KR20220063853A - 반송물 보관 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 반송물 보관 장치는 본체 프레임과, 상기 본체 프레임에 설치되며 반송물이 상,하 방향으로 복수개의 층을 이루도록 안착되는 복수개의 적재부재와, 상기 복수개의 적재부재 중 적어도 하나에 연결되는 구동부 및 이웃하는 적재부재와의 착탈을 위해 상기 복수개의 적재부재 중 일부에 구비되는 보조 결합부를 포함하며, 상기 복수개의 적재부재는 상기 본체 프레임의 하단부에 고정 설치되는 복수개의 제1 적재부재와, 상기 제1 적재부재의 상부에 배치되며 상기 본체 프레임에 이동 가능하게 설치되는 복수개의 제2 적재부재를 구비하며, 상기 구동부는 상기 복수개의 제2 적재부재 중 적어도 어느 하나에 연결되며, 상기 보조 결합부는 상기 제2 적재부재의 일단에 설치되는 전자석과, 상기 전자석에 대응되도록 상기 제2 적재부재의 타단과 상기 본체 프레임에 설치되는 자성체를 구비할 수 있다.

Description

반송물 보관 장치{Apparatus for storage of carrying material}
본 발명은 반송물 보관 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 라인에는 공정/저장 설비 간 반송물을 이송하는 반송물 이송 장치(OHT, Overhead Hoist Transport)가 구비되며, 반송물 이송 장치(OHT)는 주행 레일을 따라 이동된다.
그리고, 반도체 제조 라인에는 주행 레일의 측면 또는 하면에 설치되어 반송물을 보관하는 반송물 보관 장치가 구비된다.
그런데, 공정의 다각화로 인하여 보관되는 반송물의 보관량이 증대되고 있다. 하지만, 보다 많은 반송물 저장을 위해 반송물 보관 장치의 구조를 변경하는 경우 반송물 이송 장치의 크기가 증가하거나 구성 부품이 증가하여 반송물 이송 장치를 구동시키는 소프트 웨어의 사양이 변경되어야 하는 등 문제가 발생된다.
본 발명의 기술적 사상이 이루고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 반송물의 적재 공간을 증가시키면서 반송물의 이송 및 적재가 용이한 반송물 보관 장치를 제공하는 것이다.
예시적인 실시예에 따른 반송물 보관 장치는 본체 프레임과, 상기 본체 프레임에 설치되며 반송물이 상,하 방향으로 복수개의 층을 이루도록 안착되는 복수개의 적재부재와, 상기 복수개의 적재부재 중 적어도 하나에 연결되는 구동부 및 이웃하는 적재부재와의 착탈을 위해 상기 복수개의 적재부재 중 일부에 구비되는 보조 결합부를 포함하며, 상기 복수개의 적재부재는 상기 본체 프레임의 하단부에 고정 설치되는 복수개의 제1 적재부재와, 상기 제1 적재부재의 상부에 배치되며 상기 본체 프레임에 이동 가능하게 설치되는 복수개의 제2 적재부재를 구비하며, 상기 구동부는 상기 복수개의 제2 적재부재 중 적어도 어느 하나에 연결되며, 상기 보조 결합부는 상기 제2 적재부재의 일단에 설치되는 전자석과, 상기 전자석에 대응되도록 상기 제2 적재부재의 타단과 상기 본체 프레임에 설치되는 자성체를 구비할 수 있다.
반송물의 적재 공간을 증가시키면서 반송물의 이송 및 적재가 용이한 반송물 보관 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시예를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 예시적인 실시예에 따른 반송물 보관 장치를 나타내는 정면 사시도이다.
도 2는 예시적인 실시예에 따른 반송물 보관 장치를 나타내는 배면 사시도이다.이다.
도 3은 예시적인 실시예에 따른 반송물 보관 장치의 구동부를 설명하기 위한 설명도이다.
