JP2001236107A - 自動搬送装置および方法 - Google Patents

自動搬送装置および方法

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JP2001236107A
JP2001236107A JP2000046106A JP2000046106A JP2001236107A JP 2001236107 A JP2001236107 A JP 2001236107A JP 2000046106 A JP2000046106 A JP 2000046106A JP 2000046106 A JP2000046106 A JP 2000046106A JP 2001236107 A JP2001236107 A JP 2001236107A
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magazine
transport
station
transfer
stocker
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JP2000046106A
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Yoshiko Kawashima
佳子 川島
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Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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    • Y02P90/60Electric or hybrid propulsion means for production processes

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  • Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Feeding Of Workpieces (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 生産加工時間を短縮して生産性を確実に高め
る。 【解決手段】 満マガジンストッカ103aのマガジン
からワーク加工装置105にワークを供給しこのワーク
加工装置105から加工済みのワークを空マガジンスト
ッカ104bのマガジンに回収する複数のステーション
101,201,…,nと、これらステーションのうち
一のステーションから他のステーションにマガジンを搬
送するAGV4と、このAGV4に各ステーション10
1,201,…,nを介してマガジン搬送コマンドを与
えるシステムコントローラ3とを備え、このシステムコ
ントローラ3に各ステーションの空マガジンストッカ1
03b,104bと満マガジンストッカ103a,10
4aのマガジン数に対応する情報に基づいてマガジン搬
送元ステーションおよびマガジン搬送先ステーションを
決定する優先搬送決定手段10を含ませた構成としてあ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体装置
の生産ラインで使用して好適な自動搬送装置および方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、半導体装置は、マウンタ工程,
ボンディング工程,重ね合わせ工程,ポッティング工程
およびポッティングキュア工程等の多数の工程を経て製
造される。この場合、工程間のワーク搬送は、ボックス
(マガジン)単位で自動的に行われる。
【0003】従来、この種の自動搬送方法には、例えば
特開平4−144806号公報に開示されたものが採用
されている。これは、単一のセグメント(システムコン
トローラ)が各ステーション(工程)からのマガジン搬
送要求を受けてAGV(無人搬送車)等に搬送コマンド
を送り、このAGVがマガジン搬送要求のあった順に一
のステーションから他のステーションに移動してマガジ
ンを自動搬送するものである。この場合、各ステーショ
ンのローダに満マガジンが供給されるとともに、ローダ
から空マガジンが回収され、またアンローダに空マガジ
ンが供給されるとともに、アンローダから満マガジンが
回収される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、この種の自
動搬送方法においては、各ステーションからシステムコ
ントローラに送信される搬送要求の順にマガジン搬送を
行うものであるため、特定ステーションでの生産加工が
一時的に停止することがあった。すなわち、特定ステー
ションにおけるワーク加工が終了し、このステーション
から搬送要求が発生した場合でも予め設定された搬送順
に応じてマガジン搬送(供給・回収)が行われるため、
マガジンの供給・回収が行われない特定ステーションに
おける設備の稼動が一時的に停止してしまうからであ
る。この結果、生産加工に多大の時間を要し、生産性が
低下するという問題があった。
