JP2010128907A - 搬送管理システムおよび搬送管理方法 - Google Patents

Abstract

【課題】自動搬送設備において、人搬送を混在して行う場合の効率を高め、製造ライン全体の生産能力を高める。
【解決手段】搬送管理システム１００は、加工対象品への加工をロット単位で行う複数の生産設備間での加工対象品の搬送を管理する。搬送管理システム１００は、各生産設備から、当該生産設備におけるロット単位の加工対象品への加工の終了情報を取得する終了情報取得部１０２と、終了情報取得部１０２がいずれかの生産設備における終了情報を取得すると、当該キャリアの次の行先を判定する行先判定部１０４と、行先判定部１０４が判定した行先をキャリアの識別情報に対応付けて記憶する行先情報記憶部１３２と、いずれかの生産設備に備えられた端末から、行先の照会を受け付け、行先情報記憶部１３２を参照して、当該キャリアの行先を端末に通知する行先通知部１０６とを含む。
【選択図】図２

Description

本発明は、搬送管理システムおよび搬送管理方法に関する。

半導体装置の製造では、加工対象品であるウェハに、一連の加工工程が施される。半導体装置の製造工場には、ベイと呼ばれる複数の部屋が設けられ、各ベイに各加工工程が割り当てられる。各ベイには、割り当てられた各加工工程を実行するための複数の生産設備が設けられる。また、各加工工程の処理を行うために、自動搬送設備を用いて各加工工程間でのウェハの移動が行われる。ウェハは、ロット単位で、キャリアと呼ばれるボックスに収容されて移動される。自動搬送設備は、各ベイの入り口に設置された複数の自動棚を含む。キャリアの自動搬送は、自動棚を中継して行われる。自動棚は、ウェハを収納したキャリアの入庫と出庫を管理する。自動搬送設備による工程内や工程間のキャリアの搬送は、ホストコンピュータにより制御される。このような自動搬送設備では、各生産設備での処理が終わると、キャリアは自動棚に回収される。自動棚は、キャリアが入庫すると、回収されたキャリアの次工程の判定をホストコンピュータに照会する。自動棚は、ホストコンピュータにより次工程が判定されると、そのキャリアを次工程の自動棚に向けて出庫する。このようにして、自動搬送設備によるキャリアの搬送が行われる。

特許文献１から３には、このような自動搬送設備が記載されている。
特許文献１（特開２００７−１１４９２７号公報）には、ロットの工程フローと工程進捗を管理する工程管理システムの情報から、搬送すべきロットの候補を判断し、搬送すべきロットの予約を促す次工程判断部と、キャリアを収納する自動棚を管理する自動棚管理システムの情報から、選択された搬送すべきロットのキャリアを検索し、対象のキャリアがあれば自動棚管理システムに次工程への搬送指示を出力する自動棚情報管理部と、工程毎に設けられ、工程での生産状況を管理する複数のライン管理システムの情報から、搬送対象ロットの処理終了を監視し、対象ロットの終了前にキャリアの回収があれば、前記自動棚情報管理部に搬送情報を渡す工程処理状態監視部と、前記自動棚管理システムとライン管理システムの情報からロットの終了を判断するロット終了判断部と、を有する搬送管理システムが記載されている。

当該文献において、自動棚管理システムは自動棚内のキャリア在庫の管理、キャリアの自動棚の入出庫を管理しており、それらの情報を搬送管理システムの自動棚情報管理部に報告している。

特許文献２（特開２００４−３２７７８９号公報）には、ロット単位でウェハを受け取って処理する複数の製造装置と、ロットを保管する複数のストッカと、ロットを運ぶ搬送装置と、これらを制御する上位計算機を有する半導体製造設備が記載されている。そして、上位計算機は、搬送するロットの製造優先度が高いほど、搬送元の製造装置から遠くにある製造装置まで直接に搬送可能とし、この直接に搬送可能な製造装置の１つを搬送先の製造装置として選び、搬送元の製造装置から搬送先の製造装置へロットを直接に搬送するように搬送装置を制御する構成が記載されている。

特許文献３（特開平９−６４０９号公報）には、半製品である被処理物を一時保管する受け払い機構を有する保管設備と、被処理物を自動的に処理する製造設備と、処理物を作業員の操作により処理する設備と、被処理物の搬送設備と、作業員と搬送設備との被処理物を受け渡しを行う受け渡し設備と、これら全ての設備とネットワークで接続されている制御装置からなる生産ライン制御システムが記載されている。
特開２００７−１１４９２７号公報 特開２００４−３２７７８９号公報 特開平９−６４０９号公報

