JP2003124286A - 工程間搬送システムおよび工程間搬送方法 - Google Patents

工程間搬送システムおよび工程間搬送方法

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JP2003124286A
JP2003124286A JP2001321092A JP2001321092A JP2003124286A JP 2003124286 A JP2003124286 A JP 2003124286A JP 2001321092 A JP2001321092 A JP 2001321092A JP 2001321092 A JP2001321092 A JP 2001321092A JP 2003124286 A JP2003124286 A JP 2003124286A
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浩文 大塚
Ryoji Ogata
良二 尾形
Taichi Yanaru
太一 矢鳴
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 前工程の保管棚や次工程の保管棚、台車など
に半製品が滞留することがなく、必要な工程に効率よく
半製品を搬送し供給することができる工程間搬送システ
ムを提供する。 【解決手段】 プロセス装置が備えられたベイと、各ベ
イに備えられた保管棚と、これら保管棚を巡回し保管棚
から保管棚へと半製品を搬送する台車とを有し、プロセ
ス装置の稼動状況および保管棚内の半製品の数にもとづ
いて搬送時期を決定することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工場において前工
程から次工程へと半製品を搬送する工程間搬送システム
に関し、とくに、各工程に工程内での処理待ちおよび次
工程への搬出待ちのための保管棚（ストッカ）が備えら
れており、半製品を収納したカセットを前工程の保管棚
から次工程の保管棚へと搬送する工程間搬送システムに
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体メモリやマイクロプロセッサとい
った半導体製品は、直径２００〜３００ｍｍ程度の半導
体ウエハ上にトランジスタやコンデンサなどの素子およ
び配線を多数、微細かつ精緻に作り込み、これを各製品
へと切り分けたのち、切り分けた各製品をそれぞれ樹脂
などで封止して製造される。したがって、半導体ウエハ
上への素子や配線の形成は、半導体製品の製造において
きわめて重要であり、多種多様かつ多数の工程によって
行なわれている。
【０００３】これらの各工程には、それぞれ専用の製造
装置（以下、プロセス装置という）が使用される。した
がって、前工程のプロセス装置での処理を終えた半導体
ウエハを、次工程のプロセス装置へと搬送するために、
何らかの工程間搬送システムが必要である。
【０００４】工程間搬送システムの例を、図１を用いて
説明する。
【０００５】一般に、半導体製品の製造工場では、クリ
ーンルーム内にいくつかの小部屋（以下、ベイという）
を設け、各ベイ内にそれぞれ数台のプロセス装置を配置
している。図１の例では、クリーンルーム内に６つのベ
イ（ベイＡ〜ベイＦ）が設けられており、各ベイにそれ
ぞれ３〜４台のプロセス装置が備えられている。
【０００６】ベイ間の搬送、すなわち工程間搬送を行な
うために、ＯＨＳ（Over Head Shuttle）８が備えられ
ている。ＯＨＳ８は、各ベイを循環するように設けられ
た走行レールおよび走行レール上のＯＨＳ台車８０から
なる。半導体ウエハは、複数枚（たとえば２５枚）が１
カセットに収納され、ＯＨＳ台車８０に載せられてベイ
からベイへと運ばれる。なお、ＯＨＳ台車８０には、通
常複数個（たとえば２個）のカセットが積載可能であ
る。
【０００７】ＯＨＳ台車からベイ内で処理すべきカセッ
ト（半導体ウエハ）を受け取り、またＯＨＳ台車に処理
済みのカセットを渡すために、各ベイには保管棚（以
下、ストッカという）が備えられている。図１の例で
は、各ベイＡ〜ベイＦにそれぞれ、ストッカＡ〜ストッ
カＦが備えられている。
【０００８】工程間搬送の実際を、図２を使用して説明
する。
【０００９】プロセス装置１１にて処理されるべきカセ
ット（半導体ウエハ）が、ＯＨＳ台車８０に載せられて
ベイＡへと運ばれ、ベイＡのストッカＡに収容される
（図２の矢印１０１）。ベイＡ内には、工程内搬送シス
テムが備えられており、このカセットをストッカＡから
取り出し、プロセス装置１１へと供給する（図２の矢印
１０２）。プロセス装置１１での処理が完了すると、工
程内搬送システムは処理済みのカセットをストッカＡに
戻す（図２の矢印１０３）。
【００１０】続いて、処理済みのカセットは次工程へと
運ばれる。ここでは、次工程の処理がプロセス装置５３
で行なわれるものとする。ＯＨＳ８が処理済みのカセッ
トをベイＥへと搬送し、ベイＥのストッカＥへと収納す
る（図２の矢印１０４）。ベイＥの工程内搬送システム
が、このカセットをストッカＥから取り出して、プロセ
ス装置５３へと供給する（図２の矢印１０５）。プロセ
ス装置５３での処理が完了すると、工程内搬送システム
は処理済みのカセットをストッカＥに戻す（図２の矢印
１０６）。
【００１１】ＯＨＳ８はこの処理済みのカセットをスト
ッカＥから搬出し、次工程のストッカＢへと搬送する
（図２の矢印１０７）。以後同様にして、カセット（半
導体ウエハ）の搬送とプロセス装置での処理とが繰り返
され、半導体製品の製造が進められる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】このような工程間搬送
システムにおいては、プロセス装置での処理が完了した
カセットがストッカ（たとえばストッカＡ）に戻される
と同時に、このカセットを次工程（たとえばストッカ
Ｅ）へと搬送するよう要請が出される。そして、ＯＨＳ
台車が走行レール上を巡回してストッカＡへと向かい、
このカセットを受け取ってストッカＥへと搬送する。
【００１３】このとき、ベイＥ内のプロセス装置で処理
されるべきカセットが多くなっている、あるいはベイＥ
内のプロセス装置が故障しているなどの理由により、ベ
イＥのストッカＥが満杯になった場合、つぎにこのスト
ッカＥに１カセット分の空きが発生すると、すぐにスト
ッカＡからストッカＥへの搬送を開始する。したがっ
て、不急でない搬送が発生してより至急度の高い搬送が
妨げられてしまう、ＯＨＳ台車の積載能力を使い切るこ
とができないなどの事態が生じ、搬送効率が低下すると
いう問題があった。
【００１４】また、すでに述べたように、ＯＨＳ台車は
同時に複数のカセットを搬送することが可能であるが、
搬送の要請はカセット１つごとに出されている。したが
って、タイミングよく２つ目のカセットの処理が終わら
ないかぎり、ＯＨＳ台車は１つのカセットのみを搬送す
ることになり、やはり搬送効率が低下していた。これを
