JPWO2020095570A1 - 天井搬送車 - Google Patents

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Abstract

天井搬送車３は、建屋の天井に設けられるレール２に沿って走行してＦＯＵＰ８０を搬送する。天井搬送車３は、保持台と、上段棚用移載部４０と、を備える。保持台は、ＦＯＵＰ８０の側面８３及び底面８１の少なくとも一方を保持する。上段棚用移載部４０は、ＦＯＵＰ８０を保持した状態で保持台を少なくとも上方に移動させる。上段棚用移載部４０は、ＦＯＵＰ８０を保持して搬送中の保持台の位置である保持位置から、ＦＯＵＰ８０を移載するための位置であり、保持位置とは平面視での位置が異なり、かつ、当該保持位置よりも高い上移載位置まで、保持台を移動させる。

Description

本発明は、主として、天井搬送車に関する。
従来から、例えば半導体製品を製造する工場等では、天井に設けられたレールに沿って物品を搬送する天井搬送車が用いられている。また、このような工場には、天井搬送車が搬送する物品を一時的に保管するための棚が設けられることがある。特許文献１は、この種の天井搬送車及び棚を含む搬送システムを開示する。
特許文献１の天井搬送車は、物品を下降させる昇降装置と、物品を横移動させる横移載装置と、を備える。また、特許文献１の棚は、支柱によって支持されるとともに、上下に複数並べて配置されている。天井搬送車は、昇降装置により物品を下降させて所定の棚の高さに合わせた後に、当該物品を横移動させることで、物品を棚に置くことができる。
特開２０１７−３０９４４号公報
ここで、特許文献１のような半導体製品を製造する工場では、処理装置の処理速度の向上に伴って、更に多くの物品を保管可能な構成が求められる可能性がある。また、半導体製品を製造する工場に限られず、天井搬送車が配置される様々な建屋においても同様に、更に多くの物品を保管可能な構成が求められる可能性がある。
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、従来は物品を置くことができなかった位置に物品を置くことが可能な天井搬送車を提供することにある。
 課題を解決するための手段及び効果
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
本発明の観点によれば、以下の構成の天井搬送車が提供される。即ち、天井搬送車は、建屋の天井に設けられるレールに沿って走行して物品を搬送する。この天井搬送車は、第１保持部と、第１移載部と、を備える。前記第１保持部は、前記物品の側面及び底面の少なくとも一方を保持する。前記第１移載部は、前記物品を保持した状態で前記第１保持部を少なくとも上方に移動させる。前記物品を保持して搬送中の位置である保持位置から、前記物品を移載するための位置であり、前記保持位置とは平面視での位置が異なり、かつ、当該保持位置よりも高い上移載位置まで、前記第１保持部を移動させる。
これにより、従来は物品を置くスペースではなかった高い位置に物品を置くことができる。そのため、建屋内の空間を有効に活用することができる。
前記の天井搬送車においては、前記第１移載部は第１保持部を下方に移動させることが好ましい。
これにより、第１移載部を用いて、物品を上下の何れかにも移載することができる。
前記の天井搬送車においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記第１移載部は、移動方向の成分に横方向を含む第１移動を行って前記第１保持部を横出しし、移動方向の成分に上方向を含む第２移動を行って前記第１保持部を上昇させて前記物品を前記上移載位置に移載する。
これにより、天井搬送車と物品との干渉を防止しつつ、第１保持部を上移載位置まで移動させることができる。
前記の天井搬送車においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、この天井搬送車は、駆動部と、操作部と、を備える。前記操作部は、前記駆動部が発生させた駆動力を前記上移載位置にある上段棚に伝達することで、当該上段棚に前記物品を移載可能な状態にする。前記駆動部及び前記操作部が、前記第１移動とともに横出しされる。
これにより、天井搬送車が備える駆動部が発生させた駆動力を用いることで、上段棚側の駆動部が必須ではなくなる。また、駆動部と操作部が横出しされることで、物品と同じ機構を用いて、操作部を上段棚に近づけることができる。
前記の天井搬送車においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記第１移載部は、移動方向の成分に横方向を含む第１移動を行って前記第１保持部を横出しし、移動方向の成分に下方向を含む第２移動を行って前記第１保持部を下降させて前記物品を下移載位置に移載する。
これにより、天井搬送車と物品との干渉を防止しつつ、第１保持部を下移載位置まで移動させることができる。
前記の天井搬送車においては、前記第１移載部は、少なくとも前記レールと同じ高さまで前記第１保持部を上昇させることが好ましい。
これにより、レールと同じ高さの空間を有効に活用できる。
前記の天井搬送車においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、この天井搬送車は、第２保持部と、第２移載部と、を備える。前記第２保持部は、前記物品の側面及び上面の少なくとも一方を保持する。前記第２移載部は、前記物品を保持した状態で前記第２保持部を少なくとも下方に移動させる。
これにより、天井搬送車よりも高い位置だけでなく、天井搬送車よりも低い位置にも物品を置くことができる。その結果、建屋の敷地を一層有効に活用することができる。
前記の天井搬送車においては、前記第１移載部は、前記第２移載部が前記第２保持部を下方に移動させる軌跡から、前記第１保持部を退避させる退避機構を備えることが好ましい。
これにより、第１保持部と物品との干渉を防止しつつ、物品を下方に移載することができる。
前記の天井搬送車においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記第２移載部は、移動方向の成分に横方向を含む第３移動を行って前記第２保持部を横出しし、移動方向の成分に下方向を含む第４移動を行って前記第２保持部を下降させて前記物品を下移載位置に移載する。前記第１移載部は、前記第２移載部の横出し時よりも高い位置まで、前記第１保持部を上昇させる。
これにより、上移載位置に移載した物品と第２移載部とが干渉することを防止できるので、物品を上移載位置に移載した後であっても、別の物品を下移載位置に移載することができる。
前記の天井搬送車においては、前記第１移動後における前記第１移載部の下端位置は、前記下移載位置に移載された物品の上端よりも上方にあることが好ましい。
これにより、第１移載部を横出ししても、第１移載部と、下移載位置に移載された物品と、が干渉しない。
前記の天井搬送車においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記第１移載部は、横スライド機構と、上スライド機構と、を備える。前記横スライド機構は、前記第１保持部を横方向にスライドする。前記上スライド機構は、前記第１保持部を上方向にスライドする。
これにより、簡単な構造で第１移載部を実現できる。
前記の天井搬送車においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、回転可能に連結された複数のアームを含むアーム機構を備える。前記アームを独立して動作させることで、前記第１保持部を前記保持位置から前記上移載位置まで移動させる。
これにより、簡単な構造で第１移載部を実現できる。
前記の天井搬送車においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記物品は、ウエハ搬送容器である。前記第１保持部は、保持面と、挿入ピンと、を備える。前記保持面は、前記ウエハ搬送容器を保持する。前記挿入ピンは、前記保持面に形成されており、前記ウエハ搬送容器の下面の凹部に挿入される。
これにより、第１保持部が保持面と挿入ピンを備えることで、ウエハ搬送容器を安定して搬送することができる。
