JP3246461B2 - レチクル搬送制御方法 - Google Patents
レチクル搬送制御方法Info
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- JP3246461B2 JP3246461B2 JP35963698A JP35963698A JP3246461B2 JP 3246461 B2 JP3246461 B2 JP 3246461B2 JP 35963698 A JP35963698 A JP 35963698A JP 35963698 A JP35963698 A JP 35963698A JP 3246461 B2 JP3246461 B2 JP 3246461B2
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置製造ラ
インの露光工程におけるレチクル搬送制御方法に関す
る。
インの露光工程におけるレチクル搬送制御方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置製造ラインにおける露光工程
は、製品ならびに処理工程毎に、使用するレチクルが特
定されている。よって、露光装置を用いてロットを処理
するときには、該当レチクルを設備にセットするか、あ
るいは逆に、該当レチクルがセットされている露光装置
にロットをセットする必要がある。
は、製品ならびに処理工程毎に、使用するレチクルが特
定されている。よって、露光装置を用いてロットを処理
するときには、該当レチクルを設備にセットするか、あ
るいは逆に、該当レチクルがセットされている露光装置
にロットをセットする必要がある。
【０００３】半導体装置製造ラインの露光工程における
レチクルの取り扱いに関しては、従来、工程管理をして
いるホストコンピュータから、各ロットの仕掛り状態を
見て、露光装置にレチクルをセットし、あるいは必要に
よりレチクルの交換を行っていた。
レチクルの取り扱いに関しては、従来、工程管理をして
いるホストコンピュータから、各ロットの仕掛り状態を
見て、露光装置にレチクルをセットし、あるいは必要に
よりレチクルの交換を行っていた。
【０００４】しかし、上記のような方法によるときに
は、各ロットの仕掛り状態を、作業員の目視によるチェ
ックに頼るものであったため、経験の多少や判断に個人
差があり、効率が悪く、判断ミスや見落としが発生する
のは避けられない。
は、各ロットの仕掛り状態を、作業員の目視によるチェ
ックに頼るものであったため、経験の多少や判断に個人
差があり、効率が悪く、判断ミスや見落としが発生する
のは避けられない。
【０００５】このような問題を解決し、露光装置の稼動
効率を向上させる方法として、製造ロットの露光作業時
に、レチクルを露光作業開始時に間に合うタイミングで
レチクル収納棚より出庫・配膳することにより、レチク
ルの配膳待ちによる露光装置の空きを回避する方法が提
案された（特開平６−２６８０４３号：レチクル配膳方
法）（先行例１）。
効率を向上させる方法として、製造ロットの露光作業時
に、レチクルを露光作業開始時に間に合うタイミングで
レチクル収納棚より出庫・配膳することにより、レチク
ルの配膳待ちによる露光装置の空きを回避する方法が提
案された（特開平６−２６８０４３号：レチクル配膳方
法）（先行例１）。
【０００６】上記先行例１においては、次のような手順
でレチクルが、露光装置に配膳される。すなわち、露光
工程の数工程前の処理工程中に露光処理の開始もしくは
処理終了などのタイミングにあわせて、該当ロットが露
光装置に到着する時刻を予測する。次に、該当ロットの
露光装置への予測到着時刻に、該当レチクルも露光装置
に到着するように、レチクル収納棚から出庫する時刻を
予測する。そして、実時刻が、レチクル出庫予測時刻に
なったら、該当レチクルをレチクル収納棚から出庫した
のちに、該当露光装置に搬送する、というものである。
上記先行例１によれば、人の判断を介入させないでレチ
クル搬送が可能となる。
でレチクルが、露光装置に配膳される。すなわち、露光
工程の数工程前の処理工程中に露光処理の開始もしくは
処理終了などのタイミングにあわせて、該当ロットが露
光装置に到着する時刻を予測する。次に、該当ロットの
露光装置への予測到着時刻に、該当レチクルも露光装置
に到着するように、レチクル収納棚から出庫する時刻を
予測する。そして、実時刻が、レチクル出庫予測時刻に
なったら、該当レチクルをレチクル収納棚から出庫した
のちに、該当露光装置に搬送する、というものである。
上記先行例１によれば、人の判断を介入させないでレチ
クル搬送が可能となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、先行例
１に記載されたレチクル配膳方法によるときには、処理
ロットが露光装置に仕掛かる時刻を予測して、その予測
時刻をもとに、レチクルの搬送が行われるため、予測状
態と実状態とに時間的なズレが生じた場合には、レチク
ルとロットとの露光装置への搬送タイミングに影響が及
