KR101865984B1 - 생산 효율화 장치, 생산 효율화 방법, 및 컴퓨터 프로그램 - Google Patents

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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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가부시키가이샤 엠에이 솔류션즈
가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

피처리체에 대한 처리 효율을 향상시킬 수 있는 생산 효율화 장치를 제공한다. 피처리체를 처리하는 복수의 처리 장치(2)와의 사이에서 정보를 통신하는 제1 통신 수단과, 상기 복수의 처리 장치(2) 사이에서 피처리체를 반송하는 반송 장치(32)를 갖는 반송 시스템(3)과의 사이에서, 이 반송 장치(32)의 제어에 관한 제어 정보를 통신하는 제2 통신 수단과, 상기 제1 통신 수단에 의해 통신한 정보에 기초하여, 이 정보의 통신처인 처리 장치(2)가 처리 종료된 피처리체에 대한 반출 및 미처리의 피처리체의 반입을 필요로 하는 반송 시기를 예측하는 수단과, 이 수단이 예측한 반송 시기에 상기 정보의 통신처인 처리 장치(2)에 상기 반송 장치(32)가 도착하도록 상기 반송 시스템(3)에 대한 제어 정보를 생성하는 생성 수단을 생산 효율화 장치(1)에 구비한다.

Description

생산 효율화 장치, 생산 효율화 방법, 및 컴퓨터 프로그램{PRODUCTION EFFICIENCY IMPROVING APPARATUS, PRODUCTION EFFICIENCY IMPROVING METHOD, AND COMPUTER PROGRAM}
본 발명은, 복수의 처리 장치 사이에서 피처리체를 반송하고, 이 피처리체를 처리하는 생산 처리 시스템에 있어서, 피처리체의 반송 및 처리의 효율화를 도모하는 생산 효율화 장치, 생산 효율화 방법, 및 컴퓨터를 이 생산 효율화 장치로서 동작시키기 위한 컴퓨터 프로그램에 관한 것이다.
피처리체를 처리하는 복수의 처리 장치와, 이 복수의 처리 장치 사이에서 피처리체를 반송하는 복수의 반송 장치와, 이 복수의 반송 장치의 동작을 제어하는 반송 제어 장치와, 피처리체가 처리되어야 할 처리 장치를 결정하고, 피처리체의 회수처 및 반송처를 상기 반송 제어 장치에 지시하며, 피처리체에 대한 처리 내용을 이 처리 장치에 지시하는 생산 실행 제어 장치를 구비하는 생산 처리 시스템이 실용화되어 있다.
또한, 특허문헌 1에는, 피처리체를 처리하는 복수의 처리 장치와 통신하는 순서와, 임의의 상기 처리 장치로부터 임의의 상기 처리 장치에 상기 피처리체를 반송하는 복수의 반송 장치와 통신하는 순서와, 상기 처리 장치에 피처리체에 대한 처리를 지시하는 생산 지시 장치와 통신하는 순서를 갖고, 통신하여 얻은 정보를 이용하여 상기 반송 장치에 이 반송 장치의 이동을 지시하는 반송 지시 순서와 상기 정보를 이용하여 상기 처리 장치에 대하여 실행하는 처리를 지시하는 처리 지시 순서 중 적어도 한쪽을 갖는 소프트웨어가 개시되어 있다.
또한, 비특허문헌 1에는, 공장의 생산 관리 시스템(MES : Manufacturing Execute System)와, MES로부터의 각종 지시를 받아, 반송 장치(OHT : Overhead Hoist Transfer)를 제어하는 반송 제어 장치 MCS(Material Control System)가 공장 레이아웃 등의 정보를 공유함으로써, 반송의 효율화를 도모할 수 있다는 취지가 개시되어 있다. 또한, OHT의 대차로부터 직접 피반송체를 이동 탑재할 수 있는 버퍼, 예컨대 OHB(Over Head Buffer : OHT 레일 아래의 선반)를 설치하고, 다음 공정의 장치군을 미리 알면, 스토커를 사용하지 않고 이 베이의 버퍼에 미리 피처리체를 운반해 둠으로써, 단시간에 목적 장치에 반송할 수 있다는 취지가 개시되어 있다.
일본 특허 공개 제2009-135275호 공보 일본 특허 공개 제2008-310467호 공보 일본 특허 공개 제2004-134778호 공보
야마모토 마고토, "차세대 반송 시스템", SEMI News 2006, Vol.22, No.6
종래의 시스템에 있어서는, 처리 장치는, 피처리체에 대한 처리가 완료되면 생산 관리 시스템(MES)에 완료되었다는 취지를 보고하고, 이것을 받은 생산 관리 시스템이 이 피처리체의 회수 및 배송을 반송 제어 장치에 지시하였다. 계속해서 처리 장치가, 처리 종료된 피처리체를 회수하면, 처리 장치는 로드 포트가 비어서 다음으로 처리해야 할 피처리체를 받아들일 수 있는 상태가 되었다는 취지를 생산 관리 시스템(MES)에 보고하고, 이것을 받은 생산 관리 시스템이 상기 처리 장치에 있어서 다음으로 처리해야 할 피처리체를 지정하여 상기 처리 장치로의 배달을 반송 제어 장치에 지시하였다. 이와 같이 구성된 시스템에 있어서는, 처리 장치에서의 피처리체에 대한 처리가 종료되고 나서, 이 피처리체가 반송 장치에 의해 회수되기까지의 시간이 오래 걸렸다. 또한, 다음으로 처리해야 할 피처리체가 처리 장치에 도착하는 데에도 시간이 걸렸다. 이 때문에, 처리 장치에 있어서 다음으로 처리해야 할 피처리체가 없어지는 등의 상황이 발생하여, 공장에서의 생산 효율이 저하되는 등의 우려가 있었다. 혹은 피처리체에 대한 처리가 종료된 장치가 공장의 일부 영역에 복수 발생한 경우에, 이들 처리 장치 근방의 반송로에서 반송 장치가 정체되어 반송에 시간이 걸리는 등의 상황이 발생해서, 공장에서의 생산 효율이 저하되는 등의 우려가 있었다.
본원 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 처리 장치에서의 피처리체의 처리 종료 시간을 예측하여 반송 장치를 투기적으로 이동시킴으로써, 생산 효율을 향상시키는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치는, 피처리체를 처리하는 복수의 처리 장치와의 사이에서 정보를 통신하는 제1 통신 수단과, 상기 복수의 처리 장치에 피처리체를 반송하는 반송 장치를 갖는 반송 시스템과의 사이에서, 이 반송 장치의 제어에 관한 제어 정보를 통신하는 제2 통신 수단과, 상기 제1 통신 수단에 의해 통신한 정보에 기초하여, 이 정보의 통신처인 처리 장치가 피처리체의 반송을 필요로 하는 반송 시기를 예측하는 반송 시기 예측 수단과, 이 반송 시기 예측 수단이 예측한 반송 시기에 상기 정보의 통신처인 처리 장치에 상기 반송 장치가 도착하도록 상기 반송 시스템에 대한 제어 정보를 생성하는 생성 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 제어 정보는, 피처리체를 탑재하고 있지 않은 반송 장치를 상기 정보의 통신원인 처리 장치로 이동시키는 지시를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 제어 정보는, 피처리체를 탑재하고 있는 반송 장치를 상기 정보의 통신원인 처리 장치로 이동시키는 지시를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 반송 시스템은 복수의 반송 장치를 갖고 있고, 상기 제어 정보는, 피처리체에 대한 처리가 정해진 기간 내에 종료되는 처리 장치가 적은 영역에 비해, 처리가 상기 기간 내에 종료되는 처리 장치가 많이 존재하는 영역에 상기 반송 장치를 편재시키도록 상기 반송 장치를 이동시키는 지시를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 생성 수단은, 상기 처리 장치에서 피처리체의 처리가 종료되기 전에, 상기 반송 장치가 상기 처리 장치에 도착한 경우, 이 반송 장치를 대기시키는 지시, 상기 반송 장치를 상기 처리 장치의 주변에서 순회시키는 지시, 또는 정해진 장소로 상기 반송 장치를 이동시키는 지시를 포함하는 제어 정보를 생성하도록 되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 제어 정보는, 피처리체를 탑재하고 있지 않은 반송 장치와, 상기 처리 장치에서 처리되어야 할 피처리체를 탑재한 반송 장치가 이 순서로 상기 처리 장치에 도착하도록 각 반송 장치를 이동시키는 지시를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 처리 장치 및 상기 반송 장치의 동작을 제어하는 생산 실행 제어 장치로부터 송신된 생산 실행 제어 정보를 직접적 또는 간접적으로 통신하는 수단을 구비하고, 상기 생산 실행 제어 장치로부터 송신된 생산 실행 제어 정보의 내용과, 생성 수단이 생성한 제어 정보의 내용이 모순되지 않도록 되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 반송 시기에 반송 장치가 상기 정보의 통신원인 처리 장치에 도착하는데 필요한 시간인 이동 소요 시간을 예측하는 수단을 더 구비하며, 상기 제어 정보는, 상기 반송 장치의 이동을 개시시키는 시기인 이동 개시 시기를 갖고, 상기 이동 개시 시기는 상기 반송 시기보다 상기 이동 소요 시간 전의 시기인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 반송 시기는, 상기 처리 장치에서의 처리가 종료되어, 상기 반송 장치에 의한 피처리체의 취출이 가능해지는 시기, 이 처리 장치에서 처리해야 할 미처리의 피처리체가 없어지는 시기, 또는 각 시기 사이의 시기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 처리 장치는, 이 처리 장치에 투입되어 있는 피처리체의 잔(殘)처리 시간에 관한 정보와, 연속해서 처리를 계속하기 위해 다음으로 피처리체가 필요해지는 시간의 산출에 관한 정보를 통신하도록 구성되어 있고, 복수의 상기 처리 장치와 통신한 상기 정보에 기초하여, 각 처리 장치에 투입되어 있는 피처리체의 처리가 종료되는 종료 시기, 및 각 처리 장치가 다음의 피처리체를 필요로 하는 개시 시기를 산출하는 수단과, 산출된 종료 시기 및 개시 시기에 기초하여, 상기 반송 장치를 이동시켜야 할 처리 장치의 우선 순위를 결정하는 수단을 구비한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 처리 장치에서 피처리체에 대한 처리에 실제로 필요로 한 실적 시간 또는 처리를 실제로 종료한 실종료 시각을 통신하는 수단과, 종료 예측 시기와, 실적 시간 또는 실종료 시각과, 종료 예측 시기의 예측에 이용한 정보를 대응시켜 축적하는 수단을 구비하고, 상기 생성 수단은 축적된 정보를 이용하여 제어 정보를 생성하도록 되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 제1 통신 수단이 통신하는 정보는, 피처리체에 대한 처리가 특정 처리 공정에 있는 것을 나타내는 정보를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 제1 통신 수단이 통신하는 정보는, 상기 처리 장치에서 피처리체에 대한 처리에 필요한 시간 또는 처리가 종료되는 예정 시기를 나타낸 정보를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 제1 통신 수단이 통신하는 정보는, 상기 처리 장치의 자신의 상태가 특정 상태에 있는 것을 나타내는 정보를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 제1 통신 수단이 통신하는 정보는, 상기 처리 장치에서의 과거의 처리에 필요했던 실적 시간 또는 처리가 종료된 실적 시각에 관한 정보를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 제1 통신 수단은, 상기 처리 장치에서 피처리체에 대한 처리가 특정 처리 공정에 있는 경우에 송신된 정보를 수신하도록 되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 처리 장치가 피처리체의 반송을 필요로 하는 반송 시기를 예측하기 위해 필요한 정보를 상기 처리 장치에 요구하는 수단을 구비하고, 상기 제1 통신 수단은, 상기 요구에 따라 상기 처리 장치로부터 송신된 정보를 수신하도록 되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 장치에 있어서, 상기 처리 장치가 피처리체의 반송을 필요로 하는 반송 시기를 예측하기 위한 정보를 송신하는 시기의 설정을 상기 처리 장치에 요구하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 생산 효율화 방법은, 피처리체를 처리하는 복수의 처리 장치와의 사이에서 정보를 통신하는 단계와, 상기 복수의 처리 장치에 피처리체를 반송하는 반송 장치를 갖는 반송 시스템과의 사이에서, 이 반송 장치의 제어에 관한 제어 정보를 통신하는 단계와, 통신한 정보에 기초하여, 상기 정보의 통신처인 처리 장치가 처리를 종료한 피처리체의 반출을 필요로 하는 반출 시간 또는 피처리체의 반입을 필요로 하는 반입 시간을 예측하는 단계와, 예측된 반출 시간 또는 반입 시간에 따른 시기에 상기 정보의 통신처인 처리 장치에 상기 반송 장치가 도착하도록 상기 반송 시스템에 대한 제어 정보를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 컴퓨터 프로그램은, 컴퓨터를, 피처리체를 처리하는 복수의 처리 장치와의 사이에서 정보를 통신하는 제1 통신 수단과, 상기 복수의 처리 장치에 피처리체를 반송하는 반송 장치를 갖는 반송 시스템과의 사이에서, 이 반송 장치의 제어에 관한 제어 정보를 통신하는 제2 통신 수단과, 상기 제1 통신 수단에 의해 통신한 정보에 기초하여, 이 정보의 통신처인 처리 장치가 피처리체의 반출을 필요로 하는 반출 시간 또는 반입을 필요로 하는 반입 시간을 예측하는 수단과, 이 수단이 예측한 반출 시간 또는 반입 시간에 따른 시기에 상기 정보의 통신처인 처리 장치에 상기 반송 장치가 도착하도록 상기 반송 시스템에 대한 제어 정보를 생성하는 생성 수단으로서 기능시키는 것을 특징으로 한다.
