JP5797913B2 - 生産効率化装置、生産効率化方法、コンピュータプログラム - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態に係る生産効率化装置を有する生産処理システムの一構成例を示したブロック図である。本発明の実施の形態に係る生産処理システムは、複数の処理装置2と、複数の搬送装置32及び該搬送装置32の動作を制御する搬送制御装置31を有する搬送システム3と、処理装置2及び搬送システム3へ制御指示を与え、各装置の動作を制御する生産実行制御装置4と、前記複数の処理装置2及び搬送システム3の間で通信する生産効率化装置1とを有する。
具体的には、生産効率化装置1は、該生産効率化装置1の各構成部の動作を制御する制御部11、例えばCPU(Central Processing Unit)を備えたコンピュータである。制御部11には、バスを介して接続されたROM、又はRAMなどの内部記憶装置13、ハードディスクドライブや、ソリッドステートドライブや、可搬式記録メディアからのデータの読み出しが可能な装置であるCD−ROMドライブなどの外部記憶装置12、第1乃至第3通信部14,15,16、及び時計部17が接続されている。
RAMは、制御部11の演算処理を実行する際に生ずる各種データやコンピュータの動作に必要な制御プログラムを一時記憶するDRAM、SRAM等の揮発性メモリである。
第1乃至第3通信部14,15,16は、夫々処理装置2、搬送制御装置31及び生産実行制御装置4との間で情報を送受信するためのインタフェースである。第1乃至第3通信部14,15,16による各種情報の送受信は制御部11によって制御される。
コンピュータプログラム5aは、コンピュータ読み取り可能に記録された可搬式メディアであるCD(Compact Disc)−ROM、DVD(Digital Versatile Disc)−ROM、BD(Blu-ray Disc)等の記録媒体5或いはハードディスクドライブやソリッドステートドライブに記録されている。制御部11はこれらコンピュータプログラム5aが記録された可搬式メディアやハードディスクドライブなどから、コンピュータプログラム5aを読み出し、内部記憶装置13に記憶させる。また、言うまでもなく、光ディスク及び光ディスクドライブは、記録媒体5及び外部記憶装置12の一例であり、フレキシブルディスク、磁気光ディスク、外付けハードディスク、半導体メモリ等にコンピュータプログラム5aをコンピュータ読み取り可能に記録し、前記外部記憶装置12にて読み出すように構成しても良い。また、通信網に接続されている図示しない外部コンピュータから本発明に係るコンピュータプログラム5aをダウンロードするようにしても良い。
<生産効率化基本フロー>
被処理体に対して処理を実行している処理装置2は、被処理体に対する処理が終了する時刻を予測するために必要な情報を生産効率化装置1へ送信する(ステップS11)。
図6は、処理装置2における情報送信手順の一例を示したフローチャートである。処理装置2は、被処理体に対する処理を開始する(ステップS51)。そして、処理装置2は、被処理体に対する処理が、設定された特定の処理工程にあるか否かを判定する(ステップS52)。特定の処理工程にあると判定した場合(ステップS52:YES)、処理装置2は、被処理体に対する処理が特定の処理工程にあることを示す情報を生産効率化装置1へ送信する(ステップS53)。該情報は、処理装置2における処理シーケンスが特定の処理ステップを通過したことを報告する情報である。ステップS53の処理を終えた場合、又は特定の処理工程にないと判定した場合(ステップS52:NO)、処理装置2は、被処理体に対する処理を終了したか否かを判定する(ステップS54)。処理を終了していないと判定した場合(ステップS54:NO)、処理装置2は処理をステップS52へ戻し、被処理体に対する処理を続行する。処理を終了したと判定した場合(ステップS54:YES)、処理装置2は、終了情報を生産実行制御装置4へ送信し(ステップS55)、処理を終える。
また例えば、前記設定された特定の処理工程とは、処理装置2が複数の被処理体を同時に処理するバッチ式の熱処理装置である場合、実行している処理シーケンスの終了ステップの例えば3ステップ手前など所定の処理ステップとして設定された処理ステップである。
