JP2020066499A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】可動棚をスライドさせるための駆動部を天井吊下棚側に設けることなく、複数段の天井吊下棚のそれぞれに物品を移載可能な搬送システムを提供する。【解決手段】搬送システム１は、天井搬送車３と、天井吊下棚６と、を備える。天井吊下棚６は、固定棚６３と、可動棚６４と、スライド機構６６と、を含む。可動棚６４は、固定棚６３よりも下方に配置されており、横方向にスライド可能である。スライド機構６６は、可動棚６４を横方向にスライドさせる機構を有する。天井搬送車３は、移載装置３２によりＦＯＵＰ９を固定棚６３に横移載可能である。天井搬送車３は、ギア駆動モータの動力をスライド機構６６に伝達することで可動棚６４を横方向にスライドさせるとともに、移載装置３２によりＦＯＵＰ９を当該可動棚６４に下移載する。【選択図】図２

Description

本発明は、主として、天井搬送車と天井吊下棚を備える搬送システムに関する。

従来から、例えば半導体製品を製造する工場等では、天井に設けられたレールに沿って物品を搬送する天井搬送車が用いられている。また、このような工場には、天井搬送車が搬送する物品を一時的に保管するための天井吊下棚が設けられることがある。特許文献１及び２は、この種の天井搬送車及び天井吊下棚を含む搬送システムを開示する。

特許文献１の懸垂式棚装置（天井吊下棚）は、上下２段のスライド板と、これらのスライド板をスライドさせるギアと、ギアを駆動する減速機付きモータと、を備える。ＯＨＴ台車（天井搬送車）は、上下何れかのスライド板のスライドが完了した後に、昇降ベルトにより物品を下方に移動させることで、スライド棚の上に物品を載置する。

特許文献２の天井吊下棚は、天井に吊り下げられた固定枠体と、物品を支持する１段の物品支持体と、固定枠体と物品支持部とを連結するリンク機構と、を備える。固定枠体は、物品支持体をスライドさせるためのリンク機構を備える。また、リンク機構には、当該リンク機構を動作させるための被操作部が接続されている。移動車（天井搬送車）は、被操作部を押圧して、物品支持体をスライドさせる押圧操作部を備える。押圧操作部は、移動車が備える電動モータによって駆動される。

特開２００７−９６１４０号公報 特許第４６３２０９１号公報

特許文献１の搬送システムでは、スライド棚を移動させるためのモータが懸垂式棚装置側に配置されているため、懸垂式棚装置毎にモータが必要となる。既設の工場において、スライド棚を後付け設置する場合に、スライド棚の移動のためのモータへの電力線を引く工事は工場の稼動を停止させることになってしまう。

また、特許文献２には、１段の天井吊下棚の具体的な構造が記載されているだけであり、複数段の天井吊下棚の具体的な構造は記載されていない。

本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、可動棚をスライドさせるための駆動部を天井吊下棚側に設けることなく、複数段の天井吊下棚のそれぞれに物品を移載可能な搬送システムを提供することにある。

課題を解決するための手段及び効果

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。

本発明の観点によれば、以下の構成の搬送システムが提供される。即ち、この搬送システムは、天井搬送車と、天井吊下棚と、を備える。前記天井搬送車は、建屋の天井に設けられるレールに沿って走行して物品を搬送する。前記天井吊下棚は、天井から吊り下げられた棚であり、目標位置に搬送される前記物品が前記天井搬送車によって一時的に置かれる。前記天井吊下棚は、固定棚と、可動棚と、スライド機構と、を含んでいる。前記可動棚は、前記固定棚よりも下方に配置されており、横方向にスライド可能である。前記スライド機構は、前記可動棚を横方向にスライドさせる機構を有する。前記天井搬送車は、移載装置と、駆動部と、を含んでいる。前記移載装置は、前記物品を横移載及び下移載可能である。前記駆動部は、前記スライド機構に伝達する動力を発生させる。前記天井搬送車は、前記移載装置により前記物品を前記固定棚に横移載可能である。前記天井搬送車は、前記駆動部の動力を前記スライド機構に伝達することで前記可動棚を横方向にスライドさせるとともに、前記移載装置により前記物品を当該可動棚に下移載可能である。