본원 발명에 있어서는, 처리 장치로부터 송신된 정보를 수신하고, 수신된 정보를 이용하여 이 처리 장치가 피처리체의 반송을 필요로 하는 반송 시기를 예측한다. 그리고, 반송 장치를 상기 처리 장치로 이동시키는 제어 정보를 생성한다. 생성된 제어 정보는 반송 시스템에 송신된다. 반송 장치의 이동은 예측된 반송 시기에 따라 개시한다. 따라서, 반송 장치는, 피처리체의 처리 종료를 대기하지 않고, 피처리체의 회수, 다음으로 처리되어야 할 피처리체의 반송 등의 준비적 동작을 개시하는 것이 가능하다.
본 발명에 있어서는, 피처리체를 탑재하고 있지 않은 반송 장치를 처리 장치로 이동시킨다. 반송 장치는 상기 처리 장치로부터 처리 종료된 피처리체를 회수한다.
본 발명에 있어서는, 피처리체를 탑재하고 있는 반송 장치를 처리 장치로 이동시킨다. 즉, 이 처리 장치에서 다음으로 처리되어야 할 피처리체를 탑재하고 있는 반송 장치를 처리 장치로 이동시킨다. 처리 장치는 반송 장치에 의해 반송된 피처리체를 처리한다.
본 발명에 있어서는, 정해진 기간 내에 처리가 종료되는 처리 장치가 많은 영역에 반송 장치가 편재된다. 따라서, 효율적으로 피처리체를 처리 장치에 반송하는 것이 가능하다.
본 발명에 있어서는, 처리 장치에서 피처리체에 대한 처리가 종료되기 전에, 반송 장치가 이 처리 장치에 도착한 경우, 상기 반송 장치는 대기한다. 또한, 반송 장치를 처리 장치의 주변에서 순회시켜도 좋다. 또한, 반송 장치를 정해진 장소, 예컨대 차고로 이동시켜도 좋다. 따라서, 반송 장치의 정체를 회피하면서, 처리 장치로부터 처리 종료된 피처리체를 효율적으로 회수하고, 다음으로 필요한 피처리체를 처리 장치에 반송하는 것이 가능하다.
본 발명에 있어서는, 피처리체를 탑재하고 있지 않은 반송 장치를 처리 장치로 이동시켜, 이 처리 장치로부터 처리 종료된 피처리체를 회수한다. 그리고, 다음으로 처리되어야 할 피처리체를 탑재한 반송 장치를 처리 장치로 이동시켜, 피처리체를 처리 장치에 처리시킨다.
본 발명에 있어서는, 생산 실행 제어 장치로부터 송신된 생산 실행 제어 정보를 직접적 또는 간접적으로 수신한다. 생산 실행 제어 장치는, 처리 장치 및 반송 시스템의 동작을 확정적으로 제어하는 장치이다. 한편, 생산 효율화 장치는, 피처리체의 반송 및 처리를 효율화하기 위해, 반송 장치 및 처리 장치에 대한 제어 내용이 확정되기 전(前)단계에서, 투기적으로 반송 장치의 동작을 제어하는 장치이다. 생산 효율화 장치는 자신이 생성한 제어 정보와, 생산 실행 제어 장치로부터 송신된 생산 실행 제어 정보를 모순되지 않도록 정합시킨다. 따라서, 생산 효율화 장치가 생성한 제어 정보에 의해, 반송 시스템이 오동작하는 등 동작에 지장을 초래하는 경우는 없다.
본 발명에 있어서는, 예측한 반송 시기에, 반송 장치가 처리 장치에 도착하는데 필요한 이동 소요 시간을 예측한다. 그리고, 상기 반송 시기보다 상기 이동 소요 시간 전의 시기를 이동 개시 시기로 한다. 제어 정보는 이 이동 개시 시기에 관한 정보를 갖는다.
본 발명에 있어서는, 반송 시기에는, 상기 처리 장치에서의 처리가 종료되어, 상기 반송 장치에 의한 피처리체의 취출이 가능해지는 시기, 이 처리 장치에서 처리해야 할 미처리의 피처리체가 없어지는 시기, 또는 각 시기 사이의 시기를 포함한다.
본 발명에 있어서는, 처리 장치는, 이 처리 장치에 투입되어 있는 피처리체의 잔처리 시간에 관한 정보와, 연속해서 처리를 계속하기 위해 다음으로 피처리체가 필요해지는 시간의 산출에 관한 정보를 통신한다. 복수의 상기 처리 장치와 통신한 상기 정보에 기초하여, 각 처리 장치에 투입되어 있는 피처리체의 처리가 종료되는 종료 시간, 및 각 처리 장치가 다음의 피처리체를 필요로 하는 개시 시간을 산출하고, 산출된 종료 시간 및 개시 시간에 기초하여, 상기 반송 장치를 이동시켜야 할 처리 장치의 우선 순위를 결정한다.
본 발명에 있어서는, 처리 예측 시간과, 처리 장치에서 피처리체에 대한 처리에 실제로 필요로 한 실적 시간, 또는 실제로 처리가 종료된 실종료 시각과, 처리 예측 시간의 예측에 이용한 정보를 대응시켜 축적해 두고, 축적된 정보를 이용하여 반송 시기를 예측한다. 따라서, 반송 시기의 정밀도가 향상된다.
본 발명에 있어서는, 처리 장치는, 피처리체에 대한 처리가 특정 처리 공정에 있는 것을 나타내는 정보를 송신한다. 생산 효율화 장치는 처리 장치로부터 송신된 정보를 수신하고, 이 정보를 이용하여 반송 시기를 예측한다.
본 발명에 있어서는, 처리 장치는, 처리 장치에서 피처리체에 대한 처리가 종료되는 예정 시간을 나타낸 정보를 송신한다. 생산 효율화 장치는, 처리 장치로부터 송신된 정보를 수신하고, 이 정보를 이용하여 반송 시기를 예측한다.
본 발명에 있어서는, 처리 장치가 피처리체의 처리 이외의 특정 상태에 있는 것을 나타내는 정보를 송신한다. 생산 효율화 장치는, 처리 장치로부터 송신된 정보를 수신하고, 이 정보를 이용하여 반송 시기를 예측한다.
본 발명에 있어서는, 처리 장치는, 과거의 처리 종료 시간의 실적에 관한 정보를 송신하고, 생산 효율화 장치는 이 정보를 이용하여 처리 종료 시간을 예측한다.
본 발명에 있어서는, 처리 장치는, 처리 장치에서 피처리체에 대한 처리가 특정 처리 공정에 들어간 경우, 반송 시기의 예측에 이용되는 정보를 송신한다.
본 발명에 있어서는, 생산 효율화 장치는, 반송 시기의 예측에 필요한 정보를 처리 장치에 요구하고, 처리 장치는 요구에 따라 이 정보를 생산 효율화 장치에 송신한다.
본 발명에 있어서는, 생산 효율화 장치는 반송 시기의 예측에 필요한 정보를 송신하는 시기를 처리 장치에 설정한다. 처리 장치는 설정된 시기에 상기 정보를 생산 효율화 장치에 송신한다.
본 발명에 따르면, 처리 장치에서의 피처리체의 처리 종료 시간을 예측하여 반송 장치를 투기적으로 이동시킴으로써, 생산 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 실시형태에 관한 생산 효율화 장치를 갖는 생산 처리 시스템의 일 구성예를 도시한 블록도이다.
도 2는 처리 장치의 일 구성예를 도시한 블록도이다.
도 3은 본 실시형태에 관한 생산 효율화 장치의 일 구성예를 도시한 블록도이다.
도 4는 생산 효율화 장치의 처리 순서를 나타낸 플로우차트이다.
도 5는 생산 효율화 장치의 처리 순서를 나타낸 플로우차트이다.
도 6은 처리 장치에서의 정보 송신 순서의 일례를 도시한 플로우차트이다.
도 7은 처리 장치에서의 정보 송신 순서의 다른 예를 나타낸 플로우차트이다.
도 8은 처리 장치에서의 정보 송신 순서의 다른 예를 나타낸 플로우차트이다.
도 9는 처리 장치에서의 정보 송신 순서의 다른 예를 나타낸 플로우차트이다.
도 10은 처리 장치에서의 정보 송신 순서의 다른 예를 나타낸 플로우차트이다.
도 11은 처리 장치에서의 처리 종료 예측에 필요한 정보의 송신 타이밍의 설정에 관한 플로우차트이다.
도 12는 반송 장치에 대한 투기적 지시가 적중하지 않은 경우의 처리 순서를 나타낸 플로우차트이다.
도 13은 변형예 1에서의 생산 효율화에 관한 처리 순서를 나타낸 플로우차트이다.
도 14는 변형예 2에 관한 빈 반송 장치 및 피처리체를 탑재한 반송 장치의 도착 타이밍을 도시한 타이밍 차트이다.
도 15는 변형예 4에서의 생산 효율화에 관한 처리 순서를 나타낸 플로우차트이다.
도 16은 변형예 5에 관한 생산 처리 시스템의 일 구성예를 도시한 블록도이다.
도 17은 변형예 6에 관한 생산 처리 시스템의 일 구성예를 도시한 블록도이다.
도 18은 변형예 7에서의 생산 효율화에 관한 처리 순서를 나타낸 플로우차트이다.
도 19는 변형예 7에서의 생산 효율화에 관한 처리 순서를 나타낸 플로우차트이다.
이하, 본 발명에 대해 그 실시형태를 도시하는 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 실시형태에 관한 생산 효율화 장치를 갖는 생산 처리 시스템의 일 구성예를 도시한 블록도이다. 본 발명의 실시형태에 관한 생산 처리 시스템은 복수의 처리 장치(2)와, 복수의 반송 장치(32) 및 이 반송 장치(32)의 동작을 제어하는 반송 제어 장치(31)를 갖는 반송 시스템(3)과, 처리 장치(2) 및 반송 시스템(3)에 제어 지시를 부여하여, 각 장치의 동작을 제어하는 생산 실행 제어 장치(4)와, 상기 복수의 처리 장치(2) 및 반송 시스템(3) 사이에서 통신하는 생산 효율화 장치(1)를 갖는다.