避けるために、２つ目のカセットの処理完了を待って搬
送要請を出すようにした場合には、すみやかにカセット
が届かないために次工程のプロセス装置に待ち時間が生
じ、プロセス装置の稼働率低下を招くおそれがあった。
【００１５】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
め、本発明による工程間搬送システムは、プロセス装置
が備えられたベイと、各ベイに備えられた保管棚と、こ
れら保管棚を巡回し保管棚から保管棚へと半製品を搬送
する台車とを有し、プロセス装置の稼動状況および保管
棚内の半製品の数にもとづいて搬送時期を決定すること
を特徴とする。
【００１６】また、本発明による工程間搬送システム
は、プロセス装置が備えられたベイと、各ベイに備えら
れた保管棚と、これら保管棚を巡回し保管棚から保管棚
へと半製品を搬送する台車とを有し、さらに半製品の一
時退避用保管棚を有することを特徴とする。
【００１７】また、本発明における工程間搬送方法は、
プロセス装置が備えられたベイと、各ベイに備えられた
保管棚と、複数の半製品を積載可能な台車とを有し、該
台車にて、前工程のプロセス装置が属するベイの保管棚
から、次工程のプロセス装置が属するベイの保管棚へと
半製品を搬送する工程間搬送システムにおいて、次工程
のプロセス装置の処理終了までの時間と保管棚間の搬送
時間を比較し、前記処理終了までの時間が保管棚間の搬
送時間に等しくなるまで、該台車による搬送を待ち合わ
せ、該待ち合わせ期間に前工程の処理を終えて前工程の
保管棚に集まった半製品を、一括して次工程の保管棚へ
と搬送することを特徴とする。
【００１８】また、本発明における工程間搬送方法は、
プロセス装置が備えられたベイと、各ベイに備えられた
保管棚と、複数の半製品を積載可能な台車とを有し、該
台車にて、前工程のプロセス装置が属するベイの保管棚
から、次工程のプロセス装置が属するベイの保管棚へと
半製品を搬送する工程間搬送システムにおいて、次工程
のプロセス装置が稼動していないことを検知した場合、
前工程の処理を完了した半製品を１回だけ前工程の保管
棚から次工程の保管棚へと搬送し、以降の半製品は前工
程の保管棚に留め置くことを特徴とする。
【００１９】また、本発明における工程間搬送方法は、
プロセス装置が備えられたベイと、各ベイに備えられた
保管棚と、複数の半製品を積載可能な台車と、半製品の
一時退避のための保管棚とを有し、前記台車にて、前工
程のプロセス装置が属するベイの保管棚から、次工程の
プロセス装置が属するベイの保管棚へと半製品を搬送す
る工程間搬送システムにおいて、次工程のプロセス装置
が稼動していない場合または次工程の保管棚が満杯であ
る場合、これを検知して、次工程の保管棚へと搬送する
半製品を前記一時退避のための保管棚に一時退避させる
ことを特徴とする。
【００２０】また、本発明における工程間搬送方法は、
プロセス装置が備えられたベイと、各ベイに備えられた
保管棚と、複数の半製品を積載可能な台車と、半製品の
一時退避のための保管棚とを有し、前記台車にて、前工
程のプロセス装置が属するベイの保管棚から、次工程の
プロセス装置が属するベイの保管棚へと半製品を搬送す
る工程間搬送システムにおいて、次工程の保管棚内の半
製品の数が所定数以上である場合に、次工程の保管棚内
の半製品の数が所定数未満となるまでの時間と、一時退
避のための保管棚を経由する場合と直接次工程の保管棚
へと搬送する場合の搬送時間の差とを比較し、次工程の
保管棚内の半製品の数が所定数未満となるまでの時間の
方が長い場合に、半製品を一時退避のための保管棚へと
搬送することを特徴とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、添
付の図面を参照して説明する。
【００２２】実施の形態１ 本発明の一実施の形態を、図１〜図４を使用して説明す
る。
【００２３】図１に示すように、本実施の形態の工程間
搬送システムは、プロセス装置が配置されたベイＡ〜Ｆ
と、各ベイに備えられたストッカＡ〜Ｆと、これらスト
ッカを巡回するＯＨＳ８とからなる。通常ＯＨＳ８は複
数のＯＨＳ台車８０を備えており、半導体ウエハを収納
したカセットを積載してストッカ間の搬送を行なう。さ
らに工程間搬送システムには、システムの動作を制御す
るためにホストコンピュータが備えられている。
【００２４】図３に示すように、ホストコンピュータ１
００には、ＯＨＳコントローラ１８０、ストッカコント
ローラ１１０およびプロセス装置コントローラ１２０が
接続されている。ＯＨＳコントローラ１８０は、ＯＨＳ
台車８０の走行を制御するために使用される。ストッカ
コントローラ１１０は、各ストッカにそれぞれ設けられ
ており、搬入や搬出といったストッカの動作を制御する
とともに、ストッカに搬入あるいはストッカから搬出さ
れたカセット（半導体ウエハ）の情報をホストコンピュ
ータ１００へと伝達する。プロセス装置コントローラ１
２０は、各プロセス装置にそれぞれ設けられており、プ
ロセス装置の稼動・非稼動や処理の状況を把握し、必要
に応じてホストコンピュータ１００へと伝達する。
【００２５】ホストコンピュータ１００は、これらスト
ッカコントローラおよびプロセス装置コントローラから
の情報により、各カセットの所在および処理の状況を確
認することができる。したがって、各カセットについて
あらかじめ工程フロー（どの処理をどういう順序でおこ
なうのか）をデータベースに記憶しておくことにより、
ホストコンピュータ１００は、つぎにカセットをどのプ
ロセス装置へと搬送すればよいのかを知ることができ、
ＯＨＳコントローラを介してＯＨＳ台車を制御し、カセ
ットを所定のストッカへと搬送することが可能である。
なお、工程フローを、バーコードや磁気カード、表面の
凹凸などによって各カセットに記録しておき、これをス
トッカで読み取ってカセットの次の搬送先をホストコン
ピュータに伝えるようにすることも可能である。
【００２６】つぎに、本実施の形態の工程間搬送システ
ムの動作を、図４のフローチャートを参照しつつ説明す
る。なお、ここでは、半導体ウエハ（カセット）が図２
に示した工程、すなわち、まずプロセス装置１１で処理
され、続いてプロセス装置５３で処理されるものとして
説明を行なう。またこの場合、カセットはストッカＡか
らストッカＥへと搬送されるため、以下の説明では、ス
トッカＡをＦｒｏｍストッカとも呼び、ストッカＥをＴ
ｏストッカとも呼ぶ。
【００２７】まず、プロセス装置１１での処理を完了し
たカセットが、ストッカＡに戻される。ストッカＡのス
トッカコントローラからホストコンピュータ１００へ
と、カセットが戻った旨の情報が伝達される。情報を受
け取ったホストコンピュータ１００は、ステップＳ１０
１にて、次工程のプロセス装置５３が稼動しているか否
かを、プロセス装置コントローラ１２０に問い合わせ
る。なお、プロセス装置コントローラ１２０が、プロセ
ス装置５３の稼動・非稼動についての情報をあらかじめ
伝達し、これをホストコンピュータ１００が記憶してお