これにより、可動棚をスライドさせるための駆動部を天井吊下棚側に設けることなく、複数段の天井吊下棚のそれぞれに物品を移載できる。特に、移載装置ではなく可動棚が横方向にスライドするため、可動棚の上方に移載装置を入れるスペースを確保する必要がないため、可動棚の上下方向のスペースを抑えることができる。また、天井吊下棚に固定棚を設けることで、全ての棚がスライドする構成と比較して、天井吊下棚の構成を単純にすることができる。

前記の搬送システムにおいては、前記固定棚に置かれた前記物品の高さと、前記天井搬送車により搬送中の前記物品の高さと、が略同じであることが好ましい。

これにより、固定棚が高い位置に設けられるので、天井近傍のスペースを有効に活用できる。更に、物品を殆ど又は全く上下方向に移動させずに物品を固定棚に移載できるので、移載に掛かる時間を短くすることができる。

前記の搬送システムにおいては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記可動棚をスライドさせて前記物品を下移載する場合において、前記移載装置による下移載の動作時間と、前記スライド機構による前記可動棚のスライド時間と、が時間的に重なっている。

これにより、下移載に掛かる時間を短くすることができる。

前記の搬送システムにおいては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記目標位置は、前記物品に対して処理を行う処理装置に対して当該物品を置くための場所である。平面視において、スライド後の前記可動棚と、前記目標位置と、が重なっている。前記移載装置は、前記可動棚がスライド前の状態において、前記物品を前記目標位置に移載する。

これにより、可動棚が目標位置への移載の邪魔になることを防止できる。

前記の搬送システムにおいては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記天井搬送車は、前記駆動部により回転する第１回転体を備える。前記スライド機構は、前記第１回転体と一体的に回転する第２回転体と、当該第２回転体の回転により直線運動して前記可動棚をスライドさせるスライド部と、を備える。

これにより、天井搬送車から天井吊下棚へ回転動力を伝達するだけで、可動棚をスライドさせることができる。

本発明の一実施形態に係る搬送システムの構成を概略的に示す平面図。 天井搬送車及び天井吊下棚の構成を示す正面図。 天井搬送車及び天井吊下棚の構成を示す斜視図。 主に天井搬送車に設けられる駆動部等の構成を示すブロック図。 天井搬送車が物品を固定棚に横移載する流れを示す斜視図。 天井搬送車が物品を可動棚に下移載する流れを示す斜視図。

次に、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。初めに、図１及び図２を参照して、搬送システム１の概要について説明する。図１は、本実施形態の搬送システム１の構成を概略的に示す平面図である。図２は、天井搬送車３及び天井吊下棚６の構成を示す正面図である。

本実施形態の搬送システム１は、半導体製品を製造する工場（建屋、施設）に設置されており、様々な物品を搬送するためのシステムである。本実施形態の搬送システム１が搬送する物品は、ウエハ（半導体ウエハ）を収容するＦＯＵＰ９（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）である。なお、物品は、レチクルを収容するレチクルポッドであってもよい。図１に示すように、搬送システム１は、レール２と、天井搬送車３と、天井吊下棚６と、を備える。

図２に示すように、工場の天井７には支柱８が接続されている。この支柱８によって、レール２及び天井吊下棚６が天井７に吊り下げられている。また、天井搬送車３は、支柱８及びレール２を介して天井７に吊り下げられている。天井搬送車３は、レール２に沿って走行可能に構成されている。また、図１には天井搬送車３が１台のみ示されているが、天井搬送車３を複数台備える構成であってもよい。

また、この工場には、処理装置４及びロードポート５が配置されている。処理装置４は、ウエハに様々な処理を行う装置である。ロードポート５は、処理装置４に接続されている。天井搬送車３によって搬送されたＦＯＵＰ９はロードポート５に置かれる。その後、ＦＯＵＰ９内のウエハは、取り出された後に処理装置４で処理される。処理済みのウエハはＦＯＵＰ９に収容され、ＦＯＵＰ９は同一又は別の天井搬送車３によって別の工程を行う位置へ搬送される。図１に示すように、本実施形態では、レール２の下方にロードポート５が配置されているが、別の場所にロードポート５が配置されていてもよい。