図7は、処理装置2における情報送信手順の他の例を示したフローチャートである。処理装置2は、被処理体に対する処理を開始する(ステップS71)。そして、処理装置2は、被処理体に対する処理が特定の処理工程にあるか否かを判定する(ステップS72)。特定の処理工程にあると判定した場合(ステップS72:YES)、処理装置2は、被処理体に対する処理が終了する終了予定時刻を含む情報を生産効率化装置1へ送信する(ステップS73)。なお、処理終了予定時刻は一例であり、処理が終了する予定時機を示した情報に代えても良い。処理装置2から送信される終了予定時刻は、レシピの情報に基づいて所定の演算式で算出しても良いし、過去の処理終了時刻から統計的に算出しても良い。ステップS73の処理を終えた場合、又は特定の処理工程にないと判定した場合(ステップS72:NO)、処理装置2は、被処理体に対する処理を終了したか否かを判定する(ステップS74)。処理を終了していないと判定した場合(ステップS74:NO)、処理装置2は処理をステップS72へ戻し、被処理体に対する処理を続行する。処理を終了したと判定した場合(ステップS74:YES)、処理装置2は、終了情報を生産実行制御装置4へ送信し(ステップS75)、処理を終える。
生産効率化装置1は、上述の処理手順に従って処理装置2から送信された情報に基づいて、処理終了時刻を予測する。なお、処理装置2から送信された情報が示す時刻を、そのまま処理終了時刻として取り扱っても良い。
図8は、処理装置2における情報送信手順の他の例を示したフローチャートである。処理装置2は、被処理体に対する処理を開始する(ステップS91)。そして、処理装置2は、被処理体に対する処理が特定の処理工程にあるか否かを判定する(ステップS92)。特定の処理工程にあると判定した場合(ステップS92:YES)、処理装置2は、被処理体に対する処理が終了する過去の処理終了時刻の実績に係る情報を生産効率化装置1へ送信する(ステップS93)。該実績に係る情報は、例えば、処理装置2における過去の処理に要した実績時間又は処理が終了した実績時刻に係る情報である。ステップS93の処理を終えた場合、又は特定の処理工程にないと判定した場合(ステップS92:NO)、処理装置2は、被処理体に対する処理を終了したか否かを判定する(ステップS94)。処理を終了していないと判定した場合(ステップS94:NO)、処理装置2は処理をステップS92へ戻し、被処理体に対する処理を続行する。処理を終了したと判定した場合(ステップS94:YES)、処理装置2は、処理終了時刻を記憶し(ステップS95)、終了情報を生産実行制御装置4へ送信し(ステップS96)、処理を終える。
生産効率化装置1は、上述の処理手順に従って処理装置2から送信された情報を統計的に処理し、処理終了時刻を予測する。例えば、処理に要した時間の平均値、分散、最大値、最小値、中央値、最頻値等に基づいて、処理終了時刻を予測する。
図9は、処理装置2における情報送信手順の他の例を示したフローチャートである。処理装置2のプロセスモジュール25aは、メンテナンスのためのドライクリーニング処理などの被処理体を用いない処理を開始する(ステップS111)。そして、処理装置2は、処理装置2が特定の状態にあるか否かを判定する(ステップS112)。特定の状態にあると判定した場合(ステップS112:YES)、処理装置2は、自身が特定の状態にあることを示した情報を生産効率化装置1へ送信する(ステップS113)。ステップS113の処理を終えた場合、又は処理装置2が特定の状態に無いと判定した場合(ステップS112:NO)、処理装置2は、該処理を終了したか否かを判定する(ステップS114)。処理を終了していないと判定した場合(ステップS114:NO)、処理装置2は処理をステップS112へ戻し、該処理を続行する。処理を終了すると判定した場合(ステップS114:YES)、処理装置2は、終了情報を生産実行制御装置4へ送信し(ステップS115)、処理を終える。 生産効率化装置1は、この特定の状態にあることを示した情報を元にこの処理が終了する時刻を予測し、前記時刻にあわせて次に処理すべき被処理体を処理装置2へ向けて移動する準備を行う。この予測した処理が終了する時刻に合わせて次に処理すべき被処理体を処理装置2へ動かす指示情報を搬送制御装置31へ送信し、被処理体を処理装置2へ配達することで、処理装置2のプロセスモジュール25aにおける被処理体を用いない処理が終了してから、被処理体への処理の開始ができるようになるまでの時間を短縮することができ、プロセスモジュール25aにおける生産に寄与する度合いを高め、処理効率を高めることができる。