くようにしてももちろんよい。
【００２８】プロセス装置５３が稼動していない場合、
このカセットを搬送してもストッカＥ内に滞留するだけ
で意味がない。そこで、このカセットをＦｒｏｍストッ
カ（ストッカＡ）内で待機させておく（ステップＳ１０
２）。
【００２９】一方、プロセス装置５３が稼動している場
合、ホストコンピュータ１００は、プロセス装置５３で
現在実行中の処理作業が、いつ完了するのかを確認する
（ステップＳ１０３）。
【００３０】続いて、ホストコンピュータ１００は、ス
トッカＡからストッカＥまでの搬送所要時間を割り出
し、ステップＳ１０３で確認したプロセス装置５３の処
理完了までの時間と比較する（ステップＳ１０４）。な
お、ストッカＡからストッカＥまでの搬送所要時間に
は、ストッカＡからの搬出とＯＨＳ台車８０への積載、
ストッカＥまでの移動、およびストッカＥでの荷下ろし
とストッカＥへの搬入の時間が含まれる。さらに、ＯＨ
Ｓコントローラ１８０を通じてＯＨＳ台車８０の現在位
置を把握し、ストッカＡまでの所要時間を割り出して、
搬送所要時間に加えてもよい。
【００３１】処理完了までの時間が搬送所要時間よりも
短い場合、ホストコンピュータ１００はこのカセットを
すぐに搬送するように指示を出す（ステップＳ１０
５）。ＯＨＳ台車８０がカセットをストッカＥへと搬送
する。
【００３２】処理完了までの時間が搬送所要時間よりも
長い場合には、ホストコンピュータ１００は、処理完了
までの時間が搬送所要時間に等しくなるまで、このカセ
ットをＦｒｏｍストッカ内で待機させる（ステップＳ１
０６）。
【００３３】この待機期間中に、ベイＡ内のプロセス装
置１１，１２，１３で処理中であったほかのカセット
が、処理を終えてストッカＡに戻される場合がある。こ
のあらたに処理を終えたカセットが、つぎにベイＥ内の
プロセス装置にて処理される予定である場合、ホストコ
ンピュータ１００は、待機中であったカセットとこのあ
らたなカセットとを一括してＴｏストッカ、すなわちス
トッカＥに搬送するよう指示を出す（ステップＳ１０
７）。ＯＨＳ台車８０が、これらのカセットをストッカ
Ｅへと搬送する。
【００３４】なお、ＯＨＳ台車８０が３つ、あるいはそ
れ以上のカセットを積載することができる場合には、さ
らにつぎのカセットが処理を終えるのを待ってもよい。
また、ステップＳ１０６における待機期間中に、つぎの
カセットの処理が終わらなかった場合および処理は終わ
ったが搬送先のストッカが異なる場合には、ＯＨＳ台車
はステップＳ１０７にて、待機中であった１個のカセッ
トをストッカＥへと搬送する。
【００３５】以上述べたように、本実施の形態では、次
工程のプロセス装置の処理完了時間を確認し、これにも
とづいて、前工程での処理を終えたカセットをすぐに搬
送する必要があるかどうか判断している。
【００３６】したがって、カセットが届かないためにプ
ロセス装置に待ち時間が生じるといった事態を生じるこ
となく、カセットをなるべく長くＦｒｏｍストッカ内に
待機させることができ、この待機時間中に集まったカセ
ットを一括して搬送することにより、搬送効率を向上さ
せることができる。
【００３７】ところで、すでに述べたように、ＯＨＳ８
は通常、複数のＯＨＳ台車８０を備えている。そこで、
ホストコンピュータはこれら複数のＯＨＳ台車８０のな
かから、最寄りのＯＨＳ台車をＦｒｏｍストッカへと向
かわせる、すなわち最も短時間でＦｒｏｍストッカへ到
達できるＯＨＳ台車を搬送に使用する。そして、最寄り
のＯＨＳ台車が予約済み、つまりカセットを積載してＴ
ｏストッカへと向かっている、あるいはカセットを受け
取るために他のＦｒｏｍストッカへと向かっている場合
には、つぎに近いＯＨＳ台車を搬送に使用する。
【００３８】また、ＯＨＳ８が内回りと外回りなどの２
系統の走行レールを有している場合や、走行レールに分
岐や合流などが設けられている場合など、Ｆｒｏｍスト
ッカからＴｏストッカまでの経路が複数ある場合もあ
る。このような場合には、Ｆｒｏｍストッカ経由Ｔｏス
トッカまでの経路が最短となるようなＯＨＳ台車を選択
し、搬送に使用すればよい。
【００３９】実施の形態２ 前工程での処理を終えたカセットを次工程へと搬送しよ
うとしたときに、次工程のストッカが満杯で搬送が不可
能な場合が考えられる。そこで本実施の形態では、この
ようなカセットを一時的に保管するために、一時退避ス
トッカを設けたことを特徴とする。
【００４０】本実施の形態の工程間搬送システムを、図
５および６を使用して説明する。
【００４１】図５に示すように、本実施の形態の工程間
搬送システムは、各ベイＡ〜ＦのストッカＡ〜Ｆのほか
に、さらに一時退避ストッカ７０を備えている。
【００４２】本実施の形態の工程間搬送システムにおけ
る工程間搬送を、図６を使用して説明する。
【００４３】プロセス装置１１にて処理されるべきカセ
ット（半導体ウエハ）が、ＯＨＳ台車８０に載せられて
ベイＡへと運ばれ、ベイＡのストッカＡに収容される
（図６の矢印１０１）。ベイＡ内には、工程内搬送シス
テムが備えられており、このカセットをストッカＡから
取り出し、プロセス装置１１へと供給する（図６の矢印
１０２）。プロセス装置１１での処理が完了すると、工
程内搬送システムは処理済みのカセットをストッカＡに
戻す（図６の矢印１０３）。
【００４４】続いて、プロセス装置５３での処理のた
め、ＯＨＳ８が処理済みのカセットをベイＥへと搬送し
ようとする（図６の矢印１０４）。このとき、何らかの
原因でベイＥのストッカＥが満杯である場合、ＯＨＳ８
はカセットを一時退避ストッカ７０へと一時退避させる
（図６の矢印１０４ａ）。そののち、ストッカＥ内のカ
セット数が減少し満杯でなくなると、ＯＨＳ８は一時退
避ストッカ７０へと退避させていたカセットを、ストッ
カＥへと搬送する（図６の矢印１０４ｂ）。
【００４５】ベイＥの工程内搬送システムが、このカセ
ットをストッカＥから取り出して、プロセス装置５３へ
と供給する（図６の矢印１０５）。プロセス装置５３で
の処理が完了すると、工程内搬送システムは処理済みの
カセットをストッカＥに戻す（図６の矢印１０６）。
【００４６】ＯＨＳ８はこの処理済みのカセットをスト
ッカＥから搬出し、次工程のストッカＢへと搬送する
（図６の矢印１０７）。以後同様にして、カセット（半
導体ウエハ）の搬送とプロセス装置での処理とが繰り返
され、半導体製品の製造が進められる。
【００４７】以上述べたように本実施の形態では、カセ
ットを一時退避させるためのストッカを設け、次工程の
ストッカが満杯である場合には、この一時退避用のスト
ッカにカセットを搬送するようにした。したがって、Ｏ
ＨＳ台車８０上に荷下ろしのできないカセットが残るこ
とがなく、ＯＨＳ台車を有効に活用して搬送効率を高め
ることが可能である。また、次工程への搬送待ちのカセ
ットが前工程に滞留することがなく、前工程のストッカ
における搬入・搬出の作業を妨げることもない。
【００４８】なお、あるベイのストッカが満杯になり、
