JP7095750B2 - 天井吊下棚 - Google Patents

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Description

本発明は、主として、天井搬送車が一時的に物品を置くための天井吊下棚に関する。
従来から、例えば半導体製品を製造する工場等では、天井に設けられたレールに沿って物品を搬送する天井搬送車が用いられている。また、このような工場には、天井搬送車が搬送する物品を一時的に保管するための棚が設けられることがある。特許文献１は、この種の天井搬送車及び棚を含む搬送システムを開示する。
特許文献１の天井搬送車は、物品を下降させる昇降装置と、物品を横移動させる横移載装置と、を備える。また、特許文献１の棚は、支柱によって支持されるとともに、上下に複数並べて配置されている。天井搬送車は、昇降装置により物品を下降させて所定の棚の高さに合わせた後に、当該物品を横移動させることで、物品を棚に置くことができる。
特開２０１７－３０９４４号公報
ここで、特許文献１のような半導体製品を製造する工場では、処理装置の処理速度の向上に伴って、更に多くの物品を保管可能な構成が求められる可能性がある。また、半導体製品を製造する工場に限られず、天井搬送車が配置される様々な建屋においても同様に、更に多くの物品を保管可能な構成が求められる可能性がある。
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、従来は物品を置くことができなかった位置に物品を置くための天井吊下棚を提供することにある。
 課題を解決するための手段及び効果
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
本発明の観点によれば、以下の構成の天井吊下棚が提供される。即ち、天井吊下棚は、建屋の天井に設けられるレールに沿って吊下げ状態で走行して物品を搬送する天井搬送車が、目標位置に搬送される前記物品を一時的に置く棚であって、天井から吊り下げられる。天井吊下棚は、前記物品を支持する上段支持面を含む上段棚を備える。前記上段支持面の高さは、前記レールの高さと略同じである。
これにより、従来は物品を置くスペースではなかった高い位置に物品を置くことができる。そのため、建屋内の空間を有効に活用することができる。
前記の天井吊下棚においては、前記上段棚は、当該上段棚の下方から上方へ向かう前記物品が通過可能な開口状態と、前記物品を支持可能であるとともに下方から上方へ向かう前記物品が通過できない閉鎖状態と、を切り替える切替機構を備えることが好ましい。
これにより、高い位置にある上段棚に下から物品を置くことができるので、物品を置く動作を簡単にすることができる。
前記の天井吊下棚においては、前記切替機構は、外部からの駆動力が伝達されることで、前記開口状態と前記閉鎖状態とを切り替えることが好ましい。
これにより、天井吊下棚毎に駆動源を備える構成と比較して、天井吊下棚のコストを下げることができる。
前記の天井吊下棚においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記上段棚は、第１軸と、第１支持部と、第２軸と、第２支持部と、を備える。前記第１軸は、回転可能である。前記第１支持部は、前記第１軸と一体的に回転する。前記第２軸は、回転可能であって前記第１軸とは軸中心の位置が異なる。前記第２支持部は、前記第２軸と一体的に回転する。前記切替機構は、外部からの駆動力を前記第１軸に回転力として伝達し、外部からの駆動力を前記第２軸に前記第１軸とは反対方向の回転力として伝達することで、前記開口状態と前記閉鎖状態とを切り替える。
これにより、第１軸と第２軸を個別に駆動する必要がないので、駆動系統を単純にできる。また、仮に第１軸と第２軸を同じ方向に回転させる場合、第１支持部が上方に回転し第２支持部が下方に回転する結果、状態の切替時の上段棚６２の上下方向の占有空間が大きくなる。これに対し、第１軸と第２軸を異なる方向に回転させることで、第１支持部と第２支持部が上下に同じ向きに動作するため、上下方向の占有空間を抑えることができる。
前記の天井吊下棚においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記切替機構は、前記第１軸と前記第２軸を連結する連結リンク機構を有している。前記連結リンク機構は、第１連結リンクと、第２連結リンクと、を備える。前記第１連結リンクは、前記第１軸側に位置する。前記第２連結リンクは、前記第２軸側に位置し、前記第１連結リンクと連結しており、前記第１連結リンクとは反対方向に回転する。
これにより、リンクを用いて第１軸と第２軸を異なる方向に回転させることができる。
前記の天井吊下棚においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記切替機構は、第１軸リンクと、第２軸リンクと、連結リンクと、を備える。前記第１軸リンクは、前記第１軸と一体的に回転する。前記第２軸リンクは、前記第２軸と一体的に回転する。前記連結リンクは、前記第１軸リンクと前記第２軸リンクが異なる方向に回転するように、前記第１軸リンクと前記第２軸リンクを連結する。
これにより、主に１つの連結リンクを用いて第１軸と第２軸を異なる方向に回転させることができるので、機構を単純にすることができる。
前記の天井吊下棚においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記切替機構は、第１プーリと、第１ベルトと、第１歯車と、第２歯車と、第２プーリと、第２ベルトと、を備える。前記第１ベルトは、前記第１プーリに巻き掛けられるとともに前記第１軸を回転させる。前記第１歯車は、前記第１プーリと一体的に同方向に回転する。前記第２歯車は、前記第１歯車と直接又は偶数個の歯車を介して噛み合うことで、前記第１歯車とは反対方向に回転する。前記第２プーリは、前記第２歯車と一体的に同方向に回転する。前記第２ベルトは、前記第２プーリに巻き掛けられるとともに前記第２軸を回転させる。
これにより、ベルトとプーリを用いて第１軸と第２軸を異なる方向に回転させることができる。
前記の天井吊下棚においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記切替機構は、連結ベルトと、第１リールと、第２リールと、を備える。前記第１リールは、前記第１軸と一体的に回転し、前記連結ベルトが巻かれる。前記第２リールは、前記第２軸と一体的に回転し、前記第１リールと同じ向きに前記連結ベルトが巻かれる。外部からの駆動力で前記第１リールが回転して当該第１リールに前記連結ベルトが巻き付けられた場合は、前記第１リールと反対方向に前記第２リールが回転する。外部からの駆動力で前記第２リールが回転して当該第２リールに前記連結ベルトが巻き付けられた場合は、前記第２リールと反対方向に前記第１リールが回転する。
これにより、ベルトをループ状に配置する必要がないので、短いベルトを用いて第１軸と第２軸を異なる方向に回転させることができる。
前記の天井吊下棚においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、この天井吊下棚は、前記上段棚に加え、平面視で前記上段棚と重なる下段棚を備える。前記下段棚は、前記上段棚よりも下方に配置されている。前記下段棚は、前記物品が上下に通過できないように構成されている。
これにより、上下に棚を配置できるので、建屋内の空間を一層有効に活用することができる。
前記の天井吊下棚においては、１区画の前記上段棚に前記物品を置くことができる数は、１区画の前記下段棚に前記物品を置くことができる数よりも少ないことが好ましい。
これにより、物品の搬送方法の違い等に基づいて効率的に物品を配置することが可能となる。
前記の天井吊下棚においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記物品は、ウエハを搬送するウエハ搬送容器である。前記上段棚は、前記上段支持面に形成されており前記ウエハ搬送容器の底面の凹部に挿入される挿入ピンを備える。
これにより、上段棚が挿入ピンを備えることで、ウエハ搬送容器の姿勢を安定させることができる。
前記の天井吊下棚においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記目標位置は、前記ウエハを処理する処理装置に対して前記ウエハ搬送容器を置くための場所である。前記上段棚は、前記目標位置よりも高い位置に配置されている。
これにより、ロードポートより高い位置に存在する空間を有効活用できる。