び、露光装置へのレチクルあるいはロットの搬送が遅れ
が発生すると、露光処理の開始が出来ず、これが原因と
なって、露光装置の稼働率低下を招くことになる。
１に記載されたレチクル配膳方法によるときには、処理
ロットが露光装置に仕掛かる時刻を予測して、その予測
時刻をもとに、レチクルの搬送が行われるため、予測状
態と実状態とに時間的なズレが生じた場合には、レチク
ルとロットとの露光装置への搬送タイミングに影響が及
び、露光装置へのレチクルあるいはロットの搬送が遅れ
が発生すると、露光処理の開始が出来ず、これが原因と
なって、露光装置の稼働率低下を招くことになる。
【０００８】また、先行例１の方法では、該当レチクル
の使用可能・不可能のチェックを行わないため、該当レ
チクルの使用が可能かどうかの確認が行われないままに
ロットが搬送されると、他のロットで該当レチクルが使
用処理を行っていた場合には、当然にそのレチクルを目
的の設備に搬送することは不可能であるために、設備に
搬送されてきたロットはそのまま設備で待たなければな
らない。
の使用可能・不可能のチェックを行わないため、該当レ
チクルの使用が可能かどうかの確認が行われないままに
ロットが搬送されると、他のロットで該当レチクルが使
用処理を行っていた場合には、当然にそのレチクルを目
的の設備に搬送することは不可能であるために、設備に
搬送されてきたロットはそのまま設備で待たなければな
らない。
【０００９】つまり、先行例１の方法によるときには、
該当レチクルの使用可能・不可能のチェックを行わない
ことによる待ち時間の発生は避けられないという問題が
ある。さらに、先行例１の方法では、露光工程の数工程
前の工程の処理開始または処理終了によって、搬送すべ
きレチクルが決定されるため、レチクルの交換および搬
送回数が増加し、搬送・交換時にレチクルへゴミが付着
する可能性が増大するという問題が発生する。
該当レチクルの使用可能・不可能のチェックを行わない
ことによる待ち時間の発生は避けられないという問題が
ある。さらに、先行例１の方法では、露光工程の数工程
前の工程の処理開始または処理終了によって、搬送すべ
きレチクルが決定されるため、レチクルの交換および搬
送回数が増加し、搬送・交換時にレチクルへゴミが付着
する可能性が増大するという問題が発生する。
【００１０】そのうえ、露光工程の数工程前で処理の順
番を決定してしまうために、露光工程に仕掛かった時点
で進捗に遅れが発生したロットを優先して処理すること
が出来ないという問題もあった。
番を決定してしまうために、露光工程に仕掛かった時点
で進捗に遅れが発生したロットを優先して処理すること
が出来ないという問題もあった。
【００１１】本発明の目的は、各ロットの進捗、仕掛り
状態と、レチクルの使用状態、所在の条件を加味してロ
ットおよびレチクルを露光装置へ効率よく搬送するレチ
クル搬送制御方法を提供することにある。
状態と、レチクルの使用状態、所在の条件を加味してロ
ットおよびレチクルを露光装置へ効率よく搬送するレチ
クル搬送制御方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のレチクル搬送制御方法においては、進捗率
判断処理と、搬送制御処理とを有するレチクル搬送制御
方法であって、進捗率判断処理は、各ロット毎に、納
期、残工程、各工程の処理時間から算出された進捗率を
参照する処理であり、搬送制御処理は、参照した進捗率
の中で、進捗遅れロットが存在する場合に、該当ロット
のレチクルの使用可否をチェックし、レチクルの使用が
可能ならそのロットを露光装置へ搬送し、この時、露光
装置に該当レチクルが存在しない場合は、同時にレチク
ルも搬送し、進捗遅れロットが存在しない場合は、露光
装置内にセットされているレチクルを用いて処理可能な
ロットを検索してそのロットを露光装置に搬送し、処理
可能ロットが存在しない場合は、露光処理で使用するレ
チクル毎に、仕掛りロット数を算出し、算出した結果か
ら、もっとも仕掛かりの多いレチクルを該当露光装置に
搬送すると共に、そのレチクルを用いるロットを該当露
光装置に搬送する処理である。
め、本発明のレチクル搬送制御方法においては、進捗率
判断処理と、搬送制御処理とを有するレチクル搬送制御
方法であって、進捗率判断処理は、各ロット毎に、納
期、残工程、各工程の処理時間から算出された進捗率を
参照する処理であり、搬送制御処理は、参照した進捗率
の中で、進捗遅れロットが存在する場合に、該当ロット
のレチクルの使用可否をチェックし、レチクルの使用が
可能ならそのロットを露光装置へ搬送し、この時、露光
装置に該当レチクルが存在しない場合は、同時にレチク
ルも搬送し、進捗遅れロットが存在しない場合は、露光
装置内にセットされているレチクルを用いて処理可能な
ロットを検索してそのロットを露光装置に搬送し、処理
可能ロットが存在しない場合は、露光処理で使用するレ
チクル毎に、仕掛りロット数を算出し、算出した結果か
ら、もっとも仕掛かりの多いレチクルを該当露光装置に
搬送すると共に、そのレチクルを用いるロットを該当露
光装置に搬送する処理である。