생산 실행 제어 장치(4)는, 소위 MES를 구성하고 있어, 제조되어야 할 제품의 종류, 사양 등에 따라 생산 계획을 작성하는 스케줄러 모듈, 작성된 생산 계획에 따라, 피처리체가 처리되어야 할 처리 장치(2)를 특정하고, 피처리체에 대한 처리 내용 및 반송 제어 내용을 각각 처리 장치(2) 및 반송 시스템(3)에 지시하는 처리를 행하는 디스패처 모듈 등을 갖는 컴퓨터이다. 이하, 생산 실행 제어 장치(4)로부터 처리 장치(2) 및 반송 시스템(3)에 각각 송신되는, 이 처리 장치(2) 및 반송 시스템(3)의 동작을 제어하는 정보를 생산 실행 제어 정보라고 한다.
처리 장치(2)는, 예컨대 유기 EL 디바이스 제조용의 유리 기판, 반도체 디바이스 등 제조용의 실리콘 웨이퍼 등의 피처리체를 처리하는 플라즈마 CVD 장치, 플라즈마 에칭 장치, 스퍼터링 장치 등의 기판 처리 장치이다. 또한, 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리가 종료되기 전에, 처리의 종료 시각을 예측하기 위한 정보를 생산 효율화 장치(1)에 송신하는 기능을 갖는다. 또, 본 실시형태에서는, 반송 제어에 관한 각종 시간을, 시각을 이용하여 처리하는 예를 설명하지만, 임의의 시점을 기준으로 한 시간을 이용하여 처리하도록 구성해도 좋다. 또한, 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리가 종료되었다는 취지를 나타내는 처리 종료 정보를 생산 실행 제어 장치(4)에 송신하는 기능을 갖는다.
도 2는 처리 장치(2)의 일 구성예를 도시한 블록도이다. 처리 장치(2)는, 예컨대 멀티 챔버식의 기판 처리 시스템이다. 처리 장치(2)는 피처리체(W)를 수용하는 FOUP(FOUP : Front Open Unified Pod)를 전달하기 위해 FOUP가 배치되는 제1 및 제2 로드 포트(21a, 21b)(LP : Load Port)가 설치된 로드 모듈(22)을 구비한다. 로드 모듈(22)에는, 로드 록 모듈(23a, 23b)(LLM : Load Lock Module)을 개재해 트랜스퍼 모듈(24)(TM : Transfer Module)이 접속되어 있다. 트랜스퍼 모듈(24)이 갖는 진공 로봇은, 로드 록 모듈(23a, 23b)을 통해 반입된 피처리체(W)를 프로세스 모듈(25a, 25b, 25c, 25d)(PM : Process Module)에 반송한다. 프로세스 모듈(25a, 25b, 25c, 25d)은 레시피에 따라, 피처리체(W)에 정해진 처리를 실시한다. 처리된 피처리체(W)는 반대의 경로를 밟아, 제1 또는 제2 로드 포트(21a, 21b)에 배치된 FOUP에 회수되어, FOUP 단위로 로드 포트(21a, 21b)로부터 반출된다.
반송 장치(32)는, 예컨대 천장 또는 바닥 상에 설치된 궤도를 주행하는 반송 셔틀, 정해진 루트를 주행하는 무인 반송차 등이고, FOUP를 반송하는 것이다. 반송 장치(32)는 반송 제어 장치(31)로부터 부여된 지시에 따라, 복수의 처리 장치(2)와 FOUP를 보관하고 있는 스토커 사이를 이동하여, FOUP에 수용된 피처리체를 반송한다.
반송 제어 장치(31)는, 소위 MCS를 구성하고 있어, 생산 실행 제어 장치(4)로부터 부여된 생산 실행 제어 정보, 및 후술하는 생산 효율화 장치(1)로부터 부여된 제어 정보 중 한쪽 혹은 양쪽에 따라, 반송 장치(32)의 동작을 제어하는 컴퓨터이다.
도 3은 본 실시형태에 관한 생산 효율화 장치(1)의 일 구성예를 도시한 블록도이다. 생산 효율화 장치(1)는 처리 장치(2)와의 사이에서 정보를 통신하고, 통신에 의해 획득한 정보에 기초하여, 이 정보의 송신원인 처리 장치(2)에서 피처리체에 대한 처리가 종료되는 시각(이하, 처리 종료 시각이라고 함)을 예측하는 기능, 처리 장치(2)로부터의 정보의 내용이나 통신 시기를 설정하여 처리 장치(2)에 지시하는 기능, 예측된 처리 종료 시각에 따른 시기에 상기 정보의 송신원인 처리 장치(2)에 반송 장치(32)가 도착하도록 이동을 개시시키는 지시 정보를 생성하는 기능 등을 갖는 컴퓨터이다. 지시 정보는 반송 장치(32)의 제어에 관한 제어 정보 중 하나이다.
구체적으로는, 생산 효율화 장치(1)는 이 생산 효율화 장치(1)의 각 구성부의 동작을 제어하는 제어부(11), 예컨대 CPU(Central Processing Unit)를 구비한 컴퓨터이다. 제어부(11)에는, 버스를 통해 접속된 ROM, 또는 RAM 등의 내부 기억 장치(13), 하드 디스크 드라이브나, 솔리드 스테이트 드라이브나, 휴대용 기록 매체로부터의 데이터의 판독이 가능한 장치인 CD-ROM 드라이브 등의 외부 기억 장치(12), 제1 내지 제3 통신부(14, 15, 16), 및 시계부(17)가 접속되어 있다.
ROM은 컴퓨터의 동작에 필요한 제어 프로그램을 기억한 마스크 ROM, EEPROM 등의 비휘발성 메모리이다.
RAM은 제어부(11)의 연산 처리를 실행할 때에 생기는 각종 데이터나 컴퓨터의 동작에 필요한 제어 프로그램을 일시 기억하는 DRAM, SRAM 등의 휘발성 메모리이다.
제1 내지 제3 통신부(14, 15, 16)는, 각각 처리 장치(2), 반송 제어 장치(31) 및 생산 실행 제어 장치(4)와의 사이에서 정보를 송수신하기 위한 인터페이스이다. 제1 내지 제3 통신부(14, 15, 16)에 의한 각종 정보의 송수신은 제어부(11)에 의해 제어된다.
컴퓨터 프로그램(5a)은 컴퓨터 판독 가능하게 기록된 휴대용 매체인 CD(Compact Disc)-ROM, DVD(Digital Versatile Disc)-ROM, BD(Blu-ray Disc) 등의 기록 매체(5) 혹은 하드 디스크 드라이브나 솔리드 스테이트 드라이브에 기록되어 있다. 제어부(11)는 이들 컴퓨터 프로그램(5a)이 기록된 휴대용 매체나 하드 디스크 드라이브 등으로부터 컴퓨터 프로그램(5a)을 판독하여, 내부 기억 장치(13)에 기억시킨다. 또한, 말할 필요도 없이, 광디스크 및 광디스크 드라이브는 기록 매체(5) 및 외부 기억 장치(12)의 일례이고, 플렉시블 디스크, 자기광 디스크, 외장 하드 디스크, 반도체 메모리 등에 컴퓨터 프로그램(5a)을 컴퓨터 판독 가능하게 기록하고, 상기 외부 기억 장치(12)에서 판독하도록 구성해도 좋다. 또한, 통신망에 접속되어 있는 도시하지 않은 외부 컴퓨터로부터 본 발명에 관한 컴퓨터 프로그램(5a)을 다운로드하도록 해도 좋다.
도 4 및 도 5는 생산 효율화 장치(1)의 처리 순서를 나타낸 플로우차트이다.
<생산 효율화 기본 플로우>
피처리체에 대하여 처리를 실행하고 있는 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리가 종료되는 시각을 예측하는데 필요한 정보를 생산 효율화 장치(1)에 송신한다(단계 S11).
(정보 1 : 특정 처리 공정을 통과한 것을 통지하는 정보)
도 6은 처리 장치(2)에서의 정보 송신 순서의 일례를 나타낸 플로우차트이다. 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리를 개시한다(단계 S51). 그리고, 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리가, 설정된 특정 처리 공정에 있는지 여부를 판정한다(단계 S52). 특정 처리 공정에 있는 것으로 판정한 경우(단계 S52 : YES), 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리가 특정 처리 공정에 있는 것을 나타내는 정보를 생산 효율화 장치(1)에 송신한다(단계 S53). 이 정보는 처리 장치(2)에서의 처리 시퀀스가 특정 처리 단계를 통과한 것을 보고하는 정보이다. 단계 S53의 처리를 끝낸 경우, 또는 특정 처리 공정에 없는 것으로 판정한 경우(단계 S52 : NO), 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리를 종료했는지 여부를 판정한다(단계 S54). 처리를 종료하지 않은 것으로 판정한 경우(단계 S54 : NO), 처리 장치(2)는 처리를 단계 S52로 되돌려, 피처리체에 대한 처리를 속행한다. 처리를 종료한 것으로 판정한 경우(단계 S54 : YES), 처리 장치(2)는 종료 정보를 생산 실행 제어 장치(4)에 송신하고(단계 S55), 처리를 끝낸다.
예컨대, 설정된 특정 처리 공정이란, 제1 및 제2 로드 포트(21a, 21b)에 배치되어 있는 FOUP마다, 각각의 FOUP에 수용되어 있는 미처리의 피처리체의 장수가 정해진 수 미만이 된 공정으로서 설정되고, 처리 장치(2)는 로드 포트(21a, 21b)에 배치된 각 FOUP마다, FOUP에 수용되어 있는 미처리의 피처리체가 정해진 수 미만이 된 타이밍에 생산 효율화 장치(1)에 보고한다.
또한 예컨대, 상기 설정된 특정 처리 공정이란, 처리 장치(2)가 복수의 피처리체를 동시에 처리하는 배치(batch)식 열처리 장치인 경우, 실행하고 있는 처리 시퀀스의 종료 단계의 예컨대 3단계 전 등 정해진 처리 단계로서 설정된 처리 단계이다.
(정보 2 : 처리 종료 예정 시각)
도 7은 처리 장치(2)에서의 정보 송신 순서의 다른 예를 나타낸 플로우차트이다. 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리를 개시한다(단계 S71). 그리고, 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리가 특정 처리 공정에 있는지 여부를 판정한다(단계 S72). 특정 처리 공정에 있는 것으로 판정한 경우(단계 S72 : YES), 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리가 종료되는 종료 예정 시각을 포함하는 정보를 생산 효율화 장치(1)에 송신한다(단계 S73). 또, 처리 종료 예정 시각은 일례이며, 처리가 종료되는 예정 시기를 나타낸 정보로 대신해도 좋다. 처리 장치(2)로부터 송신되는 종료 예정 시각은 레시피의 정보에 기초하여 정해진 연산식으로 산출해도 좋고, 과거의 처리 종료 시각으로부터 통계적으로 산출해도 좋다. 단계 S73의 처리를 끝낸 경우, 또는 특정 처리 공정에 없는 것으로 판정한 경우(단계 S72 : NO), 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리를 종료했는지 여부를 판정한다(단계 S74). 처리를 종료하지 않은 것으로 판정한 경우(단계 S74 : NO), 처리 장치(2)는 처리를 단계 S72로 되돌려, 피처리체에 대한 처리를 속행한다. 처리를 종료한 것으로 판정한 경우(단계 S74 : YES), 처리 장치(2)는 종료 정보를 생산 실행 제어 장치(4)에 송신하고(단계 S75), 처리를 끝낸다.
생산 효율화 장치(1)는 전술한 처리 순서에 따라 처리 장치(2)로부터 송신된 정보에 기초하여, 처리 종료 시각을 예측한다. 또, 처리 장치(2)로부터 송신된 정보가 나타내는 시각을, 그대로 처리 종료 시각으로서 취급해도 좋다.
