KR20120029325A - 반송 장치 - Google Patents

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KR20120029325A
KR20120029325A KR20110091200A KR20110091200A KR20120029325A KR 20120029325 A KR20120029325 A KR 20120029325A KR 20110091200 A KR20110091200 A KR 20110091200A KR 20110091200 A KR20110091200 A KR 20110091200A KR 20120029325 A KR20120029325 A KR 20120029325A
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traveling
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KR20110091200A
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마사유키 나카가와
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

본 발명은, 기판의 튀어나옴을 방지하면서 주행 시에 있어서 기판 출입 방향에서의 크기의 소형화를 도모할 수 있는 반송 장치를 제공한다. 수납 용기(4)를 유지한 상태로 주행 가능한 주행 유지체(10)와, 수납 용기(4)의 개구(6)로부터 기판(5)이 튀어나오는 것을 방지하는 튀어나옴 방지 기구(9)를 설치하고, 튀어나옴 방지 기구(9)를, 기판(5)의 측면에 접촉하는 접촉 위치와 기판(5)의 측면으로부터 이격(離隔)되는 이격 위치로 이동 가능한 접촉체(26)를 구비하여 구성하고, 접촉 위치를, 기판 출입 방향 D에서, 기판(5)의 개구측 단부(端部)와 중앙부와의 사이에 접촉체(26)가 위치하도록 설정한다.

Description

반송 장치{TRANSPORT DEVICE}
본 발명은, 원판 형상의 기판을 상하 방향으로 적층시킨 상태로 수납하고, 또한 측면에 기판 출입용의 개구가 형성된 수납 용기를, 유지한 상태로 주행 가능한 주행 유지체와, 상기 주행 유지체에 의해 유지되고 있는 상기 수납 용기의 상기 개구로부터 기판이 튀어나오는 것을 방지하는 튀어나옴 방지 기구가 설치되어 있는 반송(搬送) 장치에 관한 것이다.
이러한 반송 장치는, 수납 용기를 유지한 주행 유지체를 주행시켜 수납 용기를 반송(搬送)하는 것이며, 주행 유지체를 주행시킬 때 수납 용기의 개구로부터 기판이 튀어나오지 않도록 하기 위한 튀어나옴 방지 기구가 설치되어 있다.
그리고, 이와 같은 반송 장치의 종래예로서, 튀어나옴 방지 기구를, 수납 용기에 수납되어 있는 기판의 측면에 접촉하는 접촉 위치와 기판의 측면으로부터 이격(離隔)되는 이격 위치로 이동 가능한 접촉체를 구비하여 구성하고, 상기 접촉체의 접촉 위치가, 기판 출입 방향으로, 수납 용기에 수납된 기판의 개구측 단부(端部)의 내측으로부터 외측에 걸쳐 위치하도록 설정되어 있는 기술이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
이로써, 접촉체를 접촉 위치로 이동시킨 상태로 주행 유지체를 주행시킴으로써, 수납 용기로부터 기판이 튀어나오는 것을 방지하면서 반송 장치를 주행시키는 것이 가능하다. 또한, 접촉체를 이격 위치로 이동시킴으로써, 반송 장치에 구비한 이송탑재 수단이나 외부의 이송탑재 수단을 사용하여 반송 유지체에 유지되고 있던 수납 용기를 용기 반송 대상 개소로 이송탑재할 때, 기판이 접촉체에 접촉되어 파손되는 것을 미연에 방지할 수 있다.
일본공개특허 제2001-077170호 공보
상기한 종래의 반송 장치에서는, 접촉체를 접촉 위치로 이동시킨 상태에서, 접촉체가, 기판 출입 방향으로, 기판의 개구측 단부의 내측으로부터 외측에 걸쳐 위치하고 있다. 이와 같이, 접촉체를 접촉 위치로 이동시킨 상태에서 접촉체가 기판의 개구측 단부보다 외측에 존재하고 있으면, 접촉체가 기판의 개구측 단부보다 외측에 존재하고 있는 만큼, 접촉체를 접촉 위치로 이동시킨 상태에서의 반송 장치의 기판 출입 방향의 폭이 커지기 쉬워, 주행 시에서의 반송 장치의 기판 출입 방향에서의 크기를 작게 하기 어려운 것이었다.
본 발명은, 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 이루어진 것으로서, 그 목적은, 기판의 튀어나옴을 방지하면서 주행 시에서의 기판 출입 방향에서의 크기를 작게 하기 용이한 반송 장치를 제공하는 점에 있다.
본 발명에 관한 반송 장치는, 원판 형상의 기판을 상하 방향으로 적층시킨 상태로 수납하고, 또한 측면에 기판 출입용의 개구가 형성된 수납 용기를, 유지한 상태로 주행 가능한 주행 유지체와, 상기 주행 유지체에 의해 유지되고 있는 상기 수납 용기의 상기 개구로부터 기판이 튀어나오는 것을 방지하는 튀어나옴 방지 기구가 설치되어 있는 것으로서,
상기 튀어나옴 방지 기구가, 상기 주행 유지체에 유지된 상기 수납 용기에 수납되어 있는 기판의 측면에 접촉하는 접촉 위치와 기판의 측면으로부터 이격되는 이격 위치로 이동 가능한 접촉체를 구비하고, 상기 접촉 위치가, 기판 출입 방향으로, 상기 수납 용기에 수납된 기판의 개구측 단부와 중앙부와의 사이에 상기 접촉체가 위치하도록 설정되어 있다.
