JP2018093131A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】稼働率の低下を抑制することができる搬送システムを提供する。【解決手段】複数の被処理物に対して所定の処理を行う処理設備１と、被処理物を搬送する搬送装置２と、処理設備１によって所定の処理が行われる前の被処理物を保管する第１保管庫３１および第２保管庫３２と、を備え、搬送装置２が被処理物を第１保管庫３１から処理設備１へ搬送するときの搬送時間は、搬送装置２が被処理物を第２保管庫３２から処理設備１へ搬送するときの搬送時間よりも短く、第１保管庫３１に空きが発生したとき、搬送装置２は、第２保管庫３２に保管されている被処理物を第１保管庫３１へ搬送する。【選択図】図７

Description

本発明は、半導体装置の生産工場等において被処理物を搬送する搬送システムに関するものである。

従来、半導体装置の生産工場等において、複数の処理設備を設置し、半導体ウェハ等の被処理物を各処理設備に順に移動させることによって各工程が実施されるようにした搬送システムが知られている。

例えば特許文献１では、処理設備で不具合が発生しているとき等、被処理物を本来の搬送先に搬送できないときに、被処理物を受け取ることができる保管装置のうち、本来の搬送先への搬送時間が最も短いものを代替搬送先とする搬送システムが提案されている。

特開２０１３−０８６８９７号公報

しかしながら、特許文献１に記載の搬送システムでは、搬送できない期間が長引き、本来の搬送先への搬送時間が短い保管装置が満杯になると、本来の搬送先への搬送時間が長い保管装置に被処理物が保管されることになる。そして、処理設備の不具合等が解消されて本来の搬送先への搬送が可能になると、この被処理物は、長い時間をかけて本来の搬送先である処理設備へ搬送される。その結果、処理設備が待機状態となる時間が長くなり、稼働率が低下する。

本発明は上記点に鑑みて、稼働率の低下を抑制することができる搬送システムを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、複数の被処理物に対して所定の処理を行う処理設備（１）と、被処理物を搬送する搬送装置（２）と、処理設備によって所定の処理が行われる前の被処理物を保管する第１保管庫（３１、３２、３３、３４）および第２保管庫（３１、３２、３３、３４）と、を備え、搬送装置が被処理物を第１保管庫から処理設備へ搬送するときの搬送時間は、搬送装置が被処理物を第２保管庫から処理設備へ搬送するときの搬送時間よりも短く、第１保管庫に空きが発生したとき、搬送装置は、第２保管庫に保管されている被処理物を第１保管庫へ搬送する。

このように、第１保管庫に空きが発生したときに、第２保管庫に保管されている被処理物を処理設備への搬送時間が短い第１保管庫へあらかじめ搬送しておくことにより、処理設備の空き時間を短縮することができる。したがって、稼働率の低下を抑制することができる。

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係の一例を示すものである。

本発明の第１実施形態にかかる搬送システムの構成を示す図である。 ホストコントローラおよび搬送制御装置のブロック図である。 搬送先決定処理のフローチャートである。 搬送先決定処理について説明するための図である。 呼び戻し搬送処理のフローチャートである。 呼び戻し搬送処理について説明するための図である。 図１に示す搬送システムの動作について説明するための図である。 図１に示す搬送システムの処理の流れを示す図である。 比較例の処理の流れを示す図である。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。本実施形態の搬送システムは、半導体装置の生産工場等で容器に収容された被処理物を搬送するのに適用されると好適であり、以下では半導体装置の生産工場に適用した例について説明する。

図１および図２に示すように、本実施形態の搬送システム１００は、処理設備１と、搬送装置２と、バッファ３と、マニュアル出庫口４と、搬送制御装置５と、ホストコントローラ６と、入力装置７とを備えている。

処理設備１は、複数の被処理物に対して所定の処理を行うものであり、例えば、熱処理装置、イオン注入装置、エッチング装置、成膜装置、洗浄装置、フォトレジスト塗布装置、露光装置、検査装置等の半導体装置を製造する際に用いられるものである。本実施形態の搬送システム１００は処理設備１を複数備えており、被処理物であるロット２００が各処理設備１を順に移動することにより、半導体装置の製造の各工程が実施される。