このため、次に処理すべき被処理体を処理装置2へ配達するのに要する時間の統計値により、被処理体を用いない処理が終了するタイミングよりも求められた統計値の時間分手前のタイミングを特定の状態として設定することがより好ましい。
図10は、処理装置2における情報送信手順の他の例を示したフローチャートである。生産効率化装置1の制御部11は、被処理体に対する処理の終了予測に必要な情報を要求する要求情報を処理装置2へ送信する(ステップS131)。
図11は、処理装置2における処理終了予測に必要な情報の送信タイミングの設定に係るフローチャートである。生産効率化装置1の制御部11は、処理の終了予測に必要な情報を生産効率化装置1へ送信するタイミングの設定を、図示しない入力装置にて受け付ける(ステップS151)。そして、制御部11は、情報の送信タイミングの設定を要求する設定情報を処理装置2へ送信する(ステップS152)。
生産効率化装置1の制御部11は、処理装置2から送信された情報を、第1通信部14にて受信し(ステップS12)、受信した情報に基づいて、該情報の送信元の処理装置2が処理を終える処理終了時刻を予測する(ステップS13)。該処理終了時刻は、例えば、処理装置2における処理が終了し、該処理が終了した被処理体がロードポートに載置されたFOUPに回収されて、該FOUPを搬出することが可能になる予定の時刻である。
図12は、搬送装置32への投機的指示が的中しなかった場合の処理手順を示したフローチャートである。搬送制御装置31は、搬送装置32の状態及び生産実行制御装置4から送信される生産実行制御情報を監視しており、処理装置2における被処理体の処理が終了する前に搬送装置32が到着したことを認識することができる。搬送制御装置31は、処理装置2における被処理体の処理が終了する前に搬送装置32が到着した場合、投機的移動失敗通知を生産効率化装置1へ送信する(ステップS171)。
また、現状でも処理負荷が高い生産実行制御装置4へ処理装置2の動作状況を送信し、予測処理を実行させた場合、生産実行制御装置4の処理負荷が更に増大し、搬送装置2及び処理装置2に対する制御が遅延することになり、却って生産効率が悪化するおそれがあった。しかし、本実施の形態によれば、生産効率化装置1の制御によって、搬送装置32を投機的に移動させることができるため、かかる問題を回避しつつ、生産効率を向上させることができる。
例えば、処理装置2から特定のタイミングでイベント信号が出力されるように構成し、生産効率化装置1は、処理装置2から出力されたイベント信号を受信した場合、直ちに、搬送装置32を該処理装置2へ移動させるように構成しても良い。イベント信号の内容及び出力タイミングは特に限定されるものでは無い。具体的には、イベント信号は、被処理体に対する処理が特定の工程に入った場合に出力される信号、処理装置2が特定の状態にある場合に出力される信号、処理装置2から出力された処理終了時刻情報を有する信号などである。
図13は、変形例1における生産効率化に係る処理手順を示したフローチャートである。処理装置2及び生産効率化装置1の制御部11は、図4のステップS11〜ステップS12と同様、情報の送受信(ステップS191,192)、処理装置2における被処理体に対する処理終了予測を行う(ステップS193)。
その後、被処理体に対する処理を終えた処理装置2は、被処理体に対する処理を実際に終えた実終了時刻を生産効率化装置1へ送信する(ステップS194)。なお、実終了時刻に代えて、被処理体に対する処理を終えるのに実際に要した実終了時間を送信し、実終了時間を用いて以下の処理を実行するように構成しても良い。
図14は、変形例2に係る空の搬送装置及び被処理体搭載の搬送装置の到着タイミングを示したタイミングチャートである。図14Aは、被処理体搭載の搬送装置の到着タイミングの確率分布、図14Bは、空の搬送装置の到着タイミングの確率分布、図14C及び図14Dは、第1及び第2のロードポート21a、21bに載置された被処理体に対する処理が行われるタイミングを示している。
次に本発明にかかわる変形例3を説明する。
本変形例3では、生産効率化装置1は、処理終了時刻を予測することにより、処理装置からの搬出が可能になるタイミングと、処理装置2においてこれから処理すべき被処理体が無くなってしまうタイミングを求める。