前記の天井搬送車においては、前記第１保持部が前記ウエハ搬送容器を保持した状態で、レールに沿って走行して当該ウエハ搬送容器を搬送することが好ましい。
これにより、ウエハ搬送容器を安定させた状態で搬送できる。
前記の天井搬送車においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記物品がウエハ搬送容器である。前記第２保持部は、前記ウエハ搬送容器の上面のフランジ部を保持するチャックである。
これにより、簡単な構成の第２保持部でウエハ搬送容器の上面を保持できる。
前記の天井搬送車においては、前記レールに沿って走行中に、前記第１保持部と前記第２保持部との間で前記物品を持ち替えることが好ましい。
これにより、天井搬送車の停止後に、速やかに物品を移載することができる。
第１実施形態に係る天井搬送車を備える搬送システムの構成を概略的に示す平面図。 天井搬送車及び天井吊下棚の構成を概略的に示す正面図。 天井搬送車及び天井吊下棚の構成を示す斜視図。 主に天井搬送車に設けられる駆動部等の構成を示すブロック図。 天井搬送車の下段棚用移載部の構成を示す正面図。 ＦＯＵＰの底面側に設けられる退避機構の構成を示す斜視図。 上段棚を閉鎖状態から開口状態に切り替える様子を示す斜視図。 上段棚用移載部の横スライド機構及び上スライド機構を動作させる様子を示す斜視図。 上段棚にＦＯＵＰを置く様子を示す斜視図。 第１実施形態の変形例の上段棚用移載部が下方にもＦＯＵＰを移載可能なことを示す斜視図。 第２実施形態の天井搬送車に設けられる駆動部等の構成を示すブロック図。 第２実施形態の上段棚用移載部の構成を概略的に示す正面図。 第２実施形態の上段棚用移載部第１保持部を退避させた状態を概略的に示す正面図。 第２実施形態の上段棚用移載部を動作させる様子を示す正面図。 第３実施形態の天井搬送車を示す斜視図。 第３実施形態の上段棚を示す斜視図。 第３実施形態の上段棚が閉鎖状態から開口状態に切り替わる流れを示す概略正面図。
次に、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。初めに、図１を参照して搬送システム１の概要について説明する。図１は、第１実施形態に係る搬送システム１の構成を概略的に示す平面図である。
本実施形態の搬送システム１は、半導体製品を製造する工場（建屋、施設）に設置されており、様々な物品を搬送するためのシステムである。本実施形態の搬送システム１が搬送する物品は、ウエハ（半導体ウエハ）を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）である。なお、物品は、レチクルを収容するレチクルポッドであってもよい。図１に示すように、搬送システム１は、レール２と、天井搬送車３と、天井吊下棚６と、を備える。
レール２は、工場の天井７に設けられている。天井搬送車３は、レール２に沿って走行可能に構成されている。また、図１には天井搬送車３が１台のみ示されているが、天井搬送車３を複数台備える構成であってもよい。
また、この工場には、処理装置４及びロードポート５が配置されている。処理装置４は、ＦＯＵＰに収容されたウエハに様々な処理を行う装置である。ロードポート５は、処理装置４が処理を行う空間に接続されている。天井搬送車３によって搬送されたＦＯＵＰはロードポート５に置かれる。その後、ＦＯＵＰ内のウエハは、取り出された後に処理装置４で処理される。処理済みのウエハはＦＯＵＰに収容され、ＦＯＵＰは同一又は別の天井搬送車３によって別の工程を行う位置へ搬送される。図１に示すように、天井吊下棚６の下方にロードポート５が配置されていてもよいし、レール２の下方にロードポート５や図示しない一時保管棚が配置されていてもよい。
天井吊下棚６は、工場の天井７に設けられている。天井吊下棚６は、目標位置である処理装置４及びロードポート５が占有されている（使用中である）場合等に、これらが占有解除（使用可能）になるまでＦＯＵＰ等を一時的に置いておくための棚である。本実施形態では、天井吊下棚６はレール２の長手方向に沿うように、当該レール２と平行に配置されている。本実施形態の天井吊下棚６は、レール２の両側に配置されているが、片側のみに配置されていてもよい。
次に、図２から図６を参照して、レール２、天井搬送車３、及び天井吊下棚６について詳細に説明する。なお、図３等の斜視図では、レール２の片側に配置される天井吊下棚６の図示を省略する。
図２に示すように、工場の天井７には支柱８が接続されている。この支柱８によって、レール２及び天井吊下棚６が天井７に吊り下げられている。また、天井搬送車３は、支柱８及びレール２を介して天井７に吊り下げられている。
図２及び図３に示すように、天井吊下棚６は、側板６１と、上段棚（第１棚）６２と、下段棚（第２棚）６５と、を備える。側板６１は、上記の支柱８によって天井７に吊り下げられている。側板６１は、上段棚６２及び下段棚６５を支持している。また、側板６１は、一定の間隔で配置されており、２枚の側板６１で挟まれる空間が一区画に相当する。天井吊下棚６は、同じ構成の複数の区画が連続するように構成されている。
本実施形態の上段棚６２は、一区画に２つのＦＯＵＰ８０を置くことができる。上段棚６２は、下段棚６５よりも高い位置に配置されている。詳細には、上段棚６２のうちＦＯＵＰ８０を支持する上段支持面６２ａ（図２、第１支持面）の高さは、レール２の高さと略同じである。具体的には、上段支持面６２ａの高さが、レール２の下端近傍から上端近傍の高さの間である。なお、「略同じ」であるため、上段支持面６２ａの高さがレール２の下端よりも僅かに低い場合及びレール２の上端よりも僅かに高い場合も含まれる。また、上段支持面６２ａがＦＯＵＰ８０を支持する高さは、移動中の天井搬送車３がＦＯＵＰ８０を支持する高さよりも高く、ロードポート５がＦＯＵＰ８０を支持する高さよりも高い。更に、上段支持面６２ａの高さは、後述の下段棚用移載部３０の上端よりも高い。また、上段支持面６２ａは、天井搬送車３とは水平方向の位置が異なるとともに、当該天井搬送車３よりも高い位置に配置されている。
天井吊下棚６は、ＦＯＵＰ８０の側面８３に対向するように配置される上段側面ガイド６３を備える。上段側面ガイド６３を備えることで、上段棚６２に配置されたＦＯＵＰ８０の落下及び位置ズレ等を防止できる。また、上段側面ガイド６３は、レール２の下端よりも高い位置に配置されている。なお、上段側面ガイド６３は、上段支持面６２ａよりも高い位置に設定されていればよく、必ずしもレール２の下端よりも高い位置に配置される必要はない。
図５に示すように、上段棚６２は、所定の回転軸を中心として回転することで、開閉可能に構成されている。具体的には、上段棚６２は、上段棚６２を外側に位置させて下からＦＯＵＰ８０を通過させることができる開口状態（図５の鎖線）と、上段棚６２を内側に位置させて開口を一部又は全部閉鎖することでＦＯＵＰ８０を支持する閉鎖状態と、を実現できる。
また、天井吊下棚６は、上段棚６２の開口状態と閉鎖状態とを切り替えるための切替機構６４（図３及び図４）を備える。切替機構６４は、外部から伝達された動力を伝達するギア及びリンク等によって構成されている。本実施形態では天井吊下棚６は上段棚６２の状態を切り替えるための駆動部を有しておらず、天井搬送車３から伝達された動力によって、上段棚６２の開閉状態が切り替えられる。
具体的には、天井搬送車３は、切替機構６４を操作するスライド操作部（操作部）５７を備える。図４に示すようにスライド操作部５７は開閉モータ（駆動部）５８によって駆動される。スライド操作部５７は、通常位置と押圧位置との間で位置を変更可能に構成される。スライド操作部５７が通常位置にある場合、スライド操作部５７は切替機構６４に接触しておらず、上段棚６２は閉鎖状態となる。スライド操作部５７が押圧位置にある場合、スライド操作部５７が切替機構６４を動作させることで、上段棚６２が開口状態に切り替えられる。
本実施形態では、上段棚６２を回転させることで開口状態と閉鎖状態を切り替える構成であるが、上段棚６２をスライドさせることで、開口状態と閉鎖状態とを切り替える構成であってもよい。また、上段棚６２の状態を切り替えるための駆動部を天井吊下棚６が備える構成であってもよい。