도 4는 예시적인 실시예에 따른 반송물 보관 장치의 보조 결합부를 설명하기 위한 설명도이다.
도 5 내지 도 7은 예시적인 실시예에 따른 반송물 보관 장치의 작동을 설명하기 위한 설명도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다.
도 1은 예시적인 실시예에 따른 반송물 보관 장치를 나타내는 정면 사시도이고, 도 2는 예시적인 실시예에 따른 반송물 보관 장치를 나타내는 배면 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 반송물 보관 장치(100)는 본체 프레임(120), 적재부재(140), 구동부(160) 및 보조 결합부(180)를 포함하여 구성될 수 있다.
본체 프레임(120)은 반송물(10)이 복수개의 층을 이루도록 배치되도록 다단 구조를 가진다. 일예로서, 본체 프레임(120)에는 제1 단부(121)와, 제1 단부(121)로부터 상부 측으로 이격 배치되는 제2 단부(122)를 구비할 수 있다. 한편, 제2 단부(122)에는 구동부(160)의 설치를 위한 설치대(123)가 구비될 수 있다. 그리고, 제2 단부(122)에는 일예로서, 도 3에 보다 자세하게 도시된 바와 같이, 적재부재(140)의 이동을 안내하기 위한 안내레일(124)이 구비될 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다. 또한, 본체 프레임(120)에는 상단부에 본체 프레임(120)의 설치를 위한 설치구(125)가 구비될 수 있다.
한편, 본 실시예에서는 본체 프레임(120)이 제1 단부(121)와 제2 단부(122)를 구비하는 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않으며 단부의 개수는 다양하게 변경 가능할 것이다. 즉, 본체 프레임(120)은 3 단부 이상의 다단 구조를 가질 수 있다.
적재부재(140)는 복수개가 본체 프레임(120)에 설치된다. 일예로서, 복수개의 적재부재(140)는 본체 프레임(120)의 하단부, 예를 들어 제1 단부(121)에 설치되는 복수개의 제1 적재부재(142)와, 제1 적재부재(142)의 상부에 배치되며 본체 프레임(120), 예를 들어 제2 단부(122)에 이동 가능하게 설치되는 복수개의 제2 적재부재(144)를 구비할 수 있다.
한편, 제1 적재부재(142)는 본체 프레임(120)의 제1 단부(121)에 고정 설치된다. 일예로서, 제1 적재부재(142)는 제1 단부(121)에 4개가 설치될 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않으며 제1 적재부재(142)의 개수는 다양하게 변경 가능할 것이다. 그리고, 제1 적재부재(142)에는 반송물(10)이 적재되는 경우 반송물(10)의 이탈을 방지하기 위한 걸림턱(142a)가 구비될 수 있다. 걸림턱(142a)은 제1 적재부재(142)의 전단과 후단으로부터 상부측으로 돌출되도록 형성될 수 있다.
그리고, 제2 적재부재(142)는 본체 프레임(120)의 제2 단부(122)에 이동 가능하게 설치된다. 일예로서, 제2 적재부재(144)는 제2 단부(122)에 제1 적재부재(142)의 개수보다 하나가 적은 개수가 설치될 수 있다. 즉, 제1 적재부재(142)에 반송물(10)의 적재 및 이송이 가능할 수 있도록 복수개의 제1 적재부재(142) 중 하나의 제1 적재부재(142) 상부에 제2 적재부재(144)가 배치되도록 않는다. 한편, 본 실시예에서는 제2 적재부재(144)가 제2 단부(122)에 3개가 설치되는 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 제2 적재부재(144)의 개수는 다양하게 변경 가능할 것이다.
한편, 제2 적재부재(144)에도 반송물(10)의 이탈을 방지하기 위한 걸림턱(144a)이 구비될 수 있다.