これにより、搬送制御装置31は、搬送必要時機の始点から終点の間に搬送装置32が処理装置2に到着するように制御すればよく、このように時間幅を有しているので搬送制御装置31において搬送の優先度を考慮し、搬送路における搬送装置32の混雑を低減させた搬送装置32の移動スケジューリングがしやすくなる。更に例えば処理装置2における被処理体への処理が終了し、処理装置2から生産実行制御装置4へ処理が終了した旨の報告がなされ、生産実行制御装置4から搬送制御装置31へ該処理装置からの被処理体の回収の指示がだされたあとであっても、前記搬送必要時機の終点までに時間的余裕があるのであれば、搬送制御装置31は複数の搬送装置の位置や移動状態を考慮し、混雑が発生しないように前記生産実行制御装置4からの回収指示に即応せずに、遅れて移動させるように構築してもよい。
このように、処理装置2において、処理が終了し搬出することが可能になった被処理体が発生しても、処理すべき未処理の被処理体が無いという状態にならなければ、プロセスモジュールは連続的に処理を続けることができるので、処理装置2の高い生産効率を維持することが可能となる。
図15は、変形例4における生産効率化に係る処理順を示したフローチャートである。投機的に搬送装置32を移動させた後、生産実行制御装置4から搬送指示情報が送信され(ステップS211)、該搬送指示情報を生産効率化装置1が受信した場合(ステップS212)、生産効率化装置1の制御部11は、ロードポート21a,21bの切替時刻、及び現在行っている被処理体に対する処理内容が記述されたレシピを処理装置2に要求する(ステップS213)。
図16は、変形例5に係る生産処理システムの一構成例を示したブロック図である。上述の実施の形態では生産効率化装置1が、処理装置2、搬送制御装置31、生産実行制御装置4との間で情報の通信を行う第1乃至第3通信部14,15,16を備えている例を説明したが、生産実行制御装置4からの情報を間接的に受信するように構成しても良い。例えば、生産実行制御装置4から送信される情報を搬送制御装置31を介して受信するように構成しても良い。
図17は、変形例6に係る生産処理システムの一構成例を示したブロック図である。これまでに説明した本発明における形態では、変形例6生産効率化装置1が処理装置2と通信するための専用線を有する例を説明したが、これに限るものでは無く、変形例6に係る生産効率化装置1は、搬送制御装置31と、搬送装置32との間で情報を送受信する通信線路33を流用して、処理装置2から送信される情報を受信するように構成されている。通信線路33は、例えば、搬送システム3を構成する搬送装置32の搬送路に沿って敷設されている。
また、通信線路33を経由し、搬送システム3が有する被処理基板を搬送する搬送装置32が処理装置2への被処理基板の受け渡しをするための停止点近傍に、処理装置2との通信線路を接続するアクセスポイント(局)が配置されるように構成しても良い。
図18及び図19は、変形例7における生産効率化に係る処理順を示したフローチャートである。変形例7に係る生産効率化装置1は、生産実行制御装置4からの情報を利用して被処理体搭載の搬送装置のより的確な投機的移動指示を行うものである。
2 処理装置
3 搬送システム
4 生産実行制御装置
5 記録媒体
5a コンピュータプログラム
11 制御部
12 外部記憶装置
13 内部記憶装置
14 第1通信部
15 第2通信部
16 第3通信部
17 時計部
21a 第1のロードポート
21b 第2のロードポート
22 ロードモジュール
23a、23b ロードロックモジュール
24 トランスファーモジュール
25a、25b、25c、25d プロセスモジュール
31 搬送制御装置
32 搬送装置
Claims (17)
- 被処理体を処理する複数の処理装置との間で情報を通信する第1通信手段と、
前記複数の処理装置に被処理体を搬送する搬送装置を有する搬送システムとの間で、該搬送装置の制御に係る制御情報を通信する第2通信手段と、
前記第1通信手段にて通信した情報に基づいて、該情報の通信先の処理装置が被処理体の搬送を要する搬送時機を予測する搬送時機予測手段と、
該搬送時機予測手段が予測した搬送時機に前記情報の通信先の処理装置へ前記搬送装置が到着するように前記搬送システムへの制御情報を生成する生成手段と、
前記搬送時機に搬送装置が前記情報の通信元の処理装置へ到着するために要する時間である移動所要時間を予測する手段と
