JP2003347388A

JP2003347388A - 搬送システム

Info

Publication number: JP2003347388A
Application number: JP2002157562A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Fujiki; 浩志藤木
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2002-05-30
Filing date: 2002-05-30
Publication date: 2003-12-05

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】処理装置と自動倉庫装置との間で物品を搬送
する工程内搬送装置とを有する複数の工程内搬送システ
ムと、自動倉庫装置間を搬送する工程間搬送装置とを備
えた搬送システムにおいて、物品を目的の処理装置にス
ムーズに搬送すること。【解決手段】統合コントローラは、目的の処理装置１
１が設けられている工程内搬送装置システム３Ａの自動
倉庫装置８まで、工程内搬送装置１０Ａと自動倉庫装置
８と工程間搬送装置１０Ｂとを制御して速やかに物品を
搬送して、目的の処理装置１１までの工程内搬送装置１
０Ａの平均搬送時間を基に逆算された出庫時間まで自動
倉庫装置８に物品を一時保管させ、出庫時間になると自
動倉庫装置８から物品を出庫させて、工程内搬送装置１
０Ａにより目的の処理装置１１まで搬送するように制御
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物品を搬送装置を
用いて所定のステーションに搬送する搬送系と、物品を
自動倉庫に一時収納して保管する保管系とを備えた搬送
システムに関し、詳しくは、物品を目的地へ搬送する制
御に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体のウエハは多数の工程を経て製品
となり、該ウエハはカセットに収納された状態で、工程
毎に分かれた処理装置に搬送される。このウエハの生産
システムは、工程毎に分かれた複数の処理装置と、該処
理装置に供給するカセットを一時保管する自動倉庫装置
と、該処理装置と該自動倉庫装置の間で該カセットを搬
送する工程内搬送装置とで一つの工程内搬送システムを
構成し、該工程内搬送システムを複数備えて、各工程内
搬送システムの自動倉庫装置の間は、工程間搬送装置に
よってカセットが搬送される。この工程内搬送装置を制
御する工程内搬送装置コントローラと、工程間搬送装置
を制御する工程間搬送装置コントローラと、自動倉庫装
置を制御する自動倉庫コントローラとは、上位の統合コ
ントローラによって統括管理されている。

【０００３】ウエハを目的の処理装置まで搬送するに
は、前記統合コントローラで搬送指令を作成し、該搬送
指令を前記工程内搬送装置コントローラ、工程間搬送装
置コントローラ、及び自動倉庫コントローラの各下位の
コントローラへ送信する。該ウエハを収納したカセット
は搬送元の自動倉庫装置から工程間搬送装置によって目
的の処理装置を有する工程内搬送システムの自動倉庫装
置まで搬送され、ここで工程内搬送装置に積み換えられ
て、該工程内搬送装置により目的の処理装置へ搬送され
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このようにカセットは
何回か積み換えられながら搬送されて、その搬送工程は
複雑になっている。このため該カセットは中々予定通り
に目的の処理装置へ到着せず、到着が早過ぎたり、ある
いは遅過ぎたりと、適当な時間帯に到着することがなか
った。到着が早いと、処理装置の前で、工程内搬送装置
がカセットを搭載したまま、該処理装置が利用できるま
で待機することになり、逆に遅いと、処理装置が既に利
用可能な状態となっているにも関わらず、該カセットを
搭載した工程内搬送装置が到着するまで、処理装置の方
が待機することになっていた。そこで、本発明では、こ
の工程内搬送装置、又は処理装置が徒に待機する時間を
極力なくして、カセットを目的の処理装置にスムーズに
搬送することを課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の解決しようとす
る課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するた
めの手段を説明する。まず、請求項１に記載のように、
複数の処理装置と、処理装置に供給する物品を一時保管
する自動倉庫装置と、処理装置と自動倉庫装置との間で
物品を搬送する工程内搬送装置とを有する複数の工程内
搬送システムと、自動倉庫装置間を搬送する工程間搬送
装置と、自動倉庫装置と工程内搬送装置と工程間搬送装
置とを統合管理する統合コントローラとを備えた搬送シ
ステムにおいて、前記統合コントローラは、各工程内搬
送システム内における自動倉庫装置からそれぞれの処理
装置までの搬送に要する時間の測定結果を基に算出され
た平均搬送時間を記憶し、ある処理装置から別の工程内
搬送システムの処理装置に目的の時間に到着するように
物品を搬送する際に、統合コントローラは、目的の処理
装置が設けられている工程内搬送システムの自動倉庫装
置まで、工程内搬送装置と自動倉庫装置と工程間搬送装
置とを制御して速やかに物品を搬送して、目的の処理装
置までの工程内搬送装置の前記平均搬送時間を基に逆算
された出庫時間まで自動倉庫装置に物品を一時保管さ
せ、出庫時間になると自動倉庫装置から物品を出庫さ
せ、出庫した物品を工程内搬送装置により目的の処理装
置まで搬送するように制御する。

【０００６】また、請求項２に記載のように、複数の処
理装置と、処理装置に供給する物品を一時保管する自動
倉庫装置と、処理装置と自動倉庫装置との間で物品を搬
送する工程内搬送装置とを有する複数の工程内搬送シス
テムと、自動倉庫装置間を搬送する工程間搬送装置と、
自動倉庫装置と工程内搬送装置と工程間搬送装置とを統
合管理する統合コントローラとを備えた搬送システムに
おいて、前記統合コントローラは、各行程内搬送システ
ム内における自動倉庫装置からそれぞれの処理装置まで
の搬送に要する時間の測定結果を基に算出された平均搬
送時間と、各自動倉庫装置間の搬送に要する時間の測定
結果を基に算出された平均搬送時間とを記憶し、ある処
理装置から別の工程内搬送システムの処理装置に目的の
時間に到着するように物品を搬送する際に、統合コント
ローラは、工程内搬送装置と自動倉庫装置と工程間搬送
装置とを制御して、前記平均搬送時間を基に自動倉庫装
置に一時保管する時間を調整しながら目的の処理装置ま
で物品を搬送する。