天井吊下棚６は、工場の天井７に設けられている。天井吊下棚６は、処理装置４及びロードポート（目標位置）５が占有されている（使用中である）場合等に、これらが占有解除（使用可能）になるまでＦＯＵＰ９等を一時的に置いておくための棚である。本実施形態では、天井吊下棚６はレール２の長手方向に沿うように、当該レール２と平行に配置されている。本実施形態の天井吊下棚６は、レール２の両側に配置されているが、片側のみに配置されていてもよい。

次に、図２から図４を参照して、天井搬送車３及び天井吊下棚６について更に詳細に説明する。また、図３の斜視図では、レール２を鎖線で示すとともに、レール２の一側に配置される天井吊下棚６の図示を省略する。また、図２以降の図面において、他の部材に隠れて見えない部分を破線で示すことがある。また、図２以降の図面において、移動可能な部分の移動後の位置を鎖線で示すことがある。

図３に示すように、天井搬送車３は、前面、後面、上面を覆うハウジング３１を備える。ハウジング３１の内部には、移載装置３２が設けられている。移載装置３２は、ＦＯＵＰ９の上部を保持可能であるとともに、ＦＯＵＰ９を横方向に移載するための横移載機構３３と、ＦＯＵＰ９を下方向に移載するための下移載機構３５と、を備える。また、図４に示すように、横移載機構３３は横移載モータ３４によって駆動される。また、下移載機構３５は、下移載モータ３６によって駆動される。

横移載機構３３は、ＦＯＵＰ９を横方向（水平方向、具体的には平面視で進行方向に直交する左右方向）に移動させる機構である。横移載機構３３は、例えば１又は複数の可動板を含んで構成されており、横移載モータ３４が発生させた動力によって、図２に示すように可動板を横方向に移動させることで、ＦＯＵＰ９を横方向に移動させることができる。また、本実施形態の横移載機構３３は、左右方向の何れにもＦＯＵＰ９を移動させることができるが、左右の片側のみに移動可能な構成であってもよい。

下移載機構３５は、ＦＯＵＰ９を上下方向に移動させる機構である。下移載機構３５は、例えばホイストであり、下移載モータ３６が発生させた動力によって図２及び図３に示すようにワイヤ等の吊下げ部材を降下させたり巻き取ったりすることで、ＦＯＵＰ９を上下に移動させることができる。

また、下移載機構３５は、横移載機構３３の可動板と一体的に移動するように構成されている。そのため、横移載機構３３による横方向の移動と、下移載機構３５による下方向の移動と、を両立させることができる。従って、移載装置３２は、ＦＯＵＰ９を真下、真横だけでなく、斜め下方にもＦＯＵＰ９を移動できる。

図４に示すように、横移載モータ３４及び下移載モータ３６等の駆動源及び電気機器は制御装置１００によって制御されている。制御装置１００は、天井搬送車３の適宜の位置に設けられたコンピュータとして構成されている。制御装置１００は、ＣＰＵ等の演算装置と、フラッシュメモリ又はハードディスク等の記憶装置と、外部と通信するための入出力部と、を備える。記憶装置には、各種のプログラムや設定値が記憶されている。演算装置は、各種プログラム等を記憶装置から読み出し、天井搬送車３の各部の動作を制御する。

また、図２及び図３に示すように、天井搬送車３は、左右一対のマグネット駆動ギア（第１回転体）３７を備える。本実施形態のマグネット駆動ギア３７は、ハウジング３１から一部が露出するように配置されているが、異なる位置に配置されていてもよい。ただし、マグネット駆動ギア３７は後述の天井吊下棚６側の部材（具体的にはマグネット従動ギア７１）を回転させるための部材であるため、ハウジング３１の外部に露出していることが好ましい。マグネット駆動ギア３７は、磁力により非接触で動力を伝達するギアである。また、マグネット駆動ギア３７は、図４に示すギア駆動モータ（駆動部）３８の動力によって回転可能である。ギア駆動モータ３８は天井搬送車３に備えられており、マグネット駆動ギア３７とギア駆動モータ３８は一体的に移動可能である。また、左右一対のマグネット駆動ギア３７は独立して回転させることができる。また、ギア駆動モータ３８の回転方向を変更することで、マグネット駆動ギア３７の回転方向を変更することもできる。