を備え、
前記制御情報は、前記搬送装置の移動を開始させる時機である移動開始時機を有し、前記移動開始時機は前記搬送時機より前記移動所要時間前の時機である生産効率化装置。 - 被処理体を処理する複数の処理装置との間で情報を通信する第1通信手段と、
前記複数の処理装置に被処理体を搬送する搬送装置を有する搬送システムとの間で、該搬送装置の制御に係る制御情報を通信する第2通信手段と、
前記第1通信手段にて通信した情報に基づいて、該情報の通信先の処理装置が被処理体の搬送を要する搬送時機を予測する搬送時機予測手段と、
該搬送時機予測手段が予測した搬送時機に前記情報の通信先の処理装置へ前記搬送装置が到着するように前記搬送システムへの制御情報を生成する生成手段と
を備え、
前記制御情報は、
被処理体を搭載していない搬送装置を前記情報の通信元の処理装置へ移動させる指示を含み、
前記生成手段は、
前記処理装置で被処理体の処理が終了する前に、前記搬送装置が該処理装置に到着した場合、該搬送装置を待機させる指示、前記搬送装置を前記処理装置の周辺で巡回させる指示、又は所定箇所に前記搬送装置を移動させる指示を含む制御情報を生成するようにしてある生産効率化装置。 - 前記制御情報は、
被処理体を搭載している搬送装置を前記情報の通信元の処理装置へ移動させる指示を含む
請求項1又は請求項2に記載の生産効率化装置。 - 前記搬送システムは複数の搬送装置を有しており、
前記制御情報は、
被処理体に対する処理が所定の期間内に終了する処理装置が少ない領域に比べて、処理が前記期間内に終了する処理装置が多く存在する領域に前記搬送装置を偏在させるように前記搬送装置を移動させる指示を含む
請求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載の生産効率化装置。 - 前記制御情報は、
被処理体を搭載していない搬送装置と、前記処理装置で処理されるべき被処理体を搭載した搬送装置とがこの順で前記処理装置に到着するように各搬送装置を移動させる指示を含む
請求項1乃至4に記載の生産効率化装置。 - 前記処理装置及び前記搬送装置の動作を制御する生産実行制御装置から送信された生産実行制御情報を直接的又は間接的に通信する手段を備え、
前記生産実行制御装置から送信された生産実行制御情報の内容と、生成手段が生成した制御情報の内容とが矛盾しないようにしてある請求項1乃至請求項5のいずれか一つに記載の生産効率化装置。 - 前記搬送時機は、
前記処理装置における処理が終了し、前記搬送装置による被処理体の取り出しが可能になる時機、該処理装置において処理すべき未処理の被処理体が無くなる時機、又は各時機の間の時機を含む
請求項1乃至6のいずれか一つに記載の生産効率化装置。 - 前記処理装置は、該処理装置に投入されている被処理体の残処理時間に係る情報と、連続して処理を継続する為に次に被処理体が必要になる時間の算出に係る情報とを通信するように構成してあり、
複数の前記処理装置と通信した前記情報に基づいて、各処理装置に投入されている被処理体の処理が終了する終了時機、及び各処理装置が次の被処理体を必要とする開始時機を算出する手段と、
算出された終了時機及び開始時機に基づいて、前記搬送装置を移動させるべき処理装置の優先順位を決定する手段と
を備える請求項1乃至請求項7のいずれか一つに記載の生産効率化装置。 - 前記処理装置で被処理体に対する処理に実際に要した実績時間又は処理を実際に終了した実終了時刻を通信する手段と、
終了予測時機と、実績時間又は実終了時刻と、終了予測時機の予測に用いた情報とを対応付けて蓄積する手段と
を備え、
前記生成手段は、
蓄積された情報を用いて制御情報を生成するようにしてある
請求項1乃至請求項8のいずれか一つに記載の生産効率化装置。 - 前記第1通信手段が通信する情報は、
前記処理装置の自身の状態が特定の状態にあることを示す情報を含む
請求項1乃至請求項9のいずれか一つに記載の生産効率化装置。 - 前記第1通信手段が通信する情報は、
前記処理装置における過去の処理に要した実績時間又は処理が終了した実績時刻に係る情報を含む
請求項1乃至請求項10のいずれか一つに記載の生産効率化装置。 - 前記処理装置が被処理体の搬送を要する搬送時機を予測するために必要な情報を前記処理装置へ要求する手段を備え、
前記第1通信手段は、
前記要求に応じて前記処理装置から送信された情報を受信するようにしてある