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【００１６】
【００１７】
【００１８】また、進捗率判断処理と、搬送制御処理と
を有するレチクル搬送制御方法であって、進捗率判断処
理は、ロット検索処理によって、該当ロットが存在する
場合は、各該当ロットの進捗率を計算し、進捗が遅れて
いるロットの存在有無をチェックして進捗遅れのロット
が存在する場合に、進捗率をキーに該当ロットをソート
する処理であり、搬送制御処理は、レチクル使用可否の
チェック処理と、レチクルの所在チェック処理と、搬送
処理とを含み、作業中のレチクル、設備保管中のレチク
ルにより処理可能なロットが存在しない場合に、レチク
ル保管棚に保管されているレチクル毎に、仕掛りロット
数を集計し、その集計結果をもとに、レチクルを決定
し、そのレチクルを使用して処理するロットのなかで進
捗が１番遅れているロットを選択し、該当露光装置に、
そのロットおよびレチクルを搬送するものである。
を有するレチクル搬送制御方法であって、進捗率判断処
理は、ロット検索処理によって、該当ロットが存在する
場合は、各該当ロットの進捗率を計算し、進捗が遅れて
いるロットの存在有無をチェックして進捗遅れのロット
が存在する場合に、進捗率をキーに該当ロットをソート
する処理であり、搬送制御処理は、レチクル使用可否の
チェック処理と、レチクルの所在チェック処理と、搬送
処理とを含み、作業中のレチクル、設備保管中のレチク
ルにより処理可能なロットが存在しない場合に、レチク
ル保管棚に保管されているレチクル毎に、仕掛りロット
数を集計し、その集計結果をもとに、レチクルを決定
し、そのレチクルを使用して処理するロットのなかで進
捗が１番遅れているロットを選択し、該当露光装置に、
そのロットおよびレチクルを搬送するものである。
【００１９】本発明によれば、レチクルを処理ロットと
同時に運ぶために、露光装置でロットの時間待ちやレチ
クル待ちの発生がなくなる。また、露光装置にセットさ
れているレチクルで処理可能なロットを優先して搬送さ
せることや、仕掛りロットの多いレチクルを優先して搬
送させることで、レチクルの交換や搬送回数を最小限に
コントロールする事が可能になる。
同時に運ぶために、露光装置でロットの時間待ちやレチ
クル待ちの発生がなくなる。また、露光装置にセットさ
れているレチクルで処理可能なロットを優先して搬送さ
せることや、仕掛りロットの多いレチクルを優先して搬
送させることで、レチクルの交換や搬送回数を最小限に
コントロールする事が可能になる。
【００２０】
【発明の実施の形態】（実施形態１）本発明の第１の実
形態を、図を用いて説明する。図１は、本実施形態のレ
チクル搬送装置のブロック図である。図において、本発
明は、半導体の製造ライン１０７に、露光装置１１０
と、レチクル保管庫１０８と、製品保管庫１０９と、搬
送装置１１３とを有しているものである。
形態を、図を用いて説明する。図１は、本実施形態のレ
チクル搬送装置のブロック図である。図において、本発
明は、半導体の製造ライン１０７に、露光装置１１０
と、レチクル保管庫１０８と、製品保管庫１０９と、搬
送装置１１３とを有しているものである。
【００２１】製造ライン１０７は、中央処理装置１０１
によって制御される。中央処理装置１０１は、ロット情
報記憶装置１０２と、レチクル情報記憶装置１０３と、
処理手順情報記憶装置１０４を有している。
によって制御される。中央処理装置１０１は、ロット情
報記憶装置１０２と、レチクル情報記憶装置１０３と、
処理手順情報記憶装置１０４を有している。
【００２２】ロット情報記憶装置１０２には、ロットの
状態、仕掛り工程、納期が記憶され、レチクル情報記憶
装置１０３には、レチクルの状態および所在情報が記憶
されている。
状態、仕掛り工程、納期が記憶され、レチクル情報記憶
装置１０３には、レチクルの状態および所在情報が記憶
されている。
【００２３】処理手順情報記憶装置１０４には、各半導
体装置の処理手順、処理条件および処理時間が記憶され
ているものである。また、中央処理装置１０１は、レチ
クルとロットとの搬送をコントロールする搬送コントロ
ールプロセス１０５も有している。
体装置の処理手順、処理条件および処理時間が記憶され
ているものである。また、中央処理装置１０１は、レチ
クルとロットとの搬送をコントロールする搬送コントロ
ールプロセス１０５も有している。
【００２４】レチクル保管棚１０８は、レチクルを保管
し、製品保管棚１０９は、処理待ちの製品を保管してい
る。露光装置１１０は、半導体装置の露光処理を行うも
のであり、これらの装置が、ネットワーク１０６によっ
て中央処理装置１０１に接続されているものである。
し、製品保管棚１０９は、処理待ちの製品を保管してい
る。露光装置１１０は、半導体装置の露光処理を行うも
のであり、これらの装置が、ネットワーク１０６によっ
て中央処理装置１０１に接続されているものである。
【００２５】搬送装置１１３は、レチクル保管棚１０８
及び製品保管棚１０９と露光装置１１０間や、製品保管