【0005】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、システムコントローラに各ステーションにおけ
る各ストッカのマガジン数に対応する情報に基づいてマ
ガジンの搬送元ステーションおよび搬送先ステーション
を決定する優先搬送決定手段を含ませることにより、生
産加工時間を短縮することができ、もって生産性を確実
に高めることができる自動搬送装置および方法の提供を
目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の請求項1記載の自動搬送装置は、ローダ用
マガジンストッカのマガジンからワーク加工装置にワー
クを供給しこのワーク加工装置から加工済みのワークを
アンローダ用マガジンストッカのマガジンに回収する複
数のステーションと、これらステーションのうち一のス
テーションから他のステーションにマガジンを搬送する
マガジン搬送装置と、このマガジン搬送装置に各ステー
ションを介してマガジン搬送コマンドを与えるシステム
コントローラとを備え、このシステムコントローラに各
ステーションのローダ用マガジンストッカ・アンローダ
用マガジンストッカのマガジン数に対応する情報に基づ
いてマガジン搬送元ステーションおよびマガジン搬送先
ステーションを決定する優先搬送決定手段を含ませた構
成としてある。
【0007】したがって、優先搬送決定手段が、各ステ
ーションのローダ用マガジンストッカ・アンローダ用マ
ガジンストッカのマガジン数に対応する情報に基づいて
マガジン搬送元ステーションおよびマガジン搬送先ステ
ーションを決定する。
【0008】請求項2記載の発明は、請求項1記載の自
動搬送装置において、システムコントローラにマガジン
搬送コマンドをコマンド実行順位とともに登録する優先
搬送テーブルを含ませ、この優先搬送テーブルに登録さ
れたマガジン搬送コマンドの実行順位を各ステーション
からの情報に基づいて変更する優先搬送テーブル修正部
を優先搬送決定手段に含ませた構成としてある。したが
って、優先搬送決定手段の優先搬送テーブル修正部が、
優先搬送テーブルに登録されたマガジン搬送コマンドの
実行順位を各ステーションからの情報に基づいて変更す
る。
【0009】請求項3記載の発明(自動搬送方法)は、
ローダ・アンローダ用マガジンストッカおよびワーク加
工装置を有する複数のステーションを介してシステムコ
ントローラからマガジン搬送装置にマガジン搬送コマン
ドを与え、このマガジン搬送装置がステーションのうち
一のステーションから他のステーションにマガジンを搬
送する自動搬送方法において、マガジンを搬送するに際
し、各ステーションのローダ・アンローダ用マガジンス
トッカのマガジン数に対応する情報に基づいてマガジン
搬送元ステーションおよびマガジン搬送先ステーション
を決定する方法としてある。
【0010】したがって、マガジン搬送元ステーション
およびマガジン搬送先ステーションの決定が、各ステー
ションのローダ・アンローダ用マガジンストッカのマガ
ジン数に対応する情報に基づいて行われる。
【0011】請求項4記載の発明は、請求項3記載の自
動搬送方法において、マガジン搬送元ステーションを決
定し、その後、マガジン搬送先ステーションを決定して
から、マガジンを搬送する方法としてある。したがっ
て、マガジンを搬送するに際し、マガジン搬送元ステー
ションが決定された後、マガジン搬送先ステーションが
決定される。
【0012】請求項5記載の発明は、請求項3記載の自
動搬送方法において、マガジン搬送先ステーションを決
定し、その後、マガジン搬送元ステーションを決定して
から、マガジンを搬送する方法としてある。したがっ
て、マガジンを搬送するに際し、マガジン搬送先ステー
ションが決定された後、マガジン搬送元ステーションが
決定される。
【0013】請求項6記載の発明は、請求項3,4また
は5記載の自動搬送方法において、マガジン搬送先ステ
ーションが複数個あり、これらマガジン搬送先ステーシ
ョンのストッカのうち、既存マガジン数が最少であるス
トッカにマガジンを搬送する方法としてある。したがっ
て、複数のマガジン搬送先ステーションがある場合、最
少数の既存マガジンをもつステーションのストッカにマ
ガジンが搬送される。
【0014】請求項7記載の発明は、請求項3〜6のう
ちいずれか一記載の自動搬送方法において、マガジン搬
送コマンドのうちマガジン搬送先ステーションにおける
ストッカの既存マガジン数NがN=0である場合のマガ
ジン搬送コマンドを、マガジン搬送先ステーションにお
けるストッカの既存マガジン数NがN≧1である場合の
マガジン搬送コマンドに優先して実行する方法としてあ
る。したがって、複数の搬送コマンドがあると、既存マ
ガジン数NがN=0である場合のマガジン搬送コマンド
が、既存マガジン数NがN≧1である場合のマガジン搬
送コマンドに優先して実行される。
【0015】請求項8記載の発明は、請求項3〜7のう
ちいずれか一記載の自動搬送方法において、マガジン搬
送先ステーションが複数個あって、これら各マガジン搬
送先ステーションにおけるストッカの既存マガジン数が
同数である場合に、マガジン搬送装置に対するマガジン
搬送コマンドを発生順に実行する方法としてある。した
がって、複数のマガジン搬送先ステーションにおけるス