이와 같은 구성에 의하면, 튀어나옴 방지 기구의 접촉체를 접촉 위치로 이동시킨 상태에서는, 수납 용기의 개구로부터 기판이 튀어나오는 것을 방지할 수 있고, 튀어나옴 방지 기구의 접촉체를 이격 위치로 이동시킨 상태에서는, 튀어나옴 방지 기구에 대하여 수납 용기를 상대적으로 이동시킬 때 접촉체가 기판에 간섭함으로써 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 접촉체를 접촉 위치로 이동시킨 상태에서는, 접촉체가, 기판 출입 방향으로, 기판의 개구측 단부보다 내측(수납 용기의 내부에 향하는 측)에 위치하고 있다. 이와 같이, 접촉체를 접촉 위치로 이동시킨 상태에서 접촉체가 기판의 개구측 단부보다 외측(수납 용기의 외부을 향하는 측)에 존재하고 있지 않으므로, 접촉체를 접촉 위치로 이동시킨 상태에서의 반송 장치의 기판 출입 방향의 폭이 커지지 않으므로, 주행 시에서의 반송 장치의 기판 출입 방향에서의 크기를 작게 하기 용이하다.
따라서, 기판의 튀어나옴을 방지하면서 주행 시에서의 기판 출입 방향에서의 크기를 작게 하기 용이한 반송 장치를 제공할 수 있기에 이르렀다.
본 발명에 관한 반송 장치의 실시예에서는, 상기 주행 유지체가, 상기 개구가 주행 방향과 교차하는 가로 방향을 향하는 자세로 상기 수납 용기를 유지하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 주행 유지체가, 수납 용기의 개구가 가로 방향을 향하는 자세로 수납 용기를 유지함으로써, 기판 출입 방향이 가로 방향으로 되므로, 주행 유지체의 가로 방향에서의 크기를 작게 함으로써, 주행 유지체의 주행 경로의 가로 폭을 작게 할 수 있다.
본 발명에 관한 반송 장치의 실시예에서는, 상기 튀어나옴 방지 기구가, 상기 수납 용기에 수납된 기판에서의 기판 출입 방향과 직교하는 폭 방향의 중앙에 대하여 그 양측에 위치하는 한쌍의 상기 접촉체와, 상기 한쌍의 접촉체를 서로 상기 폭 방향을 따라 접근 이동시켜 상기 접촉 위치로 이동시키고, 상기 한쌍의 접촉체를 서로 상기 폭 방향을 따라 이격 이동시켜 상기 이격 위치로 이동시키는 이동 조작 기구를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 한쌍의 접촉체를 기판에서의 폭 방향의 중앙에 대하여 그 양측에 위치시킴으로써, 접촉체를 기판에 대하여 폭 방향으로 양호한 밸런스로 접촉시킨 상태에서 기판의 튀어나옴을 방지할 수 있다.
또한, 한쌍의 접촉체를 폭 방향으로 서로 원근 이동시켜, 한쌍의 접촉체의 위치를 접촉 위치와 이격 위치로 이동시킴으로써, 접촉 위치뿐아니라 이격 위치에서도 접촉체를 개구측 단부와 중앙부와의 사이에 위치시킬 수 있으므로, 접촉체를 이격 위치로 이동시킨 상태에서도 반송 장치의 기판 출입 방향에서의 크기를 작게 하기 용이하다.
본 발명에 관한 반송 장치의 실시예에서는, 상기 주행 유지체가, 상기 수납 용기를 유지하는 유지부와 상기 유지부를 승강 가능하게 지지하는 주행 가능한 주행부를 구비하여, 상기 주행부의 주행 및 상기 승강부의 승강에 의해 용기 반송 대상 개소에 상기 수납 용기를 반송하도록 구성되며, 상기 튀어나옴 방지 기구가, 상기 유지부에 지지되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 튀어나옴 방지 기구를 유지부에 지지시킴으로써, 유지부를 승강 이동시킬 때 튀어나옴 방지 기구도 일체로 승강 이동시킬 수 있으므로, 접촉체를 접촉 위치로 이동시킨 상태에서 유지부를 승강 이동시킬 수 있고, 유지부를 승강 이동시킬 때의 수납 용기로부터의 기판의 튀어나옴을 방지할 수 있다.
본 발명에 관한 반송 장치의 실시예에서는, 상기 주행 유지체가, 상기 수납 용기를 유지하는 유지부와 상기 유지부를 승강 가능하게 지지하는 주행 가능한 주행부를 구비하여, 상기 주행부의 주행 및 상기 승강부의 승강에 의해 용기 반송 대상 개소에 상기 수납 용기를 반송하도록 구성되며, 상기 튀어나옴 방지 기구가, 상기 주행부에 지지되고, 상기 접촉체가, 상기 유지부가 주행용 위치로 승강 이동한 상태에서 상기 접촉 위치와 상기 이격 위치로 이동 가능하게 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 유지부를 주행용 위치로 승강 이동시키고, 또한 접촉체를 접촉 위치로 이동시킨 상태에서 주행부를 주행시킴으로써, 주행부를 주행시킬 때 수납 용기로부터 기판이 튀어나오는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 접촉부를 이격 위치로 이동시킨 상태에서 유지부를 승강 이동시킴으로써, 수납 용기에 수납된 기판에 접촉부가 간섭하지 않고 유지부를 승강 이동시킬 수 있어, 유지부를 승강 이동시킬 때 튀어나옴 방지 기구가 수납 용기에 수납되어 있는 기판과 간섭하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 관한 반송 장치의 실시예에서는, 상기 수납 용기의 반송 대상인 용기 반송 대상 개소가, 기판에 대하여 처리를 행하는 처리 장치에 인접한 상태로 설치되고, 상기 주행 유지체가, 상기 개구가 상기 처리 장치측을 향하는 자세로 상기 수납 용기를 유지하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 주행 유지체에 의해 유지되고 있는 수납 용기를 용기 반송 대상 개소에 반송함으로써, 수납 용기의 개구가 처리 장치측을 향하고 있으므로, 수납 용기 처리 장치와의 사이에서의 기판의 이송탑재를 행하기 용이한 것으로 된다.