このベイ内のプロセス装置で処理を終えたカセットをス
トッカに戻すことができなくなった場合、つぎのカセッ
トをプロセス装置に供給することができなくなるため、
一切の処理ができなくなり致命的な状態となる。そこ
で、図７に示すように、各ストッカを搬出用エリア１０
ａおよび共用エリア１０ｂに分け、搬出用エリア１０ａ
をベイ内のプロセス装置から戻ってくるカセットのため
に確保しておく。一方、共用エリア１０ｂには、前工程
から送られてきた処理待ちのカセット、およびプロセス
装置から戻った処理済みのカセットの両者を入れておく
ことが可能である。なお、図７では処理済みのカセット
をハッチングにて示した。このような、搬出用エリアと
共用エリアとを有するストッカの場合においては、共用
エリアが満杯であるか否かによって、カセットを一時退
避ストッカに搬送するかどうかを決定すればよい。
【００４９】また、本実施の形態では、専用の一時退避
ストッカ７０を設けた例を説明したが、各ベイＡ〜Ｆの
ストッカのうちの１つ、あるいはいくつかを一時退避ス
トッカとして兼用するようにしてもよい。この場合、兼
用するストッカを前もって決めておき、このストッカ内
の共用エリアの一部分を、一時退避のためのスペースと
して確保しておくようにするとよい。また、各時刻、す
なわち一時退避ストッカへの搬送を行なう時点で、空き
の多いストッカを割り出し、このストッカ内の空きスペ
ースを一時退避ストッカとして利用するようにしてもよ
い。
【００５０】さらに、次工程たとえばベイＥのプロセス
装置５１，５２，５３，５４が異なる処理を行なう場合
も考えられる。このような場合、プロセス装置５１，５
２，５４で処理されるべきカセットによってストッカＥ
が満杯になっていると、プロセス装置５３で処理される
べきカセットを搬入することができず、プロセス装置５
３に待ち時間が生じることになる。そこで、のような状
態を生じさせないために、次工程のストッカに常にある
程度の空きを残しておくことが考えられる。このような
場合には、次工程、すなわちストッカＥ内のカセット数
にある上限値を設けておき、この上限値にを基準にして
満杯か否かを判断するようにすればよい。
【００５１】また、以上の説明では、次工程のストッカ
が満杯になっている場合に、カセットを一時退避ストッ
カへと搬送するようにしているが、次工程のプロセス装
置が稼動していない場合に、カセットを一時退避ストッ
カへと搬送するようにしてもよい。非稼動のプロセス装
置にて処理されるべきカセットがストッカに滞留し、他
のプロセス装置にて処理されるべきカセットの搬入を妨
げることがなくなる。
【００５２】実施の形態３ いずれかのプロセス装置が故障やメンテナンスのために
長時間稼動を停止した場合、このプロセス装置で処理さ
れるべきカセット（半導体ウエハ）がＴｏストッカやＦ
ｒｏｍストッカに大量に滞留し、ほかのカセットの搬送
を妨げるおそれがある。そこで本実施の形態では、この
ようなカセットを一時的に保管するために、一時退避ス
トッカを設けたことを特徴とする。
【００５３】本実施の形態の工程間搬送システムを、図
５および図８を使用して説明する。
【００５４】図５に示すように、本実施の形態の工程間
搬送システムは、各ベイＡ〜ＦのストッカＡ〜Ｆのほか
に、さらに一時退避ストッカ７０を備えている。
【００５５】つぎに、本実施の形態の工程間搬送システ
ムの動作を、図８のフローチャートを参照しつつ説明す
る。なお、ここでも、前記実施の形態１，２と同様、半
導体ウエハ（カセット）が、まずプロセス装置１１で処
理され、続いてプロセス装置５３で処理されるものとし
て説明を行なう。
【００５６】プロセス装置１１での処理を終えたカセッ
トがストッカＡに戻されると、ストッカＡのストッカコ
ントローラからホストコンピュータ１００へと、カセッ
トが戻った旨の情報が伝達される。情報を受け取ったホ
ストコンピュータ１００は、次工程のプロセス装置５３
が稼動しているか否かを、プロセス装置コントローラに
問い合わせる（ステップＳ２０１）。
【００５７】プロセス装置５３が稼動している場合、こ
のカセットをＴｏストッカ（ストッカＥ）へと搬送する
（ステップＳ２０２）。ホストコンピュータ１００がＯ
ＨＳ台車８０を制御して、カセットをストッカＥへと搬
送する。このとき前記実施の形態１（図５）のステップ
Ｓ１０３以降を実施して、すぐに搬送するのか、Ｆｒｏ
ｍストッカ内にしばらく待機させるのかを判断するとよ
い。
【００５８】一方、プロセス装置５３が稼動していない
場合、このカセットをストッカＥへと搬送しても意味が
ない。また、プロセス装置５３と同じベイＥ内では、別
のプロセス装置５１，５２，５４が稼動している。した
がって、プロセス装置５３で処理されるべきカセットが
ストッカＥへと搬送され、そこで滞留した場合、プロセ
ス装置５１，５２，５４で処理されるべきカセットの搬
入を妨げてしまうおそれがある。そこで、このカセット
をＦｒｏｍストッカ（ストッカＡ）内で待機させておく
ことにする。
【００５９】しかし、ストッカの収容能力には限りがあ
り、さらに、前工程から送られてくるカセットおよびプ
ロセス装置１１，１２，１３での処理を終え戻ってくる
カセットのために、一定数の空きを確保しておかなけれ
ばならない。そこで、ホストコンピュータ１００はＦｒ
ｏｍストッカ内のカセット数の計測を行ない（ステップ
Ｓ２０３）、あらかじめ定めた所定数との比較を行なう
（ステップＳ２０４）。
【００６０】Ｆｒｏｍストッカ内のカセット数がこの所
定数を下回っている場合、ホストコンピュータ１００
は、ＴｏストッカであるストッカＥにカセットがあるか
どうかを確認する（ステップＳ２０５）。
【００６１】Ｔｏストッカにカセットがない場合、ホス
トコンピュータ１００は、カセットを１個、Ｔｏストッ
カへと搬送するよう指示を出す（ステップＳ２０６）。
ＯＨＳ台車がカセットをストッカＥに搬送し、プロセス
装置５３の稼動再開に備える。なお、このときＯＨＳ台
車の最大積載量分のカセット（たとえば２個）をＴｏス
トッカに搬送するようにして、搬送効率を高めてもよ
い。
【００６２】一方、Ｔｏストッカにカセットがある場
合、これ以上カセットを送り込む必要はない。したがっ
て、ホストコンピュータ１００は搬送の指示を出さず、
カセットをＦｒｏｍストッカ内に待機させておく（ステ
ップＳ２０７）。
【００６３】プロセス装置１１にて次のカセットの処理
が終わると、このカセットについても同様にステップＳ
２０１からの手順が実行される。このとき、まだプロセ
ス装置５３が稼動を開始していないとすれば、このカセ
ットもＦｒｏｍストッカ内で待機することになる（ステ
ップＳ２０７）。このようにして、徐々にＦｒｏｍスト
ッカ内のカセットの数が増加する。その結果、ステップ
Ｓ２０４にて、Ｆｒｏｍストッカ内のカセット数が所定
数を越えたと判断された場合、ホストコンピュータ１０
０は、１カセットあるいはＯＨＳ台車１台分のカセット
を、一時退避ストッカ７０へと搬送するよう指示を出す
（ステップＳ２０８）。
