JP3231677B2

JP3231677B2 - ウェーハ搬送方式

Info

Publication number: JP3231677B2
Application number: JP28386297A
Authority: JP
Inventors: 洋一冨樫
Original assignee: 山形日本電気株式会社
Priority date: 1997-10-16
Filing date: 1997-10-16
Publication date: 2001-11-26
Anticipated expiration: 2017-10-16
Also published as: JPH11121584A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウェーハ搬送方式に
関し、特にウェーハを搬送車で搬送するにあたり、複数
の搬送先の中から搬送先を決定する際、これから搬送す
る搬送先（以下、次搬送先と称す）だけでなく、さらに
次の搬送先（以下、次々搬送先と称す）を考慮して最適
な搬送ルートを特定し且つ決定するウェーハ搬送方式に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ウェーハに対する加工処理におい
ては、複数の加工領域間を移動するための工程間搬送装
置と、ウェーハを搭載し、工程間搬送装置て運搬される
自動棚とを用いて行われている。しかも、ウェーハの搬
送先については、複数のコンピュータやコントローラを
用い、直近の自動棚、すなわち次搬送先のみを決めるこ
とにより行われている。

【０００３】特に、搬送装置に搭載された自動棚の次の
搬送先は、ホストコンピュータである工程進捗管理コン
ピュータに登録されているデータ通りに固定されてい
る。但し、次搬送先棚が故障の場合には、代替え搬送先
へ搬送するようにしている。

【０００４】また、次搬送先棚候補が複数存在するとき
は、それらの搬送先棚が在庫として持っている製品数を
比較し、在庫数が多くない方へ搬送するか、あるいは在
庫数が予め規定した比例配分数になるような製品在庫情
報のみで搬送先を決定している。

【０００５】さらには、上述した搬送方式の他に、例え
ば特開平４−３０５５０号公報に記載されれいるよう
に、搬送先棚候補が複数あるとき、搬送先として空きス
ペースを有する棚を特定し、無駄なく搬送するようにし
たり、あるいは特開平６−１１４６９８号公報に記載さ
れれいるように、次の搬送先棚候補が複数存在する場
合、仕掛工程、作業可能設備、その設備の稼働状態等に
応じ、搬送先を最適にした上で搬送するようにしてい
る。

【０００６】図５（ａ），（ｂ）はそれぞれかかる従来
の一例を説明するための搬送作業レイアウト図および搬
送制御ブロック図である。図５（ａ）に示すように、従
来のウェーハ搬送方式は、複数の加工領域（Ａベイ〜Ｄ
ベイ）間を移動するベルトコンベアなどの工程間搬送装
置１６を用い、自動棚３−１〜自動棚３−４を進行方向
１７に沿って運搬している。また、加工領域Ａベイは、
作業設備３−１と作業設備３−２を有するとともに、Ａ
ベイ専用の自動棚３−１および共用の自動棚３−２を割
付けられており、加工領域Ｂベイは、作業設備３−１と
作業設備３−４を有するとともに、Ｂベイ専用の自動棚
３−３を割付けられている。同様に、加工領域Ｃベイ
は、作業設備３−３を有するとともに、Ａベイと共用の
自動棚３−２を割付けられており、加工領域Ｄベイは、
作業設備ｎを有するとともに、Ｄベイ専用の自動棚３−
４を割付けられている。

【０００７】ついで、図５（ｂ）に示すように、搬送装
置１６にウェーハ（以下、製品Ｙ）を自動棚とともに載
せて搬送するにあたっては、製品Ｙの到着情報を送出す
る搬送コントローラ１８と、コントローラ１８からの製
品Ｙ到着情報を受けて、行き先である自動棚３−１〜３
−４のどれかを問合わせる行き先問合わせ情報Ａを送出
する搬送制御コンピュータ１０ａと、このコンピュータ
１０ａからの行き先問合わせ情報Ａを受信し、自動棚の
行き先を決定するとともに、行き先応答情報Ａをコンピ
ュータ１０ａに返送する工程進捗管理コンピュータ１１
ａとを備えている。この工程進捗管理コンピュータ１１
ａは、専用機でも良いし、汎用コンピュータを用いても
よい。

【０００８】図６（ａ），（ｂ）はそれぞれ図５におけ
る工程手順を表わす図および棚／設備装置状態図であ
る。まず、図６（ａ）に示すように、製品Ｙの工程手順
と自動棚対応表１３ａは、工程手順ｎ，ｎ＋１，ｎ＋
２，ｎ＋３，ｎ＋４毎に使用設備ｎ，３−１〜３−４を
対応させ、さらに自動棚３−４，３−１〜３−３なども
割付けている。