ロット２００は、複数枚の半導体ウェハで構成されており、カセットに収容された状態で搬送装置２によって搬送される。カセットは、例えば、一面が開口している本体と、本体の開口を閉塞する蓋と、本体に備えられるフランジとを備えた一般的なＳＭＩＦ（Standard of Mechanical Interface）やＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）等が用いられる。

搬送装置２は、ロット２００を搬送するものであり、生産工場等の天井から吊り下げられたレール２１と、レール２１を走行するＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）である台車２２とを備えている。なお、搬送装置２を、生産工場等の床に設置されたレールと、このレールを走行するＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）とで構成してもよい。また、搬送装置２を、生産工場等の床に備えられたガイドテープと、このガイドテープを追従するＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）とで構成してもよい。

バッファ３は、処理設備１において所定の処理が行われる前のロット２００を一時的に保管する保管庫であり、搬送システム１００は、複数のバッファ３を備えている。複数のバッファ３には、設備前バッファ３１と、代替バッファ３２とが含まれており、設備前バッファ３１には、専用バッファ３３と、共用バッファ３４とが含まれている。

専用バッファ３３は、１つの処理設備１のみに対応する保管庫であり、対応する処理設備１において所定の処理が行われる前のロット２００を一時的に保管する。

共用バッファ３４は、複数の処理設備１に対応する保管庫であり、対応する複数の処理設備１の中に専用バッファ３３が満杯になった処理設備１があるときに、この処理設備１において所定の処理が行われる前のロット２００を一時的に保管する。

代替バッファ３２は、１つまたは複数の処理設備１に対応する保管庫である。代替バッファ３２は、対応する処理設備１の中に、専用バッファ３３および共用バッファ３４の両方が満杯になった処理設備１があるときに、この処理設備１において所定の処理が行われる前のロット２００を一時的に保管する。

本実施形態では、１つの処理設備１に対して、専用バッファ３３、共用バッファ３４、代替バッファ３２がそれぞれ複数配置されている。

設備前バッファ３１で保管されているロット２００は、搬送装置２により、この設備前バッファ３１が対応する処理設備１へ搬送される。また、代替バッファ３２で保管されているロット２００は、搬送装置２により、この代替バッファ３２が対応する処理設備１、または、この処理設備１に対応する設備前バッファ３１へ搬送される。

本実施形態では、レール２１はループ状とされており、処理設備１、および、この処理設備１に対応するバッファ３は、レール２１に沿って、代替バッファ３２、共用バッファ３４、専用バッファ３３、処理設備１の順で配置されている。そして、台車２２は、レール２１を走行して、処理設備１およびバッファ３の付近を、代替バッファ３２、共用バッファ３４、専用バッファ３３、処理設備１の順に繰り返し通過する。このような配置により、搬送装置２がロット２００を設備前バッファ３１から処理設備１へ搬送するときの搬送時間は、搬送装置２がロット２００を代替バッファ３２から処理設備１へ搬送するときの搬送時間よりも短くされている。本実施形態では、設備前バッファ３１が第１保管庫に相当し、代替バッファ３２が第２保管庫に相当する。

マニュアル出庫口４は、処理設備１およびバッファ３のいずれにもロット２００を搬送することができないときにロット２００が搬送される場所であり、レール２１の付近に配置されている。

マニュアル出庫口４に搬送されたロット２００は、作業者によってバッファ３とは別の保管場所へ移される。そして、処理設備１のトラブル等が解消されて、処理設備１またはバッファ３への搬送が可能になると、このロット２００は作業者によって再びマニュアル出庫口４に置かれ、搬送装置２によって処理設備１またはバッファ３へ搬送される。

搬送制御装置５は、搬送装置２の動作を制御するものであり、台車２２と通信可能に構成されている。搬送制御装置５には、台車２２の状態を示す情報、および、台車２２による搬送時間を示す情報が記憶されている。また、搬送制御装置５は、ホストコントローラ６と通信可能とされている。