棚１０９の相互間で、ロットやレチクルを搬送するもの
である。露光装置１１０においては、レチクルを複数枚
保管可能なレチクルチェンジャー１１２および、製品保
管棚１０９から露光装置１１０に搬送されてきた製品を
一時的に保管するためのポート１１１を複数有してい
る。
及び製品保管棚１０９と露光装置１１０間や、製品保管
棚１０９の相互間で、ロットやレチクルを搬送するもの
である。露光装置１１０においては、レチクルを複数枚
保管可能なレチクルチェンジャー１１２および、製品保
管棚１０９から露光装置１１０に搬送されてきた製品を
一時的に保管するためのポート１１１を複数有してい
る。
【００２６】図２は、ロット状態記憶装置１０２のデー
タ構成図である。ロット状態記憶装置１０２には、ロッ
トＮｏ．（Ｎｏ．１，２，３・・・）ごとに、使用して
いる処理手順名（例えば処理手順Ａ，Ｄ，Ｂ・・・）、
そのロットが仕掛かっている仕掛工程（例えば工程Ｃ，
Ｅ，Ｆ・・・）、ロットの所在および状態（例えばロッ
トＮｏ．１は、設備Ａ：処理中、ロットＮｏ．２は、棚
Ｂ：保管、ロットＮｏ．３は、搬送中など）、納期日時
（例えば納期Ａ，Ｂ，Ｃ，・・・）が記憶されている。
タ構成図である。ロット状態記憶装置１０２には、ロッ
トＮｏ．（Ｎｏ．１，２，３・・・）ごとに、使用して
いる処理手順名（例えば処理手順Ａ，Ｄ，Ｂ・・・）、
そのロットが仕掛かっている仕掛工程（例えば工程Ｃ，
Ｅ，Ｆ・・・）、ロットの所在および状態（例えばロッ
トＮｏ．１は、設備Ａ：処理中、ロットＮｏ．２は、棚
Ｂ：保管、ロットＮｏ．３は、搬送中など）、納期日時
（例えば納期Ａ，Ｂ，Ｃ，・・・）が記憶されている。
【００２７】図３は、レチクル情報記憶装置１０３のデ
ータ構成図である。レチクル情報記憶装置１０３には、
レチクル毎ごとに、レチクル名（レチクルＡ，Ｂ，Ｃ・
・・）、レチクルの所在（例えば設備Ａ、棚Ａ、設備Ｂ
など）、レチクル使用状態（例えば使用中、保管、な
ど）が記憶されている。
ータ構成図である。レチクル情報記憶装置１０３には、
レチクル毎ごとに、レチクル名（レチクルＡ，Ｂ，Ｃ・
・・）、レチクルの所在（例えば設備Ａ、棚Ａ、設備Ｂ
など）、レチクル使用状態（例えば使用中、保管、な
ど）が記憶されている。
【００２８】図４は、処理手順情報記憶装置１０４のデ
ータ構造図である。処理手順情報記憶装置１０４には、
処理手順名毎に、処理の流れ（例えば処理手順Ａな
ど）、工程（工程Ａ，Ｂ，Ｃ・・・）の各工程毎の処理
条件と露光工程で使用すべきレチクル名（例えば設備
Ａ：条件α、設備Ｃ：条件β：レチクルＡ、設備Ｅ：条
件βなど）および処理時間（例えば処理時間Ａ，Ｂ，Ｃ
・・・）が記憶されている。
ータ構造図である。処理手順情報記憶装置１０４には、
処理手順名毎に、処理の流れ（例えば処理手順Ａな
ど）、工程（工程Ａ，Ｂ，Ｃ・・・）の各工程毎の処理
条件と露光工程で使用すべきレチクル名（例えば設備
Ａ：条件α、設備Ｃ：条件β：レチクルＡ、設備Ｅ：条
件βなど）および処理時間（例えば処理時間Ａ，Ｂ，Ｃ
・・・）が記憶されている。
【００２９】本発明は、進捗率判断処理と、搬送制御処
理とを行うものである。最初に、露光工程仕掛りで、製
品保管棚に保管されているロットが検索され、進捗率判
断処理として、納期、残工程、各工程の処理時間から算
出された進捗率が参照される。
理とを行うものである。最初に、露光工程仕掛りで、製
品保管棚に保管されているロットが検索され、進捗率判
断処理として、納期、残工程、各工程の処理時間から算
出された進捗率が参照される。
【００３０】搬送制御処理は、レチクル使用可否をチェ
ックし、レチクルの所在をチェックし、レチクルの搬送
をコントロールする。すなわち、参照した進捗率で、進
捗遅れロットが存在する場合、該当ロットの処理の可否
をチェックし、可能ならそのロットを露光装置へ搬送す
る。この時、装置に該当レチクルが存在しない場合は、
同時にレチクルも搬送する。
ックし、レチクルの所在をチェックし、レチクルの搬送
をコントロールする。すなわち、参照した進捗率で、進
捗遅れロットが存在する場合、該当ロットの処理の可否
をチェックし、可能ならそのロットを露光装置へ搬送す
る。この時、装置に該当レチクルが存在しない場合は、
同時にレチクルも搬送する。
【００３１】進捗遅れロットが存在しない場合は、露光
装置内にセットされているレチクルで処理可能なロット
を検索して搬送する。処理可能ロットが存在しない場合
は、露光処理で使用するレチクル毎に、仕掛りロット数
を算出する。算出した結果から、最も仕掛かりの多いレ
チクルを該当露光装置に搬送すると共に、ロットを該当
露光装置に搬送する。
装置内にセットされているレチクルで処理可能なロット
を検索して搬送する。処理可能ロットが存在しない場合
は、露光処理で使用するレチクル毎に、仕掛りロット数
を算出する。算出した結果から、最も仕掛かりの多いレ
チクルを該当露光装置に搬送すると共に、ロットを該当
露光装置に搬送する。
【００３２】以下にその詳細を図５の搬送コントロール
プロセスの動作フローを用いて説明する。図５におい