トッカの既存マガジン数が同数である場合に、マガジン
搬送装置に対するマガジン搬送コマンドが発生順に実行
される。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態につき、
図面を参照して説明する。図1および図2は本発明の第
一実施形態に係る自動搬送装置を示すブロック図と斜視
図である。これら図において、符号1で示す自動搬送装
置は、ステーション群2およびシステムコントローラ3
およびAGV4を備えている。この自動搬送装置による
自動搬送は、例えば半導体装置の生産ライン等において
各工程の設備を工程順に一列に、あるいは環状に配列
し、工程間のワーク搬送をマガジン単位でAGV4によ
って行うシステム上で実施される。
【0017】「ステーション群」ステーション群2は、
複数のステーション101,201,…,nからなり、
それぞれがシステムコントローラ3にLAN回線5を介
して接続されている。これら各ステーション101,2
01,…,nは、同一構成のステーションからなるた
め、一のステーション101の構成についてのみ説明す
ると、ステーション101は、設備PC(パーソナルコ
ンピュータ)102,ローダ103,アンローダ104
およびワーク加工装置105を備えている。設備PC1
02は、LAN回線5に接続されている。これにより、
システムコントローラ3からの指令にもとづいてステー
ション101のローダ103,アンローダ104および
ワーク加工装置105を駆動制御する。
【0018】ローダ103は、満マガジンストッカ10
3a,空マガジンストッカ103bおよび搬送指示手段
103cを有している。これにより、ローダ103が駆
動すると、満マガジンストッカ103bのマガジンから
ワーク加工装置105にワーク(図示せず)が供給され
る。そして、ワーク供給後、空になったマガジンは移動
して空マガジンストッカ103a内に収納される。
【0019】満マガジンストッカ103aは、満マガジ
ンの個数を検知するセンサ(図示せず)を有し、ワーク
加工装置105の一方側側方位置に配置されている。こ
の満マガジンストッカ103aは、前ステーションにお
けるアンローダの満マガジンストッカからAGV4を介
して満マガジンを受け、この満マガジン内のワークをワ
ーク加工装置105に供給する。このようにして、ワー
ク加工装置105にワークが供給されると、ワーク空状
態となったマガジン(空マガジン)が空マガジンストッ
カ103b内に収納される。
【0020】空マガジンストッカ103bは、空マガジ
ンの個数を検知するセンサ(図示せず)を有し、満マガ
ジンストッカ103aの近傍に配置されている。この空
マガジン103bは、満マガジンストッカ103a内の
満マガジンがワーク加工装置105にワークを供給し、
ワーク空状態となったマガジン(空マガジン)を収納す
る。このようにして空マガジンストッカ103b内に収
納された空マガジンは、任意のステーションにおけるア
ンローダの空マガジンストッカにAGV4を介して搬送
される。
【0021】搬送指示手段103cは、設備PC102
に接続されている。これにより、搬送指示手段103c
がシステムコントローラ3(設備PC102)からのマ
ガジン搬送コマンドを受信すると、このマガジン搬送コ
マンドがAGV4に送信される。
【0022】アンローダ104は、ローダ103と同様
に、満マガジンストッカ104a,空マガジンストッカ
104bおよび搬送指示手段104cを有している。こ
れにより、ワーク加工装置105から加工済みのワーク
が空マガジンストッカ104bのマガジンに回収され
る。そして、ワークを回収したマガジンは移動して満マ
ガジンストッカ104a内に収納される。
【0023】満マガジンストッカ104aは、満マガジ
ンの個数を検知するセンサ(図示せず)を有し、ワーク
加工装置105の他方側側方位置に配置されている。満
マガジンストッカ104aは、空マガジンストッカ10
4b内の空マガジンがワーク加工装置105からワーク
を回収した後、ワーク満状態となったマガジン(満マガ
ジン)を収納する。このようにして収納された満マガジ
ンストッカ104a内の満マガジンは、次のステーショ
ンにおけるローダの満マガジンストッカにAGV4を介
して搬送される。
【0024】空マガジンストッカ104bは、空マガジ
ンの個数を検知するセンサ(図示せず)を有し、満マガ
ジンストッカ104aの近傍に配置されている。この空
マガジンストッカ104bは、任意のステーションにお
けるローダの空マガジンストッカからAGV4を介して
空マガジンを受ける。この空マガジンは、ワーク加工装
置105から加工済みのワークを回収した後、ワーク満
状態となったマガジン(満マガジン)が満マガジンスト
ッカ104a内に収納される。
【0025】搬送指示手段104cは、設備PC102
に接続されている。これにより、搬送指示手段104c
がシステムコントローラ3(設備PC102)からのマ
ガジン搬送コマンドを受信すると、このマガジン搬送コ
マンドがAGV4に送信される。なお、満マガジンとは
ワークが収納されているマガジンとし、また空マガジン
とはワークが収納されていないマガジンとする。
【0026】ワーク加工装置105は、ローダ103と
アンローダ104との間に配置されている。これによ
