KR20090067236A - 반도체 제조설비 및 그의 카세트 이송방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 반도체 제조설비 및 그의 카세트 이송방법에 관한 것이다. 그의 설비는, 다수개의 웨이퍼의 단위공정을 수행하는 단위공정장치; 상기 단위공정장치에서 단위공정이 완료된 상기 웨이퍼를 탑재하는 제 1 카세트를 출고시키는 로드/언로드 포트; 상기 로드/언로드 포트를 통해 상기 단위공정장치 내에 입고되어야 할 제 2 카세트를 보관하는 스토커; 상기 스토커와 상기 단위공정장치의 로드/언로드 포트 사이에서 상기 제 1 및 제 2 카세트를 이동시키는 자동반송장치; 및 상기 단위공정장치에서 해당 단위공정이 완료된 다수개의 웨이퍼가 탑재된 상기 제 1 카세트가 출고되기 전에 상기 자동반송장치에 의해 제 2 카세트를 이송시킬 수 있도록 상기 단위공정장치의 로드/언로드 포트를 통해 출고되는 제 1 카세트를 임시로 대기시키는 임시버퍼장치를 포함하여 이루어진다.
Figure P1020070134784
자동반송장치, 로드/언로드, 포트(port), FOUP, 스토커(stoker)

Description

반도체 제조설비 및 그의 카세트 이송방법{equipment for manufacturing semiconductor device and wafer cassette transferring method at the same}
본 발명은 반도체 제조설비 및 그의 카세트 이송방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 다수개의 웨이퍼가 탑재되는 카세트를 운반시키는 O.H.T(Overhead Hoist Transfer)와 같은 자동반송장치를 구비한 반도체 제조설비 및 그의 카세트 이송방법에 관한 것이다.
근래에 반도체 제조 기술은 정보 통신 기술의 비약적인 발전에 따라 집적도, 신뢰도 및 처리 속도 등을 향상시키는 방향으로 발전되고 있다. 상기 반도체는 실리콘 단결정으로부터 반도체 기판으로 사용되는 실리콘 웨이퍼를 제작하고, 상기 반도체 기판 상에 가공막을 형성하고, 상기 가공막을 전기적 또는 유전적 특성을 갖는 패턴으로 형성함으로서 제조된다.
상기 패턴들은 막 형성, 사진 식각, 연마, 이온 주입 등의 단위 공정들의 선택적 또는 반복적 수행에 따라 형성된다. 0.15㎛ 이하의 디자인 룰(design rule)을 요구하는 최근의 반도체 제조 공정에서 상기 단위 공정들에 적용되는 압력, 온도 등과 같은 공정 조건의 제어는 더욱 정밀하게 수행되어야 하며, 이를 위해 다양한 제어 장치의 개발이 활발하게 진행되고 있다. 또한, 대량 생산을 다수의 반도체 제조 장치가 제조 공정 라인에 구비되며, 이들의 동작 및 제어가 자동화되고 있는 추세이다.
상기 자동화에 대한 일 예로서, 상기 제조 공정을 수행하는 장치들이 구비되는 작업 공간(bay area)에서 반도체 기판을 이송하는 무인 반송대차(auto guided vehicle : AGV)등을 포함하는 이송 장치가 있다. 최근에는 상기 무인 반송대차 뿐만 아니라 오버 헤드 트랜스퍼(over head transfer : OHT)를 상기 이송에 적용하고 있다. 상기 오버 헤드 트랜스퍼의 자세한 구조는 미국특허 제6,092,678호에 자세하게 개시되어 있다. 상기 오버 헤드 트랜스퍼는 300mm 직경을 갖는 웨이퍼를 포함하는 물품의 이송에 주로 적용되는데, 상기 작업 공간 내의 천장(ceiling)에 레일(rail)을 설치하고, 상기 레일을 따라 주행하는 차량(vehicle)을 사용하여 상기 물품을 이송하는 구성을 갖는다. 또한, 상기 오버헤드 트랜스퍼와 같은 자동반송장치를 이용한 반도체 제조설비는 미국특허 제7,024,275호에 개시되어 있다.