請求項1乃至請求項11のいずれか一つに記載の生産効率化装置。 - 前記処理装置が被処理体の搬送を要する搬送時機を予測するための情報を送信する時機の設定を前記処理装置に要求する手段を備える
請求項1乃至請求項12のいずれか一つに記載の生産効率化装置。 - 被処理体を処理する複数の処理装置との間で情報を通信するステップと、
前記複数の処理装置に被処理体を搬送する搬送装置を有する搬送システムとの間で、該搬送装置の制御に係る制御情報を通信するステップと、
通信した情報に基づいて、該情報の通信先の処理装置が処理を終了した被処理体の搬出を要する搬出時間又は被処理体の搬入を要する搬入時間を予測するステップと、
予測した搬出時間又は搬入時間に応じた時機に前記情報の通信先の処理装置へ前記搬送装置が到着するように前記搬送システムへの制御情報を生成する生成ステップと、
前記搬送時機に搬送装置が前記情報の通信元の処理装置へ到着するために要する時間である移動所要時間を予測するステップと
を有し、
前記制御情報は、前記搬送装置の移動を開始させる時機である移動開始時機を有し、前記移動開始時機は前記搬送時機より前記移動所要時間前の時機である生産効率化方法。 - 被処理体を処理する複数の処理装置との間で情報を通信するステップと、
前記複数の処理装置に被処理体を搬送する搬送装置を有する搬送システムとの間で、該搬送装置の制御に係る制御情報を通信するステップと、
通信した情報に基づいて、該情報の通信先の処理装置が処理を終了した被処理体の搬出を要する搬出時間又は被処理体の搬入を要する搬入時間を予測するステップと、
予測した搬出時間又は搬入時間に応じた時機に前記情報の通信先の処理装置へ前記搬送装置が到着するように前記搬送システムへの制御情報を生成する生成ステップと
を有し、
前記制御情報は、
被処理体を搭載していない搬送装置を前記情報の通信元の処理装置へ移動させる指示を含み、
前記生成ステップは、
前記処理装置で被処理体の処理が終了する前に、前記搬送装置が該処理装置に到着した場合、該搬送装置を待機させる指示、前記搬送装置を前記処理装置の周辺で巡回させる指示、又は所定箇所に前記搬送装置を移動させる指示を含む制御情報を生成する生産効率化方法。 - コンピュータを、
被処理体を処理する複数の処理装置との間で情報を通信する第1通信手段と、
前記複数の処理装置に被処理体を搬送する搬送装置を有する搬送システムとの間で、該搬送装置の制御に係る制御情報を通信する第2通信手段と、
前記第1通信手段にて通信した情報に基づいて、該情報の通信先の処理装置が被処理体の搬出を要する搬出時間又は搬入を要する搬入時間を予測する手段と、
該手段が予測した搬出時間又は搬入時間に応じた時機に前記情報の通信先の処理装置へ前記搬送装置が到着するように前記搬送システムへの制御情報を生成する生成手段と、
前記搬送時機に搬送装置が前記情報の通信元の処理装置へ到着するために要する時間である移動所要時間を予測する手段と
として機能させるコンピュータプログラムであって、
前記制御情報は、前記搬送装置の移動を開始させる時機である移動開始時機を有し、前記移動開始時機は前記搬送時機より前記移動所要時間前の時機であるコンピュータプログラム。 - コンピュータを、
被処理体を処理する複数の処理装置との間で情報を通信する第1通信手段と、
前記複数の処理装置に被処理体を搬送する搬送装置を有する搬送システムとの間で、該搬送装置の制御に係る制御情報を通信する第2通信手段と、
前記第1通信手段にて通信した情報に基づいて、該情報の通信先の処理装置が被処理体の搬出を要する搬出時間又は搬入を要する搬入時間を予測する手段と、
該手段が予測した搬出時間又は搬入時間に応じた時機に前記情報の通信先の処理装置へ前記搬送装置が到着するように前記搬送システムへの制御情報を生成する生成手段と
として機能させるコンピュータプログラムであって、
前記制御情報は、
被処理体を搭載していない搬送装置を前記情報の通信元の処理装置へ移動させる指示を含み、
前記生成手段は、
前記処理装置で被処理体の処理が終了する前に、前記搬送装置が該処理装置に到着した場合、該搬送装置を待機させる指示、前記搬送装置を前記処理装置の周辺で巡回させる指示、又は所定箇所に前記搬送装置を移動させる指示を含む制御情報を生成するようにしてあるコンピュータプログラム。
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