JP2019140217A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】加工装置にてカセットが載置される載置テーブルが上下に配置された状態で、下段の載置テーブルのカセットを自動搬送機構で容易に搬送できるようにすること。【解決手段】搬送システム（１）は、自動搬送機構（１１）により加工装置（１２）内のカセット載置手段（４０）におけるカセット（Ｃ）の搬出入を行う。カセット載置手段は、カセット収容キャビネット（４１）の内部に配設されたカセットを載置する下段載置テーブル（４７）と、カセットを上部に載置する天板（４４）とを備えている。下段載置テーブルは、自動搬送機構の搬送経路（２１）に沿って又は搬送経路上に、加工装置の外側に引き出し可能とされる。自動搬送機構により下段載置テーブルに載置されるカセットを搬出入する際、下段載置テーブルが加工装置の外側に引き出された状態で自動搬送機構の保持部（２２）がカセットにアクセスする。【選択図】図６

Description

本発明は、被加工物を収容可能として加工装置で使用されるカセットを加工装置に対して搬出入するための搬送システムに関する。

半導体デバイスや電子部品の製造工程では、半導体ウエーハやセラミックス基板等の各種素材からなる板状の被加工物が加工される。かかる加工としては、例えば、研削装置のスピンドルに装着された研削ホイールによって被加工物を研削して所定の厚みに形成することが挙げられる。また、被加工物の加工としては、切削装置のスピンドルに装着された切削ブレードやレーザー加工装置によって被加工物を個々のデバイスチップに分割することも例示できる。これらの装置は、１つの生産ラインに複数台設置される場合が多く、板状の被加工物を多数枚収容したカセットを複数台の加工装置間にて自動で搬送したい、という要望がある。

ここで、加工装置間にてカセットを搬送する手段としては、特許文献１に開示される天井走行車を用いた構成が考えられる。天井走行車は、搬送対象をチャックして昇降させる昇降台を備えている。また、天井走行車は、所定のアルゴリズムに沿って走行及び駆動してカセットを搬送している。

一方、被加工物を多数枚収容するカセットを用いた加工装置としては、特許文献２に開示された装置が知られている。特許文献２の装置では、２体の載台が上下に並んで設けられる。従って、各載台にカセットを載置することでカセットを上下に並べて配置することができる。

国際公開第２０１５／１７４１８０号 特開平１１−２３３４６０号公報

しかしながら、特許文献２のようにカセットを上下に並べた場合、特許文献１のような天井走行車にて下側のカセットを搬送しようとすると、上側の載台が邪魔になって天井走行車のチャックが下側のカセットにアクセスできない、という問題がある。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、加工装置にてカセットが載置される載置テーブルが上下に配置された状態で、下段の載置テーブルのカセットを自動搬送機構で容易に搬送することができる搬送システムを提供することを目的の１つとする。

本発明の一態様の搬送システムは、生産設備内の天井又は床に配設された搬送経路に沿って走行自在で且つカセットを保持する保持部と、保持部を制御する制御部と、被加工物を加工する加工装置の制御手段と通信する通信部とを備えた自動搬送機構により、加工装置内のカセット載置手段の載置テーブルに複数の被加工物が収容されたカセットの搬出入を行う搬送システムであって、加工装置のカセット載置手段は、側板及び天板で形成されたカセット収容キャビネットの内部に配設されたカセットを載置する下段載置テーブルと、天板上に配設されカセットを上部に載置する上段載置テーブルとを備え、少なくとも下段載置テーブルは、自動搬送機構の搬送経路に沿って、又は搬送経路上に加工装置の外側に引き出し可能に構成され、自動搬送機構の保持部により下段載置テーブルに載置されるカセットを搬出入する際には、カセット収容キャビネット内の下段載置テーブルが加工装置の外側に引き出された状態で保持部がカセットにアクセスすること、を特徴とする。