図２に示すように、天井吊下棚６は、上板６１と、背板６２と、固定棚６３と、可動棚６４と、支持板６５と、スライド機構６６と、を備える。

上板６１は、支柱８によって天井７に吊り下げられている。上板６１の後端には背板６２が接続されている。背板６２は、固定棚６３等を支持する。なお、背板６２に代えて又は加えて側板を設けてもよい。また、背板６２又は側板に代えて支持棒を配置し、当該支持棒が固定棚６３等を支持する構成であってもよい。

天井吊下棚６は、上下２段の棚であり、固定棚６３が上段の棚であり、可動棚６４が下段の棚である。固定棚６３及び可動棚６４は、ＦＯＵＰ９を置くための棚である。固定棚６３及び可動棚６４には、例えば上方に突出するピンが形成されており、当該ピンをＦＯＵＰ９の底面の溝（凹部）に挿入することで、ＦＯＵＰ９の位置及び姿勢を安定させる。なお、ピンとは異なる構成でＦＯＵＰ９の位置及び姿勢を安定させてもよい。

固定棚６３は、背板６２に固定されており、移動不能である。また、固定棚６３に置かれたＦＯＵＰ９の高さは、天井搬送車３によって搬送されるＦＯＵＰ９の高さと殆ど同じである。従って、天井搬送車３は、ＦＯＵＰ９を殆ど上下に移動させずに固定棚６３に移載可能である。なお、固定棚６３には上述のピンが形成されているため、ＦＯＵＰ９を僅かに下降させる動作は必要である。このように、ＦＯＵＰ９を主として横方向に移動させて固定棚６３に置くことを横移載と称する。また、固定棚６３には、横移載機構３３が入り込むため、固定棚６３の上下のスペースは、ＦＯＵＰ９の高さに、横移載機構３３（特に固定棚６３に入り込む部分）の高さを加えた値よりも大きい。

一方、可動棚６４は、支持板６５にスライド可能に支持されており、横方向にスライド可能である。具体的には、可動棚６４は、保管位置と移載位置との間でスライド可能である。保管位置とは、可動棚６４に置かれたＦＯＵＰ９を天井吊下棚６に保管するための位置である。移載位置とは、保管位置から天井搬送車３に近づくように横方向にスライドした位置である。可動棚６４が移載位置にある状態で、移載装置３２（下移載機構３５）がＦＯＵＰ９を下方に移動させて、ＦＯＵＰ９を可動棚６４に移載する。このように、ＦＯＵＰ９を主として下方向に移動させて可動棚６４に置くことを下移載と称する。ここで、可動棚６４には横移載機構３３は入り込まない。従って、可動棚６４の上下のスペースは、固定棚６３の上下のスペースよりも小さく、更に具体的にはＦＯＵＰ９の高さと殆ど同じである。

以下、可動棚６４をスライドさせるためのスライド機構６６及びその動作について具体的に説明する。図２及び図３に示すように、横移載機構３３は、マグネット従動ギア（第２回転体）７１と、動力伝達シャフト７２と、ピニオンギア７３と、ラック（スライド部）６４ａと、を備える。

マグネット従動ギア７１は、マグネット駆動ギア３７と同様、磁力により非接触で動力を伝達するギアである。マグネット従動ギア７１は、マグネット駆動ギア３７と同じ高さに配置されている。また、天井搬送車３の走行方向において、天井搬送車３と天井吊下棚６の位置を合わせた状態では（後述の図６の左上の図では）、マグネット従動ギア７１とマグネット駆動ギア３７が動力を伝達可能な位置関係となる。言い換えれば、天井搬送車３を移動させて、ＦＯＵＰ９の移載先の天井吊下棚６に到着した状態において（ＦＯＵＰ９を可動棚６４に移載可能な状態において）、マグネット従動ギア７１とマグネット駆動ギア３７とが近接する。

なお、マグネット駆動ギア３７は、横方向の位置を調整可能に構成されていてもよい。これにより、マグネット駆動ギア３７がマグネット従動ギア７１に近接して当該マグネット従動ギア７１に動力を伝達可能な状態と、マグネット駆動ギア３７がマグネット従動ギア７１から離間して動力が伝達できない状態と、を切り替えることができる。