그리고, 제2 적재부재(144)에는 도 3에 보다 자세하게 도시된 바와 같이, 제2 단부(122)의 안내레일(124)에 결합되는 체결구(144b)가 구비될 수 있다. 즉, 체결구(144b)가 안내레일(124)에 결합되어 제2 적재부재(144)가 슬라이딩 이동 가능한 것이다. 다만, 제2 적재부재(144)의 슬라이딩 이동을 위한 구성은 안내레일(124)과 체결구(144b)에 한정되지 않으며, 다른 구성에 의해서도 구현될 수 있을 것이다.
구동부(160)는 복수개의 적재부재(140) 중 적어도 하나에 연결된다. 일예로서, 구동부(160)는 제2 적재부재(144) 중 적어도 어느 하나에 연결될 수 있다. 한편, 구동부(160)는 예를 들어, 구동원(162), 감속기(164), 풀리(166), 타이밍 벨트(168) 및 연결부재(170)를 포함하여 구성될 수 있다.
구동원(162)은 본체 프레임(120)의 설치대(123)에 고정 설치된다. 일예로서, 구동원(162)은 모터일 수 있다. 또한, 구동원(162)은 정회전과 역회전을 할 수 있다. 그리고, 구동원(162)에는 감속기(164)가 연결되며, 감속기(164)에 의해 구동원(162)으로부터 발생된 동력이 적절히 조절되어 풀리(166)로 전달될 수 있다. 풀리(166)는 타이밍 벨트(168)의 무한궤도 운동을 안내하며 2개가 하나의 쌍을 이룰 수 있다. 그리고, 구동원(162)으로부터 발생되는 구동력은 풀리(166)를 통해 타이밍 벨트(168)에 전달되고 이에 따라 타이밍 벨트(168)가 무한궤도 운동을 할 수 있다. 연결부재(170)는 타이밍 벨트(168)와 제2 적재부재(144) 중 어느 하나를 연결하는 역할을 수행한다. 이에 따라, 타이밍 벨트(168)의 주행 시 제2 적재부재(144) 중 어느 하나가 이동될 수 있다. 이와 같이, 구동원(162)의 정회전과 역회전에 의해 제2 적재부재(144)가 X 방향(도 1, 2 참조)을 따라 본체 프레임(120)의 좌측 또는 우측으로 이동될 수 있다.
한편, 본 실시예에서는 구동부(160)가 풀리(166)와 타이밍 벨트(168)를 구비하는 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않으며 구동부(160)에는 볼 스크류 또는 복수개의 기어를 구비할 수 있으며, 이를 통해 구동원(162)로부터 발생된 구동력을 적재부재(140)에 전달할 수도 있을 것이다.
보조 결합부(180)는 이웃하는 적재부재(140)와의 착탈을 위해 복수개의 적재부재(140) 중 일부에 구비된다. 일예로서, 보조 결합부(180)는 제2 적재부재(144)에 구비될 수 있다. 예를 들어, 보조 결합부(180)는 도 4에 보다 자세하게 도시된 바와 같이, 제2 적재부재(144)의 일단에 설치되는 전자석(182)과, 전자석(182)에 대응되도록 제2 적재부재(144)의 타단과 본체 프레임(120)에 설치되는 자성체(184)를 구비할 수 있다. 이에 대하여 보다 자세하게 살펴보면, 구동부(160)에 연결된 제2 적재부재(144)에는 전자석(182)이 구비되며, 구동부(160)가 연결된 제2 적재부재(144)에 이웃하여 배치되는 제2 적재부재(144)에는 전자석(182)에 대응되는 자성체(184)가 구비된다. 그리고, 자성체(184)가 구비되는 제2 적재부재(144)의 타단에는 전자석(182)이 구비되며, 전자석(182)에 대응되도록 이웃하여 배치되는 제2 적재부재(144)의 일단에 자성체(184)가 구비된다. 그리고, 제2 적재부재(144)의 타단에는 전자석(182)이 구비되며, 이에 대응되도록 본체 프레임(120)에 자성체(184)가 구비된다. 이와 같이, 전자석(182)과 자성체(184)로 구성되는 보조 결합부(180)를 통해 제2 적재부재(144)가 이동되는 이동 갯수가 정해질 수 있다.