この構成によれば、下段載置テーブルを上側載置テーブルの下方に収容された位置から加工装置の外側に引き出すように移動させることができる。これにより、下段載置テーブルに載置されたカセットに対して自動搬送機構の保持部を、上方を含む種々の方向から容易にアクセスすることができる。しかも、自動搬送機構による搬送時以外では、下段載置テーブルが上段載置テーブルの下方に収まるようになり、加工装置周りのスペースを広く確保可能としてスペースの有効利用を図ることができる。

本発明によれば、加工装置にてカセットが載置される載置テーブルが上下に配置された状態でも、下段載置テーブルを引き出し可能としたので、下段載置テーブルのカセットを自動搬送機構で容易に搬送することができる。

本実施の形態に係る搬送システムの正面図である。 本実施の形態に係る加工装置の平面図である。 カセット収容キャビネットの概略斜視図である。 下段載置テーブルを引き出した状態を示す概略斜視図である。 カセットの搬出入方法についての説明図である。 カセットの搬出入方法についての説明図である。 カセットの搬出入方法についての説明図である。 カセットの搬出入方法についての説明図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る搬送システムについて説明する。図１は、本実施の形態に係る搬送システムの正面図である。なお、本実施の形態に係る搬送システムは、図１に示す構成に限定されず、適宜変更が可能である。また、本実施の形態では、Ｘ方向を装置の左右方向、Ｙ方向を装置の前後方向、Ｚ方向を上下方向とし、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向は互いに直交しているものとする。

図１に示すように、搬送システム１は、生産設備内にて自動搬送機構１１により加工装置１２に対しカセットＣの搬出入を行う。カセットＣには、複数のウエーハ（被加工物）Ｗが収容される。カセットＣは、少なくとも後方が開放された箱状に形成され、その上面上には、後述する保持部に係合する突出部Ｃ１が形成されている。ここで、搬送システム１が設置される生産設備としては、特に限定されるものでないが、工場等における製造ラインや生産ラインが例示できる。

自動搬送機構１１は、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ：天井吊下式搬送装置）を採用した構成とされる。自動搬送機構１１は、生産設備内の天井に配設された搬送経路２１と、搬送経路２１に沿って走行自在な保持部２２と、保持部２２を制御する制御部２３と、加工装置１２と通信する通信部２４とを備えている。本実施の形態では、搬送経路２１は、加工装置１２の直上位置においてＸ方向に直線的に延出するレール状に設けられている。

保持部２２は、カセットＣの突出部Ｃ１を保持するチャック２２ａと、チャック２２ａを昇降移動させる昇降部２２ｂと、昇降部２２ｂを搬送経路２１に沿って走行させる走行部２２ｃとを備えている。チャック２２ａは、挟持部材や吸着部材等を備えて突出部Ｃ１を保持したり保持を解除したりできるように構成される。昇降部２２ｂは、特に限定されるものでないが、ベルト駆動で上下するホイスト機構によりチャック２２ａを昇降させ、加工装置１２に配置されたカセットＣにアクセス可能に設けられる。走行部２２ｃは、モータ等を駆動源として搬送経路２１に沿う保持部２２の走行を実現させる。なお、走行部２２ｃの駆動源は、搬送経路２１に組み込まれるベルトやスライダ等としてもよい。

制御部２３は、保持部２２を含む自動搬送機構１１の各部を統括制御する。制御部２３は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成される。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。

ここで、制御部２３は、走行制御部２３ａ、昇降制御部２３ｂ及び通信制御部２３ｃを備えている。走行制御部２３ａは、走行部２２ｃにおける駆動制御を介し、搬送経路２１に沿う方向での保持部２２の位置や走行するタイミング等を制御する。昇降制御部２３ｂは、昇降部２２ｂにおける駆動制御を介し、チャック２２ａの上下位置や昇降するタイミング等を制御する。通信制御部２３ｃは、通信部２４における制御信号の送信及び受信を制御する。

通信部２４は、加工装置１２と無線或いは有線通信を行い、加工装置１２の後述する通信手段と接続される。通信部２４は、自動搬送機構１１や加工装置１２の装置各部を駆動させるための制御信号を送信及び受信する。

