆動部を進出させた場合に、保持部に保持された物品が当接する位置に設けられていてもよい。
また、本発明に係る天井搬送車の制御方法は、天井又は天井近傍に設けられた軌道を走行する走行部と、走行部に取付けられた本体部と、物品を保持する保持部、保持部に保持された物品が本体部内に格納される格納位置と本体部から抜け出す脱出位置との間で移動させる移動機構、及び保持部を上下方向の回転軸まわりに回転させる回転機構を有し、規定された向きで物品が載置される移載先との間で物品を受け渡しする移載部と、を備え、本体部は、格納位置とした保持部を回転機構により所定角度回転させる場合に保持部に保持された物品が当接する位置に内壁を有する天井搬送車の制御方法であって、移動機構により保持部を格納位置とした状態で走行部により走行させることと、移載部により移載先に対して物品の受け渡しを行う際に、移動機構により保持部を脱出位置とした状態で、回転機構により保持部を所定角度以上回転させて、保持部に保持された物品を移載先の規定された向きに合わせることと、を含み、移載先は、軌道のカーブ区間の下方又はカーブ区間の下方かつ側方に設けられている。
また、本発明に係る天井搬送車の制御方法は、天井又は天井近傍に設けられた軌道を走行する走行部と、走行部に取付けられた本体部と、物品を保持する保持部、保持部に保持された物品が本体部内に格納される格納位置と本体部から抜け出す脱出位置との間で移動させる移動機構、及び保持部を上下方向の回転軸まわりに回転させる回転機構を有し、規定された向きで物品が載置される移載先との間で物品を受け渡しする移載部と、を備え、本体部は、格納位置とした保持部を回転機構により所定角度回転させる場合に保持部に保持された物品が当接する位置に内壁を有する天井搬送車の制御方法であって、移動機構により保持部を格納位置とした状態で走行部により走行させることと、移載部により移載先に対して物品の受け渡しを行う際に、移動機構により保持部を脱出位置とした状態で、回転機構により保持部を所定角度以上回転させて、保持部に保持された物品を移載先の規定された向きに合わせることと、を含む。
また、移載先は、軌道のカーブ区間の下方又はカーブ区間の下方かつ側方に設けられていてもよい。
本発明に係る天井搬送車及び天井搬送車の制御方法によれば、本体部内に格納した物品を所定角度回転させると保持部の内壁に物品が当接する程度に物品と内壁との間隔が狭いので、本体部内の内壁によって形成される物品格納用の空間を小さくすることができる。その結果、本体部並びに天井搬送車を小型化することができる。また、移載部により移載先に対して物品の受け渡しを行う場合には、物品が脱出位置にあるときに所定角度以上の回転を許容するので、物品が本体部の内壁に当接することを防止できる。また、保持部を所定角度以上回転させることができるので、停止した天井搬送車に対して移載先の角度が異なっている場合でも、保持部又は物品を移載先で規定された向きに合わせて回転させることにより、移載先に対する物品の受け渡しを容易かつ適切に行うことができる。
また、移動機構が、格納位置と、保持部に保持された物品が本体部から下方に抜け出す脱出位置と、の間で保持部を昇降させる昇降駆動部である場合では、昇降駆動部により物品を本体部から下方に抜け出す位置まで下降させてから回転させることで、物品を回転させる際に物品が本体部の内壁に当接することを確実に防止できる。さらに、天井搬送車の横方向に障害物が近接している場合であっても、本体部の下方において物品を回転させることができる。また、回転機構が、昇降駆動部により昇降自在であり、保持部が、回転機構に設けられる場合では、昇降駆動部全体を含めて回転させることに対して、回転させる対象が小さくなるので、回転機構を小型化することができる。
また、移動機構が、格納位置と、保持部に保持された物品が本体部から横方向に抜け出す脱出位置と、の間で保持部を軌道の横方向に進退させる横出し機構である場合では、物品を回転させる際に物品が本体部の内壁に当接することを確実に防止できる。さらに、天井搬送車の下方に障害物が近接している場合であっても、本体部の横方向において物品を回転させることができる。また、横出し機構及び保持部の走行方向の寸法が、本体部内に格納された物品の走行方向の寸法より小さい場合、横出し機構を進出させた際に、壁等の障害物に横出し機構又は保持部が当接することを防止できる。
本発明に係る搬送システムによれば、天井搬送車と移載先との間で物品を受け渡す際に、軌道のカーブ区間で走行部を停止させ、昇降駆動部により脱出位置まで保持部を下降させ、保持部に保持された物品を移載先の規定された向きに合わせて回転機構により保持部を回転させ、保持部又は物品が移載先の直上となる位置まで横出し機構により昇降駆動部を進出させ、昇降駆動部により保持部を下降させるので、軌道のカーブ区間の下方かつ側方の移載先に対して物品を移載する際に、移載先に近接する障害物に物品を衝突させることなく、移載先の規定された向きに合わせて回転させた状態でこの移載先に物品を適切に載置することができる。また、移載先が、カーブ区間の下方かつ側方であって建屋の近傍に設けられている場合であっても、物品が側壁に接触することなく、天井搬送車と移載先との間で物品を適切に受け渡すことができる。
また、上記した天井搬送車の制御方法において、移載先が、軌道のカーブ区間の下方又はカーブ区間の下方かつ側方に配置されている場合、保持部を所定角度以上回転させることにより、このような移載先に対して物品の受け渡しを行うことができる。