本実施形態の下段棚６５は、一区画に３つのＦＯＵＰ８０を置くことができる。言い換えれば、下段棚６５は、一区画に（言い換えれば単位長さあたりに）上段棚６２よりも多い数のＦＯＵＰ８０を置くことができる。詳細は後述するが、上段棚６２と下段棚６５ではＦＯＵＰ８０を置くための機構が異なるため、このような差異が生じている。下段棚６５は、上段棚６２よりも低い位置に配置されている。詳細には、下段棚６５の下段支持面６５ａ（第２支持面）がＦＯＵＰ８０を支持する高さは、移動中の天井搬送車３がＦＯＵＰ８０を支持する高さよりも低く、ロードポート５がＦＯＵＰ８０を支持する高さよりも高い。また、下段支持面６５ａが支持するＦＯＵＰ８０の上端は、後述の上段棚用移載部４０の下端よりも（詳細には横方向に移動した後の上段棚用移載部４０の下端よりも）下方にある。
下段棚６５は、常に閉鎖状態にあり、上段棚６２とは異なり状態を切り替えることができない。言い換えれば、下段棚６５は、上下にＦＯＵＰ８０を通過できないように構成されている。具体的な構造としては、下段棚６５は、隣接する側板６１を接続する棚板である。
天井吊下棚６は、ＦＯＵＰ８０の側面８３に対向するように配置される下段側面ガイド６６を備える。下段側面ガイド６６を備えることで、下段棚６５に配置されたＦＯＵＰ８０の落下及び位置ズレ等を防止できる。
レール２は、走行レール２ａと、給電レール２ｂと、を備える。走行レール２ａには、天井搬送車３（詳細には後述の車輪２２）を支持するととともに、当該天井搬送車３を走行させるための走行支持面が形成されている。給電レール２ｂは、走行レール２ａの下側に配置されている。給電レール２ｂには、図略の給電線が配置されており、天井搬送車３に電力を供給する。
天井搬送車３は、レール２に沿って走行するための構成として、走行モータ２１と、車輪２２と、受電部２３と、を備える。走行モータ２１は、走行レール２ａ内に配置されている。走行モータ２１は、天井搬送車３を走行させるための動力を発生させる。車輪２２は、上記の走行レール２ａの走行支持面に接するように配置されている。車輪２２は、走行モータ２１によって回転駆動される。受電部２３は、給電レール２ｂ内に配置されている。受電部２３は、給電レール２ｂの給電線から電力を取得するピックアップコイル等であり、給電線から取得した電力を走行モータ２１等の電気機器に供給する。
図４に示すように、走行モータ２１等の各種の駆動源及び電気機器は制御装置１００によって制御されている。制御装置１００は、天井搬送車３の適宜の位置に設けられたコンピュータとして構成されている。制御装置１００は、ＣＰＵ等の演算装置と、フラッシュメモリ又はハードディスク等の記憶装置と、外部と通信するための入出力部と、を備える。記憶装置には、各種のプログラムや設定値が記憶されている。演算装置は、各種プログラム等を記憶装置から読み出し、天井搬送車３の各部の動作を制御する。
図３に示すように、天井搬送車３は、走行方向の前後に並べて配置された一対のカバー３ａを備える。ＦＯＵＰ８０を保持したり移載したりするための構成は、この一対のカバー３ａの間に配置されている。
天井搬送車３は、図２等に示すように、ＦＯＵＰ８０を保持するための構成として、チャック（第２保持部）５１と、保持台（第１保持部）５２と、を備える。チャック５１は、ＦＯＵＰ８０の上面のフランジ部８２を掴んで保持する。チャック５１は、フランジ部８２の保持の有無を切替可能である。
保持台５２は、ＦＯＵＰ８０の底面８１を保持する。具体的には、図５、６、９等に示すように、保持台５２の保持面５２ａ（底面８１に接触する面）には、所定の位置に複数の挿入ピン５２ｂが形成されている。一方、ＦＯＵＰ８０の底面８１には、図６に示すように、所定形状の凹部８１ａが形成されている。複数の挿入ピン５２ｂが形成される位置と、凹部８１ａの形状は対応している。この構成により、挿入ピン５２ｂを凹部８１ａに挿入することで、ＦＯＵＰ８０を安定的に保持できる。また、保持台５２の近傍には、ＦＯＵＰ８０の位置ズレ等を防止するガイド部材５３が設けられている。
天井搬送車３の走行中においては、保持台５２によりＦＯＵＰ８０が保持される。なお、以下の説明では、走行中の天井搬送車３がＦＯＵＰ８０を保持する位置を保持位置と称する。ＦＯＵＰ８０を保持台５２により保持することで、ＦＯＵＰ８０を安定させることができる。なお、天井搬送車３の走行中において、チャック５１及び保持台５２の両方又はチャック５１のみにより、ＦＯＵＰ８０が保持される構成であってもよい。
天井搬送車３は、保持位置にあるＦＯＵＰ８０を下段棚６５（下移載位置）に置くために移動させる下段棚用移載部（第２移載部）３０と、保持位置にあるＦＯＵＰ８０を上段棚６２（上移載位置）に置くために移動させる上段棚用移載部（第１移載部）４０と、を備える。なお、下段棚用移載部３０は、ＦＯＵＰ８０をロードポート５に置くためにも用いられる。
初めに、下段棚用移載部３０について説明する。下段棚用移載部３０はチャック５１を横方向（水平方向）に移動すること（第３移動）が可能であるとともに、チャック５１を下方向に移動すること（第４移動）が可能である。図２及び図５等に示すように、下段棚用移載部３０は、横移載機構３１と、下移載機構３３と、を備える。また、図４に示すように、横移載機構３１は横移載モータ３２によって駆動され、下移載機構３３は下移載モータ３４によって駆動される。
横移載機構３１は、チャック５１を横方向（具体的には平面視で進行方向に直交する方向）に移動させることができるように構成されている。具体的には、横移載機構３１は、横方向に移動可能な複数の可動板を備えている。また、チャック５１は、最下方の可動板と一体的に移動するように構成されている。横移載機構３１は、横移載モータ３２の動力によって、複数の可動板を図５に示すように横方向にそれぞれスライドさせることで、横移載機構３１に支持されるチャック５１を横方向に移動させる。これにより、ＦＯＵＰ８０を横方向に移動させることができる。なお、本実施形態では横移載機構３１の上端よりも高い位置に上段支持面６２ａが位置しているため、横移載機構３１による横方向への移動時に、当該横移載機構３１が上段棚６２及び上段棚６２に支持されたＦＯＵＰ８０等と接触しない。
下移載機構３３は、チャック５１を下方向に移動させることができるように構成されている。下移載機構３３は、例えばホイストであり、下移載モータ３４の動力によって図５に示すようにワイヤ等の吊下げ部材を降下させたり巻き取ったりすることができる。これにより、ＦＯＵＰ８０を上下方向に移動させることができる。
また、下移載機構３３は、横移載機構３１の最下方の可動板と一体的に移動するように構成されている。そのため、横移載機構３１による横方向の移動と、下移載機構３３による下方向の移動と、を両立させることができる。従って、下段棚用移載部３０は、移載位置が真下及び真横だけでなく、斜め下方であってもＦＯＵＰ８０を移載できる。
ここで、ＦＯＵＰ８０を保持台５２に保持させた状態では、部材同士の干渉が生じるため、下段棚用移載部３０（特に下移載機構３３）を用いてＦＯＵＰ８０を移動させることができない。従って、本実施形態では、下段棚用移載部３０によるＦＯＵＰ８０の移動を行う前に、保持台５２をＦＯＵＰ８０から外すとともに、ＦＯＵＰ８０の下方から（詳細には下段棚用移載部３０がチャック５１を下方に移動させる軌跡から）保持台５２を退避させる。この退避を行うための構成として、天井搬送車３は、図６に示すように退避機構５５及び退避モータ５６を備える。
退避機構５５は、退避モータ５６の動力によって動作するリンクを含んでいる。また、このリンクはガイド部材５３に回転可能に連結されている。また、保持台５２はガイド部材５３と一体的に所定の軌跡で移動するように構成されている。以上により、退避モータ５６の動力によって退避機構５５のリンクを動作させることで、保持台５２及びガイド部材５３をＦＯＵＰ８０の後方に移動させることで、ＦＯＵＰ８０の下方から退避させることができる。なお、レール２の下方に天井７から吊り下げ設置される仮置き棚（ＵＴＢ、Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ）を追加してもよい。仮置き棚は、平面視でレール２と重なる位置にあり、レール２の延びる方向においてロードポート５と位相をズラして設置されている。第２移載部（下段棚用移載部３０）は、この仮置き棚に対してＦＯＵＰ８０を移載することができる。