종래 기술의 반도체 제조설비는, 다수개의 웨이퍼가 탑재된 카세트(예를 들어, FOUP : Front Opening Unifide Pod)를 보관하는 스토커와, 상기 웨이퍼의 단위공정이 이루어지는 단위공정장치사이에서 자동반송장치에 의해 상기 카세트가 이송되도록 형성되어 있다. 자동반송장치는 무인 작업공간에서 설정된 프로그램에 따라 스토커와 단위공정장치사이에서 복수개의 카세트를 순차적으로 이동시킬 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 반도체 제조설비의 단위공정장치 및 자동반송장치를 나타낸 사시도로서, 종래의 반도체 제조설비는 단위공정장치(10)에서의 단위공정이 완료된 다수개의 웨이퍼가 탑재된 제 1 카세트(12)가 로드/언로드 포트(40)에 배출되면 자동반송장치(30)를 이용하여 스토커(도시되지 않음)에서 보관된 제 2 카세트를 단위공정장치(10)의 로드/언로드 포트(40)의 상부로 운반시킬 수 있다. 여기서, 로드/언로드 포트(40)는 제 1 카세트(12) 및 제 2 카세트(22)가 로딩되거나 언로딩되는 겸용으로 이루어진다.
그러나, 종래의 반도체 제조설비는 로드/언로드 포트(40)를 통해 복수개의 제 1 카세트(12)가 배출되면 자동반송장치(30)를 통해 로드/언로드 포트(40) 상부로 제 2 카세트(22)가 이송될 수 없다. 왜냐하면, 로드/언로드 포트(40)에서 제 1 카세트(12)와 제 2 카세트(22)가 서로의 위치를 바뀌어질 수가 없기 때문이다.
따라서, 로드/언로드 포트(40)를 통해 배출되는 제 1 카세트(12)가 자동반송장치(30)에 의해 먼저 반송된 이후에 상기 자동반송장치(30)에 의해 제 2 카세트(22)가 로드/언로드 포트(40)로 이송되어야만 함으로 상기 제 2 카세트(22)의 이송 대기시간이 증가되기 때문에 생산성이 줄어드는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 로드/언로드 포트로 이송되는 제 2 카세트의 이송 대기시간을 줄이거나 최소화하여 생 산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 반도체 제조설비 및 그의 카세트 이송방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 양태(aspect)에 따른 반도체 제조설비는, 다수개의 웨이퍼의 단위공정을 수행하는 단위공정장치; 상기 단위공정장치에서 단위공정이 완료된 상기 웨이퍼를 탑재하는 제 1 카세트를 출고시키는 로드/언로드 포트; 상기 로드/언로드 포트를 통해 상기 단위공정장치 내에 입고되어야 할 제 2 카세트를 보관하는 스토커; 상기 스토커와 상기 단위공정장치의 로드/언로드 포트 사이에서 상기 제 1 및 제 2 카세트를 이동시키는 자동반송장치; 및 상기 단위공정장치에서 해당 단위공정이 완료된 다수개의 웨이퍼가 탑재된 상기 제 1 카세트가 출고되기 전에 상기 자동반송장치에 의해 제 2 카세트를 이송시킬 수 있도록 상기 단위공정장치의 로드/언로드 포트를 통해 출고되는 제 1 카세트를 임시로 대기시키는 임시 버퍼장치를 포함함을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 다른 양태는, 스토커에 보관된 제 1 카세트를 자동반송장치를 이용하여 단위공정장치의 로드/언로드 포트에 이송시키는 단계; 제 1 카세트 내에 탑재된 다수개의 웨이퍼의 단위공정을 수행하는 단계; 상기 단위공정장치에서 단위공정이 완료되는 다수개의 웨이퍼가 탑재된 제 1 카세트가 로드/언로드 포트에서 출고되기 전에 자동반송장치에 의해 상기 스토커에 보관된 제 2 카세트를 이송시키는 단계; 상기 자동반송장치에 의해 상기 제 2 카세트가 이송되는 중에 로드/ 언로드 포트에서 출고되는 상기 제 1 카세트를 임시버퍼장치에 임시로 보관시키는 단계; 및 상기 제 2 카세트를 로드/언로드 포트에 안착시키고 상기 제 1 카세트를 이송시키는 단계를 포함하는 반도체 제조설비에서의 카세트 이송방법이다.
