TWI501345B - Production efficiency of the device, the production efficiency of the method and computer programs - Google Patents

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TWI501345B
TWI501345B TW101108164A TW101108164A TWI501345B TW I501345 B TWI501345 B TW I501345B TW 101108164 A TW101108164 A TW 101108164A TW 101108164 A TW101108164 A TW 101108164A TW I501345 B TWI501345 B TW I501345B
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Teruo Asakawa
Makoto Yamamoto
Akira Machida
Masaaki Kawaguchi
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Tokyo Electron Ltd
Muratec Automation Co Ltd
Ma Solutions Ltd
Daifuku Kk
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Description

生產效率化裝置、生產效率化方法及電腦程式
本發明係關於一種於在複數之處理裝置間搬送被處理體，對該被處理體進行處理之生產處理系統中，實現被處理體之搬送及處理之效率化之生產效率化裝置、生產效率化方法及用以使電腦作為該生產效率化裝置而進行動作之電腦程式。
包含如下裝置之生產處理系統已實用化：對被處理體進行處理之複數之處理裝置；於該複數之處理裝置間搬送被處理體之複數之搬送裝置；搬送控制裝置，其控制該複數之搬送裝置之動作；及生產執行控制裝置，其決定應處理被處理體之處理裝置，對上述搬送控制裝置指示被處理體之回收目標及搬送目標，並且對該處理裝置指示對於被處理體之處理內容。
又，於專利文獻1中，揭示有如下軟體，其包含與對被處理體進行處理之複數之處理裝置進行通訊之程序、與自任意之上述處理裝置向任意之上述處理裝置搬送上述被處理體之複數之搬送裝置進行通訊之程序、及與對上述處理裝置指示對於被處理體之處理之生產指示裝置進行通訊之程序，且包含使用通訊而得之資訊對上述搬送裝置指示該搬送裝置之移動之搬送指示程序與使用上述資訊對上述處理裝置指示執行之處理之處理指示程序中之至少一者。
又，於非專利文獻1中，揭示有如下之內容：藉由工廠 之生產管理系統MES(Manufacturing Execute System，製造執行系統)與受理來自MES之各種指示，控制搬送裝置(OHT：Overhead Hoist Transfer，高架移動式無人搬送車)之搬送控制裝置MCS(Material Control System，物料控制系統)共有工廠佈局等資訊，可實現搬送之效率化。又，揭示有如下內容：若設置可自OHT之台車直接移載被搬送體之緩衝區、例如OHB(Over Head Buffer：OHT軌道緩衝區)，且下一步驟之裝置群預先分開，不使用堆料機而將被處理體搬運至適合之緩衝區，藉此可於短時間內向目標裝置搬送。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2009-135275號公報
[專利文獻2]日本專利特開2008-310467號公報
[專利文獻3]日本專利特開2004-134778號公報
[非專利文獻]
[非專利文獻1]山本真，“新一代搬送系統”，SEMI News 2006,Vol.22,No.6
於先前之系統中，處理裝置係當對於被處理體之處理完成時對生產管理系統MES報告已完成之內容，受理上述內容之生產管理系統對搬送控制裝置指示該被處理體之回收及配送。繼而，當處理裝置受理處理結束之被處理體之回 收時，處理裝置向生產管理系統MES報告載入埠(Load Port)空出而成為可接收接下來應處理之被處理體之狀態的內容，受理上述內容之生產管理系統指定於該處理裝置中接下來應處理之被處理體並對搬送控制裝置指示向上述處理裝置送達。於以上述之方式構成之系統中，對處理裝置中之被處理體之處理結束後直至該被處理體由搬送裝置回收為止之時間花費較長。又，為了使接下來應處理之被處理體到達處理裝置亦花費時間。因此，有產生於處理裝置中無接下來應處理之被處理體等狀況，而工廠中之生產效率降低等之虞。或於對於被處理體之處理已結束之裝置於工廠之一部分區域中產生有複數個之情形時，有產生於其等處理裝置之附近之搬送路徑中搬送裝置停滯而搬送花費時間等狀況，而工廠中之生產效率降低等之虞。
本案發明係鑒於上述情況而完成者，其目的在於藉由預測處理裝置中之被處理體之處理結束時間而使搬送裝置投機地移動，從而提高生產效率。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於包含：第1通訊機構，其與對被處理體進行處理之複數之處理裝置之間進行資訊通訊；第2通訊機構，其與包含將被處理體搬送至上述複數之處理裝置之搬送裝置之搬送系統之間，通訊與該搬送裝置之控制相關之控制資訊；搬送時機預測機構，其根據利用上述第1通訊機構通訊而得之資訊，預測該資訊之通訊目標之處理裝置要求被處理體之搬送之搬送時機； 及產生機構，其以於該搬送時機預測機構預測之搬送時機使上述搬送裝置到達上述資訊之通訊目標之處理裝置之方式，產生對於上述搬送系統之控制資訊。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：上述控制資訊包含使未搭載被處理體之搬送裝置向上述資訊之通訊源之處理裝置移動之指示。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：上述控制資訊包含使搭載有被處理體之搬送裝置向上述資訊之通訊源之處理裝置移動之指示。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：上述搬送系統包含複數之搬送裝置，上述控制資訊包含如下之指示：以與對於被處理體之處理於特定期間內結束之處理裝置較少之區域相比，使上述搬送裝置偏向存在於處理於上述期間內結束之處理裝置存在較多之區域中之方式使上述搬送裝置移動。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：上述產生機構係於在上述處理裝置中被處理體之處理結束之前，上述搬送裝置到達該處理裝置之情形時，產生包含使該搬送裝置待機之指示、使上述搬送裝置於上述處理裝置之周邊巡迴之指示、或使上述搬送裝置移動至特定地點之指示之控制資訊。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：上述控制資訊包含以使未搭載被處理體之搬送裝置與搭載有應於上述處理裝置中被處理之被處理體之搬送裝置依序到達上述處理裝 置之方式使各搬送裝置移動之指示。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：其包含直接或間接地通訊自控制上述處理裝置及上述搬送裝置之動作之生產執行控制裝置所發送之生產執行控制資訊的機構，且使自上述生產執行控制裝置所發送之生產執行控制資訊之內容與產生機構產生之控制資訊之內容不相矛盾。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：其中進而包含預測為了於上述搬送時機使搬送裝置到達上述資訊之通訊源之處理裝置所需要之時間即移動所需時間之機構，上述控制資訊包含使上述搬送裝置之移動開始之時機即移動開始時機，上述移動開始時機係較上述搬送時機提前上述移動所需時間之時機。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：上述搬送時機包含上述處理裝置中之處理結束，而可利用上述搬送裝置取出被處理體之時機；於該處理裝置中無應處理之未處理之被處理體之時機；或各時機之間之時機。