て、処理完了ロットがポート１１１から搬送装置１１３
で回収された時に、露光装置１１０は、ネットワーク１
０６を介して中央処理装置１０１に、処理ロットの搬送
を要求する。
プロセスの動作フローを用いて説明する。図５におい
て、処理完了ロットがポート１１１から搬送装置１１３
で回収された時に、露光装置１１０は、ネットワーク１
０６を介して中央処理装置１０１に、処理ロットの搬送
を要求する。
【００３３】中央処理装置１０１は、搬送要求信号を受
信したら、搬送コントロールプロセス１０５に起動信号
を送信する。起動信号を受信した搬送コントロールプロ
セス１０５は、ロット検索処理として、最初に、露光工
程仕掛りで、製品保管棚１０９に保管されているロット
をロット情報記憶装置１０２から検索する（ステップ５
０１）。
信したら、搬送コントロールプロセス１０５に起動信号
を送信する。起動信号を受信した搬送コントロールプロ
セス１０５は、ロット検索処理として、最初に、露光工
程仕掛りで、製品保管棚１０９に保管されているロット
をロット情報記憶装置１０２から検索する（ステップ５
０１）。
【００３４】検索した結果、該当ロットが存在しない場
合は、入庫検索処理として、製品保管棚１０９に、新た
なロットが入庫されるのを監視し、入庫が発生したとこ
ろで再検索を行う（ステップ５０２）。もし該当ロット
が存在する場合は、各該当ロットの進捗率を計算する
（ステップ５０３）。
合は、入庫検索処理として、製品保管棚１０９に、新た
なロットが入庫されるのを監視し、入庫が発生したとこ
ろで再検索を行う（ステップ５０２）。もし該当ロット
が存在する場合は、各該当ロットの進捗率を計算する
（ステップ５０３）。
【００３５】尚、進捗率は、式１に示す通り、残りの処
理工程の各処理時間の和を処理手順情報記憶装置１０４
から求め、現在日時と、ロット情報記憶装置１０２が記
憶している納期日時の差で割った値である。 進捗率＝残処理工程の処理時間の総和／（現在日時ー納期日時）（式１） 各ロットの進捗率結果が所定の値より小さい値のロット
（進捗が遅れているロット）の存在有無をチェックする
（ステップ５０４）。
理工程の各処理時間の和を処理手順情報記憶装置１０４
から求め、現在日時と、ロット情報記憶装置１０２が記
憶している納期日時の差で割った値である。 進捗率＝残処理工程の処理時間の総和／（現在日時ー納期日時）（式１） 各ロットの進捗率結果が所定の値より小さい値のロット
（進捗が遅れているロット）の存在有無をチェックする
（ステップ５０４）。
【００３６】進捗遅れのロットが存在する場合は、進捗
率をキーに該当ロットをソートする（ステップ５０
５）。ソート後、搬送制御処理が行われるが、搬送制御
処理は、レチクル使用可否のチェック処理として、最も
進捗の遅れているロットの使用レチクルを処理手順情報
記憶装置１０４から検索し、レチクル状態記憶装置１０
３を用い、該当レチクルの所在をレチクル保管棚１０８
で保管中または、搬送要求信号を送信した設備内で保管
ないしは使用中かを検索して、レチクル使用の可否をチ
ェックする。
率をキーに該当ロットをソートする（ステップ５０
５）。ソート後、搬送制御処理が行われるが、搬送制御
処理は、レチクル使用可否のチェック処理として、最も
進捗の遅れているロットの使用レチクルを処理手順情報
記憶装置１０４から検索し、レチクル状態記憶装置１０
３を用い、該当レチクルの所在をレチクル保管棚１０８
で保管中または、搬送要求信号を送信した設備内で保管
ないしは使用中かを検索して、レチクル使用の可否をチ
ェックする。
【００３７】もし他の設備で保管ないしは使用中で不可
の場合は、次の進捗遅れロットについて同様の検索をす
る（ステップ５０６）。検索の結果、レチクルが使用可
の場合は、レチクルの所在チェック処理として、そのレ
チクルの所在をチェックする（ステップ５０７）。該当
レチクルがレチクル保管棚１０８に保管されている場合
は、該当ロットと該当レチクルとを一緒に搬送装置１１
３を用いて該当露光装置１１０に搬送する搬送指示を行
う（ステップ５０８）。
の場合は、次の進捗遅れロットについて同様の検索をす
る（ステップ５０６）。検索の結果、レチクルが使用可
の場合は、レチクルの所在チェック処理として、そのレ
チクルの所在をチェックする（ステップ５０７）。該当
レチクルがレチクル保管棚１０８に保管されている場合
は、該当ロットと該当レチクルとを一緒に搬送装置１１
３を用いて該当露光装置１１０に搬送する搬送指示を行
う（ステップ５０８）。
【００３８】また、この搬送の時に、露光装置１１０内
に保管されているレチクルと交換し、交換したレチクル
は、搬送装置１１３を用いてレチクル保管棚１０８に搬
送処理され、棚に保管される。
に保管されているレチクルと交換し、交換したレチクル
は、搬送装置１１３を用いてレチクル保管棚１０８に搬
送処理され、棚に保管される。
【００３９】該当レチクルが該当露光装置１１０に存在
する場合は、該当ロットのみを搬送装置１１３で該当露
光装置１１０に搬送する搬送指示を行う（ステップ５０
９）。全ての進捗遅れロットで使用されるレチクルが使
