TWI476813B - 轉送系統及其控制方法 - Google Patents

Description

轉送系統及其控制方法

本揭示係相關於被組構成轉送容納處理物體的匣之轉送系統以及轉送系統的控制方法。

已知諸如半導體裝置的生產工廠等生產工廠中所使用的轉送系統。例如，轉送系統包括用以處理諸如半導體晶圓等物體的處理設備。轉送系統控制轉送物體(下文中稱作處理物體)到處理設備，使得在處理設備中對處理物體連續執行處理步驟。

在此種轉送系統中，處理物體通常容納在匣中以防止處理物體被污染。由載具將匣運送到處理設備及從處理設備收集。載具的每一個被指派有預定轉送命令。根據預定轉送命令，載具將匣從一位置轉送到另一位置。

此種轉送系統另包括臨時儲存匣之儲存體。當匣接著將被轉送以進行隨後處理步驟之隨後處理設備正在處理另一匣的處理物體時，匣一度被儲存在儲存體中。當隨後處理設備完成處理時，從隨後處理設備收集被處理的匣，及已儲存在儲存體中之匣被轉送到隨後處理設備以進行隨後處理步驟。

近年來，需要此種轉送系統縮短引導時間。例如，JP 2002-110766 A說明不管載具是否可用於轉送匣都指派轉送命令給載具。作為另一例子，IP 2009-135275 A說明指 派轉送命令給載具，使得在處理設備的處理完成時載具到達處理設備。

然而，在所說明的轉送系統中，關心到下面問題。例如，在一般半導體裝置的生產工廠中，只使用幾個或幾十個載具，反之卻具有幾百個處理設備。因此，事實上難以以上述方式轉送與所有處理設備有關的載具。

再者，通常為處理設備執行週期性檢測及維修。例如，當處理設備具有週期性檢測或維修時，容納欲待由此處理設備處理的處理物體之大量的匣可能被累積在儲存體中。在所說明的轉送系統中，在以對所有處理設備類似的方式完成處理時將載具轉送到處理設備。因此，在週期性檢測或維修之後，具有載具無法被運送到處理設備的可能性。在此種事例中，累積在儲存體中的匣數目增加，及尚未被進行週期性檢測或維修之處理設備處理的匣無法被轉送到儲存體。即、在所說明的轉送系統中，當處理設備進行週期性檢測或維修時，轉送平衡可能劣化，導致作業比減少而引導時間增加。

本揭示的目的在於設置能夠提高作業比及能夠降低引導時間之轉送系統以及轉送系統的控制方法。

根據本揭示的態樣，轉送系統包括處理設備、載具、儲存體、儲存體控制區、特定設備決定區、轉送命令產生區、轉送命令改變區、及載具控制區。處理設備係配置在 複數個區域中，及處理設備的每一個對容納在匣中之處理物體執行預定處理。根據指派至此的轉送命令，載具的每一個將匣從一位置轉送到另一位置。一位置被稱作先前位置，而另一位置被稱作隨後位置。儲存體在處理設備處理之前儲存匣。儲存體控制區為處理設備的每一個產生儲存體資料，其指示儲存在儲存體中欲待轉送到處理設備之匣的總數。特定設備決定區為處理設備的每一個比較欲待轉送到處理設備之匣的總數與預定臨界值。當欲待轉送到處理設備之匣的總數等於或大於預定臨界值時，特定設備決定區指定處理設備作為特定設備，以及產生指示處理設備作為特定設備之特定設備資料。轉送命令產生區產生各個具有所儲存的先前位置及隨後位置之轉送命令。轉送命令改變區增加轉送命令之優先位準，在此轉送命令中，先前位置及隨後位置的其中之一指示特定設備。載具控制區選擇具有最高優先之轉送命令作為高優先轉送命令，及指派高優先轉送命令給複數個載具中的一載具。當在高優先先前區內可存取未具有指派至此的轉送命令之可用載具時，載具控制區指派高優先轉送命令給可用載具，高優先先前區為高優先轉送命令的先前位置所屬之複數個區域中的區域。當在高優先先前區內無法存取可用載具時，當藉由轉送命令改變區增加最高優先轉送命令的優先位準時，及當在高優先先前區內可存取具有指派至此的轉送命令且正在轉送卻未運送匣之另一載具時，載具控制區指派高優先轉送命令給另一載具。

在上述轉送系統中，將匣有效率地轉送到特定設備。因此，不太可能進一步影響轉送平衡。再者，可提高轉送平衡。因此，作業比提高，及引導時間降低。

根據本揭示的態樣，此種轉送系統的控制方法包括：為處理設備的每一個產生儲存體資料，其指示儲存在儲存體中欲待轉送到處理設備之匣的總數；為處理設備的每一個比較欲待轉送到處理設備之匣的總數與預定臨界值；產生特定設備資料，其指示具有欲待轉送之匣的總數等於或大於預定臨界值之處理設備作為特定設備；產生轉送命令，其各個具有所儲存的先前位置及隨後位置；增加轉送命令的優先位準，在此轉送命令中，先前位置及隨後位置的其中之一指示特定設備；選擇具有最高優先之轉送命令作為高優先轉送命令；以及指派高優先轉送命令給複數個載具中的一載具。在指派中，當在高優先先前區內可存取未具有指派至此的轉送命令之可用載具時，將高優先轉送命令指派給可用載具，高優先先前區為高優先轉送命令的先前位置所屬之複數個區域中的區域。另外，當無法存取可用載具時，當藉由增加而增加最高優先轉送命令的優先位準時，及當在高優先先前區內可存取具有指派至此的轉送命令且正在轉送卻未運送匣之另一載具時，將高優先轉送命令指派給另一載具。

