CN112930312A - 桥式输送车 - Google Patents

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Abstract

本发明提供桥式输送车。桥式输送车(3)沿着设于建筑物的顶棚的轨道(2)行进而输送FOUP(80)。桥式输送车(3)具备保持台和上层搁板用移载部(40)。保持台保持FOUP(80)的侧面(83)以及底面(81)中的至少一方。上层搁板用移载部(40)在保持着FOUP(80)的状态下使保持台至少向上方移动。上层搁板用移载部(40)使保持台从保持位置移动到向上移载位置，所述保持位置为保持着FOUP(80)输送中的保持台的位置，所述向上移载位置是用于移载FOUP(80)的位置，与保持位置的俯视时的位置不同且比该保持位置高。

Description

桥式输送车
技术领域
本发明主要涉及桥式输送车。
背景技术
一直以来，例如在制造半导体产品的工厂等中，使用沿着设于顶棚的轨道来输送物品的桥式输送车。另外，在这样的工厂中，有时设置用于临时保管桥式输送车输送的物品的搁板。专利文献1公开了包含这种桥式输送车以及搁板的输送系统。
专利文献1的桥式输送车具备使物品下降的升降装置以及使物品横向移动的横向移载装置。另外，专利文献1的搁板由支柱支承，并且上下地排列配置有多个。桥式输送车在利用升降装置使物品下降而与规定的搁板的高度一致后，使该物品横向移动，从而能够将物品放置在搁板上。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2017－30944号公报
发明内容
发明要解决的课题
这里，在制造专利文献1那样的半导体产品的工厂中，随着处理装置的处理速度的提高，存在要求能够进一步保管更多物品的构成的可能性。另外，不仅限于制造半导体产品的工厂，在配置有桥式输送车的各种建筑物中也同样存在要求能够进一步保管更多物品的构成的可能性。
本发明鉴于以上的情况而完成，其主要目的在于，提供一种能够在以往无法放置物品的位置处放置物品的桥式输送车。
用来解决课题的手段以及效果
本发明要解决的课题如上所述，接下来对用于解决该课题的手段及其效果进行说明。
根据本发明的观点，提供以下构成的桥式输送车。即，桥式输送车沿着设于建筑物的顶棚的轨道行进而输送物品，该桥式输送车具备：第一保持部和第一移载部。所述第一保持部保持所述物品的侧面以及底面中的至少一方；所述第一移载部保持着所述物品的状态下使所述第一保持部至少向上方移动，所述第一移载部使所述第一保持部从保持着所述物品输送中的保持位置移动到向上移载位置，该向上移载位置是用于移载所述物品的位置，与所述保持位置的俯视时的位置不同且比该保持位置高。
由此，能够在以往不是放置物品的空间的较高的位置放置物品。因此，能够有效地利用建筑物内的空间。
在所述的桥式输送车中，优选的是，所述第一移载部使第一保持部向下方移动。
由此，能够使用第一移载部使物品向上下的任一方移载。
在所述的桥式输送车中，优选的是，采用以下的构成。即，所述第一移载部进行在移动方向的分量中包含横向的第一移动，从而使所述第一保持部横向伸出，并且所述第一移载部进行在移动方向的分量中包含上方向的第二移动，从而使所述第一保持部上升，将所述物品移载到所述向上移载位置。
由此，能够防止桥式输送车与物品的干涉，并且能够使第一保持部移动至向上移载位置。
在所述的桥式输送车中，优选的是，采用以下的构成。即，该桥式输送车具备驱动部以及操作部，所述操作部通过将所述驱动部产生的驱动力传递到处于所述向上移载位置的上层搁板，从而成为能够将所述物品移载到该上层搁板的状态，所述驱动部以及所述操作部与所述第一移动一起横向伸出。
由此，通过使用桥式输送车所具备的驱动部产生的驱动力，上层搁板侧的驱动部不再必须。另外，通过使驱动部与操作部横向伸出，能够使用与物品相同的机构，使操作部靠近上层搁板。
在所述的桥式输送车中，优选的是，采用以下的构成。即，所述第一移载部进行在移动方向的分量中包含横向的第一移动，从而使所述第一保持部横向伸出，并且所述第一移载部进行在移动方向的分量中包含下方向的第二移动，从而使所述第一保持部下降，将所述物品移载到向下移载位置。
由此，能够防止桥式输送车与物品的干涉，并且使第一保持部移动至向下移载位置。
在所述的桥式输送车中，优选的是，所述第一移载部至少使所述第一保持部上升至与所述轨道相同的高度。
由此，能够有效地利用与轨道相同高度的空间。
在所述的桥式输送车中，优选的是，采用以下的构成。即，该桥式输送车具备第二保持部和第二移载部。所述第二保持部保持所述物品的侧面及上表面中的至少一方；所述第二移载部在保持着所述物品的状态下使所述第二保持部至少向下方移动。
由此，不仅能够将物品放置在比桥式输送车高的位置，还能够将物品放置在比桥式输送车低的位置。其结果，能够进一步有效地利用建筑物的场地。
在所述的桥式输送车中，优选的是，所述第一移载部具备退避机构，该退避机构使所述第一保持部从所述第二移载部使所述第二保持部向下方移动的轨迹退避。
由此，能够防止第一保持部与物品的干涉，并且能够使物品向下方移载。
在所述的桥式输送车中，优选的是，采用以下的构成。即，所述第二移载部进行在移动方向的分量中包含横向的第三移动，从而使所述第二保持部横向伸出，并且所述第二移载部进行在移动方向的分量中包含下方向的第四移动，从而使所述第二保持部下降，将所述物品移载到向下移载位置，所述第一移载部使所述第一保持部上升至比所述第二移载部的横向伸出时高的位置。
由此，能够防止移载到向上移载位置了的物品与第二移载部干涉，因此即使在将物品移载到向上移载位置之后，也能够将其他物品移载到向下移载位置。
在所述的桥式输送车中，优选的是，所述第一移动后的所述第一移载部的下端位置，处于比移载到所述向下移载位置的物品的上端靠上方的位置。
由此，即使使第一移载部横向伸出，第一移载部和移载到了向下移载位置的物品也不会干涉。