【００６４】そののち、プロセス装置５３が稼動を開始
すると、この一時退避ストッカからＴｏストッカである
ストッカＥへとカセットが搬送される。
【００６５】以上述べたように本実施の形態では、次工
程のプロセス装置が稼動していない場合には、１カセッ
トのみを次工程のストッカに搬送し、残りのカセットは
前工程のストッカにて待機させる。そして前工程のスト
ッカ内のカセットが所定数を越えた場合に、このカセッ
トを一時退避ストッカへと搬送する。
【００６６】したがって、プロセス装置の稼動待ちのカ
セットで次工程のストッカが満杯になることがなく、同
じストッカを利用するほかのプロセス装置へのカセット
の供給が妨げられることがない。また、少なくとも１カ
セットを次工程のストッカへと搬送しておくため、プロ
セス装置の稼動開始後すみやかにカセットを供給し、処
理を開始することが可能である。さらに、一時退避スト
ッカを利用することにより、前工程のストッカが満杯に
なることがなく、他工程からのカセットの搬入や、プロ
セス処理を終えたカセットの搬出に支障をきたすことが
ない。また、一時退避ストッカの利用は、前工程のスト
ッカのカセットが所定数をこえた場合に限られるため、
前工程のストッカから次工程のストッカへの直接搬送を
極力多くして、搬送効率の向上をはかることができる。
【００６７】なお、本実施の形態では、専用の一時退避
ストッカ７０を設けた例を説明したが、各ベイのストッ
カ１０，２０，３０，４０，５０，６０のうちの１つ、
あるいはいくつかを一時退避ストッカとして兼用するよ
うにしてもよい。この場合、兼用するストッカを前もっ
て決めておき、このストッカ内のスペースの一部分を、
一時退避のためのスペースとして確保しておくようにす
るとよい。また、各時刻、すなわち一時退避ストッカへ
の搬送を指示する時点で、空きの多いストッカを割り出
し、このストッカ内の空きスペースを一時退避ストッカ
として利用するようにしてもよい。
【００６８】また、上述のステップＳ２０５において
は、ＴｏストッカであるストッカＥにカセットがあるか
どうかだけを確認し、ストッカＥ内のカセットがどのプ
ロセス装置で処理されるものなのかについては確認を行
なっていない。しかし、ステップＳ２０５にて、ストッ
カＥ内のカセットについて、そのカセットがどのプロセ
ス装置で処理されるものなのかを確認し、たとえばプロ
セス装置５３にて処理されるべきカセットがストッカＥ
内にない場合には、ほかのカセットの有無にかかわら
ず、Ｆｒｏｍストッカからカセットを搬送するようにし
てもよい。すべてのプロセス装置について、最低１個の
カセットが確保されることになり、プロセス装置の稼動
開始後すみやかにカセットを供給し、処理を開始するこ
とが可能である。
【００６９】実施の形態４ 前工程での処理を終えたカセットを次工程へと搬送しよ
うとしたときに、次工程のストッカが満杯で搬送が不可
能な場合が考えられる。そこで本実施の形態は、次工程
のストッカの空き状況、および空きができるまでの時間
を勘案して、搬送を行なうことを特徴とする。
【００７０】本実施の形態の工程間搬送システムを、図
５および図９を使用して説明する。
【００７１】図５に示すように、本実施の形態の工程間
搬送システムは、各ベイＡ〜ＦのストッカＡ〜Ｆのほか
に、さらに一時退避ストッカ７０を備えている。
【００７２】つぎに、本実施の形態の工程間搬送システ
ムの動作を、図９のフローチャートを参照しつつ説明す
る。なお、ここでも、前記実施の形態１，２，３と同
様、半導体ウエハ（カセット）が、まずプロセス装置１
１で処理され、続いてプロセス装置５３で処理されるも
のとして説明を行なう。
【００７３】プロセス装置１１での処理を終えたカセッ
トがストッカＡに戻されると、ストッカＡのストッカコ
ントローラからホストコンピュータ１００へと、カセッ
トが戻った旨の情報が伝達される。情報を受け取ったホ
ストコンピュータ１００は、次工程のプロセス装置５３
が稼動しているか否かを、プロセス装置コントローラに
問い合わせる（ステップＳ３０１）。
【００７４】プロセス装置５３が稼動していない場合、
このカセットをストッカＥへと搬送しても意味がない。
そこで、このカセットをＦｒｏｍストッカ（ストッカ
Ａ）内で待機させておくことにする（ステップＳ３０
２）。なお、すでに述べたようにストッカの収容能力に
は限りがあるので、前記実施の形態２（図７）のステッ
プＳ２０３以降にしたがって、このカセットを一時退避
ストッカに搬送するのか、Ｆｒｏｍストッカに残すのか
を判断するとよい。
【００７５】一方、プロセス装置５３が稼動している場
合、ホストコンピュータ１００は、Ｔｏストッカである
ストッカＥに、空きがあるかどうかを確認する（ステッ
プＳ３０３）。
【００７６】Ｔｏストッカに空きがある場合、ホストコ
ンピュータ１００は、このカセットをＴｏストッカへと
搬送するよう指示する（ステップＳ３０４）。
【００７７】Ｔｏストッカに空きがない場合、ホストコ
ンピュータ１００は、Ｔｏストッカに空きができるまで
の時間を割り出し、これを所定の時間と比較する（ステ
ップＳ３０５）。ここで所定の時間とは、一時退避スト
ッカ経由の搬送時間と、直接搬送を行なった場合の搬送
時間の差であり、すなわち［（Ｆｒｏｍストッカから一
時退避ストッカまでの搬送時間）＋（一時退避ストッカ
からＴｏストッカまでの搬送時間）−（Ｆｒｏｍストッ
カからＴｏストッカまでの搬送時間）］である。
【００７８】比較の結果、Ｔｏストッカに空きができる
までの時間の方が長い場合、ホストコンピュータ１００
は、このカセットをＴｏストッカへと搬送するよう指示
する（ステップＳ３０６）。ホストコンピュータ１００
がＯＨＳ台車８０を制御して、カセットを一時退避スト
ッカへと搬送する。
【００７９】一方、比較の結果、Ｔｏストッカに空きが
できるまでの時間の方が短い場合、ホストコンピュータ
１００は搬送の指示を出さず、カセットをＦｒｏｍスト
ッカ内に待機させておく（ステップＳ３０７）。
【００８０】そののち、ホストコンピュータ１００は、
ストッカコントローラからの情報あるいはストッカコン
トローラへの照会によって、Ｔｏストッカに空きができ
たかどうかを確認し（ステップＳ３０８）、空きができ
た場合に、カセットをＴｏストッカへと搬送するよう指
示を出す（ステップＳ３０９）。
【００８１】以上述べたように、本実施の形態では、Ｔ
ｏストッカに空きができるまでの時間を確認したうえ
で、カセットを一時退避ストッカに搬送するのか、Ｆｒ
ｏｍストッカで待機させるのかを決めている。このた
め、カセットを一時退避ストッカへと送り出した直後に
Ｔｏストッカに空きが生じるといった事態を回避するこ
とができ、最短の時間でＴｏストッカにカセットを搬送
することが可能となる。したがって、搬送時間の短縮に
よって半導体製品の製造に要する時間を短縮することが
でき、また搬送効率を向上させることが可能である。
【００８２】なお、ＯＨＳ台車８０が複数（たとえば２
個）のカセットを積載可能である場合には、Ｔｏストッ