因此，作業比提高，及引導時間降低。

將參考圖式說明本揭示的實施例。圖1為根據實施例之轉送系統的佈局圖。將根據實施例之轉送系統例示化用來在諸如半導體裝置的生產工廠等生產工廠中轉送容納在匣中之處理物體。

參考圖1及2，轉送系統包括多處理設備10(如、10a-10t)、儲存體11(如、11a-11f)、載具20(如、20a-20f)、主控制器40、及轉送控制器50。儲存體11儲存容納處理物體的匣。載具20運送匣。載具20轉送匣進出處理設備10及儲存體11。換言之，載具20的每一個將匣從一位置轉送到另一位置。在本揭示中，一位置被稱作先前位置，而另一位置被稱作隨後位置。例如，先前位置為處理設備10的其中之一或儲存體11的其中之一，而隨後位置為處理設備10的其中之一或儲存體11的其中之一。

處理設備10並不侷限於特定設備。例如，當處理物體為半導體晶圓時，處理設備10為熱處理設備、離子佈植設備、蝕刻設備、沉積設備、清潔設備、光致抗蝕劑塗敷設備、曝光設備、檢測設備等等。

在本實施例中，處理設備10係配置在第一至第六區30-35。換言之，處理設備10被分開在多個設備群組(台)中。需注意的是，雖然圖1例示圖解十九個處理設備10a-10t，但是實際的轉送系統可包括約幾百個處理設備。

例如，用以容納處理物體的匣為廣為人知的標準機械介面(SMIF)或前開式晶圓盒(FOUP)。匣包括主體、蓋子、及凸緣。主體具有一面，其有著以蓋子覆蓋的開口。凸緣 被配備至主體。主體及蓋子定義其內的容納空間以容納處理物體，諸如半導體晶圓等。例如，當處理物體為半導體晶圓時，一匣容納幾十個半導體晶圓。

載具20的每一個根據指派至此的轉送命令來操作。在本實施例中，載具20為架空舉吊運輸(OHT)，被組構成沿著軌道60移動。軌道60懸吊在工廠的天花板上。載具20的每一個包括支托器單元及懸吊單元。支托器單元支托匣的凸緣。懸吊單元懸吊支托器單元。當藉由升高(如、收繞)或降低(如、放出)懸吊單元來上下移動支托單元時，由支托單元所支托的匣上下移動。以此方式，載具20轉送及收集匣進出處理設備10及儲存體11。

例如，儲存體11a-11f被各自配置在第一至第六區30-35。儲存體11在各自處理設備10中處理之前儲存匣。例如，儲存體11的每一個具有複數個儲存空間在其內。儲存空間的每一個被分配給將轉送匣之處理設備10的其中之一。例如，有關儲存體11a，欲待轉送到處理設備10a之匣係配置在儲存空間的其中之一，及欲待轉送到處理設備10b之匣係配置在儲存空間的另一個。

儲存體11的每一個能夠與主控制器40交換訊號。儲存體11的每一個將指示儲存在儲存空間的每一個中之匣的數目之貯存資料傳送到主控制器40。

如圖2所示，主控制器40包括儲存體控制區41、處理設備控制區42、轉送命令產生區43、及特定設備決定區44。主控制器40在連續傳送轉送命令給轉送控制器50 的同時也週期性傳送特定設備資料(稍後將說明)給轉送控制器50。

儲存體控制區41包括記憶體單元。記憶體單元儲存控制資料，其指示儲存體11的每一個之各個儲存空間分配給哪一處理設備。換言之，控制資料指示儲存體11的儲存空間與處理設備10之間的關係。

當儲存體控制區41從儲存體11接收貯存資料時，在參考控制資料同時依據貯存資料，儲存體控制區41為處理設備10的每一個計算儲存(累積)在儲存體11中欲待轉送到處理設備10之匣的總數。另外，儲存體控制區41為處理設備10的每一個產生儲存體資料，其指示欲待轉送到處理設備10之匣的總數。

例如，當提供儲存體11a之儲存空間的其中之一以儲存欲待轉送到處理設備10a之匣以及提供儲存體10b之儲存空間的其中之一以儲存欲待轉送到處理設備10b之匣時，欲待轉送到處理設備10a之匣的總數意指儲存在儲存體11a之儲存空間的其中之一以及儲存體11b之儲存空間的其中之一的匣之總數。