前記の天井吊下棚においては、前記上段棚は、前記レールを挟むように両側に配置されることが好ましい。
これにより、建屋内の空間を一層有効に活用することができる。
前記の天井吊下棚においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、この天井吊下棚は、前記上段棚に支持される前記物品の側面に対向するように配置される上段側面ガイドを備える。前記レールの下端より高い位置に前記上段側面ガイドが配置されている。
これにより、比較的高い位置に上段棚を配置できる。
前記の天井吊下棚においては、前記レールを向く面を正面とした場合における背面に、前記物品の落下を防止する落下防止部が配置されることが好ましい。
これにより、例えば物品を天井吊下棚に移載する場合等において、物品の落下を一層確実に防止できる。
第１実施形態に係る天井吊下棚を備える搬送システムの構成を概略的に示す平面図。 天井搬送車及び天井吊下棚の構成を概略的に示す正面図。 天井搬送車及び天井吊下棚の構成を示す斜視図。 主に天井搬送車に設けられる駆動部等の構成を示すブロック図。 天井搬送車の下段棚用移載部の構成を示す正面図。 ＦＯＵＰの底面側に設けられる退避機構の構成を示す斜視図。 上段棚を閉鎖状態から開口状態に切り替える様子を示す斜視図。 上段棚用移載部の横スライド機構及び上スライド機構を動作させる様子を示す斜視図。 上段棚にＦＯＵＰを置く様子を示す斜視図。 第２実施形態の天井搬送車に設けられる駆動部等の構成を示すブロック図。 第２実施形態の上段棚用移載部を動作させる様子を示す正面図。 第３実施形態の天井吊下棚を概略的に示す正面図。 第４から第７実施形態の天井搬送車を示す斜視図。 第４から第７実施形態の上段棚を示す斜視図。 第４実施形態の上段棚が閉鎖状態から開口状態に切り替わる流れを示す概略正面図。 第５実施形態の上段棚が閉鎖状態から開口状態に切り替わる流れを示す概略正面図。 第６実施形態の上段棚が閉鎖状態から開口状態に切り替わる流れを示す概略正面図。 第７実施形態の上段棚が閉鎖状態から開口状態に切り替わる流れを示す概略正面図。
次に、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。初めに、図１を参照して搬送システム１の概要について説明する。図１は、第１実施形態に係る搬送システム１の構成を概略的に示す平面図である。
本実施形態の搬送システム１は、半導体製品を製造する工場（建屋、施設）に設置されており、様々な物品を搬送するためのシステムである。本実施形態の搬送システム１が搬送する物品は、ウエハ（半導体ウエハ）を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ－Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）である。なお、物品は、レチクルを収容するレチクルポッドであってもよい。図１に示すように、搬送システム１は、レール２と、天井搬送車３と、天井吊下棚６と、を備える。
レール２は、工場の天井７に設けられている。天井搬送車３は、レール２に沿って吊下げ状態で走行可能に構成されている。また、図１には天井搬送車３が１台のみ示されているが、天井搬送車３を複数台備える構成であってもよい。
また、この工場には、処理装置４及びロードポート５が配置されている。処理装置４は、ＦＯＵＰに収容されたウエハに様々な処理を行う装置である。ロードポート５は、処理装置４が処理を行う空間に接続されている。天井搬送車３によって搬送されたＦＯＵＰはロードポート５に置かれる。その後、ＦＯＵＰ内のウエハは、取り出された後に処理装置４で処理される。処理済みのウエハはＦＯＵＰに収容され、ＦＯＵＰは同一又は別の天井搬送車３によって別の工程を行う位置へ搬送される。図１に示すように、天井吊下棚６の下方にロードポート５が配置されていてもよいし、レール２の下方にロードポート５や図示しない一時保管棚が配置されていてもよい。
天井吊下棚６は、工場の天井７に設けられている。天井吊下棚６は、目標位置である処理装置４及びロードポート５が占有されている（使用中である）場合等に、これらが占有解除（使用可能）になるまでＦＯＵＰ等を一時的に置いておくための棚である。本実施形態では、天井吊下棚６はレール２の長手方向に沿うように、当該レール２と平行に配置されている。本実施形態の天井吊下棚６は、レール２の両側に配置されているが、片側のみに配置されていてもよい。
次に、図２から図６を参照して、レール２、天井搬送車３、及び天井吊下棚６について詳細に説明する。なお、図３等の斜視図では、レール２の片側に配置される天井吊下棚６及び後述の落下防止部６７の図示を省略する。
図２に示すように、工場の天井７には支柱８が接続されている。この支柱８によって、レール２及び天井吊下棚６が天井７に吊り下げられている。また、天井搬送車３は、支柱８及びレール２を介して天井７に吊り下げられている。
図２及び図３に示すように、天井吊下棚６は、側板６１と、上段棚（第１棚）６２と、下段棚（第２棚）６５と、を備える。側板６１は、上記の支柱８によって天井７に吊り下げられている。側板６１は、上段棚６２及び下段棚６５を支持している。また、側板６１は、一定の間隔で配置されており、２枚の側板６１で挟まれる空間が一区画に相当する。天井吊下棚６は、同じ構成の複数の区画が連続するように構成されている。
本実施形態の上段棚６２は、一区画に２つのＦＯＵＰ８０を置くことができる。上段棚６２は、下段棚６５よりも高い位置に配置されている。詳細には、上段棚６２のうちＦＯＵＰ８０を支持する上段支持面６２ａ（図２、第１支持面）の高さは、レール２の高さと略同じである。具体的には、上段支持面６２ａの高さが、レール２の下端近傍から上端近傍の高さの間である。なお、「略同じ」であるため、上段支持面６２ａの高さがレール２の下端よりも僅かに低い場合及びレール２の上端よりも僅かに高い場合も含まれる。また、上段支持面６２ａがＦＯＵＰ８０を支持する高さは、移動中の天井搬送車３がＦＯＵＰ８０を支持する高さよりも高く、ロードポート５がＦＯＵＰ８０を支持する高さよりも高い。更に、上段支持面６２ａの高さは、後述の下段棚用移載部３０の上端よりも高い。また、上段支持面６２ａは、天井搬送車３とは水平方向の位置が異なるとともに、当該天井搬送車３よりも高い位置に配置されている。
天井吊下棚６は、ＦＯＵＰ８０の側面８３に対向するように配置される上段側面ガイド６３を備える。上段側面ガイド６３を備えることで、上段棚６２に配置されたＦＯＵＰ８０の落下及び位置ズレ等を防止できる。また、上段側面ガイド６３は、レール２の下端よりも高い位置に配置されている。なお、上段側面ガイド６３は、上段支持面６２ａよりも高い位置に設定されていればよく、必ずしもレール２の下端よりも高い位置に配置される必要はない。
図５に示すように、上段棚６２は、所定の回転軸を中心として回転することで、開閉可能に構成されている。具体的には、上段棚６２は、上段棚６２を外側に位置させて下からＦＯＵＰ８０を通過させることができる開口状態（図５の鎖線）と、上段棚６２を内側に位置させて開口を一部又は全部閉鎖することでＦＯＵＰ８０を支持する閉鎖状態と、を実現できる。
また、天井吊下棚６は、上段棚６２の開口状態と閉鎖状態とを切り替えるための切替機構６４（図３及び図４）を備える。切替機構６４は、外部から伝達された動力を伝達するギア及びリンク等によって構成されている。本実施形態では天井吊下棚６は上段棚６２の状態を切り替えるための駆動部を有しておらず、天井搬送車３から伝達された動力によって、上段棚６２の開閉状態が切り替えられる。
具体的には、天井搬送車３は、切替機構６４を操作するスライド操作部５７を備える。図４に示すようにスライド操作部（操作部）５７は開閉モータ（駆動部）５８によって駆動される。スライド操作部５７は、通常位置と押圧位置との間で位置を変更可能に構成される。スライド操作部５７が通常位置にある場合、スライド操作部５７は切替機構６４に接触しておらず、上段棚６２は閉鎖状態となる。スライド操作部５７が押圧位置にある場合、スライド操作部５７が切替機構６４を動作させることで、上段棚６２が開口状態に切り替えられる。
本実施形態では、上段棚６２を回転させることで開口状態と閉鎖状態を切り替える構成であるが、上段棚６２をスライドさせることで、開口状態と閉鎖状態とを切り替える構成であってもよい。また、上段棚６２の状態を切り替えるための駆動部を天井吊下棚６が備える構成であってもよい。