본 발명에 의하면, 단위공정장치에서 단위공정이 완료된 다수개의 웨이퍼를 탑재하는 제 1 카세트를 임시로 대기시키는 임시버퍼장치를 이용하여 스토커에서 로드/언로드 포트에 이송되는 제 2 카세트의 이송 대기시간을 줄이거나 최소화할 수 있기 때문에 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비 및 그의 카세트 이송방법에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 본 발명은 구체적인 실시예에 대해서만 상세히 설명하였지만 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 변형이나 변경할 수 있음은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 할 것이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비를 개략적으로 나타낸 다이아그램이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 반도체 제조설비는, 다수개의 웨이퍼 단위 공정을 수행하는 적어도 하나이상의 단위공정장치(110)와, 상기 단위공정장 치(110)에서 해당 단위공정이 수행될 다수개의 웨이퍼가 탑재된 복수개의 카세트를 보관하는 스토커(120)와, 상기 스토커(120)와 상기 단위공정장치(110)사이에서 상기 복수개의 카세트를 이동시키는 자동반송장치(130)를 포함하여 이루어진다.
도시되지는 않았지만, 단위공정장치(110), 스토커(120), 및 자동반송장치(130)의 전반적인 동작을 제어하고, 상기 단위공정장치(110)에서 해당 단위공정이 완료된 다수개의 웨이퍼가 탑재된 카세트가 출고되기 전에 자동반송장치(130)가 상기 스토커(120)에 보관되는 카세트를 상기 단위공정장치(110)로 이송시키도록 제어하는 제어신호를 출력하도록 형성된 제어부를 포함하여 이루어진다.
여기서, 단위공정장치(110)는 다수개의 웨이퍼를 가공하는 가공장치로서 반도체 제조공정을 순차적 또는 반복적으로 수행하는 다양한 종류의 가공장치들로 이루어진다. 예컨대, 단위공정장치(110)는, 증착설비, 사진설비, 식각설비, 세정설비, 이온주입설비, 확산설비 등을 포함하여 이루어진다. 사진설비를 예로 들면, 다수개의 웨이퍼 상에 포토레지스트를 도포하는 스피너, 상기 포토레지스트를 경화시키는 베이커, 상기 포토레지스트를 감광시키는 노광기, 감광된 상기 포토레지스트를 현상시키는 현상기 등이 하나의 단위공정장치(110)로서 구성된다. 이와 같은 단위공정장치(110)는 대기중의 먼지 또는 습윤으로부터 자유롭게 관리되기 위해 클린룸(clean room)이라 불리는 작업공간 내에 위치되어 있으며, 단위공정의 순서에 따라 상기 작업공간 내에서 순차적으로 설치되어 있다. 상기 작업공간은 유인 작업공간과, 무인 작업공간으로 나뉘어진다. 또한, 반도체 제조공정은 반복되는 경우가 많아 다수개의 웨이퍼를 탑재하는 카세트가 소정의 위치로 근거리 또는 원거리로 움직여져야 할 때가 많다. 따라서, 유인 작업공간에서는 작업자에 의해 카세트를 탑재하는 수동반송장치(수동반송대차)가 운반되어질 수 있고, 무인 작업공간에서는 자동반송장치(130)에 의해 카세트가 자동으로 운반되어질 수 있다. 따라서, 단위공정장치(110)는 반도체 생산라인에서 단위공정의 순서에 대응하여 순차적으로 배열되도록 형성되어 있다.