ところで、製造工場において、自動搬送設備が一部適用されないベイや自動搬送設備や自動棚の負荷が高くライン能力が搬送ネックとなる場合、人による搬送サポート（以下、人搬送という。）を行うことがある。

しかし、従来の自動配送設備では、自動棚に収容されたキャリアを対象として次工程の判定が行われている。そのため、人搬送を行う場合でも、次工程を判定するために、自動棚への入庫を行う必要があった。そして、自動棚を介して次工程が判定された後、自動棚からキャリアを出庫し、人が次工程のベイまで、または次工程の生産設備まで搬送する必要があった。そのため、この動作は作業員にとって、「自動棚への移動時間＋入庫作業＋次工程判定時間＋出庫作業」という作業コストがかかり、効率が悪いという問題があった。たとえば、ライン能力が搬送ネックとなっている場合に、人搬送を行うようにしても、自動棚への入出庫回数は自動搬送時と変わらず、動作負荷が変わらないという問題もあった。また、たとえば、人搬送の場合、自動棚を経由する必要がないにもかかわらず、次工程の判定のために自動棚を経由する必要が生じ、経路に無駄があり搬送時間が長くなるという問題もあった。

本発明によれば、
加工対象品への加工をロット単位で行う複数の生産設備間での加工対象品の搬送を管理する搬送管理システムであって、
各生産設備から、当該生産設備における前記ロット単位の前記加工対象品への加工の終了情報を、当該ロット単位の前記加工対象品を収容するキャリアの識別情報に対応付けて取得する終了情報取得部と、
前記終了情報取得部がいずれかの前記生産設備における前記終了情報を取得すると、当該キャリアの次の行先を判定する行先判定部と、
前記行先判定部が判定した前記行先を前記キャリアの識別情報に対応付けて記憶する行先情報記憶部と、
いずれかの前記生産設備に備えられた端末から、前記キャリアの識別情報とともに、当該キャリアの行先の照会を受け付け、前記行先情報記憶部を参照して、当該キャリアの識別情報に基づき、当該キャリアの行先を読み出して前記端末に通知する行先通知部と、
を含む搬送管理システムが提供される。

本発明によれば、
加工対象品への加工をロット単位で行う複数の生産設備間での加工対象品の搬送を管理する搬送管理方法であって、
各生産設備から、当該生産設備における前記ロット単位の前記加工対象品への加工の終了情報を、当該ロット単位の前記加工対象品を収容するキャリアの識別情報に対応付けて取得するステップと、
前記取得するステップにおいて、いずれかの前記生産設備における前記終了情報を取得すると、当該キャリアの次の行先を判定するステップと、
前記行先を判定するステップで判定された前記行先を前記キャリアの識別情報に対応付けて行先情報記憶部に記憶するステップと、
いずれかの前記生産設備に備えられた端末から、前記キャリアの識別情報とともに、当該キャリアの行先の照会を受け付け、前記行先情報記憶部を参照して、当該キャリアの識別情報に基づき、当該キャリアの行先を読み出して前記端末に通知するステップと、
を含む搬送管理方法が提供される。

この構成によれば、ロット単位の加工対象品への加工が終了した時点で、その加工対象品を収容するキャリアの次の行先の判定が行われるので、効率よく判定することができる。この後、キャリアが生産設備からアンロードされた時点で、生産設備に備えられた端末から行先を照会することにより、すぐに行先を把握することができる。これにより、人搬送をする際に、作業員が効率よく次の行先を把握することができ、製造ライン全体の生産能力を高めることができる。

なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。

本発明によれば、自動搬送設備において、人搬送を混在して行う場合の効率を高め、製造ライン全体の生産能力を高めることができる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

図１は、本実施の形態における自動搬送設備の構成を模式的に示す図である。
自動搬送設備１０は、たとえば、液晶や半導体装置等を製造する工場内に設けられたものとすることができる。本実施の形態において、加工対象品は、たとえばウェハとすることができる。