カに２カセット分の空きがあるかどうか、また２カセッ
ト分の空きができるまでの時間はどれくらいかによっ
て、カセットをＴｏストッカに搬送するのか、一時退避
ストッカに搬送するのか、あるいはＦｒｏｍストッカで
待機させるのかを決めてもよい。ＯＨＳ台車の積載能力
を使い切ることが可能になり、搬送効率をさらに向上さ
せることが可能になる。
【００８３】また、Ｔｏストッカに常にある程度の空き
を残しておきたい場合も考えられる。このような場合に
は、Ｔｏストッカ内のカセット数にある上限値を設けて
おき、この上限値に対して空きがあるのか、空きができ
るまでの時間はどれくらいかを判断すればよい。
【００８４】以上の実施の形態１〜４では、主としてＯ
ＨＳ台車が分岐や合流のない環状の走行レール上を走行
する例を説明したが、走行レールに分岐や合流を設けた
場合や複数の走行レールが並行して設けられている場合
にも、本発明の工程間搬送システムおよび工程間搬送方
法が適用可能である。また、カセットをストッカＡから
ストッカＥへと搬送する例を説明したが、他のストッカ
間の搬送についても本発明の工程間搬送システムおよび
工程間搬送方法が適用可能であることはいうまでもな
い。
【００８５】
【発明の効果】本発明によれば、カセットが届かないた
めにプロセス装置に待ち時間が生じるといった事態を生
じることなく、カセットをなるべく長く前工程のストッ
カ内に待機させることができ、この待機時間中に集まっ
たカセットを一括して搬送することにより、搬送効率を
向上させることができる。
【００８６】また、本発明によれば、次工程への搬送待
ちのカセットがＯＨＳ台車上や前工程に滞留することが
なく、ＯＨＳ台車を有効に活用して搬送効率を高めるこ
とができるとともに、前工程のストッカにおける搬入・
搬出の作業を妨げることもない。
【００８７】さらに、本発明によれば、プロセス装置の
稼動待ちのカセットで次工程のストッカが満杯になるこ
とがなく、同じストッカを利用するほかのプロセス装置
へのカセットの供給が妨げられることがない。また、次
工程のストッカに常に１カセットが確保されているた
め、プロセス装置の稼動開始後すみやかにカセットを供
給しすることが可能である。さらに、一時退避ストッカ
経由の冗長な経路を極力利用しないようにして、搬送効
率の向上をはかることができる。
【００８８】さらに、本発明によれば、前工程のストッ
カから次工程のストッカへの直接の搬送と一時退避スト
ッカを経由する搬送とから、最適な搬送経路を選択する
ことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 工程間搬送システムを説明するための図であ
る。
【図２】 工程間搬送を説明するための図である。
【図３】 本発明の工程間搬送システムにおいて、ホス
トコンピュータと各種コントローラの関係を説明する図
である。
【図４】 本発明の一実施の形態における工程間搬送方
法を説明するフローチャートである。
【図５】 本発明の工程間搬送システムを説明するため
の図である。
【図６】 本発明の一実施の形態における工程間搬送方
法を説明する図である。
【図７】 ストッカの構成を説明する図である。
【図８】 本発明の一実施の形態における工程間搬送方
法を説明するフローチャートである。
【図９】 本発明の一実施の形態における工程間搬送方
法を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
１，２，３，４，５，６ ベイ、１０，２０，３０，４
０，５０，６０ ストッカ、７０ 一時退避ストッカ、
１１〜１３，２１〜２３，３１〜３３，４１〜４４，５
１〜５４，６１〜６３ プロセス装置、８ ＯＨＳ、８
０ ＯＨＳ台車、１００ ホストコンピュータ、１１０
ストッカコントローラ、１２０ プロセス装置コント
ローラ、１８０ ＯＨＳコントローラ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大塚 浩文 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 尾形 良二 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 矢鳴 太一 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 Ｆターム(参考） 3F022 AA08 BB09 EE05 HH00 LL12 MM05 MM07 MM11 MM51 NN51 NN55 5F031 CA02 DA17 GA58 NA02 PA02

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 プロセス装置が備えられたベイと、各ベ
    イに備えられた保管棚と、これら保管棚を巡回し保管棚
    から保管棚へと半製品を搬送する台車とを有する工程間
    搬送システムであって、プロセス装置の稼動状況および
    保管棚内の半製品の数にもとづいて搬送時期を決定する
    工程間搬送システム。
  2. 【請求項２】 プロセス装置が備えられたベイと、各ベ
    イに備えられた保管棚と、これら保管棚を巡回し保管棚
    から保管棚へと半製品を搬送する台車とを有する工程間
    搬送システムであって、さらに半製品の一時退避用保管
    棚を有する工程間搬送システム。
  3. 【請求項３】 プロセス装置が備えられたベイと、各ベ
    イに備えられた保管棚と、複数の半製品を積載可能な台
    車とを有し、該台車にて、前工程のプロセス装置が属す
    るベイの保管棚から、次工程のプロセス装置が属するベ
    イの保管棚へと半製品を搬送する工程間搬送システムに
    おいて、次工程のプロセス装置の処理終了までの時間と
    保管棚間の搬送時間を比較し、前記処理終了までの時間
    が保管棚間の搬送時間に等しくなるまで、該台車による
    搬送を待ち合わせ、該待ち合わせ期間に前工程での処理
    を終えて前工程の保管棚に集まった半製品を、一括して
    次工程の保管棚へと搬送する工程間搬送方法。
  4. 【請求項４】 プロセス装置が備えられたベイと、各ベ
    イに備えられた保管棚と、複数の半製品を積載可能な台
    車とを有し、該台車にて、前工程のプロセス装置が属す
    るベイの保管棚から、次工程のプロセス装置が属するベ
    イの保管棚へと半製品を搬送する工程間搬送システムに
    おいて、次工程のプロセス装置が稼動していないことを
    検知した場合、前工程の処理を終えた半製品を１回だけ
    前工程の保管棚から次工程の保管棚へと搬送し、以降の
    半製品は前工程の保管棚に留め置く工程間搬送方法。
  5. 【請求項５】 プロセス装置が備えられたベイと、各ベ
    イに備えられた保管棚と、複数の半製品を積載可能な台
    車と、半製品の一時退避のための保管棚とを有し、前記
    台車にて、前工程のプロセス装置が属するベイの保管棚