動力伝達シャフト７２には、マグネット従動ギア７１が相対回転不能に取り付けられている。従って、マグネット従動ギア７１が回転することで、動力伝達シャフト７２も一体的に回転する。これにより、動力伝達シャフト７２は、マグネット駆動ギア３７から伝達した回転力を天井吊下棚６の下部まで伝達する。

動力伝達シャフト７２の下部には、ピニオンギア７３が相対回転不能に取り付けられている。従って、動力伝達シャフト７２が回転することで、ピニオンギア７３も一体的に回転する。また、ピニオンギア７３は、可動棚６４の側面に形成されたラック６４ａと噛み合っている。この構成により、ピニオンギア７３が回転することで、ラック６４ａ（ひいては可動棚６４）が横方向にスライドする。以上により、天井搬送車３のマグネット駆動ギア３７を回転させることで、可動棚６４をスライドさせて、可動棚６４を保管位置と移載位置との間で切り替えることができる。

また、本実施形態では、マグネット従動ギア７１は、非接触で動力を伝達する機構であるが、例えば歯が形成されたギアを互いに接触させることで（噛み合わせることで）、動力を伝達する構成であってもよい。また、天井搬送車３は、回転運動ではなく直線運動の動力を可動棚６４に供給する構成であってもよい。また、本実施形態では、動力伝達シャフト７２のみによって、マグネット従動ギア７１からピニオンギア７３に動力を伝達する構成であるが、複数の動力伝達部材を介して動力を伝達する構成であってもよい。また、ラックピニオン機構に代えて、例えばボールネジ等によって、回転運動を直線運動に変換してもよい。

次に、図５を参照して、天井搬送車３がＦＯＵＰ９を固定棚６３に横移載する処理の流れを説明する。

ＦＯＵＰ９を把持して走行中の天井搬送車３は、ＦＯＵＰ９の移載先の天井吊下棚６と位置を合わせた状態で停止する（図５の左上）。

次に、天井搬送車３は、移載装置３２（横移載機構３３）を動作させることで、ＦＯＵＰ９を横方向に移動し、ＦＯＵＰ９を固定棚６３に移載する。上述のように、天井搬送車３に保持されるＦＯＵＰ９の高さは、固定棚６３に置かれるＦＯＵＰ９の高さと略同じであるため、ＦＯＵＰ９を上下に殆ど移動させることなく、ＦＯＵＰ９を固定棚６３に移載できる。

その後、天井搬送車３は、移載装置３２を元に戻す（図５の右下）。これにより、固定棚６３へのＦＯＵＰ９の移載が完了し、天井搬送車３は、別の場所への走行を開始する。

次に、図６を参照して、天井搬送車３がＦＯＵＰ９を可動棚６４に下移載する処理の流れを説明する。

ＦＯＵＰ９を把持して走行中の天井搬送車３は、ＦＯＵＰ９の移載先の天井吊下棚６と位置を合わせた状態で停止する（図６の左上）。上述したように、この状態ではマグネット駆動ギア３７がマグネット従動ギア７１に動力を伝達可能である。

次に、天井搬送車３は、マグネット駆動ギア３７を回転させる。これにより、この回転動力に基づいてスライド機構６６が動作することで、可動棚６４が保管位置から移載位置へスライドする（図６の右上）。また、天井搬送車３は、移載装置３２（下移載機構３５）を動作させることで、ＦＯＵＰ９を下方向に移動する。ここで、本実施形態では、マグネット駆動ギア３７を回転させる動作（即ち、可動棚６４のスライド）と、ＦＯＵＰ９を下降させる動作と、が時間的に重なる。可動棚６４のスライドとＦＯＵＰ９の下降は、何れの開始が早くてもよい。なお、可動棚６４の適切な位置にＦＯＵＰ９を置くため（更に言えば可動棚６４のピンをＦＯＵＰ９に挿入するため）、可動棚６４のスライドが完了した後に、ＦＯＵＰ９の下降が完了することが好ましい。これにより、必要な動作を並行して行うことができるので、作業時間を短くすることができる。なお、可動棚６４のスライドが完了した後に、ＦＯＵＰ９の下降を開始してもよい。