図２は、本実施の形態に係る加工装置の平面図である。図２に示すように、加工装置１２は、ウエーハ（不図示）を支持するチャックテーブル３１と、一対の切削手段３２とを備えた切削装置により構成されている。チャックテーブル３１は、その上面となる保持面にて吸着等によってウエーハＷを保持する。また、チャックテーブル３１は、蛇腹状カバー３３の下方に設けられた移動機構（不図示）を介してＸ方向に移動可能に設けられている。

切削手段３２は、高速回転するスピンドルの先端側に装着された切削ブレード３２ａを備えている。切削手段３２は、チャックテーブル３１の上方にてＹ方向及びＺ方向に移動可能となるよう移動機構（不図示）を介して支持されている。切削手段３２にて切削ブレード３２ａをＹ方向及びＺ方向の所定位置に位置付けてから、切削ブレード３２ａを高速回転させつつチャックテーブル３１に保持されたウエーハＷをＸ方向に移動することでウエーハＷが切削加工される。

ここで、加工装置１２においては、床面上に設置される基台３５を備え、この基台３５上にチャックテーブル３１及び切削手段３２が設けられる。基台３５の上方には、チャックテーブル３１及び切削手段３２を覆うカバー３６が設けられている。ここで、これらカバー３６及び基台３５によって加工装置１２の筐体３７が構成される。本実施の形態の加工装置１２にあっては、図２に示す方形状の設置領域外縁が加工装置１２の内側と外側との境界位置とされ、筐体３７の外面より外方が加工装置１２の外側となる。

基台３５の＋Ｘ側及び−Ｙ側のコーナー部は、カバー３６に覆われず基台３５が表出した領域とされ、この領域には、カセットＣが搬出入されるカセット載置手段４０が設けられる。カセット載置手段４０は、基台３５の上面に跨ぐように位置するカセット収容キャビネット４１と、基台３５内に設けられてカセット収容キャビネット４１を昇降させる昇降手段４２とを備えている。昇降手段４２は、特に限定されるものでないが、回転駆動する送りねじ軸を備えた構造（不図示）等によりカセット収容キャビネット４１を昇降させる。

図３は、カセット収容キャビネットの概略斜視図である。図３に示すように、カセット収容キャビネット４１は、上下に並べて配置された方形状の天板４４及び底板４５と、天板４４及び底板４５の−Ｘ側及び−Ｙ側に設けられた側板４６とを備えて形成される。天板４４は、その上部に配設されたカセットＣが載置可能な上段載置テーブルとして機能する。また、カセット収容キャビネット４１の内部となる底板４５の上方には、下段載置テーブル４７が設けられている。下段載置テーブル４７は、その上部にて、カセット収容キャビネット４１内に配設されたカセットＣを載置可能とされる。

ここで、ウエーハＷは、裏面に貼着したダイシングテープＴを介してリングフレームＦに支持された状態（以下、この状態をウエーハユニットＵと呼ぶ）でカセットＣに収容される。そして、加工時には、加工装置１２のガイドレール４８を介してカセットＣ内からウエーハユニットＵが引き出されて加工装置１２に搬入される。カセットＣ内には複数のウエーハユニットＵを上下方向に多段式に収容可能となっている。

図４は、下段載置テーブルを引き出した状態を示す概略斜視図である。図４に示すように、カセット載置手段４０は、下段載置テーブル４７をＸ方向に移動させる出入機構４９を更に備えている。出入機構４９は、下段載置テーブル４７上のカセットＣがカセット収容キャビネット４１内に収まる収容位置と、カセットＣ全体が天板４４より＋Ｘ側に離れた引き出し位置との間で下段載置テーブル４７を移動させる。出入機構４９としては、エアシリンダやスライダ構造を例示することができる。

図１に戻り、加工装置１２は、制御手段５２及び通信手段５３を更に備えている。制御手段５２は、チャックテーブル３１、切削手段３２及びそれらを移動する移動機構を含む加工装置１２の各部を統括制御する。制御手段５２は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成される。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。