그리고, 예를 들면, 튀어나옴 방지 기구를 유지부에 지지시키는 경우에는, 접촉체를 기판의 개구측 단부보다 내측에 위치시킴으로써, 용기 반송 대상 개소에 위치하는 수납 용기와 처리 장치와의 사이에 접촉체가 개재하는 스페이스가 필요없다. 또한, 튀어나옴 방지 기구를 주행부에 지지시키는 경우에는, 튀어나옴 방지 기구를 주행부에 남긴 상태로 유지부가 승강 이동하므로, 용기 반송 대상 개소에 위치하는 수납 용기와 처리 장치와의 사이에 접촉체가 개재하는 스페이스가 필요없다.
이와 같이, 용기 반송 대상 개소에 위치하는 수납 용기와 처리 장치와의 사이에 접촉체를 개재시키는 스페이스가 필요없는 만큼, 용기 반송 대상 개소를 처리 장치에 근접시킬 수 있으므로, 용기 반송 대상 개소에 위치하는 수납 용기와 처리 장치와의 거리가 가깝게 되어, 수납 용기와 처리 장치와의 사이에서의 기판의 이송탑재를 행하기 용이하게 된다.
본 발명에 관한 반송 장치의 실시예에서는, 상기 튀어나옴 방지 기구에서의 상기 접촉체를 이동 조작하는 이동 조작 기구가, 상기 접촉체를 상기 접촉 위치와 상기 이격 위치로 이동 조작시키는 액츄에이터를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 이동 조작 기구가, 접촉체를 접촉 위치와 이격 위치로 이동 조작시키는 액츄에이터를 구비하여 구성되어 있으므로, 그 액츄에이터의 작동에 의해 접촉체를 임의의 타이밍에서 접촉 위치와 이격 위치로 이동 조작할 수 있다.
따라서, 예를 들면, 튀어나옴 방지 기구를 유지부에 지지시키는 경우에는, 유지부를 승강시키는 도중에 튀어나옴 방지 기구를 접촉 위치와 이격 위치로 이동 조작함으로써, 수납 용기를 용기 반송 대상 개소에 내려놓거나 또는 용기 반송 대상 개소로부터 들어올릴 때 기판과 접촉체가 미끄러지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 튀어나옴 방지 기구를 주행부에 지지시키는 경우에는, 유지부를 주행용 위치로부터 승강 이동시키기 전에 튀어나옴 방지 기구를 접촉 위치로부터 이격 위치로 이동 조작함으로써, 유지부를 승강 이동시킬 때 기판과 접촉체가 미끄러지는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 관한 천정(天井) 반송차 및 처리 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 관한 천정 반송차의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 관한 천정 반송차의 측면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 관한 수납 용기와 접촉체를 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 관한 용기 반송 대상 개소에 위치하는 수납 용기를 나타낸 정면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 관한 제어 블록도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예 1에 관한 천정 반송차의 측면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예 3에 관한 천정 반송차의 정면도이다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 장치로서의 천정 반송차(A)는, 천정측에 설치된 주행 레일(1)에 안내 지지되는 상태로 복수 개 설치되어 있고, 용기 반송 대상 개소(2)의 위쪽을 경유하는 주행 경로(3)를 따라 주행하여 기판(5)을 수납하는 수납 용기(4)를 반송하도록 구성되어 있다. 용기 반송 대상 개소(2)는, 수납 용기(4)의 반송 대상이며, 수납 용기(4)로부터 인출한 기판(5)에 대하여 처리를 행하는 처리 장치(B)에 대응하여 설치되어 있다. 본 예에서는, 용기 반송 대상 개소(2)는, 처리 장치(B)에 대하여 주행 방향[주행 경로(3)를 따른 방향]과 직교하는 폭 방향(경로 폭 방향)에 인접한 상태로 설치되어 있다.
도 2~도 4에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(A)에 의해 반송되는 수납 용기(4)는, 웨이퍼 등의 원판 형상의 기판(5)을 상하 방향으로 적층시킨 상태로 수납하고, 또한 측면에 기판 출입용의 개구(6)가 형성된 오픈 카세트(open cassette)에 의해 구성되어 있다.
설명을 추가하면, 수납 용기(4)는, 기판(5)보다 대경(大徑)(본 예에서는 약간 대경)의 바닥판(4b) 및 천정판(4c)을 구비하고, 이들 바닥판(4b)과 천정판(4c)이 측벽(4d)에 의해 연결되어 구성되어 있고, 앞쪽의 측면에 기판 출입용의 개구(6)가 형성되어 있다. 그리고, 수납 용기(4)에는, 측벽(4d)에 의해 지지되는 형태로 기판(5)이 상하 방향으로 적층시킨 상태로 수납(바꾸어 말하면 수용)되어 있고, 개구(6)를 통해 기판(5)이 출입되도록 되어 있다. 또한, 측벽(4d)은, 수납된 기판(5)의 측방으로부터 후방에 걸쳐 위치하고 있고, 이 측벽(4d)에 의해 후측면으로부터의 기판(5)의 튀어나옴이 방지되어 있다. 또한, 수납 용기(4)에는, 개구(6)를 닫는 커버는 설치되어 있지 않다.