關於本發明之生產效率化裝置，上述處理裝置構成為通訊與投入至該處理裝置中之被處理體之剩餘處理時間相關之資訊及與為了連續地繼續處理而算出接下來需要被處理體之時間相關之資訊，且包含：根據與複數之上述處理裝置通訊而得之上述資訊，算出投入至各處理裝置中之被處理體之處理結束之結束時機及各處理裝置需要下一個被處理體之開始時機之機構；及根據所算出之結束時機及開始時機，決定應使上述搬送裝置移動之處理裝置之優先順序 之機構。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：其中包含通訊於上述處理裝置中對於被處理體之處理實際上所需之實績時間或實際上結束處理之實際結束時刻之機構、及將結束預測時機、實績時間或實際結束時刻、及預測結束預測時機所用之資訊建立關聯而進行儲存的機構，上述產生機構使用所儲存之資訊產生控制資訊。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：上述第1通訊機構通訊之資訊包含表示對於被處理體之處理處於特定之處理步驟中之資訊。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：上述第1通訊機構所通訊之資訊包含表示於上述處理裝置中對於被處理體之處理所需之時間或處理結束之預定時機之資訊。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：上述第1通訊機構通訊之資訊包含表示上述處理裝置之自身狀態處於特定之狀態之資訊。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：上述第1通訊機構所通訊之資訊包含與上述處理裝置中之過去之處理所需之實績時間或處理已結束之實績時刻相關之資訊。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：上述第1通訊機構接收於在上述處理裝置中對於被處理體之處理處於特定之處理步驟之情形時所發送之資訊。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：其中包含對上述處理裝置請求為了預測上述處理裝置要求被處理體之搬送 之搬送時機而所需要之資訊之機構，上述第1通訊機構接收根據上述請求而自上述處理裝置發送之資訊。
本發明之生產效率化裝置之特徵在於：其中包含請求上述處理裝置設定發送用以預測上述處理裝置要求被處理體之搬送之搬送時機之資訊之時機的機構。
本發明之生產效率化方法之特徵在於：其係與對被處理體進行處理之複數之處理裝置之間進行資訊通訊；與包含將被處理體搬送至上述複數之處理裝置之搬送裝置之搬送系統之間，通訊與該搬送裝置之控制相關之控制資訊；根據通訊而得之資訊，預測該資訊之通訊目標之處理裝置要求搬出已結束處理之被處理體之搬出時間或要求搬入被處理體之搬入時間，以於與所預測之搬出時間或搬入時間相對應之時機使上述搬送裝置到達上述資訊之通訊目標之處理裝置之方式產生對於上述搬送系統之控制資訊。
本發明之電腦程式之特徵在於其使電腦作為如下機構發揮功能：第1通訊機構，其與對被處理體進行處理之複數之處理裝置之間進行資訊通訊；第2通訊機構，其與包含將被處理體搬送至上述複數之處理裝置之搬送裝置之搬送系統之間，通訊與該搬送裝置之控制相關之控制資訊；根據利用上述第1通訊機構通訊而得之資訊，預測該資訊之通訊目標之處理裝置要求搬出被處理體之搬出時間或要求搬入被處理體之搬入時間之機構；及產生機構，其以於與該機構所預測之搬出時間或搬入時間相對應之時機使上述搬送裝置到達上述資訊之通訊目標之處理裝置之方式產生 對於上述搬送系統之控制資訊。
於本案發明中，接收自處理裝置所發送之資訊，使用所接收之資訊預測該處理裝置要求被處理體之搬送之搬送時機。繼而，產生使搬送裝置向上述處理裝置移動之控制資訊。所產生之控制資訊係發送至搬送系統。搬送裝置之移動係對應於所預測之搬送時機而開始。因此，搬送裝置可不等待被處理體之處理之結束，而開始被處理體之回收、接下來應處理之被處理體之搬送等準備動作。
於本發明中，使未搭載被處理體之搬送裝置向處理裝置移動。搬送裝置自該處理裝置回收處理結束之被處理體。
於本發明中，使搭載有被處理體之搬送裝置向處理裝置移動。即，使搭載有於該處理裝置中接下來應處理之被處理體之搬送裝置向處理裝置移動。處理裝置對由搬送裝置搬送之被處理體進行處理。
於本發明中，搬送裝置偏向存在於在特定期間內處理結束之處理裝置較多之區域中。因此，可有效率地將被處理體搬送至處理裝置。
於本發明中，於在處理裝置中對於被處理體之處理結束之前，搬送裝置到達該處理裝置之情形時，使該搬送裝置待機。又，亦可使搬送裝置於處理裝置之周邊巡迴。進而，亦可使搬送裝置移動至特定地點例如車庫。因此，可避免搬送裝置之停滯，並且自處理裝置有效率地回收處理結束之被處理體，將接下來所需之被處理體向處理裝置搬送。
於本發明中，使未搭載被處理體之搬送裝置向處理裝置移動，自該處理裝置回收處理結束之被處理體。繼而，使搭載有接下來應處理之被處理體之搬送裝置向處理裝置移動，使處理裝置處理被處理體。
於本發明中，直接或間接地接收自生產執行控制裝置所發送之生產執行控制資訊。生產執行控制裝置係確定地控制處理裝置及搬送系統之動作之裝置。另一方面，生產效率化裝置係為了使被處理體之搬送及處理效率化，而於對於搬送裝置及處理裝置之控制內容確定之前階段中，投機地控制搬送裝置之動作之裝置。生產效率化裝置係以自身所產生之控制資訊與自生產執行控制裝置所發送之生產執行控制資訊不相矛盾之方式加以整合。因此，藉由生產效率化裝置所產生之控制資訊，搬送系統不會進行誤動作等，不會對動作帶來障礙。
於本發明中，預測為了於所預測之搬送時機搬送裝置到達處理裝置而所需要之移動所需時間。繼而，將靠近上述搬送時機且上述移動所需時間前之時機設為移動開始時機。控制資訊包含與該移動開始時機相關之資訊。
於本發明中，搬送時機包含上述處理裝置中之處理結束而可利用上述搬送裝置取出被處理體之時機、於該處理裝置中無應處理之未處理之被處理體之時機、或各時機之間之時機。
於本發明中，處理裝置通訊與投入至該處理裝置中之被處理體之剩餘處理時間相關之資訊及與為了連續地繼續處 理而接下來需要被處理體之時間之算出相關之資訊。根據與複數之上述處理裝置通訊而得之上述資訊，算出投入至各處理裝置中之被處理體之處理結束之結束時間及各處理裝置需要下一個被處理體之開始時間，根據所算出之結束時間及開始時間，決定應使上述搬送裝置移動之處理裝置之優先順序。
於本發明中，將處理預測時間、於處理裝置中對於被處理體之處理實際上所需之實績時間或實際上處理已結束之實際結束時刻及處理預測時間之預測所利用之資訊建立關聯而進行儲存，利用所儲存之資訊預測搬送時機。因此，搬送時機之精度提高。
於本發明中，處理裝置發送表示對於被處理體之處理處於特定之處理步驟中之資訊。生產效率化裝置接收自處理裝置所發送之資訊，並使用該資訊預測搬送時機。
於本發明中，處理裝置發送表示於處理裝置中對於被處理體之處理結束之預定時間之資訊。生產效率化裝置接收自處理裝置所發送之資訊，並使用該資訊預測搬送時機。
於本發明中，處理裝置發送表示被處理體處於處理以外之特定之狀態下之資訊。生產效率化裝置接收自處理裝置所發送之資訊，並使用該資訊預測搬送時機。
於本發明中，處理裝置發送與過去之處理結束時間之實績相關之資訊，生產效率化裝置使用該資訊預測處理結束時間。
於本發明中，處理裝置係於在處理裝置中對於被處理體 之處理進入特定之處理步驟之情形時，發送搬送時機之預測所利用之資訊。
於本發明中，生產效率化裝置對處理裝置請求搬送時機之預測所需之資訊，處理裝置根據請求向生產效率化裝置發送該資訊。
於本發明中，生產效率化裝置對處理裝置設定發送搬送時機之預測所需之資訊之時機。處理裝置係於所設定之時機向生產效率化裝置發送上述資訊。
根據本發明，藉由預測處理裝置中之被處理體之處理結束時間並使搬送裝置投機地移動，而可提高生產效率。
以下，針對本發明基於表示其實施形態之圖式進行詳細敍述。
圖1係表示包含本實施形態之生產效率化裝置之生產處理系統之一構成例之方塊圖。本發明之實施形態之生產處理系統包含複數之處理裝置2、包含複數之搬送裝置32及控制該搬送裝置32之動作之搬送控制裝置31之搬送系統3、對處理裝置2及搬送系統3提供控制指示而控制各裝置之動作之生產執行控制裝置4、及於上述複數之處理裝置2及搬送系統3之間進行通訊之生產效率化裝置1。
生產執行控制裝置4構成所謂之MES，為包含如下模組之電腦：根據應被製造之製品之種類、規格等作成生產計劃之排程器模組；依據所作成之生產計劃，進行特定應處 理被處理體之處理裝置2，分別對處理裝置2及搬送系統3指示對於被處理體之處理內容及搬送控制內容之處理之調度器模組等。以下，將自生產執行控制裝置4分別發送至處理裝置2及搬送系統3之控制該處理裝置2及搬送系統3之動作之資訊稱作生產執行控制資訊。
處理裝置2係例如有機EL(Electroluminescence，電致發光)裝置製造用之玻璃基板、對半導體裝置等製造用之矽晶圓等被處理體進行處理之電漿CVD(Chemical Vapor Deposition，化學氣相沈積)裝置、電漿蝕刻裝置、濺鍍裝置等基板處理裝置。又，處理裝置2具有於對於被處理體之處理結束之前，向生產效率化裝置1發送用以預測處理之結束時刻之資訊之功能。再者，於本實施形態中，對使用時刻處理與搬送控制相關之各種時間之例進行說明，但亦可以使用以任意之時間點為基準所得之時間進行處理之方式構成。進而，處理裝置2具有將表示對於被處理體之處理已結束之內容之處理結束資訊向生產執行控制裝置4發送之功能。
圖2係表示處理裝置2之一構成例之方塊圖。處理裝置2係例如多室式之基板處理系統。處理裝置2係為了交接收容被處理體W之FOUP(FOUP：Front Open Unified Pod，前開口式通用容器)而包含設置有載置有FOUP之第1及第2載入埠21a、21b(LP：Load Port)之搭載模組22。於搭載模組22，經由搭載室模組23a、23b(LLM：Load Lock Module)而連接有傳送模組24(TM：Transfer Module)。傳送模組24 包含之真空機械手將通過搭載室模組23a、23b而搬入之被處理體W向製程模組25a、25b、25c、25d(PM：Process Module)搬送。製程模組25a、25b、25c、25d依據處方，對被處理體W實施特定之處理。經處理之被處理體W係沿著相反之路徑，回收至載置於第1或第2載入埠21a、21b之FOUP，以FOUP為單位自載入埠21a、21b搬出。
搬送裝置32係例如沿著設置於頂棚或地板上之軌道行駛之搬送梭、沿著特定之路線行駛之無人搬送車等，為搬送FOUP者。搬送裝置32依據自搬送控制裝置31所提供之指示，於複數之處理裝置2與保管FOUP之堆料機之間移動，搬送收容於FOUP之被處理體。
搬送控制裝置31構成所謂之MCS，係依據自生產執行控制裝置4所提供之生產執行控制資訊及自下述之生產效率化裝置1所提供之控制資訊之一者或兩者，控制搬送裝置32之動作之電腦。
圖3係表示本實施形態之生產效率化裝置1之一構成例之方塊圖。生產效率化裝置1係具有於與處理裝置2之間進行資訊通訊，根據藉由通訊所獲得之資訊，預測於該資訊之發送源之處理裝置2中對於被處理體之處理結束之時刻(以下稱作處理結束時刻)之功能、設定來自處理裝置2之資訊之內容或通訊時機並對處理裝置2進行指示之功能、產生於與所預測之處理結束時刻相對應之時機使搬送裝置32到達上述資訊之發送源之處理裝置2之方式使移動開始之指示資訊之功能等的電腦。指示資訊係與搬送裝置32之控制 相關之控制資訊之一。
具體而言，生產效率化裝置1係包含控制該生產效率化裝置1之各構成部之動作之控制部11例如CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)之電腦。於控制部11，連接有經由匯流排而連接之ROM(Read Only Memory，唯讀記憶體)或RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)等內部記憶裝置13、硬碟驅動器、固態驅動器、或作為可讀出來自可攜式記錄媒體之資料之裝置之CD-ROM驅動器等外部記憶裝置12、第1至第3通訊部14、15、16及時鐘部17。
ROM係記憶有電腦之動作所需之控制程式之遮罩ROM、EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory，電可抹除可編程唯讀記憶體)等非易失性記憶體。
RAM係暫時記憶執行控制部11之運算處理時產生之各種資料或電腦之動作所需之控制程式之DRAM(Dynamic Random Access Memory，動態隨機存取記憶體)、SRAM(Static Random Access Memory，靜態隨機存取記憶體)等易失性記憶體。
第1至第3通訊部14、15、16分別為用以於與處理裝置2、搬送控制裝置31及生產執行控制裝置4之間收發資訊之介面。利用第1至第3通訊部14、15、16之各種資訊之收發係由控制部11控制。
電腦程式5a係記錄於作為以電腦可讀之方式記錄之可攜 式媒體之CD(Compact Disc，緊致光碟)-ROM、DVD(Digital Versatile Disc，數位多功能光碟)-ROM、BD(Blu-ray Disc，藍光光碟)等記錄媒體5或硬碟驅動器、固態驅動器。控制部11自記錄有該等電腦程式5a之可攜式媒體或硬碟驅動器等，讀出電腦程式5a，使其記憶於內部記憶裝置13。又，勿庸置疑，光碟及光碟驅動器係記錄媒體5及外部記憶裝置12之一例，亦可以如下方式構成：以電腦可讀之方式將電腦程式5a記錄於軟性磁碟、磁光碟、外接硬碟、半導體記憶體等，利用上述外部記憶裝置12讀出。又，亦可自連接於通訊網之未圖示之外部電腦下載本發明之電腦程式5a。
圖4及圖5係表示生產效率化裝置1之處理程序之流程圖。
<生產效率化基本流程>
對被處理體執行處理之處理裝置2將為了預測對於被處理體之處理結束之時刻而所需要之資訊向生產效率化裝置1發送(步驟S11)。
(資訊1：通知已通過特定之處理步驟之資訊)
圖6係表示處理裝置2中之資訊發送程序之一例之流程圖。處理裝置2開始對於被處理體之處理(步驟S51)。繼而，處理裝置2判定對於被處理體之處理是否處於所設定之特定之處理步驟中(步驟S52)。於判定處於特定之處理步驟中之情形(步驟S52：YES)時，處理裝置2將表示對於被處理體之處理處於特定之處理步驟中之資訊向生產效率 化裝置1發送(步驟S53)。該資訊係報告處理裝置2中之處理序列已通過特定之處理步驟之資訊。於已終止步驟S53之處理之情形、或判定不處於特定之處理步驟中之情形(步驟S52：NO)時，處理裝置2判定是否已結束對於被處理體之處理(步驟S54)。於判定未結束處理之情形(步驟S54：NO)時，處理裝置2使處理返回至步驟S52，繼續執行對於被處理體之處理。於判定已結束處理之情形(步驟S54：YES)時，處理裝置2向生產執行控制裝置4發送結束資訊(步驟S55)，而終止處理。
例如，所設定之特定之處理步驟，係設定作為針對配置於第1及第2載入埠21a、21b之每個FOUP，收容於各個FOUP之未處理之被處理體之件數未達特定數之步驟，處理裝置2針對載置於載入埠21a、21b之每個FOUP，於收容於FOUP之未處理之被處理體未達特定數之時序向生產效率化裝置1報告。
又，例如，上述所設定之特定之處理步驟於處理裝置2為同時對複數之被處理體進行處理之批量式之熱處理裝置之情形時，係指將執行中之處理序列之結束步驟向前例如3個步驟等作為特定處理步驟而設定之處理步驟。
(資訊2：處理結束預定時刻)
圖7係表示處理裝置2中之資訊發送程序之其他例之流程圖。處理裝置2開始對於被處理體之處理(步驟S71)。繼而，處理裝置2判定對於被處理體之處理是否處於特定之處理步驟中(步驟S72)。於判定處於特定之處理步驟中之 情形(步驟S72：YES)時，處理裝置2將包含對於被處理體之處理結束之結束預定時刻之資訊向生產效率化裝置1發送(步驟S73)。再者，處理結束預定時刻係一例，亦可替換成表示處理結束之預定時機之資訊。自處理裝置2所發送之結束預定時刻既可根據處方之資訊利用特定之運算式算出，亦可根據過去之處理結束時刻以統計方式算出。於已終止步驟S73之處理之情形、或判定未處於特定之處理步驟中之情形(步驟S72：NO)時，處理裝置2判定是否已結束對於被處理體之處理(步驟S74)。於判定未結束處理之情形(步驟S74：NO)時，處理裝置2使處理返回至步驟S72，繼續執行對於被處理體之處理。於判定已結束處理之情形(步驟S74：YES)時，處理裝置2向生產執行控制裝置4發送結束資訊(步驟S75)，而終止處理。
生產效率化裝置1根據依據上述之處理程序而自處理裝置2所發送之資訊，預測處理結束時刻。再者，亦可將自處理裝置2所發送之資訊所表示之時刻直接作為處理結束時刻而進行操作。
(資訊3：特定之狀態)
圖8係表示處理裝置2中之資訊發送程序之其他例之流程圖。處理裝置2開始對於被處理體之處理(步驟S91)。繼而，處理裝置2判定對於被處理體之處理是否處於特定之處理步驟中(步驟S92)。於判定處於特定之處理步驟中之情形(步驟S92：YES)時，處理裝置2將對於被處理體之處理結束之與過去之處理結束時刻之實績相關之資訊向生產 效率化裝置1發送(步驟S93)。與該實績相關之資訊係例如與處理裝置2中之過去之處理所需之實績時間或處理已結束之實績時刻相關之資訊。於已終止步驟S93之處理之情形或判定不處於特定之處理步驟中之情形(步驟S92：NO)時，處理裝置2判定是否已結束對於被處理體之處理(步驟S94)。於判定未結束處理之情形(步驟S94：NO)時，處理裝置2使處理返回至步驟S92，繼續執行對於被處理體之處理。於判定已結束處理之情形(步驟S94：YES)時，處理裝置2記憶處理結束時刻(步驟S95)，向生產執行控制裝置4發送結束資訊(步驟S96)，而終止處理。
生產效率化裝置1統計地對依據上述之處理程序而自處理裝置2所發送之資訊進行處理，預測處理結束時刻。例如，根據處理所需之時間之平均值、離差、最大值、最小值、中央值、最頻值等，預測處理結束時刻。
再者，與過去之處理結束時刻之實績相關之資訊既可於處理裝置2側適當進行加工而向生產效率化裝置1發送，亦可將於處理裝置2中記錄之處理結束時刻之原始資料向生產效率化裝置1發送。
(資訊4：處理裝置之特定之狀態)
圖9係表示處理裝置2中之資訊發送程序之其他例之流程圖。處理裝置2之製程模組25a開始用以維護之乾洗處理等未使用被處理體之處理(步驟S111)。繼而，處理裝置2判定處理裝置2是否處於特定之狀態下(步驟S112)。於判定處於特定之狀態下之情形(步驟S112：YES)時，處理裝置2 將表示自身處於特定之狀態下之資訊向生產效率化裝置1發送(步驟S113)。於已終止步驟S113之處理之情形或判定處理裝置2不處於特定之狀態下之情形(步驟S112：NO)時，處理裝置2判定是否已結束該處理(步驟S114)。於判定未結束處理之情形(步驟S114：NO)時，處理裝置2使處理返回至步驟S112，繼續執行該處理。於判定結束處理之情形(步驟S114：YES)時，處理裝置2向生產執行控制裝置4發送結束資訊(步驟S115)，而終止處理。生產效率化裝置1根據表示處於該特定之狀態下之資訊預測該處理結束之時刻，配合上述時刻進行朝向處理裝置2移動接下來應處理之被處理體之準備。配合該經預測之處理結束之時刻將向處理裝置2移動接下來應處理之被處理體之指示資訊向搬送控制裝置31發送，將被處理體送達至處理裝置2，藉此可縮短未使用處理裝置2之製程模組25a中之被處理體之處理結束之後，直至可開始對於被處理體之處理為止之時間，可提高有助於製程模組25a中之生產之程度，而可提高處理效率。
因此，更佳為藉由為了將接下來應處理之被處理體送達處理裝置2而所需要之時間之統計值，將較未使用被處理體之處理結束之時序提前所求得之統計值之時間量之時序設定為特定之狀態。
(資訊取得方法1：請求)
圖10係表示處理裝置2中之資訊發送程序之其他例之流程圖。生產效率化裝置1之控制部11將請求對於被處理體 之處理之結束預測所需之資訊之請求資訊向處理裝置2發送(步驟S131)。
處理裝置2接收自生產效率化裝置1所發送之上述請求資訊(步驟S132)。繼而，處理裝置2將有請求時之對於被處理體之處理步驟、處理裝置2之狀態、對於被處理體之處理之處方等處理之結束預測所需之資訊向生產效率化裝置1發送(步驟S133)，而終止處理。
(資訊取得方法2：時序設定及變更)
圖11係與處理裝置2中之處理結束預測所需之資訊之發送時序之設定相關之流程圖。生產效率化裝置1之控制部11利用未圖示之輸入裝置受理將處理之結束預測所需之資訊向生產效率化裝置1發送之時序之設定(步驟S151)。繼而，控制部11將請求資訊之發送時序之設定之設定資訊向處理裝置2發送(步驟S152)。
處理裝置2接收自生產效率化裝置1所發送之設定資訊(步驟S153)。繼而，處理裝置2依據於步驟S153中所接收之設定資訊之內容，設定資訊之發送時序(步驟S154)。於已經設定有發送時序之情形時，變更為新設定時序。其後，處理裝置2於步驟S154中所設定之時序，向生產效率化裝置1發送處理結束預測所需之資訊。
再者，對手動地設定資訊之發送時序之例進行了說明，但亦可以自動地變更設定之方式構成。例如，於對於搬送裝置32之移動指示延遲之頻率為閾值以上之情形時，以資訊之發送時序變早之方式進行設定變更。藉由減少對於搬 送裝置32之投機性移動指示之延遲，可進一步使生產效率化。投機性移動指示係指以於與所預測之處理結束時刻相對應之時機搬送裝置32到達上述資訊之發送源之處理裝置2之方式使移動開始之指示。反之，於自處理裝置2發送資訊後，直至實際上指示搬送裝置32之移動為止之時間為特定時間以上之情形時，以使資訊之發送時序延遲之方式進行設定變更。藉由使來自處理裝置2之資訊發送時序最佳化，可提高對於搬送裝置32之投機性移動指示之精度，而進一步使生產效率化。
返回至圖4，對步驟S12以後之處理進行說明。
生產效率化裝置1之控制部11利用第1通訊部14接收自處理裝置2所發送之資訊(步驟S12)，根據所接收之資訊，預測該資訊之發送源之處理裝置2終止處理之處理結束時刻(步驟S13)。該處理結束時刻係例如處理裝置2中之處理結束，而可將已結束該處理之被處理體回收至載置於載入埠之FOUP，並搬出該FOUP之預定之時刻。
繼而，控制部11根據所預測之處理結束時刻，於與該處理結束時刻相對應之時序產生使上述搬送裝置32開始向上述資訊之發送源之處理裝置2移動之投機性指示資訊(步驟S14)，利用第2通訊部15將所產生之投機性指示資訊向搬送控制裝置31發送(步驟S15)。投機性指示資訊係與搬送裝置32之控制相關之控制資訊之一例。
再者，此時生產效率化裝置1亦可以如下之方式構成：將用於以於搬送裝置32之到達預定時機準備應自處理裝置 2回收之被處理體之方式對處理裝置2進行指示之資訊向該處理裝置2發送。上述處理裝置2係於收到自生產效率化裝置1所發送之上述資訊之情形時，執行用以向搬送裝置32交付被處理體之準備處理。
發送用以使搬送裝置32之移動開始之投機性指示資訊之時序係根據為了搬送裝置32向處理裝置2移動而所需要之所需時間、及處理裝置2中之處理結束而可取出已結束該處理之被處理體之預定之時刻而決定。例如，以配合可自處理裝置2取出被處理體之預定之時刻，而搬送裝置32到達該處理裝置2之方式指示搬送裝置32之移動即可。再者，於搬送裝置32停滯之虞較低之情形時，亦可以相較可自處理裝置2取出被處理體之預定之時刻而搬送裝置32提前到達之方式構成。反之，於預想到搬送裝置32停滯之情形時，為了避免由搬送裝置之移動而引起之停滯，亦可以搬送裝置32於遲於可自處理裝置2取出被處理體之預定之時刻到達處理裝置2之方式構成。於下述之變形例中對其他較佳之移動指示之時序進行說明。
再者，為了搬送裝置32向處理裝置2移動而所需要之所需時間係考慮搬送裝置32與處理裝置2之距離、搬送裝置32之移動速度、搬送路徑、停滯狀況、其他狀況而算出。例如，亦可記錄移動所需之時間，根據該記錄之時間統計地算出，亦可藉由根據搬送裝置32之位置、搬送路徑及移動速度內部地進行模擬而算出，亦可藉由模擬複數之搬送裝置32各自之移動預定與以上述移動預定為基礎之搬送路 徑之混亂狀況而算出。
進而，將以與對於被處理體之處理於特定期間內結束之處理裝置2較少之區域相比，使上述搬送裝置32偏向存在於處理於上述期間內結束之處理裝置2存在較多之區域中之方式使搬送裝置32移動之指示包含於指示資訊中即可。可防止搬送裝置32之無意義之過密化及過稀化，可更有效率地使搬送裝置32移動至處理裝置2。
搬送控制裝置31接收自生產效率化裝置1所發送之投機性指示資訊(步驟S16)。繼而，搬送控制裝置31根據所接收之投機性指示資訊，執行搬送裝置32之車輛調度排程及搬送裝置32之待機處理(步驟S17)，向空閒搬送裝置32發送移動指示(步驟S18)。於步驟S18中進行之指示係與先於自生產執行控制裝置4所發送之確定之控制指示所進行之投機性準備相關之指示。亦可與向搬送裝置32發送移動指示(步驟S18)之同時，發送回收指示。
搬送裝置32接收來自搬送控制裝置31之移動指示(步驟S19)。繼而，空閒搬送裝置32依據所接收之指示，向所指示之處理裝置2附近移動(步驟S20)。即，用以回收由處理裝置2處理之被處理體之搬送裝置32先於來自生產執行控制裝置4之指示，向該處理裝置2移動。
又，使被處理體搭載之搬送裝置32詳細而言搭載有於該第1處理裝置2中接下來應處理之被處理體之搬送裝置32向所指示之處理裝置2(以下稱作第1處理裝置2)附近移動(步驟S21)。再者，於無搭載有於上述第1處理裝置2中接下來 應處理之被處理體之搬送裝置32之情形時，為了利用上述第1處理裝置2之前一步驟之處理裝置2(以下稱作第2處理裝置2)取出等待回收之該被處理體而使空閒搬送裝置32向該第2處理裝置2或保管有於處理裝置2中接下來應處理之被處理體之堆料機(未圖示)移動，搭載接下來應處理之被處理體之後，使該搬送裝置32移動至所指示之上述第1處理裝置2。
處理裝置2終止對於被處理體之處理(步驟S22)，向生產執行控制裝置4發送表示處理已結束之結束資訊(步驟S23)。
生產執行控制裝置4自處理裝置2接收結束資訊(步驟S24)，向生產效率化裝置1發送確定之搬送指示資訊(步驟S25)。搬送指示資訊為生產執行控制資訊之一。
生產效率化裝置1之控制部11利用第3通訊部16接收自生產執行控制裝置4所發送之搬送指示資訊(步驟S26)。繼而，控制部11使步驟S14中所產生之投機性指示資訊之內容與步驟S26中所接收之搬送指示資訊之內容整合(步驟S27)，向搬送控制裝置31發送經整合之搬送指示資訊(步驟S28)。
以下，對使搬送指示資訊與投機性指示資訊整合之處理進行說明。首先，對由處理裝置2、生產執行控制裝置4及搬送控制裝置31進行之既存之序列進行說明。若存在處理裝置2中之處理結束而可自處理裝置2搬出之被處理體，則處理裝置2將處理結束而可搬出之內容之資訊向生產執行 控制裝置4發送。生產執行控制裝置4係於收到上述處理結束而可搬出之內容之資訊之情形時，對搬送控制裝置31，發送表示自該處理裝置2回收該被處理體之指示之搬送指示資訊。搬送控制裝置31係於收到該搬送指示資訊之情形時，依據該搬送指示資訊使搬送裝置32向該處理裝置2移動，進行被處理體之回收。
藉由本實施形態之生產效率化裝置之導入，亦無需對如上所述之既存之序列進行較大之變更，因此生產效率化裝置1以如下之方式構成即可：即便於來自處理裝置2之處理結束報告發出之前，根據處理結束之預測時機，以於該預測時機使搬送裝置32到達處理裝置2之方式使搬送裝置32移動，因而使得搬送裝置32到達與目的地之處理裝置2相對應之位置，在自生產執行控制裝置4向搬送控制裝置31發出被處理體之回收指示之前，只要使搬送裝置32停留於與上述處理裝置2相對應之位置並待機，或使其於附近周遊等即可。於以上述之方式構成之情形時，搬送控制裝置31若收到來自生產執行控制裝置4之被處理體之回收指示，則對應於上述收信利用該搬送裝置32自處理裝置2進行被處理體之回收。
以此方式，將用以對搬送裝置32指示投機性搬送之投機性指示資訊、與用以對搬送裝置32指示來自處理裝置2之被處理體之回收或送達之搬送指示資訊分開，將被處理體之移載作業之實施以等待來自生產執行控制裝置4之指示之方式，與既存之搬送執行控制裝置4之控制序列加以整 合。
再者，使搬送指示資訊與投機性指示資訊整合之上述處理係為一例，並不限定於此。例如，於上述例中，搬送裝置32等待來自生產執行控制裝置4之指示，進行被處理體之回收，但於藉由本實施形態之生產效率化裝置之導入，容許對既存之序列進行變更而以進一步提高生產效率為目標之情形時，亦可以如下方式進行整合：即便於自生產執行控制裝置4發送搬送指示資訊之前，只要當搬送裝置32及處理裝置2成為可回收被處理體之狀態時便可隨即執行已結束處理之被處理體之回收，於未自生產執行控制裝置指示下一搬送目標之處理裝置之情形時，亦可藉由搬送至附近之緩衝區或堆料機加以保管，使其處於當接獲接下來於上述裝置中進行處理之被處理體之搬入之命令時可隨即對應之狀態，或亦可自生產效率化裝置1或搬送控制裝置31對生產執行控制裝置請求與接下來搬送該處理體之搬送目標相關之指示，而根據所獲得之指示將該被處理體搬送至下一個處理裝置或堆料機。進而，亦可以於自生產執行控制裝置4發送搬送指示資訊之前，搬送裝置32自處理裝置2回收被處理體，或將FOUP載置於處理裝置2之方式構成。於此情形時，搬送控制裝置31將表示搬送裝置32之處理內容之資訊向生產執行控制裝置4發送，生產執行控制裝置4根據該資訊，修正對於以後之處理裝置2及搬送裝置32之控制內容即可。
搬送控制裝置31接收自生產效率化裝置1所發送之經整 合之搬送指示資訊(步驟S29)。繼而，搬送控制裝置31將指示被處理體之回收之回收指示、及將處理結束之被處理體向其他處理裝置2或堆料機(未圖示)搬送之搬送指示向搬送裝置32發送(步驟S30)。
空閒搬送裝置32接收自搬送控制裝置31所發送之回收指示及搬送指示(步驟S31)，依據所接收之回收指示，向所指定之處理裝置2移動，回收被處理體(步驟S32)。搭載有所回收之被處理體之搬送裝置32將該被處理體搬送至該處理裝置2或堆料機(步驟S33)。
再者，表示於上述處理程序中，相較被處理體搭載之搬送裝置之移動而先指示空閒搬送裝置之移動之例，但根據搬送裝置32之配置狀況，亦可使被處理體搭載之搬送裝置之移動先開始，繼而指示空閒搬送裝置之移動。例如，於空閒搬送裝置與被處理體搭載之搬送裝置相比更位於處理裝置2附近般之情形時，由於被處理體搭載之搬送裝置之移動更需要時間，故而先指示被處理體搭載之搬送裝置之移動即可。
<投機準備失敗追隨處理>
圖12係表示對於搬送裝置32之投機性指示未中之情形時之處理程序之流程圖。搬送控制裝置31可監視搬送裝置32之狀態及自生產執行控制裝置4所發送之生產執行控制資訊，識別於處理裝置2中之被處理體之處理結束之前搬送裝置32已到達。搬送控制裝置31係於處理裝置2中之被處理體之處理結束之前搬送裝置32已到達之情形時，向生產 效率化裝置1發送投機性移動失敗通知(步驟S171)。
生產效率化裝置1之控制部11係於自搬送控制裝置31收到投機性移動失敗通知之情形(步驟S172)時，產生搬送裝置32之待機或巡迴、或使搬送裝置32向車庫移動之指示資訊(步驟S173)。繼而，控制部11將步驟S173中所產生之指示資訊向搬送控制裝置31發送(步驟S174)。
搬送控制裝置31係於收到自生產效率化裝置1所發送之指示資訊之情形(步驟S175)時，將使到達處理裝置2之搬送裝置32待機或巡迴、或使搬送裝置32向特定之車庫移動之指示發送至搬送裝置32(步驟S176)。
搬送裝置32依據搬送控制裝置31之指示，於處理裝置2周邊待機，於周邊進行巡迴，或向特定之車庫移動(步驟S177)。
根據本實施形態，預測處理裝置2中之被處理體之處理結束時間而投機地搬送被處理體，藉此可縮短搬送裝置32之搬送時間而提高對於被處理體之處理效率，從而提高生產效率。
又，於向在現狀中處理負荷亦較高之生產執行控制裝置4發送處理裝置2之動作狀況，而執行預測處理之情形時，有生產執行控制裝置4之處理負荷進一步增大，對於搬送裝置2及處理裝置2之控制延遲，生產效率反而變差之虞。然而，根據本實施形態，由於藉由生產效率化裝置1之控制，可使搬送裝置32投機地移動，故而可避免上述問題，並且提高生產效率。
再者，於上述實施形態中，對以預測處理裝置2中之被處理體之處理結束之時刻，使搬送裝置32向該處理裝置2附近移動之方式構成之例進行了說明，但亦可以不進行處理結束預測而指示搬送裝置32之投機性移動之方式構成。
例如，亦可以如下之方式構成：以自處理裝置2於特定之時序輸出事件信號之方式構成，生產效率化裝置1於收到自處理裝置2所輸出之事件信號之情形時，立即使搬送裝置32向該處理裝置2移動。事件信號之內容及輸出時序並無特別限定。具體而言，事件信號係於對於被處理體之處理進入至特定步驟之情形時輸出之信號、於處理裝置2處於特定之狀態下之情形時輸出之信號、包含自處理裝置2所輸出之處理結束時刻資訊之信號等。
又，亦可以如下之方式構成：生產效率化裝置1係於收到自處理裝置2所輸出之事件信號之情形時，於收到該事件信號後經過特定時間後，使搬送裝置32向該處理裝置2移動。
進而，於本實施形態中，以先於來自生產執行控制裝置4之控制命令，投機地指示搬送裝置32之移動之方式構思，但亦可根據狀況，於來自生產執行控制裝置4之控制命令發送之後，生產效率化裝置1向搬送控制裝置31發送搬送裝置32之移動指示。
於以處理裝置2向生產執行控制裝置4發送處理之狀況，使生產執行控制裝置4執行預測處理之方式構成之情形時，有生產執行控制裝置4之處理負荷在現狀中亦較高， 結果處理負荷進一步增大，對於搬送裝置32及處理裝置2之控制延遲，生產效率反而變差之虞。然而，根據本實施形態，搬送控制裝置31與生產效率化裝置1係分開設置生產效率化裝置1，藉此可將生產執行裝置4之處理負荷之增大抑制於最小限度。
又，於本實施形態中，對個別地設置生產執行裝置4、搬送控制裝置31及生產效率化裝置1之例進行了說明，但亦可使1個電腦構築生產效率化裝置1與搬送控制裝置31之功能。
(變形例1：統計之處理結束預測)
圖13係表示與變形例1中之生產效率化相關之處理程序之流程圖。處理裝置2及生產效率化裝置1之控制部11係與圖4之步驟S11~步驟S12相同，進行資訊之收發(步驟S191、192)、對於處理裝置2中之被處理體之處理結束預測(步驟S193)。
然後，已終止對於被處理體之處理之處理裝置2將實際上已終止對於被處理體之處理之實際結束時刻向生產效率化裝置1發送(步驟S194)。再者，亦可以代替實際結束時刻，發送為了終止對於被處理體之處理而實際上所需之實際結束時間，使用實際結束時間執行以下處理之方式構成。
生產效率化裝置1之控制部11接收自處理裝置2所發送之實際結束時刻(步驟S195)，將結束預測時刻、自處理裝置2所發送之實際結束時刻及處理結束預測所使用之資訊建 立關聯而儲存於內部記憶裝置13(步驟S196)。再者，與處理結束時刻及實際結束時刻建立關聯之資訊包含例如特定處理裝置2之ID(Identifier，識別符)、處方等。如上所述，生產效率化裝置1係每於進行處理裝置2中之處理之結束預測時，將結束預測時間、實際結束時刻及結束預測所使用之資訊建立關聯而進行儲存。儲存於內部記憶裝置13之與處理結束預測相關之資訊係利用於處理結束預測。
繼而，於將上述資訊儲存於內部記憶裝置13之後，再次自處理裝置2，將處理結束預測所需之資訊發送至生產效率化裝置1之情形(步驟S197)時，生產效率化裝置1接收該資訊(步驟S198)，使用所接收之資訊與儲存於內部記憶裝置13之資訊，預測於作為上述資訊之發送源之處理裝置2中處理結束之時刻(步驟S199)。處理結束預測之統計計算方法並無特別限定。例如，根據內部記憶裝置13記憶之資訊，計算處理結束時刻之最大值、最小值、平均值、最頻值、離差等，算出處理結束時刻。以下，執行與圖4之步驟S14以後之處理相同之處理。
根據變形例1之生產效率化裝置1，由於以統計地算出處理結束時刻之方式構成，故而可於更恰當之時序投機地指示搬送裝置32之移動，而可進一步提高生產效率。
(變形例2：同步)
圖14係表示變形例2之空閒搬送裝置及被處理體搭載之搬送裝置之到達時序之時序圖。圖14A表示被處理體搭載之搬送裝置之到達時序之概率分佈，圖14B表示空閒搬送 裝置之到達時序之概率分佈，圖14C及圖14D表示對載置於第1及第2載入埠21a、21b之被處理體進行處理之時序。
變形例2之生產效率化裝置1根據為了搬送裝置32向處理裝置2移動而所需要之所需時間、對於載置於該處理裝置2中之第1載入埠21a之被處理體之處理結束而可取出已結束該處理之被處理體之預定之第1時刻、及對於載置於第2載入埠21b之被處理體之處理全部結束之預定之第2時刻，於自第1時刻直至第2時刻為止之期間搬送裝置32可到達之時序指示搬送裝置32之移動。例如，生產效率化裝置1之控制部11算出空閒搬送裝置到達處理裝置2之時刻之概率分佈與被處理體搭載之搬送裝置到達處理裝置2之時刻之概率分佈，以各概率分佈係分佈於第1時刻與第2時刻之間，且與空閒搬送裝置之到達時刻相關之概率分佈相較與被處理體搭載之搬送裝置之到達時刻相關之概率分佈更靠近第1時刻而分佈之方式，指示各搬送裝置32之移動。更佳為以各概率分佈不重複之方式，即以各概率分佈之重複部分之比例未達特定值之方式指示搬送裝置32之移動即可。再者，第1及第2時刻可根據載入埠之切換時刻與處理之被處理體之件數、處方等而預測。
若更具體地進行說明，則如圖14所示，於對載置於第1載入埠21a之被處理體進行處理之情形時，根據自處理裝置2所發送之資訊，預測對於該被處理體之處理結束，而可取出已結束該處理之被處理體之第1時刻。又，已結束對於上述被處理體之處理之後，對載置於第2載入埠21b之 被處理體執行處理，控制部11使用處方預測對於該被處理體之處理全部結束之第2時刻。繼而，控制部11推定為了搬送裝置32向該處理裝置2移動而所需要之所需時間，於上述第1時刻與第2時刻之間空閒搬送裝置與被處理體搭載之搬送裝置可依序到達之時序指示搬送裝置32之移動。
根據變形例2之生產效率化裝置1，可於恰當之時序投機地指示搬送裝置32之移動，而可進一步提高生產效率。
(變形例3：優先度排程)
繼而，對本發明之變形例3進行說明。
於本變形例3中，生產效率化裝置1係藉由預測處理結束時刻，求出可自處理裝置搬出之時序與於處理裝置2中無其後應處理之被處理體之時序。
例如，於在處理裝置2中，收納有藉由處理結束而可自該處理裝置2搬出之被處理體之FOUP存在於一個載入埠上之情形時，於該處理裝置2中，與該可搬出之FOUP不同之收納有未處理之被處理體之FOUP存在於不同之載入埠，而殘留未處理之被處理體之情形時，直至製程模組到達無法對被處理體進行處理之狀態為止存在寬限時間。藉由針對每一存在於處理裝置2內之複數之被處理體或以收納有被處理體之FOUP為單位預測處理結束時刻，與生產效率化裝置1向搬送控制裝置31發送之搬送必需時機相關之資訊係設為具有如下之時間範圍之資訊：將收納於載置於至少一個載入埠之FOUP之被處理體之處理結束而可利用搬送裝置進行回收之時機作為起點，將對於收納於載置於其 他載入埠之FOUP之被處理體之處理結束而於裝置內無其後應處理之被處理體之時機作為終點。
藉此，搬送控制裝置31係以於自搬送必需時機之起點至終點之期間搬送裝置32到達處理裝置2之方式進行控制即可，由於以此方式具有時間範圍故而於搬送控制裝置31中考慮搬送之優先度，已減少搬送路徑中之搬送裝置32之混亂之搬送裝置32之移動排程變得容易。進而，若例如對於處理裝置2中之被處理體之處理結束，自處理裝置2向生產執行控制裝置4形成處理已結束之內容之報告，自生產執行控制裝置4向搬送控制裝置31發出自該處理裝置回收被處理體之指示後，直至上述搬送必需時機之終點為止時間亦充裕，則搬送控制裝置31考慮複數之搬送裝置之位置或移動狀態，亦可以不順應來自上述生產執行控制裝置4之回收指示，延遲移動而使得不產生混亂之方式構築。
以此方式，即便於處理裝置2中，產生處理結束而可搬出之被處理體，只要未成為無應處理之未處理之被處理體之狀態，則製程模組亦可連續地繼續處理，因此可維持處理裝置2之較高之生產效率。
(變形例4：優先度排程)
圖15係表示與變形例4中之生產效率化相關之處理順序之流程圖。投機地使搬送裝置32移動之後，自生產執行控制裝置4發送搬送指示資訊(步驟S211)，於生產效率化裝置1收到該搬送指示資訊之情形(步驟S212)時，生產效率化裝置1之控制部11對處理裝置2請求載入埠21a、21b之切 換時刻及現在進行之記述有對於被處理體之處理內容之處方(步驟S213)。
處理裝置2係於自生產效率化裝置1收到載入埠21a、21b之切換時刻及處方之請求之情形(步驟S214)時，將最近之載入埠切換時刻與現在進行之記述有對於被處理體之處理內容之處方向生產效率化裝置1發送(步驟S215)。
生產效率化裝置1之控制部11接收自處理裝置2所發送之載入埠切換時刻及處方(步驟S216)。繼而，控制部11根據現在之時刻、載入埠切換時刻及處方，算出直至現在進行之處理結束為止之時間(以下稱作處理剩餘時間)(步驟S217)。繼而，控制部11係於需要被處理體之搬送之處理裝置2存在複數個之情形時，決定應安排搬送裝置32之處理裝置2之優先順序(步驟S218)。優先順序係以處理剩餘時間越短則越高之方式決定。
繼而，控制部11將與優先順序相對應之回收指示及搬送指示資訊向搬送控制裝置31發送(步驟S219)。
藉由以此方式對搬送裝置32之移動進行排程，有時並非以處理裝置2中之處理結束後搬送裝置32當即到達之方式指示搬送裝置32之移動，亦可斟酌於其他處理裝置2中無應處理之被處理體般之事態，使搬送裝置32優先地向似乎發生等待被處理體之到達般之處理裝置2移動。
根據變形例4之生產效率化裝置1，由於以決定需要搬送裝置32之安排之處理裝置2之優先順序，而優先地使搬送裝置32移動之方式構成，故而可進一步提高生產效率。
(變形例5：生產執行控制裝置4之連接例)
圖16係表示變形例5之生產處理系統之一構成例之方塊圖。於上述實施形態中，對生產效率化裝置1包含於與處理裝置2、搬送控制裝置31、生產執行控制裝置4之間進行資訊之通訊之第1至第3通訊部14、15、16之例進行了說明，但亦可以間接地接收來自生產執行控制裝置4之資訊之方式構成。例如，亦可以經由搬送控制裝置31接收自生產執行控制裝置4所發送之資訊之方式構成。
根據變形例5之生產效率化裝置1，無需於與生產執行控制裝置4之間收發資訊之介面，而可以低成本構築通訊系統。
(變形例6：搬送系統3之通訊線沿用)
圖17係表示變形例6之生產處理系統之一構成例之方塊圖。於至目前為止所說明之本發明中之形態中，對變形例6之生產效率化裝置1包含用以與處理裝置2通訊之專用線之例進行了說明，但並不限定於此，變形例6之生產效率化裝置1係以沿用於搬送控制裝置31與搬送裝置32之間收發資訊之通訊線路33，接收自處理裝置2所發送之資訊之方式構成。通訊線路33係沿著例如構成搬送系統3之搬送裝置32之搬送路徑而敷設。
又，亦可以如下之方式構成：經由通訊線路33，於用以搬送系統3所包含之搬送被處理基板之搬送裝置32進行被處理基板對於處理裝置2之交接之停止點附近，配置將與處理裝置2之通訊線路連接之存取點(室)。
根據變形例6之生產效率化裝置1，無需於與處理裝置2之間收發資訊之專用線，而可以低成本構築通訊系統。
(變形例7：被處理體搭載之搬送裝置移動指示處理)
圖18及圖19係表示與變形例7中之生產效率化相關之處理順序之流程圖。變形例7之生產效率化裝置1係利用來自生產執行控制裝置4之資訊進行被處理體搭載之搬送裝置之更確切之投機性移動指示者。
對被處理體執行處理之處理裝置2將為了預測對於被處理體之處理結束之時刻而所需要之資訊向生產效率化裝置1發送(步驟S231)。
生產效率化裝置1之控制部11利用第1通訊部14接收自處理裝置2所發送之資訊(步驟S232)，根據所接收之資訊，預測該資訊之發送源之處理裝置2終止處理之處理結束時刻(步驟S233)。
繼而，控制部11根據所預測之處理結束時刻，產生空閒搬送裝置之投機性指示資訊(步驟S234)，利用第2通訊部15將所產生之空閒搬送裝置之投機性指示資訊向搬送控制裝置31發送(步驟S235)。
搬送控制裝置31接收自生產效率化裝置1所發送之空閒搬送裝置之投機性指示資訊(步驟S236)。繼而，搬送控制裝置31根據所接收之投機性指示資訊，指示搬送裝置32之準備與移動即車輛調度之排程及搬送裝置32之待機(步驟S237)，發送空閒搬送裝置之移動指示(步驟S238)。
搬送裝置32接收來自搬送控制裝置31之指示(步驟 S239)。繼而，收到上述指示之搬送裝置32依據所接收之指示，向所指示之處理裝置2附近移動(步驟S240)。即，用以回收由處理裝置2處理之被處理體之搬送裝置32係先於來自生產執行控制裝置4之指示，向該處理裝置2移動。
繼而，控制部11對生產執行控制裝置4請求於資訊之發送源之處理裝置2中接下來應處理之被處理體之批號等與下一處理相關之資訊(步驟S241)。
生產執行控制裝置4係於自生產效率化裝置1收到與下一處理相關之資訊之請求之情形(步驟S242)時，將與下一處理相關之被處理體之指定資訊或用以特定與下一處理相關之被處理體之資訊向生產效率化裝置1發送(步驟S243)。
生產效率化裝置1之控制部11接收自生產執行控制裝置4所發送之資訊(步驟S244)，根據該資訊產生被處理體搬送之投機性指示資訊(步驟S245)，利用第2通訊部15將所產生之被處理體搬送之投機性指示資訊向搬送控制裝置31發送(步驟S246)。
搬送控制裝置31接收自生產效率化裝置1所發送之被處理體搬送之投機性指示資訊(步驟S247)。繼而，搬送控制裝置31根據所接收之投機性指示資訊，特定正搭載有上述指定之被處理體之搬送裝置32並執行車輛調度之排程及該搬送裝置32之待機處理(步驟S248)，發送移動指示(步驟S249)。如下所述，於步驟S248中進行之指示係與先於自生產執行控制裝置4所發送之確定之控制指示而進行之投機性準備相關之指示。再者，於步驟S248中所指定之被處 理體未搭載於搬送裝置32，而保管於堆料機中等之情形時等，搬送控制裝置31執行上述指定之被處理體之現在之保管場所特定、用以搭載該被處理體之搬送裝置32之準備、該被處理體之搭載與移動之排程、及該搬送裝置32之待機處理即可。
搬送裝置32接收來自搬送控制裝置31之指示(步驟S250)。繼而，搬送裝置32依據所接收之指示，搭載與該處理裝置2之下一處理相關之被處理體並向所指示之處理裝置2附近移動(步驟S251)。即，用以搬送於處理裝置2中接下來應處理之被處理體之搬送裝置32先於來自生產執行控制裝置4之指示，向該處理裝置2移動。
再者，於空閒搬送裝置之投機性移動指示之處理中已說明之各種變形例亦可應用於搭載有被處理體之搬送裝置之投機性移動指示。
根據變形例7之生產效率化裝置1，可確切地指示被處理體搭載之搬送裝置之投機性移動，而可提高生產效率。
於本實施形態中，對個別地設置生產執行裝置4、搬送控制裝置31及生產效率化裝置1之例進行了說明，但亦可使生產效率化裝置1進一步具有搬送控制裝置31之功能。
此次所揭示之實施形態係於所有方面均為例示，應認為並無限制。本發明之範圍並非由上述之意義，而由申請專利範圍所表示，意圖包含與申請專利範圍均等之意義及範圍內之所有變更。
此次所揭示之實施形態係作為使用作為收容被處理體且 於側面包含可開閉之蓋之密閉容器之FOUP搬送被處理體之例進行了說明，但即便為於下表面包含蓋之SMIF(Standard Mechanical Interface，標準機械介面)晶圓盒亦可進行應用，亦可為作為未密閉之開放型之收容容器之開放式晶圓匣，收容於收容容器之被處理體之件數亦可為1塊，亦可為不將被處理體放入容器中而使被處理體本身移動之形態。
1‧‧‧生產效率化裝置
2‧‧‧處理裝置
3‧‧‧搬送系統
4‧‧‧生產執行控制裝置
5‧‧‧記錄媒體
5a‧‧‧電腦程式
11‧‧‧控制部
12‧‧‧外部記憶裝置
13‧‧‧內部記憶裝置
14‧‧‧第1通訊部
15‧‧‧第2通訊部
16‧‧‧第3通訊部
17‧‧‧時鐘部
21a‧‧‧第1載入埠
21b‧‧‧第2載入埠
22‧‧‧搭載模組
23a‧‧‧搭載室模組
23b‧‧‧搭載室模組
24‧‧‧傳送模組
25a‧‧‧製程模組
25b‧‧‧製程模組
25c‧‧‧製程模組
25d‧‧‧製程模組
31‧‧‧搬送控制裝置
32‧‧‧搬送裝置
圖1係表示包含本實施形態之生產效率化裝置之生產處理系統之一構成例之方塊圖。
圖2係表示處理裝置之一構成例之方塊圖。
圖3係表示本實施形態之生產效率化裝置之一構成例之方塊圖。
圖4係表示生產效率化裝置之處理程序之流程圖。
圖5係表示生產效率化裝置之處理程序之流程圖。
圖6係表示處理裝置中之資訊發送程序之一例之流程圖。
圖7係表示處理裝置中之資訊發送程序之其他例之流程圖。
圖8係表示處理裝置中之資訊發送程序之其他例之流程圖。
圖9係表示處理裝置中之資訊發送程序之其他例之流程圖。
圖10係表示處理裝置中之資訊發送程序之其他例之流程 圖。
圖11係與處理裝置中之處理結束預測所需之資訊之發送時序之設定相關的流程圖。
圖12係表示對於搬送裝置之投機性指示未中之情形時之處理程序之流程圖。
圖13係表示與變形例1中之生產效率化相關之處理程序之流程圖。
圖14係表示變形例2之空閒搬送裝置及被處理體搭載之搬送裝置之到達時序之時序圖。
圖15係表示與變形例4中之生產效率化相關之處理順序之流程圖。
圖16係表示變形例5之生產處理系統之一構成例之方塊圖。
圖17係表示變形例6之生產處理系統之一構成例之方塊圖。
圖18係表示與變形例7中之生產效率化相關之處理順序之流程圖。
圖19係表示與變形例7中之生產效率化相關之處理順序之流程圖。
1‧‧‧生產效率化裝置
2‧‧‧處理裝置
3‧‧‧搬送系統
4‧‧‧生產執行控制裝置
31‧‧‧搬送控制裝置
32‧‧‧搬送裝置

Claims (17)

  1. 一種生產效率化裝置，其包含：第1通訊機構，其於與對被處理體進行處理之複數之處理裝置之間進行資訊通訊；第2通訊機構，其於與包含將被處理體搬送至上述處理裝置之搬送裝置之搬送系統之間，通訊與該搬送裝置之控制相關之控制資訊；搬送時機預測機構，其根據利用上述第1通訊機構通訊而得之資訊，預測上述資訊之通訊目標之處理裝置需要被處理體之搬送之搬送時機；產生機構，其以使上述搬送裝置於該搬送時機預測機構所預測之搬送時機到達上述資訊之通訊目標之處理裝置之方式，產生對於上述搬送系統之控制資訊；及預測為了使搬送裝置於上述搬送時機到達上述資訊之通訊源之處理裝置所需要之時間即移動所需時間的機構；上述控制資訊包含使上述搬送裝置之移動開始之時機即移動開始時機，上述移動開始時機係較上述搬送時機提前上述移動所需時間之時機。
  2. 一種生產效率化裝置，其包含：第1通訊機構，其於與對被處理體進行處理之複數之處理裝置之間進行資訊通訊；第2通訊機構，其於與包含將被處理體搬送至上述處理裝置之搬送裝置之搬送系統之間，通訊與該搬送裝置 之控制相關之控制資訊；搬送時機預測機構，其根據利用上述第1通訊機構通訊而得之資訊，預測上述資訊之通訊目標之處理裝置需要被處理體之搬送之搬送時機；及產生機構，其以使上述搬送裝置於該搬送時機預測機構所預測之搬送時機到達上述資訊之通訊目標之處理裝置之方式，產生對於上述搬送系統之控制資訊；其中上述控制資訊包含使未搭載被處理體之搬送裝置向上述資訊之通訊源之處理裝置移動之指示；上述產生機構係於在上述處理裝置中被處理體之處理結束之前，上述搬送裝置到達該處理裝置之情形時，產生包含使該搬送裝置待機之指示、使上述搬送裝置於上述處理裝置之周邊巡迴之指示、或使上述搬送裝置移動至特定地點之指示的控制資訊。
  3. 如請求項1或2之生產效率化裝置，其中上述控制資訊包含使搭載有被處理體之搬送裝置向上述資訊之通訊源之處理裝置移動之指示。
  4. 如請求項1或2之生產效率化裝置，其中上述搬送系統包含複數之搬送裝置；上述控制資訊包含如下之指示：以與對於被處理體之處理於特定期間內結束之處理裝置較少之區域相比，使上述搬送裝置偏向存在於處理於上述期間內結束之處理裝置存在較多之區域中的方式使上述搬送裝置移動。
  5. 如請求項1或2之生產效率化裝置，其中 上述控制資訊包含以使未搭載被處理體之搬送裝置與搭載有應於上述處理裝置中被處理之被處理體之搬送裝置依其順序到達上述處理裝置之方式使各搬送裝置移動之指示。
  6. 如請求項1或2之生產效率化裝置，其中包含直接或間接地通訊自控制上述處理裝置及上述搬送裝置之動作之生產執行控制裝置所發送之生產執行控制資訊的機構；且使自上述生產執行控制裝置所發送之生產執行控制資訊之內容與產生機構所產生之控制資訊之內容不相矛盾。
  7. 如請求項1或2之生產效率化裝置，其中上述搬送時機包含上述處理裝置中之處理結束而可利用上述搬送裝置取出被處理體之時機、於該處理裝置中無應處理之未處理之被處理體之時機、或各時機之間之時機。
  8. 如請求項1或2之生產效率化裝置，其中上述處理裝置構成為通訊與投入至該處理裝置中之被處理體之剩餘處理時間相關之資訊、及與為了連續地繼續處理而接下來需要被處理體之時間之計算相關之資訊；且包含如下機構：根據與複數之上述處理裝置通訊而得之上述資訊，算出被投入至各處理裝置中之被處理體之處理結束之結束時機及各處理裝置需要下一個被處理體之開始時機之機 構；及根據所算出之結束時機及開始時機，決定應使上述搬送裝置移動之處理裝置之優先順序之機構。
  9. 如請求項1或2之生產效率化裝置，其中包含如下機構：通訊於上述處理裝置中對於被處理體之處理實際上所需之實績時間或實際上已結束處理之實際結束時刻之機構；及將結束預測時機、實績時間或實際結束時刻、及預測結束預測時機所使用之資訊建立關聯而儲存之機構；上述產生機構使用所儲存之資訊產生控制資訊。
  10. 如請求項1或2之生產效率化裝置，其中上述第1通訊機構通訊之資訊包含表示上述處理裝置之自身狀態處於特定之狀態之資訊。
  11. 如請求項1或2之生產效率化裝置，其中上述第1通訊機構所通訊之資訊包含與上述處理裝置中之過去之處理所需之實績時間或處理已結束之實績時刻相關之資訊。
  12. 如請求項1或2之生產效率化裝置，其中包含對上述處理裝置請求用以預測上述處理裝置需要被處理體之搬送之搬送時機所必要之資訊之機構；上述第1通訊機構接收根據上述請求而自上述處理裝置發送之資訊。
  13. 如請求項1或2之生產效率化裝置，其中包含請求上述處理裝置設定發送用以預測上述處理裝置需要被處理體之 搬送之搬送時機之資訊之時機的機構。
  14. 一種生產效率化方法，其包含：於與對被處理體進行處理之複數之處理裝置之間進行資訊通訊之步驟；於與包含將被處理體搬送至上述處理裝置之搬送裝置之搬送系統之間，通訊與該搬送裝置之控制相關的控制資訊之步驟；根據通訊而得之資訊，預測上述資訊之通訊目標之處理裝置需要搬出已結束處理之被處理體之搬出時間或需要搬入被處理體之搬入時間之步驟；以使上述搬送裝置於與所預測之搬出時間或搬入時間相對應之時機到達上述資訊之通訊目標之處理裝置之方式，產生對於上述搬送系統之控制資訊之產生步驟；及預測為了使搬送裝置於上述搬送時機到達上述資訊之通訊源之處理裝置所需要之時間即移動所需時間之步驟；上述控制資訊包含使上述搬送裝置之移動開始之時機即移動開始時機，上述移動開始時機係較上述搬送時機提前上述移動所需時間之時機。
  15. 一種生產效率化方法，其包含：於與對被處理體進行處理之複數之處理裝置之間進行資訊通訊之步驟；於與包含將被處理體搬送至上述處理裝置之搬送裝置之搬送系統之間，通訊與該搬送裝置之控制相關的控制 資訊之步驟；根據通訊而得之資訊，預測上述資訊之通訊目標之處理裝置需要搬出已結束處理之被處理體之搬出時間或需要搬入被處理體之搬入時間之步驟；及以使上述搬送裝置於與所預測之搬出時間或搬入時間相對應之時機到達上述資訊之通訊目標之處理裝置之方式，產生對於上述搬送系統之控制資訊之產生步驟；其中上述控制資訊包含使未搭載被處理體之搬送裝置向上述資訊之通訊源之處理裝置移動之指示；上述產生步驟係於在上述處理裝置中被處理體之處理結束之前，上述搬送裝置到達該處理裝置之情形時，產生包含使該搬送裝置待機之指示、使上述搬送裝置於上述處理裝置之周邊巡迴之指示、或使上述搬送裝置移動至特定地點之指示的控制資訊。
  16. 一種電腦程式，其使電腦作為如下機構而發揮功能：第1通訊機構，其於與對被處理體進行處理之複數之處理裝置之間進行資訊通訊；第2通訊機構，其於與包含將被處理體搬送至上述處理裝置之搬送裝置之搬送系統之間，通訊與該搬送裝置之控制相關之控制資訊；根據利用上述第1通訊機構通訊而得之資訊，預測上述資訊之通訊目標之處理裝置需要搬出被處理體之搬出時間或需要搬入被處理體之搬入時間之機構； 產生機構，其以使上述搬送裝置於與該機構所預測之搬出時間或搬入時間相對應之時機到達上述資訊之通訊目標之處理裝置的方式，產生對於上述搬送系統之控制資訊；及預測為了使搬送裝置於上述搬送時機到達上述資訊之通訊源之處理裝置所需要之時間即移動所需時間的機構；且上述控制資訊包含使上述搬送裝置之移動開始之時機即移動開始時機，上述移動開始時機係較上述搬送時機提前上述移動所需時間之時機。