ここで、制御手段５２は、昇降制御手段５２ａ、出入制御手段５２ｂ及び通信制御手段５２ｃを備えている。昇降制御手段５２ａは、昇降手段４２における駆動制御を介し、カセット収容キャビネット４１の上下位置や昇降するタイミング等を制御する。出入制御手段５２ｂは、出入機構４９（図４参照）における駆動制御を介し、カセット収容キャビネット４１における下段載置テーブル４７のＸ方向の移動及びそのタイミング等を制御する。通信制御手段５２ｃは、通信手段５３における制御信号の送信及び受信を制御する。

なお、図１の制御手段５２及び制御部２３における機能ブロックは、メモリ等に記憶されたプログラムが制御手段５２及び制御部２３によって実行されることによって実現される。また、図示した機能ブロックは、本発明の特徴部分に関連する構成のみを示しており、それ以外の構成については省略している。

通信手段５３は、自動搬送機構１１の通信部２４と無線或いは有線通信を行うように接続され、自動搬送機構１１や加工装置１２の装置各部を駆動させるための制御信号を送信及び受信する。

加工装置１２の＋Ｘ側に隣接する位置には、ガード手段５５が設置されている。ガード手段５５は、下部に車輪５６が設けられたベース５７と、ベース５７上から立設する保護壁５８とを備えている。保護壁５８は、引き出し位置に配設された下段載置テーブル４７及びこれに載置されるカセットＣをＹ方向両側及び＋Ｘ側の三方向から囲繞して保護する（図２、図６参照）。ガード手段５５は、加工装置１２の運転停止時には、車輪５６を介して容易に移動でき、ガード手段５５の設置領域を作業者の作業スペースとして利用可能となる。

続いて、自動搬送機構１１による加工装置１２へのカセットＣの搬出入方法について、図５乃至図８を参照して説明する。図５乃至図８は、カセットの搬出入方法についての説明図である。なお、加工装置１２の制御手段５２にて、カセットＣの基準高さが予め設定及び記憶されている。かかる基準高さは、床面からカセットＣまでのＺ方向での所定距離であり、必要に応じてＳＥＭＩ規格で規格された高さに設定する。また、加工装置１２の＋Ｘ側隣接位置にガード手段５５を設置しておく。

最初に、下段載置テーブル４７に載置されたカセットＣの搬出方法について説明する。図５に示すように、下段載置テーブル４７上のカセットＣを搬出する場合、先ず、加工装置１２の昇降制御手段５２ａからの制御信号によって昇降手段４２を制御し、カセット収容キャビネット４１をＺ方向に移動する。そして、昇降制御手段５２ａにて、下段載置テーブル４７上のカセットＣが基準高さとなる位置まで昇降手段４２を駆動制御して下段載置テーブル４７の上下位置を位置決めする。その後、図６に示すように、出入制御手段５２ｂからの制御信号によって出入機構４９を制御し、搬送経路２１に沿う方向となるＸ方向（＋Ｘ側）に下段載置テーブル４７を移動する。この移動によって、加工装置１２の外側、具体的には、筐体３７の＋Ｘ側の外面より更に＋Ｘ側にカセットＣが位置するように下段載置テーブル４７が引き出された状態となる。

これと前後して、加工装置１２における通信制御手段５２ｃからの制御信号によって通信手段５３を制御し、下段載置テーブル４７上のカセットＣを搬出する情報を通信手段５３から自動搬送機構１１の通信部２４に送信する。かかる情報を通信部２４が受信したことを通信制御部２３ｃが認識すると、走行制御部２３ａからの制御信号によって保持部２２の走行部２２ｃを制御し、搬送経路２１に沿って保持部２２を走行する。そして、走行制御部２３ａにて、引き出された状態の下段載置テーブル４７の直上位置で走行を停止するよう走行部２２ｃを制御して保持部２２を位置決めする。