ホストコントローラ６は、原単位管理装置６１、ロット／製造工程フロー管理装置６２、設備管理装置６３、在庫管理装置６４を備えており、これらは互いに通信可能に構成されている。原単位管理装置６１、ロット／製造工程フロー管理装置６２、設備管理装置６３、在庫管理装置６４は、それぞれＣＰＵや周辺機器、記憶手段を構成する各種メモリ等で構成されている。

原単位管理装置６１は、各ロット２００に対する複数の処理工程と、この複数の処理工程のそれぞれに用いる処理設備１との関係情報を記憶する。また、原単位管理装置６１は、処理設備１とバッファ３との対応関係を示す情報を記憶する。

具体的には、各バッファ３には、バッファコードが割り当てられており、各処理設備１に対してバッファコードが設定されている。バッファコードが１つの処理設備１のみに対して設定されたバッファ３は専用バッファ３３となり、バッファコードが複数の処理設備１に対して設定されたバッファ３は共用バッファ３４となる。

また、専用バッファ３３および共用バッファ３４のいずれにも搬送できないときの代替搬送先を示すバッファコードが各処理設備１に対して設定されており、代替搬送先として設定されたバッファ３は代替バッファ３２となる。

さらに、設備前バッファ３１、代替バッファ３２のいずれにも搬送できない場合の搬送先として、各処理設備１に対してマニュアル出庫口４が設定されている。

なお、原単位管理装置６１には、原単位管理装置６１に情報を入力するための入力装置７が接続されている。これにより、生産工場の稼働中においても、原単位管理装置６１に記憶された処理設備１とバッファ３との対応関係を示す情報を書き換え、各処理設備１に対する設備前バッファ３１、代替バッファ３２の割り当てを変更することが可能となる。

ロット／製造工程フロー管理装置６２は、各ロット２００の処理状況を示す処理情報、および、各ロット２００に対して設定されている処理設備１への仕掛優先度を示す情報を記憶する。設備管理装置６３は、各処理設備１と接続されており、各処理設備１の不具合の有無などの状態を示す情報を記憶する。在庫管理装置６４は、各バッファ３に保管されているロット２００の有無などの在庫情報を記憶する。

搬送制御装置５は、搬送制御装置５と、原単位管理装置６１と、ロット／製造工程フロー管理装置６２と、設備管理装置６３と、在庫管理装置６４とに記憶された情報に基づいて、搬送装置２に搬送指示を送る。

搬送システム１００の動作について図３〜図６を用いて説明する。搬送システム１００では、ロット２００が複数の処理設備１を順に移動することによって各工程が行われる。そして、ある処理設備１においてロット２００に対する処理が終了すると、搬送制御装置５は、このロット２００について図３に示すステップＳ１０１〜Ｓ１１８の処理を行い、次の搬送先を決定して、搬送装置２に搬送指示を送る。搬送制御装置５により搬送先を決定する処理が行われているロット２００をロット２００ａとする。

ステップＳ１０１では、搬送制御装置５は、ロット／製造工程フロー管理装置６２から、ロット２００ａを次に処理する処理設備１を示す搬送先処理設備情報を取得し、ステップＳ１０２へ進む。ロット２００ａを次に処理する処理設備１を処理設備１ａとする。

ステップＳ１０２では、搬送制御装置５は、処理設備１ａによる処理を待つすべてのロット２００について、仕掛優先度情報を取得し、ステップＳ１０３へ進む。ステップＳ１０３では、搬送制御装置５は、処理設備１ａに空きポートがあるか否かを判定し、処理設備１ａに空きポートがあると判定した場合、ステップＳ１０４へ進む。

ステップＳ１０４では、搬送制御装置５は、処理設備１ａへ搬送中のロット２００があるか否かを判定し、処理設備１ａへ搬送中のロット２００がないと判定した場合、ステップＳ１０５へ進む。