또한, 스토커(120)는 선행되는 단위공정이 완료된 다수개의 웨이퍼를 탑재하는 카세트를 후속에서의 단위공정이 수행될 때까지 보관한다. 도시되지는 않아지만, 스토커(120)는 외부로부터의 오염을 방지하기 위해 독립된 공간을 제공하는 하우징과, 상기 하우징 내에서 카세트를 적재시키는 적재함과, 상기 적재함 내부로 카세트를 이송시키는 트랜스퍼를 포함하여 이루어진다. 따라서, 스토커(120)는 반도체 생산라인 내에서 일정시간 이상 카세트를 보관하며 상기 카세트 내에 탑재된 다수개의 웨이퍼가 해당 단위공정이 수행될 경우 상기 카세트를 출고시키도록 형성되어 있다.
자동반송장치(130)는 스토커(120) 및 단위공정장치(110)사이에 연결되는 1차원의 선형 레일(132)을 따라 이동되면서 카세트를 위치 이동시키도록 형성되어 있다. 자동반송장치(130)는 제어부에서 출력되는 제어신호에 따라 스토커(120) 및 단위공정장치(110)사이에서 해당 카세트를 운반시킨다. 도시되지는 않았지만, 자동반송장치(130)는 제어부에서 출력되는 제어신호를 입력받아 무인 작업공간 내에서의 교통 혼잡, 충돌, 교착을 없애고 물류 이동을 효율적으로 제어토록 하는 자동반송 제어부를 포함하여 이루어진다. 예컨대, 제어부에서 카세트에 대한 정보와 함께 트 랙 인(track in)신호가 출력되면, 상기 자동반송 제어부는 상기 웨이퍼 캐리어의 출발지와 목적지를 결정한다. 또한, 카세트의 최단거리 이동경로를 설정하여 다른 카세트의 이동경로와 구별되는지를 판별하고, 병목구간의 발생여부를 조사하여 최대 효율을 얻을 수 있는 이동경로로 상기 카세트가 이동되도록 할 수 있다.
반도체 생산라인 내에서 대부분의 자동반송장치(130)의 이동을 제어하는 제어부는 사이맥스(SiMAX)라는 고유명을 갖는 슈퍼 컴퓨터등과 같은 호스트 컴퓨터로서 정보처리 시스템에서 중심적인 역할을 담당하는 범용컴퓨터이다. 또한, 제어부는 중앙집중식 정보처리 시스템에서 조직 전체의 자료처리 요구를 처리하는 중심역할을 하는 컴퓨터이다. 중앙집중식 시스템은 처리능력에 알맞은 범용(대형)컴퓨터 시스템을 중앙의 컴퓨터실에 설치하여 반도체 생산라인 내의 모든 부문의 정보처리 요구를 집중화해서 처리하는 형태를 취하고 있다. 따라서, 제어부는 시분할처리·다중프로그래밍 등의 강력한 운영체제를 갖추고 있고, 수많은 단말기와 온라인을 통한 자료의 즉시 처리가 가능하도록 통신제어 시스템을 갖추고 있다. 제어부는 보조기억장치를 구비하고 있다. 보조기억장치는 반도체 생산라인에 배치된 모든 반도체 제조 설비들이 최적의 상태로 공정을 진행할 수 있도록 공정에 관한 모든 데이터들, 예를 들어, 각 반도체 제조 설비들의 공정 순서, 공정 진행 환경, 공정조건 레시피, 및 상기 웨이퍼 캐리어와 같은 물류이동정보 등이 수록되어 있다.
제어부는 반도체 제조설비의 통신 규약인 SECS(Semi Equipment Communications Standard) 프로토콜에 의해 스토커(120), 자동반송장치(130), 및 단위공정장치(110)와의 상호 통신을 하므로 데이터를 공유하거나 교환하거나, 일반 적인 통신 규약인 TCP/IP(Transmission Control Protocol/Internet Protocol)에 의해 통신을 하면서 상호 데이터를 주고받는다.
도 3은 도 2의 단위공정장치(110) 및 자동반송장치(130)를 나타내는 사시도로서, 본 발명의 반도체 제조설비는 단위공정장치(110)에서 해당 단위공정이 완료된 다수개의 제 1 카세트(112)가 로드/언로드 포트(140)를 통해 출고되기 전에 자동반송장치(130)가 스토커(120)에서 보관된 제 2 카세트(122)를 이송시킬 수 있도록 형성되어 있다.