り、ローダ103からのワークを受け、このワークを加
工した後、アンローダ104に加工済みのワークを送
る。
【0027】「システムコントローラ」システムコント
ローラ(セグメントPC)3は、設備PC通信手段6,
マガジン数受信手段7,マガジン数記憶手段8,工程テ
ーブル9,優先搬送決定手段10,優先搬送テーブル1
1,搬送指示送信手段12,搬送終了受信手段13およ
び優先テーブルシフト手段14を有し、LAN回線5に
接続されている。これにより、システムコントローラ3
が各ステーション101,201,…,nから情報を収
集すると、これら情報に基づいてワーク(マガジン)搬
送コマンドが各ステーション101,201,…,nを
介してAGV4に与えられる。
【0028】設備PC通信手段6は、ステーション群2
の設備PC102,…からマガジン数等のデータを受信
し、これらデータをシステムコントローラ3内の各手段
に送る。また、各ステーション101,201,…,n
の設備PC102,…に、システムコントローラ3から
のマガジン搬送コマンド(搬送すべきマガジン,搬送先
および搬送元)を実行順位に応じて送信する。マガジン
数受信手段7は、設備PC通信手段6からのデータのう
ちマガジン数に対応する情報を受信する。マガジン数記
憶手段8は、マガジン数受信手段7からの情報を保存す
る。
【0029】工程テーブル9は、表1に示すように、製
品の生産工程に関する情報がデータベース化されて保存
されている。
【0030】
【表1】
【0031】なお、各工程には生産の順番に応じて番号
が付けられ、同工程の場合は同番号が付けられる。
【0032】優先搬送決定手段10は、マガジン数記憶
手段8(各ステーション101,201,…,nにおけ
る設備PC102)からの情報(マガジン数),工程テ
ーブル9からの情報(工程順位)および優先搬送テーブ
ル11からの情報(搬送すべきマガジン,搬送先,搬送
元およびコマンド実行順位)に基づいてマガジン搬送元
ステーション(マガジンを優先して搬送する側のステー
ション),マガジン搬送先ステーション(マガジンを優
先して搬送される側のステーション)および搬送マガジ
ンを決定する。
【0033】この場合、マガジンの搬送先は、アンロー
ダの満マガジンストッカ内に満マガジンが発生すると、
この発生マガジンの工程における次工程のステーション
のローダ(満マガジンストッカ)が対象となる。また、
ローダの空マガジンストッカ内に空マガジンが発生する
と、この発生マガジンの工程を含む任意の工程における
ステーションのアンローダ(空マガジンストッカ)がマ
ガジンの搬送先の対象となり、後で説明するように、こ
のうち各マガジンストッカ内の既存マガジン数が最少で
あるステーションが搬送先とされる。一方、マガジンの
搬送元は、各工程におけるローダの空マガジンストッカ
およびアンローダの満マガジンストッカ内にマガジンが
既存すると、これらマガジンをもつステーションが対象
となる。
【0034】そして、優先搬送決定手段10は、優先搬
送テーブル11に登録されたマガジン搬送コマンドの実
行順位を、各ステーション101,201,…,nにお
けるローダ・アンローダからの情報(マガジン数)に基
づいて変更する優先搬送テーブル修正部10aを有して
いる。これにより、緊急にマガジンを必要とする度合の
高いステーションを判断して、優先搬送テーブル11に
おけるマガジン搬送コマンドの実行順位が書き換えられ
る。
【0035】すなわち、今、仮に既存マガジンの個数が
0個であるマガジンストッカをもつステーションを搬送
先ステーションとするマガジン搬送コマンドが緊急に発
生したとすると、既存マガジンの個数が1個以上である
マガジンストッカをもつステーションを搬送先ステーシ
ョンとする搬送コマンドが優先搬送テーブル11に「有
る」か「無い」かを検索する。そして、「有る」場合に
は、マガジンストッカ内に1個以上の既存マガジンがあ
る搬送先ステーションにマガジンを搬送する前に、マガ
ジンストッカ内に既存マガジンが0個である搬送先ステ
ーションにマガジンを搬送するマガジン搬送コマンドを
優先マガジン搬送コマンドとして優先搬送テーブル11
のコマンド実行順位を書き換える。「無い」場合には、
優先搬送テーブル11に既に登録されているマガジン搬
送コマンドを登録順に実行する。
【0036】ここで、搬送元ステーションおよび搬送先
ステーションのマガジンストッカにおけるマガジン数
が、マガジンストッカ内に収納することができる最大マ
ガジンストック数以下であると、これら情報が優先搬送
テーブルに追加登録される。また、マガジン搬送先ステ
ーションが複数個あり、これら各マガジン搬送先ステー
ションにおけるストッカの既存マガジン数が同数である
場合にも、優先搬送テーブル11への登録順(マガジン
搬送コマンドの発生順)にマガジン搬送コマンドが実行
される。
【0037】なお、緊急度とは、ステーション101,
201,…,nにマガジンが供給されないことにより、
各ステーション101,201,…,nの設備が停止し
てしまう危険性をいう。
【0038】優先搬送テーブル11は、マガジンを搬送
元ステーションから搬送先ステーションに搬送する一連
の動作を決定する搬送コマンドの内容(搬送すべきマガ
ジン,搬送マガジン数,搬送先および搬送元)をコマン