ステップＳ１０５では、搬送制御装置５は、ステップＳ１０２で取得した仕掛優先度情報に基づいて、処理設備１ａによる処理を待つロット２００の中にロット２００ａより仕掛優先度の高いものがあるか否かを判定する。ロット２００ａよりも仕掛優先度の高いロット２００がないと判定した場合、搬送制御装置５は、ステップＳ１０６へ進む。

ステップＳ１０６では、搬送制御装置５は、処理設備１ａのポートを搬送先に設定し、その後、ステップＳ１０７において、搬送装置２に搬送指示を出す。

ステップＳ１０３において処理設備１ａに空きポートがないと判定した場合、搬送制御装置５は、ステップＳ１０８へ進む。また、ステップＳ１０４において処理設備１ａへ搬送中のロット２００があると判定した場合にも、搬送制御装置５は、ステップＳ１０８へ進む。また、ステップＳ１０５においてロット２００ａよりも仕掛優先度の高いロット２００があると判定した場合にも、搬送制御装置５は、ステップＳ１０８へ進む。

ステップＳ１０８では、搬送制御装置５は、原単位管理装置６１から、処理設備１ａに対応する設備前バッファ３１を示す情報を取得し、ステップＳ１０９へ進む。処理設備１ａに対応する設備前バッファ３１を設備前バッファ３１ａとする。ステップＳ１０９では、搬送制御装置５は、在庫管理装置６４から設備前バッファ３１ａの在庫情報を取得し、ステップＳ１１０へ進む。

ステップＳ１１０では、搬送制御装置５は、設備前バッファ３１ａに空きがあるか否かを判定し、設備前バッファ３１ａに空きがあると判定した場合、ステップＳ１１１へ進む。ステップＳ１１１では、搬送制御装置５は、すでに設備前バッファ３１ａへの搬送が開始されているロット２００の数を調べ、搬送中のロット２００によって設備前バッファ３１ａが満杯になるか否かを判定する。

搬送中のロット２００によって設備前バッファ３１ａが満杯にならないと判定した場合、搬送制御装置５は、ステップＳ１１２へ進む。ステップＳ１１２では、搬送制御装置５は、設備前バッファ３１ａを搬送先に設定して、ステップＳ１０７へ進む。

ステップＳ１１０において設備前バッファ３１ａに空きがないと判定した場合、または、ステップＳ１１１において搬送中のロット２００によって設備前バッファ３１ａが満杯になると判定した場合、搬送制御装置５は、ステップＳ１１３へ進む。

ステップＳ１１３では、搬送制御装置５は、原単位管理装置６１から、処理設備１ａに対応する代替バッファ３２を示す情報を取得し、ステップＳ１１４へ進む。処理設備１ａに対応する代替バッファ３２を代替バッファ３２ａとする。ステップＳ１１４では、搬送制御装置５は、在庫管理装置６４から代替バッファ３２ａの在庫情報を取得し、ステップＳ１１５へ進む。

ステップＳ１１５では、搬送制御装置５は、代替バッファ３２ａに空きがあるか否かを判定し、代替バッファ３２ａに空きがあると判定した場合、ステップＳ１１６へ進む。

ステップＳ１１６では、搬送制御装置５は、すでに代替バッファ３２ａへの搬送が開始されているロット２００の数を調べ、搬送中のロット２００によって代替バッファ３２ａが満杯になるか否かを判定する。

搬送中のロット２００によって代替バッファ３２ａが満杯にならないと判定した場合、搬送制御装置５は、ステップＳ１１７へ進み、代替バッファ３２ａを搬送先に設定して、ステップＳ１０７へ進む。

ステップＳ１１５において代替バッファ３２ａに空きがないと判定した場合、または、ステップＳ１１６において代替バッファ３２ａが満杯になると判定した場合、搬送制御装置５は、ステップＳ１１８へ進み、マニュアル出庫口４を搬送先に設定して、ステップＳ１０７へ進む。

以上の搬送先決定処理により、図４の矢印で示すように、ロット２００ａは処理設備１ａ、設備前バッファ３１ａ、代替バッファ３２ａ、マニュアル出庫口４のいずれかへ搬送される。