上述したように天井搬送車３の走行中では、ＦＯＵＰ８０は保持台５２に保持され、チャック５１には保持されていない。従って、天井搬送車３が停止してＦＯＵＰ８０を下段棚６５又はロードポート５に移載する場合、チャック５１でＦＯＵＰ８０を保持した後に、退避モータ５６を駆動して、ＦＯＵＰ８０から保持台５２を取り外す（即ち、保持台５２とチャック５１の間でＦＯＵＰ８０を持ち替える）。その後、下段棚用移載部３０による移載が行われる。なお、この持ち替えは、天井搬送車３の走行中において行うこともできる。また、仮に天井搬送車３の走行中においてチャック５１がＦＯＵＰ８０を保持している場合、天井搬送車３の走行中又は停止後に、チャック５１から保持台５２への持ち替えが行われることもある。
また、天井搬送車３は、チャック５１がＦＯＵＰ８０を保持した状態で、好ましくは保持台５２がＦＯＵＰ８０の真下に位置してＦＯＵＰ８０の落下を防止した状態で、レール２に沿って走行してもよい。この場合、天井搬送車３が走行停止した後に速やかに第２移載部（下段棚用移載部３０）がＦＯＵＰ８０をロードポート５又は仮置き棚（ＵＴＢ）に移載開始できるように、天井搬送車３の走行中に保持台５２がＦＯＵＰ８０の真下から退避しても構わない。
次に、主に図７及び図８を参照して、上段棚用移載部４０について説明する。
図７及び図８に示すように、上段棚用移載部４０は、走行方向においてカバー３ａとＦＯＵＰ８０の間の空間に設けられている。上段棚用移載部４０は保持台５２を横方向に移動すること（第１移動）が可能であるとともに、保持台５２を上方向に移動すること（第２移動）が可能である。なお、第１移動は移動方向に横方向が含まれていればよく、真横方向以外も含む。第２移動以降についても同様である。図８に示すように、上段棚用移載部４０は、横スライド機構４１と、上スライド機構４３と、を備える。また、図４に示すように、横スライド機構４１は横スライドモータ４２によって駆動され、上スライド機構４３は上スライドモータ４４によって駆動される。
横スライド機構４１は、保持台５２を横方向（具体的には平面視で進行方向に直交する方向）に移動させることができるように構成されている。具体的には、横スライド機構４１は、横方向に移動可能な複数の可動板を備えている。詳細には、横スライド機構４１は互いにベルト又はチェーンで連結された３枚の可動板である。また、保持台５２は、最内側の可動板と一体的に移動するように構成されている。横スライド機構４１は、横スライドモータ４２の動力によって、複数の可動板を図８に示すように横方向にそれぞれスライドさせることで、横スライド機構４１に支持される保持台５２を横方向に移動させる。これにより、ＦＯＵＰ８０を横方向に移動させることができる。
上スライド機構４３は、保持台５２を上方向に移動させることができるように構成されている。具体的には、上スライド機構４３は、上方向に移動可能な複数の可動板を備えている。また、保持台５２は、最内側の可動板と一体的に移動するように構成されている。上スライド機構４３は、上スライドモータ４４の動力によって、複数の可動板を図８に示すように上方向にそれぞれスライドさせることで、上スライド機構４３に支持される保持台５２を上方向に移動させる。これにより、ＦＯＵＰ８０を上方向に移動させることができる。また、本実施形態ではＦＯＵＰ８０の側面に上スライド機構４３が位置した状態でＦＯＵＰ８０を上段棚６２に移載する。従って、上スライド機構４３と別のＦＯＵＰ８０との干渉を避けるために、上段棚６２同士の間隔を広くする必要がある。そのため、上段棚６２と下段棚６５とでは、一区画に配置可能なＦＯＵＰ８０の数が異なる。
次に、保持位置にあるＦＯＵＰ８０を上段棚６２に移載するときの流れについて、図７から図９を参照して説明する。
初めに、天井搬送車３は、移載先の上段棚６２の横で停止する（図７の上側）。次に、天井搬送車３は、スライド操作部５７を押圧位置に移動させて上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替える（図７の下側）。なお、本実施形態とは異なり走行中の天井搬送車３がチャック５１のみでＦＯＵＰ８０を保持している場合、チャック５１を外して保持台５２を用いてＦＯＵＰ８０を保持する。
次に、天井搬送車３は、横スライド機構４１を動作させてＦＯＵＰ８０を横方向に移動させる（図８の上側）。このとき、ＦＯＵＰ８０は上段棚６２の真下に位置している。次に、天井搬送車３は、上スライド機構４３を動作させてＦＯＵＰ８０を上方向に移動させる（図８の下側）。このとき、ＦＯＵＰ８０は、上段棚６２を適切に回転させるために上移載位置よりも上方に位置している。なお、本実施形態では、横スライド機構４１による横方向の移動が完了した後に上スライド機構４３による上方向の移動が行われるが、横方向の移動が完了する前に上方向の移動を開始してもよい。また、上述したように、横方向に移動した後の上段棚用移載部４０（横スライド機構４１）の下端は、下段棚６５に支持されているＦＯＵＰ８０の上端よりも上方にある（更に言えば平面視で重なる位置にある）。従って、横スライド機構４１と、下段棚６５に載置されたＦＯＵＰ８０と、が干渉することが防止されている。
次に、天井搬送車３は、スライド操作部５７を通常位置に移動させて上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替える（図９の上側）。次に、天井搬送車３は、上スライド機構４３及び横スライド機構４１を天井搬送車３に格納する動作を開始する（図９の下側）。
このように、天井搬送車３が上段棚用移載部４０を備えるとともに、天井吊下棚６が上段棚６２を備えることで、高い位置（本実施形態ではレール２と同じ高さ）にＦＯＵＰ８０を置くことができる。従って、工場内の空間、具体的にはこれまで有効活用されていなかったレール２の真横の空間を有効に活用できる。特に、半導体製品を製造するための工場では、工場内の清浄度を高める必要があるため、工場内の空間が大きくなるに連れて設備コストが増大する。そのため、本実施形態の搬送システム１は半導体製品を製造するための工場において、特に有効である。
なお、搬送システム１を構成する複数の天井搬送車３は、全てが上段棚用移載部４０を備える構成であってもよいし、一部の天井搬送車３のみが上段棚用移載部４０を備える構成であってもよい。後者の場合、２種類の天井搬送車３は、ともに同じ構成の下段棚用移載部３０を備えることが好ましい。これにより、２種類の天井搬送車３で下段棚６５を共通して使用できる。
次に、図１０を参照して、第１実施形態の変形例について説明する。
第１実施形態の上段棚用移載部４０は、ＦＯＵＰ８０を上方にスライドさせる上スライド機構４３を備える。一方、第１変形例の上段棚用移載部４０は、ＦＯＵＰ８０を上方だけでなく下方にもスライドさせる上下スライド機構４３０を備える。スライド機構４３０の内側の可動板は、通常位置（待機位置）から上下両方の移動（第２移動）が可能に構成されている。また、第１変形例の上段棚用移載部４０は、ＦＯＵＰ８０の側面８３を保持する第１保持部５２０を備える。
この構成により、第１変形例の上段棚用移載部４０は、横スライド機構４１を動作させてＦＯＵＰ８０（第１保持部５２０）を横方向に移動させ（図１０の上側）、その後にスライド機構４３０を動作させてＦＯＵＰ８０（第１保持部５２０）を下方に移動させて下段棚６５に置く（図１０の下側）。その後、上段棚用移載部４０は、第１保持部５２０によるＦＯＵＰ８０の側面８３の保持を解除する。これにより、上段棚用移載部４０を用いて、ＦＯＵＰ８０を下段棚６５に移載することができる。また、第１変形例の上段棚用移載部４０は、横スライド機構４１を動作させずにスライド機構４３０を動作させてＦＯＵＰ８０（第１保持部５２０）を下方に移動させて、前述した仮置き棚（ＵＴＢ）に置いてもよい。
なお、第１実施形態において説明したことは、矛盾が生じない限り第１変形例（及び後述の第２実施形態）にも適用可能である。例えば、第１変形例の上段棚用移載部４０は、横スライド機構４１による横方向の動作が完了する前に、スライド機構４３０による下方向の動作を開始してもよい。
また、第１変形例の天井搬送車３は、上段棚用移載部４０と、下段棚用移載部３０と、の両方を備えていてもよいし、下段棚用移載部３０を備えずに上段棚用移載部４０のみを備えていてもよい。
次に、図１１から図１４を参照して、第２実施形態について説明する。
上記の第１実施形態では、上段棚用移載部４０は横スライド機構４１及び横スライドモータ４２を備える。これに対し、第２実施形態の上段棚用移載部９０は、回転可能に連結された複数のアームを含むアーム機構である。