自動搬送設備１０は、複数のベイ（人搬送ベイ１２ａ、人搬送ベイ１２ｂ、自動搬送ベイ１２ｃ、および自動搬送ベイ１２ｄ）を含む。人搬送ベイ１２ａおよび人搬送ベイ１２ｂ内では、作業員が搬送を行う人搬送が行われる。自動搬送ベイ１２ｃおよび自動搬送ベイ１２ｄ内では、自動搬送が行われる。ここでは図示していないが、一つのベイ内で、人搬送と自動搬送とが混在した構成とすることもできる。

また、各ベイの入り口には、自動棚が設けられている。人搬送ベイ１２ａには自動棚１４ａが、人搬送ベイ１２ｂには自動棚１４ｂが、自動搬送ベイ１２ｃには自動棚１４ｃが、自動搬送ベイ１２ｄには自動棚１４ｄがそれぞれ設けられている。各自動棚にはそれぞれ、自動棚端末３００が設けられている。ここでは、簡略化して、自動棚１４ａにのみ自動棚端末３００が設けられた図としているが、自動棚１４ｂ〜自動棚１４ｄにも、それぞれ自動棚端末３００が設けられている。

また、各ベイには、複数の生産設備が設けられている。たとえば、人搬送ベイ１２ａには、設備ａ１、設備ａ２・・・等が設けられている。各生産設備にはそれぞれ、設備端末４００が設けられている。ここでは、簡略化して、人搬送ベイ１２ａの設備ａ１にのみ設備端末４００が設けられた図としているが、その他の生産設備にも、それぞれ設備端末４００が設けられている。

各ベイ間には、工程間自動搬送機１８が設けられ、工程間自動搬送機１８により、工程間のキャリアの自動搬送が行われる。また、自動搬送ベイ１２ｃおよび自動搬送ベイ１２ｄ内には、工程内自動搬送機１６が設けられ、工程内自動搬送機１６により、各工程内のキャリアの自動搬送が行われる。また、たとえば、人搬送ベイ内には、作業前テーブルが適宜配置されている。

自動搬送設備１０は、ホストコンピュータとして、搬送管理システム１００を含む。搬送管理システム１００は、加工対象品への加工をロット単位で行う複数の生産設備間での加工対象品の搬送を管理する。本実施の形態において、ロット単位の加工対象品は、キャリアに収容されて搬送される。搬送管理システム１００は、工程管理システム２００やその他支援システム２１０等とも連携して自動搬送設備１０内の各キャリアの移動を制御する。工程管理システム２００は、たとえば、各キャリアの工程フローと各キャリアの工程進捗を管理する。その他支援システム２１０は、たとえば、各生産設備での加工対象品の加工進捗の管理等を行う。

本実施の形態において、搬送管理システム１００は、自動棚端末３００や設備端末４００と、たとえば無線通信等のネットワークを介してデータの送受信を行う。各生産設備の設備端末４００は、当該生産設備でのロット単位の加工対象品の加工が終了すると、搬送管理システム１００に加工の終了情報を送信する構成とすることができる。各キャリアには当該キャリアの識別情報を変換したバーコードを付しておくことができる。設備端末４００は、加工を行う対象のキャリアのバーコードを読み取り、当該バーコードを変換してキャリアの識別情報を取り出し、キャリアの識別情報を加工の終了情報に対応づけて搬送管理システム１００に送信することができる。

また、本実施の形態において、各生産設備毎に、当該生産設備からのキャリアの搬送を自動搬送で行うか、人搬送で行うかが設定されているものとすることができる。本実施の形態において、自動搬送と設定されている生産設備での加工が終了した場合は、従来通り、自動棚を介して次の工程が判定される。一方、人搬送と設定されている生産設備での加工が終了した場合は、生産設備での加工終了からキャリアがアンロードされるまでの間に、予めそのキャリアの次の行先が判定されるようにする。

図２は、本実施の形態における搬送管理システム１００の構成を示すブロック図である。
搬送管理システム１００は、終了情報取得部１０２、行先判定部１０４、行先通知部１０６、自動棚情報管理部１２０、設定記憶部１３０、および行先情報記憶部１３２を含む。