  17. 一種電腦程式，其使電腦作為如下機構而發揮功能：第1通訊機構，其於與對被處理體進行處理之複數之處理裝置之間進行資訊通訊；第2通訊機構，其於與包含將被處理體搬送至上述處理裝置之搬送裝置之搬送系統之間，通訊與該搬送裝置之控制相關之控制資訊；根據利用上述第1通訊機構通訊而得之資訊，預測上述資訊之通訊目標之處理裝置需要搬出被處理體之搬出時間或需要搬入被處理體之搬入時間之機構；及產生機構，其以使上述搬送裝置於與該機構所預測之搬出時間或搬入時間相對應之時機到達上述資訊之通訊目標之處理裝置的方式，產生對於上述搬送系統之控制資訊；其中上述控制資訊包含使未搭載被處理體之搬送裝置向上 述資訊之通訊源之處理裝置移動之指示；上述產生機構係於在上述處理裝置中被處理體之處理結束之前，上述搬送裝置到達該處理裝置之情形時，產生包含使該搬送裝置待機之指示、使上述搬送裝置於上述處理裝置之周邊巡迴之指示、或使上述搬送裝置移動至特定地點之指示的控制資訊。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013011920A1 (ja) * 2011-07-15 2013-01-24 東京エレクトロン株式会社 処理指示装置、処理指示方法、コンピュータプログラム及び処理装置
US10520932B2 (en) * 2014-07-03 2019-12-31 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Transport system and method
US10382312B2 (en) 2016-03-02 2019-08-13 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Detecting and locating process control communication line faults from a handheld maintenance tool
US11605037B2 (en) 2016-07-20 2023-03-14 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Fleet management system for portable maintenance tools
US10554644B2 (en) 2016-07-20 2020-02-04 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Two-factor authentication for user interface devices in a process plant
US10585422B2 (en) 2016-07-22 2020-03-10 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Portable field maintenance tool system having interchangeable functional modules
US10374873B2 (en) 2016-07-22 2019-08-06 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Process control communication between a portable field maintenance tool and a process control instrument
US10599134B2 (en) 2016-07-22 2020-03-24 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Portable field maintenance tool configured for multiple process control communication protocols
US10270853B2 (en) 2016-07-22 2019-04-23 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Process control communication between a portable field maintenance tool and an asset management system
US10375162B2 (en) 2016-07-22 2019-08-06 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Process control communication architecture
US10505585B2 (en) 2016-07-25 2019-12-10 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Portable field maintenance tool with a bus for powering and communicating with a field device
US10764083B2 (en) 2016-07-25 2020-09-01 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Portable field maintenance tool with resistor network for intrinsically safe operation
US10481627B2 (en) 2016-07-25 2019-11-19 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Connection check in field maintenance tool
WO2019155589A1 (ja) 2018-02-08 2019-08-15 日本電気株式会社 搬送作業制御装置、搬送システム、搬送作業制御方法、及び記録媒体
CN108529868B (zh) * 2018-05-18 2021-01-12 河北南玻玻璃有限公司 一种玻璃落板控制方法、系统、存储介质和玻璃生产设备
US11747794B2 (en) * 2018-11-13 2023-09-05 Nec Corporation Conveyance task control device, system, method, and computer-readable medium
JP6816176B2 (ja) * 2019-01-11 2021-01-20 本田技研工業株式会社 測定システム
CN110471202B (zh) * 2019-08-22 2021-12-07 中电九天智能科技有限公司 一种基于mes的液晶面板半板补片生产方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005208891A (ja) * 2004-01-22 2005-08-04 Semiconductor Leading Edge Technologies Inc 制御装置及び処理システム
JP2009076495A (ja) * 2007-09-18 2009-04-09 Hitachi High-Technologies Corp 真空処理装置
JP2009135275A (ja) * 2007-11-30 2009-06-18 Panasonic Corp 搬送システム及びその制御方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1159829A (ja) * 1997-08-08 1999-03-02 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法
JP3970821B2 (ja) * 2003-09-16 2007-09-05 沖電気工業株式会社 半導体装置製造工程の搬送方法
JP2005239288A (ja) * 2004-02-24 2005-09-08 Meidensha Corp 搬送設備の渋滞予測方法とその装置
JP2008310467A (ja) * 2007-06-13 2008-12-25 Panasonic Corp 搬送制御装置および搬送制御方法
US20090118842A1 (en) * 2007-11-06 2009-05-07 David Everton Norman Manufacturing prediction server

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005208891A (ja) * 2004-01-22 2005-08-04 Semiconductor Leading Edge Technologies Inc 制御装置及び処理システム
JP2009076495A (ja) * 2007-09-18 2009-04-09 Hitachi High-Technologies Corp 真空処理装置
JP2009135275A (ja) * 2007-11-30 2009-06-18 Panasonic Corp 搬送システム及びその制御方法

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