本実施形態の下段棚６５は、一区画に３つのＦＯＵＰ８０を置くことができる。言い換えれば、下段棚６５は、一区画に（言い換えれば単位長さあたりに）上段棚６２よりも多い数のＦＯＵＰ８０を置くことができる。詳細は後述するが、上段棚６２と下段棚６５ではＦＯＵＰ８０を置くための機構が異なるため、このような差異が生じている。下段棚６５は、上段棚６２よりも低い位置に配置されている。詳細には、下段棚６５の下段支持面６５ａ（第２支持面）がＦＯＵＰ８０を支持する高さは、移動中の天井搬送車３がＦＯＵＰ８０を支持する高さよりも低く、ロードポート５がＦＯＵＰ８０を支持する高さよりも高い。また、下段支持面６５ａが支持するＦＯＵＰ８０の上端は、後述の上段棚用移載部４０の下端よりも（詳細には横方向に移動した後の上段棚用移載部４０の下端よりも）下方にある。
下段棚６５は、常に閉鎖状態にあり、上段棚６２とは異なり状態を切り替えることができない。言い換えれば、下段棚６５は、上下にＦＯＵＰ８０を通過できないように構成されている。具体的な構造としては、下段棚６５は、隣接する側板６１を接続する棚板である。
天井吊下棚６は、ＦＯＵＰ８０の側面８３に対向するように配置される下段側面ガイド６６を備える。下段側面ガイド６６を備えることで、下段棚６５に配置されたＦＯＵＰ８０の落下及び位置ズレ等を防止できる。
天井吊下棚６は、落下防止部６７を備える。落下防止部６７は、網、柵、又は平板等である。落下防止部６７は、天井吊下棚６のうちレール２（天井搬送車３）を向く面を正面としたときの反対側の面（背面）に設けられている。言い換えれば、落下防止部６７は、平面視でレール２と直交する方向において、レール２から遠い側の部分に設けられている。落下防止部６７は、上段棚６２又は下段棚６５に置かれたＦＯＵＰ８０がレール２から離れる側に動いたり倒れたりした際に、当該ＦＯＵＰ８０に接触することで、ＦＯＵＰ８０の落下を防止する。
本実施形態の落下防止部６７は、ＦＯＵＰ８０の落下を確実に防止するために、上段棚６２又は下段棚６５に置かれたＦＯＵＰ８０の下端から上端までを覆うように配置されている。言い換えれば、落下防止部６７の表面に垂直な方向で見たときに、ＦＯＵＰ８０の全体が落下防止部６７と重なる。また、本実施形態では、落下防止部６７は、上段棚６２の下端から下段棚６５に置かれたＦＯＵＰ８０の上端までを覆うが、上段棚６２側と下段棚６５側に分割されていてもよい。
また、落下防止部６７は、上段棚６２又は下段棚６５に置かれるＦＯＵＰ８０を挟んで天井搬送車３の反対側に配置されている。従って、天井搬送車３から上段棚６２又は下段棚６５に載置する途中のＦＯＵＰ８０が、既に載置済みのＦＯＵＰ８０に接触した場合であっても、当該載置済みのＦＯＵＰ８０の落下を防止できる。
レール２は、走行レール２ａと、給電レール２ｂと、を備える。走行レール２ａには、天井搬送車３（詳細には後述の車輪２２）を支持するととともに、当該天井搬送車３を走行させるための走行支持面が形成されている。給電レール２ｂは、走行レール２ａの下側に配置されている。給電レール２ｂには、図略の給電線が配置されており、天井搬送車３に電力を供給する。
天井搬送車３は、レール２に沿って走行するための構成として、走行モータ２１と、車輪２２と、受電部２３と、を備える。走行モータ２１は、走行レール２ａ内に配置されている。走行モータ２１は、天井搬送車３を走行させるための動力を発生させる。車輪２２は、上記の走行レール２ａの走行支持面に接するように配置されている。車輪２２は、走行モータ２１によって回転駆動される。受電部２３は、給電レール２ｂ内に配置されている。受電部２３は、給電レール２ｂの給電線から電力を取得するピックアップコイル等であり、給電線から取得した電力を走行モータ２１等の電気機器に供給する。
図４に示すように、走行モータ２１等の各種の駆動源及び電気機器は制御装置１００によって制御されている。制御装置１００は、天井搬送車３の適宜の位置に設けられたコンピュータとして構成されている。制御装置１００は、ＣＰＵ等の演算装置と、フラッシュメモリ又はハードディスク等の記憶装置と、外部と通信するための入出力部と、を備える。記憶装置には、各種のプログラムや設定値が記憶されている。演算装置は、各種プログラム等を記憶装置から読み出し、天井搬送車３の各部の動作を制御する。
図３に示すように、天井搬送車３は、走行方向の前後に並べて配置された一対のカバー３ａを備える。ＦＯＵＰ８０を保持したり移載したりするための構成は、この一対のカバー３ａの間に配置されている。
天井搬送車３は、図２等に示すように、ＦＯＵＰ８０を保持するための構成として、チャック（第２保持部）５１と、保持台（第１保持部）５２と、を備える。チャック５１は、ＦＯＵＰ８０の上面のフランジ部８２を掴んで保持する。チャック５１は、フランジ部８２の保持の有無を切替可能である。
保持台５２は、ＦＯＵＰ８０の底面８１を保持する。具体的には、図５、６、９等に示すように、保持台５２の保持面５２ａ（底面８１に接触する面）には、所定の位置に複数の挿入ピン５２ｂが形成されている。一方、ＦＯＵＰ８０の底面８１には、図６に示すように、所定形状の凹部８１ａが形成されている。複数の挿入ピン５２ｂが形成される位置と、凹部８１ａの形状は対応している。この構成により、挿入ピン５２ｂを凹部８１ａに挿入することで、ＦＯＵＰ８０を安定的に保持できる。また、保持台５２の近傍には、ＦＯＵＰ８０の位置ズレ等を防止するガイド部材５３が設けられている。
天井搬送車３の走行中においては、保持台５２によりＦＯＵＰ８０が保持される。なお、以下の説明では、走行中の天井搬送車３がＦＯＵＰ８０を保持する位置を保持位置と称する。ＦＯＵＰ８０を保持台５２により保持することで、ＦＯＵＰ８０を安定させることができる。なお、天井搬送車３の走行中において、チャック５１及び保持台５２の両方又はチャック５１のみにより、ＦＯＵＰ８０が保持される構成であってもよい。
天井搬送車３は、保持位置にあるＦＯＵＰ８０を下段棚６５（下移載位置）に置くために移動させる下段棚用移載部（第２移載部）３０と、保持位置にあるＦＯＵＰ８０を上段棚６２（上移載位置）に置くために移動させる上段棚用移載部（第１移載部）４０と、を備える。なお、下段棚用移載部３０は、ＦＯＵＰ８０をロードポート５に置くためにも用いられる。
初めに、下段棚用移載部３０について説明する。下段棚用移載部３０はチャック５１を横方向（水平方向）に移動すること（第３移動）が可能であるとともに、チャック５１を下方向に移動すること（第４移動）が可能である。図２及び図５等に示すように、下段棚用移載部３０は、横移載機構３１と、下移載機構３３と、を備える。また、図４に示すように、横移載機構３１は横移載モータ３２によって駆動され、下移載機構３３は下移載モータ３４によって駆動される。
横移載機構３１は、チャック５１を横方向（具体的には平面視で進行方向に直交する方向）に移動させることができるように構成されている。具体的には、横移載機構３１は、横方向に移動可能な複数の可動板を備えている。また、チャック５１は、最下方の可動板と一体的に移動するように構成されている。横移載機構３１は、横移載モータ３２の動力によって、複数の可動板を図５に示すように横方向にそれぞれスライドさせることで、横移載機構３１に支持されるチャック５１を横方向に移動させる。これにより、ＦＯＵＰ８０を横方向に移動させることができる。なお、本実施形態では横移載機構３１の上端よりも高い位置に上段支持面６２ａが位置しているため、横移載機構３１による横方向への移動時に、当該横移載機構３１が上段棚６２及び上段棚６２に支持されたＦＯＵＰ８０等と接触しない。
下移載機構３３は、チャック５１を下方向に移動させることができるように構成されている。下移載機構３３は、例えばホイストであり、下移載モータ３４の動力によって図５に示すようにワイヤ等の吊下げ部材を降下させたり巻き取ったりすることができる。これにより、ＦＯＵＰ８０を上下方向に移動させることができる。
また、下移載機構３３は、横移載機構３１の最下方の可動板と一体的に移動するように構成されている。そのため、横移載機構３１による横方向の移動と、下移載機構３３による下方向の移動と、を両立させることができる。従って、下段棚用移載部３０は、移載位置が真下及び真横だけでなく、斜め下方であってもＦＯＵＰ８０を移載できる。
ここで、ＦＯＵＰ８０を保持台５２に保持させた状態では、部材同士の干渉が生じるため、下段棚用移載部３０（特に下移載機構３３）を用いてＦＯＵＰ８０を移動させることができない。従って、本実施形態では、下段棚用移載部３０によるＦＯＵＰ８０の移動を行う前に、保持台５２をＦＯＵＰ８０から外すとともに、ＦＯＵＰ８０の下方から（詳細には下段棚用移載部３０がチャック５１を下方に移動させる軌跡から）保持台５２を退避させる。この退避を行うための構成として、天井搬送車３は、図６に示すように退避機構５５及び退避モータ５６を備える。