図２に示した搬送管理システム１００の各構成要素は、ハードウエア単位の構成ではなく、機能単位のブロックを示している。搬送管理システム１００の各構成要素は、任意のコンピュータのＣＰＵ、メモリ、メモリにロードされた本図の構成要素を実現するプログラム、そのプログラムを格納するハードディスクなどの記憶ユニット、ネットワーク接続用インタフェースを中心にハードウエアとソフトウエアの任意の組合せによって実現される。そして、その実現方法、装置にはいろいろな変形例があることは、当業者には理解されるところである。また、搬送管理システム１００の各構成要素のすべてがホストコンピュータに含まれる必要はなく、一部の機能は、自動棚端末３００や設備端末４００等の端末に含まれる構成とすることができる。

設定記憶部１３０は、生産設備毎に、当該生産設備からの搬送を自動搬送で行うか、人搬送で行うかの設定を対応づけて記憶する。たとえば、設定記憶部１３０は、各生産設備の識別情報と、自動搬送か人搬送かの設定とを対応づけて記憶することができる。

自動棚情報管理部１２０は、各自動棚におけるキャリアの入庫や出庫を管理する。自動棚情報管理部１２０は、自動棚端末３００との間でデータの送受信を行う。自動棚情報管理部１２０の処理は、従来と同様とすることができる。自動棚情報管理部１２０は、いずれかの自動棚へのキャリアの入庫を検知すると、行先判定部１０４へ通知する。

終了情報取得部１０２は、各生産設備の設備端末４００から、当該生産設備におけるロット単位の加工対象品への加工が終了したことを示す終了情報を、当該加工が行われた生産設備の識別情報、および当該加工が終了した加工対象品を収容するキャリアの識別情報に対応付けて取得する。

また、終了情報取得部１０２は、設定記憶部１３０を参照して、当該生産設備が自動搬送に設定されているか、人搬送に設定されているかを判断することができる。本実施の形態において、終了情報取得部１０２は、人搬送に設定されている場合のみ、行先判定部１０４への通知を行うことができる。

行先判定部１０４は、終了情報取得部１０２がいずれかの生産設備における加工の終了情報を取得すると、生産設備の識別情報やキャリア識別情報に基づき、工程管理システム２００やその他支援システム２１０との間でデータの送受信を行う。行先判定部１０４は、工程管理システム２００やその他支援システム２１０から、該当するキャリアの工程フロー、当該キャリアの工程進捗、各生産設備での加工対象品の加工進捗、加工対象品の加工条件と生産設備の加工可能条件とが一致するか否か、各生産設備の稼動可否等に関する情報を取得し、当該キャリアの次の行先を判定する。

行先情報記憶部１３２は、終了情報取得部１０２の通知に基づき行先判定部１０４が判定した行先をキャリアの識別情報に対応づけて少なくとも一時的に記憶する。

行先通知部１０６は、いずれかの生産設備に備えられた設備端末４００から、キャリアの識別情報とともに、当該キャリアの行先の照会を受け付ける。次いで、行先通知部１０６は、行先情報記憶部１３２を参照して、キャリアの識別情報に基づき、当該キャリアの行先を読み出して設備端末４００に通知する。なお、設備端末４００において、搬送管理システム１００に終了情報を送信する端末と、搬送管理システム１００にキャリアの行先を照会する端末とは、物理的に分離した構成とすることもできる。また、搬送管理システム１００に終了情報を送信する端末は、生産設備に組み込まれた構成とすることもできる。

図３は、本実施の形態における搬送管理システムの処理手順を示すフローチャートである。
各生産設備において、ロット単位での加工対象品の加工が終了すると（ステップＳ１００）、設備端末４００から搬送管理システム１００の終了情報取得部１０２に加工の終了情報、当該生産設備の識別情報、および加工が終了したキャリアの識別情報が通知される。搬送管理システム１００において、終了情報取得部１０２は、設定記憶部１３０を参照して、当該生産設備が自動搬送に設定されているか、人搬送に設定されているかを判断する（ステップＳ１０２）。

自動搬送に設定されている場合（ステップＳ１０２のＮＯ）、従来と同様の処理が行われる。すなわち、生産設備からキャリア（ロット）のアンロードが行われ（ステップＳ１２０）、工程内自動搬送機１６による工程内自動搬送が行われる（ステップＳ１２２）。つづいて、工程内自動搬送機１６により、キャリアがそのベイの自動棚に入庫される（ステップＳ１２４）。