處理設備控制區42與處理設備10的每一個交換訊號。處理設備控制區42傳送指示預定處理條件等等的訊號給處理設備10的每一個，以指示處理設備10執行預定處理。

轉送命令產生區43閱讀處理設備10的每一個之條件，及連續產生轉送命令。轉送命令的每一個具有先前位 置、隨後位置、及儲存在其內的優先位準。在本實施例中，由轉送命令產生區43所產生之所有轉送命令的優先位準為“一般”，其為最低優先位準。

特定設備決定區44包括記憶體單元。記憶體單元為處理設備10的每一個儲存有關匣的總數之預定臨界值，諸如第一臨界值及第二臨界值等。第二臨界值大於第一臨界值。

特定設備決定區44從儲存體控制區41取得儲存體資料。特定設備決定區44為處理設備10的每一個比較欲待轉送到對象處理設備10之匣的總數與預定臨界值。例如，當欲待轉送到對象處理設備10之匣的總數等於或大於預定臨界值時，特定設備決定區44指定對象處理設備10作為特定設備。另外，特定設備決定區44產生指示特定設備之特定設備資料。

尤其是，依據從儲存體控制區41所取得之儲存體資料，特定設備決定區44決定欲待轉送到對象處理設備10之匣的總數是否等於或大於第一臨界值。當欲待轉送到處理設備10之匣的總數等於或大於第一臨界值時，特定設備決定區44決定匣的總數是否等於或大於第二臨界值。當欲待轉送到對象處理設備10之匣的總數等於或大於第二臨界值時，特定設備決定區44指定對象處理設備10作為第二特定設備。當欲待轉送到對象處理設備10之匣的總數等於或大於第一臨界值且小於第二臨界值時，特定設備決定區44指定對象處理設備10作為第一特定設 備。另外，特定設備決定區44產生指示第一及第二特定設備之特定設備資料。

可每一預定週期或以操作員所需的任何時序來產生特定設備資料。例如，被指定作為第一特定設備或第二特定設備之處理設備10對應於進行週期性檢測或維修之處理設備10。可隨意改變第一臨界值及第二臨界值。在處理設備10之間，第一臨界值及第二臨界值可被設定成不同值。

轉送控制器50包括轉送命令改變區51及載具控制區52。轉送控制器50在從主控制器40連續接收轉送命令的同時也從控制器40接收特定設備資料。

轉送命令改變區51讀取轉送命令和特定設備資料，及依據特定設備資料來改變轉送命令的優先位準。例如，轉送命令改變區51決定特定設備資料是否包括第一特定設備或第二特定設備。當特定設備資料包括第一特定設備時，轉送命令改變區51將先前位置或隨後位置為第一特定設備之轉送命令的優先位準從“一般”改變成“中間優先”。當特定設備資料包括第二特定設備時，轉送命令改變區51將先前位置或隨後位置為第二特定設備之轉送命令的優先位準從“一般”改變成“最高優先”。

另外，若未包括第二特定設備作為先前位置或隨後位置之轉送命令的優先位準為“中間優先”，則轉送命令改變區51將轉送命令的優先位準改變成“一般”。再者，若未包括第二特定設備作為先前位置或隨後位置之轉送命令的 優先位準為“最高優先”，則轉送命令改變區51將轉送命令的優先位準改變成“一般”。

在本實施例中，“最高優先”為最高優先位準，而“中間優先”為“最高優先”與“一般”之間的中間優先位準。換言之，轉送命令的優先被提供三種位準，“最高優先”、“中間優先”、及“一般”。

載具控制區52能夠與載具20的每一個交換訊號。載具控制區52藉由連續以優先的等級來指派轉送命令以指示載具20執行匣的轉送。例如，當具有指示“最高優先”的轉送命令時，首先被指派轉送命令。然後，以“中間優先”及“一般”的等級來指派轉送命令。在上文中說明轉送系統的整個結構。

接著，將說明控制轉送系統的方法。

在下文中，將說明有關連續產生轉送命令及藉由儲存體控制區41產生儲存體資料的事例。

首先，將參考圖3的流程圖來說明特定設備決定區44的操作。如上述，特定設備決定區44諸如從15分鐘至30分鐘等每一預定週期或者以操作員所需的任何時序來開始下面操作。

在步驟101中，特定設備決定區44取得由儲存體控制區41所產生的儲存體資料。在步驟102中，特定設備決定區44從所取得的儲存體資料選擇一資料元素。特定設備決定區44選擇指示對象處理設備及儲存在所有儲存體11a-11f中欲待轉送到對象處理設備之匣的總數之一資 料元素。例如，儲存體資料包括指示儲存在所有儲存體11a-11f中欲待轉送到對象處理設備10a之匣的總數為10之資料元素，指示儲存在所有儲存體11a-11f中欲由處理設備10b處理之匣的總數為20之資料元素等等。步驟102中所選擇的資料元素對應於指示在由對象處理設備處理之前的匣之總數的資料。