退避機構５５は、退避モータ５６の動力によって動作するリンクを含んでいる。また、このリンクはガイド部材５３に回転可能に連結されている。また、保持台５２はガイド部材５３と一体的に所定の軌跡で移動するように構成されている。以上により、退避モータ５６の動力によって退避機構５５のリンクを動作させることで、保持台５２及びガイド部材５３をＦＯＵＰ８０の後方に移動させることで、ＦＯＵＰ８０の下方から退避させることができる。なお、レール２の下方に天井７から吊り下げ設置される仮置き棚（ＵＴＢ、Ｕｎｄｅｒ Ｔｒａｃｋ Ｂｕｆｆｅｒ）を追加してもよい。仮置き棚は、平面視でレール２と重なる位置にあり、レール２の延びる方向においてロードポート５と位相をズラして設置されている。第２移載部は、この仮置き棚に対してＦＯＵＰ８０を移載することができる。
上述したように天井搬送車３の走行中では、ＦＯＵＰ８０は保持台５２に保持され、チャック５１には保持されていない。従って、天井搬送車３が停止してＦＯＵＰ８０を下段棚６５又はロードポート５に移載する場合、チャック５１でＦＯＵＰ８０を保持した後に、退避モータ５６を駆動して、ＦＯＵＰ８０から保持台５２を取り外す。その後、下段棚用移載部３０による移載が行われる。
次に、主に図７及び図８を参照して、上段棚用移載部４０について説明する。
図７及び図８に示すように、上段棚用移載部４０は、走行方向においてカバー３ａとＦＯＵＰ８０の間の空間に設けられている。上段棚用移載部４０は保持台５２を横方向に移動すること（第１移動）が可能であるとともに、保持台５２を上方向に移動すること（第２移動）が可能である。なお、第１移動は移動方向に横方向が含まれていればよく、真横方向以外も含む。第２移動以降についても同様である。図８に示すように、上段棚用移載部４０は、横スライド機構４１と、上スライド機構４３と、を備える。また、図４に示すように、横スライド機構４１は横スライドモータ４２によって駆動され、上スライド機構４３は上スライドモータ４４によって駆動される。
横スライド機構４１は、保持台５２を横方向（具体的には平面視で進行方向に直交する方向）に移動させることができるように構成されている。具体的には、横スライド機構４１は、横方向に移動可能な複数の可動板を備えている。詳細には、横スライド機構４１は互いにベルト又はチェーンで連結された３枚の可動板である。また、保持台５２は、最内側の可動板と一体的に移動するように構成されている。横スライド機構４１は、横スライドモータ４２の動力によって、複数の可動板を図８に示すように横方向にそれぞれスライドさせることで、横スライド機構４１に支持される保持台５２を横方向に移動させる。これにより、ＦＯＵＰ８０を横方向に移動させることができる。
上スライド機構４３は、保持台５２を上方向に移動させることができるように構成されている。具体的には、上スライド機構４３は、上方向に移動可能な複数の可動板を備えている。また、保持台５２は、最内側の可動板と一体的に移動するように構成されている。上スライド機構４３は、上スライドモータ４４の動力によって、複数の可動板を図８に示すように上方向にそれぞれスライドさせることで、上スライド機構４３に支持される保持台５２を上方向に移動させる。これにより、ＦＯＵＰ８０を上方向に移動させることができる。また、本実施形態ではＦＯＵＰ８０の側面に上スライド機構４３が位置した状態でＦＯＵＰ８０を上段棚６２に移載する。従って、上スライド機構４３と別のＦＯＵＰ８０との干渉を避けるために、上段棚６２同士の間隔を広くする必要がある。そのため、上段棚６２と下段棚６５とでは、一区画に配置可能なＦＯＵＰ８０の数が異なる。
次に、保持位置にあるＦＯＵＰ８０を上段棚６２に移載するときの流れについて、図７から図９を参照して説明する。
初めに、天井搬送車３は、移載先の上段棚６２の横で停止する（図７の上側）。次に、天井搬送車３は、スライド操作部５７を押圧位置に移動させて上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替える（図７の下側）。なお、本実施形態とは異なり走行中の天井搬送車３がチャック５１のみでＦＯＵＰ８０を保持している場合、チャック５１を外して保持台５２を用いてＦＯＵＰ８０を保持する。
次に、天井搬送車３は、横スライド機構４１を動作させてＦＯＵＰ８０を横方向に移動させる（図８の上側）。このとき、ＦＯＵＰ８０は上段棚６２の真下に位置している。次に、天井搬送車３は、上スライド機構４３を動作させてＦＯＵＰ８０を上方向に移動させる（図８の下側）。このとき、ＦＯＵＰ８０は、上段棚６２を適切に回転させるために上移載位置よりも上方に位置している。なお、本実施形態では、横スライド機構４１による横方向の移動が完了した後に上スライド機構４３による上方向の移動が行われるが、横方向の移動が完了する前に上方向の移動を開始してもよい。また、上述したように、横方向に移動した後の上段棚用移載部４０（横スライド機構４１）の下端は、下段棚６５に支持されているＦＯＵＰ８０の上端よりも上方にある（更に言えば平面視で重なる位置にある）。従って、横スライド機構４１と、下段棚６５に載置されたＦＯＵＰ８０と、が干渉することが防止されている。
次に、天井搬送車３は、スライド操作部５７を通常位置に移動させて上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替える（図９の上側）。次に、天井搬送車３は、上スライド機構４３及び横スライド機構４１を天井搬送車３に格納する動作を開始する（図９の下側）。
このように、天井搬送車３が上段棚用移載部４０を備えるとともに、天井吊下棚６が上段棚６２を備えることで、高い位置（本実施形態ではレール２と同じ高さ）にＦＯＵＰ８０を置くことができる。従って、工場内の空間、具体的にはこれまで有効活用されていなかったレール２の真横の空間を有効に活用できる。特に、半導体製品を製造するための工場では、工場内の清浄度を高める必要があるため、工場内の空間が大きくなるに連れて設備コストが増大する。そのため、本実施形態の搬送システム１は半導体製品を製造するための工場において、特に有効である。
なお、搬送システム１を構成する複数の天井搬送車３は、全てが上段棚用移載部４０を備える構成であってもよいし、一部の天井搬送車３のみが上段棚用移載部４０を備える構成であってもよい。後者の場合、２種類の天井搬送車３は、ともに同じ構成の下段棚用移載部３０を備えることが好ましい。これにより、２種類の天井搬送車３で下段棚６５を共通して使用できる。
次に、図１０及び図１１を参照して、第２実施形態について説明する。
上記の第１実施形態では、上段棚用移載部４０は横スライド機構４１及び横スライドモータ４２を備える。これに対し、第２実施形態の上段棚用移載部９０は、回転可能に連結された複数のアームを含むアーム機構である。
具体的には、図１１に示すように、上段棚用移載部９０は、天井搬送車３に近い側から順に、第１アーム９１と、第２アーム９３と、第３アーム９５と、を備える。また、図１０に示すように、第１アーム９１は第１アームモータ９２によって駆動され、第２アーム９３は第２アームモータ９４によって駆動され、第３アーム９５は第３アームモータ９６によって駆動される。このように、それぞれのアームは独立して動作可能である。
第１アーム９１の基端は天井搬送車３に連結されており、第１アーム９１の先端は第２アーム９３の基端に回転可能に連結されている。また、第２アーム９３の先端は第３アーム９５の基端に回転可能に連結されている。また、第３アーム９５の先端には第１保持部９７が連結されている。
また、上段棚用移載部９０によるＦＯＵＰ８０の移載を行う場合は、図１１に示すように、第１アーム９１、第２アーム９３、及び第３アーム９５のそれぞれの回転角度を調整することで、第１保持部９７を水平に維持しつつ、第１保持部９７を上段棚６２まで移動させることができる。具体的に説明すると、初めに、ＦＯＵＰ８０が天井搬送車３に保持されている状態から、第１アーム９１を回転させることで、第１保持部９７は主に横方向に移動する（第１移動、図１１の上側）。その後、第１アーム９１の回転角度が大きくなるに連れて、第１保持部９７が主に上方向に移動することとなる（第２移動、図１１の下側）。なお、第１アーム９１を回転させることで、第２アーム９３及び第３アーム９５の回転角度が変化するため、第１保持部９７が水平になるように第２アーム９３及び第３アーム９５を回転させる。
次に、図１２を参照して、第３実施形態について説明する。
