JP7126833B2 - 搬送システム - Google Patents
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- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
11 自動搬送機構
12 加工装置
21 搬送経路
22 保持部
23 制御部
24 通信部
40 カセット載置手段
41 カセット収容キャビネット
44 天板(上段載置テーブル、載置テーブル)
46 側板
47 下段載置テーブル
52 制御手段
C カセット
W ウエーハ(被加工物)
Claims (1)
- 生産設備内の天井又は床に配設された搬送経路に沿って走行自在で且つカセットを保持する保持部と、該保持部を制御する制御部と、被加工物を加工する加工装置の制御手段と通信する通信部とを備えた自動搬送機構により、該加工装置内のカセット載置手段の載置テーブルに複数の被加工物が収容された該カセットの搬出入を行う搬送システムであって、
該加工装置の該カセット載置手段は、側板及び天板で形成されたカセット収容キャビネットの内部に配設されたカセットを載置する下段載置テーブルと、該天板上に配設されカセットを上部に載置する上段載置テーブルと、該カセット収容キャビネットを昇降する昇降手段とを備え、
少なくとも該下段載置テーブルは、該自動搬送機構の該搬送経路に沿って、又は該搬送経路上に該加工装置の外側に引き出し可能に構成され、
該自動搬送機構の該保持部により該下段載置テーブルに載置されるカセットを搬出入する際には、該カセット収容キャビネット内の該下段載置テーブルが該加工装置の外側に引き出された状態で該保持部がカセットにアクセスし、
該自動搬送機構によるカセットの搬送時以外では、該下段載置テーブルが該天板の下方であって該加工装置の内側に収まり、該加工装置の外側にスペースを形成し、
該昇降手段は、該下段載置テーブルに該保持部によりカセットを搬入出する際に該カセットが位置付けられる基準高さと、該上段載置テーブルに該保持部によりカセットを搬入出する際に該カセットが位置付けられる基準高さとを同じとすること、を特徴とする搬送システム。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2018021599A JP7126833B2 (ja) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 搬送システム |
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