用不可の場合は、進捗遅れでないロットの有無を確認す
る（ステップ５１０）。
する場合は、該当ロットのみを搬送装置１１３で該当露
光装置１１０に搬送する搬送指示を行う（ステップ５０
９）。全ての進捗遅れロットで使用されるレチクルが使
用不可の場合は、進捗遅れでないロットの有無を確認す
る（ステップ５１０）。
【００４０】進捗が遅れでないロットが存在する場合
は、該当露光装置で作業処理中のレチクルで処理可能な
ロットを検索する（ステップ５１１）。もし存在しない
場合は、設備保管中のレチクルで処理可能なロットを検
索する（ステップ５１２）。
は、該当露光装置で作業処理中のレチクルで処理可能な
ロットを検索する（ステップ５１１）。もし存在しない
場合は、設備保管中のレチクルで処理可能なロットを検
索する（ステップ５１２）。
【００４１】検索の結果、処理可能なロットが存在する
場合は、該当ロットを搬送装置１１３で該当露光装置１
１０に搬送する搬送指示を行う（ステップ５１３）。ま
た、この指示に基づく搬送処理としての搬送の時に、露
光装置１１０内に保管されているレチクルと交換し、交
換したレチクルは搬送装置１１３を用いてレチクル保管
棚１０８に搬送して棚上に保管する。
場合は、該当ロットを搬送装置１１３で該当露光装置１
１０に搬送する搬送指示を行う（ステップ５１３）。ま
た、この指示に基づく搬送処理としての搬送の時に、露
光装置１１０内に保管されているレチクルと交換し、交
換したレチクルは搬送装置１１３を用いてレチクル保管
棚１０８に搬送して棚上に保管する。
【００４２】（実施形態２）次に、本発明の第２の実施
形態を図を用いて説明する。図６は、第２の実施形態の
搬送コントロールプロセス１０５の動作フローを示す図
である。
形態を図を用いて説明する。図６は、第２の実施形態の
搬送コントロールプロセス１０５の動作フローを示す図
である。
【００４３】本実施形態においても第１の実施形態と同
様に、搬送コントロールプロセス１０５が起動信号を受
信したら、該当露光装置１１０の作業中レチクルで処理
可能なロットが製品保管棚１０９に保管されてないか、
どうかを検索する（ステップ６０１）。
様に、搬送コントロールプロセス１０５が起動信号を受
信したら、該当露光装置１１０の作業中レチクルで処理
可能なロットが製品保管棚１０９に保管されてないか、
どうかを検索する（ステップ６０１）。
【００４４】もし、ロットが存在する場合は、搬送装置
１１３を用いて該当ロットを該当露光装置１１０に搬送
する。作業中、レチクルで処理可能なロットが存在しな
い場合は、該当露光装置１１０で保管されている設備保
管中のレチクルで処理可能なロットが製品保管棚１０９
に保管されてないか、どうかを検索する（ステップ６０
２）。
１１３を用いて該当ロットを該当露光装置１１０に搬送
する。作業中、レチクルで処理可能なロットが存在しな
い場合は、該当露光装置１１０で保管されている設備保
管中のレチクルで処理可能なロットが製品保管棚１０９
に保管されてないか、どうかを検索する（ステップ６０
２）。
【００４５】もし、ロットが存在する場合は、搬送装置
１１３を用いて該当ロットを該当露光装置１１０に搬送
する、尚、上記検索処理（ステップ６０１，６０２）に
おいて、処理可能なロットが複数存在する場合は、進捗
が遅れているロットを優先する。
１１３を用いて該当ロットを該当露光装置１１０に搬送
する、尚、上記検索処理（ステップ６０１，６０２）に
おいて、処理可能なロットが複数存在する場合は、進捗
が遅れているロットを優先する。
【００４６】次に、作業中レチクル、設備保管中レチク
ルで処理可能なロットが存在しない場合は、レチクル保
管棚１０８に保管されているレチクル毎に、仕掛りロッ
ト数を集計する（ステップ６０３）。
ルで処理可能なロットが存在しない場合は、レチクル保
管棚１０８に保管されているレチクル毎に、仕掛りロッ
ト数を集計する（ステップ６０３）。
【００４７】図７は、ステップ６０３での集計結果のデ
ータ構造図である。レチクル保管棚１０８に保管されて
いるレチクル（レチクルＡ，Ｂ，Ｃ・・・）をキーに、
そのレチクルを使用して露光処理を行うロットを、ロッ
ト情報記憶装置１０２から検索する。そのときに、露光
処理に仕掛かっているロットと露光処理の１・２工程前
に仕掛かっているロットを検索の対象とし、そのロット
数とウェーハ枚数を集計する。
ータ構造図である。レチクル保管棚１０８に保管されて
いるレチクル（レチクルＡ，Ｂ，Ｃ・・・）をキーに、
そのレチクルを使用して露光処理を行うロットを、ロッ
ト情報記憶装置１０２から検索する。そのときに、露光
処理に仕掛かっているロットと露光処理の１・２工程前
に仕掛かっているロットを検索の対象とし、そのロット
数とウェーハ枚数を集計する。
【００４８】本実施形態においては、搬送制御処理とし
て、その集計結果をもとに、レチクルを決定し、そのレ
チクルを使用して処理するロットのなかで進捗が１番遅
れているロットを選択し、搬送装置１１３を用いて該当
露光装置１１０に、そのロットおよびレチクルを搬送す
る（ステップ６０４）。