ド実行順位とともに登録する。搬送指示送信手段12
は、優先搬送決定手段10からの情報を受信し、設備P
C通信手段6を介して搬送元ステーションおよび搬送先
ステーション(設備PC102)にマガジン搬送コマン
ドを送信する。そして、マガジン搬送コマンドの送信が
終了すると、搬送先ステーションから搬送終了情報がシ
ステムコントローラ3に送信される。
【0039】搬送終了受信手段13は、設備PC102
からのマガジン搬送終了情報を受信し、この情報を優先
テーブルシフト手段14に送信する。優先テーブルシフ
ト手段14は、搬送終了受信手段13からの情報を受
け、優先搬送テーブル11に登録されている二位以下の
マガジン搬送コマンドを一つずつ上位に挙げて登録す
る。
【0040】「AGV」AGV4は、各ステーション1
01,201,…,n(搬送指示手段)からマガジン搬
送コマンドを光通信によって受信し、この情報に基づい
てステーション間を移動してマガジンを搬送する。
【0041】次に、本実施形態における自動搬送方法
(緊急優先搬送)につき、図3を用いて説明する。図3
は本発明の第一実施形態に係る自動搬送方法を説明する
ために示すフローチャートである。すなわち、本実施形
態におけるマガジン自動搬送は、「搬送元検出」,「搬
送先検出」および「緊急搬送コマンド割り込み」を経て
行われる。
【0042】「搬送元検出」搬送元検出(ステップS1
0)を行うために、マガジン数記憶手段8からステーシ
ョン(工程)群2の全マガジンストッカ内のマガジン数
を調査する(ステップS100)。そして、アンローダ
104に一個以上の満マガジンが、あるいはローダ10
3に一個以上の空マガジンが発生したとき、ステップS
102に進み(ステップS101のY)、この発生ステ
ーションを搬送元ステーションとする(ステップS10
2)。一個以上のマガジンが発生しないときは、ステッ
プS100に戻る(ステップS101のN)。
【0043】「搬送先検出」ステップS102において
搬送元ステーションを決定すると、搬送先検出(ステッ
プS11)を行うために、搬送元ステーションのマガジ
ン(搬送元マガジン)が『満マガジンである』か、『空
マガジンである』かを判定する(ステップS103)。
搬送元マガジンが『満マガジンである』場合(ステップ
S103のY)、工程テーブル9で搬送元マガジンを必
要とする工程の次工程を検索する(ステップS10
4)。
【0044】次に、満マガジンの搬送先として、次工程
のステーションが有るか否かを判定し(ステップS10
5)、マガジン搬送先に次工程のステーションがある
(ステップS105のY)と、このステーションにおけ
るローダ103の満マガジンストッカ内の満マガジン数
を調査する(ステップS106)。すなわち、マガジン
搬送先に複数の次工程のステーションがある場合には、
既存の満マガジン数が最少のステーションを搬送先ステ
ーションと決定する(ステップS107のY,ステップ
S110)。なお、マガジン搬送先が次工程の一つのス
テーションのみであるときは、このステーションを既存
のマガジン数が最少のステーションと決定する(ステッ
プS107のY,ステップS110)。
【0045】なお、ステップS105において、搬送先
に次工程のステーションが無い場合は、ステップS10
4に戻る(ステップS105のN)。また、ステップS
106において、チェックした既存の満マガジン数が最
少でない場合、ステップS106に戻り、他の次工程の
ステーションにおける既存の満マガジン数を再度チェッ
クする(ステップS107のN)。
【0046】一方、ステップS103において、搬送元
マガジンが『空マガジンである』場合、搬送先として全
工程のステーションが候補となる(ステップS103の
N)。次に、全工程のステーションにおけるアンローダ
104の空マガジンストッカ104a内にある空マガジ
ン数を調査し(ステップS108)、既存の空マガジン
が最少であるステーションを判定する(ステップS10
9)。この場合、既存の空マガジンが最少であるステー
ションを搬送先ステーションとして決定する(ステップ
S110)。なお、ステップ109において、既存の空
マガジンが最少でない場合にはステップS108に戻
り、他の次工程のステーションにおける既存の空マガジ
ン数を再度チェックする(ステップS109のN)。
【0047】このようにして、既存の満マガジンあるい
は空マガジンの個数が最少であるステーションを搬送先
ステーションに決定しても、搬送元と搬送先の既存マガ
ジン数の合計が、マガジンストッカ内に収納することが
できる最大マガジンストック数より多い場合には、すべ
てのマガジンを搬送することができないので、搬送元と
搬送先の既存マガジン数の合計が最大マガジンストック
数と同じか、それよりも少ないかを確認する(ステップ
S111)。そして、搬送元と搬送先の既存マガジン数
の合計が最大マガジンストック数より多いときは、ステ
ップS100に戻る。緊急搬送コマンドによる割り込み
がないときには、上記のようにして、搬送元ステーショ
ンから搬送先ステーションにマガジンが搬送される。
【0048】「緊急搬送コマンドの割り込み」搬送元の
ステーションおよび搬送先のステーションを順次決定す
ると、搬送先のマガジンが供給されないことにより各設