キャリアが自動棚に入庫されると、その自動棚の自動棚端末３００から搬送管理システム１００の自動棚情報管理部１２０への通知が行われる。このとき、自動棚端末３００は、その自動棚を識別する情報、およびキャリアの識別情報も対応づけて通知することができる。自動棚情報管理部１２０は、行先判定部１０４にその旨を通知する。行先判定部１０４は、そのキャリアの行先を判定する。行先判定部１０４は、自動棚情報管理部１２０を介して自動棚端末３００に行先を通知する（ステップＳ１２６）。

自動棚端末３００では、搬送管理システム１００の自動棚情報管理部１２０からの通知を受けて、自動棚からの出庫（ステップＳ１２８）および工程間自動搬送機１８による判定された行先への工程間自動搬送が行われる（ステップＳ１３０）。また、次の工程の自動棚に入庫した後、再度行先判定が行われ、工程内自動搬送機１６により、目的の生産設備への移動が行われる。

一方、ステップＳ１０２で人搬送に設定されている場合（ステップＳ１０２のＹＥＳ）、終了情報取得部１０２は、行先判定部１０４に通知を行う。行先判定部１０４は、そのキャリアの行先を判定する（ステップＳ１０４）。行先判定部１０４は、判定した行先をそのキャリアの識別情報に対応付けて行先情報記憶部１３２に記憶する。

この間に、生産設備では、キャリア（ロット）のアンロードが行われる（ステップＳ１０６）。次いで、生産設備のアンローダに加工を終えたキャリアが出てきたら、作業員は、そのキャリアのバーコードを設備端末４００に読み取らせる。設備端末４００は、読み取ったバーコードを変換してキャリアの識別情報を取り出し、キャリアの識別情報とともに搬送管理システム１００にそのキャリアの行先を照会する。

搬送管理システム１００の行先通知部１０６は、設備端末４００からの照会に対して、行先情報記憶部１３２を参照して当該キャリアの行先を読み出し、設備端末４００に通知する（ステップＳ１０８）。設備端末４００は、たとえば、バーコードリーダ付きのＰＤＡ無線端末等とすることができる。設備端末４００において、たとえば表示部に行先通知部１０６からの通知、すなわちキャリアの行先、が表示される。作業員は、設備端末４００に表示された行先を確認して、その行先へキャリアを搬送する。

生産設備の加工終了からキャリアのアンロードまでは、通常数分程度かかる。本実施の形態において、人搬送の場合、生産設備での加工終了からキャリアのアンロードまでの間に搬送管理システム１００により行先判定を終了しておく。これにより、キャリアのアンロード時には作業員が行先を確認すると、すぐに行先が表示され、人搬送の動作に入ることができる。

たとえば、図１に示した自動搬送設備１０において、設備ａ１での加工が終了し、次の行先が自動搬送ベイ１２ｃの自動棚１４ｃである場合、作業員は、図中破線２０で示したように、自動棚１４ｃにキャリアを搬送する。また、たとえば、設備ａ１での加工が終了し、次の行先が人搬送ベイ１２ｂの作業前テーブルである場合、作業員は、図中破線２２で示したように、作業前テーブルにキャリアを搬送する。また、たとえば、設備ａ１での加工が終了し、次の行先が人搬送ベイ１２ｂの設備ｂ１である場合、作業員は、図中破線２４で示したように、設備ｂ１のローダにキャリアを搬送する。

次に、本実施の形態における搬送管理システム１００の効果を説明する。
本実施の形態において、人搬送を行う場合に、自動棚を経由しなくてよいので、搬送経路が短縮され、搬送時間も短縮することができる。これにより、全体としての自動棚の動作回数も減り、自動棚に関する処理（負荷）も軽減することができる。さらに、人搬送を行う場合に、生産設備の加工終了からキャリアのアンロードまでの間を利用して次の行先の判定処理が行われるので、作業員の行先判定待ち時間も削減できる。これらを総じて、搬送ネックとなっている製造ラインの能力を向上することができる。

たとえば、従来の人搬送の場合、「自動棚への移動時間＋入庫作業＋次工程判定時間＋出庫作業」という作業コストがかかっていたが、本実施の形態における搬送管理システム１００によれば、これらの搬送経路および時間共に短縮することができる。これにより、人搬送の経路や自動棚の負荷にもよるが、工程間搬送時間＝工程内搬送時間の場合に約５０％の時間短縮が可能となる。