【０００７】そして、請求項３に記載のように、前記平
均搬送時間は、測定開始時期を変更可能である。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明の一実施例である搬送シス
テム１について、図１、図２を用いて説明する。図１は
搬送システム１のコンピュータシステム構成を示す模式
図であり、図２は作業場９におけるシステム集合１Ａの
構成を示す模式図である。

【０００９】搬送システム１には、搬送装置システム
３、及び物品収納システム４が、それぞれ少なくとも一
つずつは備えられ、これらのシステムを統合管理するた
めの統合コントローラ５が設けられて、その上位に生産
を管理するホストコントローラ２が設けられている。搬
送装置システム３は、搬送装置１０（１０Ａ又は１０
Ｂ）を用いて物品１２を所定の場所に搬送する系であ
り、少なくとも一台の搬送装置１０と、各搬送装置１０
の作動を管理する搬送装置コントローラ６とを備えてい
る。物品収納システム４は、物品１２を一時収納して保
管する系であり、少なくとも一つの自動倉庫装置８と、
各自動倉庫装置８の作動を管理する自動倉庫コントロー
ラ７とを備えている。

【００１０】ホストコントローラ２、統合コントローラ
５、搬送装置コントローラ６、自動倉庫コントローラ７
は、いずれもコンピュータ装置であり、入出力装置、演
算装置（ＣＰＵ）、記憶装置、前記各装置の制御装置を
備えている。

【００１１】図１に示すように、ホストコントローラ２
は上位のコントローラであり、統合コントローラ５は中
位のコントローラであり、搬送装置コントローラ６、及
び自動倉庫コントローラ７は下位のコントローラであ
る。搬送装置コントローラ６は搬送装置システム３を管
理するものであり、自動倉庫コントローラ７は物品収納
システム４を管理する。そして、統合コントローラ５
は、搬送装置コントローラ６と自動倉庫コントローラ７
との全体を管理することで、搬送装置システム３、及び
物品収納システム４からなるシステム集合１Ａを統合管
理可能である。

【００１２】搬送システム１は、物品１２の加工・製造
を行う作業場において、物品１２の搬送を管理するシス
テムである。本実施例の搬送システム１では、複数の作
業場９において、物品１２の搬送管理が可能なシステム
としている。

【００１３】図２には、作業場９の一例が示されてお
り、該作業場９内には、物品１２を一時収納して保管す
る自動倉庫装置８・８・・・が設けられている。自動倉
庫装置８は自動で物品１２の入出庫、及び保管が可能な
倉庫であり、その構成については後述する。そして、自
動倉庫装置８毎に、物品１２の加工・製造の一工程が行
われる小作業場９ａが設けられる。

【００１４】小作業場９ａ内には、物品１２の加工・製
造の一工程を処理する処理装置１１・１１・・・と、工
程内搬送装置１０Ａ・１０Ａ・・・とが配置される。そ
して、自動倉庫装置８に保管された物品１２が工程内搬
送装置１０Ａにより処理装置１１まで搬送されて加工処
理され、加工の終了した物品１２が再び工程内搬送装置
１０Ａにより自動倉庫へと搬送される。自動倉庫装置８
・８間は軌道１３によって接続されており、該軌道１３
上を走行する工程間搬送装置１０Ｂにより、自動倉庫装
置８・８間での物品１２の搬送が行われる。ある工程の
加工処理が終了した物品１２は自動倉庫装置８内に保管
されているが、この物品１２を次の工程の加工処理を行
うため、工程間搬送装置１０Ｂにより、次の工程の小作
業場９ａと接続している自動倉庫装置８へ向けて搬送す
る。

【００１５】搬送装置システム３は、本実施例の構成で
は、工程内搬送装置システム３Ａと、工程間搬送装置シ
ステム３Ｂとからなる。工程内搬送装置システム３Ａ
は、少なくとも一台の工程内搬送装置１０Ａと、工程内
搬送装置コントローラ６Ａとを備えている。工程間搬送
装置システム３Ｂは、少なくとも一台の工程間搬送装置
１０Ｂと、工程間搬送装置コントローラ６Ｂとを備えて
いる。また、物品収納システム４は、少なくとも一つの
自動倉庫装置８と、自動倉庫コントローラ７とを備えて
いる。

【００１６】作業場９には、本実施例の構成では、一つ
の物品収納システム４と、一つの工程間搬送装置システ
ム３Ｂと、複数の工程内搬送装置システム３Ａとが備え
られている。この作業場９内にあるシステムの全体を、
システムユニット１ｂとする。一つの独立した作業場に
適用される搬送のシステムとしては、この構成に限定さ
れるものではなく、例えば複数の物品収納システム４を
含むような構成であってもよい。

【００１７】前述したように、搬送装置システム３、及
び物品収納システム４の全体からシステム集合１Ａが構
成されるが、該システム集合１Ａの一部または全体によ
って、各作業場９での物品１２の搬送が管理される。本
実施例では、一つの作業場９の搬送管理をシステムユニ
ット１ｂが担当し、システム集合１Ａ全体では複数の作
業場の搬送管理が可能となっている。つまり、システム
集合１Ａは、複数のシステムユニット１ｂから構成され
る。

【００１８】次に、物品１２を目的の処理装置１１へ搬
送するときの搬送制御について幾つかの実施例を説明す
る。まず、第１実施例では、ある処理装置１１から別の
工程内搬送装置システム３Ａの処理装置１１に目的の時
間に到着するように物品１２を搬送する際に、前記統合
コントローラ５は、搬送元の処理装置１１から、目的地
の処理装置１１のある小作業場９ａの自動倉庫装置（中
継地の自動倉庫装置）８まで、工程内搬送装置１０Ａと
自動倉庫装置８と工程間搬送装置１０Ｂとを制御して速
やかに物品１２を搬送して、目的地の処理装置１１まで
の工程内搬送装置１０Ａの平均搬送時間を基に逆算され
た出庫時間まで、中継地の自動倉庫装置８に物品１２を
一時保管させ、出庫時間になると該中継地の自動倉庫装
置８から物品１２を出庫させ、出庫した物品１２を搬送
先の作業場９ａの工程内搬送装置１０Ａにより目的地の
処理装置１１まで搬送するように制御する。このような
制御で、複雑な搬送工程を辿るときでも、物品１２は目
的地の処理装置１１に目的の時刻に到着する。