このように位置決めした後、図７に示すように、昇降制御部２３ｂからの制御信号によって昇降部２２ｂを制御してチャック２２ａを基準高さのカセットＣにおける突出部Ｃ１の上下位置まで下降し、突出部Ｃ１にチャック２２ａをアクセスする。そして、チャック２２ａを介して突出部Ｃ１を含むカセットＣを保持部２２にて保持する。

カセットＣを保持した後、図８に示すように、昇降部２２ｂを駆動してカセットＣを上昇する。その後、走行部２２ｃの駆動によって保持部２２を走行し、他の加工装置の上方位置や所定の保管場所にカセットＣを搬出する。

続いて、下段載置テーブル４７へのカセットＣの搬入方法について説明する。先ず、図８に示すように、加工装置１２の昇降制御手段５２ａからの制御信号によって昇降手段４２を制御し、下段載置テーブル４７に載置されるカセットＣ（二点鎖線で図示）が基準高さとなるようにカセット収容キャビネット４１を位置決めする。その後、出入制御手段５２ｂからの制御信号によって出入機構４９を制御し、搬送経路２１に沿う方向となるＸ方向（＋Ｘ側）に下段載置テーブル４７を移動する。この移動にて、上記搬出方法を行った場合と同様にして下段載置テーブル４７が引き出された状態となる。

これと前後して、加工装置１２における通信制御手段５２ｃからの制御信号によって通信手段５３を制御し、下段載置テーブル４７上にカセットＣを搬入する情報を通信手段５３から自動搬送機構１１の通信部２４に送信する。かかる情報を通信部２４が受信したことを通信制御部２３ｃが認識すると、走行制御部２３ａからの制御信号によって保持部２２の走行部２２ｃを制御し、搬送経路２１に沿って保持部２２を走行する。そして、走行制御部２３ａにて、引き出された状態の下段載置テーブル４７の直上位置で走行を停止するよう走行部２２ｃを制御して保持部２２を位置決めする。

このように位置決めした後、図７に示すように、昇降制御部２３ｂからの制御信号によって昇降部２２ｂを制御してチャック２２ａ及びチャック２２ａに保持されたカセットＣを下降する。そして、昇降制御部２３ｂにて、カセットＣが基準高さまで下降したときに下降動作を停止するよう昇降部２２ｂを制御して下段載置テーブル４７にカセットＣを載置する。このとき、カセットＣにおいては、保持部２２のチャック２２ａがアクセスした状態になっており、カセットＣの載置後、チャック２２ａによるカセットＣの保持を解除する。カセットＣの保持を解除した後、図６に示すように、昇降部２２ｂを駆動してチャック２２ａを上昇する。

その後、図５に示すように、出入制御手段５２ｂからの制御信号によって出入機構４９を制御し、搬送経路２１に沿う方向となるＸ方向（−Ｘ側）に下段載置テーブル４７を移動する。この移動によって、下段載置テーブル４７及び下段載置テーブル４７に載置されたカセットＣがカセット収容キャビネット４１の内部に収容された状態となる。言い換えると、カセット収容キャビネット４１にて上下二段でカセットＣが収容された状態となる。

次に、カセット収容キャビネット４１の天板４４に載置されたカセットＣの搬出方法について説明する。図１に示すように、天板４４上のカセットＣを搬出する場合、先ず、加工装置１２の昇降制御手段５２ａからの制御信号によって昇降手段４２を制御し、天板４４上のカセットＣを基準高さにて位置決めする。

これと前後して、加工装置１２における通信制御手段５２ｃからの制御信号によって通信手段５３を制御し、天板４４上のカセットＣを搬出する情報を通信手段５３から自動搬送機構１１の通信部２４に送信する。かかる情報を通信部２４が受信したことを通信制御部２３ｃが認識すると、走行制御部２３ａからの制御信号によって保持部２２の走行部２２ｃを制御し、搬送経路２１に沿って保持部２２を走行して天板４４の直上位置で位置決めする。この位置決め後、昇降制御部２３ｂからの制御信号によって保持部２２の昇降部２２ｂを制御してチャック２２ａを下降し、基準高さのカセットＣにおける突出部Ｃ１にチャック２２ａをアクセスする。