すなわち、搬送制御装置５は、平時にはステップＳ１０１〜Ｓ１１２の処理を行い、処理設備１により処理される前のロット２００は、処理設備１または設備前バッファ３１に搬送される。そして、設備前バッファ３１に保管されたロット２００は、仕掛優先度の高い順に処理設備１へ搬送される。

処理設備１に不具合が発生すると、処理設備１による処理が進まなくなり、設備前バッファ３１がロット２００で満杯になる。そして、搬送制御装置５はステップＳ１１３〜Ｓ１１７の処理を行い、ロット２００は設備前バッファ３１に加えて代替バッファ３２でも保管される。

さらに、代替バッファ３２が満杯になると、搬送制御装置５はステップＳ１１８の処理を行い、ロット２００はマニュアル出庫口４へ搬送される。

処理設備１が復旧すると、設備前バッファ３１、代替バッファ３２、マニュアル出庫口４のいずれかへ搬送されたロット２００は、仕掛優先度などに応じて、これらの場所から処理設備１へ順次搬送される。このとき、設備前バッファ３１に保管されたロット２００が搬出されることによって設備前バッファ３１に空きが発生すると、搬送制御装置５は、図５に示すステップＳ２０１〜Ｓ２１３の処理を行う。図５に示す処理は、本来の搬送先である処理設備１、および、この処理設備１に対応する設備前バッファ３１のいずれにも搬送されずに代替バッファ３２へ搬送されたロット２００を、状況に応じて設備前バッファ３１へ搬送する呼び戻し搬送処理である。

ステップＳ２０１では、搬送制御装置５は、在庫管理装置６４から、設備前バッファ３１に空きが発生した処理設備１の在庫情報を取得し、ステップＳ２０２へ進む。この処理設備１を、処理設備１ｂとする。

ステップＳ２０２では、搬送制御装置５は、在庫管理装置６４から処理設備１ｂに対応する設備前バッファ３１の在庫情報を取得し、ステップＳ２０３へ進む。処理設備１ｂに対応する設備前バッファ３１を、設備前バッファ３１ｂとする。また、処理設備１ｂに対応する代替バッファ３２を、代替バッファ３２ｂとする。

ステップＳ２０３では、搬送制御装置５は、設備前バッファ３１ｂへ搬送中のロット２００の数を確認し、搬送中のロット２００で設備前バッファ３１ｂが満杯になるか否かを判定する。搬送制御装置５は、搬送中のロット２００で設備前バッファ３１ｂが満杯にならないと判定した場合、ステップＳ２０４へ進み、満杯になると判定した場合、呼び戻し搬送処理を終了する。

ステップＳ２０４では、搬送制御装置５は、処理設備１ｂに対応するバッファ３のうち、設備前バッファ３１ｂ以外の保管場所である代替バッファ３２ｂにロット２００があるか否かを判定する。搬送制御装置５は、代替バッファ３２ｂにロット２００があると判定した場合、ステップＳ２０５へ進み、代替バッファ３２ｂにロット２００がないと判定した場合、呼び戻し搬送処理を終了する。

ステップＳ２０５では、搬送制御装置５は、ロット／製造工程フロー管理装置６２より、代替バッファ３２ｂに保管されているロット２００のロット情報を取得し、代替バッファ３２ｂに保管されているすべてのロット２００を搬送対象ロットとして、ステップＳ２０６へ進む。

ステップＳ２０６では、搬送制御装置５は、ロット／製造工程フロー管理装置６２より、搬送対象ロットの仕掛優先度情報を取得し、ステップＳ２０７へ進む。

ステップＳ２０７では、搬送制御装置５は、搬送対象ロットがあるか否かを判定する。搬送制御装置５は、搬送対象ロットがあると判定した場合、ステップＳ２０８へ進み、搬送対象ロットがないと判定した場合、呼び戻し搬送処理を終了する。