【００１９】具体的には、図３に示すように、まず、搬
送システム１を仮運転させて、物品１２をある処理装置
１１から別の工程内搬送装置システム３Ａの処理装置１
１まで搬送させる。このとき、統合コントローラ５は、
各工程内搬送装置システム３Ａ内で、工程内搬送装置１
０Ａが物品１２を自動倉庫装置８から処理装置１１まで
搬送するのに要する搬送時間を測定して、データを収集
する。このデータは統合コントローラ５に記憶され、該
データから、各装置８・１１間毎に平均搬送時間を算出
する（ステップＳ１）。

【００２０】この仮運転の間は、物品１２は目的の処理
装置１１にあまり適当な時間帯に到着せず、処理装置１
１の前で、工程内搬送装置１０Ａが物品１２を搭載した
まま、該処理装置１１が利用できるまで待機していた
り、逆に、処理装置１１が既に利用可能な状態となって
いるにも関わらず、物品１２を搭載した工程内搬送装置
１０Ａが到着するまで、処理装置１１の方が待機してい
たりする。この仮運転を所定時間行い、充分なデータを
収集して平均搬送時間を算出した上で、本運転を開始す
る。

【００２１】そして、この本運転で、今、前記ホストコ
ントローラ２から、統合コントローラ５に、ある工程内
搬送装置システム３Ａの処理装置１１から別の工程内搬
送装置システム３Ａにある処理装置１１まで物品１２を
搬送するように搬送指令が送信されたとする（ステップ
Ｓ２）。

【００２２】これにより統合コントローラ５は、前記別
の工程内搬送装置システム３Ａにある、目的地の処理装
置１１と、該別の工程内搬送装置システム３Ａに属する
自動倉庫装置（中継地の自動倉庫装置）８とを選定し、
該目的地の処理装置１１への到着時刻から、該中継地の
自動倉庫装置８と該目的地の処理装置１１との間の平均
搬送時間を差し引いて、該中継地の自動倉庫装置８から
の出庫時刻を逆算する（ステップＳ３）。

【００２３】また、このとき統合コントローラ５は、現
在、物品１２が積載されていない搬送元の小作業場９ａ
のフリーの工程内搬送装置１０Ａと、物品１２が積載さ
れていないフリーの工程間搬送装置１０Ｂと、前記中継
地の自動倉庫装置８からの出庫時刻と、前記目的地の処
理装置１１への到着時刻との間で、物品１２が積載され
ていない搬送先の小作業場９ａのフリーの工程内搬送装
置１０Ａとを探し出す。

【００２４】そして、統合コントローラ５は、搬送元の
処理装置１１のある小作業場９ａの工程内搬送車コント
ローラ６Ａへ搬送指令を送信し、該小作業場９ａの自動
倉庫装置８の自動倉庫コントローラ７に入庫指令を送信
するとともに、出庫指令を送信し、また、工程間搬送装
置コントローラ６Ｂへ搬送指令を送信し、中継地の自動
倉庫装置８の自動倉庫コントローラ７へ出庫指令を送信
し、搬送先の小作業場９ａの工程内搬送装置コントロー
ラ６Ａへ搬送指令を送信する（ステップＳ４）。ここ
で、中継地の自動倉庫装置８の自動倉庫コントローラ７
への出庫指令には、出庫時刻になると物品１２の出庫を
実行するセルフタイマー指令が含まれているものとす
る。

【００２５】これにより、前記搬送元の小作業場９ａの
工程内搬送装置コントローラ６Ａから該小作業場９ａの
フリーの工程内搬送装置１０Ａへ搬送指令が送信され
て、該フリーの工程内搬送装置１０Ａが、搬送元の処理
装置１１に到達するように制御される。また、前記工程
間搬送装置コントローラ６Ｂから軌道１３上を走行する
フリーの工程間搬送装置１０Ｂへ搬送指令が送信され、
該フリーの工程間搬送装置１０Ｂは搬送元の小作業場９
ａの自動倉庫装置８の出庫ステーションに到達するよう
に制御される。さらに、前記搬送先の小作業場９ａの工
程内搬送装置コントローラ６Ａから該小作業場９ａのフ
リーの工程内搬送装置１０Ａへ搬送指令が送信されて、
該フリーの工程内搬送装置１０Ａはその走行が制御され
ながら、該中継地の自動倉庫装置８からの出庫時刻付近
に、該中継地の自動倉庫装置８の出庫ステーションに到
達するように制御される。

【００２６】まず、前記搬送指令を受信したフリーの工
程内搬送車１０Ａが、搬送元の処理装置１１へ向かい、
該処理装置１１から物品１２を移載して、搬送元の小作
業場９ａの自動倉庫装置８へ搬送する（ステップＳ
５）。該自動倉庫装置８の自動倉庫コントローラ７は入
庫指令及び出庫指令を受信しており、前記工程内搬送車
１０Ａが到着すると、該自動倉庫装置８は、物品１２を
工程内搬送装置用の入庫ステーションから入庫し、前記
搬送指令を受信したフリーの工程間搬送装置１０Ｂが自
動倉庫装置８の工程間搬送装置用の出庫ステーションに
到達すると、該物品１２を出庫する（ステップＳ６）。
そして、搬送元の自動倉庫装置８から出庫された物品１
２は該フリーの工程間搬送装置１０Ｂに移載される。

【００２７】その後、物品１２は工程間搬送装置１０Ｂ
により前記中継地の自動倉庫装置８へ向けて搬送される
（ステップＳ７）。該中継地の自動倉庫装置８の工程間
搬送車用の入庫ステーションに到着した物品１２は、中
継地の自動倉庫装置８に入庫され（ステップＳ８）、前
記中継地の自動倉庫装置８からの出庫時刻になると、該
物品１２は小作業場９ａに面した工程内搬送車用の出庫
ステーションから出庫される（ステップＳ９）。このと
き、該中継地の自動倉庫装置８の工程内搬送車用の出庫
ステーションには、前記出庫時刻付近にフリーの工程内
搬送装置１０Ａが到着しており、中継地の自動倉庫装置
８から出庫された物品１２は該フリーの工程内搬送装置
１０Ａに移載される。

【００２８】さらに、物品１２は工程内搬送装置１０Ａ
により搬送されて（ステップＳ１０）、予定通りの到着
時刻に、目的の処理装置１１に到着し、該処理装置１１
内へ移載される（ステップＳ１１）。

【００２９】以上では、中継地の自動倉庫コントローラ
７への出庫指令、及び工程内搬送装置コントローラ６Ａ
への搬送指令に実行時刻が付されて、各コントローラ７
・６Ａがその実行時刻に合わせて、各装置８・１０Ａを
動作させるように制御している。

【００３０】あるいは、これらの実行時刻を統合コント
ローラ５の方で管理し、各実行時刻に合わせて、該統合
コントローラ５から逐次各コントローラ７・６Ａへ動作
指令（搬送指令又は出庫指令）を送信するようにしても
よい。この統合コントローラ５は各コントローラ７・６
Ａと絶えず交信していることから、その管理下にある各
装置８・１０Ａの状況を常時把握しており、この構成
（第２実施例）では、事情によって、該統合コントロー
ラ５からの動作指令の送信を遅らせたり、動作指令の送
信対象を変更することもできる。

【００３１】具体的には、第２実施例では、統合コント
ローラ５は、ある工程内搬送装置システム３Ａの処理装
置１１から別の工程内搬送装置システム３Ａにある処理
装置１１まで物品１２を搬送する指令が作成されると、
搬送元の処理装置１１のある小作業場９ａの工程内搬送
車コントローラ６Ａへ搬送指令を送信し、該小作業場９
ａの自動倉庫装置８の自動倉庫コントローラ７に入庫指
令を送信するとともに、出庫指令を送信し、また、工程
間搬送装置コントローラ６Ｂへ搬送指令を送信し、中継
地の自動倉庫装置８の自動倉庫コントローラ７へ出庫指
令を送信し、搬送先の小作業場９ａの工程内搬送装置コ
ントローラ６Ａへ搬送指令を送信する。

【００３２】前記搬送指令を受信した搬送元の小作業場
９ａの工程内搬送装置コントローラ６Ａは、搬送元の処
理装置１１に現在到着可能なフリーの工程内搬送装置１
０Ａを探し出し、該フリーの工程内搬送装置１０Ａを該
処理装置１１に向かわせ、該処理装置１１から物品１２
を移載して、搬送元の小作業場９ａの自動倉庫装置８へ
搬送する。該自動倉庫装置８の自動倉庫コントローラ７
は入庫指令及び出庫指令を受信しており、前記工程内搬
送車１０Ａが到着すると、該自動倉庫装置８は、物品１
２を工程内搬送装置用の入庫ステーションから入庫す
る。前記搬送指令を受信した工程間搬送装置コントロー
ラ６Ｂは搬送元の小作業場９ａの自動倉庫装置８の出庫
ステーションに現在到着可能なフリーの工程間搬送装置
１０Ｂを探し出しており、該フリーの工程間搬送装置１
０Ｂを該搬送元の自動倉庫装置８に向かわせる。

【００３３】そして、前記出庫指令を受信した搬送元の
自動倉庫装置８では、前記フリーの工程間搬送装置１０
Ｂが搬送元の自動倉庫装置８の出庫ステーションに到達
すると、物品１２が出庫される。こうして、搬送元の自
動倉庫装置８から出庫された物品１２が該フリーの工程
間搬送装置１０Ｂに移載される。

【００３４】そして、物品１２は工程間搬送装置１０Ｂ
により前記中継地の自動倉庫装置８へ向けて搬送され
る。該中継地の自動倉庫装置８の入庫ステーションに到
着した物品１２は、中継地の自動倉庫装置８に入庫され
る。ここで、統合コントローラ５は、前記中継地の自動
倉庫装置８からの出庫時刻前に搬送先の小作業場９ａの
工程内搬送装置コントローラ６Ａへ搬送指令を送信し、
該搬送指令を受信した工程内搬送装置コントローラ６Ａ
は該中継地の自動倉庫装置８からの出庫時刻に中継地の
自動倉庫装置８の出庫ステーションに到着可能なフリー
の工程内搬送装置１０Ａを探し出し、該フリーの工程内
搬送装置１０Ａを該中継地の自動倉庫装置８の出庫ステ
ーションに向かわせる。

【００３５】そして、前記中継地の自動倉庫装置８から
の出庫時刻になると、統合コントローラ５は該中継地の
自動倉庫コントローラ７へ出庫指令を送信し、該出庫指
令を受信した中継地の自動倉庫装置８は直ちに物品１２
を出庫する。このとき、該中継地の自動倉庫装置８の出
庫ステーションには、フリーの工程内搬送装置１０Ａが
到着しており、中継地の自動倉庫装置８から出庫された
物品１２は該フリーの工程内搬送装置１０Ａに移載され
る。さらに、物品１２は工程内搬送装置１０Ａにより搬
送されて、予定通りの到着時刻に、目的の処理装置１１
に到着し、該処理装置１１内へ移載される。