천정 반송차(A)에는, 수납 용기(4)를 유지한 상태로 주행 가능한 주행 유지체(8)와, 주행 유지체(8)에 의해 유지되고 있는 수납 용기(4)의 개구(6)로부터 기판(5)이 튀어나오는 것을 방지하는 튀어나옴 방지 기구(9)가 설치되어 있다.
주행 유지체(8)는, 수납 용기(4)를 유지하는 유지부(10)와, 그 유지부(10)를 승강 가능하게 지지하는 주행 가능한 주행부(11)를 구비하여, 주행부(11)의 주행 및 유지부(10)의 승강에 의해 용기 반송 대상 개소(2)에 수납 용기(4)를 반송 가능하게 구성되어 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 주행 유지체(8)는, 개구(6)가 주행 방향과 교차(본 예에서는 직교)하는 가로 방향을 향하는 자세로 수납 용기(4)를 유지하도록 구성되어 있고, 주행 유지체(8)가 용기 반송 대상 개소(2)의 바로 위에 위치한 상태에서, 개구(6)가 처리 장치(B) 측을 향하는 자세로 수납 용기(4)를 유지하도록 구성되어 있다.
이와 같이, 주행 유지체(8)에 의해 개구(6)가 가로 방향을 향하는 자세로 수납 용기(4)를 유지함으로써, 기판(5)의 기판 출입 방향 D는, 주행 유지체(8)의 주행 방향과 직교하는 가로 방향과 같은 방향으로 되고, 기판 출입 방향 D와 직교하는 폭 방향 W는, 주행 유지체(8)의 주행 방향과 같은 방향으로 되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 주행부(11)의 상부에는, 주행용 모터(14)에 의해 회전 구동되어 주행 레일(1)의 상면을 전동(轉動)하는 구동륜(15)과, 주행 레일(1)의 측면에 맞닿는 회전 가능한 안내륜(16)이 설치되어 있다. 그리고, 주행용 모터(14)에 의해 구동륜(15)이 회전 구동되고, 안내륜(16)이 주행 레일(1)에 의해 접촉 안내되는 것에 의해, 주행부(11)가 주행 레일(1)에 안내되어 주행 경로(3)를 따라 주행하도록 구성되어 있다.
주행부(11)의 상하 중간부에는, 수전(受電) 코일(12)이 설치되어 있고, 주행 경로(3)를 따라 설치된 급전선(13)의 교류 전류의 통전에 의해 자계를 발생시키고, 이 자계에 의해 천정 반송차(A) 측에서의 필요 전력을 발생시켜, 천정 반송차(A)에 대하여 무접촉 상태로 급전을 행하도록 구성되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 주행부(11)의 하부에 설치된 커버체(17)는, 주행 방향으로 연장되는 상부 커버부(17a)와, 그 상부 커버부(17a)의 주행 방향의 양단으로부터 아래쪽으로 연장되는 한쌍의 전후 커버부(17b)에 의해, 가로측면에서 볼 때 하방이 개구된 ㄷ자형(U자형)으로 설치되어 있다. 상부 커버부(17a) 및 한쌍의 전후 커버부(17b)의 각각은, 도 2에 나타낸 바와 같이, 그 가로 방향의 폭이 수납 용기(4)의 가로 방향의 폭보다 크게 형성되어 있고, 유지부(10)에 의해 유지된 수납 용기(4)가 커버체(17)로부터 가로 방향(기판 출입 방향 D)으로 돌출되지 않도록 되어 있다.
또한, 주행부(11)의 하부에는, 와이어(18)를 권취하여 승강용 모터(19)에 의해 회전 구동되는 회전 드럼(20)이 설치되어 있고, 그 와이어(18)의 하단(下端)에는 유지부(10)가 연결되어 있다. 그리고, 승강용 모터(19)에 의해 회전 드럼(20)을 회전 구동시킴으로써, 주행부(11)에 현수(懸垂) 지지된 유지부(10)를, 주행부(11)의 가까이에 위치하는 주행용 위치[본 예에서는 커버체(17)에 에워싸인 공간 내에 위치하는, 도 2 및 도 3 참조]와, 용기 반송 대상 개소(2)에 대하여 수납 용기(4)를 교환(즉, 받아건넴)하기 위해 주행용 위치보다 아래쪽에 위치시킨 이송탑재용 위치[도 5의 (a) 참조]로 승강 이동시키도록 구성되어 있다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 유지부(10)에는, 와이어(18)의 하단에 연결된 본체부(22)와, 파지용 모터(23)에 의해 구동되는 파지부가 설치되어 있다. 본 예에서는, 파지부는, 파지용 모터(23)에 의해 요동(搖動) 구동되는 한쌍의 파지 클릭(24)에 의해 구성되어 있다. 한쌍의 파지 클릭(24)은, 본체부(22)로부터 아래쪽으로 돌출하는 상태로 또한 주행 방향(폭 방향 W)으로 배열된 상태로, 가로 방향(기판 출입 방향 D)을 따르는 축심(軸芯) 주위로 요동 가능하게 본체부(22)에 지지되어 있다.