    から、次工程のプロセス装置が属するベイの保管棚へと
    半製品を搬送する工程間搬送システムにおいて、次工程
    のプロセス装置が稼動していない場合または次工程の保
    管棚が満杯である場合、それを検知し、次工程の保管棚
    へと搬送する半製品を、前記一時退避のための保管棚に
    一時退避させる工程間搬送方法。
  6. 【請求項６】 プロセス装置が備えられたベイと、各ベ
    イに備えられた保管棚と、複数の半製品を積載可能な台
    車と、半製品の一時退避のための保管棚とを有し、前記
    台車にて、前工程のプロセス装置が属するベイの保管棚
    から、次工程のプロセス装置が属するベイの保管棚へと
    半製品を搬送する工程間搬送システムにおいて、次工程
    の保管棚内の半製品の数が所定数以上である場合に、次
    工程の保管棚内の半製品の数が所定数未満となるまでの
    時間と、一時退避のための保管棚を経由する場合と直接
    次工程の保管棚へと搬送する場合の搬送時間の差とを比
    較し、次工程の保管棚内の半製品の数が所定数未満とな
    るまでの時間の方が長い場合に、半製品を一時退避のた
    めの保管棚へと搬送する工程間搬送方法。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006298562A (ja) * 2005-04-20 2006-11-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 搬送システムの制御方法および搬送システム
JP2006310330A (ja) * 2004-02-28 2006-11-09 Applied Materials Inc 電子デバイス製造設備内において、基板キャリアを搬送するための方法及び装置
JP2007161353A (ja) * 2005-12-09 2007-06-28 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP2012009584A (ja) * 2010-06-24 2012-01-12 Denso Corp 搬送システムおよびその制御方法
JP2012231117A (ja) * 2011-04-11 2012-11-22 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置、基板処理装置制御プログラム、及び半導体装置の製造方法
JP2013105844A (ja) * 2011-11-11 2013-05-30 Denso Corp 搬送システムおよびその制御方法
JP2018093131A (ja) * 2016-12-07 2018-06-14 株式会社デンソー 搬送システム
JP2021176161A (ja) * 2020-05-01 2021-11-04 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 搬送方法および搬送管理装置

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI256372B (en) * 2001-12-27 2006-06-11 Tokyo Electron Ltd Carrier system of polishing processing body and conveying method of polishing processing body
US7778721B2 (en) 2003-01-27 2010-08-17 Applied Materials, Inc. Small lot size lithography bays
US7221993B2 (en) * 2003-01-27 2007-05-22 Applied Materials, Inc. Systems and methods for transferring small lot size substrate carriers between processing tools
US6931303B2 (en) * 2003-10-02 2005-08-16 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Integrated transport system
US7076326B2 (en) * 2003-10-06 2006-07-11 Intel Corporation Proactive staging for distributed material handling
US7218983B2 (en) 2003-11-06 2007-05-15 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities
US7720557B2 (en) * 2003-11-06 2010-05-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
US20050209721A1 (en) * 2003-11-06 2005-09-22 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
US7099739B2 (en) * 2003-12-09 2006-08-29 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Stocker utilization self-balancing system and method
JP4490124B2 (ja) * 2004-01-23 2010-06-23 セイコーエプソン株式会社 搬送状況提示システムおよび方法、プログラム並びに情報記憶媒体
US7274971B2 (en) 2004-02-28 2007-09-25 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for electronic device manufacturing system monitoring and control
US7177716B2 (en) * 2004-02-28 2007-02-13 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for material control system interface
US20060224272A1 (en) * 2005-03-31 2006-10-05 Bo Li Method for managing the storage of semiconductor material
US20070059144A1 (en) * 2005-09-14 2007-03-15 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for a transfer station