ステップＳ２０８では、搬送制御装置５は、搬送対象ロットのうち、仕掛優先度の最も高いものを判定対象ロットとして、ステップＳ２０９へ進む。ステップＳ２０９では、搬送制御装置５は、判定対象ロットを代替バッファ３２ｂから設備前バッファ３１ｂへ搬送するときの搬送時間情報を取得し、ステップＳ２１０へ進む。

ステップＳ２１０では、搬送制御装置５は、判定対象ロットを代替バッファ３２ｂから設備前バッファ３１ｂへ搬送するときの搬送時間が所定の閾値以上であるか否かを判定する。搬送制御装置５は、搬送時間が閾値以上であると判定した場合、ステップＳ２１１へ進む。

ステップＳ２１１では、搬送制御装置５は、設備前バッファ３１ｂを判定対象ロットの搬送先に設定して、ステップＳ２１２へ進み、搬送装置２に搬送指示を出して、呼び戻し搬送処理を終了する。

ステップＳ２１０において、搬送時間が閾値以上でないと判定した場合、搬送制御装置５は、ステップＳ２１３へ進む。ステップＳ２１３では、搬送制御装置５は、判定対象ロットを搬送対象ロットから除外して、ステップＳ２０７へ進む。

以上の呼び戻し搬送処理の後、搬送指示が出された台車２２によって、図６の矢印で示すように、代替バッファ３２ｂに保管されているロット２００が設備前バッファ３１ｂへ搬送される。

処理設備１に不具合が発生してロット２００が代替バッファ３２に保管された後、処理設備１が復旧し、ロット２００の処理が再開されると、設備前バッファ３１、代替バッファ３２に保管されたロット２００のうち、仕掛優先度の最も高いものが処理設備１へ搬送される。仕掛優先度の最も高いものが代替バッファ３２に保管されている場合、処理設備１への搬送に長い時間がかかるため、処理設備１の空き時間が長くなる。

これに対して、設備前バッファ３１に空きが発生した場合に呼び戻し搬送処理を行い、代替バッファ３２に保管されているロット２００を仕掛優先度などに応じて設備前バッファ３１へあらかじめ搬送しておくことで、処理設備１の空き時間を短縮することができる。

処理設備１の空き時間の短縮については、例えば処理設備１がアライメント精度測定器などのタクトタイムが短いものであり、処理設備１のタクトタイムが設備前バッファ３１から処理設備１への搬送時間よりも短い場合に、特に大きな効果が得られる。このことについて、図７、図８を用いて説明する。

以下、処理前の複数のロット２００を、仕掛優先度の高い順にロット２０１、２０２、２０３、２０４、・・・とする。また、図８に示す処理の開始時には、図７に示すように、ロット２０１、２０２、２０４が設備前バッファ３１に保管されており、ロット２０３が代替バッファ３２に保管されているものとする。

また、図７、図８に示す例では、処理設備１のタクトタイムが３分とされ、設備前バッファ３１から処理設備１への搬送時間が４分とされ、代替バッファ３２から処理設備１への搬送時間が６分とされ、代替バッファ３２から設備前バッファ３１への搬送時間が３分とされている。また、ステップＳ２１０での判定に用いられる閾値は２分とされており、処理設備１から次の搬送先への搬送時間は４分とされている。また、処理設備１は２つのポートを備えており、図８に示す処理の開始時には処理設備１に２つの空きポートがあり、処理設備１に搬送中のロット２００はないものとする。

まず、ステップＳ１０１〜Ｓ１０７の処理によりロット２０１の処理設備１への搬送が開始されると、設備前バッファ３１に空きが発生する。また、代替バッファ３２から設備前バッファ３１への搬送時間が所定の閾値以上であるため、呼び戻し搬送処理により、ロット２０３が代替バッファ３２から設備前バッファ３１へ搬送される。ロット２０１の処理設備１への搬送が開始されてからの経過時間をｔとすると、ここでは、ｔ＝２ｍｉｎのときにロット２０３の設備前バッファ３２への搬送が開始される。

そして、ロット２０１が処理設備１へ到着し、ロット２０１の処理が開始されると、処理設備１に空きポートがあり、処理設備１へ搬送中のロット２００がない状態となる。したがって、ステップＳ１０１〜Ｓ１０７の処理により、処理設備１による処理を待つロット２００の中で最も仕掛優先度の高いロット２０２が処理設備１へ搬送される。