여기서, 설명의 편의를 위해 구동부(160)에 연결된 제2 적재부재(144)를 제2-1 적재부재라 하고, 제2-1 적재부재에 이웃하여 배치되는 제2 적재부재(144)를 제2-2 적재부재라 하며, 제2-2 적재부재에 이웃하여 배치되는 제2 적재부재(144)를 제2-3 적재부재라 한다.
제2-1 적재부재에 구비되는 전자석(182)이 작동되는 경우 제2-2 적재부재에 구비되는 자성체(184)가 제2-1 적재부재에 구비되는 전자석(182)에 결합된다. 이에 따라, 제2-1 적재부재와 제2-2 적재부재가 함께 이동될 수 있다. 반대로, 제2-1 적재부재에 구비되는 전자석(182)이 작동되지 않는 경우 제2-2 적재부재에 구비되는 자성체(184)가 제2-1 전재부재에 구비되는 전자석(182)으로부터 분리될 수 있다. 이에 따라, 제2-1 적재부재는 제2-2 적재부재와 함께 이동되지 않고 제2-1 적재부재만이 구동부(160)의 구동에 의해 이동될 수 있다.
그리고, 제2-2 적재부재에 구비되는 전자석(182)이 작동되는 경우 제2-3 적재부재에 구비되는 자성체(184)가 제2-2 적재부재에 구비되는 전자석(182)에 결합된다. 이에 따라, 제2-2 적재부재와 제2-3 적재부재가 함께 이동될 수 있다. 다만, 제2-3 적재부재가 이동되는 경우 제2-3 적재부재에 구비되는 전자석(182)이 작동되지 않을 수 있다.
이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.
한편, 본 실시예에서는 보조 결합부(180)가 전자석(182)과 자성체(184)로 구성되는 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않으며 보조 결합부(180)는 캠, 솔레노이드 등을 포함하여 구성될 수도 있다.
상기한 바와 같이, 구동부(160)와 보조 결합부(180)를 통해 복수개의 제2 적재부재(144) 중 일부 또는 전부를 이동시킬 수 있으므로, 반송물(10)이 복수개의 층을 이루도록 본체 프레임(120)에 적재될 수 있다. 나아가, 반송물(10)이 복수개의 층을 이루도록 적재부재(140)에 적재되면서도 반송물(10)의 이송 및 적재가 용이하게 수행될 수 있다. 다시 말해, 반도체 제조 라인에 구비되는 반송물 이송 장치(OHT, 미도시)의 구조나 구성부품의 변경 없이 기존의 반송물 이송 장치(OHT)를 통해 반송물(10)의 이송 및 적재가 수행될 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 반송물 보관 장치의 작동에 대하여 설명하기로 한다.
도 5 내지 도 7은 예시적인 실시예에 따른 반송물 보관 장치의 작동을 설명하기 위한 설명도이다.
도 5를 참조하면, 본체 프레임(120)의 제1 단부(121)에 적재된 반송물(10) 중 좌측에서 3번째 배치되는 반송물(10)을 이송하고자 하는 경우 구동부(160)가 연결된 제2 적재부재(144)만이 X축 방향 오른쪽으로 이동된다. 이때, 구동부(160)가 연결된 제2 적재부재(144)에 구비되는 전자석(182)은 작동하지 않으며, 나머지 제2 적재부재(144)에 구비되는 전자석(182)은 작동한다. 이에 따라, 나머지 제2 적재부재(144)는 이동되지 않을 수 있으므로 본체 프레임(120)의 제1 단부(121)에 적재된 반송물(10) 중 좌측에서 3번째 배치되는 반송물(10)을 이송시킬 수 있다.