備が停止してしまう危険性(緊急度)を調査するため
に、緊急搬送コマンドの割り込みを行う(ステップS1
2)。ステップS12においては、搬送先が決定した搬
送コマンド(決定搬送コマンド)の緊急度を搬送先のス
テーションにおける既存マガジン数の判定(既存マガジ
ン数AがA=0であるか、あるいはA≠0)によって調
査し、この緊急度が既に優先搬送テーブル11に登録さ
れている搬送コマンドの緊急度より高い場合、この搬送
コマンドより先に決定搬送コマンドを割り込ませる(優
先順位を高くする)。
【0049】すなわち、緊急搬送コマンドの割り込み
は、次に示すようにして行われる。先ず、緊急搬送コマ
ンドの搬送先におけるステーションの既存マガジンの個
数を判定する(ステップS112)。この場合、搬送先
マガジンの個数が0個である(ステップS112のY)
と、緊急度が高いとし、既に優先搬送テーブル11に登
録されている搬送コマンドの搬送先における工程の既存
マガジン数を全て調査する(ステップS113)。
【0050】次に、優先搬送テーブル11中の搬送コマ
ンドのうち、既存マガジン数が1個以上である搬送コマ
ンドの有無を判定する(ステップS115)。この場
合、搬送コマンドが有る(ステップS115のY)と、
既存マガジン数が0個である搬送先への搬送コマンドよ
り緊急度が低いとし、既存マガジン数が1個である搬送
先への搬送コマンドの順位(仮にm位とする)を一つ繰
り下げる(ステップS116)とともに、この搬送コマ
ンドの順位より下位である搬送コマンド群の順位を一つ
ずつ繰り下げ、既存マガジン数が0個である搬送先への
搬送コマンドの順位を優先させてm位に割り込ませる
(ステップS117)。
【0051】なお、ステップS115において、既存マ
ガジン数が0個である搬送先への搬送コマンドが有る場
合(ステップS115のN)、ステップS113に戻
る。この場合、緊急搬送コマンドの順位を優先搬送テー
ブル11中の搬送コマンド(既存マガジン数が0個であ
る搬送コマンド)の上位に割り込ませないことになり、
マガジン搬送の必要が発生した時刻順にマガジンが搬送
される。
【0052】一方、ステップS112において、搬送先
ステーションのマガジンの個数が1個以上である(ステ
ップS112のN)と、緊急搬送コマンドの緊急度が高
くないとし、これを優先搬送テーブル11中の最下位に
登録されている搬送コマンド(緊急搬送コマンドの搬送
先マガジンの個数と既存マガジン数が同数である搬送コ
マンド)の次に追加登録する。
【0053】このように、緊急搬送コマンドの割り込み
の処理(ステップS12)によって各設備が停止してし
まう危険性の高い度合いに応じてコマンド順位を決定す
ることができるとともに、これらコマンド順位が同じ場
合に各工程でマガジン搬送の必要が発生した時刻順にコ
マンド順位を決定することができる。
【0054】次に、表2および表3を用い、本実施形態
における自動搬送方法(優先搬送方法)を説明する。表
2および表3は、それぞれ優先搬送テーブル修正部10
aによる処理前および処理後のテーブルを示す。
【0055】
【表2】
【0056】
【表3】
【0057】表2に示すように、既存マガジン数(アン
ローダの満マガジンストッカ内のマガジン数)が1個で
あるステーション(搬送元)301から既存マガジン数
(ローダの満マガジンストッカ内のマガジン数)が0個
である次工程のステーション(搬送先)401にマガジ
ンを搬送するコマンドが発生したと仮定する。この場
合、優先順位1位と2位の搬送コマンドにおける搬送先
の既存マガジン数が0個であり、また優先順位3の搬送
コマンドにおける搬送先の既存マガジン数が1個であ
る。このため、表3に示すように、発生した搬送コマン
ドの優先順位を優先搬送テーブル修正部11aの処理に
よって3位に割り込ませ、処理前のコマンド順位が3位
以下である搬送コマンドを4位以下の順位に繰り下げ
る。
【0058】したがって、本実施形態においては、マガ
ジン搬送元ステーションおよびマガジン搬送先ステーシ
ョンの決定が、各ステーションのローダ・アンローダ用
マガジンストッカのマガジン数に対応する情報に基づい
て行われるから、複数の搬送先ステーションがある場合
に緊急度の高いステーションにマガンジンを搬送するこ
とができ、特定ステーションにおける生産加工の一時的
な停止発生を防止することができる。
【0059】また、本実施形態においては、搬送先にお
けるストッカ内の既存マガジン数NがN=0である場合
のマガジン搬送コマンドが、既存マガジンの個数NがN
≧1である場合のマガジン搬送コマンドに優先して実行
される。さらに、本実施形態においては、複数のマガジ
ン搬送先ステーションにおけるストッカ内の既存マガジ
ン数が同数である場合に、マガジン搬送コマンドが発生
した順に実行される。
【0060】なお、本実施形態においては、搬送元検出
を行うことにより搬送元のステーションを決定する場合
について説明したが、本発明はこれに限定されず、第二
実施形態として、搬送元のステーションからの搬送要求
に伴い、マガジン搬送の必要が発生したことにより搬送
元のステーションを決定することもできる。この場合、
マガジン搬送の必要が発生したステーションでは、アン
ローダ104の満マガジンストッカ104b内に満マガ