在步驟103中，特定設備決定區44決定儲存在儲存體11中欲待轉送到對象處理設備之匣的總數(Nt)是否等於或大於第一臨界值(TH1)。當匣的總數(Nt)等於或大於第一臨界值(TH1)時，在步驟104中特定設備決定區44決定欲待轉送到對象處理設備10之匣的總數(Nt)是否等於或大於第二臨界值(TH2)。當匣的總數(Nt)等於或大於第二臨界值(TH2)時，在步驟105中特定設備決定區44指定對象處理設備10作為第二特定設備。當在步驟104中決定匣的總數(Nt)小於第二臨界值(TH2)時，在步驟106中特定設備決定區44指定對象處理設備10作為第一特定設備。

在步驟107中，特定設備決定區44決定是否已為所有處理設備10決定匣的總數(Nt)。即、特定設備決定區44決定是否已決定所有儲存體資料元素。當特定設備決定區44決定尚未為所有處理設備10a-10t決定匣的總數(Nt)時，特定設備決定區44回到步驟102。以此方式，特定設備決定區44重複此操作，以為所有處理設備10a-10t決定匣的總數(Nt)。

當特定設備決定區44決定已為所有處理設備10a-10t 決定匣的總數(Nt)時，在步驟108中特定設備決定區44產生特定設備資料。即、在為所有處理設備10a-10t執行臨界值決定之後，特定設備決定區44都產生指示第一特定設備及第二特定設備之特定設備資料。

在上文中說明特定設備決定區44的操作。需注意的是，主控制器40在連續傳送由轉送命令產生區43所產生之轉送命令的同時，在由特定設備決定區44產生特定設備資料時傳送特定設備資料給轉送控制器50。

接著，將參考圖4所示之流程圖說明轉送命令改變區51的操作。轉送命令改變區51重複下面操作。轉送命令改變區51藉由從特定設備資料讀取第一特定設備及第二特定設備來執行下面操作。

如圖4所示，在步驟201中，轉送命令改變區51決定是否具有指示第一特定設備作為先前位置及隨後位置的其中之一的轉送命令。當具有指示第一特定設備作為先前位置及隨後位置的其中之一的轉送命令時，在步驟202中轉送命令改變區51將轉送命令的優先位準改變成“中間優先”。當用於第一特定設備之轉送命令的優先位準為“中間優先”時，優先位準未被改變。

在步驟203中，轉送命令改變區51決定是否具有指示第二特定設備作為先前位置及隨後位置的其中之一的轉送命令。當具有指示第二特定設備作為先前位置及隨後位置的其中之一的轉送命令時，轉送命令改變區51將轉送命令的優先位準改變成“最高優先”。當用於第二特定設備 之轉送命令的優先位準為“最高優先”時，優先位準未被改變。

圖5A為藉由轉送命令改變區51改變優先位準之前的轉送命令圖。圖5B為藉由轉送命令改變區51改變優先位準之後的轉送命令圖。

在下文中，將說明有關具有四個轉送命令的例子，如圖5A及5B所示。

在圖5A及5B中，轉送命令1指示先前位置為處理設備10a及隨後位置為儲存體11a。轉送命令2指示先前位置為儲存體11b及隨後位置為處理設備10f。轉送命令3指示先前位置為處理設備10g及隨後位置為儲存體11e。轉送命令4指示先前位置為處理設備10t及隨後位置為儲存體11f。

另外，將說明有關指定處理設備10t作為第一特定設備及指定處理設備10g作為第二特定設備之例子。

在此事例中，在圖4的步驟202中，轉送命令改變區51將包括處理設備10t之轉送命令(即、轉送命令4)的優先位準從“一般”改變成“中間優先”。再者，在圖4的步驟204中，轉送命令改變區51將包括處理設備10g之轉送命令(即、轉送命令3)的優先位準從“一般”改變成“最高優先”。以此方式，轉送命令改變區51改變轉送命令的優先位準。

接著，將參考圖6的流程圖說明載具控制區52的控制。載具控制區52重複下面操作。將說明有關如圖5B所 示之具有四個轉送命令1-4的例子。

首先，在步驟301中，載具控制區52從轉送命令選擇具有最高優先位準之轉送命令。例如，當具有指示“最高優先”之轉送命令時，載具控制區52選擇此轉送命令。當未具有指示“最高優先”之轉送命令及具有指示“中間優先”之轉送命令時，載具控制區52選擇指示“中間優先”之後一轉送命令。當未具有指示“最高優先”或“中間優先”之轉送命令時，載具控制區52選擇指示“一般”做為優先位準的轉送命令。例如，在如圖5B之具有四個轉送命令的例子中，在步驟301中載具控制區52選擇轉送命令3。

在本實施例中，當具有有著相同優先位準之轉送命令時，載具控制區52以收據的順序來選擇轉送命令。例如，當具有有著“最高優先”之複數個轉送命令時，載具控制區52選擇在其他之前接收到者。

接著，在步驟302中，載具控制區52決定是否具有可用於在所選擇之轉送命令的先前位置所屬之先前區中執行轉送之自由載具。藉由經由訊號交換來決定先前區中的載具是否被指派有轉送命令以執行步驟302。載具控制區52決定未指派有轉送命令及正在預定位置中等待之載具作為自由載具。