第１実施形態では、保持台５２の挿入ピン５２ｂをＦＯＵＰ８０の凹部８１ａに挿入した状態で、上段棚用移載部４０がＦＯＵＰ８０を移動させる。この構成に代えて、上段棚６２の上段支持面６２ａに挿入ピン６２ｂ（図１２）を形成してもよい。この挿入ピン６２ｂをＦＯＵＰ８０の凹部８１ａに挿入することで、上段棚６２に置いたＦＯＵＰ８０の姿勢を安定させることができる。また、上段棚６２に代えて又は加えて、下段棚６５についても同様に、下段支持面６５ａに挿入ピン６５ｂを形成し、この挿入ピン６５ｂをＦＯＵＰ８０の凹部８１ａに挿入してもよい。
なお、ＦＯＵＰ８０の凹部８１ａに、保持台５２の挿入ピン５２ｂが挿入される第１凹部と、上段棚６２の挿入ピン６２ｂ（又は下段棚６５の挿入ピン６５ｂ）が挿入される第２凹部と、をそれぞれ形成してもよい。これにより、ＦＯＵＰ８０の上移載の途中、及び、上移載の後の両方において、ＦＯＵＰ８０の姿勢を安定させることができる。なお、第１から第３実施形態の特徴は適宜組み合わせることができる。例えば、第１実施形態の落下防止部６７を第２実施形態又は第３実施形態に適用することができる。
次に、図１３から図１８を参照して、第４から第７実施形態について説明する。第４から第７実施形態は、スライド操作部５７の代わりに回転操作部（操作部）５９を用いて上段棚６２に駆動力を供給する構成である。初めに、図１３及び図１４を参照して、第４から第７実施形態に共通の構成を説明する。
図１３に示すように、これらの実施形態の天井搬送車３は、上述した開閉モータ５８及び回転操作部５９に加え、モータ取付部４５を備える。モータ取付部４５は、上段棚用移載部４０に取り付けられている。詳細には、上段棚用移載部４０のうち、保持台５２（ＦＯＵＰ８０）を横方向に移動させる第１移動時に移動する部分であって、かつ、保持台５２を上方向に移動させる第２移動時に移動しない部分に取り付けられている。この構成により、回転操作部５９は、第１移動時に横方向に移動する。これらの実施形態では、モータ取付部４５は、進行方向の一側のみに取り付けられているが、両側に取り付けられていてもよい。
モータ取付部４５には、開閉モータ５８と、回転操作部５９と、が取り付けられている。開閉モータ５８は、上記実施形態と同様に、上段棚６２の開口状態と閉鎖状態を切り替えるための駆動力を発生させる。開閉モータ５８は、回転方向及び回転量を制御可能に構成されている。回転操作部５９は、開閉モータ５８が発生させた駆動力により回転する部材である。回転操作部５９は、スライド操作部５７と同様に、この駆動力を上段棚６２側に伝達する。なお、モータ取付部４５、開閉モータ５８、及び回転操作部５９は、上スライド機構４３の第２移動時に干渉しない位置（例えば上スライド機構４３の外側）に配置されている。
また、これらの実施形態では、開閉モータ５８及び回転操作部５９は、進行方向及び上下方向の両方に直交する方向（左右方向）に並べて２つずつ配置されている。左右方向の一側の開閉モータ５８及び回転操作部５９は、左右方向の一側の上段棚６２にＦＯＵＰ８０を移載する際に用いられ、左右方向の他方の開閉モータ５８及び回転操作部５９は、左右方向の他側の上段棚６２にＦＯＵＰ８０を移載する際に用いられる。なお、この構成に代えて、左右方向の一側と他側の何れの上段棚６２にＦＯＵＰ８０を移載する場合でも共通の開閉モータ５８及び回転操作部５９を用いる構成であってもよい。
図１４に示すように、上段棚６２は、第１軸７１と、第１アーム７２と、第１支持部７３と、第２軸７５と、第２アーム７６と、第２支持部７７と、を備える。
第１軸７１は、上段棚６２の固定部（可動しない部分、例えば上記実施形態の側板６１等）に回転可能に取り付けられている。第１アーム７２は、第１軸７１と一体的に同方向に回転するように構成されている。第１アーム７２の一端部には第１軸７１が固定され、第１アーム７２の他端部には第１支持部７３が固定されている。また、第１軸７１と第１アーム７２は一対で設けられている。上段棚６２は、一対の第１アーム７２を接続する第１支持部７３を備える。第１支持部７３は、ＦＯＵＰ８０を支持する部分である。第１支持部７３は、棒状であってもよいし、平板状であってもよい。
第２軸７５、第２アーム７６、第２支持部７７は、第１軸７１、第１アーム７２、第１支持部７３と同じ又は対称の構成である。従って、ＦＯＵＰ８０は、第１支持部７３と第２支持部７７により支持される。
以上の構成により、第１軸７１が回転することで第１アーム７２及び第１支持部７３も一体的に回転する。また、第２軸７５が回転することで第２アーム７６及び第２支持部７７も一体的に回転する。これにより、上段棚６２を閉鎖状態（実線）と開口状態（鎖線）との間で切り替えることができる。
従って、天井搬送車３から伝達される駆動力（上段棚６２の外部からの駆動力）は、第１軸７１と第２軸７５を回転させるために用いられる。また、閉鎖状態と開口状態を切り替えるためには、第１軸７１と第２軸７５を異なる方向に回転させることが好ましい。なぜなら、第１軸７１と第２軸７５を同じ方向に回転させる場合、例えば第１支持部７３が上方に回転し、第２支持部７７が下方に回転するため、上下方向の空間を大きく占有するからである。もちろん、切替機構６４を単純にするため等の目的で、第１軸７１と第２軸７５を同じ方向に回転させてもよい。
これらの実施形態では、天井搬送車３から伝達される駆動力は、切替機構６４を構成する部材である、受け部１０１と、受け軸１０２と、第１ベベルギア１０３と、第２ベベルギア１０４と、を介して第１軸７１に伝達される。受け部１０１は受け軸１０２を回転軸として回転可能に構成されている。受け部１０１は、第１移動後の回転操作部５９に対応した位置に配置されている。この構成により、第１移動後に回転操作部５９を回転させることで、回転操作部５９の回転方向及び回転量に応じて受け部１０１及び受け軸１０２が回転する。
受け軸１０２には、更に第１ベベルギア１０３が固定されている。一方で、第１軸７１には第２ベベルギア１０４が固定されている。第１ベベルギア１０３と第２ベベルギア１０４は噛み合っている。この構成により、第１ベベルギア１０３及び第２ベベルギア１０４等を介して、回転操作部５９から第１軸７１に駆動力を伝達できる。また、開閉モータ５８の回転方向を変更することで、第１軸７１の回転方向を変更できる。なお、受け部１０１、受け軸１０２、第１ベベルギア１０３、及び第２ベベルギア１０４を用いた駆動力の伝達は一例であり、適宜変更可能である。
また、これらの実施形態では、第１軸７１を回転させる駆動力は、切替機構６４により更に第２軸７５に伝達して、第２軸７５を第１軸７１とは反対方向に回転させる。これにより、１つの駆動部を用いて第１軸７１と第２軸７５を駆動して、上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替えることができる。なお、具体的な切替機構６４の構成は、実施形態によって異なる。
また、第４から第６実施形態では、開閉モータ５８を反対方向に回転させることで、第１軸７１と第２軸７５が開口状態から閉鎖状態への切替時とは逆方向に回転するため、上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替えることができる。ただし、第７実施形態では、後述のように開閉モータ５８を反対方向に回転させる処理に代えて、もう一方の回転操作部５９を用いて第２軸７５を回転させる処理を行う。つまり、第７実施形態のみ、受け部１０１、受け軸１０２、第１ベベルギア１０３、及び第２ベベルギア１０４に相当する構成が、第１軸７１だけでなく、第２軸７５にも設けられている。
次に、図１５を参照して、第４実施形態の切替機構６４について説明する。
第４実施形態の切替機構６４は、リンク支持部１１１と、連結リンク機構１１０と、を備える。リンク支持部１１１は、第１軸７１、第２軸７５、及び連結リンク機構１１０等を支持している、リンク支持部１１１は、第１軸７１、第２軸７５、及び連結リンク機構１１０等に対して従動しない。
連結リンク機構１１０は、第１軸７１と第２軸７５を連結する機構である。連結リンク機構１１０は、第１連結リンク１１２と、第１軸リンク１１３と、補助リンク１１４と、共通リンク１１５と、第２連結リンク１１６と、第２軸リンク１１７と、補助リンク１１８と、を備える。
第１連結リンク１１２は、第１軸リンク１１３、補助リンク１１４、及び共通リンク１１５に連結されている。第１軸リンク１１３は、リンク支持部１１１に形成された貫通孔を介して、第１軸７１に固定されており、第１軸７１と一体的に回転する。従って、第１軸７１が駆動されることで、第１連結リンク１１２も動く。補助リンク１１４は、リンク支持部１１１に取り付けられている。共通リンク１１５は、第１連結リンク１１２に形成された長孔状の開口部１１２ａに入り込んでいる。本実施形態では、第１軸リンク１１３、補助リンク１１４、及び共通リンク１１５の回転半径は何れも同じである。そのため、第１連結リンク１１２は、向きを変えずに（平行移動するように）動く。