ジンが収納されると、システムコンローラ3に要マガジ
ン搬送の情報を送信する。一方、システムコントローラ
3では、ステーションからの要マガジン搬送の情報を受
信すると、マガジン搬送の必要が発生したとし、その情
報を送信したステーションを搬送元として図3に示す搬
送先検出(ステップS11)の処理以降の処理が施され
る。
【0061】このように、搬送元ステーションからの要
求によってシステムコントローラ3でマガジン搬送の必
要が生じたとして搬送先ステーションの状況を調査した
り、あるいは搬送元ステーションに搬送マガジンが発生
したことによりシステムコントローラ3でアンローダ1
04のマガジン数を判断したりしてマガジンを搬送する
方法をプッシュ式のマガジン搬送方法という。
【0062】また、本実施形態においては、搬送先検出
を行うことにより搬送先ステーションを決定する場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されず、第三実
施形態として、搬送先ステーションからの搬送要求に伴
い、マガジン搬送の必要が生じたことにより搬送先ステ
ーションを決定することもできる。この場合、マガジン
搬送の必要が生じたステーションでは、ローダ103に
おける満マガジンストッカ103b内の満マガジン数が
最大マガジンストック数より少なくなると、システムコ
ントローラ3に要マガジン搬送の情報を送信する。一
方、システムコントローラ3では、搬送先ステーション
からの要マガジン搬送の情報を受信すると、マガジン搬
送の必要が発生したとし、その情報を送信したステーシ
ョンを搬送先とする。
【0063】そして、搬送先ステーションにおけるロー
ダ103のマガジンが満マガジンであると、前ステーシ
ョンにおけるアンローダ104の満マガジンストッカ1
04b内の既存マガジン数を調査する。また、搬送先ス
テーションにおけるローダ103のマガジンが空マガジ
ンであると、任意のステーションにおけるアンローダ1
04の空マガジンストッカ104a内の既存マガジン数
を調査し、これらマガジン数と搬送マガジン数の合計が
最大マガジンストック数以下である場合に既存マガジン
数を調査したステーションを搬送元とする。この場合、
搬送元のステーションが複数個あると、既存マガジン数
が最も多いステーションを搬送元とする。
【0064】このように、搬送先ステーションからの要
求によってシステムコントローラ3がマガジン搬送の必
要が生じたとして搬送元ステーションの状況を調査して
マガジンを搬送する方法をプル式のマガジン搬送方法と
いう。
【0065】このプル式のマガジン搬送方法およびプッ
シュ式のマガジン搬送方法は、ともに搬送コマンドの発
生順と搬送の緊急度を考慮してマガジン搬送を行うこと
ができるが、各ステーションの処理能力が同等である場
合には、その作用効果が異なる。
【0066】すなわち、プル式のマガジン搬送方法にお
いては、搬送先ステーションで搬送要求を出してから、
実際に搬送元ステーションで搬送すべきマガジンが発生
するまでの時間が長くなり、これに対しプッシュ式のマ
ガジン搬送方法においては、搬送元ステーションで搬送
すべきマガジンが発生してから、搬送先ステーションに
マガジン搬送を行う状況になるまでの時間が短くなる。
この場合、マガジン搬送の必要が発生してから、実際に
マガジンを搬送するまでの時間が長いほど、状況を記憶
するためのメモリを多く必要とするとともに、搬送先・
搬送元の状況を調査するための処理や通信負荷が多くな
る。
【0067】また、各方法においては、緊急度の高い順
にマガジンを搬送することができる特徴があるため、単
一の搬送元ステーションから複数の搬送先ステーション
にマガジンを搬送するような場合、複数の搬送先ステー
ションに要求が発生しても、単一の搬送元ステーション
に搬送マガジンが発生した時をトリガ状態とするプッシ
ュ式のマガジン搬送がプル式のマガジン搬送と比べて処
理の負荷が少なくて済む。
【0068】この他、各実施形態においては、マガジン
搬送手段がAGVである場合について説明したが、本発
明はこれに限定されず、他のマガジン搬送手段でも勿論
よい。
【0069】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、マ
ガジン搬送元ステーションおよびマガジン搬送先ステー
ションの決定が、各ステーションのローダ・アンローダ
用マガジンストッカのマガジン数に対応する情報に基づ
いて行われるから、複数の搬送先ステーションがある場
合に緊急度の高いステーションにマガンジンを搬送する
ことができ、特定ステーションにおける生産加工の一時
的な停止発生を防止することができる。したがって、生
産加工時間を短縮することができるから、生産性を確実
に高めることができる。
【0070】また、搬送先におけるストッカ内の既存マ
ガジン数NがN=0である場合のマガジン搬送コマンド
を、既存マガジン数NがN≧1である場合のマガジン搬
送コマンドに優先して実行することにより、複数の搬送
コマンドがある場合に緊急度の高いステーションにマガ
ジン搬送を行うことができる。さらに、複数のマガジン
搬送先ステーションにおけるストッカ内の既存マガジン
数が同数である場合に、マガジン搬送コマンドが発生し