実施形態に係る天井搬送車の一例を示す図である。 図１におけるＡ−Ａ線に沿った断面図である。 天井搬送車の各構成を走行方向の側方（横方向）に分解した一例を示す平面図である。 天井搬送車を走行方向に見た場合の一例を示す図である。 回転機構を模式的に示す図である。 実施形態に係る搬送システム及び天井搬送車の制御方法の一例を示し、（Ａ）は天井搬送車がカーブ区間で停止した図、（Ｂ）は物品を脱出位置まで下降させた図である。 図６に続いて、（Ａ）は物品を回転させた図、（Ｂ）は物品を進出させた図である。 図７に続いて、物品を下降させてロードポートに載置した図である。 実施形態に係る搬送システム及び天井搬送車の制御方法の他の例を示す図である。 天井搬送車の制御方法の他の例を示し、（Ａ）は天井搬送車がカーブ区間で停止した図、（Ｂ）は天井搬送車が他の位置に停止した場合の参考図である。 天井搬送車の制御方法の他の例を示す図である。 天井搬送車が物品を脱出位置に進出させた状態を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は天井搬送車の走行方向から見た図である。 図１２に続いて、物品を回転させた状態を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は天井搬送車の走行方向から見た図である。 図１３に続いて、物品をさらに進出させた後に下降させ、棚部に物品を載置した状態を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は天井搬送車の走行方向から見た図である。 他の軌道の天井搬送車が棚部の物品を保持した状態を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は天井搬送車の走行方向から見た図である。 図１５に続いて、物品を上昇かつ脱出位置まで戻した状態を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は天井搬送車の走行方向から見た図である。 図１６に続いて、物品を回転させた状態を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は天井搬送車の走行方向から見た図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の説明においては、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明している。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。Ｘ方向は、天井搬送車１０（走行部１１）の走行方向としている。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるとして説明する。
図１は、実施形態に係る天井搬送車１０の一例を示す図である。図１に示す天井搬送車１０は、例えば、半導体デバイスの製造工場において走行可能に設置され、半導体デバイスの製造に用いられる半導体ウエハを収容したＦＯＵＰ、あるいはレチクルなどの加工用部材を収容したレチクルポッドなどの物品Ｍを搬送する。本実施形態では、物品ＭがＦＯＵＰである例として説明するが、物品Ｍは、ＦＯＵＰ以外でもよい。また、天井搬送車１０は、半導体デバイス製造分野以外の設備に適用可能であり、各種物品を搬送するために用いられる。
物品Ｍは、例えば、半導体ウエハなどの収容物を取り出すための蓋部Ｍａ（図２参照）を備えている。蓋部Ｍａは、物品Ｍの側面の一つに着脱可能に設けられる。また、物品Ｍへの収容物が半導体ウエハなどの円形の物体である場合、物品Ｍにおいて、蓋部Ｍａと反対側の２つの角部には、傾斜部Ｍｂが設けられる（図２参照）。この構成により、物品Ｍを回転させた際に、物品Ｍの角部が他と干渉するのを抑制できる。
天井搬送車１０は、図１に示すように、走行部１１と、本体部１２と、移載部１３と、制御部１４とを備える。走行部１１は、製造工場等の建屋の天井Ｃ又は天井Ｃ近傍に敷設された軌道Ｒに沿ってＸ方向に走行する。走行部１１の走行方向（Ｘ方向）は、軌道Ｒの方向とほぼ平行な方向である。走行部１１は、不図示の走行駆動部及び複数の車輪１１ａを備え、車輪１１ａが軌道Ｒ内を転動することによって走行する。走行駆動部は、例えば、走行部１１に備えられて車輪１１ａを駆動する電動モータであってもよいし、軌道Ｒを用いて設けられたリニアモータであってもよい。走行部１１の走行及び停止は、制御部１４によって制御される。
本体部１２は、走行部１１と一体的に移動するように走行部１１に取付けられる。本体部１２は、物品Ｍを格納可能である。本体部１２は、連結部材２１と、支持部材２２と、カバー部材２３とを有する。連結部材２１は、走行部１１に連結される。支持部材２２は、水平面に沿って配置され、移載部１３を支持する。カバー部材２３は、支持部材２２から上下方向（Ｚ方向）の下方に向けて突出して配置される。カバー部材２３は、物品Ｍを格納する格納位置Ｐ１を挟んで走行方向の＋Ｘ側及び−Ｘ側のそれぞれに配置される。各カバー部材２３は、格納位置Ｐ１側に互いに対向する内壁２３ａを有する。２つの内壁２３ａは、それぞれ平面状であり、かつ、平行に配置されている。
図２は、図１におけるＡ−Ａ線に沿った断面図であり、本体部１２におけるカバー部材２３と物品Ｍとの位置関係を示す図である。図２に示すように、カバー部材２３は、格納位置Ｐ１に格納された物品Ｍを回転軸ＡＸの軸周りに所定角度θ回転させる場合に、物品Ｍに内壁２３ａが当接する位置に配置される。従って、例えば、物品Ｍを保持する後述の保持部１５が、回転機構１９により所定角度θ以上回転すると、保持部１５に保持された物品Ｍが同じく所定角度θ以上回転して、物品Ｍの一部がカバー部材２３の内壁２３ａに当接することになる。すなわち、格納位置Ｐ１に物品Ｍを格納している状態では、保持部１５を回転させると物品Ｍが内壁２３ａに当たるぐらい、物品Ｍと内壁２３ａとの間隔が狭い状態となっている。
移載部１３は、図１に示すように、物品Ｍを保持する保持部１５と、保持部１５を上下方向（Ｚ方向）の回転軸ＡＸの軸周りに回転させる回転機構１９と、保持部１５及び回転機構１９を本体部１２に対して移動させる移動機構１６と、を有する。
保持部１５は、回転機構１９に設けられる。保持部１５は、物品Ｍの頂部に備えるフランジ部Ｍｃを把持することにより、物品Ｍを吊り下げて保持する。保持部１５は、例えば、水平方向に移動可能な複数の爪部１５ａを有するチャックであり、爪部１５ａのそれぞれを物品Ｍのフランジ部Ｍｃの下方に進入させ、保持部１５を上昇させることで、物品Ｍを吊り下げた状態で保持する。保持部１５は、ワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材１５ｂと接続されている。吊り下げ部材１５ｂは、複数本、例えば２本設けられている。保持部１５の動作は、制御部１４により制御される。
移動機構１６は、保持部１５を上下方向（Ｚ方向）に昇降させる昇降駆動部１７と、保持部１５及び昇降駆動部１７を軌道Ｒの側方（Ｙ方向、軌道Ｒの横方向、又は走行方向と直交する方向）に進退させる（横出しする）横出し機構１８とを有する。昇降駆動部１７は、例えばホイストであり、吊り下げ部材１５ｂを繰り出すことにより保持部１５を降下させ、吊り下げ部材１５ｂを巻き取ることにより保持部１５を上昇させる。
昇降駆動部１７は、制御部１４に制御されることにより、所定の速度で保持部１５及び回転機構１９を降下あるいは上昇させる。また、昇降駆動部１７は、制御部１４に制御されることにより、保持部１５を目標の高さに保持する。天井搬送車１０は、停止状態から走行部１１による走行を開始する際、例えば、昇降駆動部１７により保持部１５を最上位置まで上昇させた後、走行を開始する。この動作により、天井搬送車１０の走行時に、天井搬送車１０の一部が、軌道Ｒの下方の障害物と接触することを防止する。
横出し機構１８は、例えば上下方向に重ねて配置された複数の可動板１８ａと、各種ケーブルを案内するケーブル案内部材１８ｂ（図３参照）とを有する。複数の可動板１８ａは、走行部１１の走行方向の側方（Ｙ方向）に移動可能である。最下層の可動板１８ａには、昇降駆動部１７が取り付けられている。横出し機構１８は、可動板１８ａをＹ方向に案内する不図示のガイド、及び可動板１８ａを走行方向の側方（Ｙ方向）に移動させる不図示の駆動部を有する。この駆動部の動作は、制御部１４によって制御される。ケーブル案内部材１８ｂは、各種ケーブルを収容しており、横出し機構１８の動作に追従する。ケーブル案内部材１８ｂが案内する各種ケーブルは、例えば、保持部１５、及び昇降駆動部１７、回転機構１９に接続される制御信号用のケーブル、及び電力供給用のケーブルなどである。
図３は、天井搬送車１０の各構成を走行方向の側方（Ｙ方向）に分解して天井側から見た場合の一例を示す図である。図３に示すように、走行方向における横出し機構１８の寸法Ｌ２、昇降駆動部１７の寸法Ｌ３、及び保持部１５の寸法Ｌ４は、いずれも走行方向における物品Ｍの寸法Ｌ１よりも小さくなっている。なお、横出し機構１８は、走行方向に可動板１８ａとケーブル案内部材１８ｂとが並んで配置された構成である。横出し機構１８の寸法Ｌ２は、図３に示すように、走行方向に並んで配置された可動板１８ａとケーブル案内部材１８ｂとを合わせた寸法である。
図３に示すように、横出し機構１８、昇降駆動部１７、及び保持部１５の寸法Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４が、物品Ｍの寸法Ｌ１よりも小さいので、横出し機構１８により保持部１５等を進出させた際に、物品Ｍより先に横出し機構１８等が壁又は各種装置と接触することを回避できる。
図４は、天井搬送車１０を走行方向（Ｘ方向）に見た場合の一例を示す図である。図４に示すように、移載部１３は、昇降駆動部１７の吊り下げ部材１５ｂの繰り出し及び巻き取りを行うことにより、保持部１５に保持された物品Ｍを格納位置Ｐ１と脱出位置Ｐ２との間で移動可能である。格納位置Ｐ１は、物品Ｍがカバー部材２３の内壁２３ａに挟まれた空間内に収容された位置である。脱出位置Ｐ２は、物品Ｍが本体部１２から下方に抜け出した位置である。
また、移載部１３は、不図示の駆動部からの駆動力によって、横出し機構１８の可動板１８ａを不図示のガイドに沿って移動させることで、保持部１５に保持された物品Ｍを格納位置Ｐ１と脱出位置Ｐ３との間で移動可能である。格納位置Ｐ１は、上記のとおりである。脱出位置Ｐ３は、物品Ｍが本体部１２から横方向（Ｙ方向）、すなわち走行方向に対して側方に抜け出した位置である。なお、脱出位置Ｐ３は、本体部１２の走行方向に対して両側の側方（＋Ｙ側及び−Ｙ側）に設定されている。
回転機構１９は、保持部１５を上下方向（Ｚ方向）の回転軸ＡＸの軸周りに回転させる。また、回転機構１９は、昇降駆動部１７により昇降自在である。回転機構１９は、図４に示すように、保持部１５に保持された物品Ｍが脱出位置Ｐ２又は脱出位置Ｐ３に配置された状態において、保持部１５を回転軸ＡＸの軸周り方向に上記した所定角度θ（図２参照）以上の角度で回転させることが可能である。
図５は、回転機構１９を模式的に示す図である。図５に示すように、回転機構１９は、駆動源１９ａと、センサ１９ｂと、制御基板１９ｃと、旋回軸１９ｄとを有する。駆動源１９ａは、例えば旋回軸１９ｄを旋回させることが可能な電動モータ等が用いられる。センサ１９ｂは、旋回軸１９ｄ等の回転量等を検出する。制御基板１９ｃは、制御部１４からの制御信号及びセンサ１９ｂの検出結果に基づいて駆動源１９ａの動作を制御する。旋回軸１９ｄは、昇降駆動部１７により昇降する部分１７ａに対して回転可能であり、かつ、部分１７ａに対して上下方向（Ｙ方向）に係止されている。旋回軸１９ｄの下端は保持部１５に取り付けられており、旋回軸１９ｄを回転させることにより、保持部１５（及び物品Ｍ）を旋回させることができる。なお、駆動源１９ａ、センサ１９ｂ、及び制御基板１９ｃは、部分１７ａに配置されている。
回転機構１９は、保持部１５の上部に配置され、昇降駆動部１７を駆動することにより、保持部１５と一体となって上下方向（Ｚ方向）に移動する。このように、回転機構１９は、保持部１５の上部に配置されることにより、昇降駆動部１７を含めて回転させることに対して回転対象を小さくすることができる。その結果、回転機構１９を小型化することができる。
なお、回転機構１９は、保持部１５の上部に配置されることに限定されない。例えば、横出し機構１８の可動板１８ａと昇降駆動部１７との間に配置される構成であってもよい。この構成であっても、物品Ｍが脱出位置Ｐ２及び脱出位置Ｐ３に配置された状態において、回転機構１９を駆動することにより、昇降駆動部１７を含めて保持部１５を回転させ、保持部１５に保持された物品Ｍを回転軸ＡＸの軸周りに所定角度θ以上の角度で回転させることができる。
ケーブル２０は、図５に示すように、保持部１５に電気的に接続される保持部用ケーブル２０ａと、回転機構１９に電気的に接続される回転機構用ケーブル２０ｂとを有する。保持部用ケーブル２０ａと回転機構用ケーブル２０ｂとは、それぞれ異なる吊り下げ部材１５ｂに支持されている。保持部用ケーブル２０ａは、保持部１５を制御する制御用ケーブルと、保持部１５に電力を供給する電源用ケーブルとを含む。保持部用ケーブル２０ａは、回転機構１９の旋回軸１９ｄに接続され、旋回軸１９ｄを介して制御用の信号あるいは電力を保持部１５に供給する。回転機構用ケーブル２０ｂは、回転機構１９を制御する制御用ケーブルと、回転機構１９に電力を供給する電源用ケーブルとを含む。回転機構用ケーブル２０ｂは、制御基板１９ｃに接続される。このように、ケーブル２０が吊り下げ部材１５ｂに配置されることにより、コンパクトな構成で保持部１５及び回転機構１９に対して制御信号又は電力の供給を行うことができる。
制御部１４は、図１に示すように、走行部１１及び移載部１３の各部の動作を制御する。制御部１４の指示により、走行部１１は、移動機構１６により保持部１５を格納位置Ｐ１に配置した状態で走行する。なお、走行部１１が停止する際は、移載先に対応して軌道Ｒ又は軌道Ｒの近傍に設けられた停止指標を天井搬送車１０に備えるセンサで読み取ることにより行っている。また、移載部１３により移載先に対して物品Ｍの受け渡しを行う際は、制御部１４の指示により、移動機構１６により保持部１５を脱出位置Ｐ２、Ｐ３に配置した状態で、回転機構１９が保持部１５を所定角度θ以上回転させることにより、保持部１５に保持されている物品Ｍを所定角度θ以上回転させる。
図６から図８は、実施形態に係る搬送システムＳＹＳ及び天井搬送車１０の制御方法の一例を示す図である。搬送システムＳＹＳは、軌道Ｒと天井搬送車１０とを備えている。天井搬送車１０は、例えば、処理装置４２のロードポート（移載先）３０に物品Ｍを搬送する。ロードポート３０では、規定された向き（例えば、蓋部Ｍａを処理装置４２に対向させる向き）で物品Ｍが載置される。また、天井搬送車１０は、ロードポート３０から物品Ｍを受け取って他の場所に搬送する。本実施形態では、移載先として処理装置４２のロードポート３０を例に挙げて説明しているが、移載先としては、自動倉庫の受け渡しポート、又は保管棚などであってもよい。また、処理装置４２は、例えば、成膜装置、コーター・ディベロッパ、露光装置、エッチング装置などであり、デバイス（例、半導体デバイス）を製造する過程で半導体ウエハに各種処理を施す装置である。
本実施形態では、処理装置４２が建屋の側壁４１の近くに設置されている。例えば、図６に示すように、建屋の側壁４１に対して処理装置４２の前面側の壁部が垂直を成すように処理装置４２が設置されている。この構成により、処理装置４２のロードポート３０は、側壁４１の近傍に配置されている。物品Ｍから処理装置４２内に被処理体（例えば半導体ウエハなど）を取り入れるために開閉させられるロードポート３０の取入口が、処理装置４２の前面側の壁部と略面一に設けられている。すなわち、この取入口は、建屋の側壁４１と垂直を成すように設けられている。ロードポート３０に載置された物品Ｍからの処理装置４２内への被処理体の出し入れは、物品Ｍの蓋部Ｍａが取り外されると共にその蓋部Ｍａが装着されていた部位がロードポート３０の取入口に合わされた状態で行われる。従って、物品Ｍは、蓋部Ｍａがロードポート３０の取入口に合わされる向きで（換言すれば、物品Ｍにおける蓋部Ｍａがロードポート３０の取入口と平行かつ近接した位置となる向きで）そのロードポート３０に載置されるように予め定められている。本実施形態においては、この向きが、物品Ｍがロードポート３０に載置される際の規定された向きに相当する。
軌道Ｒは、側壁４１及び処理装置４２に沿って配置される直線区間Ｒ１、Ｒ２と、処理装置４２のロードポート３０の上方からずれた位置に配置されるカーブ区間Ｒ３と、を含んでいる。カーブ区間Ｒ３は、側壁４１に沿う直線区間Ｒ１と、処理装置４２に沿う直線区間Ｒ２とに接続するように設けられる。カーブ区間Ｒ３は、直線区間Ｒ１の方向から曲がって側壁４１から離れるように設けられ、直線区間Ｒ２に接続されている。直線区間Ｒ１、Ｒ２及びカーブ区間Ｒ３は、天井搬送車１０が走行する場合に側壁４１及び処理装置４２に干渉しない位置に配置されている。
先ず、天井搬送車１０がロードポート３０に物品Ｍを搬送する場合の動作について説明する。図６（Ａ）に示すように、走行部１１は、制御部１４の指示により、軌道Ｒのカーブ区間Ｒ３で停止する。この場合、天井搬送車１０は、側壁４１又は処理装置４２に対して上方から見て平行になっていない状態で停止する。従って、本体部１２に格納されている物品Ｍは、処理装置４２の前面側の壁部に対して平行ではなく、ロードポート３０の上方からずれて、かつ、ロードポート３０の規定された向きから回転した状態となっている。制御部１４は、この状態で、移載部１３により、カーブ区間Ｒ３の下方に配置されるロードポート３０に物品Ｍの搬送を実行させる。
なお、最初に横出し機構１８により物品Ｍを横方向に突出させた後、ロードポート３０に合わせて物品Ｍを回転させる場合、図６（Ａ）の一点鎖線に示すように、物品Ｍの角部が側壁４１に当たってしまう。また、物品Ｍを横方向に突出させる前に、格納位置Ｐ１に配置された状態でロードポート３０に合わせて回転機構１９により回転させると、上述したように、物品Ｍがカバー部材２３の内壁２３ａに当たってしまう。従って、制御部１４は、物品Ｍが側壁４１に当接することを回避し、かつ、物品Ｍがカバー部材２３の内壁２３ａに当接することを回避するため、図６（Ｂ）以降に示すような制御を行う。
先ず、図６（Ｂ）に示すように、昇降駆動部１７は、保持部１５を下降させて物品Ｍを脱出位置Ｐ２に配置させる。なお、カーブ区間Ｒ３の下方は高い障害物がないので、天井搬送車１０の本体部１２から物品Ｍを脱出位置Ｐ２まで下降させる際に物品Ｍが他に当たることを回避できる。少なくとも、物品Ｍを格納位置Ｐ１から脱出位置Ｐ２まで下降させる際に、側壁４１又は処理装置４２に当接することを回避できる。
物品Ｍが脱出位置Ｐ２に配置された後、図７（Ａ）に示すように、回転機構１９は、制御部１４の指示により、保持部１５を回転させて、物品Ｍを回転軸ＡＸ（図２参照）の軸周り方向に回転させ、物品Ｍの移載先であるロードポート３０の規定された向きに合わせる。すなわち、ロードポート３０の取入口（処理装置４２の前面側の壁部）と物品Ｍの蓋部Ｍａとが平行となる向きとなるように、物品Ｍを回転させる。この場合、物品Ｍがカバー部材２３と干渉しない脱出位置Ｐ２に配置された状態で保持部１５を回転させるため、物品Ｍを所定角度θ以上の角度で回転させることが可能となる。また、物品Ｍは、蓋部Ｍａが処理装置４２に対向するように回転される。従って、格納位置Ｐ１において蓋部Ｍａの向きがどの方向に向いている場合でも、回転機構１９により物品Ｍを回転させることによって、ロードポート３０の規定された向きとして、蓋部Ｍａを処理装置４２に対向させることができる。
物品Ｍの向きをロードポート３０の規定された向きに合わせた後、図７（Ｂ）に示すように、横出し機構１８は、制御部１４の指示により、物品Ｍがロードポート３０の直上となる位置まで昇降駆動部１７（保持部１５）を進出させる。この場合、物品Ｍは、ロードポート３０に合わせて回転しているので、物品Ｍが側壁４１又は処理装置４２等の障害物に当接しない。また、横出し機構１８、昇降駆動部１７及び保持部１５の走行方向の寸法が、物品Ｍの走行方向の寸法より小さいため（図３参照）、横出し機構１８を進出させた際、横出し機構１８等が側壁４１又は処理装置４２等の障害物に当接することを防止できる。
物品Ｍがロードポート３０の直上に配置された後、図８に示すように、昇降駆動部１７は、制御部１４の指示により保持部１５を下降させ、物品Ｍをロードポート３０に載置した後に、保持部１５による物品Ｍの保持を解放する。この一連の動作により、天井搬送車１０は、ロードポート３０への物品Ｍの搬送を完了する。なお、物品Ｍをロードポート３０に載置した後、昇降駆動部１７により保持部１５を上昇させ、横出し機構１８を本体部１２に引っ込めることにより、天井搬送車１０は、走行可能な状態となる。
次に、天井搬送車１０がロードポート３０に載置された物品Ｍを受け取る場合の動作について説明する。この場合、ロードポート３０に物品Ｍを載置させる場合と同様に、走行部１１は、軌道Ｒのカーブ区間Ｒ３で停止する。なお、保持部１５は、物品Ｍを保持していない状態である。この状態で、図６（Ｂ）から図８に示す動作と同様に、保持部１５が下降することにより、物品Ｍを保持する。なお、保持部１５は、物品Ｍを保持していないので、先に横出し機構１８により保持部１５を物品Ｍの直上まで進出させた後に、回転機構１９により保持部１５を物品Ｍに合わせて回転させ、続いて昇降駆動部１７により保持部１５を下降させてもよい。
保持部１５が物品Ｍを保持した後、昇降駆動部１７により保持部１５を上昇させ、物品Ｍを脱出位置Ｐ２の高さで保持する。続いて、横出し機構１８により昇降駆動部１７（保持部１５）を本体部１２の下方まで退避させる。その結果により、物品Ｍは、図６（Ｂ）と同様の状態となる。続いて、回転機構１９により保持部１５を回転させて、物品Ｍを回転軸ＡＸの軸周りに回転させ、物品Ｍの向きを本体部１２のカバー部材２３の配置に合わせる。続いて、昇降駆動部１７により保持部１５を上昇させて、物品Ｍを格納位置Ｐ１に配置させる。この一連の動作により、天井搬送車１０は、ロードポート３０に載置された物品Ｍの受け取りを完了する。
このように、本実施形態に係る天井搬送車１０によれば、本体部１２内に格納した物品Ｍとカバー部材２３との間隔が狭く、カバー部材２３によって形成される物品格納用の空間が小さいので、本体部１２並びに天井搬送車１０を小型化することができる。また、移載部１３により移載先（ロードポート３０）に対して物品Ｍの受け渡しを行う場合には、物品Ｍが脱出位置Ｐ２にあるときに所定角度θ以上の回転を許容するので、物品Ｍが本体部１２のカバー部材２３に当接することを防止できる。また、脱出位置Ｐ２において保持部１５を所定角度θ以上回転させることができるので、側壁４１等の近くに配置されたロードポート３０に対しても、物品Ｍが側壁４１等に当たることなく物品Ｍの受け渡しを行うことができる。また、ロードポート３０が、建屋の側壁４１の近くであっても適切に物品Ｍの受け渡しを行うことができるので、側壁４１の近くまで処理装置４２（ロードポート）を配置することが可能となり、建屋内のスペース効率を向上させることができる。
上記した実施形態では、側壁４１に近いロードポート３０に対して物品Ｍの受け渡しを行う例を示したが、図９及び図１０では、他のロードポート３１に対する物品Ｍの受け渡しについて示している。なお、天井搬送車１０、１０Ａの構成は、上記した実施形態と同様であるため、同一の符号を付して説明を省略する。
図９及び図１０は、実施形態に係る天井搬送車１０の制御方法の他の例を示す図である。天井搬送車１０は、不図示の処理装置又は保管棚、自動倉庫等のロードポート３１、３１Ａに物品Ｍを搬送する。また、天井搬送車１０は、ロードポート３１、３１Ａから物品Ｍを受け取って他の場所に搬送する。なお、ロードポート３１、３１Ａには、物品Ｍの蓋部Ｍａが後述する外部軌道Ｒ５の進行方向の後方を向くように物品Ｍが載置される場合を例に挙げて説明する。すなわち、ロードポート３１、３１Ａで規定された物品Ｍの向きが、蓋部Ｍａを外部軌道Ｒ５の進行方向の後方に向けた状態である例を示している。なお、蓋部Ｍａの方向については、図９に示す例に限定されず、他の方向を向くように載置されてもよい。
図９及び図１０に示す実施形態において、軌道Ｒは、周回軌道Ｒ４と、外部軌道Ｒ５とを有する。周回軌道Ｒ４は、例えば、不図示の処理装置又は保管棚、自動倉庫等に沿って設けられる。周回軌道Ｒ４は、直線区間Ｒ４１、Ｒ４２と、カーブ区間Ｒ４３、Ｒ４４と、を有する。外部軌道Ｒ５は、周回軌道Ｒ４の外部に配置される。外部軌道Ｒ５は、２つの接続軌道Ｒ６により周回軌道Ｒ４に接続されている。２つの接続軌道Ｒ６の一方は、外部軌道Ｒ５から周回軌道Ｒ４に入るための軌道であり、接続軌道Ｒ６の一方は、周回軌道Ｒ４から外部軌道Ｒ５に出るための軌道である。本実施形態において、ロードポート３１は、接続軌道Ｒ６の下方であり、カーブ区間Ｒ４４の下方かつ側方である位置に配置される。また、ロードポート３１Ａは、外部軌道Ｒ５の下方の位置に配置される。
天井搬送車１０がロードポート３１に物品Ｍを搬送する場合、図１０（Ａ）に示すように、走行部１１は、制御部１４の指示により、周回軌道Ｒ４のカーブ区間Ｒ４４で停止する。この状態で、天井搬送車１０は、例えば、上記した図６から図８と同様の手順で、カーブ区間Ｒ４４の下方かつ側方に配置されるロードポート３１との間で物品Ｍの受け渡しを行う。天井搬送車１０の動作を制御部１４により制御する点は、上記と同様である。
先ず、昇降駆動部１７により保持部１５を下降させて物品Ｍを脱出位置Ｐ２に配置させる。物品Ｍが脱出位置Ｐ２に配置された後、回転機構１９は、回転軸ＡＸの軸周りに保持部１５を回転させ、物品Ｍの向きをロードポート３１で規定された向きに合わせる。このとき、物品Ｍが脱出位置Ｐ２に配置された状態で保持部１５を回転させるため、所定角度θ以上の角度で回転させることが可能である。物品Ｍの向きをロードポート３１で規定された向きに合わせた後、横出し機構１８は、物品Ｍがロードポート３１の直上となる位置まで、昇降駆動部１７（保持部１５）を進出させる。続いて、昇降駆動部１７により保持部１５を下降させ、物品Ｍをロードポート３１に載置する。この一連の動作により、天井搬送車１０は、ロードポート３１への物品Ｍの搬送を完了する。
なお、ロードポート３１の近傍に障害物がない場合は、横出し機構１８は、物品Ｍがロードポート３１の直上となる位置まで、昇降駆動部１７（保持部１５）を進出させた後に、回転機構１９により物品Ｍの向きをロードポート３１で求める向きに合わせ、続いて、昇降駆動部１７により保持部１５を下降させて物品Ｍをロードポート３１に載置してもよい。
また、天井搬送車１０がロードポート３１に載置された物品Ｍを受け取る場合についても、上記と同様の手順で行う。先ず、周回軌道Ｒ４のカーブ区間Ｒ４４で走行部１１を停止させ、上記と同様の手順で保持部１５を下降させてロードポート３１に載置された物品Ｍを保持する。保持部１５が物品Ｍを保持した後、昇降駆動部１７により保持部１５を上昇させ、物品Ｍを脱出位置Ｐ２の高さで保持する。続いて、横出し機構１８により昇降駆動部１７（保持部１５）を本体部１２の下方まで退避させる。続いて、回転機構１９により保持部１５を回転させて、物品Ｍの向きを本体部１２のカバー部材２３の配置に合わせる。続いて、昇降駆動部１７により保持部１５を上昇させて、物品Ｍを格納位置Ｐ１に配置させる。この一連の動作により、天井搬送車１０は、ロードポート３１に載置された物品Ｍの受け取りを完了する。
ロードポート３１は、接続軌道Ｒ６の下方に配置される。このため、例えば、図１０（Ｂ）に示すように、天井搬送車１０が外部軌道Ｒ５から接続軌道Ｒ６に移動し、接続軌道Ｒ６で走行部１１を停止させた状態で、移載部１３により、ロードポート３１との間で物品Ｍの受け渡しを行わせることもできる。ただし、この場合には、天井搬送車１０の一部（例えばカバー部材２３等）が外部軌道Ｒ５側にはみ出す場合がある。その結果、外部軌道Ｒ５を走行する他の天井搬送車１０Ａの障害となる場合があるため、他の天井搬送車１０Ａの走行を一時停止させる必要がある。
図１０（Ａ）に示す例では、周回軌道Ｒ４を走行する天井搬送車１０によりロードポート３１との間で物品Ｍの受け渡しを行うため、天井搬送車１０の一部が外部軌道Ｒ５を走行する他の天井搬送車１０Ａの障害物となることがなく、他の天井搬送車１０Ａの走行を停止させる必要がない。このため、外部軌道Ｒ５において天井搬送車１０Ａの渋滞の発生を抑制できる。
また、図１０（Ａ）に示す例では、天井搬送車１０によりロードポート３１に対して物品Ｍの受け渡しを行うと同時に、外部軌道Ｒ５を走行する天井搬送車１０Ａによって、ロードポート３１Ａに対して物品Ｍの受け渡しを行うことが可能である。例えば、天井搬送車１０によりロードポート３１に対して物品Ｍの受け渡しを行っているタイミングで、天井搬送車１０Ａの走行部１１は、外部軌道Ｒ５においてロードポート３１Ａの上方で停止し、この状態で、移載部１３により、ロードポート３１Ａとの間で物品Ｍの受け渡しを行うことができる。
天井搬送車１０Ａの昇降駆動部１７は、保持部１５を下降させて物品Ｍを脱出位置Ｐ２に配置させる。続いて、回転機構１９は、保持部１５を回転させて物品Ｍの向きをロードポート３１Ａに合わせる。例えば、回転機構１９は、物品Ｍの蓋部Ｍａが外部軌道Ｒ５の進行方向の後方に向くように回転させる。なお、天井搬送車１０Ａにおいても、物品Ｍが脱出位置Ｐ２に配置された状態で回転するため、所定角度θ以上の角度で物品Ｍを回転させることができる。物品Ｍの向きをロードポート３１Ａに合わせた後、昇降駆動部１７は、保持部１５を下降させて物品Ｍをロードポート３１Ａに載置する。この一連の動作により、天井搬送車１０Ａは、ロードポート３１Ａへの物品Ｍの搬送を完了する。
また、天井搬送車１０Ａがロードポート３１Ａに載置された物品Ｍを受け取る場合について説明する。上記と同様に、天井搬送車１０Ａは、走行部１１をロードポート３１Ａの上方で停止させ、保持部１５を下降させて物品Ｍを保持させる。続いて、昇降駆動部１７は、保持部１５を上昇させて物品Ｍを脱出位置Ｐ２に配置させる。続いて、回転機構１９は、保持部１５を回転させて物品Ｍの向きを本体部１２のカバー部材２３の配置に合わせる。続いて、昇降駆動部１７は、保持部１５を上昇させて物品Ｍを格納位置Ｐ１に配置させる。この一連の動作により、天井搬送車１０Ａは、ロードポート３１Ａに載置された物品Ｍの受け取りを完了する。
このように、図９及び図１０に示す実施形態では、天井搬送車１０によりロードポート３１に対して物品Ｍの受け渡しを行う際に、天井搬送車１０が外部軌道Ｒ５を走行する天井搬送車１０Ａの障害となることがなく、外部軌道Ｒ５における天井搬送車１０Ａの円滑な走行を確保することができる。さらに、天井搬送車１０によりロードポート３１に対して物品Ｍの受け渡しを行う際に、同時に、外部軌道Ｒ５を走行する天井搬送車１０Ａによりロードポート３１Ａとの間で物品Ｍの受け渡しを行うことができるため、物品Ｍの搬送効率を向上させることができる。
上記した実施形態では、ロードポート３０、３１、３１Ａが建屋の床面に設置された例を示しているが、移載先として、建屋内の上部に配置された、床面から所定高さの棚部３２に対して物品Ｍの受け渡しを行う場合がある。図１１から図１７は、実施形態に係る天井搬送車１０（１０Ａ、１０Ｂ）の制御方法の他の例を示す図である。なお、図１２から図１７において、各図の（Ａ）は、上方から下方に（−Ｚ方向に）見た場合の図であり、各図の（Ｂ）は、走行方向（Ｘ方向）から見た場合の図である。また、天井搬送車１０（１０Ｂ、１０Ｃ）の構成は、上記した実施形態と同様であるため、同一の符号を付して説明を省略する。
図１１及び図１２に示すように、軌道Ｒは、直線軌道Ｒ７、Ｒ８を有する。直線軌道Ｒ７、Ｒ８は、図１２に示すように、それぞれＸ方向に沿って延び、かつ、上方から見て棚部３２を挟んで平行に配置される。棚部３２は、直線軌道Ｒ７、Ｒ８に沿うようにＸ方向に複数並んで配置される。以下、複数の棚部３２を区別する場合、棚部３２ａ、３２ｂ等と表記する。
天井搬送車１０は、図１２に示すように、直線軌道Ｒ７、Ｒ８を反対方向に向けて走行する。以下、天井搬送車１０を、直線軌道Ｒ７を走行する天井搬送車１０Ｂと、直線軌道Ｒ８を走行する天井搬送車１０Ｃとして説明する。天井搬送車１０Ｂ、１０Ｃは、複数の棚部３２のそれぞれに対して物品Ｍを搬送する。また、天井搬送車１０Ｂ、１０Ｃは、棚部３２のそれぞれから物品Ｍを受け取って他の場所に搬送する。また、本実施形態では、天井搬送車１０Ｂと天井搬送車１０Ｃとの間で、棚部３２を介して物品Ｍの受け渡しを行うことが可能である。以下、天井搬送車１０Ｂ及び天井搬送車１０Ｃの動作について説明する。
先ず、天井搬送車１０Ｂが棚部３２ａに物品Ｍを搬送する場合の動作について説明する。図１２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、天井搬送車１０Ｂの走行部１１は、直線軌道Ｒ７において棚部３２ａの側方で停止する。続いて、横出し機構１８は、棚部３２ａ側に向けて物品Ｍを脱出位置Ｐ３（図４参照）に配置するように進出する。このとき、横出し機構１８は、物品Ｍを回転させる場合の最外周の軌跡Ｓ１が直線軌道Ｒ８を走行する天井搬送車１０Ｃに重ならないように、進出量を設定する。この状態では、物品Ｍは棚部３２ａの直上まで達していない。その結果、直線軌道Ｒ８を走行する天井搬送車１０Ｃと、天井搬送車１０Ｂが搬送中の物品Ｍとの干渉を防止できる。
続いて、回転機構１９は、図１３（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、保持部１５を回転軸ＡＸの軸周りに回転させて、物品Ｍの向きを棚部３２ａで規定された向きに合わせる。例えば、回転機構１９は、物品Ｍの蓋部Ｍａが天井搬送車１０Ｂの走行方向の前方に（＋Ｘ方向に）向くように物品Ｍの向きを調整する。また、物品Ｍがカバー部材２３に干渉しない脱出位置Ｐ３に配置された状態で保持部１５を回転させるため、所定角度θ以上の角度で物品Ｍを回転させることが可能となる。また、各棚部３２に載置される物品Ｍの向きは、蓋部Ｍａを＋Ｘ方向に向けるように統一して設定されているが、他の向きに統一されてもよいし、各棚部３２で蓋部Ｍａの向きを任意に設定してもよい。
また、図１３（Ａ）に示すように、棚部３２ａに載置する物品Ｍを回転させる場合の最外周の軌跡Ｓ１と、直線軌道Ｒ８を走行する天井搬送車１０Ｃが棚部３２ａの隣の棚部３２ｂに載置する物品Ｍを回転させる場合の最外周の軌跡Ｓ２と、が重ならないように、棚部３２ａと棚部３２ｂとの間隔が設定されている。この構成により、天井搬送車１０Ｂと天井搬送車１０Ｃとで、隣り合う棚部３２ａ、３２ｂで同時に物品Ｍの受け渡しを行っても、物品Ｍ同士の干渉を回避でき、棚部３２ａ、３２ｂで同時に物品Ｍの受け渡しを行うことにより、物品Ｍの搬送効率を向上できる。
物品Ｍの向きを棚部３２ａで規定された向きに合わせた後、図１４（Ａ）に示すように、天井搬送車１０Ｂの横出し機構１８は、物品Ｍが棚部３２ａの直上に位置するまで昇降駆動部１７（保持部１５）を進出させる。この場合、物品Ｍの向きが棚部３２ａで規定された向きに合わせられているため、物品Ｍが直線軌道Ｒ８を走行する天井搬送車１０Ｃと干渉することを防止できる。続いて、昇降駆動部１７は、保持部１５を下降させ、物品Ｍを棚部３２ａに載置して、保持部１５による物品Ｍの保持を解放する。物品Ｍを棚部３２ａに載置した後、図１４（Ｂ）に示すように、昇降駆動部１７は、保持部１５を上昇させる。続いて、横出し機構１８は、昇降駆動部１７（保持部１５）を本体部１２内に退避させる。この一連の動作により、天井搬送車１０Ｂは、棚部３２ａへの物品Ｍの搬送が完了する。
また、天井搬送車１０Ｂが棚部３２ａに載置された物品Ｍを受け取る場合について説明する。上記と同様に、天井搬送車１０Ｂは、走行部１１を棚部３２ａの側方で停止させ、横出し機構１８を進出させた後に保持部１５を下降させて物品Ｍを保持させる。続いて、昇降駆動部１７は、保持部１５を上昇させて物品Ｍを持ち上げる。続いて、横出し機構１８は、保持部１５を少し退避させて（−Ｙ方向に少し移動させて）、図１３（Ａ）に示すように、物品Ｍを脱出位置Ｐ３に配置させる。続いて、回転機構１９は、保持部１５を回転させて物品Ｍの向きを本体部１２のカバー部材２３の配置に合わせる。続いて、横出し機構１８は、昇降駆動部１７（保持部１５）を退避させて物品Ｍを格納位置Ｐ１（図４参照）に配置させる。この一連の動作により、天井搬送車１０Ｂは、棚部３２ａに載置された物品Ｍの受け取りを完了する。
次に、直線軌道Ｒ８を走行する天井搬送車１０Ｃが棚部３２ａに載置された物品Ｍを受け取る場合の動作について説明する。図１５（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、天井搬送車１０Ｃの走行部１１は、棚部３２ａの側方で停止する。続いて、横出し機構１８は、保持部１５を物品Ｍの直上に位置するまで進出させた後、昇降駆動部１７により保持部１５を下降させて物品Ｍを保持させる。
保持部１５が物品Ｍを保持した後、昇降駆動部１７は、保持部１５を上昇させて物品Ｍを上昇させる。なお、上昇した物品Ｍは、棚部３２ｂに合わせた向きで上昇しているため、直線軌道Ｒ７を走行する天井搬送車１０Ｂと干渉することはない。続いて、横出し機構１８は、昇降駆動部１７（保持部１５）を天井搬送車１０Ｃ側に保持部１５を少し退避させて（＋Ｙ方向に少し移動させて）、物品Ｍを脱出位置Ｐ３に配置させる。脱出位置Ｐ３では、物品Ｍを回転させる場合の最外周の軌跡Ｓ３が直線軌道Ｒ７を走行する天井搬送車１０Ｂに重ならない。この構成により、物品Ｍを回転させたときでも、天井搬送車１０Ｂと物品Ｍとの干渉を防止できる。
続いて、図１６（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、回転機構１９は、保持部１５を回転軸ＡＸの軸周りに回転させて、物品Ｍの向きをカバー部材２３に合わせる。このとき、回転機構１９は、物品Ｍの蓋部Ｍａが天井搬送車１０Ｃの走行方向の左側、つまり棚部３２ａ側に向くように物品Ｍの配置を調整する。物品Ｍの向きを調整した後、図１７（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、横出し機構１８は、昇降駆動部１７（保持部１５）を退避させて、物品Ｍを格納位置Ｐ１（図４参照）に配置させる。この一連の動作により、天井搬送車１０Ｃは、棚部３２ａに載置される物品Ｍの受け取りを完了する。
このように、本実施形態では、直線軌道Ｒ７、Ｒ８を走行する天井搬送車１０Ｂ、１０Ｃのいずれもが棚部３２に対して物品Ｍの受け渡しを行うことができ、天井搬送車１０Ｂ、１０Ｃの間で、棚部３２を介して物品Ｍの受け渡しを行うことができる。さらに、天井搬送車１０Ｂ、１０Ｃのいずれか一方が棚部３２に対して物品Ｍの受け渡しを行う場合に、天井搬送車１０Ｂ、１０Ｃのいずれか他方の走行の支障にならないので、物品Ｍの搬送効率を向上させることができる。なお、本実施形態では、天井搬送車１０Ｂ、１０Ｃの本体部１２の下方の脱出位置Ｐ２（図４参照）で物品Ｍを回転させても、棚部３２に対する物品Ｍの受け渡しを効率よく行うことができない。従って、上記のように、物品Ｍを横方向の脱出位置Ｐ３（図４参照）に配置して回転させることにより、棚部３２に対する物品Ｍの受け渡しを効率よく行うことができる。