具体的には、図１２に示すように、上段棚用移載部９０は、天井搬送車３に近い側から順に、第１アーム９１と、第２アーム９３と、第３アーム９５と、を備える。また、図１１に示すように、第１アーム９１は第１アームモータ９２によって駆動され、第２アーム９３は第２アームモータ９４によって駆動され、第３アーム９５は第３アームモータ９６によって駆動される。このように、それぞれのアームは独立して動作可能である。
第１アーム９１の基端は天井搬送車３に連結されており、第１アーム９１の先端は第２アーム９３の基端に回転可能に連結されている。また、第２アーム９３の先端は第３アーム９５の基端に回転可能に連結されている。また、第３アーム９５の先端には第１保持部９７が連結されている。また、図１３に示すように、第１保持部９７の保持面９７ａには挿入ピン９７ｂが形成されている。
下段棚用移載部３０によるＦＯＵＰ８０の移載を行う場合は、図１３に示すように、第１アーム９１、第２アーム９３、及び第３アーム９５のそれぞれの回転角度を調整することで、第１保持部９７をＦＯＵＰ８０の下方から（詳細には下段棚用移載部３０がチャック５１を下方に移動させる軌跡から）退避させることができる。従って、上段棚用移載部９０は退避機構を兼ねている。これにより、下段棚用移載部３０を用いてＦＯＵＰ８０を移動させることができる。
また、上段棚用移載部９０によるＦＯＵＰ８０の移載を行う場合は、図１４に示すように、第１アーム９１、第２アーム９３、及び第３アーム９５のそれぞれの回転角度を調整することで、第１保持部９７を水平に維持しつつ、第１保持部９７を上段棚６２まで移動させることができる。具体的に説明すると、初めに、ＦＯＵＰ８０が天井搬送車３に保持されている状態から、第１アーム９１を回転させることで、第１保持部９７は主に横方向に移動する（第１移動、図１４の上側）。その後、第１アーム９１の回転角度が大きくなるに連れて、第１保持部９７が主に上方向に移動することとなる（第２移動、図１４の下側）。なお、第１アーム９１を回転させることで、第２アーム９３及び第３アーム９５の回転角度が変化するため、第１保持部９７が水平になるように第２アーム９３及び第３アーム９５を回転させる。
次に、図１５から図１７を参照して、第３実施形態について説明する。第３実施形態は、スライド操作部５７の代わりに回転操作部（操作部）５９を用いて上段棚６２に駆動力を供給する構成である。
図１５に示すように、本実施形態の天井搬送車３は、上述した開閉モータ５８及び回転操作部５９に加え、モータ取付部４５を備える。モータ取付部４５は、上段棚用移載部４０に取り付けられている。詳細には、上段棚用移載部４０のうち、保持台５２（ＦＯＵＰ８０）を横方向に移動させる第１移動時に移動する部分であって、かつ、保持台５２を上方向に移動させる第２移動時に移動しない部分に取り付けられている。この構成により、回転操作部５９は、第１移動時に横方向に移動する。本実施形態では、モータ取付部４５は、進行方向の一側のみに取り付けられているが、両側に取り付けられていてもよい。
モータ取付部４５には、開閉モータ５８と、回転操作部５９と、が取り付けられている。開閉モータ５８は、上記実施形態と同様に、上段棚６２の開口状態と閉鎖状態を切り替えるための駆動力を発生させる。開閉モータ５８は、回転方向及び回転量を制御可能に構成されている。回転操作部５９は、開閉モータ５８が発生させた駆動力により回転する部材である。回転操作部５９は、スライド操作部５７と同様に、この駆動力を上段棚６２側に伝達する。なお、モータ取付部４５、開閉モータ５８、及び回転操作部５９は、上スライド機構４３の第２移動時に干渉しない位置（例えば上スライド機構４３の外側）に配置されている。
また、本実施形態では、開閉モータ５８及び回転操作部５９は、進行方向及び上下方向の両方に直交する方向（左右方向）に並べて２つずつ配置されている。左右方向の一側の開閉モータ５８及び回転操作部５９は、左右方向の一側の上段棚６２にＦＯＵＰ８０を移載する際に用いられ、左右方向の他方の開閉モータ５８及び回転操作部５９は、左右方向の他側の上段棚６２にＦＯＵＰ８０を移載する際に用いられる。なお、この構成に代えて、左右方向の一側と他側の何れの上段棚６２にＦＯＵＰ８０を移載する場合でも共通の開閉モータ５８及び回転操作部５９を用いる構成であってもよい。
図１６に示すように、上段棚６２は、第１軸７１と、第１アーム７２と、第１支持部７３と、第２軸７５と、第２アーム７６と、第２支持部７７と、を備える。
第１軸７１は、上段棚６２の固定部（可動しない部分、例えば上記実施形態の側板６１等）に回転可能に取り付けられている。第１アーム７２は、第１軸７１と一体的に同方向に回転するように構成されている。第１アーム７２の一端部には第１軸７１が固定され、第１アーム７２の他端部には第１支持部７３が固定されている。また、第１軸７１と第１アーム７２は一対で設けられている。上段棚６２は、一対の第１アーム７２を接続する第１支持部７３を備える。第１支持部７３は、ＦＯＵＰ８０を支持する部分である。第１支持部７３は、棒状であってもよいし、平板状であってもよい。
第２軸７５、第２アーム７６、第２支持部７７は、第１軸７１、第１アーム７２、第１支持部７３と同じ又は対称の構成である。従って、ＦＯＵＰ８０は、第１支持部７３と第２支持部７７により支持される。
以上の構成により、第１軸７１が回転することで第１アーム７２及び第１支持部７３も一体的に回転する。また、第２軸７５が回転することで第２アーム７６及び第２支持部７７も一体的に回転する。これにより、上段棚６２を閉鎖状態（実線）と開口状態（鎖線）との間で切り替えることができる。
従って、天井搬送車３から伝達される駆動力（上段棚６２の外部からの駆動力）は、第１軸７１と第２軸７５を回転させるために用いられる。また、閉鎖状態と開口状態を切り替えるためには、第１軸７１と第２軸７５を異なる方向に回転させることが好ましい。なぜなら、第１軸７１と第２軸７５を同じ方向に回転させる場合、例えば第１支持部７３が上方に回転し、第２支持部７７が下方に回転するため、上下方向の空間を大きく占有するからである。もちろん、切替機構６４を単純にするため等の目的で、第１軸７１と第２軸７５を同じ方向に回転させてもよい。
本実施形態では、天井搬送車３から伝達される駆動力は、切替機構６４を構成する部材である、受け部１０１と、受け軸１０２と、第１ベベルギア１０３と、第２ベベルギア１０４と、を介して第１軸７１に伝達される。受け部１０１は受け軸１０２を回転軸として回転可能に構成されている。受け部１０１は、第１移動後の回転操作部５９に対応した位置に配置されている。この構成により、第１移動後に回転操作部５９を回転させることで、回転操作部５９の回転方向及び回転量に応じて受け部１０１及び受け軸１０２が回転する。
受け軸１０２には、更に第１ベベルギア１０３が固定されている。一方で、第１軸７１には第２ベベルギア１０４が固定されている。第１ベベルギア１０３と第２ベベルギア１０４は噛み合っている。この構成により、第１ベベルギア１０３及び第２ベベルギア１０４等を介して、回転操作部５９から第１軸７１に駆動力を伝達できる。また、開閉モータ５８の回転方向を変更することで、第１軸７１の回転方向を変更できる。なお、受け部１０１、受け軸１０２、第１ベベルギア１０３、及び第２ベベルギア１０４を用いた駆動力の伝達は一例であり、適宜変更可能である。
また、本実施形態では、第１軸７１を回転させる駆動力が切替機構６４により更に第２軸７５に伝達して、第２軸７５を第１軸７１とは反対方向に回転させる。これにより、１つの駆動部を用いて第１軸７１と第２軸７５を駆動して、上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替えることができる。なお、具体的な切替機構６４の構成は、実施形態によって異なる。
また、本実施形態では、開閉モータ５８を反対方向に回転させることで、第１軸７１と第２軸７５が開口状態から閉鎖状態への切替時とは逆方向に回転するため、上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替えることができる。
第３実施形態の切替機構６４は、リンク支持部１２１を備える。リンク支持部１２１は、第１軸リンク１２２と、第２軸リンク１２３と、連結リンク１２４と、振止め板１２５と、を支持している。
第１軸リンク１２２は、第１軸７１に固定されており、第１軸７１と一体的に同方向に回転する。第２軸リンク１２３は、第２軸７５に固定されており、第２軸７５と一体的に同方向に回転する。連結リンク１２４は、第１軸７１側が第１軸リンク１２２に回転可能に連結されており、第２軸７５側が第２軸リンク１２３に回転可能に連結されている。振止め板１２５は、通常時は連結リンク１２４を拘束しておらず、連結リンク１２４が第１軸７１等の軸方向に大きく動いた場合のみ、連結リンク１２４に接触してそれ以上の動きを防止する。
第１軸７１を回転させることで、第１軸リンク１２２が一体的に回転する。第１軸リンク１２２が回転することで、連結リンク１２４も動作し、それによって第２軸リンク１２３が回転する。その結果、第２軸７５が第１軸７１とは異なる方向に回転する。
なお、連結リンク１２４の形状及び連結箇所によっては、第１軸７１と第２軸７５は同じ方向に回転することもある。この点、本実施形態では、第２軸７５は、第１軸７１からの駆動力が伝達されることで、第１軸７１とは反対方向に回転する。例えば、図１７の上側の図では、第１軸７１の回転により、第１軸リンク１２２と連結リンク１２４の連結箇所は、第１軸７１よりも下方を内側に向かうように回転する。この駆動力は、連結リンク１２４を介して第２軸リンク１２３に伝達される。第２軸リンク１２３と連結リンク１２４の連結箇所は、第２軸７５よりも上側にあるので、第２軸７５よりも上方を外側に向かうように回転する。その結果、第１軸７１と第２軸７５は異なる方向に回転する。
以上により、連結リンク１２４等を用いることで、第１軸７１を一側に回転させるだけで、第２軸７５を他側に回転させることができる。これにより、図１７に示すように第１支持部７３及び第２支持部７７を外側に回転させることができるので、上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替えることができる。同様に、第１軸７１を別の方向に回転させることで、上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替えることもできる。
以上に説明したように、上記実施形態の天井搬送車３は、建屋の天井７に設けられるレール２に沿って走行してＦＯＵＰ８０を搬送する。天井搬送車３は、保持台５２と、上段棚用移載部４０と、を備える。保持台５２は、ＦＯＵＰ８０の底面８１を保持する。上段棚用移載部４０は、ＦＯＵＰ８０を保持した状態で保持台５２を少なくとも上方に移動させる。上段棚用移載部４０は、ＦＯＵＰ８０を保持して搬送中の保持台５２の位置である保持位置から、ＦＯＵＰ８０を移載するための位置であり、保持位置とは平面視での位置が異なり、かつ、当該保持位置よりも高い上移載位置まで、保持台５２を移動させる。
これにより、従来はＦＯＵＰ８０を置くスペースではなかった高い位置にＦＯＵＰ８０を置くことができる。そのため、建屋内の空間を有効に活用することができる。
また、第１実施形態の変形例の天井搬送車３において、上段棚用移載部４０は第１保持部５２０を下方に移動させる。
これにより、上段棚用移載部４０を用いて、ＦＯＵＰ８０を上下の何れかにも移載することができる。
また、上記実施形態の天井搬送車３において、上段棚用移載部４０は、移動方向の成分に横方向を含む第１移動を行って保持台５２を横出し、移動方向の成分に上方向を含む第２移動を行って保持台５２を上昇させてＦＯＵＰ８０を上移載位置に移載する。
これにより、天井搬送車３とＦＯＵＰ８０との干渉を防止しつつ、保持台５２を上移載位置まで移動させることができる。
また、上記実施形態の天井搬送車３は、開閉モータ５８と、操作部（スライド操作部５７又は回転操作部５９）と、を備える。操作部は、開閉モータ５８が発生させた駆動力を上移載位置にある上段棚６２に伝達することで、当該上段棚６２にＦＯＵＰ８０を移載可能な状態（開口状態）にする。開閉モータ５８及び操作部が、第１移動とともに横出しされる。
これにより、天井搬送車３が備える開閉モータ５８が発生させた駆動力を用いることで、上段棚６２側の開閉の切替のための駆動部が不要となる。また、開閉モータ５８と操作部が横出しされることで、ＦＯＵＰ８０と同じ機構を用いて、操作部を上段棚６２に近づけることができる。
また、第１実施形態の変形例の天井搬送車３は、移動方向の成分に横方向を含む第１移動を行って第１保持部５２０を横出しし、移動方向の成分に下方向を含む第２移動を行って第１保持部５２０を下降させてＦＯＵＰ８０を下移載位置に移載する。
これにより、天井搬送車３とＦＯＵＰ８０との干渉を防止しつつ、第１保持部５２０を下移載位置まで移動させることができる。
また、上記実施形態の天井搬送車３において、上段棚用移載部４０は、少なくともレール２と同じ高さまで保持台５２を上昇させる。
これにより、レール２と同じ高さの空間を有効に活用できる。
また、上記実施形態の天井搬送車３において、以下の構成とするこの天井搬送車３は、チャック５１と、下段棚用移載部３０と、を備える。チャック５１は、ＦＯＵＰ８０の側面又は上面を保持する。下段棚用移載部３０は、ＦＯＵＰ８０を保持した状態でチャック５１を少なくとも下方に移動させる。
これにより、天井搬送車３よりも高い位置だけでなく、天井搬送車３よりも低い位置にもＦＯＵＰ８０を置くことができる。その結果、建屋の敷地を一層有効に活用することができる。
また、上記実施形態の天井搬送車３において、上段棚用移載部４０は、下段棚用移載部３０がチャック５１を下方に移動させる軌跡から、保持台５２を退避させる退避機構５５を備える。
これにより、保持台５２とＦＯＵＰ８０との干渉を防止しつつ、ＦＯＵＰ８０を下方に移載することができる。
また、上記実施形態の天井搬送車３において、下段棚用移載部３０は、移動方向の成分に横方向を含む第３移動を行ってチャック５１を横出しし、移動方向の成分に下方向を含む第４移動を行ってチャック５１を下降させてＦＯＵＰ８０を下移載位置に移載する。上段棚用移載部４０は、下段棚用移載部３０の横出し時よりも高い位置まで、保持台５２を上昇させる。
また、上記実施形態の天井搬送車３において、第１移動後における上段棚用移載部４０の下端位置は、下移載位置に移載されたＦＯＵＰ８０の上端よりも上方にある。
これにより、上段棚用移載部４０を横出ししても、上段棚用移載部４０と、下移載位置に移載されたＦＯＵＰ８０と、が干渉しない。
これにより、上移載位置に移載したＦＯＵＰ８０と下段棚用移載部３０とが干渉することを防止できるので、ＦＯＵＰ８０を上移載位置に移載した後であっても、別のＦＯＵＰ８０を下移載位置に移載することができる。
また、第１実施形態の天井搬送車３において、上段棚用移載部４０は、横スライド機構４１と、上スライド機構４３と、を備える。横スライド機構４１は、保持台５２を横方向にスライドする。上スライド機構４３は、保持台５２を上方向にスライドする。
これにより、簡単な構造で上段棚用移載部４０を実現できる。
また、第２実施形態の天井搬送車３において、上段棚用移載部４０は、回転可能に連結された複数のアーム（第１アーム９１、第２アーム９３、第３アーム９５）を含むアーム機構を備える。これらのアームを独立して動作させることで、保持台５２を保持位置から上移載位置まで移動させる。
これにより、簡単な構造で上段棚用移載部４０を実現できる。
また、上記実施形態の天井搬送車３において、ＦＯＵＰ８０は、ウエハ搬送容器である。保持台５２（第１保持部９７）は、保持面５２ａ（保持面９７ａ）と、挿入ピン５２ｂと、を備える。保持面５２ａは、ＦＯＵＰ８０を保持する。挿入ピン５２ｂ（挿入ピン９７ｂ）は、保持面５２ａに形成されており、ＦＯＵＰ８０の下面の凹部に挿入される。
これにより、保持台５２が保持面５２ａと挿入ピン５２ｂを備えることで、ＦＯＵＰ８０を安定して搬送することができる。
また、上記実施形態の天井搬送車３は、保持台５２がＦＯＵＰ８０を保持した状態で、レール２に沿って走行してＦＯＵＰ８０を搬送する。
これにより、ＦＯＵＰ８０を安定させた状態で搬送できる。
また、上記実施形態の天井搬送車３において、チャック５１は、ＦＯＵＰ８０の上面のフランジ部８２を保持する。
これにより、簡単な構成でＦＯＵＰ８０の上面を保持できる。
また、上記実施形態の天井搬送車３は、レール２に沿って走行中に、保持台５２とチャック５１との間でＦＯＵＰ８０を持ち替える。