た順に実行されるから、マガジン搬送の必要が発生した
時刻順にマガジンを搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態に係る自動搬送装置を示
すブロック図である。
【図2】本発明の第一実施形態に係る自動搬送装置を示
す斜視図である。
【図3】本発明の第一実施形態に係る自動搬送方法を説
明するために示すフローチャートである。
【符号の説明】
1 自動搬送装置 2 ステーション群 3 システムコントローラ 4 AGV 5 LAN回線 6 設備PC通信手段 7 マガジン数受信手段 8 マガジン数記憶手段 9 工程テーブル 10 優先搬送決定手段 10a 優先搬送テーブル修正部 11 優先搬送テーブル 12 搬送指示送信手段 13 搬送終了受信手段 14 優先テーブルシフト手段 101,201,…,n ステーション 102 設備PC 103 ローダ 103a 満マガジンストッカ 103b 空マガジンストッカ 103c 搬送指示手段 104 アンローダ 104a 満マガジンストッカ 104b 空マガジンストッカ 104c 搬送指示手段 105 ワーク加工装置
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/50 H01L 21/50 C

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ローダ用マガジンストッカのマガジンか
    らワーク加工装置にワークを供給し、このワーク加工装
    置から加工済みのワークをアンローダ用マガジンストッ
    カのマガジンに回収する複数のステーションと、 これらステーションのうち一のステーションから他のス
    テーションにマガジンを搬送するマガジン搬送装置と、 このマガジン搬送装置に前記各ステーションを介してマ
    ガジン搬送コマンドを与えるシステムコントローラとを
    備え、 このシステムコントローラに、前記各ステーションのロ
    ーダ用マガジンストッカ・アンローダ用マガジンストッ
    カのマガジン数に対応する情報に基づいてマガジン搬送
    元ステーションおよびマガジン搬送先ステーションを決
    定する優先搬送決定手段を含ませたことを特徴とする自
    動搬送装置。
  2. 【請求項2】 前記システムコントローラに、マガジン
    搬送コマンドをコマンド実行順位とともに登録する優先
    搬送テーブルを含ませ、この優先搬送テーブルに登録さ
    れたマガジン搬送コマンドの実行順位を前記各ステーシ
    ョンからの情報に基づいて変更する優先搬送テーブル修
    正部を前記優先搬送決定手段に含ませたことを特徴とす
    る請求項1記載の自動搬送装置。
  3. 【請求項3】 ローダ・アンローダ用マガジンストッカ
    およびワーク加工装置を有する複数のステーションを介
    してシステムコントローラからマガジン搬送装置にマガ
    ジン搬送コマンドを与え、このマガジン搬送装置が前記
    ステーションのうち一のステーションから他のステーシ
    ョンに前記マガジンを搬送する自動搬送方法において、 前記マガジンを搬送するに際し、前記各ステーションの
    ローダ・アンローダ用マガジンストッカのマガジン数に
    対応する情報に基づいてマガジン搬送元ステーションお
    よびマガジン搬送先ステーションを決定することを特徴
    とする自動搬送方法。
  4. 【請求項4】 前記マガジン搬送元ステーションを決定
    し、その後、前記マガジン搬送先ステーションを決定し
    てから、前記マガジンを搬送することを特徴とする請求
    項3記載の自動搬送方法。
  5. 【請求項5】 前記マガジン搬送先ステーションを決定
    し、その後、前記マガジン搬送元ステーションを決定し
    てから、前記マガジンを搬送することを特徴とする請求
    項3記載の自動搬送方法。
  6. 【請求項6】 前記マガジン搬送先ステーションが複数
    個あり、これらマガジン搬送先ステーションのストッカ
    のうち、既存マガジン数が最少であるストッカに前記マ
    ガジンを搬送することを特徴とする請求項3,4または
    5記載の自動搬送方法。
  7. 【請求項7】 前記マガジン搬送コマンドのうち前記マ
    ガジン搬送先ステーションにおけるストッカの既存マガ
    ジン数NがN=0である場合のマガジン搬送コマンド
    を、前記マガジン搬送先ステーションにおけるストッカ
    の既存マガジン数NがN≧1である場合のマガジン搬送
    コマンドに優先して実行することを特徴とする請求項3
    〜6のうちいずれか一記載の自動搬送方法。
  8. 【請求項8】 前記マガジン搬送先ステーションが複数
    個あり、これら各マガジン搬送先ステーションにおける
    ストッカの既存マガジン数が同数である場合に、前記マ
    ガジン搬送装置に対するマガジン搬送コマンドを発生順
    に実行することを特徴とする請求項3〜7のうちいずれ
    か一記載の自動搬送方法。
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