第２連結リンク１１６は、第２軸リンク１１７、補助リンク１１８、及び共通リンク１１５に連結されている。第２連結リンク１１６、第２軸リンク１１７、及び補助リンク１１８は、第１連結リンク１１２、第１軸リンク１１３、及び補助リンク１１４と線対称の構成である。詳細には、第１軸７１と第２軸７５を接続する線分の中点を通り、この線分に直交する線が線対称の基準線である。また、第２連結リンク１１６の開口部１１６ａには共通リンク１１５が入り込んでいる。第２連結リンク１１６は、共通リンク１１５を介して駆動力が伝達されることで動作する。それに伴って、補助リンク１１８及び第２軸リンク１１７が回転する。第２連結リンク１１６、第２軸リンク１１７、及び補助リンク１１８の動きは、上記の基準線を基準として、第１連結リンク１１２、第１軸リンク１１３、及び補助リンク１１４と線対称である。そのため、第１軸７１の回転方向と第２軸７５の回転方向は異なる。
第１軸７１から第２軸７５に駆動力が伝達される際に、第１軸７１と第２軸７５の回転方向が変化することについて、更に説明する。図１５の上側の図では、第１連結リンク１１２と第１軸リンク１１３の連結箇所は、第１軸７１より低い位置であって、第１軸７１よりも内側の位置である。当然、第２連結リンク１１６と第２軸リンク１１７の連結箇所も、第２軸７５より低い位置であって、第２軸７５よりも内側の位置である。従って、第１軸リンク１１３と第２軸リンク１１７の両方に上向きの力が掛かることで、第１軸リンク１１３と第２軸リンク１１７は内側を通るように上方向に向かって回転する（つまり、異なる方向に回転する）。
以上により、連結リンク機構１１０を用いることで、第１軸７１を一側に回転させるだけで、第２軸７５を他側に回転させることができる。これにより、図１５に示すように第１支持部７３及び第２支持部７７を外側に回転させることができるので、上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替えることができる。同様に、第１軸７１を別の方向に回転させることで、上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替えることもできる。
また、第１連結リンク１１２は、略Ｌ字状の部材であり、第１軸リンク１１３との連結箇所から上方に退避する部分（上方に延びる部分）を含む。第２連結リンク１１６も同様である。従って、連結リンク機構１１０は、第１軸７１と第２軸７５を接続する線分の周囲に空間が形成される。これにより、上段棚６２と天井搬送車３の干渉を防止している。なお、天井搬送車３の構成によっては、第１連結リンク１１２及び第２連結リンク１１６を上方に退避させる構成は不要である。
また、回転操作部５９は、上段棚６２の状態を切り替えた後は上段棚６２から離れる。そのため、上段棚６２は、現在の状態を維持する（一定以上の力が掛かるまで状態を維持する）ストッパ等が設けられていてもよい。
次に、図１６を参照して、第５実施形態の切替機構６４について説明する。
上記の第４実施形態では、第１軸リンク１１３と第２軸リンク１１７は、２つのリンク（第１連結リンク１１２、第２連結リンク１１６）を介して連結されている。これに対し、第５実施形態では、第１軸リンク１２２と第２軸リンク１２３は、１つのリンク（連結リンク１２４）によって連結されている。なお、第１軸リンク１２２と第２軸リンク１２３は、第４実施形態と同じ構成である。
連結リンク１２４は、第１軸７１側が第１軸リンク１２２に回転可能に連結されており、第２軸７５側が第２軸リンク１２３に回転可能に連結されている。また、連結リンク１２４は、第４実施形態と同様に上方に退避した構成である。また、連結リンク１２４は、第４実施形態と同様に、第１軸リンク１２２又は第２軸リンク１２３を介してリンク支持部１２１に支持されている。また、リンク支持部１２１には、連結リンク１２４が第１軸７１等の軸方向に振れるのを防止するための振止め板１２５が固定されている。振止め板１２５は、通常時は連結リンク１２４を拘束しておらず、連結リンク１２４が第１軸７１等の軸方向に大きく動いた場合のみ、連結リンク１２４に接触してそれ以上の動きを防止する。
第１軸７１を回転させることで、第１軸リンク１２２が一体的に同方向に回転する。第１軸リンク１２２が回転することで、連結リンク１２４も動作し、それによって第２軸リンク１２３が回転する。その結果、第２軸７５が第１軸７１とは反対方向に回転する。
なお、連結リンク１２４の形状及び連結箇所によっては、第１軸７１と第２軸７５は同じ方向に回転することもある。この点、本実施形態では、第２軸７５は、第１軸７１からの駆動力が伝達されることで、第１軸７１とは反対方向に回転する。例えば、図１６の上側の図では、第１軸７１の回転により、第１軸リンク１２２と連結リンク１２４の連結箇所は、第１軸７１よりも下方を内側に向かうように回転する。この駆動力は、連結リンク１２４を介して第２軸リンク１２３に伝達される。第２軸リンク１２３と連結リンク１２４の連結箇所は、第２軸７５よりも上側にあるので、第２軸７５よりも上方を外側に向かうように回転する。その結果、第１軸７１と第２軸７５は異なる方向に回転する。
以上により、連結リンク１２４等を用いることで、第１軸７１を一側に回転させるだけで、第２軸７５を他側に回転させることができる。これにより、図１６に示すように第１支持部７３及び第２支持部７７を外側に回転させることができるので、上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替えることができる。同様に、第１軸７１を別の方向に回転させることで、上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替えることもできる。
次に、図１７を参照して、第６実施形態の切替機構６４について説明する。
第６実施形態では、ベルトとプーリを含む構成で駆動力を第１軸７１から第２軸７５に伝達する。具体的には、第６実施形態の切替機構６４は、第１ベルト１３１と、第２ベルトと１３５、を備える。
第１ベルト１３１は、駆動プーリ１３２と、第１プーリ１３３に巻き掛けられている。駆動プーリ１３２は、第１軸７１に固定されており、第１軸７１と一体的に回転する。第１ベルト１３１は、第１軸７１の回転を駆動力として動く。第１プーリ１３３は、第１軸７１と第２軸７５の間であって、第１軸７１及び第２軸７５よりも高い位置に配置されている。つまり、第４及び第５実施形態と同様に、切替機構６４の一部が上方に退避した構成である。また、切替機構６４は、第１プーリ１３３と一体的に回転する第１歯車１３４を備える。つまり、第１軸７１を回転させることで、第１歯車１３４を回転させることができる。
第１歯車１３４は、その近傍に配置される第２歯車１３６と噛み合っている。そのため、第２歯車１３６は、第１歯車１３４とは反対方向に回転する。また、切替機構６４は、第２歯車１３６と一体的に回転する第２プーリ１３７を備える。第２ベルト１３５は、第２プーリ１３７と、従動プーリ１３８に巻き掛けられている。従動プーリ１３８は、第２軸７５に固定されており、第２軸７５と一体的に回転する。
このように、第１軸７１を回転させることで、第２軸７５を回転させることができる。また、途中に第１歯車１３４と第２歯車１３６を介することで、第２軸７５は、第１軸７１とは反対方向に回転する。これにより、図１７に示すように第１支持部７３及び第２支持部７７を外側に回転させることができるので、上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替えることができる。同様に、第１軸７１を別の方向に回転させることで、上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替えることもできる。
なお、第６実施形態では、第１歯車１３４と第２歯車１３６が直接噛み合っているが、偶数個の歯車を介して噛み合っていてもよい。
次に、図１８を参照して、第７実施形態の切替機構６４について説明する。
第７実施形態の切替機構６４は、ベルトを巻き取る際にリールが回転することを利用して駆動力を伝達する。具体的には、切替機構６４は、連結ベルト１４１と、第１リール１４２と、第２リール１４３と、を備える。
第１リール１４２は、連結ベルト１４１を巻き付けることが可能に構成されている。第１リール１４２は、第１軸７１に固定されており、第１軸７１と一体的に回転する。従って、回転操作部５９を用いて第１軸７１を第１方向に回転させることで、連結ベルト１４１を巻き取ることができる。