天井搬送車３は、ＦＯＵＰ９を可動棚６４に置いて、ＦＯＵＰ９の保持を解除した後に、マグネット駆動ギア３７を逆方向に回転させる。これにより、可動棚６４を移載位置から保管位置に戻すことができる（図６の右下）。また、天井搬送車３は、移載装置３２を元に戻す。また、本実施形態では、可動棚６４を元に戻すためのスライドと、移載装置３２を元に戻す動作と、が時間的に重なる。これにより、作業時間を短くすることができる。以上により、可動棚６４へのＦＯＵＰ９の移載が完了し、天井搬送車３は、別の場所への走行を開始する。

なお、レール２を挟んで反対側に配置される天井吊下棚６に対してＦＯＵＰ９を移載する場合は、反対側のマグネット駆動ギア３７が用いられる。これにより、レール２の両側に天井吊下棚６が配置される状況において、両側の天井吊下棚６の可動棚６４にＦＯＵＰ９を移載できる。

以上に説明したように、本実施形態の搬送システム１は、天井搬送車３と、天井吊下棚６と、を備える。天井搬送車３は、建屋の天井７に設けられるレール２に沿って走行してＦＯＵＰ９を搬送する。天井吊下棚６は、天井７から吊り下げられた棚であり、目標位置に搬送されるＦＯＵＰ９が天井搬送車３によって一時的に置かれる。天井吊下棚６は、固定棚６３と、可動棚６４と、スライド機構６６と、を含んでいる。可動棚６４は、固定棚６３よりも下方に配置されており、横方向にスライド可能である。スライド機構６６は、可動棚６４を横方向にスライドさせる機構を有する。天井搬送車３は、移載装置３２と、ギア駆動モータ３８と、を含んでいる。移載装置３２は、ＦＯＵＰ９を横移載及び下移載可能である。ギア駆動モータ３８は、スライド機構６６に伝達する動力を発生させる。天井搬送車３は、移載装置３２によりＦＯＵＰ９を固定棚６３に横移載可能である。天井搬送車３は、ギア駆動モータ３８の動力をスライド機構６６に伝達することで可動棚６４を横方向にスライドさせるとともに、移載装置３２によりＦＯＵＰ９を当該可動棚６４に下移載可能である。

これにより、可動棚６４をスライドさせるためのギア駆動モータ３８を天井吊下棚６側に設けることなく、複数段の天井吊下棚６のそれぞれにＦＯＵＰ９を移載できる。特に、移載装置３２ではなく可動棚６４が横方向にスライドするため、可動棚６４の上方に移載装置３２を入れるスペースを確保する必要がないため、可動棚６４の上下方向のスペースを抑えることができる。また、天井吊下棚６に固定棚６３を設けることで、全ての棚がスライドする構成と比較して、天井吊下棚６の構成を単純にすることができる。

また、本実施形態の搬送システム１において、固定棚６３に置かれたＦＯＵＰ９の高さと、天井搬送車３により搬送中のＦＯＵＰ９の高さと、が略同じである。

これにより、固定棚６３が高い位置に設けられるので、天井近傍のスペースを有効に活用できる。更に、ＦＯＵＰ９を殆ど又は全く上下方向に移動させずにＦＯＵＰ９を固定棚６３に移載できるので、移載に掛かる時間を短くすることができる。

また、本実施形態の搬送システム１において、可動棚６４をスライドさせてＦＯＵＰ９を下移載する場合において、移載装置３２による下移載の動作時間と、スライド機構６６による可動棚６４のスライド時間と、が時間的に重なっている。

これにより、下移載に掛かる時間を短くすることができる。

また、本実施形態の搬送システム１において、目標位置は、ＦＯＵＰ９に対して処理を行う処理装置４に対して当該ＦＯＵＰ９を置くための場所である。平面視において、スライド後の（移載位置の）可動棚６４と、目標位置（ロードポート５）と、が重なっている。移載装置３２は、可動棚６４がスライド前の状態（保管位置にある状態）において、ＦＯＵＰ９を目標位置に移載する。