在所述的桥式输送车中，优选的是，采用以下的构成。即，所述第一移载部具备横向滑动机构和向上滑动机构。所述横向滑动机构使所述第一保持部在横向上滑动；所述向上滑动机构，使所述第一保持部向上方向滑动。
由此，能够以简单的结构实现第一移载部。
所述的桥式输送车中，优选的是，采用以下的构成。即，所述第一移载部具备臂机构，该臂机构包含能够旋转地连结的多个臂，通过使所述臂独立地动作，从而使所述第一保持部从所述保持位置移动至所述向上移载位置。
由此，能够以简单的结构实现第一移载部。
在所述的桥式输送车中，优选的是，采用以下的构成。即，所述物品为晶圆输送容器，所述第一保持部具备保持面和插入销。所述保持面保持所述晶圆输送容器；所述插入销形成于所述保持面，并插入到所述晶圆输送容器的下表面的凹部中。
由此，通过第一保持部具备保持面与插入销，能够稳定地输送晶圆输送容器。
在所述的桥式输送车中，优选的是，在所述第一保持部保持着所述晶圆输送容器的状态下，沿着轨道行进而输送该晶圆输送容器。
由此，能够在使晶圆输送容器稳定的状态下进行输送。
在所述的桥式输送车中，优选的是，采用以下的构成。即，所述物品为晶圆输送容器，所述第二保持部为卡盘，该卡盘保持所述晶圆输送容器的上表面的凸缘部。
由此，能够以简单构成的第二保持部保持晶圆输送容器的上表面。
在所述的桥式输送车中，优选的是，在沿着所述轨道行进的过程中，在所述第一保持部与所述第二保持部之间替换保持所述物品。
由此，能够在桥式输送车停止后，迅速地移载物品。
附图说明
图1是概略地表示具备第一实施方式的桥式输送车的输送系统的构成的俯视图。
图2是概略地表示桥式输送车以及顶棚悬吊搁板的构成的主视图。
图3是表示桥式输送车以及顶棚悬吊搁板的构成的立体图。
图4是主要表示设于桥式输送车的驱动部等构成的框图。
图5是表示桥式输送车的下层搁板用移载部的构成的主视图。
图6是表示设于FOUP的底面侧的退避机构的构成的立体图。
图7是表示将上层搁板从关闭状态切换为开口状态的情形的立体图。
图8是表示使上层搁板用移载部的横向滑动机构以及向上滑动机构动作的情形的立体图。
图9是表示在上层搁板放置FOUP的情形的立体图。
图10是表示第一实施方式的变形例的上层搁板用移载部也能够向下方移载FOUP的立体图。
图11是表示设于第二实施方式的桥式输送车的驱动部等的构成的框图。
图12是概略地表示第二实施方式的上层搁板用移载部的构成的主视图。
图13是概略地表示使第二实施方式的上层搁板用移载部第一保持部退避的状态的主视图。
图14是表示使第二实施方式的上层搁板用移载部动作的情形的主视图。
图15是表示第三实施方式的桥式输送车的立体图。
图16是表示第三实施方式的上层搁板的立体图。
图17是表示第三实施方式的上层搁板从关闭状态切换为开口状态的流程的概略主视图。
具体实施方式
接下来，参照附图对本发明的实施方式进行说明。首先，参照图1对输送系统1的概要进行说明。图1是概略地表示第一实施方式的输送系统1的构成的俯视图。
本实施方式的输送系统1设置于制造半导体产品的工厂(建筑物、设施)，是用于输送各种物品的系统。本实施方式的输送系统1输送的物品为收容晶圆(半导体晶圆)的FOUP(Front－Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)。另外，物品也可以是收容中间掩模的中间掩模盒(Reticle Pod)。如图1所示，输送系统1具备轨道2、桥式输送车3以及顶棚悬吊搁板6。
轨道2设于工厂的顶棚7。桥式输送车3构成为，能够沿着轨道2行进。另外，在图1中，仅示出了一台桥式输送车3，但也可以是具备多台桥式输送车3的构成。
另外，在该工厂中配置有处理装置4以及装载口5。处理装置4是对收容于FOUP的晶圆进行各种处理的装置。装载口5与处理装置4进行处理的空间连接。由桥式输送车3输送的FOUP被放置在装载口5。之后，FOUP内的晶圆在被取出后由处理装置4进行处理。处理完毕的晶圆收容于FOUP，FOUP被相同或不同的桥式输送车3输送至进行其他工序的位置。如图1所示，可以在顶棚悬吊搁板6的下方配置有装载口5，也可以在轨道2的下方配置有装载口5、未图示的临时保管搁板。
顶棚悬吊搁板6设于工厂的顶棚7。顶棚悬吊搁板6是用于作为目标位置的处理装置4以及装载口5被占用(为使用中)的情况下等，临时放置FOUP等直到它们被解除占用(能够使用)为止的搁板。在本实施方式中，顶棚悬吊搁板6以沿着轨道2的长度方向的方式与该轨道2平行地配置。本实施方式的顶棚悬吊搁板6配置于轨道2的两侧，但也可以仅配置于一侧。
接下来，参照图2至图6，对轨道2、桥式输送车3以及顶棚悬吊搁板6进行详细说明。另外，在图3等立体图中，省略了配置于轨道2的一侧的顶棚悬吊搁板6的图示。
如图2所示，在工厂的顶棚7处连接有支柱8。通过该支柱8，轨道2以及顶棚悬吊搁板6被悬吊于顶棚7。另外，桥式输送车3经由支柱8以及轨道2而悬吊于顶棚7。
如图2以及图3所示，顶棚悬吊搁板6具备侧板61、上层搁板(第一搁板)62以及下层搁板(第二搁板)65。侧板61通过上述的支柱8而悬吊于顶棚7。侧板61支承上层搁板62以及下层搁板65。另外，侧板61以一定的间隔配置，由两张侧板61夹着的空间相当于一个区间。顶棚悬吊搁板6以相同构成的多个区间连续的方式构成。
本实施方式的上层搁板62能够在一个区间放置两个FOUP80。上层搁板62配置于比下层搁板65高的位置。详细地说，上层搁板62中的支承FOUP80的上层支承面62a(第一支承面)(参照图2)的高度与轨道2的高度大致相同。具体而言，上层支承面62a的高度为从轨道2的下端附近到上端附近的高度之间。另外，由于为“大致相同”，因此也包含上层支承面62a的高度比轨道2的下端稍低的情况以及比轨道2的上端稍高的情况。另外，上层支承面62a支承FOUP80的高度比移动中的桥式输送车3支承FOUP80的高度高、且比装载口5支承FOUP80的高度高。而且，上层支承面62a的高度比后述的下层搁板用移载部30的上端高。另外，上层支承面62a的水平方向的位置与桥式输送车3不同，并且配置于比该桥式输送车3高的位置处。
顶棚悬吊搁板6具备以与FOUP80的侧面83对置的方式配置的上层侧面引导件63。通过具备上层侧面引导件63，能够防止配置于上层搁板62的FOUP80的落下以及位置偏移等。另外，上层侧面引导件63配置于比轨道2的下端高的位置。另外，上层侧面引导件63只要设定在比上层支承面62a高的位置即可，并不一定需要配置于比轨道2的下端高的位置。
如图5所示，上层搁板62构成为，能够通过以规定的旋转轴为中心旋转而开闭。具体而言，上层搁板62能够实现使上层搁板62位于外侧并能够使FOUP80从下方通过的开口状态(图5的点划线)以及使上层搁板62位于内侧并使开口的一部分或全部关闭从而支承FOUP80的关闭状态。
另外，顶棚悬吊搁板6具备用于切换上层搁板62的开口状态与关闭状态的切换机构64(图3以及图4)。切换机构64由对从外部传递的动力进行传递的齿轮以及连杆等构成。在本实施方式中，顶棚悬吊搁板6不具有用于切换上层搁板62的状态的驱动部，通过从桥式输送车3传递来的动力来切换上层搁板62的开闭状态。
具体而言，桥式输送车3具备对切换机构64进行操作的滑动操作部(操作部)57。如图4所示，滑动操作部57由开闭马达(驱动部)58驱动。滑动操作部57构成为能够在通常位置与按压位置之间变更位置。在滑动操作部57处于通常位置的情况下，滑动操作部57不与切换机构64接触，上层搁板62成为关闭状态。在滑动操作部57处于按压位置的情况下，滑动操作部57使切换机构64动作，从而上层搁板62被切换为开口状态。
在本实施方式中，为通过使上层搁板62旋转来切换开口状态与关闭状态的构成，但也可以是通过使上层搁板62滑动来切换开口状态与关闭状态的构成。另外，也可以是顶棚悬吊搁板6具备用于切换上层搁板62的状态的驱动部的构成。
本实施方式的下层搁板65能够在一个区间放置三个FOUP80。换言之，下层搁板65与上层搁板62相比，能够在一个区间(换言之为每单位长度)放置更多数量的FOUP80。之后对详细情况进行叙述，在上层搁板62与下层搁板65中，用于放置FOUP80的机构不同，因此产生这样的差异。下层搁板65配置于比上层搁板62低的位置。详细地说，下层搁板65的下层支承面65a(第二支承面)支承FOUP80的高度比移动中的桥式输送车3支承FOUP80的高度低、且比装载口5支承FOUP80的高度高。另外，下层支承面65a支承的FOUP80的上端位于比后述的上层搁板用移载部40的下端(详细而言，为横向移动之后的上层搁板用移载部40的下端)靠下方的位置。
下层搁板65始终处于关闭状态，与上层搁板62不同，无法切换状态。换言之，下层搁板65构成为无法使FOUP80上下地通过。作为具体的构造，下层搁板65为连接邻接的侧板61的搁板。
顶棚悬吊搁板6具备以与FOUP80的侧面83对置的方式配置的下层侧面引导件66。通过具备下层侧面引导件66，能够防止配置于下层搁板65的FOUP80的落下以及位置偏移等。
轨道2具备行进轨道2a和供电轨道2b。在行进轨道2a上形成有用于支承桥式输送车3(详细而言，为后述的车轮22)并且使该桥式输送车3行进的行进支承面。供电轨道2b配置于行进轨道2a的下侧。在供电轨道2b中配置有省略图示的供电线，向桥式输送车3供给电力。
桥式输送车3作为用于沿着轨道2行进的构成，具备行进马达21、车轮22以及受电部23。行进马达21配置于行进轨道2a内。行进马达21产生用于使桥式输送车3行进的动力。车轮22配置为与上述的行进轨道2a的行进支承面相接。车轮22由行进马达21旋转驱动。受电部23配置于供电轨道2b内。受电部23是从供电轨道2b的供电线取得电力的拾波线圈等，将从供电线取得的电力向行进马达21等电气设备供给。
如图4所示，行进马达21等各种驱动源以及电气设备由控制装置100控制。控制装置100构成为设于桥式输送车3的适当的位置的计算机。控制装置100具备CPU等运算装置、闪存或硬盘等存储装置以及用于与外部进行通信的输入输出部。在存储装置中存储有各种程序、设定值。运算装置从存储装置读出各种程序等，控制桥式输送车3的各部分的动作。
如图3所示，桥式输送车3具备在行进方向的前后排列配置的一对罩3a。用于保持或移载FOUP80的构成配置于该一对罩3a之间。
如图2等所示，桥式输送车3作为用于保持FOUP80的构成，具备卡盘(第二保持部)51和保持台(第一保持部)52。卡盘51抓住并保持FOUP80的上表面的凸缘部82。卡盘51能够切换对凸缘部82有无保持。
保持台52保持FOUP80的底面81。具体而言，如图5、6、9等所示，在保持台52的保持面52a(与底面81接触的面)上，在规定的位置形成有多个插入销52b。另一方面，如图6所示，在FOUP80的底面81形成有规定形状的凹部81a。形成多个插入销52b的位置与凹部81a的形状相对应。根据该构成，通过将插入销52b插入到凹部81a，能够稳定地保持FOUP80。另外，在保持台52的附近设有防止FOUP80的位置偏移等的引导部件53。
在桥式输送车3的行进中，由保持台52保持FOUP80。另外，在以下的说明中，将行进中的桥式输送车3保持FOUP80的位置称作保持位置。通过利用保持台52保持FOUP80，能够使FOUP80稳定。另外，也可以是在桥式输送车3的行进中，由卡盘51以及保持台52这两方或者仅由卡盘51保持FOUP80的构成。
桥式输送车3具备为了将处于保持位置的FOUP80放置在下层搁板65(向下移载位置)上而移动的下层搁板用移载部(第二移载部)30以及为了将处于保持位置的FOUP80放置在上层搁板62(向上移载位置)而移动的上层搁板用移载部(第一移载部)40。另外，下层搁板用移载部30也用于将FOUP80放置在装载口5。
首先，对下层搁板用移载部30进行说明。下层搁板用移载部30能够使卡盘51在横向(水平方向)上移动(第三移动)，并且能够使卡盘51向下方向移动(第四移动)。如图2以及图5等所示，下层搁板用移载部30具备横向移载机构31和向下移载机构33。另外，如图4所示，横向移载机构31由横向移载马达32驱动，向下移载机构33由向下移载马达34驱动。
横向移载机构31构成为，能够使卡盘51在横向(具体而言，为俯视时与行进方向正交的方向)上移动。具体而言，横向移载机构31具备能够在横向上移动的多个可动板。另外，卡盘51构成为与最下方的可动板一体地移动。横向移载机构31通过横向移载马达32的动力，使多个可动板如图5所示那样在横向上分别滑动，从而使支承于横向移载机构31的卡盘51在横向上移动。由此，能够使FOUP80在横向上移动。另外，在本实施方式中，由于上层支承面62a位于比横向移载机构31的上端高的位置，因此在基于横向移载机构31的向横向移动时，该横向移载机构31不与上层搁板62以及支承于上层搁板62的FOUP80等接触。
向下移载机构33构成为能够使卡盘51向下方向移动。向下移载机构33例如为提升器，能够通过向下移载马达34的动力如图5所示那样，使钢丝绳等悬吊部件下降或者卷取。由此，能够使FOUP80在上下方向上移动。
另外，向下移载机构33构成为与横向移载机构31的最下方的可动板一体地移动。因此，能够兼顾基于横向移载机构31的横向的移动以及基于向下移载机构33的下方向的移动。因而，下层搁板用移载部30的移载位置不仅是正下方以及正侧面，即使是斜下方，也能够移载FOUP80。
这里，在使FOUP80保持于保持台52的状态下，产生部件彼此的干涉，因此无法使用下层搁板用移载部30(特别是向下移载机构33)来使FOUP80移动。因而，在本实施方式中，在进行基于下层搁板用移载部30的FOUP80的移动之前，将保持台52从FOUP80卸下，并且使保持台52从FOUP80的下方(详细而言，从下层搁板用移载部30使卡盘51向下方移动的轨迹)退避。作为用于进行该退避的构成，如图6所示，桥式输送车3具备退避机构55以及退避马达56。
退避机构55包含通过退避马达56的动力而动作的连杆。另外，该连杆能够旋转地连结于引导部件53。另外，保持台52构成为，与引导部件53一体地以规定的轨迹移动。根据以上，通过利用退避马达56的动力使退避机构55的连杆动作来使保持台52以及引导部件53向FOUP80的后方移动，从而能够从FOUP80的下方退避。另外，也可以在轨道2的下方追加从顶棚7悬吊设置的临时放置搁板(UTB、Under Track Buffer)。临时放置搁板处于俯视时与轨道2重叠的位置，在轨道2的延伸的方向上与装载口5错开相位而设置。第二移载部(下层搁板用移载部30)能够对该临时放置搁板移载FOUP80。
如上述那样，在桥式输送车3的行进中，FOUP80保持于保持台52，而未保持于卡盘51。因而，在桥式输送车3停止而将FOUP80移载到下层搁板65或装载口5的情况下，在利用卡盘51保持了FOUP80之后，驱动退避马达56，从FOUP80卸下保持台52(即，在保持台52与卡盘51之间替换保持FOUP80)。之后，进行基于下层搁板用移载部30的移载。另外，该替换保持也能够在桥式输送车3的行进中进行。另外，假设在桥式输送车3的行进中卡盘51保持着FOUP80的情况下，有时也在桥式输送车3的行进中或停止后进行从卡盘51向保持台52的替换保持。
另外，桥式输送车3也可以在卡盘51保持着FOUP80的状态下，优选在保持台52位于FOUP80的正下方而防止了FOUP80的落下的状态下，沿着轨道2行进。在该情况下，也可以在桥式输送车3的行进的过程中，保持台52从FOUP80的正下方退避，以便在桥式输送车3行进停止后第二移载部(下层搁板用移载部30)能够迅速地开始将FOUP80向装载口5或临时放置搁板(UTB)移载。
接下来，主要参照图7以及图8，对上层搁板用移载部40进行说明。
如图7以及图8所示，上层搁板用移载部40在行进方向上设于罩3a与FOUP80之间的空间。上层搁板用移载部40能够使保持台52在横向上移动(第一移动)，并且能够使保持台52向上方向移动(第二移动)。另外，第一移动只要在移动方向中包含横向即可，也包含正侧面方向以外的方向。对于第二移动之后也相同。如图8所示，上层搁板用移载部40具备横向滑动机构41和向上滑动机构43。另外，如图4所示，横向滑动机构41由横向滑动马达42驱动，向上滑动机构43由向上滑动马达44驱动。
横向滑动机构41构成为，能够使保持台52在横向(具体而言，为俯视时与行进方向正交的方向)上移动。具体而言，横向滑动机构41具备能够在横向上移动的多个可动板。详细地说，横向滑动机构41是相互用带或链条连结的三张可动板。另外，保持台52构成为与最内侧的可动板一体地移动。横向滑动机构41通过横向滑动马达42的动力而使多个可动板如图8所示那样分别在横向上滑动，从而使支承于横向滑动机构41的保持台52在横向上移动。由此，能够使FOUP80在横向上移动。
向上滑动机构43构成为，能够使保持台52向上方向移动。具体而言，向上滑动机构43具备能够向上方向移动的多个可动板。另外，保持台52构成为与最内侧的可动板一体地移动。向上滑动机构43通过向上滑动马达44的动力使多个可动板如图8所示那样分别向上方向滑动，从而使支承于向上滑动机构43的保持台52向上方向移动。由此，能够使FOUP80向上方向移动。另外，在本实施方式中，在向上滑动机构43位于FOUP80的侧面的状态下将FOUP80向上层搁板62移载。因而，为了避免向上滑动机构43与其他FOUP80的干涉，需要加宽上层搁板62彼此的间隔。因此，在上层搁板62与下层搁板65中，在一个区间能够配置的FOUP80的数量不同。
接下来，参照图7至图9，对将位于保持位置的FOUP80向上层搁板62移载时的流程进行说明。
首先，桥式输送车3在移载目的地的上层搁板62的旁边停止(图7的上侧)。接下来，桥式输送车3使滑动操作部57移动到按压位置而将上层搁板62从关闭状态切换为开口状态(图7的下侧)。另外，与本实施方式不同，在行进中的桥式输送车3仅用卡盘51保持FOUP80的情况下，卸下卡盘51，而使用保持台52来保持FOUP80。
接下来，桥式输送车3使横向滑动机构41动作而使FOUP80在横向上移动(图8的上侧)。此时，FOUP80位于上层搁板62的正下方。接下来，桥式输送车3使向上滑动机构43动作而使FOUP80向上方向移动(图8的下侧)。此时，FOUP80为了使上层搁板62适当地旋转而位于比向上移载位置靠上方的位置。另外，在本实施方式中，在基于横向滑动机构41的横向的移动完成之后，进行基于向上滑动机构43的上方向的移动，但也可以在横向的移动完成之前就开始上方向的移动。另外，如上述那样，在横向上移动了之后的上层搁板用移载部40(横向滑动机构41)的下端位于比支承于下层搁板65的FOUP80的上端靠上方的位置(进一步而言，处于俯视时重叠的位置)。因而，防止了横向滑动机构41与载置于下层搁板65的FOUP80干涉。
接下来，桥式输送车3使滑动操作部57移动到通常位置而将上层搁板62从开口状态切换为关闭状态(图9的上侧)。接下来，桥式输送车3开始将向上滑动机构43以及横向滑动机构41收纳于桥式输送车3的动作(图9的下侧)。
这样，通过使桥式输送车3具备上层搁板用移载部40，并且使顶棚悬吊搁板6具备上层搁板62，能够在较高的位置(在本实施方式中，为与轨道2相同的高度)处放置FOUP80。因而，有效地利用工厂内的空间、具体而言为至今为止未被有效利用的轨道2的正侧面的空间。特别是，在用于制造半导体产品的工厂中，需要提高工厂内的清洁度，因此随着工厂内的空间变大设备成本增大。因此，本实施方式的输送系统1在用于制造半导体产品的工厂中是特别有效的。
另外，构成输送系统1的多个桥式输送车3可以是全部具备上层搁板用移载部40的构成，也可以是仅一部分的桥式输送车3具备上层搁板用移载部40的构成。在后者的情况下，优选两种桥式输送车3均具备相同构成的下层搁板用移载部30。由此，利用两种桥式输送车3能够共同使用下层搁板65。
接下来，参照图10，对第一实施方式的变形例进行说明。
第一实施方式的上层搁板用移载部40具备使FOUP80向上方滑动的向上滑动机构43。另一方面，第一变形例的上层搁板用移载部40具备使FOUP80不仅向上方也向下方滑动的上下滑动机构430。滑动机构430的内侧的可动板构成为，能够从通常位置(待机位置)向上下两方移动(第二移动)。另外，第一变形例的上层搁板用移载部40具备保持FOUP80的侧面83的第一保持部520。
根据该构成，第一变形例的上层搁板用移载部40使横向滑动机构41动作而使FOUP80(第一保持部520)在横向上移动(图10的上侧)，之后使滑动机构430动作而使FOUP80(第一保持部520)向下方移动而放置在下层搁板65上(图10的下侧)。之后，上层搁板用移载部40解除由第一保持部520对FOUP80的侧面83的保持。由此，能够使用上层搁板用移载部40将FOUP80移载到下层搁板65。另外，第一变形例的上层搁板用移载部40也可以不使横向滑动机构41动作而使滑动机构430动作，使FOUP80(第一保持部520)向下方移动而放置在上述的临时放置搁板(UTB)上。
另外，第一实施方式中说明过的技术内容，只要不产生矛盾，也能够应用于第一变形例(以及后述的第二实施方式)。例如，第一变形例的上层搁板用移载部40也可以在基于横向滑动机构41的横向的动作完成之前，开始基于滑动机构430的下方向的动作。
另外，第一变形例的桥式输送车3可以具备上层搁板用移载部40和下层搁板用移载部30这两方，也可以不具备下层搁板用移载部30而仅具备上层搁板用移载部40。
接下来，参照图11至图14，对第二实施方式进行说明。
在上述的第一实施方式中，上层搁板用移载部40具备横向滑动机构41以及横向滑动马达42。与此相对，第二实施方式的上层搁板用移载部90是包含能够旋转地连结的多个臂的臂机构。
具体而言，如图12所示，上层搁板用移载部90从靠近桥式输送车3的一侧起依次具备第一臂91、第二臂93以及第三臂95。另外，如图11所示，第一臂91由第一臂马达92驱动，第二臂93由第二臂马达94驱动，第三臂95由第三臂马达96驱动。这样，各个臂能够独立地动作。
第一臂91的基端连结于桥式输送车3，第一臂91的前端能够旋转地连结于第二臂93的基端。另外，第二臂93的前端能够旋转地连结于第三臂95的基端。另外，在第三臂95的前端连结有第一保持部97。另外，如图13所示，在第一保持部97的保持面97a形成有插入销97b。
在进行基于下层搁板用移载部30的FOUP80的移载的情况下，如图13所示，通过调整第一臂91、第二臂93以及第三臂95各自的旋转角度，能够使第一保持部97从FOUP80的下方(详细而言，从下层搁板用移载部30使卡盘51向下方移动的轨迹)退避。因而，上层搁板用移载部90兼作退避机构。由此，能够使用下层搁板用移载部30来使FOUP80移动。
另外，在进行基于上层搁板用移载部90的FOUP80的移载的情况下，如图14所示，第一臂91、第二臂93以及第三臂95通过调整各自的旋转角度，能够将第一保持部97维持为水平，并且能够使第一保持部97移动至上层搁板62。具体地进行说明为：首先，从FOUP80被保持于桥式输送车3的状态起，通过使第一臂91旋转，第一保持部97主要在横向上移动(第一移动，图14的上侧)。之后，随着第一臂91的旋转角度变大，第一保持部97主要向上方向移动(第二移动，图14的下侧)。另外，通过使第一臂91旋转，第二臂93以及第三臂95的旋转角度发生变化，因此以第一保持部97成为水平的方式，使第二臂93以及第三臂95旋转。
接下来，参照图15至图17，对第三实施方式进行说明。第三实施方式为代替滑动操作部57而使用旋转操作部(操作部)59对上层搁板62供给驱动力的构成。
如图15所示，本实施方式的桥式输送车3除了上述的开闭马达58以及旋转操作部59之外，还具备马达安装部45。马达安装部45安装于上层搁板用移载部40。详细地说，安装于上层搁板用移载部40中的、使保持台52(FOUP80)在横向上移动的第一移动时移动的部分、且使保持台52向上方向移动的第二移动时未移动的部分。根据该构成，旋转操作部59在第一移动时在横向上移动。在本实施方式中，马达安装部45仅安装于行进方向的一侧，但也可以安装于两侧。
在马达安装部45中安装有开闭马达58和旋转操作部59。开闭马达58与上述实施方式相同，产生用于切换上层搁板62的开口状态与关闭状态的驱动力。开闭马达58构成为能够控制旋转方向以及旋转量。旋转操作部59是通过开闭马达58产生的驱动力而旋转的部件。旋转操作部59与滑动操作部57相同，将该驱动力传递到上层搁板62侧。另外，马达安装部45、开闭马达58以及旋转操作部59配置于在向上滑动机构43的第二移动时不干涉的位置(例如，向上滑动机构43的外侧)。
另外，在本实施方式中，开闭马达58以及旋转操作部59在与行进方向以及上下方向这两方正交的方向(左右方向)上各排列配置有两个。左右方向的一侧的开闭马达58以及旋转操作部59在向左右方向的一侧的上层搁板62移载FOUP80时使用，左右方向的另一方的开闭马达58以及旋转操作部59在向左右方向的另一侧的上层搁板62移载FOUP80时使用。另外，也可以是代替该构成而在向左右方向的一侧与另一侧的任一上层搁板62移载FOUP80的情况下均使用共同的开闭马达58以及旋转操作部59的构成。
如图16所示，上层搁板62具备第一轴71、第一臂72、第一支承部73、第二轴75、第二臂76以及第二支承部77。
第一轴71能够旋转地安装于上层搁板62的固定部(不可动的部分，例如上述实施方式的侧板61等)。第一臂72构成为，与第一轴71一体地向相同方向旋转。在第一臂72的一端部固定有第一轴71，在第一臂72的另一端部固定有第一支承部73。另外，第一轴71与第一臂72均成对设置。上层搁板62具备连接一对第一臂72的第一支承部73。第一支承部73是支承FOUP80的部分。第一支承部73可以是棒状，也可以是平板状。
第二轴75、第二臂76、第二支承部77是与第一轴71、第一臂72、第一支承部73相同或对称的构成。因而，FOUP80由第一支承部73与第二支承部77支承。
根据以上的构成，通过使第一轴71旋转，第一臂72以及第一支承部73也一体地旋转。另外，通过使第二轴75旋转，第二臂76以及第二支承部77也一体地旋转。由此，能够将上层搁板62在关闭状态(实线)与开口状态(点划线)之间切换。
因而，从桥式输送车3传递的驱动力(来自上层搁板62的外部的驱动力)被用于使第一轴71与第二轴75旋转。另外，为了切换关闭状态与开口状态，优选使第一轴71与第二轴75向不同的方向旋转。这是因为，在使第一轴71与第二轴75向相同的方向旋转的情况下，例如第一支承部73向上方旋转、第二支承部77向下方旋转，因此会较大地占用上下方向的空间。当然，出于使切换机构64简化等目的，也可以使第一轴71与第二轴75向相同的方向旋转。
在本实施方式中，从桥式输送车3传递的驱动力经由构成切换机构64的部件、承受部101、承受轴102、第一锥齿轮103、以及第二锥齿轮104而传递到第一轴71。承受部101构成为，能够以承受轴102为旋转轴旋转。承受部101配置于与第一移动后的旋转操作部59对应的位置。根据该构成，通过在第一移动后使旋转操作部59旋转，承受部101以及承受轴102根据旋转操作部59的旋转方向以及旋转量而旋转。
在承受轴102上还固定有第一锥齿轮103。另一方面，在第一轴71上固定有第二锥齿轮104。第一锥齿轮103与第二锥齿轮104相啮合。根据该构成，能够经由第一锥齿轮103以及第二锥齿轮104等从旋转操作部59向第一轴71传递驱动力。另外，通过变更开闭马达58的旋转方向，能够变更第一轴71的旋转方向。另外，使用了承受部101、承受轴102、第一锥齿轮103以及第二锥齿轮104的驱动力的传递为一个例子，能够适当变更。
另外，在本实施方式中，使第一轴71旋转的驱动力通过切换机构64进一步传递到第二轴75，使第二轴75向与第一轴71相反方向旋转。由此，能够使用一个驱动部来驱动第一轴71与第二轴75，从而将上层搁板62从开口状态切换为关闭状态。另外，具体的切换机构64的构成根据实施方式而不同。
另外，在本实施方式中，通过使开闭马达58向相反方向旋转，使得第一轴71与第二轴75向与从开口状态向关闭状态切换时相反方向旋转，因此能够将上层搁板62从关闭状态切换为开口状态。
第三实施方式的切换机构64具备连杆支承部121。连杆支承部121支承第一轴连杆122、第二轴连杆123、连结连杆124以及防振板125。
第一轴连杆122固定于第一轴71，并与第一轴71一体地向相同方向旋转。第二轴连杆123固定于第二轴75，并与第二轴75一体地向相同方向旋转。连结连杆124的第一轴71侧能够旋转地连结于第一轴连杆122，第二轴75侧能够旋转地连结于第二轴连杆123。防振板125在通常时不约束连结连杆124，仅在连结连杆124沿第一轴71等的轴向大幅移动了的情况下，与连结连杆124接触而防止进一步的移动。
通过使第一轴71旋转，第一轴连杆122一体地旋转。通过使第一轴连杆122旋转，连结连杆124也动作，由此第二轴连杆123旋转。其结果，第二轴75向与第一轴71不同的方向旋转。
另外，根据连结连杆124的形状以及连结部位，第一轴71与第二轴75有时向相同的方向旋转。关于这一点，在本实施方式中，第二轴75通过被传递来自第一轴71的驱动力而向与第一轴71相反方向旋转。例如，在图17的上侧的图中，通过第一轴71的旋转，第一轴连杆122与连结连杆124的连结部位以比第一轴71靠下方朝向内侧的方式旋转。该驱动力经由连结连杆124传递到第二轴连杆123。第二轴连杆123与连结连杆124的连结部位处于比第二轴75靠上侧的位置，因此以比第二轴75靠上方朝向外侧的方式旋转。其结果，第一轴71与第二轴75向不同的方向旋转。
根据以上，通过使用连结连杆124等，仅使第一轴71向一侧旋转，就能够使第二轴75向另一侧旋转。由此，如图17所示，能够使第一支承部73以及第二支承部77向外侧旋转，因此能够将上层搁板62从关闭状态切换为开口状态。同样，通过使第一轴71向另一方向旋转，也能够将上层搁板62从开口状态切换为关闭状态。
如以上说明的那样，上述实施方式的桥式输送车3沿着设于建筑物的顶棚7的轨道2行进而输送FOUP80。桥式输送车3具备保持台52和上层搁板用移载部40。保持台52保持FOUP80的底面81。上层搁板用移载部40在保持着FOUP80的状态下使保持台52至少向上方移动。上层搁板用移载部40使保持台52从保持位置移动至向上移载位置，该保持位置是保持着FOUP80输送中的保持台52的位置，该向上移载位置是用于移载FOUP80的位置，与保持位置的俯视时的位置不同且比该保持位置高。
由此，能够在以往不是放置FOUP80的空间的较高位置处放置FOUP80。因此，能够有效地利用建筑物内的空间。
另外，在第一实施方式的变形例的桥式输送车3中，上层搁板用移载部40使第一保持部520向下方移动。
由此，能够使用上层搁板用移载部40使FOUP80向上下的任一方移载。
另外，在上述实施方式的桥式输送车3中，上层搁板用移载部40进行在移动方向的分量中包含横向的第一移动，从而使保持台52横向伸出，并进行在移动方向的分量中包含上方向的第二移动，从而使保持台52上升，将FOUP80移载到向上移载位置。
由此，能够防止桥式输送车3与FOUP80的干涉，并且使保持台52移动至向上移载位置。
另外，上述实施方式的桥式输送车3具备开闭马达58和操作部(滑动操作部57或旋转操作部59)。操作部通过将开闭马达58产生的驱动力传递到处于向上移载位置的上层搁板62，从而成为能够将FOUP80移载到该上层搁板62的状态(开口状态)。开闭马达58以及操作部与第一移动一起横向伸出。
由此，通过使用由桥式输送车3所装备的开闭马达58产生的驱动力，不需要上层搁板62侧的用于切换开闭的驱动部。另外，通过使开闭马达58与操作部横向伸出，能够使用与FOUP80相同的机构，使操作部靠近上层搁板62。
另外，第一实施方式的变形例的桥式输送车3进行在移动方向的分量中包含横向的第一移动从而使第一保持部520横向伸出，并进行在移动方向的分量中包含下方向的第二移动从而使第一保持部520下降，将FOUP80移载到向下移载位置。
由此，能够防止桥式输送车3与FOUP80的干涉，并且能够使第一保持部520移动至向下移载位置。
另外，在上述实施方式的桥式输送车3中，上层搁板用移载部40使保持台52至少上升至与轨道2相同的高度。
由此，能够有效地利用与轨道2相同高度的空间。
另外，在上述实施方式的桥式输送车3中，采用以下构成的该桥式输送车3具备卡盘51和下层搁板用移载部30。卡盘51保持FOUP80的侧面或上表面。下层搁板用移载部30在保持着FOUP80的状态下使卡盘51至少向下方移动。
由此，不仅能够将FOUP80放置在比桥式输送车3高的位置，还能够将FOUP80放置在比桥式输送车3低的位置。其结果，能够进一步有效地利用建筑物的场地。
另外，在上述实施方式的桥式输送车3中，上层搁板用移载部40具备退避机构55，该退避机构55使保持台52从下层搁板用移载部30使卡盘51向下方移动的轨迹退避。
由此，能够防止保持台52与FOUP80的干涉，并且能够使FOUP80向下方移载。
另外，在上述实施方式的桥式输送车3中，下层搁板用移载部30进行在移动方向的分量中包含横向的第三移动从而使卡盘51横向伸出，并进行在移动方向的分量中包含下方向的第四移动从而使卡盘51下降，将FOUP80移载到向下移载位置。上层搁板用移载部40使保持台52上升至比下层搁板用移载部30的横向伸出时高的位置。
另外，在上述实施方式的桥式输送车3中，第一移动后的上层搁板用移载部40的下端位置处于比移载到向下移载位置的FOUP80的上端靠上方的位置。
由此，即使使上层搁板用移载部40横向伸出，上层搁板用移载部40和被移载到了向下移载位置的FOUP80也不会干涉。
由此，能够防止移载到了向上移载位置的FOUP80与下层搁板用移载部30干涉，因此即使是将FOUP80移载到了向上移载位置之后，也能够将其他FOUP80移载到向下移载位置。
另外，在第一实施方式的桥式输送车3中，上层搁板用移载部40具备横向滑动机构41和向上滑动机构43。横向滑动机构41使保持台52在横向上滑动。向上滑动机构43使保持台52向上方向滑动。
由此，能够以简单的结构实现上层搁板用移载部40。
另外，在第二实施方式的桥式输送车3中，上层搁板用移载部40具备包含能够旋转地连结的多个臂(第一臂91、第二臂93、第三臂95)的臂机构。通过使这些臂独立地动作，从而使保持台52从保持位置移动至向上移载位置。
由此，能够以简单的结构实现上层搁板用移载部40。
另外，在上述实施方式的桥式输送车3中，FOUP80为晶圆输送容器。保持台52(第一保持部97)具备保持面52a(保持面97a)和插入销52b。保持面52a保持FOUP80。插入销52b(插入销97b)形成于保持面52a，并插入到FOUP80的下表面的凹部中。
由此，通过保持台52具备保持面52a与插入销52b，能够稳定地输送FOUP80。
另外，上述实施方式的桥式输送车3在保持台52保持着FOUP80的状态下，沿着轨道2行进而输送FOUP80。
由此，能够在使FOUP80稳定的状态下进行输送。
另外，在上述实施方式的桥式输送车3中，卡盘51保持FOUP80的上表面的凸缘部82。
由此，能够以简单的构成保持FOUP80的上表面。
另外，上述实施方式的桥式输送车3在沿着轨道2行进的过程中，在保持台52与卡盘51之间替换保持FOUP80。
由此，能够在桥式输送车3停止后迅速地移载FOUP80。
以上，虽然对本发明的优选的实施方式进行了说明，但上述的构成例如能够如以下那样变更。
在上述实施方式中，顶棚悬吊搁板6具备上层搁板62与下层搁板65，但也可以是仅具备上层搁板62的构成。另外，在上述实施方式中，在一个区间的上层搁板62能够配置两个FOUP80，在一个区间的下层搁板65能够配置三个FOUP80，但也可以是能够配置与它们不同的数量的FOUP80。另外，能够在上层搁板62与下层搁板65配置的FOUP80的数量可以是相同，也可以是上层搁板62更多。。
在上述实施方式中，上层搁板用移载部40执行进行横向移动的第一移动与进行上方向的移动的第二移动，将FOUP80移载到上层搁板62。使FOUP80移动的方法也可以与上述不同。例如，也可以在第一移动之前，稍微向下方向移动，使FOUP80与桥式输送车3分离。
卡盘51能够变更为除了凸缘部82之外或者代替凸缘部82而对FOUP80的侧面83(包含形成于侧面的突出部等)进行保持的构成。保持台52能够变更为除了底面81之外或者代替底面81而对FOUP80的侧面83(包含形成于侧面的突出部等)进行保持的构成。
第一实施方式的滑动操作部57将基于直线运动的驱动力施加给切换机构64，第三实施方式的旋转操作部59将基于旋转运动的驱动力施加给切换机构64。这些是基于接触的驱动力的供给，但操作部例如也可以是使用磁齿轮等而进行基于非接触的驱动力的供给的构成。
在上述实施方式中，对设置于制造半导体产品的工厂的输送系统1进行了说明，但该输送系统1也能够设置于制造其他产品的工厂。另外，该输送系统1也能够设置于制造工厂以外的建筑物(例如仓库)中。
附图标记说明
1输送系统
3桥式输送车
6顶棚悬吊搁板
30下层搁板用移载部(第二移载部)
40上层搁板用移载部(第一移载部)
51卡盘(第二保持部)
52保持台(第一保持部)
62上层搁板
62a上层支承面
63上层侧面引导件
65下层搁板
65a下层支承面
66下层侧面引导件
80FOUP(晶圆输送容器)
90上层搁板用移载部
97第一保持部

Claims (16)

1.一种桥式输送车，沿着设于建筑物的顶棚的轨道行进而输送物品，其特征在于，该桥式输送车具备：
第一保持部，保持所述物品的侧面以及底面中的至少一方；以及
第一移载部，在保持着所述物品的状态下使所述第一保持部至少向上方移动，
所述第一移载部使所述第一保持部从保持着所述物品输送中的保持位置移动到向上移载位置，该向上移载位置是用于移载所述物品的位置，与所述保持位置的俯视时的位置不同且比该保持位置高。
2.如权利要求1所述的桥式输送车，其特征在于，
所述第一移载部使第一保持部向下方移动。
3.如权利要求1或2所述的桥式输送车，其特征在于，
所述第一移载部进行在移动方向的分量中包含横向的第一移动，从而使所述第一保持部横向伸出，
所述第一移载部进行在移动方向的分量中包含上方向的第二移动，从而使所述第一保持部上升，将所述物品移载到所述向上移载位置。
4.如权利要求3所述的桥式输送车，其特征在于，具备：
驱动部；以及
操作部，通过将所述驱动部产生的驱动力传递到处于所述向上移载位置的上层搁板，从而成为能够将所述物品移载到该上层搁板的状态，
所述驱动部以及所述操作部与所述第一移动一起横向伸出。
5.如权利要求2至4中任一项所述的桥式输送车，其特征在于，
所述第一移载部进行在移动方向的分量中包含横向的第一移动，从而使所述第一保持部横向伸出，
所述第一移载部进行在移动方向的分量中包含下方向的第二移动，从而使所述第一保持部下降，将所述物品移载到向下移载位置。
6.如权利要求1至5中任一项所述的桥式输送车，其特征在于，
所述第一移载部至少使所述第一保持部上升至与所述轨道相同的高度。
7.如权利要求1至6中任一项所述的桥式输送车，其特征在于，具备：
第二保持部，保持所述物品的侧面及上表面中的至少一方；以及
第二移载部，在保持着所述物品的状态下使所述第二保持部至少向下方移动。
8.如权利要求7所述的桥式输送车，其特征在于，
所述第一移载部具备退避机构，该退避机构使所述第一保持部从所述第二移载部使所述第二保持部向下方移动的轨迹退避。
9.如权利要求7或8所述的桥式输送车，其特征在于，
所述第二移载部进行在移动方向的分量中包含横向的第三移动，从而使所述第二保持部横向伸出，
所述第二移载部进行在移动方向的分量中包含下方向的第四移动，从而使所述第二保持部下降，将所述物品移载到向下移载位置，
所述第一移载部使所述第一保持部上升至比所述第二移载部的横向伸出时高的位置。
10.如权利要求9所述的桥式输送车，其特征在于，
所述第一移动后的所述第一移载部的下端位置，处于比移载到所述向下移载位置的物品的上端靠上方的位置。
11.如权利要求1至10中任一项所述的桥式输送车，其特征在于，
所述第一移载部具备：
横向滑动机构，使所述第一保持部在横向上滑动；以及
向上滑动机构，使所述第一保持部向上方向滑动。
12.如权利要求1至10中任一项所述的桥式输送车，其特征在于，
所述第一移载部具备臂机构，该臂机构包含能够旋转地连结的多个臂，
通过使所述臂独立地动作，从而使所述第一保持部从所述保持位置移动至所述向上移载位置。
13.如权利要求1至12中任一项所述的桥式输送车，其特征在于，
所述物品为晶圆输送容器，
所述第一保持部具备：
保持面，保持所述晶圆输送容器；以及
插入销，形成于所述保持面，并插入到所述晶圆输送容器的下表面的凹部中。
14.如权利要求13所述的桥式输送车，其特征在于，
在所述第一保持部保持着所述晶圆输送容器的状态下，沿着轨道行进而输送该晶圆输送容器。
15.如权利要求7至10中任一项所述的桥式输送车，其特征在于，
所述物品为晶圆输送容器，
所述第二保持部为卡盘，该卡盘保持所述晶圆输送容器的上表面的凸缘部。
16.如权利要求7至10中任一项所述的桥式输送车，其特征在于，
在沿着所述轨道行进的过程中，在所述第一保持部与所述第二保持部之间替换保持所述物品。
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