또한, 제 1 카세트(112)가 로드/언로드 포트(140)에서 출고되면 상기 제 1 카세트(112)를 임시버퍼장치(150)에 임시 또는 일시적으로 대기시키고, 제 2 카세트(122)가 로드/언로드 포트(140)를 통해 단위공정장치(110)에 입고된 이후 자동반송장치(130)에 의해 상기 제 1 카세트(112)를 이송시키도록 형성되어 있다.
여기서, 로드/언로드 포트(140)는 단위공정장치(110)의 일측에서 자동반송장치(130)에 의해 이송되는 제 1 카세트(112) 및 제 2 카세트(122)를 안전하게 안착시키는 장소이고, 단위공정장치(110)에 제 1 카세트(112) 및 제 2 카세트(122)를 유출입시키는 통로이다. 예컨대, 로드/언로드 포트(140)는 제 1 카세트(112) 및 제 2 카세트(122)의 수평을 유지한 채 슬라이딩되면서 단위공정장치(110) 내에 제 1 카세트(112) 및 제 2 카세트(122)를 입출고시키도록 형성된 슬라이딩 플레이트를 포함하여 이루어진다. 이때, 로드/언로드 포트(140)는 단위공정장치(110)에 각각 복수개의 제 1 카세트(112) 및 복수개의 제 2 카세트(122)를 한번에 입고시키거나 출고시키는 입출고 겸용으로 사용될 수 있다.
임시버퍼장치(150)는 단위공정장치(110)에서 해당 단위공정이 완료되어 로드/언로드 포트(140)로 이송되는 제 1 카세트(112)를 임시로 대기시키는 장치로서, 상기 제 1 카세트(112)가 로드/언로드 포트(140)를 통해 출고되기 전에 스토커(120)에서 제 2 카세트(122)가 출고되어 자동반송장치(130)에 의해 이송되도록 할 수 있다. 또한, 로드/언로드 포트(140)에 제 2 카세트(122)가 도달되기 전에 로드/언로드 포트(140)에서 제 1 카세트(112)를 출고시킨 후 상기 제 2 카세트(122)가 로드/언로드 포트(140)를 통해 단위공정장치(110)로 입고된 후에 자동반송장치(130)를 통해 제 1 카세트(112)를 이송시키도록 할 수 있다.
예컨대, 임시버퍼장치(150)는 로드/언로드 포트(140)의 포트 슬라이딩 장치에 의해 출고되는 제 1 카세트(112)를 지지하면서 수직으로 승하강되는 승강기를 포함하여 이루어진다. 도시되지는 않았지만, 로드/언로드 포트(140)에서 출고되는 제 1 카세트(112)를 수평으로 이동시키는 컨베이어를 더 포함하여 이루어진다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비는 단위공정장치(110)에서 단위공정이 완료된 다수개의 웨이퍼를 탑재하는 제 1 카세트(112)를 임시로 대기시키는 임시버퍼장치(150)를 이용하여 스토커(120)에서 로드/언로드 포트(140)에 이송되는 제 2 카세트(122)의 이송 대기시간을 줄이거나 최소화할 수 있기 때문에 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비의 카세트 이송방법에 대하여 설명한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비의 카세트 이송방법을 나타 내는 플로우 차트이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 먼저 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비의 카세트 이송방법은, 스토커(120)에 보관된 제 1 카세트(112)를 자동반송장치(130)를 이용하여 단위공정장치(110)의 로드/언로드 포트(140)에 이송시킨다(S10). 여기서, 자동반송장치(130)는 로드/언로드 포트(140)에 복수개의 제 1 카세트(112)를 일괄 이송시켜 단위공정장치(110)에서의 단위공정을 연속적으로 수행되도록 할 수 있다. 이때,
다음, 복수개의 제 1 카세트(112) 내에 탑재된 다수개의 웨이퍼의 단위공정을 수행한다(S20). 여기서, 복수개의 제 1 카세트(112)에 탑재된 다수개의 웨이퍼의 단위공정이 순차적으로 이루어질 수도 있으나, 복수개의 제 1 카세트(112)에 탑재된 다수개의 웨이퍼의 단위공정이 일괄 수행되는 것을 전재로 한다. 따라서, 복수개의 제 1 카세트(112)에 탑재된 다수개의 웨이퍼가 동일 또는 유사한 시간동안에 해당 단위공정이 완료되어 상기 복수개의 제 1 카세트(112)가 로드/언로드 포트(140)를 통해 출고될 수 있다.