【０００９】また、図６（ｂ）に示すように、自動棚／
装置（作業設備）とその状態対応表１５ａは、各設備お
よび各自動棚とも稼働状態、あるいは稼働状態だが空き
がある状態などの情報を記載している。

【００１０】以下、上述した図５，図６に基いて具体的
な搬送手順等を説明する。

【００１１】まず、図５において、製品ＹがＤベイにお
ける設備ｎで処理され、自動棚３−４に到着したとす
る。このとき、搬送コントローラ１８から製品Ｙの到着
情報が搬送制御コンピュータ１０ａに通知される。この
搬送制御コンピュータ１０ａは、前述したように、工程
進捗管理コンピュータ１１ａにこの製品Ｙの次の行き先
問合わせＡを行うと、工程進捗管理コンピュータ１１ａ
は、製品Ｙの工程手順と自動棚対応表１３ａに基いて、
次の処理が設備３−１であることが判るので、搬送先候
補の自動棚として、自動棚３−１，自動棚３−２及び自
動棚３−３を搬送制御コンピュータ１０ａに応答する
（行き先応答Ａ）。

【００１２】ここで、搬送制御コンピュータ１０ａは、
応答された自動棚について、その自動棚の状態及び設備
３−１の状態を考慮するが、次々工程（ｎ＋２）を意識
していないため、図５（ａ）の設備と自動棚レイアウト
において、Ｂベイにある設備３−１を選択してしまい、
自動棚３−３を搬送先棚に決定してしまうことがある。

【００１３】このようになると、図６（ａ）からも明ら
かなように、次の搬送先は設備３−２であるため、図５
（ａ）の設備と自動棚のレイアウトでは、自動棚３−３
から自動棚３−１又は自動棚３−２への搬送が必要にな
る。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】上述したウェーハ搬送
方式及びその搬送先通知装置においては、これから搬送
する搬送先棚によってのみ搬送先を決定しているため、
無駄な搬送が多く、搬送システムの搬送能力を圧迫する
可能性があるという欠点がある。

【００１５】本発明の目的は、かかる無駄な搬送を無く
し、工程間搬送装置の効率化を実現するウェーハ搬送方
式を提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明のウェーハ搬送方
式は、ウェーハに対する複数の作業領域毎に１つもしく
は複数の作業設備と自動搬送棚を備え、工程間搬送装置
により製品搬送を行うウェーハ搬送方式において、工程
進捗管理コンピュータおよび搬送制御コンピュータを用
い、ウェーハもしくは製品の搬送先を決定する際に、こ
れから搬送する第１の行先棚の位置情報および次に搬送
する第２の行先棚の位置情報を比較し、同じ行先棚とす
ることができるか否かの判定を行い、同じ行先棚があれ
ば、その棚を搬送棚に決定する機能を備えて構成され
る。

【００１７】また、本発明のウェーハ搬送方式における
工程進捗管理コンピュータは、前記作業設備に接続さ
れ、製品作業報告を受信するとともに、工程手順と作業
可能設備及び自動棚対応情報を登録して形成される。

【００１８】また、本発明のウェーハ搬送方式における
搬送制御コンピュータは、前記作業設備および前記自動
搬送棚に接続され、それぞれの状態を把握するように構
成される。

【００１９】また、本発明のウェーハ搬送方式における
搬送制御コンピュータは、製品到着に基いて、前記工程
進捗管理コンピュータに対し行先設備候補の問合わせを
行い、前記工程進捗管理コンピュータからは製品に対応
し、所在棚情報と，次搬送先の作業設備および自動棚情
報と，次々搬送先の作業設備および自動棚情報とを応答
内容として返送するように構成される。

【００２０】

【００２１】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。

【００２２】図１は本発明の一実施の形態を説明するた
めのウェーハ搬送方式のブロック図である。図１に示す
ように、本実施の形態におけるウェーハ搬送方式は、前
述した図５（ａ）の複数の作業領域（Ａベイ〜Ｄベイ）
間にウェーハもしくは加工した製品を移動させるための
工程間搬送装置と同様の搬送手段を有し、また設備等の
レイアウトも同様の配置とする。異る点は、自動棚１−
１〜自動棚１−４と搬送制御コンピュータ１０を通信経
路（バス）１２で接続し、設備１−１〜設備ｎと搬送制
御コンピュータ１０および工程進捗管理コンピュータ１
１とを信号線により接続したことにある。なお、ここで
は、工程間搬送装置（ベルトコンベア）は省略してい
る。

【００２３】図２は図１における搬送先通知装置のブロ
ック図である。図２に示すように、この搬送先通知装置
は、図１における搬送制御コンピュータ１０および工程
進捗管理コンピュータ１１を用いて搬送先を決定すると
き、各作業領域の作業設備，自動棚と各コンピュータの
間で、製品到着から製品出庫までの一例を制御情報の流
れを中心に表わしたものである。