そして、チャック２２ａによって突出部Ｃ１を含むカセットＣを保持した後、昇降部２２ｂの駆動によってカセットＣを上昇してから走行部２２ｃの駆動によって保持部２２を走行し、他の加工装置の上方位置や所定の保管場所にカセットＣを搬出する。

続いて、天板４４へのカセットＣの搬入方法について説明する。先ず、加工装置１２の昇降制御手段５２ａからの制御信号によって昇降手段４２を制御し、天板４４に載置されるカセットＣが基準高さとなるようにカセット収容キャビネット４１の上下位置を位置決めする。

これと前後して、加工装置１２における通信制御手段５２ｃからの制御信号によって通信手段５３を制御し、天板４４上にカセットＣを搬入する情報を通信手段５３から自動搬送機構１１の通信部２４に送信する。かかる情報を通信部２４が受信したことを通信制御部２３ｃが認識すると、走行制御部２３ａからの制御信号によって保持部２２の走行部２２ｃを制御し、搬送経路２１に沿って保持部２２を走行して天板４４の直上位置で位置決めする。

このように位置決めした後、昇降制御部２３ｂからの制御信号によって昇降部２２ｂを制御してチャック２２ａ及びチャック２２ａに保持されたカセットＣを下降する。そして、昇降制御部２３ｂにて、カセットＣが基準高さまで下降したときに下降動作を停止するよう昇降部２２ｂを制御して天板４４にカセットＣを載置する。そして、チャック２２ａによるカセットＣの保持を解除し、昇降部２２ｂを駆動してチャック２２ａを上昇することで搬入が完了する。

上記実施の形態によれば、天板４４の下方から下段載置テーブル４７をＸ方向に引き出し可能としたので、下段載置テーブル４７上のカセットＣの上方が開放した状態にすることができる。これにより、天板４４が邪魔にならずに、下段載置テーブル４７上のカセットＣにチャック２２ａを上方から容易にアクセスすることができる。なお、この状態では、上方からに限られずにＹ方向からのアクセスの容易化も図ることができる。

また、カセットＣの搬送時以外では、下段載置テーブル４７が天板４４の下方に位置して筐体３７の外側にはみ出さないので、ガード手段５５を一時的に退避させることで筐体３７の＋Ｘ側が空きスペースにすることができる。従って、このスペースを保守や修理を行う作業者用のスペースにする等、加工装置周りのスペースの有効利用を図ることができる。

しかも、上記実施の形態では、下段載置テーブル４７の引き出し方向と保持部２２の走行方向となる搬送経路２１の延在方向が両方ともＸ方向で平行となり、また、カセット収容キャビネット４１の上方を搬送経路２１が通過している。これにより、自動搬送機構１１の構造等を変えることなく保持部２２の走行停止位置を変えるだけで、天板４４上のカセットＣと、下段載置テーブル４７上のカセットＣとの両方にチャック２２ａがアクセスできるようになる。これにより、自動搬送機構１１にてチャック２２ａの移動機構を増設せずに両方のカセットＣを保持でき、設備や機構の複雑化を回避することができる。

また、加工装置１２と自動搬送機構１１とが制御信号や情報を送受信しているので、保持部２２の走行や駆動と、カセット収容キャビネット４１及び下段載置テーブル４７の駆動とを連動させることができ、搬送効率の向上を図ることができる。

なお、本発明においては、被加工物として、例えば、パッケージ基板、半導体デバイスウェーハ、光デバイスウェーハ、半導体基板、無機材料基板、圧電基板等の各種基板が用いられてもよい。半導体デバイスウェーハとしては、デバイス形成後のシリコンウェーハや化合物半導体ウェーハが用いられてもよい。光デバイスウェーハとしては、デバイス形成後のサファイアウェーハやシリコンカーバイドウェーハが用いられてもよい。また、パッケージ基板としてはＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded package）等の矩形状のパッケージ基板、半導体基板としてはシリコンやガリウム砒素等、無機材料基板としてはサファイア、セラミックス、ガラス等が用いられてもよい。