また、従来、人搬送の場合でも、各工程で自動棚を３回（生産設備への出庫＋判定のための入庫＋工程間搬送するための出庫）利用する必要があったが、本実施の形態における搬送管理システム１００によれば、生産設備への出庫の一回だけとすることができ、自動棚への負荷を１／３に低減できる。

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

以上の実施の形態においては、搬送管理システム１００が設定記憶部１３０を有する設定としたが、各生産設備からの搬送が自動搬送か人搬送かの設定は、各設備端末４００の記憶部に記憶する構成とすることもできる。この場合、たとえば、各設備端末４００は、加工の終了情報とともに、搬送管理システム１００の終了情報取得部１０２に自動搬送か人搬送かの設定情報も送信することができる。終了情報取得部１０２は、各設備端末４００から送信された設定情報に基づき、図３のステップＳ１０２の判断を行うことができる。また、他の例として、各設備端末４００において、人搬送と設定されている場合のみ、搬送管理システム１００の終了情報取得部１０２に、加工の終了情報を送信するようにすることもできる。

以上の実施の形態においては、終了情報取得部１０２が、設定記憶部１３０を参照して、当該生産設備が自動搬送に設定されているか、人搬送に設定されているかを判断する例を示した。しかし、生産設備が自動搬送に設定されているか、人搬送に設定されているかは、たとえば、当該生産設備が含まれるベイに、自動搬送機が使えない測定器等があるか否か、または自動搬送機や自動棚の負荷が、設計能力以上であるか否かに基づき判断することもできる。

また、以上の実施の形態において、生産設備のアンローダに加工を終えたキャリアが出てきたら、作業員が、そのキャリアのバーコードを設備端末４００に読み取らせる例を示した。しかし、たとえば設備端末４００が生産設備のアンローダに加工を終えたキャリアが出てきたことを検知し、自動的にキャリアのバーコードを読み取ってバーコードを変換してキャリアの識別情報を取り出し、キャリアの識別情報とともに搬送管理システム１００にそのキャリアの行先を照会する構成とすることもできる。これにより、設備端末４００において、表示部に行先通知部１０６からの通知が表示される処理までを自動で行うこともできる。

本発明の実施の形態における自動搬送設備の構成を示す模式図である。 本発明の実施の形態における搬送管理システムの構成を示すブロック図である。 本発明の実施の形態における搬送管理システムの処理手順を示すフローチャートである。

符号の説明

ａ１ 設備
ａ２ 設備
１０ 自動搬送設備
１２ａ 人搬送ベイ
１２ｂ 人搬送ベイ
１２ｃ 自動搬送ベイ
１２ｄ 自動搬送ベイ
１４ａ 自動棚
１４ｂ 自動棚
１４ｃ 自動棚
１４ｄ 自動棚
１６ 工程内自動搬送機
１８ 工程間自動搬送機
２０ 破線
２２ 破線
２４ 破線
１００ 搬送管理システム
１０２ 終了情報取得部
１０４ 行先判定部
１０６ 行先通知部
１２０ 自動棚情報管理部
１３０ 設定記憶部
１３２ 行先情報記憶部
２００ 工程管理システム
２１０ その他支援システム
３００ 自動棚端末
４００ 設備端末

Claims (10)