【００３６】この第２実施例では、システム全体を統合
管理している統合コントローラ５により実行時刻が管理
されるので、途中で、システムの状況が変化し、たとえ
ば、工程内搬送装置１０Ａの到着が定刻に間に合わない
ような事態が生じた場合は、中継地の自動倉庫装置８へ
の出庫指令の送信を遅らせるなど調整することもでき
る。

【００３７】また、物品１２が中継地の自動倉庫装置８
まで搬送されて工程内搬送装置１０Ａに移載され、搬送
先に指定された処理装置１１が利用できるまで待機して
いる間に、該搬送先に指定された処理装置１１と同工程
を行う、別の処理装置１１が利用可能となったときに
は、統合コントローラ５は該物品１２の搬送先を該別の
処理装置１１に変えるように搬送指令を作成し直し、こ
の作成し直した搬送指令を工程内搬送装置コントローラ
６Ａへ送信して、その工程間搬送装置１０Ａを該別の処
理装置１１へと向かわせる。このように処理装置１１を
遊ばせることなく、搬送することができ、搬送効率が向
上する。

【００３８】次に、物品１２を目的の処理装置１１へ搬
送する搬送制御の第３実施例について説明する。この第
３実施例では、ある処理装置１１から別の工程内搬送装
置システム３Ａの処理装置１１に目的の時間に到着する
ように物品１２を搬送する際に、前記統合コントローラ
５で、搬送に必要な装置１０Ａ・８・１０Ｂ・８・１０
Ａを選定して、各装置１０Ａ・８・１０Ｂ・８・１０Ａ
を、予め算出した平均搬送時間に基づいて動作させるこ
とで、複雑な搬送工程を辿るときでも、搬送先の目的の
処理装置１１に目的の時刻に物品１２を搬送できように
制御している。

【００３９】具体的には、図４に示すように、まず、搬
送システム１を仮運転させて、物品１２をある処理装置
１１から別の工程内搬送装置システム３Ａの処理装置１
１まで搬送させる。このとき、統合コントローラ５は、
物品１２が自動倉庫装置８へ入庫してから出庫するまで
の搬送時間と、工程内搬送装置システム３Ａ・３Ａ間
で、工程間搬送装置１０Ｂが物品１２を一の自動倉庫装
置８から他の自動倉庫装置８まで搬送するのに要する搬
送時間と、工程内搬送装置システム３Ａ内で、工程内搬
送装置１０Ａが物品１２を自動倉庫装置８と処理装置１
１との間を搬送するのに要する搬送時間とを測定して、
データを収集する。このデータは統合コントローラ５に
記憶され、該データから、各装置８・８間、各装置８
内、各装置８・１１間毎に平均搬送時間を算出する（ス
テップＴ１）。

【００４０】この仮運転の間は、物品１２は目的の処理
装置１１にあまり適当な時間帯に到着せず、処理装置１
１の前で、工程内搬送装置１０Ａが物品１２を搭載した
まま、該処理装置１１が利用できるまで待機していた
り、逆に、処理装置１１が既に利用可能な状態となって
いるにも関わらず、物品１２を搭載した工程内搬送装置
１０Ａが到着するまで、処理装置１１の方が待機してい
たりする。この仮運転を所定時間行い、充分なデータを
収集して平均搬送時間を算出した上で、本運転を開始す
る。

【００４１】そして、この本運転で、今、前記ホストコ
ントローラ２から、統合コントローラ５に、ある工程内
搬送装置システム３Ａの処理装置１１から別の工程内搬
送装置システム３Ａにある処理装置１１まで物品１２を
搬送するように搬送指令が送信されたとする（ステップ
Ｔ２）。

【００４２】これにより統合コントローラ５は搬送に必
要な装置１０Ａ・８・１０Ｂ・８・１０Ａ・１１を選定
し、搬送元の小作業場９ａの工程間搬送装置１０Ｂによ
る装置１１・８間の平均搬送時間Ｔａと、搬送元の小作
業場９ａの自動倉庫装置８で入出庫に要する平均搬送時
間Ｔｂと、工程間搬送装置１０Ｂによる装置８・８間の
平均搬送時間Ｔｃと、中継地にある自動倉庫装置８で入
出庫に要する平均搬送時間Ｔｄと、搬送先の小作業場９
ａの工程内搬送装置１０Ａによる装置８・１１間の平均
搬送時間Ｔｅとを累計して全工程の搬送予想時間Ｔを求
めるとともに、搬送元の自動倉庫装置８への入庫時刻ｔ
１と、搬送元の自動倉庫装置８からの出庫時刻ｔ２と、
中継地の自動倉庫装置８への入庫時刻ｔ３と、該中継地
の自動倉庫装置８からの出庫時刻ｔ４とを逆算する（ス
テップＴ３）。

【００４３】具体的には、図５に示すように、目的の処
理装置１１で物品１２が要求される時刻（以下、「目的
地到着時刻」）ｔ５が決まれば、該目的地到着時刻ｔ５
から前記全工程の搬送予想時間Ｔを差し引いて、搬送元
の処理装置１１からの出発時刻ｔ０を決定する。同様
に、該目的地到着時刻ｔ５から、前記平均搬送時間Ｔ
ｂ、Ｔｃ、Ｔｄ、Ｔｅの和（Ｔｂ＋Ｔｃ＋Ｔｄ＋Ｔｅ）
を差し引いて、搬送元の自動倉庫装置８への入庫時刻ｔ
１を決定し、また、該目的地到着時刻ｔ５から、前記平
均搬送時間Ｔｃ、Ｔｄ、Ｔｅの和（Ｔｃ＋Ｔｄ＋Ｔｅ）
を差し引いて、搬送元の自動倉庫装置８からの出庫時刻
ｔ２を決定する。また、該目的地到着時刻ｔ５から、前
記平均搬送時間Ｔｄ、Ｔｅの和（Ｔｄ＋Ｔｅ）を差し引
いて、中継地の自動倉庫装置８での入庫時刻ｔ３を決定
し、また、該目的地到着時刻ｔ５から該工程内搬送装置
１０Ａによる装置８・１１間の平均搬送時間Ｔｅを差し
引いて、中継地の自動倉庫装置８での出庫時刻ｔ４を決
定する。

【００４４】また、このとき統合コントローラ５は、前
記出庫時刻ｔ０と前記入庫時刻ｔ１との間で、物品１２
が積載されていない、搬送元の小作業場９ａのフリーの
工程内搬送装置１０Ａと、前記出庫時刻ｔ２と前記入庫
時刻ｔ３との間で、物品１２が積載されていないフリー
の工程間搬送装置１０Ｂと、前記出庫時刻ｔ４と前記目
的地到着時刻ｔ５との間で、物品１２が積載されていな
い、搬送先の小作業場９ａのフリーの工程内搬送装置１
０Ａを探し出す。

【００４５】そして、統合コントローラ５は、搬送元の
処理装置１１のある小作業場９ａの工程内搬送車コント
ローラ６Ａへ搬送指令を送信し、該小作業場９ａの自動
倉庫装置８の自動倉庫コントローラ７に入庫指令を送信
するとともに、出庫指令を送信し、また、工程間搬送装
置コントローラ６Ｂへ搬送指令を送信し、中継地の自動
倉庫装置８の自動倉庫コントローラ７へ出庫指令を送信
し、搬送先の小作業場９ａの工程内搬送装置コントロー
ラ６Ａへ搬送指令を送信する（ステップＴ４）。前記搬
送元の自動倉庫コントローラ７への出庫指令には、前記
出庫時刻ｔ２になると物品１２の出庫を実行するセルフ
タイマー指令が含まれており、また、前記中継地の自動
倉庫コントローラ７への出庫指令には、前記出庫時刻ｔ
４になると物品１２の出庫を実行するセルフタイマー指
令が含まれている。

【００４６】これにより、前記搬送元の小作業場９ａの
工程内搬送装置コントローラ６Ａから該小作業場９ａの
フリーの工程内搬送装置１０Ａへ搬送指令が送信され
て、該フリーの工程内搬送装置１０Ａが、前記出発時刻
ｔ０付近に搬送元の処理装置１１に到達するように制御
される。また、前記工程間搬送装置コントローラ６Ｂか
ら軌道１３上を走行する前記フリーの工程間搬送装置１
０Ｂへ搬送指令が送信されて、該フリーの工程間搬送装
置１０Ｂはその走行速度が制御されながら、前記出庫時
刻ｔ２付近に該搬送元の自動倉庫装置８の出庫ステーシ
ョンに到達するように制御される。さらに、前記搬送先
の小作業場９ａの工程内搬送装置コントローラ６Ａから
該小作業場９ａのフリーの工程内搬送装置１０Ａへ搬送
指令が送信されて、該フリーの工程内搬送装置１０Ａは
その走行が制御されながら、前記出庫時刻ｔ４付近に該
中継地の自動倉庫装置８の出庫ステーションに到達する
ように制御される。

【００４７】まず、前記搬送指令を受信したフリーの工
程内搬送車１０Ａが、搬送元の処理装置１１へ向かい、
前記出発時刻ｔ０付近に、該処理装置１１から物品１２
を移載して、搬送元の小作業場９ａの自動倉庫装置８へ
搬送する（ステップＴ５）。該自動倉庫装置８の自動倉
庫コントローラ７は入庫指令及び出庫指令を受信してお
り、前記出庫時刻ｔ２になると、該自動倉庫装置８から
物品１２を出庫する（ステップＴ６）。このとき、該搬
送元の自動倉庫装置８の出庫ステーションには、フリー
の工程間搬送装置１０Ｂが到着しており、搬送元の自動
倉庫装置８から出庫された物品１２は該フリーの工程間
搬送装置１０Ｂに移載される。

【００４８】その後、物品１２は工程間搬送装置１０Ｂ
により搬送され（ステップＴ７）、前記中継地の自動倉
庫装置８の入庫ステーションに入庫時刻ｔ３付近に到着
する。該入庫ステーションに到着した物品１２は、中継
地の自動倉庫装置８に入庫され（ステップＴ８）、出庫
時刻ｔ４になると、該物品１２は小作業場９ａに面した
出庫ステーションから出庫される（ステップＴ９）。こ
のとき、該中継地の自動倉庫装置８の出庫ステーション
には、前記出庫時刻ｔ４付近にフリーの工程内搬送装置
１０Ａが到着しており、中継地の自動倉庫装置８から出
庫された物品１２は該フリーの工程内搬送装置１０Ａに
移載される。

【００４９】さらに、物品１２は工程内搬送装置１０Ａ
により搬送されて（ステップＴ１０）、予定通りに目的
地到着時刻ｔ５に、目的の処理装置１１に到着し、該処
理装置１１内へ移載される（ステップＴ１１）。

【００５０】以上では、各搬送指令（出庫指令）に実行
時刻ｔ０・ｔ１・ｔ２・ｔ３・ｔ４が付されて、各コン
トローラ７・６Ｂ・７・６Ａがその実行時刻ｔ０・ｔ１
・ｔ２・ｔ３・ｔ４に合わせて、各装置１０Ａ・８・１
０Ｂ・８・１０Ａを動作させるように制御している。

【００５１】あるいは、これらの実行時刻ｔ０・ｔ１・
ｔ２・ｔ３・ｔ４を統合コントローラ５の方で管理し、
各実行時刻ｔ０・ｔ１・ｔ２・ｔ３・ｔ４に合わせて、
該統合コントローラ５から逐次各コントローラ６Ａ・７
・６Ｂ・７・６Ａへ動作指令（搬送指令又は出庫指令）
を送信するようにしてもよい。この統合コントローラ５
は各コントローラ６Ａ・７・６Ｂ・７・６Ａと絶えず交
信していることから、その管理下にある各装置１０Ａ・
８・１０Ｂ・８・１０Ａの状況を常時把握しており、こ
の構成（第４実施例）では、事情によって、該統合コン
トローラ５からの動作指令の送信を遅らせたり、動作指
令の送信対象を変更することもできる。

【００５２】具体的には、第４実施例では、前記出発時
刻ｔ０前に統合コントローラ５は工程内搬送装置コント
ローラ６Ａへ搬送指令を送信し、該搬送指令を受信した
工程内搬送装置コントローラ６Ａは該出発時刻ｔ０に搬
送元の処理装置１１に到着可能なフリーの工程内搬送装
置１０Ａを探し出し、該フリーの工程内搬送装置１０Ａ
を該処理装置１１に向かわせて、物品１２を移載する。
物品を移載した工程内搬送装置１０Ａは搬送元の小作業
場９ａの自動倉庫装置８へ向かい、前記入庫時刻ｔ３付
近に到着して、該自動倉庫装置８の入庫ステーションに
物品１２を入庫する。また、前記出庫時刻ｔ２前に統合
コントローラ５は工程間搬送装置コントローラ６Ｂへ搬
送指令を送信し、該搬送指令を受信した工程間搬送装置
コントローラ６Ｂは該出庫時刻ｔ２に搬送元の自動倉庫
装置８の出庫ステーションに到着可能なフリーの工程間
搬送装置１０Ｂを探し出し、該フリーの工程間搬送装置
１０Ｂを該搬送元の自動倉庫装置８に向かわせる。

【００５３】そして、前記出庫時刻ｔ２になると、統合
コントローラ５は搬送元の自動倉庫コントローラ７へ出
庫指令を送信し、該出庫指令を受信した搬送元の自動倉
庫装置８は直ちに物品１２の出庫を実行する。このと
き、該搬送元の自動倉庫装置８の出庫ステーションに
は、フリーの工程間搬送装置１０Ｂが到着しており、搬
送元の自動倉庫装置８から出庫された物品１２は該フリ
ーの工程間搬送装置１０Ｂに移載される。

【００５４】そして、物品１２は工程間搬送装置１０Ｂ
により搬送され、前記中継地の自動倉庫装置８の入庫ス
テーションに入庫時刻ｔ３付近に到着して入庫される。
また、統合コントローラ５は、前記出庫時刻ｔ４前に搬
送先の小作業場９ａの工程内搬送装置コントローラ６Ａ
へ搬送指令を送信し、該搬送指令を受信した工程内搬送
装置コントローラ６Ａは該出庫時刻ｔ４に中継地の自動
倉庫装置８の出庫ステーションに到着可能なフリーの工
程内搬送装置１０Ａを探し出し、該フリーの工程内搬送
装置１０Ａを該中継地の自動倉庫装置８の出庫ステーシ
ョンに向かわせる。

【００５５】そして、前記出庫時刻ｔ４になると、統合
コントローラ５は該中継地の自動倉庫コントローラ７へ
出庫指令を送信し、該出庫指令を受信した中継地の自動
倉庫装置８は直ちに物品１２を出庫する。このとき、該
中継地の自動倉庫装置８の出庫ステーションには、フリ
ーの工程内搬送装置１０Ａが到着しており、中継地の自
動倉庫装置８から出庫された物品１２は該フリーの工程
内搬送装置１０Ａに移載される。さらに、物品１２は工
程内搬送装置１０Ａにより搬送されて、予定通りに目的
地到着時刻ｔ５に、目的の処理装置１１に到着し、該処
理装置１１内へ移載される。

【００５６】この別実施例では、システム全体を統合管
理している統合コントローラ５により実行時刻ｔ０・ｔ
１・ｔ２・ｔ３・ｔ４が管理されるので、途中で、シス
テムの状況が変化し、たとえば、搬送装置１０Ａ・１０
Ｂの到着が定刻に間に合わないような事態が生じた場合
は、自動倉庫装置８への出庫指令の送信を遅らせるなど
調整することもできる。

【００５７】また、物品１２が中継地の自動倉庫装置８
まで搬送されて工程内搬送装置１０Ａに移載され、搬送
先に指定された処理装置１１が利用できるまで待機して
いる間に、該搬送先に指定された処理装置１１と同工程
を行う、別の処理装置１１が利用可能となったときに
は、統合コントローラ５は該物品１２の搬送先を該別の
処理装置１１に変えるように搬送指令を作成し直し、こ
の作成し直した搬送指令を工程内搬送装置コントローラ
６Ａへ送信して、その工程間搬送装置１０Ａを該別の処
理装置１１へと向かわせる。このように処理装置１１を
遊ばせることなく、搬送することができ、搬送効率が向
上する。

【００５８】なお、何れの実施例も、新たな作業場９を
構築したり、既存の作業場９内で搬送装置１０Ａ・１０
Ｂ・・・の台数を変更する場合などは、新規構築の作業
場９、又は変更箇所の作業場９について、仮運転を行
い、各装置１１・８間、各装置８・８間、各装置８内、
及び各装置８・１１間毎、又は各装置８・１１間毎の新
たな平均搬送時間を作成して、統合コントローラ５に記
憶する。なお、その他の作業場９については、既存の平
均搬送時間をそのまま用い、該既存の平均搬送時間に該
新たな平均搬送時間を追加してデータを更新し、より正
確な平均搬送時間を作成して、搬送効率の向上が図られ
ている。

【００５９】上記実施例では、搬送車１０Ａ・１０Ｂ・
・・の台数を変更したりする場合、それ以外にもレイア
ウト変更した場合等も同様であるが、仮運転を行って平
均搬送時間を求めるようになっているが、仮運転を行わ
ずに、搬送車１０Ａ・１０Ｂ・・・が納入されると直ぐ
に物品１２を実搬送するようにしても良い。仮運転を行
う場合でも、いきなり搬送する場合でも、平均搬送時間
を算出する開始時期を、例えば、夜運転を開始した日や
搬送車１０Ａ・１０Ｂ・・・の台数を変更した日に設定
することで、それ以前に算出された平均搬送時間の影響
を受けることなく、適切な平均搬送時間を算出すること
ができる。

【００６０】また、上記実施例では、統合コントローラ
５で搬送時間を判定して平均搬送時間を算出している
が、統合コントローラ５で算出することに限るものでは
なく、例えば、工程内における搬送時間を工程内搬送装
置コントローラ６Ａで測定して平均搬送時間を算出し、
算出結果を統合コントローラ５に送信し、統合コントロ
ーラ５が受信した算出結果（平均搬送時間）を記憶する
ようにしても良い。このように下位のコントローラで平
均搬送時間を算出することで、統合コントローラ５にか
かる負担を減らすことができる。また、統合コントロー
ラ５で、平均搬送時間を基に前記自動倉庫装置８からの
出庫時間を算出しているが、自動倉庫コントローラ７で
算出し、算出結果を統合コントローラ５に送信するよう
にしても良い。

【００６１】

【発明の効果】本発明では、以上のように構成したの
で、次のような効果を奏する。まず、請求項１の発明で
は、複数の搬送装置と自動倉庫装置とを経由しても、目
的の処理装置に、略目的の時間に到着させることができ
る。このため、目的の処理装置の前で工程内搬送装置が
目的の時間まで待機すること、及び処理装置が物品の到
着を長い間待機することを防ぐことができ、工程内搬送
装置及び処理装置を効率良く稼働させることができる。
また、目的の処理装置がある自動倉庫装置に速やかに物
品を搬送するように制御するため、搬送途中で予定以上
の停滞があっても、目的の時間に処理装置へ搬送する可
能性が高い。

【００６２】また、請求項２の発明では、複数の搬送装
置と自動倉庫装置とを経由しても、目的の処理装置に、
略目的の時間に到着させることができる。このため、目
的の処理装置の前で工程内搬送装置が目的の時間まで待
機すること、及び処理装置が物品の到着を長い間待機す
ることを防ぐことができ、工程内搬送装置及び処理装置
を効率良く稼働させることができる。また、搬送途中の
自動倉庫装置で時間を調整することにより、特定の自動
倉庫装置に物品が集中して搬送されるのを防ぐことがで
きる。

【００６３】そして、請求項３のように、前記平均搬送
時間は、測定開始時期を変更可能であることで、例え
ば、新たな作業場を構築したり、既存の作業場内で搬送
装置の台数を変更する場合など、新規構築の作業場、又
は変更箇所の作業場について、各装置毎の新たな平均搬
送時間を作成することができ、特にレイアウト変更した
場合に、以前のレイアウトの平均搬送時間が邪魔をして
新しいレイアウトの平均搬送時間を反映していないとい
う問題をなくすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】搬送システム１のコンピュータシステム構成を
示す模式図。

【図２】作業場９におけるシステム集合１Ａの構成を示
す模式図。

【図３】第1実施例に係る、物品１２の搬送制御を説明
するフローチャート。

【図４】第３実施例に係る、物品１２の搬送制御を説明
するフローチャート。

【図５】各時刻ｔ０・ｔ１・ｔ２・ｔ３・ｔ４・ｔ５の
決め方を説明するタイムチャート。

【符号の説明】

１搬送システム２ホストコントローラ３搬送装置システム４物品収納システム５統合コントローラ６搬送装置コントローラ７自動倉庫コントローラ８自動倉庫１０Ａ工程内搬送装置１０Ｂ工程間搬送装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の処理装置と、処理装置に供給する
物品を一時保管する自動倉庫装置と、処理装置と自動倉
庫装置との間で物品を搬送する工程内搬送装置とを有す
る複数の工程内搬送システムと、自動倉庫装置間を搬送
する工程間搬送装置と、自動倉庫装置と工程内搬送装置
と工程間搬送装置とを統合管理する統合コントローラと
を備えた搬送システムにおいて、前記統合コントローラは、各工程内搬送システム内にお
ける自動倉庫装置からそれぞれの処理装置までの搬送に
要する時間の測定結果を基に算出された平均搬送時間を
記憶し、ある処理装置から別の工程内搬送システムの処
理装置に目的の時間に到着するように物品を搬送する際
に、統合コントローラは、目的の処理装置が設けられて
いる工程内搬送システムの自動倉庫装置まで、工程内搬
送装置と自動倉庫装置と工程間搬送装置とを制御して速
やかに物品を搬送して、目的の処理装置までの工程内搬
送装置の前記平均搬送時間を基に逆算された出庫時間ま
で自動倉庫装置に物品を一時保管させ、出庫時間になる
と自動倉庫装置から物品を出庫させ、出庫した物品を工
程内搬送装置により目的の処理装置まで搬送するように
制御することを特徴とする搬送システム。
【請求項２】複数の処理装置と、処理装置に供給する
物品を一時保管する自動倉庫装置と、処理装置と自動倉
庫装置との間で物品を搬送する工程内搬送装置とを有す
る複数の工程内搬送システムと、自動倉庫装置間を搬送
する工程間搬送装置と、自動倉庫装置と工程内搬送装置
と工程間搬送装置とを統合管理する統合コントローラと
を備えた搬送システムにおいて、前記統合コントローラは、各行程内搬送システム内にお
ける自動倉庫装置からそれぞれの処理装置までの搬送に
要する時間の測定結果を基に算出された平均搬送時間
と、各自動倉庫装置間の搬送に要する時間の測定結果を
基に算出された平均搬送時間とを記憶し、ある処理装置
から別の工程内搬送システムの処理装置に目的の時間に
到着するように物品を搬送する際に、統合コントローラ
は、工程内搬送装置と自動倉庫装置と工程間搬送装置と
を制御して、前記平均搬送時間を基に自動倉庫装置に一
時保管する時間を調整しながら目的の処理装置まで物品
を搬送することを特徴とする搬送システム。
【請求項３】前記平均搬送時間は、測定開始時期を変
更可能であることを特徴とする請求項１、又は請求項２
に記載の搬送システム。