그 다음, 단위공정장치(110)에서 단위공정이 완료되는 다수개의 웨이퍼가 탑재된 복수개의 제 1 카세트(112)가 로드/언로드 포트(140)에서 출고되기 전에 자동반송장치(130)에 의해 상기 스토커(120)에 보관된 복수개의 제 2 카세트(122)를 이송시킨다(S30). 여기서, 로드/언로드 포트(140)에서 복수개의 제 1 카세트(112)가 출고된 이후에 스토커(120)에서 보관된 복수개의 제 2 카세트(122)가 이송된다면 제 2 카세트(122)가 이송되는 시간만큼의 이송시간이 소요될 수 있다. 따라서, 제 어부는 단위공정장치(110)에서 단위공정이 완료되어 복수개의 제 1 카세트(112)가 로드/언로드 포트(140)에 출고되는 트랙킹 신호가 출력되기 전에 자동반송장치(130)에 의해 스토커(120)에 보관된 복수개의 제 2 카세트(122)를 이송시키는 트랙킹 신호를 출력할 수 있다. 이때, 제어부는 단위공정장치(110)에서 단위공정의 완료시간과 제 2 카세트(122)의 이송시간을 산출하여 복수개의 제 2 카세트(122)의 이송시간이 필요없이 소요되지 않도록 제어할 수 있다.
이후, 자동반송장치(130)에 의해 상기 복수개의 제 2 카세트(122)가 이송되는 중에 로드/언로드 포트(140)에서 출고되는 복수개의 제 1 카세트(112)를 임시버퍼장치(150)에 임시로 보관시킨다(S40). 여기서, 임시버퍼장치(150)는 로드/언로드 포트(140)에서 연장되어 복수개의 제 1 카세트(112)를 이송시키고 로드/언로드 포트(140)에 복수개의 제 2 카세트(122)를 안착시키도록 할 수 있다. 또한, 복수개의 제 2 카세트(122)가 로드/언로드 포트(140)를 통해 단위공정장치(110)에 투입되어 상기 복수개의 제 2 카세트(122)에 탑재된 다수개의 웨이퍼가 해당 단위공정을 연속적으로 수행토록 할 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비의 카세트 이송방법은 로드/언로드 포트(140)에서 복수개의 제 1 카세트(112)와, 복수개의 제 2 카세트(122)로 이루어지는 물류가 교차되는 지점에서 상기 복수개의 제 1 카세트(112)를 임시버퍼장치(150)에 일시 보관한 후 상기 복수개의 제 2 카세트(122)가 로드/언로드 포트(140)를 통해 상기 단위공정장치(110)에 이송시킴으로서 복수개의 제 2 카세트(122)의 이송대기시간을 최소화할 수 있다.
그리고, 복수개의 제 2 카세트(122)를 로드/언로드 포트(140)에 안착시킨 후 단위공정장치(110)에 입고시킨다(S50). 마찬가지로, 복수개의 제 2 카세트(122)는 복수개의 제1 카세트(112)가 로드/언로드 포트(140)를 통해 단위공정장치(110)에 입고되는 것과 동일한 방법으로 입고될 수 있다.