ｔ＝７ｍｉｎのときにロット２０１の処理が終了するので、ｔ＝８ｍｉｎのときにロット２０２が処理設備１へ到着すると、直ちにロット２０２の処理が開始される。また、ロット２０２が処理設備１へ到着すると、処理設備１に空きポートがあり、処理設備１へ搬送中のロット２００がない状態となる。したがって、ステップＳ１０１〜Ｓ１０７の処理により、処理設備１による処理を待つロット２００の中で最も仕掛優先度の高いロット２０３が設備前バッファ３１から処理設備１へ搬送される。

ｔ＝１１ｍｉｎのときにロット２０２の処理が終了するので、ｔ＝１２ｍｉｎのときにロット２０３が処理設備１へ到着すると、直ちにロット２０３の処理が開始される。このとき、処理設備１の空き時間は１分である。また、ロット２０３が処理設備１へ到着すると、処理設備１に空きポートがあり、処理設備１へ搬送中のロット２００がない状態となる。したがって、ステップＳ１０１〜Ｓ１０７の処理により、処理設備１による処理を待つロット２００の中で最も仕掛優先度の高いロット２０４が処理設備１へ搬送される。

ｔ＝１５ｍｉｎのときにロット２０３の処理が終了するので、ｔ＝１６ｍｉｎのときにロット２０４が処理設備１へ到着すると、直ちにロット２０４の処理が開始される。そして、ｔ＝１９ｍｉｎのときにロット２０４の処理が終了する。

呼び戻し搬送処理を行わない場合、図９に示すように、処理設備１の空き時間が長くなる。すなわち、ｔ＝８ｍｉｎのときにロット２０３の代替バッファ３２から処理設備１への搬送が開始され、ｔ＝１４ｍｉｎのときにロット２０３が処理設備１へ到着し、ロット２０３の処理が開始される。このとき、処理設備１の空き時間は３分である。そして、ロット２０３の処理の終了後にロット２０４の処理が開始され、ｔ＝２１ｍｉｎのときにロット２０４の処理が終了する。

このように、処理設備１のタクトタイムが短い場合、処理設備１のポートに空きが発生したタイミングで代替バッファ３２から処理設備１へのロット２００の搬送を開始すると、処理設備１の空き時間が長くなる。そして、処理設備１の稼働率が低下するおそれがある。これに対して、前述したように設備前バッファ３１への呼び戻し搬送を行うことにより、処理設備１の空き時間を短縮し、処理設備１の稼働率を向上させることができる。

以上説明したように、本実施形態では、設備前バッファ３１に空きが発生したときに代替バッファ３２から設備前バッファ３１へのロット２００の搬送を行うことで、処理設備１への搬送効率を向上させ、処理設備１の稼働率を向上させることができる。また、設備前バッファ３１や代替バッファ３２の有効活用が可能である。

また、本実施形態では、ステップＳ２１０によって、代替バッファ３２から設備前バッファ３１への搬送時間がある程度長いときにのみ呼び戻し搬送を行っている。すなわち、設備前バッファ３１から処理設備１への搬送時間と、代替バッファ３２から処理設備１への搬送時間との差がある程度大きく、処理設備１の空き時間を短縮する効果が大きい場合にのみ呼び戻し搬送を行っている。これにより、搬送効率をさらに向上させることができる。

（他の実施形態）
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。

例えば、上記第１実施形態では、設備前バッファ３１を第１保管庫として用い、代替バッファ３２を第２保管庫として用いたが、第１保管庫および第２保管庫の組み合わせを変更してもよい。例えば、専用バッファ３３を第１保管庫とし、共用バッファ３４を第２保管庫としてもよい。また、複数の専用バッファ３３の一部を第１保管庫とし、他の専用バッファ３３または共用バッファ３４を第２保管庫としてもよい。また、複数の共用バッファ３４の一部を第１保管庫とし、他の共用バッファ３４を第２保管庫としてもよい。また、共用バッファ３４から処理設備１への搬送時間を専用バッファ３３から処理設備１への搬送時間よりも短くして、共用バッファ３４を第１保管庫とし、専用バッファ３３を第２保管庫としてもよい。また、代替バッファ３２の一部を第１保管庫とし、他の代替バッファ３２を第２保管庫としてもよい。