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、図１１から図１７に示す実施形態では、直線軌道Ｒ７、Ｒ８を走行する天井搬送車１０Ｂ、１０Ｃが互いに反対方向に走行する例を挙げて説明しているが、この構成に限定されない。例えば、直線軌道Ｒ７、Ｒ８を走行する天井搬送車１０Ｂ、１０Ｃが同一方向に走行する構成であってもよい。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１７−１５７１８９、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
Ｃ・・・天井
Ｍ・・・物品
Ｍａ・・・蓋部
Ｐ１・・・格納位置
Ｐ２、Ｐ３・・・脱出位置
Ｒ・・・軌道
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ４１、Ｒ４２・・・直線区間
Ｒ３、Ｒ４３、Ｒ４４・・・カーブ区間
ＳＹＳ・・・搬送システム
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ・・・天井搬送車
１１・・・走行部
１２・・・本体部
１３・・・移載部
１４・・・制御部
１５・・・保持部
１５ｂ・・・吊り下げ部材
１６・・・移動機構
１７・・・昇降駆動部
１７ａ・・・部分
１８・・・横出し機構
１９・・・回転機構
２０・・・ケーブル
２０ａ・・・保持部用ケーブル
２０ｂ・・・回転機構用ケーブル
２３・・・カバー部材
２３ａ・・・内壁
３０、３１、３１Ａ・・・ロードポート（移載先）
３２、３２ａ、３２ｂ・・・棚部
４１・・・側壁
４２・・・処理装置

Claims (4)

  1. 天井又は天井近傍に設けられた軌道と、天井搬送車とを有する搬送システムであって、
    前記天井搬送車は、
    前記軌道を走行する走行部と、
    前記走行部に取付けられた本体部と、
    物品を保持する保持部、前記保持部に保持された物品が前記本体部内に格納される格納位置と前記本体部から抜け出す脱出位置との間で前記保持部を移動させる移動機構、及び前記保持部を上下方向の回転軸まわりに回転させる回転機構を有し、規定された向きで物品が載置される移載先との間で物品を受け渡しする移載部と、
    前記走行部及び前記移載部の動作を制御する制御部と、を備え、
    前記本体部は、前記格納位置とした前記保持部を前記回転機構により所定角度回転させる場合に前記保持部に保持された物品が当接する位置に内壁を有し、
    前記制御部は、前記移動機構により前記保持部を前記格納位置とした状態で前記走行部により走行させ、前記移載部により前記移載先に対して物品の受け渡しを行う際に、前記移動機構により前記保持部を前記脱出位置とした状態で、前記回転機構により前記保持部を前記所定角度以上回転させて、前記保持部に保持された物品を前記移載先の前記規定された向きに合わせ、
    前記移動機構は、前記格納位置と、前記保持部に保持された物品が前記本体部から下方に抜け出す前記脱出位置と、の間で前記保持部を昇降させる昇降駆動部を有し、
    前記移動機構は、前記保持部を前記軌道の横方向に進退させる横出し機構を有し、
    前記軌道は、直線区間と、前記直線区間に接続されたカーブ区間とを有し、
    前記移載先は、前記カーブ区間の下方かつ側方に設けられており、
    前記制御部は、前記移載部により前記移載先に対して物品を受け渡しする際に、
    前記軌道の前記カーブ区間で前記走行部を停止させ、
    前記昇降駆動部により前記脱出位置まで前記保持部を下降させ、
    前記回転機構により前記保持部を回転させて、前記保持部に保持された物品を前記移載先の前記規定された向きに合わせ、
    前記保持部又は物品が前記移載先の直上となる位置まで前記横出し機構により前記昇降駆動部を進出させ、
    前記昇降駆動部により前記保持部を下降させるように制御する、搬送システム。
  2. 前記回転機構は、前記昇降駆動部により昇降自在であり、前記保持部は、前記回転機構に設けられる、請求項１に記載の搬送システム。
  3. 前記直線区間は、建屋の側壁に沿って設けられており、
    前記カーブ区間は、前記直線区間の方向から曲がって前記側壁から離れるように設けられており、
    前記移載先は、前記カーブ区間の下方かつ側方であって前記側壁の近傍に設けられており、
    前記側壁は、前記天井搬送車が前記カーブ区間で前記走行部を停止させた後、前記回転機構により前記保持部を回転させることなく、物品が前記移載先の直上となる位置まで前記横出し機構により前記昇降駆動部を進出させた場合に、前記保持部に保持された物品が当接する位置に設けられている、請求項１又は請求項２に記載の搬送システム。
  4. 天井又は天井近傍に設けられた軌道を走行する走行部と、
    前記走行部に取付けられた本体部と、
    物品を保持する保持部、前記保持部に保持された物品が前記本体部内に格納される格納位置と前記本体部から抜け出す脱出位置との間で移動させる移動機構、及び前記保持部を上下方向の回転軸まわりに回転させる回転機構を有し、規定された向きで物品が載置される移載先との間で物品を受け渡しする移載部と、を備え、
    前記本体部は、前記格納位置とした前記保持部を前記回転機構により所定角度回転させる場合に前記保持部に保持された物品が当接する位置に内壁を有する天井搬送車の制御方法であって、
    前記移動機構により前記保持部を前記格納位置とした状態で前記走行部により走行させることと、
    前記移載部により前記移載先に対して物品の受け渡しを行う際に、前記移動機構により前記保持部を前記脱出位置とした状態で、前記回転機構により前記保持部を前記所定角度以上回転させて、前記保持部に保持された物品を前記移載先の前記規定された向きに合わせることと、を含み、
    前記移載先は、前記軌道のカーブ区間の下方又は前記カーブ区間の下方かつ側方に設けられている、天井搬送車の制御方法。
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