(정보 3 : 특정 상태)
도 8은 처리 장치(2)에서의 정보 송신 순서의 다른 예를 나타낸 플로우차트이다. 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리를 개시한다(단계 S91). 그리고, 처리 장치(2)는, 피처리체에 대한 처리가 특정 처리 공정에 있는지 여부를 판정한다(단계 S92). 특정 처리 공정에 있는 것으로 판정한 경우(단계 S92 : YES), 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리가 종료되는 과거의 처리 종료 시각의 실적에 관한 정보를 생산 효율화 장치(1)에 송신한다(단계 S93). 이 실적에 관한 정보는, 예컨대 처리 장치(2)에서의 과거의 처리에 필요했던 실적 시간 또는 처리가 종료된 실적 시각에 관한 정보이다. 단계 S93의 처리를 끝낸 경우, 또는 특정 처리 공정에 없는 것으로 판정한 경우(단계 S92 : NO), 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리를 종료했는지 여부를 판정한다(단계 S94). 처리를 종료하지 않은 것으로 판정한 경우(단계 S94 : NO), 처리 장치(2)는 처리를 단계 S92로 되돌려, 피처리체에 대한 처리를 속행한다. 처리를 종료한 것으로 판정한 경우(단계 S94 : YES), 처리 장치(2)는 처리 종료 시각을 기억하고(단계 S95), 종료 정보를 생산 실행 제어 장치(4)에 송신하며(단계 S96), 처리를 끝낸다.
생산 효율화 장치(1)는 전술한 처리 순서에 따라 처리 장치(2)로부터 송신된 정보를 통계적으로 처리하여, 처리 종료 시각을 예측한다. 예컨대, 처리에 필요한 시간의 평균치, 분산, 최대치, 최소치, 중앙치, 최빈치 등에 기초하여, 처리 종료 시각을 예측한다.
또, 과거의 처리 종료 시각의 실적에 관한 정보는, 처리 장치(2)측에서 적절하게 가공하여 생산 효율화 장치(1)에 송신해도 좋고, 처리 장치(2)에서 기록된 처리 종료 시각의 생데이터를 생산 효율화 장치(1)에 송신해도 좋다.
(정보 4 : 처리 장치의 특정 상태)
도 9는 처리 장치(2)에서의 정보 송신 순서의 다른 예를 나타낸 플로우차트이다. 처리 장치(2)의 프로세스 모듈(25a)은 메인터넌스를 위한 드라이 클리닝 처리 등의 피처리체를 이용하지 않는 처리를 개시한다(단계 S111). 그리고, 처리 장치(2)는 처리 장치(2)가 특정 상태에 있는지 여부를 판정한다(단계 S112). 특정 상태에 있는 것으로 판정한 경우(단계 S112 : YES), 처리 장치(2)는 자신이 특정 상태에 있는 것을 나타낸 정보를 생산 효율화 장치(1)에 송신한다(단계 S113). 단계 S113의 처리를 끝낸 경우, 또는 처리 장치(2)가 특정 상태에 없는 것으로 판정한 경우(단계 S112 : NO), 처리 장치(2)는 이 처리를 종료했는지 여부를 판정한다(단계 S114). 처리를 종료하지 않은 것으로 판정한 경우(단계 S114 : NO), 처리 장치(2)는 처리를 단계 S112로 되돌려, 이 처리를 속행한다. 처리를 종료한 것으로 판정한 경우(단계 S114 : YES), 처리 장치(2)는 종료 정보를 생산 실행 제어 장치(4)에 송신하고(단계 S115), 처리를 끝낸다. 생산 효율화 장치(1)는 이 특정 상태에 있는 것을 나타낸 정보를 바탕으로 이 처리가 종료되는 시각을 예측하고, 상기 시각에 맞춰 다음으로 처리해야 할 피처리체를 처리 장치(2)를 향해 이동시킬 준비를 한다. 이 예측한 처리가 종료되는 시각에 맞춰 다음으로 처리해야 할 피처리체를 처리 장치(2)로 이동시키는 지시 정보를 반송 제어 장치(31)에 송신하여, 피처리체를 처리 장치(2)에 배달함으로써, 처리 장치(2)의 프로세스 모듈(25a)에서의 피처리체를 이용하지 않는 처리가 종료되고 나서, 피처리체에 대한 처리를 개시할 수 있게 되기까지의 시간을 단축할 수 있어, 프로세스 모듈(25a)에서의 생산에 기여하는 정도를 높여, 처리 효율을 높일 수 있다.
이 때문에, 다음으로 처리해야 할 피처리체를 처리 장치(2)에 배달하는데 필요한 시간의 통계치에 따라, 피처리체를 이용하지 않는 처리가 종료되는 타이밍보다 구해진 통계치의 시간분 전의 타이밍을 특정 상태로서 설정하는 것이 보다 바람직하다.
(정보 취득 방법 1 : 요구)
도 10은 처리 장치(2)에서의 정보 송신 순서의 다른 예를 나타낸 플로우차트이다. 생산 효율화 장치(1)의 제어부(11)는 피처리체에 대한 처리의 종료 예측에 필요한 정보를 요구하는 요구 정보를 처리 장치(2)에 송신한다(단계 S131).
처리 장치(2)는 생산 효율화 장치(1)로부터 송신된 상기 요구 정보를 수신한다(단계 S132). 그리고, 처리 장치(2)는 요구가 있었을 때의 피처리체에 대한 처리 공정, 처리 장치(2)의 상태, 피처리체에 대한 처리의 레시피 등, 처리의 종료 예측에 필요한 정보를 생산 효율화 장치(1)에 송신하고(단계 S133), 처리를 끝낸다.
(정보 취득 방법 2 : 타이밍 설정 및 변경)
도 11은 처리 장치(2)에서의 처리 종료 예측에 필요한 정보의 송신 타이밍의 설정에 관한 플로우차트이다. 생산 효율화 장치(1)의 제어부(11)는 처리의 종료 예측에 필요한 정보를 생산 효율화 장치(1)에 송신하는 타이밍의 설정을, 도시하지 않은 입력 장치에서 접수한다(단계 S151). 그리고, 제어부(11)는 정보의 송신 타이밍의 설정을 요구하는 설정 정보를 처리 장치(2)에 송신한다(단계 S152).
처리 장치(2)는 생산 효율화 장치(1)로부터 송신된 설정 정보를 수신한다(단계 S153). 그리고, 처리 장치(2)는 단계 S153에서 수신된 설정 정보의 내용에 따라, 정보의 송신 타이밍을 설정한다(단계 S154). 이미 송신 타이밍이 설정되어 있는 경우, 새로운 설정 타이밍으로 변경된다. 이후, 처리 장치(2)는 단계 S154에서 설정된 타이밍에, 처리 종료 예측에 필요한 정보를 생산 효율화 장치(1)에 송신한다.
또, 정보의 송신 타이밍을 수동으로 설정하는 예를 설명했지만, 자동적으로 설정을 변경하도록 구성해도 좋다. 예컨대, 반송 장치(32)에 대한 이동 지시가 지연되는 빈도가 임계치 이상인 경우, 정보의 송신 타이밍이 빨라지도록 설정 변경을 한다. 반송 장치(32)에 대한 투기적 이동 지시의 지연을 줄임으로써, 생산을 보다 효율화할 수 있다. 투기적 이동 지시란, 예측된 처리 종료 시각에 따른 시기에 상기 정보의 송신원인 처리 장치(2)에 반송 장치(32)가 도착하도록 이동을 개시시키는 지시를 말한다. 반대로, 처리 장치(2)로부터 정보가 송신되고 나서, 실제로 반송 장치(32)의 이동을 지시하기까지의 시간이 정해진 시간 이상인 경우, 정보의 송신 타이밍을 늦추도록 설정 변경을 한다. 처리 장치(2)로부터의 정보 송신 타이밍을 최적화함으로써, 반송 장치(32)에 대한 투기적 이동 지시의 정밀도를 향상시켜, 생산을 보다 효율화할 수 있다.
도 4로 되돌아가, 단계 S12 이후의 처리를 설명한다.
생산 효율화 장치(1)의 제어부(11)는 처리 장치(2)로부터 송신된 정보를, 제1 통신부(14)에서 수신하고(단계 S12), 수신된 정보에 기초하여, 이 정보의 송신원인 처리 장치(2)가 처리를 끝내는 처리 종료 시각을 예측한다(단계 S13). 이 처리 종료 시각은, 예컨대 처리 장치(2)에서의 처리가 종료되고, 이 처리가 종료된 피처리체가 로드 포트에 배치된 FOUP에 회수되어, 이 FOUP를 반출하는 것이 가능해지는 예정 시각이다.
계속해서, 제어부(11)는 예측된 처리 종료 시각에 기초하여, 이 처리 종료 시각에 따른 타이밍에 상기 정보의 송신원인 처리 장치(2)로 상기 반송 장치(32)의 이동을 개시시키는 투기적 지시 정보를 생성하고(단계 S14), 생성된 투기적 지시 정보를 제2 통신부(15)에 의해 반송 제어 장치(31)에 송신한다(단계 S15). 투기적 지시 정보는 반송 장치(32)의 제어에 관한 제어 정보의 일례이다.
또, 이 때, 생산 효율화 장치(1)는 반송 장치(32)의 도달 예정 시기에 처리 장치(2)로부터 회수되어야 할 피처리체를 준비하도록 처리 장치(2)에 대하여 지시를 하기 위한 정보를 상기 처리 장치(2)에 송신하도록 구성해도 좋다. 상기 처리 장치(2)는 생산 효율화 장치(1)로부터 송신된 상기 정보를 수신한 경우, 피처리체를 반송 장치(32)에 전달하기 위한 준비 처리를 실행한다.
반송 장치(32)의 이동을 개시시키기 위한 투기적 지시 정보를 송신하는 타이밍은, 반송 장치(32)가 처리 장치(2)로 이동하는데 필요한 소요 시간과, 처리 장치(2)에서의 처리가 종료되어, 이 처리가 종료된 피처리체를 취출할 수 있게 되는 예정 시각을 바탕으로 결정된다. 예컨대, 처리 장치(2)로부터 피처리체를 취출할 수 있게 되는 예정 시각에 맞춰, 반송 장치(32)가 이 처리 장치(2)에 도착하도록 반송 장치(32)의 이동을 지시하게 하면 된다. 또, 반송 장치(32)의 정체 우려가 낮은 경우, 처리 장치(2)로부터 피처리체를 취출할 수 있게 되는 예정 시각보다 먼저 반송 장치(32)가 도착하도록 구성해도 좋다. 반대로 반송 장치(32)의 정체가 예상되는 경우, 반송 장치의 이동에 의해 야기되는 정체를 회피하기 위해, 처리 장치(2)로부터 피처리체를 취출할 수 있게 되는 예정 시각보다 늦게 반송 장치(32)가 처리 장치(2)에 도착하도록 구성해도 좋다. 그 밖의 적합한 이동 지시의 타이밍에 관해서는 후술하는 변형예에서 설명한다.
또, 반송 장치(32)가 처리 장치(2)로 이동하는데 필요한 소요 시간은, 반송 장치(32)와 처리 장치(2)의 거리, 반송 장치(32)의 이동 속도, 반송 경로, 정체 상황, 그 밖의 상황을 고려하여 산출된다. 예컨대, 이동에 필요한 시간을 기록해 두고, 이 기록된 시간을 바탕으로 통계적으로 산출해도 좋고, 반송 장치(32)의 위치와 반송 경로와 이동 속도를 바탕으로 내부적으로 시뮬레이션을 함으로써 산출해도 좋고, 복수의 반송 장치(32) 각각의 이동 예정과, 그 이동 예정을 바탕으로 한 반송 경로의 혼잡 상황을 시뮬레이션함으로써 산출해도 좋다.
또한, 피처리체에 대한 처리가 정해진 기간 내에 종료되는 처리 장치(2)가 적은 영역에 비해, 처리가 상기 기간 내에 종료되는 처리 장치(2)가 많이 존재하는 영역에 상기 반송 장치(32)를 편재시키도록 반송 장치(32)를 이동시키는 지시를 지시 정보에 포함시키면 된다. 반송 장치(32)의 의미없는 과밀화 및 과소화를 방지할 수 있어, 보다 효율적으로, 반송 장치(32)를 처리 장치(2)로 이동시킬 수 있게 된다.
반송 제어 장치(31)는 생산 효율화 장치(1)로부터 송신된 투기적 지시 정보를 수신한다(단계 S16). 그리고, 반송 제어 장치(31)는 수신된 투기적 지시 정보에 기초하여, 반송 장치(32)의 배차 스케줄링, 및 반송 장치(32)의 대기 처리를 실행하고(단계 S17), 이동 지시를 빈 반송 장치(32)에 송신한다(단계 S18). 단계 S18에서 행하는 지시는, 생산 실행 제어 장치(4)로부터 송신되는 확정적인 제어 지시에 앞서 행해지는 투기적인 준비에 관련된 지시이다. 이동 지시를 반송 장치(32)에 송신함(단계 S18)과 동시에, 회수 지시를 송신해도 상관없다.
반송 장치(32)는 반송 제어 장치(31)로부터의 이동 지시를 수신한다(단계 S19). 그리고, 빈 반송 장치(32)는 수신된 지시에 따라, 지시된 처리 장치(2) 근방으로 이동한다(단계 S20). 즉, 처리 장치(2)에서 처리된 피처리체를 회수하기 위한 반송 장치(32)는 생산 실행 제어 장치(4)로부터의 지시에 앞서, 상기 처리 장치(2)로 이동하고 있다.
또한, 지시된 처리 장치(2)[이하, 제1 처리 장치(2)라고 함] 근방으로 피처리체를 탑재한 반송 장치(32), 자세하게는 상기 제1 처리 장치(2)에서 다음으로 처리해야 할 피처리체를 탑재한 반송 장치(32)를 이동시킨다(단계 S21). 또, 상기 제1 처리 장치(2)에서 다음으로 처리해야 할 피처리체를 탑재한 반송 장치(32)가 없는 경우에는, 상기 제1 처리 장치(2)의 직전 공정의 처리 장치(2)[이하, 제2 처리 장치(2)라고 함]서 회수 대기로 되어 있는 이 피처리체를 취출하기 위해 상기 제2 처리 장치(2)로, 혹은 처리 장치(2)에서 다음으로 처리해야 할 피처리체가 보관된 스토커(도시하지 않음)로, 빈 반송 장치(32)를 이동시켜, 다음으로 처리해야 할 피처리체를 탑재하고 나서, 이 반송 장치(32)를 지시된 상기 제1 처리 장치(2)로 이동시킨다.
처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리를 끝내고(단계 S22), 처리가 종료된 것을 나타내는 종료 정보를 생산 실행 제어 장치(4)에 송신한다(단계 S23).
생산 실행 제어 장치(4)는 처리 장치(2)로부터 종료 정보를 수신하고(단계 S24), 확정적인 반송 지시 정보를 생산 효율화 장치(1)에 송신한다(단계 S25). 반송 지시 정보는 생산 실행 제어 정보 중 하나이다.
생산 효율화 장치(1)의 제어부(11)는 생산 실행 제어 장치(4)로부터 송신된 반송 지시 정보를 제3 통신부(16)에서 수신한다(단계 S26). 그리고, 제어부(11)는 단계 S14에서 생성된 투기적 지시 정보의 내용과, 단계 S26에서 수신된 반송 지시 정보의 내용을 정합시키고(단계 S27), 정합시킨 반송 지시 정보를 반송 제어 장치(31)에 송신한다(단계 S28).
이하, 반송 지시 정보와, 투기적 지시 정보를 정합시키는 처리에 관해 설명한다. 우선, 처리 장치(2), 생산 실행 제어 장치(4) 및 반송 제어 장치(31)에서 행해지는 기존의 시퀀스를 설명한다. 처리 장치(2)에서의 처리가 종료되어, 처리 장치(2)로부터 반출할 수 있게 된 피처리체가 존재하면, 처리 장치(2)는 생산 실행 제어 장치(4)에 처리가 종료되어 반출할 수 있다는 취지의 정보를 송신한다. 생산 실행 제어 장치(4)는 상기 처리가 종료되어 반출할 수 있다는 취지의 정보를 수신한 경우, 반송 제어 장치(31)에 대하여, 이 피처리체를 이 처리 장치(2)로부터 회수시키는 지시를 나타낸 반송 지시 정보를 송신한다. 반송 제어 장치(31)는 이 반송 지시 정보를 수신한 경우, 이 반송 지시 정보에 따라 반송 장치(32)를 이 처리 장치(2)로 이동시켜, 피처리체를 회수한다.
본 실시형태에 관한 생산 효율화 장치의 도입에 의해서도, 이러한 기존의 시퀀스에 대하여 큰 변경을 필요로 하지 않기 때문에, 생산 효율화 장치(1)는 처리 장치(2)로부터의 처리 종료 보고가 송신되기 전에, 처리 종료 예측 시기를 바탕으로, 이 예측 시기에 처리 장치(2)에 반송 장치(32)가 도달하도록 반송 장치(32)를 이동시키고, 반송 장치(32)가 행선지인 처리 장치(2)에 대응하는 위치에 도착했다 하더라도, 생산 실행 제어 장치(4)로부터 반송 제어 장치(31)로의 피처리체의 회수 지시가 송신되기까지는, 반송 장치(32)를 그 처리 장치(2)에 대응하는 위치에 멈추게 해 대기시키거나, 혹은 근변을 주유(周遊)시키거나 하도록 구성하면 된다. 이와 같이 구성한 경우에는, 반송 제어 장치(31)는 생산 실행 제어 장치(4)로부터의 피처리체의 회수 지시를 수신하면, 그 수신에 대응하여 이 반송 장치(32)에 의한 처리 장치(2)로부터의 피처리체를 회수한다.
이와 같이, 반송 장치(32)에 대한 투기적인 반송을 지시하기 위한 투기적 지시 정보와, 반송 장치(32)에 대한 처리 장치(2)로부터의 피처리체의 회수 혹은 배달을 지시하기 위한 반송 지시 정보를 나누어, 피처리체의 이동 탑재 작업의 실시는 생산 실행 제어 장치(4)로부터의 지시를 기다리도록, 기존의 반송 실행 제어 장치(4)의 제어 시퀀스와 정합을 취하게 한다.
또, 반송 지시 정보와, 투기적 지시 정보를 정합시키는 전술한 처리는 일례이며, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 전술한 예에서는, 반송 장치(32)는 생산 실행 제어 장치(4)로부터의 지시를 기다려, 피처리체를 회수하고 있지만, 본 실시형태에 관한 생산 효율화 장치의 도입에 의해, 기존의 시퀀스에 변경을 허용하여 더 나은 생산 효율 향상을 목표로 하는 경우에는, 생산 실행 제어 장치(4)로부터 반송 지시 정보가 송신되기 전이라도, 처리를 종료한 피처리체의 회수는 반송 장치(32) 및 처리 장치(2)가 피처리체의 회수가 가능한 상태로 되어 차례로 실행하고, 다음 반송처인 처리 장치가 생산 실행 제어 장치로부터 지시되지 않은 경우에는 근방의 버퍼나 스토커에 반송하고, 보관함으로써 다음으로 그 장치에서 처리되는 피처리체의 반입이 명령되어 차례로 대응할 수 있도록 해도 좋고, 또는 다음으로 이 피처리체를 반송하는 반송처에 관련된 지시를 생산 효율화 장치(1) 혹은 반송 제어 장치(31)로부터 생산 실행 제어 장치에 요구하고, 얻어진 지시에 기초하여 이 피처리체를 다음의 처리 장치 혹은 스토커에 반송하도록 하여 정합을 취해도 좋다. 또한 생산 실행 제어 장치(4)로부터 반송 지시 정보가 송신되기 전에, 반송 장치(32)가 처리 장치(2)로부터 피처리체를 회수하고, 또는 처리 장치(2)에 FOUP를 배치하도록 구성해도 좋다. 이 경우, 반송 제어 장치(31)는 반송 장치(32)의 처리 내용을 나타낸 정보를 생산 실행 제어 장치(4)에 송신하고, 생산 실행 제어 장치(4)는 이 정보에 기초하여, 이후의 처리 장치(2) 및 반송 장치(32)에 대한 제어 내용을 보정하도록 하면 된다.
반송 제어 장치(31)는, 생산 효율화 장치(1)로부터 송신된 정합 완료된 반송 지시 정보를 수신한다(단계 S29). 그리고, 반송 제어 장치(31)는 피처리체의 회수를 지시하는 회수 지시, 및 처리 종료된 피처리체를 별도의 처리 장치(2) 또는 스토커(도시하지 않음)에 반송시키는 반송 지시를 반송 장치(32)에 송신한다(단계 S30).
빈 반송 장치(32)는 반송 제어 장치(31)로부터 송신된 회수 지시 및 반송 지시를 수신하고(단계 S31), 수신된 회수 지시에 따라, 지정된 처리 장치(2)로 이동하여, 피처리체를 회수한다(단계 S32). 회수된 피처리체를 탑재한 반송 장치(32)는 이 피처리체를 이 처리 장치(2) 또는 스토커에 반송한다(단계 S33).
또, 전술한 처리 순서에서는, 빈 반송 장치의 이동을 피처리체를 탑재한 반송 장치의 이동보다 먼저 지시하는 예를 나타내고 있지만, 반송 장치(32)의 배치 상황에 따라서는, 피처리체를 탑재한 반송 장치의 이동을 먼저 개시시키고, 계속해서 빈 반송 장치의 이동을 지시하도록 해도 좋다. 예컨대, 빈 반송 장치가 피처리체를 탑재한 반송 장치에 비해 처리 장치(2) 근방에 위치해 있는 경우, 피처리체를 탑재한 반송 장치 쪽이 이동에 시간을 필요로 하기 때문에, 먼저 피처리체를 탑재한 반송 장치의 이동을 지시하면 된다.
<투기 준비 실패 팔로우 처리>
도 12는 반송 장치(32)에 대한 투기적 지시가 적중하지 않은 경우의 처리 순서를 나타낸 플로우차트이다. 반송 제어 장치(31)는 반송 장치(32)의 상태 및 생산 실행 제어 장치(4)로부터 송신되는 생산 실행 제어 정보를 감시하고 있어, 처리 장치(2)에서의 피처리체의 처리가 종료되기 전에 반송 장치(32)가 도착한 것을 인식할 수 있다. 반송 제어 장치(31)는 처리 장치(2)에서의 피처리체의 처리가 종료되기 전에 반송 장치(32)가 도착한 경우, 투기적 이동 실패 통지를 생산 효율화 장치(1)에 송신한다(단계 S171).
생산 효율화 장치(1)의 제어부(11)는 투기적 이동 실패 통지를 반송 제어 장치(31)로부터 수신한 경우(단계 S172), 반송 장치(32)의 대기 혹은 순회, 또는 반송 장치(32)를 차고로 이동시키는 지시 정보를 생성한다(단계 S173). 그리고, 제어부(11)는 단계 S173에서 생성된 지시 정보를 반송 제어 장치(31)에 송신한다(단계 S174).
반송 제어 장치(31)는 생산 효율화 장치(1)로부터 송신된 지시 정보를 수신한 경우(단계 S175), 처리 장치(2)에 도착한 반송 장치(32)를 대기 혹은 순회시키고, 또는 반송 장치(32)를 정해진 차고로 이동시키는 지시를 반송 장치(32)에 송신한다(단계 S176).
반송 장치(32)는 반송 제어 장치(31)의 지시에 따라, 처리 장치(2) 주변에서 대기하고, 주변을 순회하며, 또는 정해진 차고로 이동한다(단계 S177).
본 실시형태에 따르면, 처리 장치(2)에서의 피처리체의 처리 종료 시간을 예측하여 피처리체를 투기적으로 반송함으로써, 반송 장치(32)의 반송 시간을 단축해서 피처리체에 대한 처리 효율을 향상시켜, 생산 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 현상황에서도 처리 부하가 높은 생산 실행 제어 장치(4)에 처리 장치(2)의 동작 상황을 송신하고, 예측 처리를 실행시킨 경우, 생산 실행 제어 장치(4)의 처리 부하가 더욱 증대되어, 반송 장치(32) 및 처리 장치(2)에 대한 제어가 지연되게 되고, 오히려 생산 효율이 악화될 우려가 있었다. 그러나, 본 실시형태에 따르면, 생산 효율화 장치(1)의 제어에 의해, 반송 장치(32)를 투기적으로 이동시킬 수 있기 때문에, 이러한 문제를 회피하면서, 생산 효율을 향상시킬 수 있다.
또, 전술한 실시형태에서는, 처리 장치(2)에서의 피처리체의 처리가 종료되는 시각을 예측하고, 반송 장치(32)를 이 처리 장치(2) 근방으로 이동시키도록 구성한 예를 설명했지만, 처리 종료 예측을 하지 않고 반송 장치(32)의 투기적 이동을 지시하도록 구성해도 좋다.
예컨대, 처리 장치(2)로부터 특정 타이밍에 이벤트 신호가 출력되도록 구성하여, 생산 효율화 장치(1)는 처리 장치(2)로부터 출력된 이벤트 신호를 수신한 경우, 즉시, 반송 장치(32)를 이 처리 장치(2)로 이동시키도록 구성해도 좋다. 이벤트 신호의 내용 및 출력 타이밍은 특별히 한정되지 않는다. 구체적으로는, 이벤트 신호는 피처리체에 대한 처리가 특정 공정에 들어간 경우에 출력되는 신호, 처리 장치(2)가 특정 상태에 있는 경우에 출력되는 신호, 처리 장치(2)로부터 출력된 처리 종료 시각 정보를 갖는 신호 등이다.
또한, 생산 효율화 장치(1)는 처리 장치(2)로부터 출력된 이벤트 신호를 수신한 경우, 이 이벤트 신호를 수신하고 나서 정해진 시간 후에, 반송 장치(32)를 이 처리 장치(2)로 이동시키도록 구성해도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 생산 실행 제어 장치(4)로부터의 제어 명령에 앞서, 투기적으로 반송 장치(32)의 이동을 지시하도록 구상되어 있지만, 상황에 따라서는, 생산 실행 제어 장치(4)로부터의 제어 명령이 송신된 후에, 생산 효율화 장치(1)가 반송 장치(32)의 이동 지시를 반송 제어 장치(31)에 송신하는 경우가 있어도 좋다.
처리 장치(2)가 처리 상황을 생산 실행 제어 장치(4)에 송신하고, 생산 실행 제어 장치(4)에 예측 처리를 실행시키도록 구성한 경우에는, 생산 실행 제어 장치(4)의 처리 부하는 현상황에서도 높은 바, 더욱 처리 부하가 증대되어, 반송 장치(32) 및 처리 장치(2)에 대한 제어가 지연되게 되고, 오히려 생산 효율이 악화될 우려가 있다. 그러나, 본 실시형태에 따르면, 반송 제어 장치(31)와 생산 효율화 장치(1)와는 별도로 생산 효율화 장치(1)를 설치함으로써, 생산 실행 제어 장치(4)의 처리 부하의 증대를 최소한으로 억제할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는 생산 실행 제어 장치(4)와 반송 제어 장치(31)와 생산 효율화 장치(1)를 개별적으로 설치하는 예를 설명했지만, 생산 효율화 장치(1)와 반송 제어 장치(31)의 기능을 하나의 컴퓨터에 구축시켜도 좋다.
(변형예 1 : 통계적 처리 종료 예측)
도 13은 변형예 1에서의 생산 효율화에 관한 처리 순서를 나타낸 플로우차트이다. 처리 장치(2) 및 생산 효율화 장치(1)의 제어부(11)는 도 4의 단계 S11 ~ 단계 S12와 마찬가지로, 정보의 송수신(단계 S191, 192), 처리 장치(2)에서의 피처리체에 대한 처리 종료 예측을 행한다(단계 S193).
그 후, 피처리체에 대한 처리를 끝낸 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리를 실제로 끝낸 실종료 시각을 생산 효율화 장치(1)에 송신한다(단계 S194). 또, 실종료 시각 대신에, 피처리체에 대한 처리를 끝내는데 실제로 필요한 실종료 시간을 송신하고, 실종료 시간을 이용하여 이하의 처리를 실행하도록 구성해도 좋다.
생산 효율화 장치(1)의 제어부(11)는 처리 장치(2)로부터 송신된 실종료 시각을 수신하고(단계 S195), 종료 예측 시각과, 처리 장치(2)로부터 송신된 실종료 시각과, 처리 종료 예측에 이용한 정보를 대응시켜 내부 기억 장치(13)에 축적한다(단계 S196). 또, 처리 종료 시각과, 실종료 시각에 대응하는 정보는, 예컨대 처리 장치(2)를 특정하는 ID, 레시피 등을 포함한다. 이와 같이, 생산 효율화 장치(1)는 처리 장치(2)에서의 처리의 종료 예측을 행할 때마다, 종료 예측 시간과, 실종료 시각과, 종료 예측에 이용한 정보를 대응시켜 축적한다. 내부 기억 장치(13)에 축적된 처리 종료 예측에 관한 정보는 처리 종료 예측에 이용된다.
계속해서, 전술한 정보가 내부 기억 장치(13)에 축적된 후, 다시 처리 장치(2)로부터, 처리 종료 예측에 필요한 정보가 생산 효율화 장치(1)에 송신된 경우(단계 S197), 생산 효율화 장치(1)는 이 정보를 수신하고(단계 S198), 수신된 정보와, 내부 기억 장치(13)에 축적된 정보를 이용하여, 상기 정보의 송신원인 처리 장치(2)에서 처리가 종료되는 시각을 예측한다(단계 S199). 처리 종료 예측의 통계 계산 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예컨대, 내부 기억 장치(13)가 기억하는 정보에 기초해서, 처리 종료 시각의 최대치, 최소치, 평균치, 최빈치, 분산 등을 계산하여, 처리 종료 시각을 산출한다. 이하, 도 4의 단계 S14 이후의 처리와 동일한 처리가 실행된다.
변형예 1에 관한 생산 효율화 장치(1)에 따르면, 처리 종료 시각을 통계적으로 산출하도록 구성되어 있기 때문에, 보다 적절한 타이밍에서 반송 장치(32)의 이동을 투기적으로 지시할 수 있어, 더욱 생산 효율을 향상시킬 수 있다.
(변형예 2 : 동기)
도 14는 변형예 2에 관한 빈 반송 장치 및 피처리체를 탑재한 반송 장치의 도착 타이밍을 나타낸 타이밍 차트이다. 도 14의 도면부호 14A는 피처리체를 탑재한 반송 장치의 도착 타이밍의 확률 분포, 14B는 빈 반송 장치의 도착 타이밍의 확률 분포, 14C 및 14D는 제1 및 제2 로드 포트(21a, 21b)에 배치된 피처리체에 대한 처리가 행해지는 타이밍을 나타내고 있다.
변형예 2에 관한 생산 효율화 장치(1)는 반송 장치(32)가 처리 장치(2)로 이동하는데 필요한 소요 시간과, 이 처리 장치(2)에서의 제1 로드 포트(21a)에 배치된 피처리체에 대한 처리가 종료되어, 이 처리가 종료된 피처리체를 취출할 수 있게 될 예정의 제1 시각과, 제2 로드 포트(21b)에 배치된 피처리체에 대한 처리가 전부 종료되는 예정의 제2 시각을 바탕으로, 제1 시각부터 제2 시각까지의 사이에 반송 장치(32)가 도착 가능한 타이밍에 반송 장치(32)의 이동을 지시한다. 예컨대, 생산 효율화 장치(1)의 제어부(11)는 빈 반송 장치가 처리 장치(2)에 도착하는 시각의 확률 분포와, 피처리체를 탑재한 반송 장치가 처리 장치(2)에 도착하는 시각의 확률 분포를 산출하여, 각 확률 분포가 제1 시각과, 제2 시각 사이에 분포되고, 빈 반송 장치의 도착 시각에 관한 확률 분포가 피처리체를 탑재한 반송 장치의 도착 시각에 관한 확률 분포보다 제1 시각 가까이에 분포되도록, 각 반송 장치(32)의 이동을 지시한다. 보다 적합하게는, 각 확률 분포가 중복되지 않도록, 즉 각 확률 분포의 중복 부분의 비율이 정해진 값 미만이 되도록, 반송 장치(32)의 이동을 지시하면 된다. 또, 제1 및 제2 시각은 로드 포트의 전환 시각과, 처리되는 피처리체의 장수, 레시피 등에 기초하여 예측할 수 있다.
보다 구체적으로 설명하면, 도 14에 도시한 바와 같이, 제1 로드 포트(21a)에 배치된 피처리체를 처리하고 있는 경우, 처리 장치(2)로부터 송신된 정보에 기초하여, 상기 피처리체에 대한 처리가 종료되어, 이 처리가 종료된 피처리체를 취출할 수 있게 되는 제1 시각을 예측한다. 또한, 상기 피처리체에 대한 처리를 종료한 후, 제2 로드 포트(21b)에 배치된 피처리체에 대하여 처리가 실행되는데, 제어부(11)는 이 피처리체에 대한 처리가 전부 종료되는 제2 시각을 레시피를 이용하여 예측한다. 그리고, 제어부(11)는 반송 장치(32)가 이 처리 장치(2)로 이동하는데 필요한 소요 시간을 추정하고, 상기 제1 시각과, 제2 시각 사이에 빈 반송 장치와, 피처리체를 탑재한 반송 장치가 이 순서로 도착 가능한 타이밍에 반송 장치(32)의 이동을 지시한다.
변형예 2에 관한 생산 효율화 장치(1)에 따르면, 적절한 타이밍에 반송 장치(32)의 이동을 투기적으로 지시할 수 있어, 더욱 생산 효율을 향상시킬 수 있다.
(변형예 3 : 우선도 스케줄링)
다음으로 본 발명에 관련된 변형예 3을 설명한다.
본 변형예 3에서는, 생산 효율화 장치(1)는 처리 종료 시각을 예측함으로써, 처리 장치로부터의 반출이 가능해지는 타이밍과, 처리 장치(2)에 있어서 앞으로 처리해야 할 피처리체가 없게 되는 타이밍을 구한다.
예컨대, 처리 장치(2)에 있어서, 처리가 종료됨으로써 이 처리 장치(2)로부터의 반출이 가능해진 피처리체를 수납한 FOUP가 하나의 로드 포트 상에 있는 경우라도, 이 처리 장치(2)에 있어서, 이 반출이 가능해진 FOUP와는 별도의 미처리의 피처리체를 수납한 FOUP가 별도의 로드 포트에 있어, 미처리의 피처리체가 남아 있는 경우에는, 프로세스 모듈이 피처리체에 대한 처리를 할 수 없는 상태에 이르기까지는 유예 시간이 있다. 처리 장치(2) 내에 있는 복수의 피처리체마다 혹은, 피처리체를 수납한 FOUP의 단위로 처리 종료 시각을 예측함으로써, 생산 효율화 장치(1)가 반송 제어 장치(31)에 송신하는 반송 필요 시기에 관한 정보는, 적어도 하나의 로드 포트에 배치된 FOUP에 수납되어 있던 피처리체의 처리가 종료되어 반송 장치에 의한 회수가 가능해지는 시기를 시점(始點)으로 하고, 다른 쪽의 로드 포트에 배치된 FOUP에 수납되어 있던 피처리체에 대한 처리가 종료되어 그 후 처리해야 할 피처리체가 장치 내에 없게 되는 시기를 종점(終點)으로 하는 시간폭을 갖는 정보로 한다.
이에 따라, 반송 제어 장치(31)는 반송 필요 시기의 시점에서 종점 사이에 반송 장치(32)가 처리 장치(2)에 도착하도록 제어하면 되고, 이와 같이 시간폭을 갖고 있기 때문에 반송 제어 장치(31)에 있어서 반송의 우선도를 고려하여, 반송로에서의 반송 장치(32)의 혼잡을 저감시킨 반송 장치(32)의 이동 스케줄링이 하기 쉬워진다. 또한 예컨대 처리 장치(2)에서의 피처리체에 대한 처리가 종료되어, 처리 장치(2)로부터 생산 실행 제어 장치(4)에 처리가 종료되었다는 취지의 보고가 이루어져, 생산 실행 제어 장치(4)로부터 반송 제어 장치(31)에 이 처리 장치로부터의 피처리체의 회수 지시가 송신된 후라도, 상기 반송 필요 시기의 종점까지 시간적 여유가 있다면, 반송 제어 장치(31)는 복수의 반송 장치의 위치나 이동 상태를 고려하여, 혼잡이 발생하지 않도록 상기 생산 실행 제어 장치(4)로부터의 회수 지시에 즉응하지 않고, 지연시켜 이동시키도록 구축해도 좋다.
이와 같이, 처리 장치(2)에 있어서, 처리가 종료되어 반출할 수 있게 된 피처리체가 발생하더라도, 처리해야 할 미처리의 피처리체가 없는 상태가 되지 않는다면, 프로세스 모듈은 연속적으로 처리를 계속할 수 있기 때문에, 처리 장치(2)의 높은 생산 효율을 유지할 수 있게 된다.
(변형예 4 : 우선도 스케줄링)
도 15는 변형예 4에서의 생산 효율화에 관한 처리 순서를 나타낸 플로우차트이다. 투기적으로 반송 장치(32)를 이동시킨 후, 생산 실행 제어 장치(4)로부터 반송 지시 정보가 송신되고(단계 S211), 이 반송 지시 정보를 생산 효율화 장치(1)가 수신한 경우(단계 S212), 생산 효율화 장치(1)의 제어부(11)는 로드 포트(21a, 21b)의 전환 시각, 및 현재 행하고 있는 피처리체에 대한 처리 내용이 기술된 레시피를 처리 장치(2)에 요구한다(단계 S213).
처리 장치(2)는 생산 효율화 장치(1)로부터 로드 포트(21a, 21b)의 전환 시각 및 레시피를 요구받은 경우(단계 S214), 가장 가까운 로드 포트 전환 시각과, 현재 행하고 있는 피처리체에 대한 처리 내용을 기술한 레시피를 생산 효율화 장치(1)에 송신한다(단계 S215).
생산 효율화 장치(1)의 제어부(11)는 처리 장치(2)로부터 송신된 로드 포트 전환 시각 및 레시피를 수신한다(단계 S216). 그리고, 제어부(11)는 현재의 시각과, 로드 포트 전환 시각과, 레시피에 기초하여, 현재 행해지고 있는 처리가 종료되기까지의 시간(이하, 처리 잔시간이라고 함)을 산출한다(단계 S217). 그리고, 제어부(11)는 피처리체의 반송이 필요한 처리 장치(2)가 복수개 있는 경우, 반송 장치(32)를 수배해야 할 처리 장치(2)의 우선 순위를 결정한다(단계 S218). 우선 순위는, 처리 잔시간이 짧을수록, 높아지도록 결정된다.
그리고, 제어부(11)는 우선 순위에 따른 회수 지시 및 반송 지시 정보를 반송 제어 장치(31)에 송신한다(단계 S219).
이와 같이 반송 장치(32)의 이동을 스케줄링함으로써, 경우에 따라서는, 처리 장치(2)에서의 처리가 종료된 직후에 반송 장치(32)가 도착하도록 반송 장치(32)의 이동을 지시하는 것이 아니라, 다른 처리 장치(2)에 있어서 처리해야 할 피처리체가 없게 되는 것과 같은 사태도 감안해서, 피처리체의 도착 대기가 발생할 것 같은 처리 장치(2)에 반송 장치(32)를 우선적으로 이동시킬 수 있다.
변형예 4에 관한 생산 효율화 장치(1)에 따르면, 반송 장치(32)의 수배가 필요한 처리 장치(2)의 우선 순위를 결정하여, 우선적으로 반송 장치(32)를 이동시키도록 구성하기 때문에, 생산 효율을 보다 향상시킬 수 있다.
(변형예 5 : 생산 실행 제어 장치(4)의 접속예)
도 16은 변형예 5에 관한 생산 처리 시스템의 일 구성예를 도시한 블록도이다. 전술한 실시형태에서는 생산 효율화 장치(1)가 처리 장치(2), 반송 제어 장치(31), 생산 실행 제어 장치(4)와의 사이에서 정보를 통신하는 제1 내지 제3 통신부(14, 15, 16)를 구비하는 예를 설명했지만, 생산 실행 제어 장치(4)로부터의 정보를 간접적으로 수신하도록 구성해도 좋다. 예컨대, 생산 실행 제어 장치(4)로부터 송신되는 정보를 반송 제어 장치(31)를 통해 수신하도록 구성해도 좋다.
변형예 5에 관한 생산 효율화 장치(1)에 따르면, 생산 실행 제어 장치(4)와의 사이에서 정보를 송수신하는 인터페이스가 불필요하여, 저비용으로 통신 시스템을 구축할 수 있다.
(변형예 6 : 반송 시스템(3)의 통신선 유용)
도 17은 변형예 6에 관한 생산 처리 시스템의 일 구성예를 도시한 블록도이다. 지금까지 설명한 본 발명의 형태에서는, 생산 효율화 장치(1)가 처리 장치(2)와 통신하기 위한 전용선을 갖는 예를 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 변형예 6에 관한 생산 효율화 장치(1)는, 반송 제어 장치(31)와, 반송 장치(32)와의 사이에서 정보를 송수신하는 통신 선로(33)를 유용하여, 처리 장치(2)로부터 송신되는 정보를 수신하도록 구성되어 있다. 통신 선로(33)는, 예컨대 반송 시스템(3)을 구성하는 반송 장치(32)의 반송로를 따라 부설(敷設)되어 있다.
또한, 통신 선로(33)를 경유하여, 반송 시스템(3)이 갖는 피처리 기판을 반송하는 반송 장치(32)가 처리 장치(2)에 대해 피처리 기판을 전달하기 위한 정지점 근방에, 처리 장치(2)와의 통신 선로를 접속하는 액세스 포인트(국)가 배치되도록 구성해도 좋다.
변형예 6에 관한 생산 효율화 장치(1)에 따르면, 처리 장치(2)와의 사이에서 정보를 송수신하는 전용선이 불필요하여, 저비용으로 통신 시스템을 구축할 수 있다.
(변형예 7 : 피처리체를 탑재한 반송 장치 이동 지시 처리)
도 18 및 도 19는 변형예 7에서의 생산 효율화에 관한 처리 순서를 나타낸 플로우차트이다. 변형예 7에 관한 생산 효율화 장치(1)는 생산 실행 제어 장치(4)로부터의 정보를 이용하여, 피처리체를 탑재한 반송 장치의 보다 적확한 투기적 이동 지시를 행하는 것이다.
피처리체에 대하여 처리를 실행하고 있는 처리 장치(2)는 피처리체에 대한 처리가 종료되는 시각을 예측하는데 필요한 정보를 생산 효율화 장치(1)에 송신한다(단계 S231).
생산 효율화 장치(1)의 제어부(11)는 처리 장치(2)로부터 송신된 정보를 제1 통신부(14)에서 수신하고(단계 S232), 수신된 정보에 기초하여, 이 정보의 송신원인 처리 장치(2)가 처리를 끝내는 처리 종료 시각을 예측한다(단계 S233).
계속해서, 제어부(11)는 예측된 처리 종료 시각에 기초하여, 빈 반송 장치의 투기적 지시 정보를 생성하고(단계 S234), 생성한 빈 반송 장치의 투기적 지시 정보를 제2 통신부(15)에 의해 반송 제어 장치(31)에 송신한다(단계 S235).
반송 제어 장치(31)는 생산 효율화 장치(1)로부터 송신된 빈 반송 장치의 투기적 지시 정보를 수신한다(단계 S236). 그리고, 반송 제어 장치(31)는 수신된 투기적 지시 정보에 기초하여, 반송 장치(32)의 수배와 이동, 즉 배차 스케줄링, 및 반송 장치(32)의 대기를 지시하고(단계 S237), 빈 반송 장치의 이동 지시를 송신한다(단계 S238).
반송 장치(32)는 반송 제어 장치(31)로부터의 지시를 수신한다(단계 S239). 그리고, 상기 지시를 수신한 반송 장치(32)는 수신된 지시에 따라, 지시된 처리 장치(2) 근방으로 이동한다(단계 S240). 즉, 처리 장치(2)에서 처리된 피처리체를 회수하기 위한 반송 장치(32)는 생산 실행 제어 장치(4)로부터의 지시에 앞서, 이 처리 장치(2)로 이동하고 있다.
계속해서, 제어부(11)는 정보의 송신원인 처리 장치(2)에서 다음으로 처리되어야 할 피처리체의 로트 번호 등, 다음 처리에 관한 정보를 생산 실행 제어 장치(4)에 요구한다(단계 S241).
생산 실행 제어 장치(4)는 생산 효율화 장치(1)로부터 다음 처리에 관한 정보의 요구를 수신한 경우(단계 S242), 다음 처리에 관한 피처리체의 지정 정보 또는 다음 처리에 관한 피처리체를 특정하기 위한 정보를 생산 효율화 장치(1)에 송신한다(단계 S243).
생산 효율화 장치(1)의 제어부(11)는 생산 실행 제어 장치(4)로부터 송신된 정보를 수신하고(단계 S244), 이 정보에 기초하여 피처리체 반송의 투기적 지시 정보를 생성하고(단계 S245), 생성된 피처리체 반송의 투기적 지시 정보를 제2 통신부(15)에 의해 반송 제어 장치(31)에 송신한다(단계 S246).
반송 제어 장치(31)는 생산 효율화 장치(1)로부터 송신된 피처리체 반송의 투기적 지시 정보를 수신한다(단계 S247). 그리고, 반송 제어 장치(31)는 수신된 투기적 지시 정보에 기초해서, 상기 지정된 피처리체를 탑재중인 반송 장치(32)를 특정하여 배차 스케줄링, 및 상기 반송 장치(32)의 대기 처리를 실행하고(단계 S248), 이동 지시를 송신한다(단계 S249). 단계 S248에서 행하는 지시는, 후술하는 바와 같이, 생산 실행 제어 장치(4)로부터 송신되는 확정적인 제어 지시에 앞서 행해지는 투기적인 준비에 관련된 지시이다. 또, 단계 S248에 있어서 지정된 피처리체가 반송 장치(32)에는 탑재되어 있지 않고, 스토커 등에 보관되어 있는 경우 등에는, 반송 제어 장치(31)는 상기 지정된 피처리체의 현재의 보관 장소 특정과 이 피처리체를 탑재하기 위한 반송 장치(32)의 수배와 이 피처리체의 탑재와 이동의 스케줄링, 및 이 반송 장치(32)의 대기 처리를 실행하게 하면 된다.
반송 장치(32)는 반송 제어 장치(31)로부터의 지시를 수신한다(단계 S250). 그리고, 반송 장치(32)는 수신된 지시에 따라, 지시된 처리 장치(2) 근방으로 이 처리 장치(2)의 다음 처리에 관한 피처리체를 탑재하여 이동한다(단계 S251). 즉, 처리 장치(2)에서 다음으로 처리되어야 할 피처리체를 반송하기 위한 반송 장치(32)는 생산 실행 제어 장치(4)로부터의 지시에 앞서, 이 처리 장치(2)로 이동한다.
또, 빈 반송 장치의 투기적인 이동 지시의 처리에서 설명한 각종 변형예는, 피처리체를 탑재하고 있는 반송 장치의 투기적 이동 지시에 관해서도 적용할 수 있다.
변형예 7에 관한 생산 효율화 장치(1)에 따르면, 피처리체를 탑재한 반송 장치의 투기적 이동을 정확하게 지시할 수 있어, 생산 효율을 향상시킬 수 있다.
본 실시형태에서는, 생산 실행 제어 장치(4)와 반송 제어 장치(31)와 생산 효율화 장치(1)를 개별적으로 설치하는 예를 설명했지만, 생산 효율화 장치(1)에 더욱 반송 제어 장치(31)의 기능을 갖게 해도 좋다.
이번에 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시로서, 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는 상기한 의미가 아니라, 특허청구범위에 의해 개시되며, 특허청구범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함될 것이 의도된다.
이번에 개시된 실시형태는, 피처리체를 수용하고, 측면에 개폐 가능한 덮개를 가진 밀폐 용기인 FOUP를 이용하여 피처리체를 반송하는 예로서 설명했지만, 하면에 덮개를 가진 SMIF 포드에도 적용할 수 있고, 밀폐되지 않는 개방형의 수용 용기인 오픈 카세트여도 좋으며, 수용 용기에 수용하는 피처리체의 장수가 1장이어도 좋고, 피처리체를 용기에 넣지 않고 피처리체 자체를 이동시키는 형태여도 좋다.
