JP2008077496A

JP2008077496A - 搬送制御装置、搬送制御方法、搬送制御プログラム、および搬送制御装置を備えた生産システム

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Publication number: JP2008077496A
Application number: JP2006257493A
Authority: JP
Inventors: Yoriyuki Yoshikawa; 順之吉川; Akitsugu Asano; 彰紹浅野
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2006-09-22
Filing date: 2006-09-22
Publication date: 2008-04-03

Abstract

【課題】搬送状況および処理装置での処理状況を考慮した適切なストッカへの被処理物の搬送を可能にする搬送制御装置を提供する。
【解決手段】処理装置Ｅ１〜Ｅ３と、主ストッカＷ１と、少なくとも１つの副ストッカＷ２、Ｗ３と、搬送装置２とで構成される生産ラインにおいて、搬送装置２を制御する搬送制御装置１は、処理装置Ｅ１〜Ｅ３および搬送装置２を制御する処理制御部１１と、各工程において処理が終了するたびに、次工程の処理まで被処理物を格納しておく格納先ストッカを決定するストッカ決定部１４とを備える。ストッカ決定部１４は、主ストッカに搬送中の被処理物の数と、次工程の処理中の被処理物の数と、主ストッカに格納されている被処理物の数とに基づいて、主ストッカにおける被処理物の見込み数を計算し、見込み数が所定の上限値を超えない場合は主ストッカを、超える場合は副ストッカを格納先ストッカに決定する。
【選択図】図３

Description

本発明は、例えば、アレイ基板の生産ライン等、複数工程を複数の処理装置で行う生産ラインにおいて、被処理物を搬送する搬送装置を制御する搬送制御装置、搬送制御方法、搬送制御プログラム、およびそのような搬送制御装置を備えた生産システムに関する。

例えば、ＴＦＴ液晶パネルを多数生産する生産ラインにおいては、被処理物であるガラス基板に対して、複数の処理装置それぞれにより複数工程の処理が施される。ガラス基板は、搬送装置によって複数の処理装置へ搬送される。前工程で処理されたガラス基板は、次の工程で処理されるまでの間、ストッカとよばれるカセット収納庫に一時格納される。生産ラインに含まれる搬送装置、処理装置等は、コンピュータによって制御される。従来、搬送装置を制御するコンピュータは、前工程が終了したガラス基板を、次の工程で処理されるまでの間ストッカに格納する際、各工程に割り当てられたストッカの空き容量の有無のみに基づいて判断していた（例えば、特許文献１参照）。
特開２００４−２９５１９２号公報

しかしながら、ストッカの空き容量の有無のみに基づいて判断すると、搬送状況や処理装置での処理状況によっては、ストッカの容量を越えて搬送されたり、空きがあるのに搬送できなかったりする事態が発生する場合がある。例えば、ある特定の工程の処理装置を施されるべき大量のガラス基板がストッカへ搬送中である場合は、そのガラス基板が搬送完了するまでは空きがあるが、搬送完了すると空きがなくなるかまたは少なくなることが見込まれる。また、ある工程の処理装置においてまもなく処理が終了するガラス基板が大量にある場合等は、ストッカでその工程の処理を待つガラス基板の数が急減することが見込まれる。そのため、このような見込みを考慮せずストッカの空き容量の有無のみに基づいて判断すると、特定の工程において、ストッカに搬送されるガラス基板の数が規定の容量を超えたり、空きが多くなり過ぎたりする。一方、ストッカに格納される各工程の処理を待つガラス基板の数は、それぞれの工程において常に安定していることが、搬送の効率上好ましい。

そこで、本発明は、搬送状況および処理装置での処理状況を考慮した適切なストッカへの被処理物の搬送を可能にする搬送制御装置、搬送制御方法、搬送制御プログラム、およびそのような搬送制御装置を備えた生産システムを提供することを目的とする。

本発明にかかる搬送制御装置は、被処理物に対して複数工程の処理を順次行うための複数の処理装置と、前記複数の処理装置で処理すべき被処理物を優先的に格納する主ストッカと、前記主ストッカより低い優先度で被処理物を格納する少なくとも１つの副ストッカと、前記複数の処理装置、前記主ストッカおよび前記副ストッカの間で被処理物を搬送する搬送装置とで構成される生産ラインにおいて、前記搬送装置を制御する搬送制御装置であって、前記被処理物に対して所定の順次で前記複数工程の処理を行うように、前記複数の処理装置および前記搬送装置を制御する処理制御部と、前記複数工程の各工程において前記被処理物に対する処理が終了する度に、終了した処理の次工程の処理がされるまで前記被処理物を格納しておく格納先ストッカを、前記主ストッカにするか、前記副ストッカにするか決定するストッカ決定部とを備え、前記処理制御部は、前記ストッカ決定部が決定した格納先ストッカに、前記被処理物を搬送するように前記搬送装置を制御し、前記ストッカ決定部は、前記主ストッカに搬送中である被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数と、前記次工程の処理中である被処理物の数と、前記主ストッカに格納されている被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数とに基づいて、主ストッカに格納されうる前記次工程を待つ被処理物の見込み数を計算し、前記見込み数が所定の上限値を超えない場合は主ストッカを、超える場合は副ストッカを格納先ストッカに決定する。

ストッカ決定部は、主ストッカに格納されている次工程を待つ被処理物の数に加えて、主ストッカに搬送中の前記次工程を待つ被処理物の数と、前記次工程の処理中の被処理物の数とを、主ストッカに格納されうる前記次工程を待つ被処理物の見込み数の計算に用いる。そのため、ストッカ決定部は、搬送中の前記次工程を待つ被処理物の数から、これから主ストッカへ搬送されうる被処理物の数を見積もることができる。また、ストッカ決定部は、前記次工程の処理中の被処理物の数から、処理中の処理が終了した後にストッカから搬出されて前記次工程で処理されるであろう被処理物の数を見積もることができる。すなわち、ストッカ決定部は、搬送状況および処理状況を考慮して、主ストッカに格納される前記次工程を待つ被処理物の見込み数を計算することができる。ストッカ決定部は、このように搬送状況および処理状況を考慮して計算された見込み数を、上限値と比較することにより、格納先ストッカを主ストッカにするか、または副ストッカにするかを決定する。そのため、搬送状況および処理状況に応じて適切なストッカへの被処理物を格納することが可能になる。その結果、主ストッカにおいて、前記複数の工程の各工程について、次工程の処理を待つ被処理物の数が安定する。そのため、前記複数の工程の処理を行う複数の処理装置は、常に主ストッカの被処理物を安定して処理することができる。その結果、生産ライン全体として処理効率が向上する。