これにより、天井搬送車３の停止後に、速やかにＦＯＵＰ８０を移載することができる。
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。
上記実施形態では、天井吊下棚６は上段棚６２と下段棚６５を備えるが、上段棚６２のみを備える構成であってもよい。また、上記実施形態では、一区画の上段棚６２に２つのＦＯＵＰ８０を配置可能であり、一区画の下段棚６５に３つのＦＯＵＰ８０が配置可能であるが、これらとは異なる数のＦＯＵＰ８０が配置可能であってもよい。また、上段棚６２と下段棚６５に配置可能なＦＯＵＰ８０の数が同じであってもよいし、上段棚６２の方が多くてもよい。
上記実施形態では、上段棚用移載部４０は、横方向の移動を行う第１移動と上方向の移動を行う第２移動を行って、ＦＯＵＰ８０を上段棚６２に移載する。ＦＯＵＰ８０の移動のさせ方は上記とは異なっていてもよい。例えば、第１移動の前に、僅かに下方向に移動させて、ＦＯＵＰ８０を天井搬送車３から離間させてもよい。
チャック５１は、フランジ部８２に加えて又は代えて、ＦＯＵＰ８０の側面８３（側面に形成された突出部等を含む）を保持する構成に変更することができる。保持台５２は、底面８１に加えて又は代えて、ＦＯＵＰ８０の側面８３（側面に形成された突出部等を含む）を保持する構成に変更することができる。
第１実施形態のスライド操作部５７は直線運動による駆動力を切替機構６４に付与し、第３実施形態の回転操作部５９は、回転運動による駆動力を切替機構６４に付与する。これらは、接触による駆動力の供給であるが、操作部は、例えばマグネットギア等を用いて非接触による駆動力の供給を行う構成であってもよい。
上記実施形態では、半導体製品を製造する工場に設置される搬送システム１について説明したが、この搬送システム１は、他の製品を製造する工場に設置することもできる。また、この搬送システム１は、製造工場以外の建屋（例えば倉庫）に設置することもできる。
１ 搬送システム
３ 天井搬送車
６ 天井吊下棚
３０ 下段棚用移載部（第２移載部）
４０ 上段棚用移載部（第１移載部）
５１ チャック（第２保持部）
５２ 保持台（第１保持部）
６２ 上段棚
６２ａ 上段支持面
６３ 上段側面ガイド
６５ 下段棚
６５ａ 下段支持面
６６ 下段側面ガイド
８０ ＦＯＵＰ（ウエハ搬送容器）
９０ 上段棚用移載部
９７ 第１保持部
【０００２】
を提供することにある。
課題を解決するための手段及び効果
［０００７］
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
［０００８］
本発明の観点によれば、以下の構成の天井搬送車が提供される。即ち、天井搬送車は、建屋の天井に設けられるレールに沿って走行して物品を搬送する。この天井搬送車は、第１保持部と、第１移載部と、駆動部と、操作部と、を備える。前記第１保持部は、前記物品の側面及び底面の少なくとも一方を保持する。前記第１移載部は、前記物品を保持した状態で前記第１保持部を少なくとも上方に移動させる。前記操作部は、前記駆動部が発生させた駆動力を伝達する。前記第１移載部は、前記物品を保持して搬送中の位置である保持位置から、前記物品を移載するための位置であり、前記保持位置とは平面視での位置が異なり、かつ、当該保持位置よりも高い上移載位置まで、前記第１保持部を移動させる。前記操作部は、前記駆動力を前記上移載位置にある上段棚に伝達することで、当該上段棚に前記物品を移載可能な状態にする。
［０００９］
これにより、従来は物品を置くスペースではなかった高い位置に物品を置くことができる。そのため、建屋内の空間を有効に活用することができる。
［００１０］
前記の天井搬送車においては、前記第１移載部は第１保持部を下方に移動させることが好ましい。
［００１１］
これにより、第１移載部を用いて、物品を上下の何れかにも移載することができる。
［００１２］
前記の天井搬送車においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記第１移載部は、移動方向の成分に横方向を含む第１移動を行って前記第１保持部を横出しし、移動方向の成分に上方向を含む第２移動を行って前記第１保持部を上昇させて前記物品を前記上移載位置に移載する。
［００１３］
これにより、天井搬送車と物品との干渉を防止しつつ、第１保持部を上移載位置まで移動させることができる。
［００１４］
前記の天井搬送車においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、この天井搬送車は、駆動部と、操作部と、を備える。前記操作部は、前記駆動部が発生させた駆動力を前記上移載位置にある上段棚に伝達することで、

Claims (16)

  1. 建屋の天井に設けられるレールに沿って走行して物品を搬送する天井搬送車において、
    前記物品の側面及び底面の少なくとも一方を保持する第１保持部と、
    前記物品を保持した状態で前記第１保持部を少なくとも上方に移動させる第１移載部と、
    を備え、
    前記第１移載部は、
    前記物品を保持して搬送中の保持位置から、
    前記物品を移載するための位置であり、前記保持位置とは平面視での位置が異なり、かつ、当該保持位置よりも高い上移載位置まで、
    前記第１保持部を移動させることを特徴とする天井搬送車。
  2. 請求項１に記載の天井搬送車であって、
    前記第１移載部は第１保持部を下方に移動させることを特徴とする天井搬送車。
  3. 請求項１又は２に記載の天井搬送車であって、
    前記第１移載部は、
    移動方向の成分に横方向を含む第１移動を行って前記第１保持部を横出しして、
    移動方向の成分に上方向を含む第２移動を行って前記第１保持部を上昇させて前記物品を前記上移載位置に移載することを特徴とする天井搬送車。
  4. 請求項３に記載の天井搬送車であって、
    駆動部と、
    前記駆動部が発生させた駆動力を前記上移載位置にある上段棚に伝達することで、当該上段棚に前記物品を移載可能な状態にする操作部と、
    を備え、
    前記駆動部及び前記操作部が、前記第１移動とともに横出しされることを特徴とする天井搬送車。
  5. 請求項２から４までの何れか一項に記載の天井搬送車であって、
    前記第１移載部は、
    移動方向の成分に横方向を含む第１移動を行って前記第１保持部を横出しして、
    移動方向の成分に下方向を含む第２移動を行って前記第１保持部を下降させて前記物品を下移載位置に移載することを特徴とする天井搬送車。
  6. 請求項１から５までの何れか一項に記載の天井搬送車であって、
    前記第１移載部は、少なくとも前記レールと同じ高さまで前記第１保持部を上昇させることを特徴とする天井搬送車。
  7. 請求項１から６までの何れか一項に記載の天井搬送車であって、
    前記物品の側面及び上面の少なくとも一方を保持する第２保持部と、
    前記物品を保持した状態で前記第２保持部を少なくとも下方に移動させる第２移載部と、
    を備えることを特徴とする天井搬送車。
  8. 請求項７に記載の天井搬送車であって、
    前記第１移載部は、前記第２移載部が前記第２保持部を下方に移動させる軌跡から、前記第１保持部を退避させる退避機構を備えることを特徴とする天井搬送車。
  9. 請求項７又は８に記載の天井搬送車であって、
    前記第２移載部は、移動方向の成分に横方向を含む第３移動を行って前記第２保持部を横出しして、
    移動方向の成分に下方向を含む第４移動を行って前記第２保持部を下降させて前記物品を下移載位置に移載し、
    前記第１移載部は、前記第２移載部の横出し時よりも高い位置まで、前記第１保持部を上昇させることを特徴とする天井搬送車。
  10. 請求項９に記載の天井搬送車であって、
    前記第１移動後における前記第１移載部の下端位置は、前記下移載位置に移載された物品の上端よりも上方にあることを特徴とする天井搬送車。
  11. 請求項１から１０までの何れか一項に記載の天井搬送車であって、
    前記第１移載部は、
    前記第１保持部を横方向にスライドする横スライド機構と、
    前記第１保持部を上方向にスライドする上スライド機構と、
    を備えることを特徴とする天井搬送車。