1 : 생산 효율화 장치 2 : 처리 장치
3 : 반송 시스템 4 : 생산 실행 제어 장치
5 : 기록 매체 5a : 컴퓨터 프로그램
11 : 제어부 12 : 외부 기억 장치
13 : 내부 기억 장치 14 : 제1 통신부
15 : 제2 통신부 16 : 제3 통신부
17 : 시계부 21a : 제1 로드 포트
21b : 제2 로드 포트 22 : 로드 모듈
23a, 23b : 로드 록 모듈 24 : 트랜스퍼 모듈
25a, 25b, 25c, 25d : 프로세스 모듈 31 : 반송 제어 장치
32 : 반송 장치

Claims (20)

  1. 생산 실행 제어 장치, 복수의 처리 장치, 및 복수의 반송 장치와 상기 복수의 반송 장치를 제어하는 반송 제어 장치를 갖는 반송 시스템을 포함하는 생산 처리 시스템 내의 생산 효율화 장치에 있어서,
    하나 이상의 피처리체를 처리하는 상기 복수의 처리 장치와의 사이에서 정보를 통신하는 제1 통신 수단과,
    하나 이상의 피처리체를 상기 복수의 처리 장치 중 하나 이상에 반송하는 상기 복수의 반송 장치 각각의 제어에 관한 제어 정보를 상기 반송 시스템과의 사이에서 통신하는 제2 통신 수단과,
    상기 제1 통신 수단에 의해 통신한 정보에 기초하여, 상기 복수의 처리 장치 중 하나의 처리 장치가 피처리체의 반송을 필요로 하는 반송 시기를 예측하는 반송 시기 예측 수단과,
    상기 반송 시기 예측 수단이 예측한 반송 시기에 상기 복수의 처리 장치 중 하나 이상에 상기 복수의 반송 장치 중 하나 이상이 도착하도록 상기 반송 시스템에 대한 제어 정보를 생성하는 생성 수단
    을 구비하고,
    상기 생산 효율화 장치는 상기 반송 제어 장치 및 상기 생산 실행 제어 장치와는 별도로 설치되고,
    상기 제어 정보는,
    피처리체에 대한 처리가 정해진 기간 내에 종료되는 처리 장치가 적게 존재하는 영역보다는, 피처리체에 대한 처리가 상기 정해진 기간 내에 종료되는 처리 장치가 많이 존재하는 영역에 반송 장치를 편재(偏在)시키도록 상기 복수의 반송 장치를 이동시키는 지시를 포함하는 것인 생산 효율화 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제어 정보는,
    피처리체를 탑재하고 있지 않은 반송 장치를 상기 복수의 처리 장치 중 하나의 처리 장치로 이동시키는 지시를 포함하는 것인 생산 효율화 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제어 정보는,
    피처리체를 탑재하고 있는 반송 장치를 상기 복수의 처리 장치 중 하나의 처리 장치로 이동시키는 지시를 포함하는 것인 생산 효율화 장치.
  4. 삭제
  5. 제2항에 있어서, 상기 생성 수단은,
    상기 피처리체의 처리가 종료되기 전에 상기 반송 장치가 상기 처리 장치에 도착한 경우, 상기 반송 장치를 대기시키는 지시,
    상기 반송 장치를 상기 처리 장치의 주변에서 순회시키는 지시, 및
    정해진 장소로 상기 반송 장치를 이동시키는 지시
    를 포함하는 제어 정보를 생성하도록 구성되는 것인 생산 효율화 장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 제어 정보는,
    피처리체를 탑재하고 있지 않은 반송 장치가 상기 처리 장치에 도착한 후에, 피처리체를 탑재한 반송 장치가 상기 처리 장치에 도착하도록 각 반송 장치를 이동시키는 지시를 포함하는 것인 생산 효율화 장치.
  7. 제1항에 있어서, 생산 실행 제어 장치로부터 송신된 생산 실행 제어 정보를 직접적 또는 간접적으로 통신하는 수단을 더 구비하고,
    상기 생산 실행 제어 장치는 상기 복수의 처리 장치 및 상기 복수의 반송 장치의 동작을 제어하고,
    상기 생산 실행 제어 장치로부터 송신된 제어 정보와, 상기 생성 수단이 생성한 제어 정보가 서로 모순되지 않도록 되어 있는 것인 생산 효율화 장치.
  8. 제2항에 있어서, 상기 반송 장치가 상기 처리 장치에 도착하는데 필요한 이동 소요 시간을 예측하는 수단을 더 구비하며,
    상기 제어 정보는, 상기 반송 장치의 이동이 개시되는 이동 개시 시기를 포함하고,
    상기 이동 개시 시기는 상기 반송 시기보다 상기 이동 소요 시간 전의 시기인 것인 생산 효율화 장치.
  9. 제2항에 있어서, 상기 반송 시기는,
    상기 처리 장치에서의 처리가 종료되어, 상기 반송 장치에 의해 피처리체가 취출될 수 있는 시기,
    상기 처리 장치에서 처리해야 할 미처리의 피처리체가 없어지는 시기, 및
    상기 처리 장치에서의 처리가 종료되는 시기와, 상기 처리 장치에서 처리해야 할 미처리의 피처리체가 없어지는 시기 사이의 어느 한 시기
    를 포함하는 것인 생산 효율화 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 처리 장치 각각은, 그 처리 장치에 투입되어 있는 피처리체의 잔(殘)처리 시간에 관한 정보와, 연속해서 처리를 계속하기 위해 다음으로 피처리체가 필요해지는 시간에 관한 정보를 통신하도록 구성되고, 상기 생산 효율화 장치는,
    상기 복수의 처리 장치와 통신한 정보에 기초하여, 각 처리 장치에 투입되어 있는 피처리체의 처리가 종료되는 종료 시기, 및 각 처리 장치가 다음의 피처리체를 필요로 하는 개시 시기를 산출하는 수단과,
    상기 산출된 종료 시기 및 개시 시기에 기초하여, 상기 반송 장치를 이동시킬 우선 순위를 결정하는 수단
    을 더 구비하는 것인 생산 효율화 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 처리 장치 각각에서 피처리체에 대한 처리에 실제로 필요한 실적 시간 또는 처리를 실제로 종료한 실종료 시각을 통신하는 수단과,
    종료 예측 시기와, 상기 실적 시간 또는 상기 실종료 시각과, 상기 종료 예측 시기의 예측에 이용한 정보를 대응시켜 축적하는 수단
    을 더 구비하고,
    상기 생성 수단은, 상기 축적된 정보를 이용하여 상기 제어 정보를 생성하도록 구성되는 것인 생산 효율화 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 제1 통신 수단이 통신하는 정보는,
    피처리체에 대한 처리가 특정 처리 공정에 있는 것을 나타내는 정보를 포함하는 것인 생산 효율화 장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 제1 통신 수단이 통신하는 정보는,
    상기 처리 장치 각각에서 피처리체에 대한 처리에 필요한 시간, 및 처리가 종료되는 예정 시기를 나타낸 정보를 포함하는 것인 생산 효율화 장치.
  14. 제1항에 있어서, 상기 제1 통신 수단이 통신하는 정보는,
    각 처리 장치가 자신이 특정 상태에 있는 것을 나타내는 정보를 포함하는 것인 생산 효율화 장치.
  15. 제1항에 있어서, 상기 제1 통신 수단이 통신하는 정보는,
    상기 처리 장치에서의 과거의 처리에 필요했던 실적 시간 또는 상기 처리 장치에서 처리가 종료되는 실제 시각에 관한 정보를 포함하는 것인 생산 효율화 장치.
  16. 제1항에 있어서, 상기 제1 통신 수단은,
    상기 처리 장치 각각에서 피처리체에 대한 처리가 특정 처리 공정에 있는 경우에 관한 정보를 수신하도록 구성되는 것인 생산 효율화 장치.
  17. 제1항에 있어서, 처리 장치가 피처리체의 반송을 필요로 하는 반송 시기를 예측하는데 필요한 정보를 요구하는 수단을 더 구비하고,
    상기 제1 통신 수단은, 상기 요구에 따라 상기 처리 장치로부터 송신된 정보를 수신하도록 구성된 것인 생산 효율화 장치.
  18. 제1항에 있어서, 상기 처리 장치가 상기 처리 장치 각각으로부터의 피처리체의 반송을 필요로 하는 반송 시기를 예측하기 위해 필요한 정보를 송신하기 위한 설정 시기를 요구하는 수단을 더 구비하는 생산 효율화 장치.
  19. 생산 실행 제어 장치, 복수의 처리 장치, 및 복수의 반송 장치와 상기 복수의 반송 장치를 제어하는 반송 제어 장치를 갖는 반송 시스템을 포함하는 생산 처리 시스템 내의 생산 효율화 장치를 이용하는 생산 효율화 방법에 있어서,
    하나 이상의 피처리체를 처리하는 상기 복수의 처리 장치와의 사이에서 정보를 통신하는 단계와,
    하나 이상의 피처리체를 상기 복수의 처리 장치 중 하나 이상에 반송하는 상기 복수의 반송 장치 각각의 제어에 관한 제어 정보를 상기 반송 시스템과의 사이에서 통신하는 단계와,
    상기 복수의 처리 장치 중 하나의 처리 장치가 자신이 처리한 피처리체의 반출을 필요로 하는 반출 시간, 또는 상기 처리 장치가 피처리체의 반입을 필요로 하는 반입 시간을 예측하는 단계와,
    상기 예측된 반출 시간 및 반입 시간에 따른 시기에 상기 복수의 처리 장치 중 하나 이상에 상기 복수의 반송 장치 중 하나 이상이 도착하도록 상기 반송 장치에 대한 제어 정보를 생성하는 단계
    를 포함하고,
    상기 생산 효율화 장치는 상기 반송 제어 장치 및 상기 생산 실행 제어 장치와는 별도로 설치되고,
    상기 제어 정보는,
    피처리체에 대한 처리가 정해진 기간 내에 종료되는 처리 장치가 적게 존재하는 영역보다는, 피처리체에 대한 처리가 상기 정해진 기간 내에 종료되는 처리 장치가 많이 존재하는 영역에 반송 장치를 편재시키도록 상기 복수의 반송 장치를 이동시키는 지시를 포함하는 것인 생산 효율화 방법.
  20. 생산 효율화 장치, 생산 실행 제어 장치, 복수의 처리 장치, 및 복수의 반송 장치와 상기 복수의 반송 장치를 제어하는 반송 제어 장치를 갖는 반송 시스템을 포함하는 생산 처리 시스템 내의 컴퓨터를,
    하나 이상의 피처리체를 처리하는 상기 복수의 처리 장치와의 사이에서 정보를 통신하는 제1 통신 수단과,
    하나 이상의 피처리체를 상기 복수의 처리 장치 중 하나 이상에 반송하는 상기 복수의 반송 장치 각각의 제어에 관한 제어 정보를 상기 반송 시스템과의 사이에서 통신하는 제2 통신 수단과,
    상기 제1 통신 수단에 의해 통신한 정보에 기초하여, 처리 장치가 자신이 처리한 피처리체의 반출을 필요로 하는 반출 시간, 또는 상기 처리 장치가 피처리체의 반입을 필요로 하는 반입 시간을 예측하는 수단과,
    상기 예측된 반출 시간 및 반입 시간에 따른 시기에 상기 복수의 처리 장치 중 하나 이상에 상기 복수의 반송 장치 중 하나 이상이 도착하도록 상기 반송 장치에 대한 제어 정보를 생성하는 수단
    으로서 기능시키는 프로그램이 저장되고,
    상기 생산 효율화 장치는 상기 반송 제어 장치 및 상기 생산 실행 제어 장치와는 별도로 설치되고,
    상기 제어 정보는,
    피처리체에 대한 처리가 정해진 기간 내에 종료되는 처리 장치가 적게 존재하는 영역보다는, 피처리체에 대한 처리가 상기 정해진 기간 내에 종료되는 처리 장치가 많이 존재하는 영역에 반송 장치를 편재시키도록 상기 복수의 반송 장치를 이동시키는 지시를 포함하는 것인, 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체.
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