【００２４】図３（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ図１におけ
る工程手順を表わす図，製品行き先を表わす図，棚／設
備装置状態図である。図３（ａ）に示すように、工程手
順表１３は、図１における工程手順（ｎ〜ｎ＋４）と、
それらの工程毎の作業可能設備（ｎ，１−１〜１−４）
と、これらの作業可能設備に対応する自動棚（１−１〜
１−４）との関係を表わしている。また、図３（ｂ）に
示すように、製品行き先応答内容表１４は、製品毎の所
在棚と、行先設備候補の応答内容、すなわち次搬送先の
設備，自動棚と、次々搬送先の設備，自動棚との情報を
表わしている。さらに、図３（ｃ）に示すように、自動
棚／設備装置の状態表１５は、自動棚，設備の状態（稼
働中か空きか）を表わしている。

【００２５】これらの対応表１３〜状態表１５のうち、
工程手順表１３は工程進捗管理コンピュータ１１に事前
に登録しておき、また製品行き先応答内容表１４は搬送
制御コンピュータ１０からの問合わせにより工程進捗管
理コンピュータ１１が作成した上で搬送制御コンピュー
タ１０に返送するものであり、さらに自動棚／設備装置
の状態表１５は、搬送制御コンピュータ１０で管理して
おけば良い。なお、これらのコンピュータ１０，１１は
共通のメモリを設け、これらを集中管理することもでき
る。

【００２６】以下、前述した図１〜図３を基に、具体的
な搬送制御動作を説明する。

【００２７】まず、図２に示すように、自動棚１−４は
製品Ｙが到着（時点Ａ）すると、搬送制御コンピュータ
１０に対し、製品Ｙの到着報告（時点Ｂ）を行う。この
通知を受けた搬送制御コンピュータ１０は、到着製品の
搬送先を決めるにあたり、工程進捗管理コンピュータ１
１に行先設備候補問合せ（時点Ｄ）を行う。

【００２８】一方、工程進捗管理コンピュータ１１は、
製品の仕掛工程について各作業設備１−１〜ｎより、各
工程での製品作業報告（時点Ｃ）を受信して認識してい
る。したがって、工程進捗管理コンピュータ１１は、図
３（ａ）における事前登録済みの工程手順と作業可能設
備及び自動棚対応表１３を利用することにより、次の搬
送先と次々の搬送先を識別し、その結果を図３（ｂ）に
示す製品行き先応答内容表１４のように、搬送制御コン
ピュータ１０に行先設備候補応答（時点Ｅ）として返送
する。

【００２９】ついで、搬送制御コンピュータ１０は、通
知された行先設備候補応答内容表１４を参照し、次々搬
送先の自動棚の欄にある自動棚と、次搬送先の自動棚の
欄にある自動棚とを比較し、同一の自動棚があるか否か
を判定する。ここで、同一の自動棚がある場合は、その
自動棚を搬送先の第１候補とする。

【００３０】この実施の形態においては、自動棚１−２
が次々搬送先及び次搬送先にあるので、この自動棚１−
２が第１候補となり、自動棚１−３が第二候補とする。
さらに、搬送制御コンピュータ１０は、自動棚１−２が
稼働中か否か、空きがあるかどうかについて、図３
（ｃ）の自動棚／設備装置の状態表１５を参照して調べ
る。この結果、自動棚１−２は稼働中だが空きがあり、
設備１−１も稼働中であることが判明する。このため、
ここでは搬送先を自動棚１−２に決定する。

【００３１】しかる後、搬送制御コンピュータ１０は、
自動棚１−４に対し、搬送指示要求（時点Ｆ）を行い、
その際自動棚１−２に対して搬送するように指示する。

【００３２】これにより、自動棚１−４は搬送制御コン
ピュータ１０に対して搬送指示応答（時点Ｇ）を行い、
工程間搬送装置に製品Ｙの出庫（時点Ｈ）を行う。

【００３３】図４は図２に示す搬送制御コンピュータの
製品到着から搬送指示応答までの動作フロー図である。
図４に示すように、自動棚の決定にあたり、到着判定ス
テップＳ１においては、各自動棚に対し製品が到着した
か否かを常時監視しており、製品が到着した場合には、
行先設備候補問合せ送信ステップＳ２において、行先設
備候補を工程進捗管理コンピュータ１１に問合わせる。

【００３４】次に、行先設備候補応答ステップＳ３にお
いて、工程進捗管理コンピュータ１１からの行先設備候
補応答を監視する。その行先設備候補応答の後、次々搬
送先棚の有無判定ステップＳ４において、次々搬送先棚
の有無を調査する。ここで、もし次々搬送先棚がないと
きは、搬送先棚決定ステップＳ１２において、次搬送先
棚を搬送先棚として決定する。