また、本実施の形態では、加工装置１２として切削装置を例示して説明したが、この構成に限定されない。例えば、切削ブレードを用いない他の切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、プラズマエッチング装置、エッジトリミング装置、エキスパンド装置、ブレーキング装置、及びこれらを組み合わせたクラスター装置等の他の加工装置にてカセットＣを搬送する際に適用されてもよい。

また、本実施の形態では、カセットＣの搬出入時にて、天板４４上のカセットＣと、下段載置テーブル４７上のカセットＣを同じ基準高さ位置としたが、これに限られず、それぞれのカセットＣの高さ位置が異なっていてもよい。但し、それぞれのカセットＣの高さ位置を同じにした方が、カセットＣの保持や保持を解除する際のチャック２２ａの上下位置が統一され、昇降制御部２３ｂでの制御負担を軽減できる点で有利となる。

また、本実施の形態では、加工装置１２の通信部２４から送信した情報を自動搬送機構１１の通信手段５３が受信して保持部２２を駆動する構成としたが、これに限られるものでない。例えば、自動搬送機構１１の通信手段５３から送信した情報に基づき、加工装置１２の昇降手段４２や出入機構４９の駆動を制御するようにしてもよい。

また、自動搬送機構１１は、上記のＯＨＴを用いた構成に限られるものでなく、種々の変更が可能である。例えば、ＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ：無軌道床上自動搬送車）を採用した構成としてもよい。この場合、搬送車がオペレータのアシスト無しに動作が制御され、また、搬送車にロボットアームを搭載することで天板４４及び下段載置テーブル４７へのカセットＣの搬出入が行えるようになる。また、搬送経路は、搬送車の走行ルートとなる生産設備の床となり、下段載置テーブル４７をＹ方向に移動し、加工装置１２の外側となる−Ｙ側に下段載置テーブル４７を引き出した状態で搬送経路上に重なるようにしてもよい。

また、本実施の形態では、天板４４を上段載置テーブルとした場合を説明したが、天板４４の上にＸ方向やＹ方向に移動可能な上段載置テーブルを設置し、下段載置テーブル４７と同様に加工装置１２の外側に引き出し可能な構成としてもよい。

また、本実施の形態及び変形例を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。更には、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。

以上説明したように、本発明は、加工装置にてカセットが載置される載置テーブルが上下に配置された状態で、下段載置テーブルのカセットを自動搬送機構で搬送することができるという効果を有する。

１ 搬送システム
１１ 自動搬送機構
１２ 加工装置
２１ 搬送経路
２２ 保持部
２３ 制御部
２４ 通信部
４０ カセット載置手段
４１ カセット収容キャビネット
４４ 天板（上段載置テーブル、載置テーブル）
４６ 側板
４７ 下段載置テーブル
５２ 制御手段
Ｃ カセット
Ｗ ウエーハ（被加工物）

Claims (1)

1. 生産設備内の天井又は床に配設された搬送経路に沿って走行自在で且つカセットを保持する保持部と、該保持部を制御する制御部と、被加工物を加工する加工装置の制御手段と通信する通信部とを備えた自動搬送機構により、該加工装置内のカセット載置手段の載置テーブルに複数の被加工物が収容された該カセットの搬出入を行う搬送システムであって、
   該加工装置の該カセット載置手段は、側板及び天板で形成されたカセット収容キャビネットの内部に配設されたカセットを載置する下段載置テーブルと、該天板上に配設されカセットを上部に載置する上段載置テーブルとを備え、
   少なくとも該下段載置テーブルは、該自動搬送機構の該搬送経路に沿って、又は該搬送経路上に該加工装置の外側に引き出し可能に構成され、
   該自動搬送機構の該保持部により該下段載置テーブルに載置されるカセットを搬出入する際には、該カセット収容キャビネット内の該下段載置テーブルが該加工装置の外側に引き出された状態で該保持部がカセットにアクセスすること、を特徴とする搬送システム。

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