例如，當載具控制區52選擇圖5B之轉送命令3時，載具控制區52決定在第二區31中是否具有自由載具，第二區31為所選擇之轉送命令的先前位置(即、處理設備10g)所屬之先前區。

當在步驟302具有自由載具時，載具控制區52進行到步驟303。在步驟303中，載具控制區52指派所選擇的轉送命令給自由載具，以指示自由載具根據所指派的轉送命令來執行操作。當在步驟302未具有自由載具時，載具控制區52進行到步驟304。

在步驟304中，載具控制區52決定是否具有一般操作可停止載具，其能夠停止所選擇之轉送命令的先前位置所屬之先前區中的一般操作。例如，在選擇圖5B的轉送命令3之事例中，載具控制區52決定在第二區31中是否具有一般操作可停止載具。

當在步驟304中具有一般操作可停止載具在先前區時，載具控制區52進行到步驟305。載具控制區52停止一般操作可停止載具以執行操作，及指派所選擇的轉送命令給一般操作可停止載具。

一般操作可停止載具係依據如圖7的圖式所示之決定條件來決定。如圖7所示，一般操作可停止載具包括備用位置轉送載具及被驅除載具。備用位置轉送載具為已根據所指派的轉送命令完成操作及正轉送到所指派之轉送命令的隨後位置所屬之隨後區中之預定備用位置的載具。被驅除載具為根據由於隨後區中的載具數目大於可用數目而產生之驅除命令正轉送到除了隨後區以外的區域之預定備用位置的載具。即、一般操作可停止載具為正在移動(轉送)但是未被指派有轉送命令之載具。換言之，步驟302所決定之自由載具及步驟304所決定之一般操作可停止載具對 應於未被指派有轉送命令之可用載具。另外，在步驟303及步驟305中指派所選擇的轉送命令給載具對應於轉送命令的一般指派。

在步驟304及步驟305中，當具有備用位置轉送載具及被驅除載具時，載具控制區52指派所選擇的轉送命令給備用位置轉送載具。即、當具有複數個一般操作可停止載具時，載具控制區52指派轉送命令給圖7的第一及第二線所示之載具。

當在步驟304中未具有一般操作可停止載具在先前區時，在步驟306中載具控制區52決定所選擇的轉送命令之優先位準是否被設定成“中間優先”。即、載具控制區52決定所選擇的轉送命令之優先位準是否為“中間優先”及“最高優先”的其中之一。

當在步驟306中所選擇的轉送命令具有“中間優先”或“最高優先”時，在步驟307中載具控制區52決定是否具有特殊操作可停止載具在所選擇的轉送命令之先前區中。當在步驟307中具有特殊操作可停止載具時，載具控制區52進行到步驟305。當在步驟307中未具有特殊操作可停止載具時，載具控制區52進行到步驟308。

特殊操作可停止載具包括可停止一般操作之載具(即、備用位置轉送載具及被驅除載具)以及根據轉送命令正轉送到先前位置之先前區轉送載具，如圖7所示。即、特殊操作可停止載具為雖然轉送命令被指派至此但在先前區中正在移動卻未運送匣之載具。

特殊操作可停止載具未包括正在收集匣之載具，即、正在執行收集操作；在運送匣的同時正移動到隨後位置之載具，即、正在執行隨後位置轉送操作；以及正供應匣到隨後位置之載具，即、正在執行匣供應操作。這是因為若這些載具包括在特殊操作可停止載具中，則將對生產工廠中的整體運輸有不利的影響。

在步驟308中，載具控制區52決定所選擇的轉送命令之優先位準是否為“最高優先”。當所選擇的轉送命令之優先位準為“最高優先”時，在步驟309中，載具控制區52決定在區域30-35的任一者中是否具有自由載具或特殊操作可停止載具。

在本實施例中，依據距先前區的距離(即、距先前區最近的區域)來進行是否具有自由載具或特殊操作可停止載具的決定。因此，欲待決定的區域之順序根據先前區而不同。

例如，在選擇圖5B的轉送命令3之事例中，先前區為第二區31。因此，載具控制區52首先決定是否具有自由載具在第一區30中。然後，當在第一區31中未具有自由載具時，載具控制區52決定是否具有特殊操作可停止載具在第一區31中。當在第一區30中未具有自由載具及特殊操作可停止載具時，載具控制區52以第三區32、第四區33、第六區35、及第五區34的此順序為它們執行類似決定。例如，在選擇圖5B之轉送命令4的事例中，先前區為第六區35。因此，載具控制區52以第五區34、第 四區33、第一區30、第二區31、及第三區32的此順序為它們執行類似決定。

當在步驟309中具有自由載具或特殊操作可停止載具時，載具控制區52進行到步驟305。在步驟305中，所選擇的轉送命令被指派到自由載具或特殊操作可停止載具。在步驟305中，當所選擇的轉送命令被指派給特殊操作可停止載具時，在根據所指派的目前轉送命令來停止操作之後指派所選擇的轉送命令。即、在步驟305中指派所選擇的轉送命令給特殊操作可停止載具對應於特殊指派。被指派有轉送命令及在先前區中正在移動卻未運送匣之載具對應於另一載具。