1. 加工対象品への加工をロット単位で行う複数の生産設備間での加工対象品の搬送を管理する搬送管理システムであって、
   各生産設備から、当該生産設備における前記ロット単位の前記加工対象品への加工の終了情報を、当該ロット単位の前記加工対象品を収容するキャリアの識別情報に対応付けて取得する終了情報取得部と、
   前記終了情報取得部がいずれかの前記生産設備における前記終了情報を取得すると、当該キャリアの次の行先を判定する行先判定部と、
   前記行先判定部が判定した前記行先を前記キャリアの識別情報に対応付けて記憶する行先情報記憶部と、
   いずれかの前記生産設備に備えられた端末から、前記キャリアの識別情報とともに、当該キャリアの行先の照会を受け付け、前記行先情報記憶部を参照して、当該キャリアの識別情報に基づき、当該キャリアの行先を読み出して前記端末に通知する行先通知部と、
   を含む搬送管理システム。
2. 請求項１に記載の搬送管理システムにおいて、
   前記終了情報取得部は、いずれかの前記生産設備における前記終了情報を取得すると、当該生産設備からの当該キャリアの搬送を自動搬送で行うか人搬送で行うかを判断し、人搬送で行う場合に、前記行先判定部に前記判定を行うための通知を行う搬送管理システム。
3. 請求項２に記載の搬送管理システムにおいて、
   各前記生産設備毎に、当該生産設備からのキャリアの搬送を自動搬送で行うか人搬送で行うかの設定を各前記生産設備の識別情報に対応付けて記憶する設定記憶部をさらに含み、
   前記終了情報取得部は、前記終了情報とともに、当該加工を行った前記生産設備の識別情報も取得し、前記設定記憶部を参照して、当該生産設備からの当該キャリアの搬送を自動搬送で行うか人搬送で行うかを判断する搬送管理システム。
4. 請求項２に記載の搬送管理システムにおいて、
   前記終了情報取得部は、前記終了情報とともに、当該加工を行った前記生産設備からの当該キャリアの搬送を自動搬送で行うか人搬送で行うかを示す情報も取得する搬送管理システム。
5. 請求項１から４いずれかに記載の搬送管理システムにおいて、
   各加工工程毎に設けられたベイに設置され、前記加工対象品の自動搬送を中継する自動棚における前記キャリアの入庫や出庫を管理する自動棚情報管理部をさらに含み、
   前記行先判定部は、自動棚情報管理部が、前記自動棚への前記キャリアの入庫を検出すると、当該キャリアの次の行先を判定し、前記自動棚情報管理部を介して該当する前記自動棚に行先を通知する搬送管理システム。
6. 加工対象品への加工をロット単位で行う複数の生産設備間での加工対象品の搬送を管理する搬送管理方法であって、
   各生産設備から、当該生産設備における前記ロット単位の前記加工対象品への加工の終了情報を、当該ロット単位の前記加工対象品を収容するキャリアの識別情報に対応付けて取得するステップと、
   前記取得するステップにおいて、いずれかの前記生産設備における前記終了情報を取得すると、当該キャリアの次の行先を判定するステップと、
   前記行先を判定するステップで判定された前記行先を前記キャリアの識別情報に対応付けて行先情報記憶部に記憶するステップと、
   いずれかの前記生産設備に備えられた端末から、前記キャリアの識別情報とともに、当該キャリアの行先の照会を受け付け、前記行先情報記憶部を参照して、当該キャリアの識別情報に基づき、当該キャリアの行先を読み出して前記端末に通知するステップと、
   を含む搬送管理方法。
7. 請求項６に記載の搬送管理方法において、
   前記取得するステップにおいて、いずれかの前記生産設備における前記終了情報を取得すると、当該生産設備からの当該キャリアの搬送を自動搬送で行うか人搬送で行うかを判断し、
   人搬送で行う場合に、前記行先を判定するステップにおける前記判定を行う搬送管理方法。
8. 請求項６または７に記載の搬送管理システムにおいて、
   前記端末に通知するステップの後に、当該端末において、通知された前記キャリアの行先を表示するステップとをさらに含む搬送管理方法。
9. 加工対象品への加工をロット単位で行う複数の生産設備間での加工対象品の搬送を管理する搬送管理プログラムであって、
   コンピュータを、
   各生産設備から、当該生産設備における前記ロット単位の前記加工対象品への加工の終了情報を、当該ロット単位の前記加工対象品を収容するキャリアの識別情報に対応付けて取得する終了情報取得手段、
   前記終了情報取得手段がいずれかの前記生産設備における前記終了情報を取得すると、当該キャリアの次の行先を判定する行先判定手段、
   前記行先判定手段が判定した前記行先を前記キャリアの識別情報に対応付けて記憶する行先情報記憶手段、
   いずれかの前記生産設備に備えられた端末から、前記キャリアの識別情報とともに、当該キャリアの行先の照会を受け付け、前記行先情報記憶手段を参照して、当該キャリアの識別情報に基づき、当該キャリアの行先を読み出して前記端末に通知する行先通知手段、
   として機能させる搬送管理プログラム。
10. 請求項９に記載の搬送管理プログラムにおいて、
    前記終了情報取得手段は、いずれかの前記生産設備における前記終了情報を取得すると、当該生産設備からの当該キャリアの搬送を自動搬送で行うか人搬送で行うかを判断し、人搬送で行う場合に、前記行先判定手段に前記判定を行うための通知を行う搬送管理プログラム。

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