그리고, 도시는 생략하지만, 파지용 모터(23)에 의해 한쌍의 파지 클릭(24)을 요동 구동시킴으로써, 한쌍의 파지 클릭(24)을 서로 근접시켜 수납 용기(4)에서의 천정판(4c)의 상면에 설치된 플랜지부(4a)를 파지하는 파지(把持) 자세와, 한쌍의 파지 클릭(24)을 서로 이격시켜 수납 용기(4)에 대한 파지를 해제하는 파지 해제 자세로 전환 가능하게 구성되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 본체부(22)의 가로 방향의 폭은, 커버체(17)의 가로 방향의 폭보다 작게 구성되어 있고, 파지 클릭(24)의 가로 방향의 폭은, 본체부(22)의 가로 방향의 폭보다 작게 구성되어 있다. 또한, 본체부(22)의 가로 방향 및 주행 방향(도 3 참조)의 폭은, 수납 용기(4)의 가로 방향 및 주행 방향의 폭과 같은 폭으로 구성되어 있다.
튀어나옴 방지 기구(9)는, 본 실시예에서는, 유지부(10)에 지지되어 있다. 이 튀어나옴 방지 기구(9)는, 주행 유지체(8)에서의 유지부(10)에 유지된 수납 용기(4)에 수납되어 있는 기판(5)의 측면에 접촉하는 접촉 위치(도 4에 실선으로 나타낸 위치)와 기판(5)의 측면으로부터 수평 방향으로 이격되는 이격 위치(도 4에 가상선으로 나타낸 위치)로 이동 가능한 접촉체(26)를 구비하여 구성되어 있다.
튀어나옴 방지 기구(9)에 대하여 설명을 추가하면, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 수납 용기(4)에 수납된 기판(5)에서의 주행 방향(폭 방향 W)의 중앙에 대하여 그 양측에 위치하도록 접촉체(26)를 한쌍 구비하고, 한쌍의 접촉체(26)를 서로 주행 방향을 따라 근접 이동시켜 접촉 위치로 이동시키고, 한쌍의 접촉체(26)를 주행 방향을 따라 이격 이동시켜 이격 위치로 이동시키는 이동 조작 기구로서의 실린더 장치(27)를 구비하여 구성되어 있다. 이 실린더 장치(27)는, 접촉체(26)를 접촉 위치와 이격 위치로 이동 조작시키는 액츄에이터에 상당한다.
실린더 장치(27)는, 실린더 본체(27a)에서의 길이 방향의 양단의 각각으로부터 연결 로드(27b)가 돌출되어 있고, 그 한쌍의 연결 로드(27b)의 각각에 접촉체(26)가 연결되어 있고, 한쌍의 연결 로드(27b)를 실린더 본체(27a)에 대하여 출퇴(出退) 이동시켜 한쌍의 접촉체(26)를 서로 원근 이동시키도록 구성되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 실린더 장치(27)는, 본체부(22)의 하면측에 주행 방향을 따른 자세로 설치되어 있다. 실린더 장치(27)의 길이 방향의 길이는, 본체부(22)의 주행 방향의 폭보다 짧고, 실린더 장치(27)가 본체부(22)로부터 주행 방향(폭 방향 W)으로 돌출하지 않는 상태로 설치되어 있다. 도 1 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 실린더 장치(27)는, 본체부(22)에서의 가로 방향의 개구측 단부와 파지 클릭(24)과의 사이에 위치하여 본체부(22)로부터 가로 방향(기판 출입 방향 D)으로 돌출하지 않는 상태로 설치되어 있다.
도 2~도 4에 나타낸 바와 같이, 실린더 장치(27)에서의 한쌍의 연결 로드(27b)의 각각은, 실린더 본체(27a)로부터 주행 방향의 외측으로 연장되어, 그 선단으로부터 기판(5)이 존재하는 내측(개구측의 반대측)으로 연장되는 형상으로 형성되어 있고, 접촉체(26)는 연결 로드(27b)의 내측으로 연장되는 부분의 하단에 연결되어 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 접촉체(26)는, 경도가 높은 경질의 수지재에 의해 구성된 봉형(棒形)의 축심부(26a)와, 이 축심부(26a)보다 경도가 낮은 연질의 수지재에 의해 구성되어 축심부(26a)의 측 주위를 덮는 접촉부(26b)로 구성되어 있고, 축심부(26a)에 연결 로드(27b)가 연결되고, 접촉부(26b)가 기판(5)의 측면에 접촉하도록 되어 있다.
그리고, 접촉체(26)의 접촉 위치는, 가로 방향(기판 출입 방향 D)으로, 수납 용기(4)에 수납된 기판(5)에서의 가로 방향의 개구측 단부(端部)와 중앙부와의 사이에 설정되고, 주행 방향(폭 방향 W)으로, 수납 용기(4)에 수납된 기판(5)에서의 주행 방향의 단부와 중앙부와의 사이에 설정되어 있다.
또한, 접촉체(26)의 이격 위치는, 가로 방향(기판 출입 방향 D)으로, 수납 용기(4)에 수납된 기판(5)에서의 가로 방향의 개구측 단부와 중앙부와의 사이에 설정되어 있다. 본 예에서는, 접촉체(26)의 이격 위치는, 주행 방향(폭 방향 W)으로, 수납 용기(4)에 수납된 기판(5)에서의 주행 방향의 단부와 같은 위치로 설정되어 있다.
즉, 접촉체(26)는, 가로 방향에 있어서는 기판(5)에서의 가로 방향의 개구측 단부와 중앙부와의 사이에 위치하고 있고, 기판(5)에서의 주행 방향의 단부와 중앙부와의 사이의 부분을 주행 방향을 따라 이동함으로써, 접촉 위치와 이격 위치로 이동하도록 되어 있다. 그리고, 접촉체(26)의 이격 위치를, 주행 방향에서, 수납 용기(4)에 수납된 기판(5)에서의 주행 방향의 단부보다 외측[기판(5)에서의 중앙부와는 반대측]으로 설정할 수도 있다.
접촉부(26b)의 상하 방향의 길이는, 수납 용기(4)에 적층된 상태로 수납되어 있는 최상단의 기판(5)과 최하단의 기판(5)과의 간격보다 길고, 바닥판(4b)과 천정판(4c)과의 간격보다 짧은 길이로 구성되어 있다. 또한, 접촉부(26b)는, 축심부(26a)보다 굵게 형성되어 있다.
따라서, 접촉체(26)를 접촉 위치로 이동시킨 상태에서는, 축심부(26a)가 천정판(4c)의 근처까지 이동하고, 접촉부(26b)가 개구(6)로부터 수납 용기 내에 진입하여, 접촉부(26b)가 수납 용기(4)에 수납되어 있는 기판(5)의 모두에 접촉하도록 되어 있다.
또한, 접촉체(26)를 이격 위치로 이동시킨 상태에서는, 축심부(26a)가 천정판(4c)으로부터 이격되고, 접촉부(26b)의 전체가 개구(6)로부터 수납 용기 밖으로 퇴출하도록 되어 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 주행 유지체(8) 및 튀어나옴 방지 기구(9)의 작동을 제어하는 제어 수단(H)(제어 장치)이 설치되어 있다. 제어 수단(H)은, CPU, 메모리, 통신 유닛 등을 가지고 구성되며, 본 명세서에서 기재되는 기능을 실행하는 알고리즘이 메모리에 기억되어 있다.
용기 반송 대상 개소(2)에 위치하는 수납 용기(4)를 수취하는 경우에는, 제어 수단(H)은, 수납 용기(4)를 유지하지 않는 주행 유지체(8)를 용기 반송 대상 개소(2)에 대응하는 정지 위치까지 주행시킨 후, 유지부(10)를 이송탑재용 위치까지 하강시켜, 파지 클릭(24)을 파지 자세로 전환하여, 용기 반송 대상 개소(2)에 위치하는 수납 용기(4)를 파지하고, 그 후, 유지부(10)를 주행용 위치까지 상승 이동시키기 위해, 주행 유지체(8)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 제어 수단(H)은, 유지부(10)를 주행용 위치로 상승 이동시키기 전(예를 들면, 직전) 또는 상승 이동시키는 도중에, 접촉체(26)를 이격 위치로부터 접촉 위치로 이동시키기 위해, 튀어나옴 방지 기구(9)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 즉, 제어 수단(H)은, 유지부(10)가 주행용 위치보다 아래쪽에 위치하는 상태에서, 접촉체(26)를 이격 위치로부터 접촉 위치로 이동시킨다.
또한, 수납 용기(4)를 용기 반송 대상 개소(2)에 받아건네는 경우에는, 제어 수단(H)은, 수납 용기(4)를 유지하는 주행 유지체(8)를 용기 반송 대상 개소(2)에 대응하는 정지 위치까지 주행시킨 후, 유지부(10)를 이송탑재용 위치까지 하강시켜, 파지 클릭(24)을 파지 해제 자세로 전환하여, 용기 반송 대상 개소(2)에 수납 용기(4)를 내려놓고, 그 후, 유지부(10)를 주행용 위치까지 상승 이동시키기 위해, 주행 유지체(8)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 제어 수단(H)은, 유지부(10)를 이송탑재용 위치까지 하강시키는 도중 또는 하강 완료 후(예를 들면, 완료 직후)에, 접촉체(26)를 접촉 위치로부터 이격 위치로 이동시키기 위해, 튀어나옴 방지 기구(9)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 즉, 제어 수단(H)은, 유지부(10)가 주행용 위치보다 아래쪽에 위치하는 상태에서, 접촉체(26)를 접촉 위치로부터 이격 위치로 이동시킨다.
이와 같이, 접촉체(26)의 접촉 위치나 이격 위치를, 가로 방향으로, 수납 용기(4)에 수납된 기판(5)에서의 가로 방향의 개구측 단부와 중앙부와의 사이에 접촉체(26)[구체적으로는 접촉체(26) 전체]가 위치하도록 설정함으로써, 접촉체(26)가 가로 방향으로 기판(5)의 개구측 단부보다 개구측(외측)에 위치하지 않는다. 따라서, 천정 반송차(A)의 가로 방향(기판 출입 방향 D)의 폭을 작게 구성하기 용이한 동시에, 용기 반송 대상 개소(2)에 수납 용기(4)를 내려놓을 때 수납 용기(4)를 처리 장치(B)의 가까이에 내려놓을 수가 있어, 수납 용기(4)와 처리 장치(B) 사이에서의 기판(5)의 이송탑재를 행하기 용이하게 된다.
[다른 실시예]
(1) 상기 실시예에서는, 튀어나옴 방지 기구(9)를, 유지부(10)에 지지시켰으나, 튀어나옴 방지 기구(9)를, 주행부(11)에 지지시켜도 된다.
구체적으로는, 예를 들면, 도 7에 나타낸 바와 같이, 실린더 장치(27)를, 커버 몸(17)에서의 한쌍의 전후 커버부(17b)의 각각에 설치하고, 이 실린더 장치(27)에 접촉체(26)를 연결하여, 실린더 장치(27)의 신축 작동에 의해, 한쌍의 접촉체(26)를 서로 원근 이동시켜 접촉 위치와 퇴피 위치로 이동하도록 구성해도 된다.
(2) 상기 실시예에서는, 유지부(10)가 주행용 위치보다 아래쪽에 위치하는 상태로, 접촉체(26)를 접촉 위치와 이격 위치로 이동시키도록 했지만, 유지부(10)가 주행용 위치에 위치하는 상태로, 접촉체(26)를 접촉 위치와 이격 위치로 이동시키도록 해도 된다.
구체적으로는, 예를 들면, 수납 용기(4)를 유지하는 주행 유지체(8)를 용기 반송 대상 개소(2)에 대응하는 정지 위치까지 주행시킨 후, 유지부(10)의 이송탑재용 위치로의 하강을 개시하기 전에, 접촉체(26)를 접촉 위치로부터 이격 위치로 이동시키기 위해, 제어 수단(H)에 의해 튀어나옴 방지 기구(9)의 작동을 제어하도록 구성해도 된다. 또한, 수납 용기(4)를 유지하는 유지부(10)를 주행용 위치로 상승시킨 후, 주행 유지체(8)의 주행을 개시하게 하기 전에, 접촉체(26)를 이격 위치로부터 접촉 위치로 이동시키기 위해, 제어 수단(H)에 의해 튀어나옴 방지 기구(9)의 작동을 제어하도록 구성해도 된다.
(3) 상기 실시예에서는, 천정 반송차(A)를, 오픈 카세트 전용으로 구성하였지만, 도 8에 나타낸 바와 같이, FOUP(Front 0pening Unified Pod)(30)를 반송하기 위한 FOUP용의 천정 반송차(A)에 튀어나옴 방지 기구(9)를 설치하여 오픈 카세트를 반송 가능한 천정 반송차(A)를 구성해도 된다.
(4) 상기 실시예에서는, 주행 유지체(8)를, 개구(6)가 가로 방향으로 향하는 자세로 수납 용기(4)를 유지하도록 구성하였지만, 주행 유지체(8)를, 개구(6)가 주행 방향으로 향하는 자세로 수납 용기(4)를 유지하도록 구성해도 된다.
(5) 상기 실시예에서는, 튀어나옴 방지 기구(9)를, 기판(5)에서의 폭 방향 W의 중앙에 대하여 그 양측에 위치하도록 접촉체(26)를 한쌍 구비하여 구성하였지만, 튀어나옴 방지 기구(9)를, 기판(5)에서의 폭 방향 W의 중앙에 대하여 그 한쪽에만 위치하도록 접촉체(26)를 1개 구비하여 구성해도 된다.
(6) 상기 실시예에서는, 접촉체(26)를 폭 방향 W를 따라 이동시켜 접촉 위치와 이격 위치로 이동시켰으나, 접촉체(26)를 폭 방향 W에 교차하는 방향(예를 들면, 기판 출입 방향 D)을 따라 이동시켜 접촉 위치와 이격 위치로 이동시켜도 된다. 접촉체(26)를 기판 출입 방향 D를 따라 이동시키는 구성에서는, 접촉체(26)를 한쌍 구비하는 경우, 한쌍의 접촉체(26)의 양쪽을 기판 출입 방향 D를 따라 이동시킴으로써, 상기 한쌍의 접촉체(26)는 서로 접근 이격되지 않고 접촉 위치와 이격 위치로 이동하는 구성으로 된다.
(7) 상기 실시예에서는, 튀어나옴 방지 기구(9)를, 접촉체(26)를 접촉 위치와 이격 위치로 이동 조작시키는 액츄에이터를 구비하여 구성하였지만, 튀어나옴 방지 기구(9)에, 액츄에이터를 구비하지 않아도 된다. 구체적으로는, 튀어나옴 방지 기구(9)를, 용기 반송 대상 개소(2)에 설치된 조작 부재에 조작되는 피조작체와 상기 피조작체와 접촉체(26)를 연결하는 연결 기구(링크 기구)를 구비하여 구성해도 된다. 이 경우, 예를 들면, 조작 부재를, 용기 반송 대상 개소(2)의 근방에 설치하고, 또한 유지부(10)의 하강 조작에 따라 피조작체를 푸시 조작하고, 유지부(10)의 상승 이동에 따라 피조작체의 푸시 조작을 해제하도록 설치하고, 연결 기구를, 피조작체가 푸시 조작되었을 경우에 접촉체(26)를 접촉 위치로부터 이격 위치로 이동시키고, 피조작체로의 푸시 조작이 해제된 경우에 접촉체(26)를 이격 위치로부터 접촉 위치로 이동시키도록, 피조작체와 접촉체(26)를 연동시키는 기구로서 구성할 수 있다.
또한, 접촉체(26)를 접촉 위치와 이격 위치로 이동 조작하는 액츄에이터[실린더 장치(27)]와 파지 클릭(24)을 파지 자세와 파지 해제 자세에 자세 변경시키는 액츄에이터[파지용 모터(23)]를 겸용함으로써, 접촉체(26)를 이동 조작하는 전용의 액츄에이터를 구비하지 않아도 된다.
구체적으로는, 예를 들면, 파지 클릭(24)이 파지 자세일 때는 접촉체(26)가 접촉 위치로 되고, 파지 클릭(24)이 파지 해제 자세일 때는 접촉체(26)가 이격 위치로 되도록, 접촉체(26)를 파지 클릭(24)에 장착하는 것 등에 의해 접촉체(26)를 파지 클릭(24)에 연결시켜, 파지용 모터(23)에 의해 파지 클릭(24)이 파지 자세와 파지 해제 자세로 자세 변경하는 데 연동하여 접촉체(26)가 접촉 위치와 이격 위치로 이동 조작되도록 구성해도 된다.