在如上述之本實施例中，當儲存在儲存體11中欲待轉送到處理設備10之匣的總數等於或大於第二臨界值時，對象處理設備10被指定作第二特定設備。再者，當儲存在儲存體11中欲待轉送到處理設備10之匣的總數等於或大於第一臨界值且小於第二臨界值時，對象處理設備10被指定作第一特定設備。另外，將指示第一特定設備及/或第二特定設備之轉送命令的優先位準增加，及以高優先位準的順序將轉送命令指派給載具。

在載具控制區52無法執行一般指派之事例中，所選擇的轉送命令之優先位準被增加到“中間優先”或“最高優先”，及具有已被指派有轉送命令但在先前區中正在移動卻未運送匣之載具，藉由指派所選擇的轉送命令給此載具來執行特殊指派。因此，將載具有效率地轉送到特定設 備，及提高轉送平衡。藉此，各個處理設備的作業比提高，及引導時間降低。

當無法對先前區中的載具執行特殊指派，及轉送命令的優先位準為“最高優先”時，從所有區域搜尋可用載具或特殊操作可停止載具。因此，更進一步有效地轉送載具。

總結上述實施例，轉送系統包括處理設備10(10a-10t)、載具20(如、20a-20f)、儲存體11(如、11a-11f)、儲存體控制區41、特定設備決定區44、轉送命令產生區43、轉送命令改變區51、及載具控制區52。處理設備10係配置在複數個區域中，及處理設備10的每一個對容納在匣中之處理物體執行預定處理。載具20的每一個根據指派至此的轉送命令，將匣從一位置(先前位置)轉送到另一位置(隨後位置)。儲存體11在由處理設備10處理之前儲存匣。儲存體控制區41為處理設備10的每一個產生儲存資料，其指示儲存在儲存體中欲待轉送到處理設備10之匣的總數。特定設備決定區44為處理設備10的每一個比較欲待轉送到處理設備10之匣的總數與預定臨界值。當欲待轉送到處理設備10之匣的總數等於或大於預定臨界值時，特定設備決定區44指定處理設備10作為特定設備，以及產生指示處理設備10作為特定設備之特定設備資料。轉送命令產生區43產生各個具有所儲存的先前位置及隨後位置之轉送命令。轉送命令改變區51增加轉送命令之優先位準，在此轉送命令中，先前位置及隨後位置的其中之一指示特定設備。載具控制區52選擇具有最高 優先之轉送命令作為高優先轉送命令，及指派高優先轉送命令給複數個載具中的一載具。當在高優先先前區內可存取未具有指派至此的轉送命令之可用載具時，載具控制區52指派高優先轉送命令給可用載具，高優先先前區為高優先轉送命令的先前位置所屬之複數個區域中的區域。當在高優先先前區內無法存取可用載具時，當藉由轉送命令改變區51增加最高優先轉送命令的優先位準時，及當在高優先先前區內可存取具有指派至此的轉送命令且正在轉送卻未運送匣之另一載具時，載具控制區52指派高優先轉送命令給另一載具。

例如，預定臨界值可包括第一臨界值及大於第一臨界值之第二臨界值。特定設備決定區44可為處理設備10的每一個比較欲待轉送到處理設備10之匣的總數與第一臨界值。當匣的總數等於或大於第一臨界值時，特定設備決定區44可比較欲待轉送到處理設備10之匣的總數與第二臨界值。特定設備決定區44可指定具有匣的總數等於或大於第二臨界值之處理設備10作為第二特定設備，及可指定具有匣的總數等於或大於第一臨界值且小於第二臨界值之處理設備10作為第一特定設備。特定設備決定區44可產生特定設備資料，其指示第一特定設備和第二特定設備。轉送命令改變區51可將具有第一特定設備作為先前位置及隨後位置的其中之一的轉送命令之優先位準增加至第一優先，而將具有第二特定設備作為先前位置及隨後位置的其中之一的轉送命令之優先位準增加至第二優先，第 二優先具有高於第一優先的優先位準。當在高優先先前區內無法存取可用載具時，載具控制區52可指派高優先轉送命令給另一載具，高優先轉送命令具有第一優先和第二優先的其中之一的優先位準，及在高優先先前區內可存取另一載具。當在高優先先前區內無法存取另一載具且高優先轉送命令具有第二優先的優先位準時，載具控制區52指派高優先轉送命令給複數個區域的任一者內可存取之可用載具和另一載具的其中之一。

例如，載具控制區52從已由轉送命令改變區51增加優先位準之轉送命令中選擇具有最高優先之轉送命令作為高優先轉送命令。

(其他實施例)

在上述實施例中，使用三個優先位準，諸如“一般”、“中間優先”、及“最高優先”等。在此事例中，例如，“中間優先”對應於第一優先，及“最高優先”對應於具有高於“第一優先”的優先位準之第二優先。