連結ベルト１４１は、第１リール１４２から上方に退避した後に第２リール１４３に巻き付けられている。つまり、第４から第６実施形態と同様に、切替機構６４の一部が上方に退避した構成である。
第２リール１４３は、連結ベルト１４１を巻き付けることが可能に構成されている。第２リール１４３は、第２軸７５に固定されており、第２軸７５と一体的に回転する。図１８に示すように、第１リール１４２と第２リール１４３は、連結ベルト１４１を巻き付ける向きが同じである。従って、連結ベルト１４１を巻き付けるための第１リール１４２の回転方向と、連結ベルト１４１を引き出すための第２リール１４３の回転方向と、は異なる。
上述のように第１軸７１を第１方向に回転させて第１リール１４２に連結ベルト１４１を巻き取ることで、第２リール１４３は連結ベルト１４１が引き出される方向に回転する。つまり、第１軸７１と第２軸７５は異なる方向に回転する。
一方、第１軸７１を第２方向（第１方向の反対方向）に回転させても、連結ベルト１４１は第２リール１４３に巻き付くとは限らない。従って、第１軸７１の駆動力が第２軸７５に伝達されない。そのため、第７実施形態では、第１軸７１を駆動するための回転操作部５９に加え、第２軸７５を駆動するための回転操作部５９が更に設けられている。また、回転操作部５９と第２軸７５の間には、上述したように、受け部１０１、受け軸１０２、第１ベベルギア１０３、及び第２ベベルギア１０４等が設けられているものとする。
これにより、第１軸７１に加えて第２軸７５を回転駆動することができる。また、図１８に示すように、回転操作部５９が第２軸７５を回転させて、第２リール１４３が連結ベルト１４１を巻き取る方向に回転することで、第１リール１４２から連結ベルト１４１が引き出されるため、連結ベルト１４１を回転させることができる。この場合においても、第１軸７１と第２軸７５の回転方向は異なる。その結果、第１支持部７３及び第２支持部７７を外側に回転させることができるので、上段棚６２を閉鎖状態から開口状態に切り替えることができる。一方、回転操作部５９が第１軸７１を回転させて、第１リール１４２が連結ベルト１４１を巻き取る方向に回転することで、上段棚６２を開口状態から閉鎖状態に切り替えることができる。
以上に説明したように、天井吊下棚６は、建屋の天井７に設けられるレール２に沿って吊下げ状態で走行してＦＯＵＰ８０を搬送する天井搬送車３が、目標位置（ロードポート５）に搬送されるＦＯＵＰ８０を一時的に置く棚であって、天井７から吊り下げられる。天井吊下棚６は、ＦＯＵＰ８０を支持する上段支持面６２ａを含む上段棚６２を備える。上段支持面６２ａの高さは、レール２の高さと略同じである。
これにより、従来はＦＯＵＰ８０を置くスペースではなかった高い位置にＦＯＵＰ８０を置くことができる。そのため、建屋内の空間を有効に活用することができる。
また、上記実施形態の天井吊下棚６において、上段棚６２は、当該上段棚６２の下方から上方へ向かうＦＯＵＰ８０が通過可能な開口状態と、ＦＯＵＰ８０を支持可能であるとともに下方から上方へ向かうＦＯＵＰ８０が通過できない閉鎖状態と、を切り替える切替機構６４を備える。
これにより、高い位置にある上段棚６２に下からＦＯＵＰ８０を置くことができるので、ＦＯＵＰ８０を置く動作を簡単にすることができる。
また、上記実施形態の天井吊下棚６において、切替機構６４は、外部（天井搬送車３）からの駆動力が伝達されることで、開口状態と閉鎖状態とを切り替える。
また、第４から第７実施形態の天井吊下棚６において、上段棚６２は、第１軸７１と、第１支持部７３と、第２軸７５と、第２支持部７７と、を備える。第１軸７１は、回転可能である。第１支持部７３は、第１軸７１と一体的に回転する。第２軸７５は、回転可能であって第１軸７１とは軸中心の位置が異なる。第２支持部７７は、第２軸７５と一体的に回転する。切替機構６４は、外部からの駆動力を第１軸７１に回転力として伝達し、外部からの駆動力を第２軸７５に第１軸７１とは反対方向の回転力として伝達することで、開口状態と閉鎖状態とを切り替える。
これにより、第１軸７１と第２軸７５を個別に駆動する必要がないので、駆動系統を単純にできる。また、仮に第１軸７１と第２軸７５を同じ方向に回転させる場合、第１支持部７３が上方に回転し第２支持部７７が下方に回転する結果、上下方向の占有空間が大きくなる。これに対し、第１軸７１と第２軸７５を異なる方向に回転させることで、第１支持部７３と第２支持部７７が上下の同じ向きに動作するため、上下方向の占有空間を抑えることができる。
また、第４実施形態の天井吊下棚６において、切替機構６４は、第１軸７１と第２軸７５を連結する連結リンク機構１１０を有している。連結リンク機構１１０は、第１連結リンク１１２と、第２連結リンク１１６と、を備える。第１連結リンク１１２は、第１軸７１側に位置する。第２連結リンク１１６は、第２軸７５側に位置し、第１連結リンク１１２と連結しており、第１連結リンク１１２とは反対方向に回転する。
これにより、リンクを用いて第１軸７１と第２軸７５を異なる方向に回転させることができる。
また、第５実施形態の天井吊下棚６において、切替機構６４は、第１軸リンク１２２と、第２軸リンク１２３と、連結リンク１２４と、を備える。第１軸リンク１２２は、第１軸リンク１２２と一体的に回転する。第２軸リンク１２３は、第２軸７５と一体的に回転する。連結リンク１２４は、第１軸リンク１２２と第２軸リンク１２３が異なる方向に回転するように、第１軸リンク１２２と第２軸リンク１２３を連結する。
これにより、主に１つの連結リンク１２４を用いて第１軸リンク１２２と第２軸リンク１２３を異なる方向に回転させることができるので、機構を単純にすることができる。
また、第６実施形態の天井吊下棚６において、切替機構６４は、第１プーリ１３３と、第１ベルト１３１と、第１歯車１３４と、第２歯車１３６と、第２プーリ１３７と、第２ベルト１３５と、を備える。第１ベルト１３１は、第１プーリ１３３に巻き掛けられるとともに第１軸７１を回転させる。第１歯車１３４は、第１プーリ１３３と一体的に同方向に回転する。第２歯車１３６は、第１歯車１３４と噛み合うことで、第１歯車１３４とは反対方向に回転する。第２プーリ１３７は、第２歯車１３６と一体的に同方向に回転する。第２ベルト１３５は、第２プーリ１３７に巻き掛けられるとともに第２軸７５を回転させる。
これにより、ベルトとプーリを用いて第１軸７１と第２軸７５を異なる方向に回転させることができる。
また、第７実施形態の天井吊下棚６において、切替機構６４は、連結ベルト１４１と、第１リール１４２と、第２リール１４３と、を備える。第１リール１４２は、第１軸７１と一体的に回転し、連結ベルト１４１が巻かれる。第２リール１４３は、第２軸７５と一体的に回転し、第１リール１４２と同じ向きに連結ベルト１４１が巻かれる。外部からの駆動力で第１リール１４２が回転して当該第１リールに連結ベルト１４１が巻き付けられた場合は、第１リール１４２と反対方向に第２リール１４３が回転する。外部からの駆動力で第２リール１４３が回転して当該第２リール１４３に連結ベルト１４１が巻き付けられた場合は、第２リール１４３と反対方向に第１リール１４２が回転する。
これにより、ベルトをループ状に配置する必要がないので、短いベルトを用いて第１軸と第２軸を異なる方向に回転させることができる。
これにより、天井吊下棚６毎に駆動源を備える構成と比較して、天井吊下棚６のコストを下げることができる。
また、上記実施形態の天井吊下棚６は、上段棚６２に加え、平面視で上段棚６２と重なる下段棚６５を備える。下段棚６５は、上段棚６２よりも下方に配置されている。下段棚６５は、ＦＯＵＰ８０が上下に通過できないように構成されている。
これにより、上下に棚を配置できるので、建屋内の空間を一層有効に活用することができる。
また、上記実施形態の天井吊下棚６において、１区画の上段棚６２にＦＯＵＰ８０を置くことができる数は、１区画の下段棚６５にＦＯＵＰ８０を置くことができる数よりも少ない。
これにより、ＦＯＵＰ８０の搬送方法の違い等に基づいて効率的にＦＯＵＰ８０を配置することが可能となる。
また、上記実施形態の天井吊下棚６において、ＦＯＵＰ８０は、ウエハを搬送するウエハ搬送容器である。上段棚６２は、上段支持面６２ａに形成されており、ＦＯＵＰ８０の底面８１の凹部８１ａに挿入される挿入ピン６２ｂを備える。
これにより、上段棚６２が挿入ピン６２ｂを備えることで、ＦＯＵＰ８０の姿勢を安定させることができる。
また、上記実施形態の天井吊下棚６において、目標位置は、ウエハを処理する処理装置４に対してＦＯＵＰ８０を置くための場所（ロードポート５）である。上段棚６２は、目標位置よりも高い位置に配置されている。