그리고, 도 6을 참조하면, 본체 프레임(120)의 제1 단부(121)에 적재된 반송물(10) 중 좌측에서 2번째 배치되는 반송물(10)을 이송하고자 하는 경우 구동부(160)가 연결된 제2 적재부재(144)와 이웃하는 제2 적재부재(144)가 X축 방향 오른쪽으로 이동된다. 이때, 구동부(160)가 연결된 적재부재(144)에 구비되는 전자석(182)은 작동하고, 구동부(160)가 연결된 적재부재(144)에 이웃하여 배치되는 적재부재(144)에 구비되는 전자석(182)은 작동하지 않는다. 그리고, 나머지 하나의 적재부재(144)에 구비되는 전자석(182)은 작동하여 본체 프레임(120)에 설치되는 자성체(184)와 결합된다. 이에 따라, 본체 프레임(120)의 제1 단부(121)에 적재된 반송물(10) 중 좌측에서 2번째 배치되는 반송물(10)을 이송시킬 수 있다.
또한, 도 7을 참조하면, 본체 프레임(120)의 제1 단부(121)에 적재된 반송물(10) 중 좌측에서 1번째 배치되는 반송물(10)을 이송하고자 하는 경우 모든 제2 적재부재(144)가 X축 방향 오른쪽으로 이동된다. 이때, 본체 프레임(120)에 설치되는 자성체(184)에 대응되는 전자석(182)만이 작동되지 않고 나머지 전자석(182)은 모두 작동된다. 이에 따라, 본체 프레임(120)의 제1 단부(121)에 적재된 반송물(10) 중 좌측에서 1번째 배치되는 반송물(10)을 이송시킬 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.
100 : 반송물 보관 장치
120 : 본체 프레임
140 : 적재부재
160 : 구동부
180 : 보조 결합부

Claims (8)

  1. 본체 프레임;
    상기 본체 프레임에 설치되며 반송물이 상,하 방향으로 복수개의 층을 이루도록 안착되는 복수개의 적재부재;
    상기 복수개의 적재부재 중 적어도 하나에 연결되는 구동부; 및
    이웃하는 적재부재와의 착탈을 위해 상기 복수개의 적재부재 중 일부에 구비되는 보조 결합부;
    를 포함하며,
    상기 복수개의 적재부재는 상기 본체 프레임의 하단부에 고정 설치되는 복수개의 제1 적재부재와, 상기 제1 적재부재의 상부에 배치되며 상기 본체 프레임에 이동 가능하게 설치되는 복수개의 제2 적재부재를 구비하며,
    상기 구동부는 상기 복수개의 제2 적재부재 중 적어도 어느 하나에 연결되며,
    상기 보조 결합부는 상기 제2 적재부재의 일단에 설치되는 전자석과, 상기 전자석에 대응되도록 상기 제2 적재부재의 타단과 상기 본체 프레임에 설치되는 자성체를 구비하는 반송물 보관 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 본체 프레임에 고정 설치되는 구동원과, 상기 구동원에 연결되어 동력을 전달하는 동력전달부재 및 상기 동력전달부재와 상기 제2 적재부재를 연결하는 연결부재를 구비하며,
    상기 동력전달부재는 풀리와, 상기 풀리에 연결되는 타이밍 벨트를 구비하는 반송물 보관 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 풀리와 상기 구동원을 연결하는 감속기를 더 구비하는 반송물 보관 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 본체 프레임에는 상기 제2 적재부재의 이동을 위한 안내레일이 구비되는 반송물 보관 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 복수개의 적재부재에는 상기 반송물의 이탈을 방지하기 위한 걸림턱이 구비되는 반송물 보관 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 복수개의 적재부재는 2개의 층을 이루도록 배치되는 반송물 보관 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 적재부재 개수는 상기 제2 적재부재의 개수보다 하나가 많은 반송물 보관 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 구동부의 구동 시 상기 전자석의 작동에 의해 상기 복수개의 제2 적재부재의 이동 개수가 정해지는 반송물 보관 장치.
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