作為另一例子，可以數字指示優先。例如，以數字1至80指示對應於“一般”之優先位準，以數字81至89指示對應於“中間優先”之優先位準，以及以數字90至99指示對應於“最高優先”之優先位準。當轉送命令具有相同優先位準時，可以大數字的順序來執行轉送命令。即、首先可執行具有最大數字之轉送命令。換言之，在“一般”、“中間優先”、及“最高優先”的每一個中可在細分優先位 準。

在上述實施例中，轉送命令產生區43產生各個儲存優先位準之轉送命令。作為另一例子，轉送命令產生區43可產生各個儲存先前位置及隨後位置之轉送命令，及在除了轉送命令產生區43以外的區段中，可將優先位準添加到轉送命令。

儲存體11a-11f係各自配置在第一至第六區30-35中。作為另一例子，兩或更多個儲存體係可配置在第一至第六區30-35的每一個中。作為另一例子，可為處理設備10a-10t的每一個配置儲存體。作為另一例子，儲存體11a-11f可直接配置在懸吊在天花板上之軌道上。

在上述實施例中，載具20a-20f並不侷限於OHT。載具20a-20f可以是軌道引導式車輛(RGV)，其沿著配置在生產工廠的地板上之軌道行進；自動引導式車輛(AGV)，其藉由配置在生產工廠的地板上之引導帶等等來移動；架空纜車(OHS)，其在配置成鄰近生產工廠的天花板之軌道上方行進；諸如此類。

使用轉送系統並不侷限於轉送容納在匣中之半導體晶圓。轉送系統可被用於任何其他目的。例如，轉送系統可適用於用以組裝電子組件之轉送系統。

儘管僅選擇所選定的例示實施例來圖解說明本揭示，但是精於本技藝之人士從此揭示應明白，在不違背如附錄的申請專利範圍所定義之揭示的範疇之下，此處可進行各種變化及修改。而且，根據本揭示的例示實施例之上述說 明僅提供用於圖解說明，並不用於限制如附錄的申請專利範圍及其同等物所定義之揭示。

2‧‧‧轉送命令

3‧‧‧轉送命令

4‧‧‧轉送命令

10‧‧‧處理設備

10a‧‧‧處理設備

10b‧‧‧處理設備

10c‧‧‧處理設備

10d‧‧‧處理設備

10e‧‧‧處理設備

10f‧‧‧處理設備

10g‧‧‧處理設備

10h‧‧‧處理設備

10i‧‧‧處理設備

10j‧‧‧處理設備

10k‧‧‧處理設備

10l‧‧‧處理設備

10m‧‧‧處理設備

10n‧‧‧處理設備

10o‧‧‧處理設備

10q‧‧‧處理設備

10r‧‧‧處理設備

10s‧‧‧處理設備

10t‧‧‧處理設備

11‧‧‧儲存體

11a‧‧‧儲存體

11b‧‧‧儲存體

11c‧‧‧儲存體

11d‧‧‧儲存體

11e‧‧‧儲存體

11f‧‧‧儲存體

20‧‧‧載具

20a‧‧‧載具

20b‧‧‧載具

20c‧‧‧載具

20d‧‧‧載具

20e‧‧‧載具

20f‧‧‧載具

30‧‧‧第一區

31‧‧‧第二區

32‧‧‧第三區

33‧‧‧第四區

34‧‧‧第五區

35‧‧‧第六區

40‧‧‧主控制器

41‧‧‧儲存體控制區

42‧‧‧處理設備控制區

43‧‧‧轉送命令產生區

44‧‧‧特定設備決定區

50‧‧‧轉送控制器

51‧‧‧轉送命令改變區

52‧‧‧載具控制區

60‧‧‧軌道

從參考附圖所進行的下面詳細說明，將使本揭示的上述及其他目的、特徵、及有利點更加清楚，在附圖中，以相同參考號碼標示相同部分，其中：圖1為根據本揭示的實施例之轉送系統的佈局圖；圖2為根據實施例之轉送系統的主控制器及轉送控制器之方塊圖；圖3為根據實施例之轉送系統的特定設備決定區之操作的流程圖；圖4為根據實施例之轉送系統的轉送命令改變區之操作的流程圖；圖5A為藉由根據實施例之轉送命令改變區改變優先之前的轉送命令圖；圖5B為藉由根據實施例之轉送命令改變區改變優先之後的轉送命令圖；圖6為根據實施例之轉送系統的載具控制區之操作的流程圖；以及圖7為根據實施例之轉送系統的載具之停止操作的決定條件圖。

Claims (5)