  12. 請求項１から１０までの何れか一項に記載の天井搬送車であって、
    前記第１移載部は、
    回転可能に連結された複数のアームを含むアーム機構を備え、
    前記アームを独立して動作させることで、前記第１保持部を前記保持位置から前記上移載位置まで移動させることを特徴とする天井搬送車。
  13. 請求項１から１２までの何れか一項に記載の天井搬送車であって、
    前記物品がウエハ搬送容器であり、
    前記第１保持部は、
    前記ウエハ搬送容器を保持する保持面と、
    前記保持面に形成されており、前記ウエハ搬送容器の下面の凹部に挿入される挿入ピンと、
    を備えることを特徴とする天井搬送車。
  14. 請求項１３に記載の天井搬送車であって、
    前記第１保持部が前記ウエハ搬送容器を保持した状態で、レールに沿って走行して当該ウエハ搬送容器を搬送することを特徴とする天井搬送車。
  15. 請求項７から１０までの何れか一項に記載の天井搬送車であって、
    前記物品がウエハ搬送容器であり、
    前記第２保持部は、前記ウエハ搬送容器の上面のフランジ部を保持するチャックであることを特徴とする天井搬送車。
  16. 請求項７から１０までの何れか一項に記載の天井搬送車であって、
    前記レールに沿って走行中に、前記第１保持部と前記第２保持部との間で前記物品を持ち替えることを特徴とする天井搬送車。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112912321B (zh) * 2018-11-06 2022-11-11 村田机械株式会社 顶棚悬吊搁板
EP4432336A1 (de) * 2023-02-23 2024-09-18 Fabmatics GmbH Shuttlelager und verfahren zum herstellen desselben

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009510776A (ja) * 2005-09-28 2009-03-12 アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド 不連続コンベヤーシステム
WO2017029871A1 (ja) * 2015-08-14 2017-02-23 村田機械株式会社 搬送システム
WO2017141555A1 (ja) * 2016-02-15 2017-08-24 村田機械株式会社 保管装置及び搬送システム

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6283692B1 (en) * 1998-12-01 2001-09-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
US6435330B1 (en) * 1998-12-18 2002-08-20 Asyai Technologies, Inc. In/out load port transfer mechanism
JP2001225909A (ja) 2000-02-10 2001-08-21 Daifuku Co Ltd 荷出し入れ装置の学習方法
JP4682455B2 (ja) 2001-06-15 2011-05-11 ムラテックオートメーション株式会社 物品搬送車
US20070092359A1 (en) * 2002-10-11 2007-04-26 Brooks Automation, Inc. Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position
US7578650B2 (en) * 2004-07-29 2009-08-25 Kla-Tencor Technologies Corporation Quick swap load port
JP4123383B2 (ja) * 2004-08-12 2008-07-23 村田機械株式会社 天井走行車システム
US11024527B2 (en) * 2005-06-18 2021-06-01 Frederick A. Flitsch Methods and apparatus for novel fabricators with Cleanspace
US8272827B2 (en) * 2005-11-07 2012-09-25 Bufano Michael L Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system
JP5041207B2 (ja) * 2006-11-14 2012-10-03 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US8070410B2 (en) * 2008-02-05 2011-12-06 Lutz Rebstock Scalable stocker with automatic handling buffer
US9633881B2 (en) * 2008-02-05 2017-04-25 Brooks Automation, Inc. Automatic handling buffer for bare stocker
JP5062485B2 (ja) * 2008-04-09 2012-10-31 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US8602706B2 (en) * 2009-08-17 2013-12-10 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
CN102470985B (zh) * 2009-11-27 2015-07-22 株式会社大福 顶棚输送车
EP2636614A4 (en) * 2010-11-04 2017-02-22 Murata Machinery, Ltd. Conveying system and conveying method
US8944739B2 (en) * 2012-06-01 2015-02-03 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Loadport bridge for semiconductor fabrication tools
US9356822B2 (en) * 2012-10-30 2016-05-31 Kla-Tencor Corporation Automated interface apparatus and method for use in semiconductor wafer handling systems
CN103264862B (zh) * 2013-05-03 2015-04-08 北京理工大学 一种物品自动存储、自动提取系统
JP2017030944A (ja) 2015-08-04 2017-02-09 村田機械株式会社 搬送システム
KR102453197B1 (ko) * 2015-10-30 2022-10-12 삼성전자주식회사 기판 이송 용기 저장 장치
EP3726569A1 (en) * 2019-04-18 2020-10-21 Schiller Automatisierungstechnik GmbH Method and gripper for rotating a cleanroom container

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009510776A (ja) * 2005-09-28 2009-03-12 アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド 不連続コンベヤーシステム
WO2017029871A1 (ja) * 2015-08-14 2017-02-23 村田機械株式会社 搬送システム
WO2017141555A1 (ja) * 2016-02-15 2017-08-24 村田機械株式会社 保管装置及び搬送システム

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