(8) 상기 실시예에서는, 주행 유지체(8)를, 천정측에 설치된 주행 레일(1)에 안내 지지시켜 천정 근처를 주행하는 천정 주행식으로 하였으나, 주행 유지체(8)를, 바닥면 상을 자주(自走)하는 바닥면 주행식, 바닥면 상에 설치된 레일에 안내되어 바닥면 상을 주행하는 바닥면 주행식, 또는 바닥면 상에 설치된 레일에 안내 지지되어 레일 상을 주행하는 바닥면 주행식이라도 된다.
(9) 상기 실시예에서는, 이송탑재용 위치를 주행용 위치보다 아래쪽에 설정하고, 유지부(10)를 주행부(11) 가까이의 주행용 위치로부터 하강 이동시켜 이송탑재용 위치로 이동시키도록 구성하였지만, 이송탑재용 위치를 주행용 위치보다 위쪽으로 설정하고, 유지부(10)를 주행부(11)의 가까이의 주행용 위치로부터 상승 이동시켜 이송탑재용 위치로 이동시키도록 구성해도 된다. 또한, 이송탑재용 위치를 주행용 위치의 가로 방향으로 설정하고, 유지부(10)를 주행부(11) 가까이의 주행용 위치로부터 가로 방향으로 이동시켜 이송탑재용 위치로 이동시키도록 구성해도 된다. 또한, 유지부(10)를 주행부(11)에 이동 불가능하게 지지시켜, 용기 반송 대상 개소(2) 가까이에 설치된 용기 이송탑재 장치에 의해 유지부(10)와 용기 반송 대상 개소(2)와의 사이에서 수납 용기(4)를 이송탑재하도록 해도 된다.
1: 주행 레일
2: 용기 반송 대상 개소
4: 수납 용기
5: 기판
6: 개구
8: 주행 유지체
9: 튀어나옴 방지 기구
10: 유지부
11: 주행부
26: 접촉체
27: 액츄에이터(이동 조작 기구)
D: 기판 출입 방향
W: 폭 방향

Claims (7)

  1. 원판 형상의 기판을 상하 방향으로 적층시킨 상태로 수납하고, 또한 측면에 기판 출입용의 개구가 형성된 수납 용기를, 유지한 상태로 주행 가능한 주행 유지체와,
    상기 주행 유지체에 의해 유지되고 있는 상기 수납 용기의 상기 개구로부터 기판이 튀어나오는 것을 방지하는 튀어나옴 방지 기구가 설치되어 있는 반송 장치로서,
    상기 튀어나옴 방지 기구는, 상기 주행 유지체에 유지된 상기 수납 용기에 수납되어 있는 기판의 측면에 접촉하는 접촉 위치와 기판의 측면으로부터 이격(離隔)되는 이격 위치로 이동 가능한 접촉체를 구비하고,
    상기 접촉 위치는, 상기 기판 출입 방향으로, 상기 수납 용기에 수납된 기판의 개구측 단부(端部)와 중앙부와의 사이에 상기 접촉체가 위치하도록 설정되어 있는, 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 주행 유지체는, 상기 개구가 주행 방향과 교차하는 가로 방향으로 향하는 자세로 상기 수납 용기를 유지하도록 구성되어 있는, 반송 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 튀어나옴 방지 기구는, 상기 수납 용기에 수납된 기판에서의 기판 출입 방향과 직교하는 폭 방향의 중앙에 대하여 그 양측에 위치하는 한쌍의 상기 접촉체와, 상기 한쌍의 접촉체를 서로 상기 폭 방향을 따라 접근 이동시켜 상기 접촉 위치로 이동시키고, 상기 한쌍의 접촉체를 서로 상기 폭 방향을 따라 이격 이동시켜 상기 이격 위치로 이동시키는 이동 조작 기구를 구비하고 있는, 반송 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 주행 유지체는, 상기 수납 용기를 유지하는 유지부와 상기 유지부를 승강 가능하게 지지하는 주행 가능한 주행부를 구비하고, 상기 주행부의 주행 및 상기 승강부의 승강에 의해 용기 반송 대상 개소에 상기 수납 용기를 반송하도록 구성되며,
    상기 튀어나옴 방지 기구는, 상기 유지부에 지지되어 있는, 반송 장치
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 주행 유지체는, 상기 수납 용기를 유지하는 유지부와 상기 유지부를 승강 가능하게 지지하는 주행 가능한 주행부를 구비하고, 상기 주행부의 주행 및 상기 승강부의 승강에 의해 용기 반송 대상 개소에 상기 수납 용기를 반송하도록 구성되며,
    상기 튀어나옴 방지 기구는, 상기 주행부에 지지되고,
    상기 접촉체는, 상기 유지부가 주행용 위치로 승강 이동한 상태에서 상기 접촉 위치와 상기 이격 위치로 이동 가능하게 설치되어 있는, 반송 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 수납 용기의 반송 대상인 용기 반송 대상 개소는, 기판에 대하여 처리를 행하는 처리 장치에 인접한 상태로 설치되고,
    상기 주행 유지체는, 상기 개구가 상기 처리 장치측을 향하는 자세로 상기 수납 용기를 유지하도록 구성되어 있는, 반송 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 튀어나옴 방지 기구에서의 상기 접촉체를 이동 조작하는 이동 조작 기구는, 상기 접촉체를 상기 접촉 위치와 상기 이격 위치로 이동 조작시키는 액츄에이터를 구비하고 있는, 반송 장치.
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