1. 一種轉送系統，包含：複數個處理設備，係配置在複數個區域中，該等處理設備的每一個對容納在匣中之處理物體執行預定處理；複數個載具，其各個根據指派至此的轉送命令將該匣從一位置轉送到另一位置，其中，該一位置被稱作先前位置，而該另一位置被稱作隨後位置；儲存體，其在該等處理設備處理之前儲存該等匣；儲存體控制區，其為該等處理設備的每一個產生儲存體資料，其指示儲存在該儲存體中欲待轉送到該處理設備之匣的總數；特定設備決定區，其為該等處理設備的每一個比較欲待轉送到該處理設備之匣的該總數與預定臨界值，當欲待轉送到該處理設備之匣的該總數等於或大於該預定臨界值時，指定該處理設備作為特定設備，以及產生指示該處理設備作為該特定設備之特定設備資料；轉送命令產生區，其產生各個具有所儲存的該先前位置及該隨後位置之轉送命令；轉送命令改變區，其增加該轉送命令之優先位準，在該轉送命令中，該先前位置和該隨後位置的其中之一指示該特定設備；以及載具控制區，其選擇具有最高優先之該轉送命令作為高優先轉送命令，及指派該高優先轉送命令給該複數個載具中的一載具，其中， 當在高優先先前區內可存取未具有指派至此的轉送命令之可用載具時，該載具控制區指派該高優先轉送命令給該可用載具，該高優先先前區為該高優先轉送命令的該先前位置所屬之該複數個區域中的該區域，以及當在該高優先先前區內無法存取該可用載具時，當藉由該轉送命令改變區增加該最高優先轉送命令的該優先位準時，及當在該高優先先前區內可存取具有指派至此的該轉送命令且正在轉送卻未運送該匣之另一載具時，該載具控制區指派該高優先轉送命令給該另一載具。
2. 根據申請專利範圍第1項之轉送系統，其中該預定臨界值包括第一臨界值及大於該第一臨界值之第二臨界值，該特定設備決定區為該等處理設備的每一個比較欲待轉送到該處理設備之匣的該總數與該第一臨界值，及當匣的該總數等於或大於該第一臨界值時，該特定設備決定區比較欲待轉送到該處理設備之匣的該總數與該第二臨界值，該特定設備決定區指定具有匣的該總數等於或大於該第二臨界值之該處理設備作為第二特定設備，及指定具有匣的該總數等於或大於該第一臨界值且小於該第二臨界值之該處理設備作為第一特定設備，該特定設備決定區產生該特定設備資料，其指示該第一特定設備和該第二特定設備，該轉送命令改變區將具有該第一特定設備作為該先前 位置及該隨後位置的其中之一的該轉送命令之該優先位準增加至第一優先，而將具有該第二特定設備作為該先前位置及該隨後位置的其中之一的該轉送命令之該優先位準增加至第二優先，該第二優先具有高於該第一優先的優先位準，當在該高優先先前區內無法存取該可用載具時，該載具控制區指派該高優先轉送命令給該另一載具，該高優先轉送命令具有該第一優先和該第二優先的其中之一的優先位準，及在該高優先先前區內可存取該另一載具，以及當在該高優先先前區內無法存取該另一載具且該高優先轉送命令具有該第二優先的優先位準時，該載具控制區指派該高優先轉送命令給該複數個區域的任一者內可存取之該可用載具和該另一載具的其中之一。
3. 根據申請專利範圍第1或第2項之轉送系統，其中，從已藉由該轉送命令改變區增加優先位準之該等轉送命令中，該載具控制區選擇具有該最高優先之該轉送命令作為該高優先轉送命令。
4. 一種控制轉送系統之方法，該轉送系統包括：複數個處理設備，係配置在複數個區域中，該等處理設備的每一個對容納在匣中之處理物體執行預定處理；複數個載具，其各個根據所指派的轉送命令將該匣從一位置轉送到另一位置，該一位置被稱作先前位置，而該另一位置被稱作隨後位置；以及儲存體，其在該等處理設備處理之前儲存該等匣； 該方法包含：為該等處理設備的每一個產生儲存體資料，其指示儲存在該儲存體中欲待轉送到該處理設備之匣的總數；為該等處理設備的每一個比較欲待轉送到該處理設備之匣的該總數與預定臨界值；產生特定設備資料，其指示具有欲待轉送之匣的該總數等於或大於該預定臨界值之該處理設備作為特定設備；產生轉送命令，其各個具有所儲存的該先前位置和該隨後位置；增加該轉送命令的優先位準，在該轉送命令中，該先前位置和該隨後位置的其中之一指示該特定設備；選擇具有最高優先之該轉送命令作為高優先轉送命令；以及指派該高優先轉送命令給該複數個載具中的一載具，其中，當在高優先先前區內可存取未具有指派至此的轉送命令之可用載具時，將該高優先轉送命令指派給該可用載具，該高優先先前區為該高優先轉送命令的該先前位置所屬之該複數個區域中的該區域，以及當無法存取該可用載具時，當藉由該增加而增加該最高優先轉送命令的該優先位準時，及當在該高優先先前區內可存取具有指派至此的轉送命令且正在轉送卻未運送該匣之另一載具時，將該高優先轉送命令指派給該另一載具。
5. 根據申請專利範圍第4項之方法，其中，在該選擇中，具有該最高優先之該轉送命令係選自已藉由該增加而增加優先位準之該等轉送命令。