これにより、ロードポート５より高い位置に存在する空間を有効活用できる。
また、上記実施形態の天井吊下棚６において、上段棚６２は、レール２を挟むように当該レール２の両側に配置される。
これにより、建屋内の空間を一層有効に活用することができる。
また、上記実施形態の天井吊下棚６は、上段棚６２に支持されるＦＯＵＰ８０の側面８３に対向するように配置され上段側面ガイド６３を備える。レール２の下端より高い位置に上段側面ガイド６３が配置されている。
これにより、比較的高い位置に上段棚６２を配置できる。
また、実施形態の天井吊下棚６には、レール２を向く面を正面とした場合における背面に、ＦＯＵＰ８０の落下を防止する落下防止部６７が配置される。
これにより、例えばＦＯＵＰ８０を天井吊下棚６に移載する場合等において、ＦＯＵＰ８０の落下を一層確実に防止できる。
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。
上記実施形態では、天井吊下棚６は上段棚６２と下段棚６５を備えるが、上段棚６２のみを備える構成であってもよい。また、上記実施形態では、一区画の上段棚６２に２つのＦＯＵＰ８０を配置可能であり、一区画の下段棚６５に３つのＦＯＵＰ８０が配置可能であるが、これらとは異なる数のＦＯＵＰ８０が配置可能であってもよい。また、上段棚６２と下段棚６５に配置可能なＦＯＵＰ８０の数が同じであってもよいし、上段棚６２の方が多くてもよい。
上記実施形態では、上段棚用移載部４０は、横方向の移動を行う第１移動と上方向の移動を行う第２移動を行って、ＦＯＵＰ８０を上段棚６２に移載する。ＦＯＵＰ８０の移動のさせ方は上記とは異なっていてもよい。例えば、第１移動の前に、僅かに下方向に移動させて、ＦＯＵＰ８０を天井搬送車３から離間させてもよい。
チャック５１及び保持台５２の少なくとも一方は、ＦＯＵＰ８０の側面（側面に形成された突出部等を含む）を保持する構成であってもよい。
第１実施形態のスライド操作部５７は直線運動による駆動力を切替機構６４に付与し、第４から第７実施形態の回転操作部５９は、回転運動による駆動力を切替機構６４に付与する。これらは、接触による駆動力の供給であるが、操作部は、例えばマグネットギア等を用いて非接触による駆動力の供給を行う構成であってもよい。
上記実施形態では、半導体製品を製造する工場に設置される搬送システム１について説明したが、この搬送システム１は、他の製品を製造する工場に設置することもできる。また、この搬送システム１は、製造工場以外の建屋（例えば倉庫）に設置することもできる。
１ 搬送システム
３ 天井搬送車
６ 天井吊下棚
３０ 下段棚用移載部
４０ 上段棚用移載部
５１ チャック
５２ 保持台
６２ 上段棚
６２ａ 上段支持面
６３ 上段側面ガイド
６５ 下段棚
６５ａ 下段支持面
６６ 下段側面ガイド
８０ ＦＯＵＰ（ウエハ搬送容器）
９０ 上段棚用移載部
９７ 第１保持部

Claims (15)

  1. 建屋の天井に設けられるレールに沿って吊下げ状態で走行して物品を搬送する天井搬送車が、目標位置に搬送される前記物品を一時的に置く棚であって、天井から吊り下げられた天井吊下棚において、
    前記物品を支持する上段支持面を含む上段棚を備え、
    前記上段支持面の高さは、前記レールの高さと略同じであることを特徴とする天井吊下棚。
  2. 請求項１に記載の天井吊下棚であって、
    前記上段棚は、当該上段棚の下方から上方へ向かう前記物品が通過可能な開口状態と、前記物品を支持可能であるとともに下方から上方へ向かう前記物品が通過できない閉鎖状態と、を切り替える切替機構を備えることを特徴とする天井吊下棚。
  3. 請求項２に記載の天井吊下棚であって、
    前記切替機構は、外部からの駆動力が伝達されることで、前記開口状態と前記閉鎖状態とを切り替えることを特徴とする天井吊下棚。
  4. 請求項３に記載の天井吊下棚であって、
    前記上段棚は、
    回転可能な第１軸と、
    前記第１軸と一体的に回転する第１支持部と、
    回転可能であって前記第１軸とは軸中心の位置が異なる第２軸と、
    前記第２軸と一体的に回転する第２支持部と、
    を備え、
    前記切替機構は、外部からの駆動力を前記第１軸に回転力として伝達し、外部からの駆動力を前記第２軸に前記第１軸とは反対方向の回転力として伝達することで、前記開口状態と前記閉鎖状態とを切り替えることを特徴とする天井吊下棚。
  5. 請求項４に記載の天井吊下棚であって、
    前記切替機構は、
    前記第１軸と前記第２軸を連結する連結リンク機構を有しており、
    前記連結リンク機構は、
    前記第１軸側に位置する第１連結リンクと、
    前記第２軸側に位置し、前記第１連結リンクと連結しており、前記第１連結リンクとは反対方向に回転する第２連結リンクと、
    を備えることを特徴とする天井吊下棚。
  6. 請求項４に記載の天井吊下棚であって、
    前記切替機構は、
    前記第１軸と一体的に回転する第１軸リンクと、
    前記第２軸と一体的に回転する第２軸リンクと、
    前記第１軸リンクと前記第２軸リンクが異なる方向に回転するように、前記第１軸リンクと前記第２軸リンクを連結する連結リンクと、
    を備えることを特徴とする天井吊下棚。
  7. 請求項４に記載の天井吊下棚であって、
    前記切替機構は、
    第１プーリと、
    前記第１プーリに巻き掛けられるとともに前記第１軸を回転させる第１ベルトと、
    前記第１プーリと一体的に同方向に回転する第１歯車と、
    前記第１歯車と直接又は偶数個の歯車を介して噛み合うことで、前記第１歯車とは反対方向に回転する第２歯車と、
    前記第２歯車と一体的に同方向に回転する第２プーリと、
    前記第２プーリに巻き掛けられるとともに前記第２軸を回転させる第２ベルトと、
    を備えることを特徴とする天井吊下棚。
  8. 請求項４に記載の天井吊下棚であって、
    前記切替機構は、
    連結ベルトと、
    前記第１軸と一体的に回転し、前記連結ベルトが巻かれた第１リールと、
    前記第２軸と一体的に回転し、前記第１リールと同じ向きに前記連結ベルトが巻かれた第２リールと、
    を備え、
    外部からの駆動力で前記第１リールが回転して当該第１リールに前記連結ベルトが巻き付けられた場合は、前記第１リールと反対方向に前記第２リールが回転し、
    外部からの駆動力で前記第２リールが回転して当該第２リールに前記連結ベルトが巻き付けられた場合は、前記第２リールと反対方向に前記第１リールが回転することを特徴とする天井吊下棚。
  9. 請求項１から８までの何れか一項に記載の天井吊下棚であって、
    前記上段棚に加え、平面視で前記上段棚と重なる下段棚を備え、
    前記下段棚は、前記上段棚よりも下方に配置されており、
    前記下段棚は、前記物品が上下に通過できないように構成されていることを特徴とする天井吊下棚。
  10. 請求項９に記載の天井吊下棚であって、
    １区画の前記上段棚に前記物品を置くことができる数は、１区画の前記下段棚に前記物品を置くことができる数よりも少ないことを特徴とする天井吊下棚。
  11. 請求項１から１０までの何れか一項に記載の天井吊下棚であって、
    前記物品は、ウエハを搬送するウエハ搬送容器であり、
    前記上段棚は、前記上段支持面に形成されており前記ウエハ搬送容器の底面の凹部に挿入される挿入ピンを備えることを特徴とする天井吊下棚。
  12. 請求項１１に記載の天井吊下棚であって、
    前記目標位置は、前記ウエハを処理する処理装置に対して前記ウエハ搬送容器を置くための場所であり、
    前記上段棚は、前記目標位置よりも高い位置に配置されていることを特徴とする天井吊下棚。
  13. 請求項１から１２までの何れか一項に記載の天井吊下棚であって、
    前記上段棚は、前記レールを挟むように両側に配置されることを特徴とする天井吊下棚。
  14. 請求項１から１３までの何れか一項に記載の天井吊下棚であって、
    前記上段棚に支持される前記物品の側面に対向するように配置される上段側面ガイドを備え、
    前記レールの下端より高い位置に前記上段側面ガイドが配置されていることを特徴とする天井吊下棚。
  15. 請求項１から１４までの何れか一項に記載の天井吊下棚であって、
    前記レールを向く面を正面とした場合における背面に、前記物品の落下を防止する落下防止部が配置されることを特徴とする天井吊下棚。
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