本発明にかかる搬送制御装置において、前記ストッカ決定部は、前記次工程の処理中である被処理物の処理完了予定時間をさらに用いて前記見込み数を計算するものであって、前記処理完了予定時間が所定の時間より短い場合に、下記（１）式で表される数Ｔを前記見込み数とすることが好ましい。
Ｔ＝Ｓ＋Ｃ−Ｐ ――（１）
ただし、上記（１）式において、Ｓは、前記主ストッカに格納されている被処理物のうち次工程を待つ被処理物の数、Ｃは、前記主ストッカに搬送中の被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数、Ｐは、前記次工程の処理中である被処理物の数である。

ストッカ決定部は、処理完了予定時間が所定の時間より短い場合は、まもなく処理装置での処理が終了することによって被処理物が主ストッカから処理装置へ搬出されると判断し、上記（１）式のように、主ストッカに格納されている被処理物の数と搬送中の被処理物の数との和から、前記次工程の処理中の被処理物の数を引いた数を見込み数とすることができる。そのため、より精度の高い見込み数が得られる。

本発明にかかる搬送制御装置において、前記複数の処理装置は、アレイ基板を生成するための複数工程の処理を順次行う処理装置群である態様とすることができる。

本発明にかかる生産システムは、被処理物に対して複数工程の処理を順次行うための複数の処理装置と、前記複数の処理装置で処理すべき被処理物を優先的に格納する主ストッカと、前記主ストッカより低い優先度で被処理物を格納する少なくとも１つの副ストッカと、前記複数の処理装置、前記主ストッカおよび前記副ストッカの間で被処理物を搬送する搬送装置と、前記被処理物に対して所定の順次で前記複数工程の処理を行うように、前記複数の処理装置および前記搬送装置を制御する処理制御部と、前記複数工程の各工程において前記被処理物に対する処理が終了する度に、終了した処理の次工程の処理がされるまで前記被処理物を格納しておく格納先ストッカを、前記主ストッカにするか、前記副ストッカにするか決定するストッカ決定部とを備え、前記処理制御部は、前記ストッカ決定部が決定した格納先ストッカに、前記被処理物を搬送するように前記搬送装置を制御し、前記ストッカ決定部は、前記主ストッカに搬送中である被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数と、前記次工程の処理中である被処理物の数と、前記主ストッカに格納されている被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数とに基づいて、主ストッカに格納されうる前記次工程を待つ被処理物の見込み数を計算し、前記見込み数が所定の上限値を超えない場合は主ストッカを、超える場合は副ストッカを格納先ストッカに決定する。

本発明にかかる搬送制御方法は、被処理物に対して複数工程の処理を順次行うための複数の処理装置と、前記複数の処理装置で処理すべき被処理物を優先的に格納する主ストッカと、前記主ストッカより低い優先度で被処理物を格納する少なくとも１つの副ストッカと、前記複数の処理装置、前記主ストッカおよび前記副ストッカの間で被処理物を搬送する搬送装置とで構成される生産ラインにおいて、前記搬送装置を制御する搬送制御方法であって、前記被処理物に対して所定の順次で前記複数工程の処理を行うように、前記複数の処理装置および前記搬送装置を制御する処理制御ステップと、前記複数工程の各工程において前記被処理物に対する処理が終了する度に、終了した処理の次工程の処理がされるまで前記被処理物を格納しておく格納先ストッカを、前記主ストッカにするか、前記副ストッカにするか決定するストッカ決定ステップと、前記ストッカ決定ステップで決定した格納先ストッカに、前記被処理物を搬送するように前記搬送装置を制御するステップとを含み、前記ストッカ決定ステップは、前記主ストッカに搬送中である被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数と、前記次工程の処理中である被処理物の数と、前記主ストッカに格納されている被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数とに基づいて、主ストッカに格納されうる前記次工程を待つ被処理物の見込み数を計算するステップと、前記見込み数が所定の上限値を超えない場合は主ストッカを、超える場合は副ストッカを格納先ストッカに決定するステップとを含む。

本発明にかかる搬送制御プログラムは、被処理物に対して複数工程の処理を順次行うための複数の処理装置と、前記複数の処理装置で処理すべき被処理物を優先的に格納する主ストッカと、前記主ストッカより低い優先度で被処理物を格納する少なくとも１つの副ストッカと、前記複数の処理装置、前記主ストッカおよび前記副ストッカの間で被処理物を搬送する搬送装置とで構成される生産ラインにおいて、前記搬送装置を制御する処理をコンピュータに実行させる搬送制御プログラムであって、前記被処理物に対して所定の順次で前記複数工程の処理を行うように、前記複数の処理装置および前記搬送装置を制御する処理制御処理と、前記複数工程の各工程において前記被処理物に対する処理が終了する度に、終了した処理の次工程の処理がされるまで前記被処理物を格納しておく格納先ストッカを、前記主ストッカにするか、前記副ストッカにするか決定するストッカ決定処理と、前記ストッカ決定処理で決定した格納先ストッカに、前記被処理物を搬送するように前記搬送装置を制御する処理とをコンピュータに実行させ、前記ストッカ決定処理は、前記主ストッカに搬送中である被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数と、前記次工程の処理中である被処理物の数と、前記主ストッカに格納されている被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数とに基づいて、主ストッカに格納されうる前記次工程を待つ被処理物の見込み数を計算する処理と、前記見込み数が所定の上限値を超えない場合は主ストッカを、超える場合は副ストッカを格納先ストッカに決定する処理とを含む。

本発明によれば、搬送状況および処理装置での処理状況を考慮した適切なストッカへの被処理物の搬送を可能にする搬送制御装置、搬送制御方法、搬送制御プログラム、およびそのような搬送制御装置を備えた生産システムが提供される。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

本実施形態は、ＴＦＴ液晶パネルの生産ラインにおいてガラス基板の搬送を制御する搬送制御装置に関する。図１は、本実施形態にかかるＴＦＴ液晶パネルの生産ラインにおける装置の配置を示す図である。図１に示す生産ラインにおいては、３つの工程の処理をそれぞれ行うための処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３と、処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３で処理されるガラス基板を格納するためのストッカＷ１、Ｗ２、Ｗ３とがレール３に沿って設けられている。レール３上を移動可能な搬送装置２が、処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３およびストッカＷ１、Ｗ２、Ｗ３の間でガラス基板を搬送する。搬送装置２は、矢印ｇの方向および矢印ｈの方向に移動可能である。なお、搬送装置２は、一台に限られず、複数台設けられてもよい。

ガラス基板は、生産ラインにおいて、所定の単位数量で搬送され、所定の単位数量で処理される。この所定の単位数量はロットと呼ばれる。一般的に、工場においては、被処理物の種類ごとにロットが存在する。ＴＦＴ液晶パネルの生産ラインでは、カセットと呼ばれる入れ物に充填された所定の単位数量のガラス基板が１ロットとして搬送および処理される。以下、１ロットのガラス基板を単にロットと称する。

本実施形態では、一例として、処理装置Ｅ１が洗浄工程の処理を、処理装置Ｅ２が成膜工程の処理を、処理装置Ｅ３がエッチング工程の処理それぞれ行う場合について説明する。なお、本実施形態では、説明を簡単にするため、３台の処理装置で３つの工程を行う場合を例示しているが、実際のＴＦＴ液晶パネルの生産ラインは、さらに多くの工程および装置が必要となる。

処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３にはそれぞれ入出庫口Ｅ１ａ、Ｅ２ａ、Ｅ３ａがレール３に面して設けられている。搬送装置２は、これらの入出庫口Ｅ１ａ、Ｅ２ａ、Ｅ３ａを通じて、ロットを処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３に搬入または搬出する。ストッカＷ１、Ｗ２、Ｗ３には、それぞれ入出庫口Ｗ１ａ、Ｗ２ａ、Ｗ３ａがレール３に面して設けられている。搬送装置２は、これらの入出庫口Ｗ１ａ、Ｗ２ａ、Ｗ３ａを通じて、ロットをストッカＷ１、Ｗ２、Ｗ３に搬入または搬出する。

搬送制御装置１は、処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３および搬送装置２と接続されており、これらの装置とデータ通信が可能になっている。なお、搬送制御装置１は、処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３および搬送装置２の少なくともいずれか１つと無線によりデータ通信を行ってもよい。

処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３は、処理するべきロットを、ストッカＷ１、Ｗ２またはＷ３から処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３へそれぞれ搬入することを要求するための搬入要求データや、処理が終了したロットをストッカＷ１、Ｗ２またはＷ３へ搬送するための払出し搬送要求データを搬送制御装置１へ送信する。また、処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３は、処理の開始、終了や、ロットの搬入、搬出が完了したことを伝えるためのデータも、搬送制御装置１へ送信する。搬送制御装置１は、処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３から受信したデータに基づいて、搬送装置２へロットを搬送するための指示データを送信する。搬送装置２は、搬送制御装置１からの指示データに基づいてロットを搬送し、搬送が完了するとその旨を伝えるデータを搬送制御装置１へ送信する。

ここで、図１に示す生産ラインにおける、ロットの流れの概略を説明する。まず、洗浄前のロットがストッカＷ１、Ｗ２、Ｗ３に格納され、洗浄処理を待つ。ストッカＷ１、Ｗ２、Ｗ３に格納された洗浄処理待ちのロットは、搬送装置２によって処理装置Ｅ１に搬入されて洗浄される。洗浄が終了すると、ロットは、搬送装置２によって処理装置Ｅ１からストッカＷ１、Ｗ２またはＷ３に搬送され、処理装置Ｅ２による成膜処理を待つ。ストッカＷ１、Ｗ２およびＷ３のいずれに搬送されるかは、搬送制御装置１が決定する。この決定の詳細な処理は後述する。処理装置Ｅ２の成膜処理準備が完了すると、ストッカＷ１、Ｗ２またはＷ３に格納されたロットは、処理装置Ｅ２に搬入され、成膜処理が施される。成膜処理が終了すると、ロットは、再び、ストッカＷ１、Ｗ２またはＷ３に搬送され、処理装置Ｅ３によるエッチング処理を待つ。その後、ロットは、処理装置Ｅ３に搬入され、エッチング処理が施される。エッチング処理が終了したロットは、処理装置Ｅ３から搬出されて生産ラインの外へ運び出される。このように、ストッカＷ１、Ｗ２、Ｗ３には、前工程で処理されたロットが、次の工程で処理されるまでの間一時的に格納される。ストッカはバッファステーションと呼ばれることもある。

各ロットには、ロットを識別するための情報（例えばロット番号）が記録されたＩＣタグ、バーコード等のＩＤプレートが付されている。処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、搬送装置２、ストッカＷ１、Ｗ２、Ｗ３にはロットに付されたＩＤプレートの情報を読み取るための装置が設けられている。処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、搬送装置２、ストッカＷ１、Ｗ２、Ｗ３が、取り扱うロットのロット番号等をＩＤプレートから読み取って搬送制御装置１に通知することにより、搬送制御装置１は、各ロットの処理状況、搬送状況、位置情報等を管理することが可能になる。

搬送制御装置１は、３台のストッカＷ１、Ｗ２、Ｗ３のうち、１台を主ストッカとし、他の２台のストッカを副ストッカに設定する。そして、搬送制御装置１は、副ストッカより主ストッカに優先してロットを格納する。例えば、処理装置Ｅ１、Ｅ２およびＥ３に対して、最も速くロットを搬送できる位置にあるストッカを主ストッカとし、他のストッカを副ストッカとすることができる。また、副ストッカの間でロットを格納する優先度を設定することもできる。本実施形態では、ストッカＷ１が最も優先度が高い優先度レベル１ストッカ（すなわち、主ストッカ）であり、ストッカＷ２、ストッカＷ３が副ストッカであり、それぞれ、優先度レベル２ストッカ、優先度レベル３ストッカである場合を例に挙げて説明する。このストッカの優先度に関する情報は、搬送制御装置１に予め記録される。

ストッカＷ１は、他のストッカＷ２、Ｗ３と比べて、処理装置Ｅ１、Ｅ２およびＥ３に対して搬送経路上の距離が最も短い位置に配置されており、ストッカＷ２、ストッカＷ３は、順に、処理装置Ｅ１、Ｅ２およびＥ３に対する搬送経路上の距離が長くなる位置に配置されている。そのため、ストッカＷ１にロットを格納すると、処理装置Ｅ１、Ｅ２およびＥ３への搬入時間が短くて済む。したがって、ストッカＷ１に優先的にロットを格納することによって、製造工程全体として搬送時間を短くすることができる。なお、どのストッカを主ストッカにするかは、必ずしも搬送経路上の距離のみによって決められる場合に限られない。例えば、搬送装置の搬送速度が経路上の位置よって異なる場合は、搬送速度を、入出庫に要する時間がストッカごとに異なる場合は、入出庫に要する時間を考慮して、処理装置への搬送時間が短いストッカを主ストッカに決定することができる。

各ストッカＷ１、Ｗ２およびＷ３の内部には、例えば、ロットを収納するための複数の棚が設けられている。前記複数の棚には、例えば、それぞれの棚を識別するための棚番号が付されている。例えば、棚番号と、その棚に収納されたロットの番号とを対応づけて搬送制御装置１で記録しておくことにより、どの棚にどのロットが収納されているかを示す情報を搬送制御装置１で持つことができる。

なお、ストッカの配置と優先度は、図１に示す例に限られない。例えば、図２に示すように、処理装置Ｅ１への搬送経路が最も短いのはストッカＷ１で、処理装置Ｅ２および処理装置Ｅ３への搬送経路が最も短いのはストッカＷ２となる配置にすることができる。この場合、処理装置Ｅ１の洗浄工程待ちのロットは、ストッカＷ１、ストッカＷ２、ストッカＷ３の順の優先度で格納し、処理装置Ｅ２、Ｅ３の成膜工程およびエッチング工程待ちのロットは、ストッカＷ２、ストッカＷ１、ストッカＷ３の順の優先度で格納することができる。このように、工程ごとに、格納するストッカの優先度を変えることもできる。

次に、搬送制御装置１の構成の詳細について説明する。図３は、搬送制御装置１を含む生産ラインの構成を示す機能ブロック図である。なお、図３に示す処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、搬送装置２、ストッカＷ１、Ｗ２、Ｗ３は、それぞれの装置を機能ブロックで表したものであり、実際の物理的な構成および配置を示すものではない。

図３に示すように、搬送制御装置１は、処理制御部１１、状態管理部１２、ストッカ決定部１４、記録部１５を備える。記録部１５は、状態管理テーブル１６、仕掛り数定義テーブル１７、工程フロー定義テーブル１８、ロット管理情報１９を記録する。工程フロー定義テーブル１８は、生産ラインにおいて、ロットに対して行う複数の工程の順序を記録したテーブルである。ロット管理情報１９には、生産ラインにおける各ロットの位置、処理状況に関するデータが含まれる。

処理制御部１１は、処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３および搬送装置２と接続されており、工程フロー定義テーブル１８およびロット管理情報１９に基づいて、処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３および搬送装置２を制御する。その際、処理制御部１１は、処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３および搬送装置２に対して、動作を指示する指示データを送信する。

また、処理制御部１１は、処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３から、処理の状況に関する処理データを受信する。処理データには、例えば、ロットの搬入要求データ、払出し搬出要求データおよび、搬入完了、処理開始、処理終了等を通知するためのデータが含まれる。また、処理制御部１１は、搬送装置２から、搬送状況に関するデータを受信する。このデータには、例えば、搬送開始、搬送完了等を通知するためのデータが含まれる。

状態管理部１２は、処理制御部１１が処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３から受信したデータおよび搬送装置２から受信したデータに基づいて、状態管理テーブル１６およびロット管理情報１９を更新する。状態管理テーブル１６には、例えば、搬送中のロット数、各ストッカに格納されたロット数、処理中のロット数、ロットの処理終了予定時間等を示すデータが各工程について記録される。状態管理テーブル１６に記録されたデータは、後述するようにストッカ決定部１４が工程ごとの仕掛り見込み数を計算するために用いられる。仕掛り見込み数は、優先度レベル１ストッカに格納されうるロットの見込み数である。

ストッカ決定部１４は、状態管理テーブル１６に記録されたデータを基に各工程における仕掛り見込み数を計算し、仕掛り数定義テーブル１７に記録された各工程の仕掛り見込み数の上限値と比較することで、各工程間のロットの格納先ストッカを決定し、処理制御部１１へ通知する。

以下、ロット管理情報１９、状態管理テーブル１６、工程フロー定義テーブル１８、仕掛り数定義テーブル１７の具体例を説明する。

図４は、ロット管理情報１９のデータの一例を示す図である。図４に示すロット管理情報１９には、ロット番号が“０００１”のロットの、処理履歴、処理状況、搬送状況、現在位置が記録されている。このようなデータは、生産ラインで扱われる全てロットについてそれぞれ記録される。

図５は、状態管理テーブル１６に記録されるデータの例を示す図である。図５に示す状態管理テーブル１６には、工程ＩＤ、搬送中ロット数、優先度レベル１ストッカに格納されているロット数、優先度レベル２ストッカに格納されているロット数、優先度レベル３ストッカに格納されているロット数、処理中のロット数、処理終了予定時刻および仕掛り見込み数が、工程ごとに記録されている。ここで工程ＩＤは、生産ラインの各工程の識別子である。搬送中ロット数は、優先度レベル１ストッカへ向けて搬送されているロットの数である。仕掛り見込み数は、ストッカ決定部１４が状態管理テーブル１６に記録された値を用いて計算する。

なお、図５に示す状態管理テーブル１６は、ストッカ決定部１４が、仕掛り見込み数を計算するために用いられるデータをまとめたものであるが、仕掛り見込み数を計算するために必ずしも状態管理テーブル１６を設ける必要はない。ストッカ決定部１４は、仕掛り見込み数を計算するためデータを、ロット管理情報１９から随時検索して取得することもできる。

図５に示す、工程ＩＤ“００１”〜“００３”が示す各工程に関する情報は、工程フロー定義テーブル１８に記録されている。図６は、工程フロー定義テーブル１８に記録されるデータの例を示す図である。図６に示す工程フロー定義テーブル１８には、予め決められている各工程の順序、処理装置、処理名等が工程ＩＤと対応付けられて記録される。

また、図５に示す優先度レベル１〜３のストッカに関する情報は、仕掛り数定義テーブル１７に記録されている。図７は、仕掛り数定義テーブル１７に記録されるデータの例を示す図である。図７に示す仕掛り数定義テーブル１８には、工程ＩＤ、予め設定された仕掛り見込み数の上限値、優先度レベル１〜３のストッカが各工程について記録されている。図７に示す例では、すべての工程において、ストッカＷ１が優先度レベル１ストッカ、ストッカＷ２が優先度レベル２ストッカ、ストッカＷ３が優先度レベル３ストッカである。仕掛り見込み数の上限値は、工程ごとに割り当てられた数である。

以上、ロット管理情報１９、状態管理テーブル１６、工程フロー定義テーブル１８、仕掛り数定義テーブル１７の具体例について説明したが、データ構造およびデータの内容は上記具体例に限られない。また、上記例に示したデータに加えて、必要に応じてさらなるデータが搬送制御装置１に記録されてもよい。
（搬送制御装置１の動作の概略）
次に、搬送制御装置１の動作の概略について説明する。図８は、搬送制御装置１と、処理装置Ｅ１、Ｅ２および搬送装置２とのデータのやり取りの一例を示すシーケンス図である。図８には、ロットに処理装置Ｅ１で洗浄処理が施された後、次工程である処理装置Ｅ２の成膜処理がなされる前までの処理を示す。図８に示すように、搬送制御装置１は、工程フロー定義テーブル１８に記録されたデータに基づいて、処理装置Ｅ１へ処理開始を指示する（＃１）。例えば、図６に示す工程フロー定義テーブル１８のデータは、順序が“１”である工程ＩＤ＝“００１”の工程を行う処理装置は“処理装置Ｅ１”であることを示しているので、搬送制御装置１は、処理装置Ｅ１に洗浄工程の処理の開始を指示する。

指示を受けた処理装置Ｅ１は、処理開始が可能な状態になると、洗浄するロットの搬入を要求する搬入要求データを搬送制御装置１に対して送信する（＃２）。なお、＃１、＃２においては、搬送制御装置１から処理装置Ｅ１へ洗浄処理開始を指示することによって洗浄処理を開始しているが、逆に、処理装置Ｅ１から搬送制御装置１へ洗浄処理開始を要求することによって洗浄処理を開始することもできる。

搬送制御装置１は、工程ＩＤ＝“００１”の工程待ちロットのうち、優先度レベルの高いストッカに格納されているロットから順に、処理装置Ｅ１へ搬入するように、搬送装置２へ搬送指示データを送信する（＃３）。すなわち、搬送制御装置１は、優先度レベル１ストッカのロットを、優先度レベル２ストッカや優先度レベル３ストッカのロットよりも優先して処理装置Ｅ１へ搬入するような搬送指示データを送信する。これにより、処理装置Ｅ１への搬送時間が短いストッカの稼動があがるので、搬送効率が向上する。

搬送指示データを受信した搬送装置２は、搬送を開始すると、搬送制御装置１へ搬送開始を通知する（＃４）。この通知には、搬送開始したロットのロット番号、搬送先、搬送元等を表すデータが含まれている。搬送制御装置１は、搬送開始の通知を受信すると、搬送開始されたロットの搬送状況が搬送中になるように記録部１５のロット管理情報１９を更新する（＃５）。

搬送装置２は、搬送完了するとその旨を搬送制御装置１へ通知し（＃６）、搬送制御装置１は、搬送完了したロットの現在位置が処理装置Ｅ１になるようにロット管理情報１９を更新する（＃７）。処理装置Ｅ１は、搬送されたロットに対して洗浄処理を開始し、処理開始を搬送制御装置１へ通知する（＃８）。搬送制御装置１は、ロットの処理状況が工程“００１”処理中になるようにロット管理情報１９を更新すると共に、状態管理テーブル１６の処理中ロット数を更新する（＃９）。例えば、洗浄処理を開始したロット数が“５”であった場合、図５に示す状態管理テーブル１６の工程ＩＤ＝“００１”の工程における処理中ロット数が“５”だけ増加するように更新される。洗浄処理が終了すると、処理装置Ｅ１は、処理終了を搬送制御装置１へ通知し（＃１０）、搬送制御装置１は、ロット管理情報１９および状態管理テーブル１６を更新する（＃１１）。

また、処理装置Ｅ１は、洗浄処理が終わったロットの払出し搬送を要求する払出し搬送要求データを搬送制御装置１へ送信する（＃１２）。払出し搬送要求データを受信した搬送制御装置１のストッカ決定部１４は、洗浄処理が終わったロットを格納する格納ストッカを決定する処理を行う（Ｏｐ１）。このＯｐ１の処理の詳細は後述する。搬送制御装置１は、ストッカ決定部１４が決定した格納先ストッカへ、洗浄処理が終わったロットを搬送するように、搬送装置２に指示する（＃１３）。

搬送装置２は、搬送を開始すると搬送開始を通知し（＃１４）、搬送制御装置１は、ロット管理情報１９を更新するとともに、状態管理テーブル１６の工程ＩＤ＝“００２”の工程の搬送中ロット数を更新する（＃１５）。搬送装置２は、搬送を完了すると搬送制御装置１に搬送完了を通知し（＃１６）、搬送制御装置１は、ロット管理情報を更新するとともに、状態管理テーブル１６の工程ＩＤ＝“００２”の工程の搬送中ロット数、および優先度レベル１ストッカの格納ロット数を更新する（＃１７）。

搬送制御装置１は、工程フロー定義テーブル１８に記録されたデータに基づいて、処理装置Ｅ２へ処理開始を指示する（＃１８）。例えば、図６に示す工程フロー定義テーブル１８において、工程“００１”の次は、工程“００２”であるので、搬送制御装置１は、工程“００２”を行う処理装置Ｅ２に成膜工程の処理の開始を指示する。指示を受けた処理装置Ｅ２は、処理開始が可能な状態でなると、成膜するロットの搬入を要求する搬入要求データを搬送制御装置１に対して送信する（＃１９）。以降の工程“００２”の処理が続くが、上記＃３〜＃１７とほぼ同様であるので説明は省略する。
（搬送制御装置１の動作の詳細）
次に、図８に示すＯｐ１の処理の詳細を説明する。図９は、搬送制御装置１が処理装置Ｅ１から払出し搬送要求データを受信してから、搬送装置２へ指示データを送信するまでの動作例を示すフローチャートである。払出し搬送要求データは、処理装置Ｅ１にて処理終了したロットのストッカへの搬送の要求を示すデータである。払出し搬送要求データには、例えば、要求元の処理装置、搬送するロット数等が含まれる。以下では、処理装置Ｅ１による洗浄工程が終了した１つのロットをストッカへ搬送する場合を例に挙げて説明する。

処理制御部１１が払出し搬送要求データを受信すると（ステップＳ１）、ストッカ決定部１４は、工程フロー定義テーブル１８を参照して、次工程の工程ＩＤを取得する（ステップＳ２）。例えば、図６に示す工程フロー定義テーブル１８において、処理装置Ｅ１の工程ＩＤは“００１”である。そうすると、工程ＩＤ＝“００１”の工程の次工程の工程ＩＤは“００２”であるので、ストッカ決定部１４はこの工程ＩＤ“００２”を次工程の工程ＩＤとして取得する。すなわち、払出し搬送要求により搬送されるロットの次工程は、工程ＩＤ“００２”で示される工程である。

次に、ストッカ決定部１４は、状態管理テーブル１６を参照して、優先度レベル１ストッカに空きがあるか否かを判断する（ステップＳ３）。ストッカ決定部１４は、例えば、優先度レベル１ストッカに格納されているロットの総数を状態管理テーブル１６から取得し、その総数が優先度レベル１ストッカの最大格納数に達しているか否かにより、空きの有無を判断することができる。図５に示す例では、優先度レベル１ストッカに格納されているロット数を工程ＩＤ“００１”〜“００３”について足した数（３＋１２＋７＝２２）が優先度レベル１ストッカに格納されているロットの総数である。ストッカ決定部１４は、前記ロットの総数（２２）が、優先度レベル１ストッカの最大格納数より小さい場合に、空きがあると判断することができる。優先度レベル１ストッカの最大格納数は、予め決められている数であり、例えば、記録部１５に予め記録しておくことができる。

優先度レベル１ストッカに空きがない場合（ステップＳ３でＮｏ）、ストッカ決定部１４は、優先度レベル２ストッカに空きあるか判断する（ステップＳ４）。優先度レベル２ストッカに空きがあれば（ステップＳ４でＹｅｓ）、ストッカ決定部１４は、搬送先を優先度レベル２ストッカに決定する。処理制御部１１は、払出し搬送要求データが示すロットを、優先度レベル２ストッカへ搬送するように指示するデータを搬送装置２へ送信する（ステップＳ５）。一方、優先度レベル２ストッカに空きがなければ（ステップＳ４でＮｏ）、ストッカ決定部１４は、搬送先を優先度レベル３ストッカに決定する。この場合、処理制御部１１は、払出し搬送要求データが示すロットを、優先度レベル３ストッカへ搬送するように指示するデータを搬送装置２へ送信する（ステップＳ６）。

ステップＳ３において、優先度レベル１ストッカに空きがあると判断された場合、ストッカ決定部１４は、仕掛り見込み数を計算し、仕掛り見込み数が上限値を超えるか否かを判断する（ステップＳ７）。ストッカ決定部１４は、ステップＳ２で取得した次工程の工程ＩＤ“００２”を基にして状態管理テーブル１６を参照することにより、仕掛り見込み数を計算するためのデータを取得する。ストッカ決定部１４は、例えば、図５に示す状態管理テーブル１６から、工程ＩＤ“００２”の搬送中ロット数“０”、優先度レベル１ストッカに格納されているロット数“１２”、処理中ロット数“５”および処理終了予定時刻“１３：２０”を取得する。

ストッカ決定部１４は、まず、処理終了予定時刻“１３：２０”と現在時刻との差すなわち、処理終了までの時間を求める。ストッカ決定部１４は、処理終了までの時間を、予め決められた所定時間と比較する。例えば、現在時刻が“１３：１７”であり、前記所定時間が５分であった場合、処理終了までの時間（３分）は、前記所定時間（５分）より短くなる。このように、処理終了までの時間が前記所定時間より短い場合、ストッカ決定部１４は、まもなく工程ＩＤ“００２”で処理中の処理が終了して、新たに優先度レベル１ストッカに格納されている処理待ちの５ロットが処理装置Ｅ２に搬入されると判断する。すなわち、優先度レベル１ストッカに格納されている工程ＩＤ“００２”の処理待ちのロットのうち５ロットはなくなると見込まれる。この場合、ストッカ決定部１４は、下記（２）式により、仕掛り見込み数Ｔ₁を求める。
Ｔ₁＝Ｓ＋Ｃ−Ｐ ―――（２）
Ｓ：優先度レベル１ストッカに格納されているロット数
Ｃ：搬送中ロット数
Ｐ：所定時間内に終了する予定の処理中ロット数
図５に示す工程ＩＤ“００２”の搬送中ロット数“０”、優先度レベル１ストッカに格納されているロット数“１２”、処理中ロット数“５”について、上記（２）式により仕掛り見込み数を求めると、仕掛り見込み数は“７”になる。

なお、上記（２）式のＰにおける所定時間は、予め決められた値に限られない。例えば、優先度レベル１ストッカに搬送中のロットの搬送にかかる時間としてもよい。例えば、優先度レベル１ストッカへ搬送中のロットの搬送時間内に処理が終了する予定の処理中ロット数を上記のＰの値とすることができる。これにより、優先度レベル１ストッカへ搬送中のロットが搬送完了した時における、優先度レベル１ストッカに格納されているロットの見込み数が得られる。ロットの搬送時間は、例えば、現在時刻から搬送完了時刻までの時間とすることができる。

なお、処理終了までの時間が前記所定時間より短い場合は、ストッカ決定部１４は、工程ＩＤ“００２”で処理中の処理はしばらく続行すると判断する。すなわち、優先度レベル１ストッカに格納されている工程ＩＤ“００２”の処理待ちのロットが処理装置Ｅ２に搬送される見込みはないと判断する。そのため、ストッカ決定部１４は、下記（３）式により、仕掛り見込み数Ｔ₂を求める。
Ｔ₂＝Ｓ＋Ｃ ――――（３）
Ｓ：優先度レベル１ストッカに格納されているロット数
Ｃ：搬送中ロット数
このように、本実施形態では、次工程における処理中の処理の終了までの時間が前記所定時間より短い場合に処理待ちロット数が減る見込みがあると判断して、仕掛り見込み数から処理中のロット数を減じる計算を行っている。しかし、ストッカ決定部１４は、上記の次工程における処理中の処理の終了までの時間が前記所定時間より短いか否かを判断をせずに、いかなる場合も、次工程の処理中のロット数を仕掛り見込みから減じる計算をしてもよい。これにより、処理を単純にすることができる。

なお、図５に示す例では、搬送中ロット数が“０”であるが、搬送中ロット数が“０”でない場合の例として以下のような場合がある。優先度レベル２ストッカに次工程待ちのロットが格納されている状態で、優先度レベル１ストッカに次工程待ちのロットが格納されていない場合には、搬送制御装置１は、先送り搬送指示を搬送装置２に送信することができる。すなわち、搬送制御装置１は、先送り搬送指示によって、搬送装置２に、優先度レベル２ストッカのロットを優先度レベル１ストッカへ先送り搬送させる。この先送り搬送中にストッカ決定部１４が上記ステップＳ７の判断を行うと、先送り搬送中のロット数が上記（２）式または（３）式に反映される。

このようにして、ストッカ決定部１４は、次工程における処理の終了予定時刻を基に、優先度レベル１ストッカの処理待ちロット数が減る見込みがあるか否かを判断し、減る見込みがある場合には、その減少分を仕掛り見込み数から減じる計算を行う。これにより、次工程の処理状況を考慮した仕掛り見込み数を計算することが可能になる。また、搬送中のロット数が仕掛り見込み数に加算されるので、搬送状況を考慮した仕掛り見込み数を計算することが可能になる。

ストッカ決定部１４は、上記のように計算した仕掛り見込み数と、仕掛り数定義テーブル１７に記録されている仕掛り見込み数上限値とを比較する。図７に示す仕掛り数定義テーブル１７では、工程ＩＤ“００２”の仕掛り見込み数上限値は“１０”であるので、上記例で計算された仕掛り見込み数“７”より大きい。このように、仕掛り見込み数がその上限値を超えない場合（ステップＳ７でＮｏ）、ストッカ決定部１４は、優先度レベル１ストッカを、搬送先のストッカに決定する。そして、処理制御部１１は、払出し搬送要求データが示すロットを、優先度レベル１ストッカへ搬送するように指示するデータを搬送装置２へ送信する（ステップＳ８）。一方、仕掛り見込み数がその上限値を超える場合（ステップＳ７でＹｅｓ）、ストッカ決定部１４は、ステップＳ３の判断を行う。その場合、以降の処理（ステップＳ５またはステップＳ６）は上述と同様である。

以上のように、ストッカ決定部１４は、次工程の処理状況および搬送状況を示すデータから計算された仕掛り見込み数に基づいて優先度レベル１ストッカに次工程の処理をすべきロットを搬送するか否かを判断する。これにより、優先度レベル１ストッカには、次工程の処理状況および搬送状況に応じた適切な量のロットが安定的に搬送されるようになる。本実施形態では、優先度レベル１ストッカは、処理装置Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３から最も近い位置にあるストッカＷ１である。そのため、近い位置にあるストッカＷ１が安定的に使われることなるので、搬送時間を節約できる。この効果は、ガラス基板や処理装置の大型化に伴い、搬送時間遅延によるロスが大きくなる傾向にあるＴＦＴ液晶パネル生産ラインにおいて顕著になる。

また、各工程において、優先度レベル１ストッカに格納されうるロットの数が制限されるので、例えば、１つの処理装置のオーバーホール等によって１つの工程における処理待ちロットの数が増加し優先度レベル１ストッカを埋め尽し、搬送時間の遅延を発生させる事態が避けられる。

なお、本実施形態では、一例としてＴＦＴ液晶パネルの生産ラインにおける搬送制御装置について説明したが、本発明にかかる搬送制御装置は、ＴＦＴ液晶パネル以外の製品の生産ラインに適用することができる。例えば、半導体製造プロセスにおける半導体製品の搬送制御等にも、本発明にかかる搬送制御装置を適用することができる。

また、本発明にかかる搬送制御装置は、ＣＩＭ（ＣｏｍｐｕｔｅｒＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ：コンピュータ統合生産）による生産ライン管理システムの一部として利用することもできる。

本発明は、生産ラインにおいて、搬送状況および処理装置での処理状況を考慮した適切なストッカへの被処理物の搬送を可能にし、搬送効率を向上させる搬送制御装置として利用可能である。

本実施形態にかかるＴＦＴ液晶パネルの生産ラインにおける装置の配置を示す図ＴＦＴ液晶パネルの生産ラインにおける装置の配置の変形例を示す図搬送制御装置を含む生産ラインの構成を示す機能ブロック図ロット管理情報のデータの一例を示す図状態管理テーブルに記録されるデータの例を示す図工程フロー定義テーブルに記録されるデータの例を示す図仕掛り数定義テーブルに記録されるデータの例を示す図搬送制御装置と、処理装置および搬送装置とのデータのやり取りの一例を示すシーケンス図搬送制御装置が処理装置から払出し搬送要求データを受信してから、搬送装置へ指示データを送信するまでの動作例を示すフローチャート

符号の説明

１搬送制御装置
２搬送装置
３レール
１１処理制御部
１２状態管理部
１４ストッカ決定部
１５記録部
１６状態管理テーブル
１７仕掛り数定義テーブル
１８工程フロー定義テーブル
１９ロット管理情報

Claims

被処理物に対して複数工程の処理を順次行うための複数の処理装置と、前記複数の処理装置で処理すべき被処理物を優先的に格納する主ストッカと、前記主ストッカより低い優先度で被処理物を格納する少なくとも１つの副ストッカと、前記複数の処理装置、前記主ストッカおよび前記副ストッカの間で被処理物を搬送する搬送装置とで構成される生産ラインにおいて、前記搬送装置を制御する搬送制御装置であって、
前記被処理物に対して所定の順次で前記複数工程の処理を行うように、前記複数の処理装置および前記搬送装置を制御する処理制御部と、
前記複数工程の各工程において前記被処理物に対する処理が終了する度に、終了した処理の次工程の処理がされるまで前記被処理物を格納しておく格納先ストッカを、前記主ストッカにするか、前記副ストッカにするか決定するストッカ決定部とを備え、
前記処理制御部は、前記ストッカ決定部が決定した格納先ストッカに、前記被処理物を搬送するように前記搬送装置を制御し、
前記ストッカ決定部は、前記主ストッカに搬送中である被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数と、前記次工程の処理中である被処理物の数と、前記主ストッカに格納されている被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数とに基づいて、主ストッカに格納されうる前記次工程を待つ被処理物の見込み数を計算し、前記見込み数が所定の上限値を超えない場合は主ストッカを、超える場合は副ストッカを格納先ストッカに決定する、搬送制御装置。
前記ストッカ決定部は、前記次工程の処理中である被処理物の処理完了予定時間をさらに用いて前記見込み数を計算するものであって、
前記処理完了予定時間が所定の時間より短い場合に、下記（１）式で表される数Ｔを前記見込み数とする、請求項１に記載の搬送制御装置。
Ｔ＝Ｓ＋Ｃ−Ｐ ――（１）
ただし、上記（１）式において、Ｓは、前記主ストッカに格納されている被処理物のうち次工程を待つ被処理物の数、Ｃは、前記主ストッカに搬送中の被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数、Ｐは、前記次工程の処理中である被処理物の数である。
前記複数の処理装置は、アレイ基板を生成するための複数工程の処理を順次行う処理装置群である、請求項１に記載の搬送制御装置。
被処理物に対して複数工程の処理を順次行うための複数の処理装置と、
前記複数の処理装置で処理すべき被処理物を優先的に格納する主ストッカと、
前記主ストッカより低い優先度で被処理物を格納する少なくとも１つの副ストッカと、
前記複数の処理装置、前記主ストッカおよび前記副ストッカの間で被処理物を搬送する搬送装置と、
前記被処理物に対して所定の順次で前記複数工程の処理を行うように、前記複数の処理装置および前記搬送装置を制御する処理制御部と、
前記複数工程の各工程において前記被処理物に対する処理が終了する度に、終了した処理の次工程の処理がされるまで前記被処理物を格納しておく格納先ストッカを、前記主ストッカにするか、前記副ストッカにするか決定するストッカ決定部とを備え、
前記処理制御部は、前記ストッカ決定部が決定した格納先ストッカに、前記被処理物を搬送するように前記搬送装置を制御し、
前記ストッカ決定部は、前記主ストッカに搬送中である被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数と、前記次工程の処理中である被処理物の数と、前記主ストッカに格納されている被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数とに基づいて、主ストッカに格納されうる前記次工程を待つ被処理物の見込み数を計算し、前記見込み数が所定の上限値を超えない場合は主ストッカを、超える場合は副ストッカを格納先ストッカに決定する、生産システム。
被処理物に対して複数工程の処理を順次行うための複数の処理装置と、前記複数の処理装置で処理すべき被処理物を優先的に格納する主ストッカと、前記主ストッカより低い優先度で被処理物を格納する少なくとも１つの副ストッカと、前記複数の処理装置、前記主ストッカおよび前記副ストッカの間で被処理物を搬送する搬送装置とで構成される生産ラインにおいて、前記搬送装置を制御する搬送制御方法であって、
前記被処理物に対して所定の順次で前記複数工程の処理を行うように、前記複数の処理装置および前記搬送装置を制御する処理制御ステップと、
前記複数工程の各工程において前記被処理物に対する処理が終了する度に、終了した処理の次工程の処理がされるまで前記被処理物を格納しておく格納先ストッカを、前記主ストッカにするか、前記副ストッカにするか決定するストッカ決定ステップと、
前記ストッカ決定ステップで決定した格納先ストッカに、前記被処理物を搬送するように前記搬送装置を制御するステップとを含み、
前記ストッカ決定ステップは、前記主ストッカに搬送中である被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数と、前記次工程の処理中である被処理物の数と、前記主ストッカに格納されている被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数とに基づいて、主ストッカに格納されうる前記次工程を待つ被処理物の見込み数を計算するステップと、前記見込み数が所定の上限値を超えない場合は主ストッカを、超える場合は副ストッカを格納先ストッカに決定するステップとを含む、搬送制御方法。
被処理物に対して複数工程の処理を順次行うための複数の処理装置と、前記複数の処理装置で処理すべき被処理物を優先的に格納する主ストッカと、前記主ストッカより低い優先度で被処理物を格納する少なくとも１つの副ストッカと、前記複数の処理装置、前記主ストッカおよび前記副ストッカの間で被処理物を搬送する搬送装置とで構成される生産ラインにおいて、前記搬送装置を制御する処理をコンピュータに実行させる搬送制御プログラムであって、
前記被処理物に対して所定の順次で前記複数工程の処理を行うように、前記複数の処理装置および前記搬送装置を制御する処理制御処理と、
前記複数工程の各工程において前記被処理物に対する処理が終了する度に、終了した処理の次工程の処理がされるまで前記被処理物を格納しておく格納先ストッカを、前記主ストッカにするか、前記副ストッカにするか決定するストッカ決定処理と、
前記ストッカ決定処理で決定した格納先ストッカに、前記被処理物を搬送するように前記搬送装置を制御する処理とをコンピュータに実行させ、
前記ストッカ決定処理は、前記主ストッカに搬送中である被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数と、前記次工程の処理中である被処理物の数と、前記主ストッカに格納されている被処理物のうち前記次工程を待つ被処理物の数とに基づいて、主ストッカに格納されうる前記次工程を待つ被処理物の見込み数を計算する処理と、前記見込み数が所定の上限値を超えない場合は主ストッカを、超える場合は副ストッカを格納先ストッカに決定する処理とを含む、搬送制御プログラム。