JP5454554B2 - 搬送システムおよびその制御方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。図1は、本実施形態における搬送システムのレイアウトである。なお、本実施形態の搬送システムは、半導体装置の生産工場等でカセットに収容された被処理物を搬送するのに用いられると好適である。
上記第1実施形態では、優先度を「通常」、「優先」、「最優先」の3種類としたが、優先度を数字で示すようにしてもよい。例えば、「通常」に相当する数字を1〜80とし、「優先」に相当する数字を81〜89とし、「最優先」に相当する数字を90〜99とし、優先度が同じである場合には数字が大きいものから搬送指示を実行するようにしてもよい。すなわち、「通常」、「優先」、「最優先」の中でも優先度をつけるようにしてもよい。
11a〜11f 保管庫
20a〜20g 搬送台車
40 ホストコントローラ
41 保管庫管理部
42 生産装置制御部
43 搬送指示作成部
44 特定装置決定部
50 搬送コントローラ
51 搬送指示変更部
52 搬送台車制御部
Claims (3)
- 複数のエリアにそれぞれ配置され、カセットに収容された被処理物に対して所定の処理を施す複数の生産装置(10a〜10t)と、
割付けられた搬送指示に基づいて搬送元移載箇所の前記カセットを搬送先移載箇所に搬送する複数の搬送台車(20a〜20f)と、
前記生産装置で処理される前の前記カセットが保管される保管庫(11a〜11f)と、
前記複数の生産装置それぞれに対する前記保管庫に収容されている合計カセット数を示す保管庫データを作成する保管庫管理部(41)と、
前記保管庫データに基づいて前記複数の生産装置それぞれに対する前記合計カセット数と所定の閾値とを比較し、前記合計カセット数が前記閾値以上である場合には当該カセットを処理する生産装置を特定装置とした特定装置データを作成する特定装置決定部(44)と、
搬送元移載箇所および搬送先移載箇所が格納された前記搬送指示を作成する搬送指示作成部(43)と、
前記特定装置データに基づき、搬送元移載箇所または搬送先移載箇所が前記特定装置である前記搬送指示の優先度を高いものに変更する搬送指示変更部(51)と、
前記搬送指示変更部で変更された前記搬送指示のうちから最も優先度の高い前記搬送指示を選択し、前記選択した搬送指示の搬送元移載箇所がある搬送元エリアに搬送指示が割付けられていない搬送台車がある場合、当該搬送台車に前記選択した搬送指示を割付ける通常割付けを行い、前記搬送元エリアに搬送指示が割付けられていない搬送台車がなく、前記選択した搬送指示の優先度が前記搬送指示変更部で高いものに変更され、かつ前記搬送元エリアに搬送指示が割付けられているが前記カセットを搭載せずに前記搬送元エリアを搬送している搬送台車がある場合、当該搬送台車に改めて前記選択した搬送指示を割付ける特別割付けを行う搬送台車制御部(52)と、を備えていることを特徴とする搬送システム。 - 前記特定装置決定部は、前記合計カセット数と1次閾値との比較を行うと共に前記合計カセット数が前記1次閾値以上である場合には前記合計カセット数と前記1次閾値より大きい2次閾値との比較を行い、前記合計カセット数が前記2次閾値以上である生産装置を2次特定装置とし、前記合計カセット数が前記1次閾値以上であって前記2次閾値未満である生産装置を1次特定装置とする前記特定装置データを作成し、
前記搬送指示変更部は、前記搬送元移載箇所または前記搬送先移載箇所が前記1次特定装置である前記搬送指示の優先度を高くすると共に、前記搬送元移載箇所または前記搬送先移載箇所が前記2次特定装置である前記搬送指示の優先度を前記1次特定装置を含む前記搬送指示の優先度よりさらに高くし、
前記搬送台車制御部は、前記搬送元エリアの前記搬送台車に前記通常割付けを行うことができない場合であって前記選択した搬送指示の前記搬送元移載箇所または前記搬送先移載箇所が前記1次特定装置であり、前記搬送元エリアの前記搬送台車に前記特別割付けを行うことができる場合には当該搬送台車に前記特別割付けを行い、当該特別割付けを行うことができない場合であって前記選択した搬送指示の前記搬送元移載箇所または前記搬送先移載箇所が前記2次特定装置である場合には、全てのエリアから前記通常割付けまたは前記特別割付けを行うことができる搬送台車を検索することを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。 - 複数のエリアにそれぞれ配置され、カセットに収容された被処理物に対して所定の処理を施す複数の生産装置(10a〜10t)と、
割付けられた搬送指示に基づいて搬送元移載箇所の前記カセットを搬送先移載箇所に搬送する複数の搬送台車(20a〜20f)と、
前記生産装置で処理される前の前記カセットが保管される保管庫(11a〜11f)と、を備える搬送システムの制御方法であって、
前記複数の生産装置それぞれに対する前記保管庫に収容されている合計カセット数を示す保管庫データを作成する工程と、
前記保管庫データに基づいて前記複数の生産装置それぞれに対する前記合計カセット数と所定の閾値とを比較し、前記合計カセット数が前記閾値以上である場合には当該カセットを処理する生産装置を特定装置とする特定装置データを作成する工程と、
搬送元移載箇所および搬送先移載箇所が格納された前記搬送指示を作成する工程と、
前記特定装置データに基づき、搬送元移載箇所または搬送先移載箇所が前記特定装置である前記搬送指示の優先度を高いものに変更する搬送指示変更工程と、
前記搬送指示変更工程で変更された前記搬送指示のうちから最も優先度の高い前記搬送指示を選択し、前記選択した搬送指示の搬送元移載箇所がある搬送元エリアに搬送指示が割付けられていない搬送台車がある場合、当該搬送台車に前記選択した搬送指示を割付ける通常割付けを行い、前記搬送元エリアに搬送指示が割付けられていない搬送台車がなく、前記選択した搬送指示の優先度が前記搬送指示変更工程で高いものに変更され、かつ前記搬送元エリアに搬送指示が割付けられているが前記カセットを搭載せずに前記搬送元エリアを搬送している搬送台車がある場合、当該搬送台車に改めて前記選択した搬送指示を割付ける特別割付けを行う工程と、を行うことを特徴とする搬送システムの制御方法。
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