また、上記第１実施形態では、設備前バッファ３１に空きが発生したタイミングで図５に示す呼び戻し搬送処理を行っているが、定期的に設備前バッファ３１の在庫状況を確認し、空きが発見されたタイミングで呼び戻し搬送処理を行ってもよい。

また、上記第１実施形態では、代替バッファ３２から設備前バッファ３１への搬送時間がある程度長いときにのみ呼び戻し搬送を行っているが、代替バッファ３２から設備前バッファ３１への搬送時間に関わらず呼び戻し搬送を行ってもよい。

また、上記第１実施形態では、各処理設備１に対してバッファコードを設定したが、１つまたは複数の処理設備１によって行われる各工程に対してバッファコードを設定し、各工程に対して専用バッファ３３、共用バッファ３４を設けてもよい。

また、設備前バッファ３１が専用バッファ３３または共用バッファ３４のいずれか一方を備えていなくてもよい。また、本発明を処理設備１のタクトタイムがバッファ３から処理設備１への搬送時間より長い生産工場に適用してもよい。

また、本発明を半導体装置以外のものを製造する生産工場に適用してもよい。また、本発明を半導体装置または半導体装置以外のものを試作する生産工場に適用してもよい。

１ 処理設備
２ 搬送装置
３１ 設備前バッファ
３２ 代替バッファ
３３ 専用バッファ
３４ 共用バッファ

Claims (6)

1. 複数の被処理物に対して所定の処理を行う処理設備（１）と、
   前記被処理物を搬送する搬送装置（２）と、
   前記処理設備によって所定の処理が行われる前の前記被処理物を保管する第１保管庫（３１、３２、３３、３４）および第２保管庫（３１、３２、３３、３４）と、を備え、
   前記搬送装置が前記被処理物を前記第１保管庫から前記処理設備へ搬送するときの搬送時間は、前記搬送装置が前記被処理物を前記第２保管庫から前記処理設備へ搬送するときの搬送時間よりも短く、
   前記第１保管庫に空きが発生したとき、前記搬送装置は、前記第２保管庫に保管されている前記被処理物を前記第１保管庫へ搬送する搬送システム。
2. 前記第１保管庫に空きが発生したとき、前記搬送装置は、前記搬送装置が前記被処理物を前記第２保管庫から前記第１保管庫へ搬送するときの搬送時間が所定の閾値以上である場合に、前記第２保管庫に保管されている前記被処理物を前記第１保管庫へ搬送する請求項１に記載の搬送システム。
3. 複数の前記被処理物それぞれに対して前記処理設備への仕掛優先度が設定されており、
   前記第１保管庫に空きが発生したとき、前記搬送装置は、前記第２保管庫に保管されている前記被処理物のうち、前記仕掛優先度が最も高い被処理物を前記第１保管庫へ搬送する請求項１または２に記載の搬送システム。
4. 前記処理設備が行う所定の処理にかかる時間は、前記搬送装置が前記被処理物を前記第１保管庫から前記処理設備へ搬送するときの搬送時間よりも短い請求項１ないし３のいずれか１つに記載の搬送システム。
5. 前記第１保管庫および前記第２保管庫の両方が満杯のときに前記被処理物が搬送されるマニュアル出庫口（４）を備える請求項１ないし４のいずれか１つに記載の搬送システム。
6. 複数の前記処理設備と、
   前記第１保管庫および前記第２保管庫と前記処理設備との対応関係を示す情報を記憶し、前記搬送装置と通信可能とされている管理装置（６１）と、
   前記対応関係を示す情報を書き換えるための入力装置（７）と、を備える請求項１ないし５のいずれか１つに記載の搬送システム。
   

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