これにより、可動棚６４が目標位置への移載の邪魔になることを防止できる。

また、本実施形態の搬送システム１において、天井搬送車３は、ギア駆動モータ３８により回転するマグネット駆動ギア３７を備える。スライド機構６６は、マグネット駆動ギア３７と一体的に回転するマグネット従動ギア７１と、当該マグネット従動ギア７１の回転により直線運動して可動棚６４をスライドさせるラック６４ａと、を備える。

これにより、天井搬送車３から天井吊下棚６へ回転動力を伝達するだけで、可動棚６４をスライドさせることができる。

以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。

上記実施形態では、可動棚６４は１段であるが、複数段であってもよい。この場合、それぞれの可動棚６４を個別にスライドする必要がある。従って、天井搬送車３は、可動棚６４の各段に応じたマグネット駆動ギア３７をそれぞれ異なる位置に備える。また、天井搬送車３は、指定したマグネット駆動ギア３７のみを回転可能である。一方、天井吊下棚６にも、可動棚６４の各段に応じたマグネット従動ギア７１が配置される。以上の構成により、可動棚６４が複数段であっても、ＦＯＵＰ９を移載できる。なお、天井吊下棚６の段数に関係なく、最も高い棚が固定棚６３となり、それ以外の棚が可動棚６４となる。

上記実施形態では、半導体製品を製造する工場に設置される搬送システム１について説明したが、この搬送システム１は、他の製品を製造する工場に設置することもできる。また、この搬送システム１は、製造工場以外の建屋（例えば倉庫）に設置することもできる。

１ 搬送システム
３ 天井搬送車
４ 処理装置
５ ロードポート
６ 天井吊下棚
９ ＦＯＵＰ（物品）
３２ 移載装置
３３ 横移載機構
３５ 下移載機構
３７ マグネット駆動ギア（第１回転体）
３８ ギア駆動モータ（駆動部）
６３ 固定棚
６４ 可動棚
６６ スライド機構
７１ マグネット従動ギア（第２回転体）
７２ 動力伝達シャフト
７３ ピニオンギア
６４ａ ラック（スライド部）

Claims (5)

1. 建屋の天井に設けられるレールに沿って走行して物品を搬送する天井搬送車と、
   天井から吊り下げられた棚であり、目標位置に搬送される前記物品が前記天井搬送車によって一時的に置かれる天井吊下棚と、
   を備え、
   前記天井吊下棚は、
   固定棚と、
   前記固定棚よりも下方に配置されており、横方向にスライド可能な１又は複数の可動棚と、
   前記可動棚を横方向にスライドさせる機構を有するスライド機構と、
   を含んでおり、
   前記天井搬送車は、
   前記物品を横移載及び下移載可能な移載装置と、
   前記スライド機構に伝達する動力を発生させる駆動部と、
   を含んでおり、
   前記天井搬送車は、
   前記移載装置により前記物品を前記固定棚に横移載することが可能であるとともに、
   前記駆動部の動力を前記スライド機構に伝達することで前記可動棚を横方向にスライドさせるとともに、前記移載装置により前記物品を当該可動棚に下移載することが可能であることを特徴とする搬送システム。
2. 請求項１に記載の搬送システムであって、
   前記固定棚に置かれた前記物品の高さと、前記天井搬送車により搬送中の前記物品の高さと、が略同じであることを特徴とする搬送システム。
3. 請求項１又は２に記載の搬送システムであって、
   前記可動棚をスライドさせて前記物品を下移載する場合において、
   前記移載装置による下移載の動作時間と、前記スライド機構による前記可動棚のスライド時間と、が時間的に重なっていることを特徴とする搬送システム。
4. 請求項１から３までの何れか一項に記載の搬送システムであって、
   前記目標位置は、前記物品に対して処理を行う処理装置に対して当該物品を置くための場所であり、
   平面視において、スライド後の前記可動棚と、前記目標位置と、が重なっており、
   前記移載装置は、前記可動棚がスライド前の状態において、前記物品を前記目標位置に移載することを特徴とする搬送システム。
5. 請求項１から４までの何れか一項に記載の搬送システムであって、
   前記天井搬送車は、前記駆動部により回転する第１回転体を備え、
   前記スライド機構は、前記第１回転体と一体的に回転する第２回転体と、当該第２回転体の回転により直線運動して前記可動棚をスライドさせるスライド部と、を備えることを特徴とする搬送システム。

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