【００３５】さらに、次搬送先棚抽出ステップＳ５にお
いて、次々搬送先自動棚をキーにすることにより、次搬
送先自動棚の中で同一の自動棚を抽出する。この抽出の
結果により、同一自動棚判定ステップＳ６において、同
一の自動棚を認識し、同一の自動棚があったときには、
第１候補指定ステップＳ７において、第１候補に指定す
る。

【００３６】ついで、稼働中／空き判定ステップＳ８で
は、ステップＳ７で第１候補に指定した自動棚が稼働中
か、空きがあるか否かをチェックする。ここで、ステッ
プＳ６において、同一自動棚がないか、あるいはステッ
プＳ８の第１候補の自動棚が稼働中ではないとき、もし
くは空きがないとき、前述したようにステップＳ１２で
搬送先棚として決定する。

【００３７】一方、ステップＳ８で自動棚の状態が稼働
中で空きがある場合、搬送先棚決定ステップＳ９におい
て、その棚を搬送先棚として決定する。

【００３８】しかる後、ステップＳ９もしくはステップ
Ｓ１２で搬送先棚が決定された後は、搬送指示要求送信
ステップＳ１０において、その自動棚に対して搬送指示
要求を送信し、搬送指示応答監視ステップＳ１１におい
て、搬送指示の応答を監視する。

【００３９】このように、本実施の形態においては、次
々搬送先までチェックすることにより、無駄な搬送を減
らすとともに、工程間搬送を効率化することができる。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のウェーハ
搬送方式は、これから搬送するウェーハもしくは製品の
行先棚だけでなく、さらに次の行先棚を搬送制御コンピ
ュータと工程進捗コンピュータとを用いて比較し、同一
の行先棚にすることができるか否かの判断を行って行先
を決定することにより、無駄な搬送を減らすとともに、
搬送システムにおける工程間搬送の搬送回数を減らすこ
とができるという効果がある。これは、工程間搬送の搬
送能力の圧迫を回避できるので、搬送能力をフル活用で
き、搬送システムへの投資を極力抑えることができるこ
とになる。

【００４１】また、本発明によれば、先を見た搬送を行
っているので、複数の作業領域において、増設，レイア
ウト変更による設備の移動が生じても、搬送効率を落と
さないで搬送できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態を説明するためのウェー
ハ搬送方式のブロック図である。

【図２】図１における搬送先通知装置のブロック図であ
る。

【図３】図１における工程手順，製品行き先，棚／設備
装置状態をそれぞれ表わす説明図である。

【図４】図２における搬送制御コンピュータの製品到着
から搬送指示応答までの動作フロー図である。

【図５】従来の一例を説明するための搬送作業レイアウ
トおよび搬送制御ブロックを表わす図である。

【図６】図５における工程手順，棚／設備装置状態をそ
れぞれ表わす説明図である。

【符号の説明】

１０搬送制御コンピュータ１１工程進捗管理コンピュータ１２通信経路（バス）１３工程手順表１４製品行き先応答内容表１５自動棚／設備装置の状態表Ｓ１〜Ｓ１２処理ステップ

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェーハに対する複数の作業領域毎に１
つもしくは複数の作業設備と自動搬送棚を備え、工程間
搬送装置により製品搬送を行うウェーハ搬送方式におい
て、工程進捗管理コンピュータおよび搬送制御コンピュ
ータを用い、ウェーハもしくは製品の搬送先を決定する
際に、これから搬送する第１の行先棚の位置情報および
次に搬送する第２の行先棚の位置情報を比較し、同じ行
先棚とすることができるか否かの判定を行い、同じ行先
棚があれば、その棚を搬送棚に決定する機能を備えるこ
とを特徴とするウェーハ搬送方式。
【請求項２】前記工程進捗管理コンピュータは、前記
作業設備に接続され、製品作業報告を受信するととも
に、工程手順と作業可能設備及び自動棚対応情報を登録
している請求項１記載のウェーハ搬送方式。
【請求項３】前記搬送制御コンピュータは、前記作業
設備および前記自動搬送棚に接続され、それぞれの状態
を把握している請求項１記載のウェーハ搬送方式。
【請求項４】前記搬送制御コンピュータは、製品到着
に基いて、前記工程進捗管理コンピュータに対し行先設
備候補の問合わせを行い、前記工程進捗管理コンピュー
タからは製品に対応し、所在棚情報と、次搬送先の作業
設備および自動棚情報と、次々搬送先の作業設備および
自動棚情報とを応答内容として返送する請求項１記載の
ウェーハ搬送方式。