て、その集計結果をもとに、レチクルを決定し、そのレ
チクルを使用して処理するロットのなかで進捗が１番遅
れているロットを選択し、搬送装置１１３を用いて該当
露光装置１１０に、そのロットおよびレチクルを搬送す
る（ステップ６０４）。
【００４９】次に、前記レチクル名毎の仕掛りロットの
集計データを用いて、搬送指示するレチクルの決定方法
について説明する。図８は、レチクルの決定方法を示し
た流れ図である。集計結果が出力されたら、露光処理仕
掛りのロットが１番多いレチクルを選択する（ステップ
８０１）。もしロットが同じの場合は、ウェーハ枚数の
多いレチクルを選択する（ステップ８０２）。図７の例
では、レチクルＡが選択される。
集計データを用いて、搬送指示するレチクルの決定方法
について説明する。図８は、レチクルの決定方法を示し
た流れ図である。集計結果が出力されたら、露光処理仕
掛りのロットが１番多いレチクルを選択する（ステップ
８０１）。もしロットが同じの場合は、ウェーハ枚数の
多いレチクルを選択する（ステップ８０２）。図７の例
では、レチクルＡが選択される。
【００５０】仕掛りロット数およびウェーハ枚数が同数
のレチクルが複数存在する場合は、その該当レチクルの
露光処理１工程前のロット数とウェーハ枚数で同様の選
択を行う（ステップ８０３，８０４）。
のレチクルが複数存在する場合は、その該当レチクルの
露光処理１工程前のロット数とウェーハ枚数で同様の選
択を行う（ステップ８０３，８０４）。
【００５１】露光処理１工程前のロット数とウェーハ枚
数も同数の場合は、露光処理２工程前のロット数とウェ
ーハ数で同様の選択を行う（ステップ８０５，８０
６）。仕掛り工程から２工程前までのロット数およびウ
ェーハ枚数が同数のレチクルが存在する場合は、それら
レチクルを使用して処理される仕掛工程ロットの内で進
捗が１番遅れているロットの処理に使用するレチクルを
選択する（ステップ８０７）。
数も同数の場合は、露光処理２工程前のロット数とウェ
ーハ数で同様の選択を行う（ステップ８０５，８０
６）。仕掛り工程から２工程前までのロット数およびウ
ェーハ枚数が同数のレチクルが存在する場合は、それら
レチクルを使用して処理される仕掛工程ロットの内で進
捗が１番遅れているロットの処理に使用するレチクルを
選択する（ステップ８０７）。
【００５２】
【発明の効果】以上のように、本発明によるときには、
露光装置内に存在するレチクルで処理可能なロットを搬
送するか、あるいは、ロットと共に処理に必要なレチク
ルを同時に搬送するため、ロットまたはレチクルの搬送
遅れによる露光装置の処理待ちがなくなり、露光装置の
稼働率を向上することができる。
露光装置内に存在するレチクルで処理可能なロットを搬
送するか、あるいは、ロットと共に処理に必要なレチク
ルを同時に搬送するため、ロットまたはレチクルの搬送
遅れによる露光装置の処理待ちがなくなり、露光装置の
稼働率を向上することができる。
【００５３】また、本発明によるときには、露光装置内
に存在するレチクルを、仕掛ロットの多いレチクルの順
で、検索を行うために、レチクルの交換および搬送回数
が少なくなり、レチクルにゴミが付着する可能性を低減
できる。さらに、露光工程に仕掛った時に、処理ロット
を決定することによって、進捗遅れロットを優先して処
理することができる効果を有する。
に存在するレチクルを、仕掛ロットの多いレチクルの順
で、検索を行うために、レチクルの交換および搬送回数
が少なくなり、レチクルにゴミが付着する可能性を低減
できる。さらに、露光工程に仕掛った時に、処理ロット
を決定することによって、進捗遅れロットを優先して処
理することができる効果を有する。
【図１】本発明の構成を示すブロック図である。
【図２】ロット情報記憶装置のデータ構成図である。
【図３】レチクル情報記憶装置のデータ構成図である。
【図４】処理手順情報記憶装置のデータ構成図である。
【図５】本発明による第１の実施形態を示すレチクル搬
送制御方法のプロセス処理の流れ図である。
送制御方法のプロセス処理の流れ図である。
【図６】本発明による第２の実施形態を示すレチクル搬
送制御方法のプロセス処理の流れ図である。
送制御方法のプロセス処理の流れ図である。
【図７】第２の実施形態の処理集計結果のデータ構造図
である。
である。
【図８】第２実施形態のレチクル決定処理の流れ図であ
る。
る。
１０１ 中央処理装置 １０２ ロット情報記憶装置 １０３ レチクル情報記憶装置 １０４ 処理手順記憶装置 １０５ 搬送コントロールプロセス １０６ ネットワーク １０７ 製造ライン １０８ レチクル保管棚 １０９ 製品保管棚 １１０ 露光装置 １１１ ポート １１２ レチクルチェンジャー １１３ 搬送装置 ５０１〜５１３ ステップ ６０１〜６０５ ステップ ８０１〜８０７ ステップ
Claims (2)
- 【請求項１】 進捗率判断処理と、搬送制御処理とを有
するレチクル搬送制御方法であって、 進捗率判断処理は、各ロット毎に、納期、残工程、各工
程の処理時間から算出された進捗率を参照する処理であ
り、 搬送制御処理は、参照した進捗率の中で、進捗遅れロッ