US7637708B2 (en) * 2006-01-09 2009-12-29 Sumco Corporation Production system for wafer
WO2007107983A2 (en) * 2006-03-17 2007-09-27 Shlomo Shmuelov Storage and purge system for semiconductor wafers
WO2008075404A1 (ja) * 2006-12-19 2008-06-26 Systemv Management Inc., 半導体製造システム
US7684888B2 (en) * 2007-05-08 2010-03-23 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Extendable MES for Cross-AMHS Transportation
JP2009087138A (ja) * 2007-10-01 2009-04-23 Elpida Memory Inc 搬送システム、搬送車管理装置、および搬送制御方法
US20110073534A1 (en) * 2009-09-28 2011-03-31 Niels Linge Sorting Installation and Method for Sorting Articles
ATE543759T1 (de) * 2009-11-27 2012-02-15 Psb Intralogistics Gmbh Kommissioniereinrichtung und verfahren zum kommissionieren
JP5748452B2 (ja) * 2010-11-15 2015-07-15 キヤノン株式会社 部品組立システム
CN110967502B (zh) * 2018-09-30 2024-08-13 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 进样调度方法、装置、分析检测系统和存储介质

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5024570A (en) * 1988-09-14 1991-06-18 Fujitsu Limited Continuous semiconductor substrate processing system
JPH08339497A (ja) 1995-06-09 1996-12-24 Nippon Steel Corp 車両の運行管理方法
TW369463B (en) * 1996-03-18 1999-09-11 Rorze Corp Control device for workpiece transportation system
JPH1094947A (ja) 1996-09-25 1998-04-14 Calsonic Corp 工場物流システム
JP3055522B2 (ja) 1998-03-19 2000-06-26 日本電気株式会社 無人搬送車異常処理制御方法
US6035245A (en) * 1998-03-24 2000-03-07 Advanced Micro Devices, Inc. Automated material handling system method and arrangement
US6417014B1 (en) * 1999-10-19 2002-07-09 Advanced Micro Devices, Inc. Method and apparatus for reducing wafer to wafer deposition variation

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011119749A (ja) * 2004-02-28 2011-06-16 Applied Materials Inc 電子デバイス製造設備内において、基板キャリアを搬送するための方法及び装置
JP2006310330A (ja) * 2004-02-28 2006-11-09 Applied Materials Inc 電子デバイス製造設備内において、基板キャリアを搬送するための方法及び装置
US8024065B2 (en) 2004-02-28 2011-09-20 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for transferring a substrate carrier within an electronic device manufacturing facility
JP2006298562A (ja) * 2005-04-20 2006-11-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 搬送システムの制御方法および搬送システム
JP4702930B2 (ja) * 2005-04-20 2011-06-15 パナソニック株式会社 搬送システムの制御方法および搬送システム
JP4513019B2 (ja) * 2005-12-09 2010-07-28 村田機械株式会社 搬送システム
JP2007161353A (ja) * 2005-12-09 2007-06-28 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP2012009584A (ja) * 2010-06-24 2012-01-12 Denso Corp 搬送システムおよびその制御方法
JP2012231117A (ja) * 2011-04-11 2012-11-22 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置、基板処理装置制御プログラム、及び半導体装置の製造方法
JP2013105844A (ja) * 2011-11-11 2013-05-30 Denso Corp 搬送システムおよびその制御方法
TWI476813B (zh) * 2011-11-11 2015-03-11 Denso Corp 轉送系統及其控制方法
JP2018093131A (ja) * 2016-12-07 2018-06-14 株式会社デンソー 搬送システム
JP2021176161A (ja) * 2020-05-01 2021-11-04 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 搬送方法および搬送管理装置
JP7417841B2 (ja) 2020-05-01 2024-01-19 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 搬送方法および搬送管理装置

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