마지막으로, 자동반송장치(130)를 이용하여 복수개의 제 1 카세트(112)를 반송시킨다(S60). 여기서, 단위공정장치(110)에서 해당 단위공정이 완료된 다수개의 웨이퍼를 탑재한 복수개의 제 1 카세트(112)는 후속의 단위공정을 수행하거나 스토커(120)에 재입고되도록 이송된다. 임시버퍼장치(150)에 임시 보관된 복수개의 제 1 카세트(112)가 로드/언로드 포트(140)로 이동된 후 자동반송장치(130)에 의해 반송되거나, 상기 임시버퍼장치(150)에서 곧바로 자동반송장치(130)로 상기 제 1 카세트(112)가 반송될 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비의 카세트 이송방법은 단위공정장치(110)에서 단위공정이 진행되는 중에 스토커(120)에서 제 2 카세트(122)를 이송시키고, 단위공정장치(110)에서 단위공정이 완료된 제 1 카세트(112)를 임시버퍼장치(150)에 일시 보관한 후 상기 제 2 카세트(122)가 로드/언로드 포트(140)를 통해 상기 단위공정장치(110)에 이송되게 함으로서 상기 단위공정장치(110)를 유휴없이 풀가동토록 하고, 제 2 카세트(122)의 이송 대기시간을 줄이거나 최소화할 수 있기 때문에 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기한 실시예의 설명은 본 발명의 더욱 철저한 이해를 제공하기 위하여 도면을 참조로 예를 든 것에 불과하므로, 본 발명을 한정하는 의미로 해석되어서는 안될 것이다. 그리고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있 어 본 발명의 기본적 원리를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 변경이 가능함은 물론이다.
도 1은 종래 기술에 따른 반도체 제조설비의 단위공정장치 및 자동반송장치를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비를 개략적으로 나타낸 다이아그램.
도 3은 도 2의 단위공정장치 및 자동반송장치를 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비의 카세트 이송방법을 나타내는 플로우 차트.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
110 : 단위공정장치 120 : 스토커
130 : 자동반송장치 140 : 로드/언로드 포트
150 : 임시버퍼장치

Claims (4)

  1. 다수개의 웨이퍼의 단위공정을 수행하는 단위공정장치;
    상기 단위공정장치에서 단위공정이 완료된 상기 웨이퍼를 탑재하는 제 1 카세트를 출고시키는 로드/언로드 포트;
    상기 로드/언로드 포트를 통해 상기 단위공정장치 내에 입고되어야 할 제 2 카세트를 보관하는 스토커;
    상기 스토커와 상기 단위공정장치의 로드/언로드 포트 사이에서 상기 제 1 및 제 2 카세트를 이동시키는 자동반송장치; 및
    상기 단위공정장치에서 해당 단위공정이 완료된 다수개의 웨이퍼가 탑재된 상기 제 1 카세트가 출고되기 전에 상기 자동반송장치에 의해 제 2 카세트를 이송시킬 수 있도록 상기 단위공정장치의 로드/언로드 포트를 통해 출고되는 제 1 카세트를 임시로 대기시키는 임시 버퍼장치를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 단위공정장치에서 해당 단위공정이 완료되는 상기 제 1 카세트가 로드/언로드 포트에 도달되기 전에 상기 단위공정장치에서 해당 단위공정이 수행되어야 할 다수개의 웨이퍼를 탑재한 제 2 카세트가 상기 자동 반송장치에 의해 스토커에 서 이송되도록 제어하는 제어신호를 상기 자동 반송장치에 출력하는 제어부를 더 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 임시 버퍼장치는 상기 제 1 카세트를 지지하면서 승하강시키는 승강기를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비.
  4. 스토커에 보관된 제 1 카세트를 자동반송장치를 이용하여 단위공정장치의 로드/언로드 포트에 이송시키는 단계;
    제 1 카세트 내에 탑재된 다수개의 웨이퍼의 단위공정을 수행하는 단계;
    상기 단위공정장치에서 단위공정이 완료되는 다수개의 웨이퍼가 탑재된 제 1 카세트가 로드/언로드 포트에서 출고되기 전에 자동반송장치에 의해 상기 스토커에 보관된 제 2 카세트를 이송시키는 단계;
    상기 자동반송장치에 의해 상기 제 2 카세트가 이송되는 중에 로드/언로드 포트에서 출고되는 상기 제 1 카세트를 임시버퍼장치에 임시로 보관시키는 단계; 및
    상기 제 2 카세트를 로드/언로드 포트에 안착시키고 상기 제 1 카세트를 이송시키는 단계를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비에서의 카세트 이송방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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