トが存在する場合に、該当ロットのレチクルの使用可否
をチェックし、レチクルの使用が可能ならそのロットを
露光装置へ搬送し、この時、露光装置に該当レチクルが
存在しない場合は、同時にレチクルも搬送し、進捗遅れ
ロットが存在しない場合は、露光装置内にセットされて
いるレチクルを用いて処理可能なロットを検索してその
ロットを露光装置に搬送し、処理可能ロットが存在しな
い場合は、露光処理で使用するレチクル毎に、仕掛りロ
ット数を算出し、算出した結果から、もっとも仕掛かり
の多いレチクルを該当露光装置に搬送すると共に、その
レチクルを用いるロットを該当露光装置に搬送する処理
であることを特徴とするレチクル搬送制御方法。 - 【請求項２】 進捗率判断処理と、搬送制御処理とを有
するレチクル搬送制御方法であって、 進捗率判断処理は、ロット検索処理によって、該当ロッ
トが存在する場合は、各該当ロットの進捗率を計算し、
進捗が遅れているロットの存在有無をチェックして進捗
遅れのロットが存在する場合に、進捗率をキーに該当ロ
ットをソートする処理であり、搬送制御処理は、レチクル使用可否のチェック処理と、
レチクルの所在チェック処理と、搬送処理とを含み、作
業中のレチクル、設備保管中のレチクルにより処理可能
なロットが存在しない場合に、レチクル保管棚に保管さ
れているレチクル毎に、仕掛りロット数を集計し、その
集計結果をもとに、レチクルを決定し、そのレチクルを
使用して処理するロットのなかで進捗が１番遅れている
ロットを選択し、該当露光装置に、そのロットおよびレ
チクルを搬送することを特徴とするレチクル搬送制御方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35963698A JP3246461B2 (ja) | 1998-12-17 | 1998-12-17 | レチクル搬送制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35963698A JP3246461B2 (ja) | 1998-12-17 | 1998-12-17 | レチクル搬送制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000182939A JP2000182939A (ja) | 2000-06-30 |
| JP3246461B2 true JP3246461B2 (ja) | 2002-01-15 |
Family
ID=18465521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35963698A Expired - Fee Related JP3246461B2 (ja) | 1998-12-17 | 1998-12-17 | レチクル搬送制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3246461B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6453720B1 (en) | 1998-12-16 | 2002-09-24 | Unisia Jecs Corporation | Activation diagnosis method and activation diagnosis apparatus for air-fuel ratio sensor |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4522422B2 (ja) * | 2007-02-21 | 2010-08-11 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
-
1998
- 1998-12-17 JP JP35963698A patent/JP3246461B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6453720B1 (en) | 1998-12-16 | 2002-09-24 | Unisia Jecs Corporation | Activation diagnosis method and activation diagnosis apparatus for air-fuel ratio sensor |
| US6550305B2 (en) | 1998-12-16 | 2003-04-22 | Unisia Jecs Corporation | Activation diagnosis method and activation diagnosis apparatus for air-fuel ratio sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000182939A (ja) | 2000-06-30 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |