JPH0744614A - 生産管理装置および生産管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】単一の生産ラインにおいて多品種の集積回路を
混合して生産する半導体プロセス等に用いて好適な生産
管理装置および該装置を用いた生産管理方法に関する。
処理待ちロットをロット収容スペースに余裕があるスト
ッカー内でスケジューリングすることにより、将来的な
負荷変動、工程変動に対して柔軟性のある、効率良い生
産形態を実現する。 【構成】管理手段は、処理待ちロットを製造ラインに接
続された第２のストッカーまで直接搬送せず、他工程と
の間で生産ロットを搬送するための第１のストッカーに
一旦待機させ、この第１のストッカー内の生産ロットを
対象として、ロット情報と生産状況に基づいて、次の製
造処理開始のタイミングを勘案し、次に製造処理を行う
べき生産ロットを選択して、前記第１のストッカーから
前記第２のストッカーへ搬送する内容の搬送指示情報を
形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、単一の生産
ラインにおいて多品種の集積回路を混合して生産する半
導体プロセス等に用いて好適な生産管理装置および該装
置を用いた生産管理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、近年では、コンピュータ
と生産設備とをリンクさせ、生産計画から生産工程まで
をこのコンピュータによって一元的に管理するシステム
が各種開発されている。このようなシステムは、例え
ば、メモリＩＣ等の集積回路を生産するプロセスにも適
用されている。ここで言うプロセスとは、集積回路が形
成されるウエハ上に絶縁膜を堆積させるＣＶＤ工程や、
半導体表面に不純物を導入させる拡散工程などである。
これら工程では、多品種に対応した生産ロットが混在し
た状態で半導体製造装置に搬入され、前処理、炉処理お
よび後処理が順次施される。

【０００３】ところで、上記各工程では、各品種に対応
した生産ロット毎のウエハが半導体製造装置において一
括して処理されるため、この半導体製造装置でなされる
一連の処理は、バッチ処理と総称されている。このバッ
チ処理は、各生産ライン毎に配設される半導体製造装置
において各々行われる。従って、生産ライン全体では、
異なった処理条件のバッチ処理が複数同時に行われるた
め、並列処理として見なせる。そこで、このような並列
処理を効率良く実行させる生産管理システムが必要にな
る訳である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の生産管理システムにあっては、半導体製造装置にお
いてなされるバッチ処理が複数同時に存在する場合、ど
のバッチ処理を優先して実行するかを選択する必要があ
る。すなわち、このような場合、ホストコンピュータ
は、同一処理条件の生産ロットをまとめるバッチ化と、
どの装置で、どの生産ロットを、どのタイミングで処理
するかを決定するロット処理スケジューリングを実施し
ている。

【０００５】また、処理待ちロットは、前の工程の処理
が終了すると工程間搬送ラインにより、該当工程の工程
間ストッカーに搬送され収容される。さらに、工程間ス
トッカーから処理工程に応じて、工程内搬送ラインによ
って各製造装置と接続された所定の各工程内ストッカー
へ搬送され待機している。従って、バッチ化、およびロ
ット処理スケジューリングは、工程内ストッカー内に存
在する生産ロットを対象としている。このようにして、
製造ラインの能力を最大限発揮できるような生産形態が
実現されている。

【０００６】しかしながら、製造する品種構成の変化、
特に処理条件が異なる品種が増えた場合や、製造工程の
変化、製造工程の増加により処理条件が増えた場合に
は、限られたストッカースペースで最適なバッチ化を行
うことが困難となり、効率的なロット処理スケジューリ
ングを行うことができず、製造ライン全体の生産能力を
低下させてしまうという問題がある。

【０００７】なぜならば、製造する品種構成の変化、特
に処理条件が異なる品種が増えた場合や、製造工程の変
化、製造工程の増加により処理条件が増えた場合には、
処理バッチの種類が増えてしまう。スケジューリングの
対象ロットを工程内ストッカーの中に存在する生産ロッ
トに限定した場合は、工程内ストッカー内に収容される
生産ロットは多種になり、バッチ化を行うために必要な
数の生産ロットが収容できなくなる。つまり、工程内ス
トッカー内には、バッチ化できない生産ロットが多数存
在するようになり、ロット収容スペースが不足してくる
ため、新たに発生した処理待ちロットが、工程内ストッ
カーに搬送されずに工程間ストッカーに停滞してしま
う。そのため、処理待ちの生産ロットは工程間ストッカ
ー内に十分あるのに、効率的なバッチ化が行われなくな
り、半導体製造装置に空きが生じるため、製造ラインの
生産能力を低下させてしまうことになる。このように、
将来的な負荷変動、製造品種変動、工程変動を考えた場
合に、スケジューリングの対象ロットを工程内ストッカ
ー内のロットに限定することは柔軟性に欠ける。

【０００８】また、製造ラインのレイアウトによって
は、当初からバッチ化を行うための十分なストッカース
ペースが確保できない場合があり、このような場合に
は、コンピュータによるロット処理スケジューリング
や、半導体製造装置までの自動搬送が実現できないとい
う問題がある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため、下記の手段をとることを特徴とする。

【００１０】（手段１）少なくとも生産ロット毎に付与
され、前記生産ロットの属性を表すロット情報と、前記
生産ロットの搬送状態を示す第１の状態情報および前記
生産ロットの処理状態を示す第２の状態情報により形成
される生産状況とに対応して、次の製造処理開始のタイ
ミングを勘案し、次に製造処理を行うべき生産ロットの
搬送指示情報と、次に行う製造処理の内容を規定する生
産指示情報を発生する管理手段と、前記搬送指示情報に
従って所定の生産ロットを搬送すると共に、前記第１の
状態情報を生成して出力する搬送手段と、この搬送手段
により搬送される前記生産ロットに対し、前記生産指示
情報に応じた内容の製造処理を施すと共に、前記第２の
状態情報を生成して出力する製造手段と、を具備するこ
とを特徴とする。

【００１１】（手段２）前記搬送手段は、生産ロットを
保管するためのストッカーとして、他工程との間で生産
ロットを搬送するための第１のストッカーと、各製造装
置まで生産ロットを搬送するために製造ラインと接続さ
れた第２のストッカーとを具備し、前記管理手段は、処
理待ちロットを直接前記第２のストッカーまで搬送せ
ず、一旦、前記第１のストッカーに待機させ、この第１
のストッカー内の生産ロットを対象とする前記ロット情
報と前記生産状況に基づいて、次に製造処理を行うべき
生産ロットを選択して、前記第１のストッカーから前記
第２のストッカーへ搬送する内容の前記搬送指示情報を
形成することを特徴としている。

【００１２】（手段３）少なくとも生産ロット毎に付与
され、前記生産ロットの属性を表すロット情報と、前記
生産ロットの搬送状態を示す第１の状態情報および前記
生産ロットの処理状態を示す第２の状態情報により形成
される生産状況とに対応して、次の製造処理開始のタイ
ミングを勘案し、次に製造処理を行うべき生産ロットの
搬送指示情報と、次に行う製造処理の内容を規定する生
産指示情報を発生する第１の過程と、前記搬送指示情報
に従って所定の生産ロットを搬送すると共に、前記第１
の状態情報を生成して出力する第２の過程と、この第２
の過程において搬送される前記生産ロットに対し、前記
生産指示情報に応じた内容の製造処理を施すと共に、前
記第２の状態情報を生成して出力する第３の過程と、を
具備することを特徴とする。

【００１３】（手段４）前記第２の過程は、生産ロット
を保管するためのストッカーとして、他工程との間で生
産ロットを搬送するための第１のストッカーと、各製造
装置まで生産ロットを搬送するために製造ラインと接続
された第２のストッカーとを具備し、前記第１の過程
は、処理待ちロットを直接前記第２のストッカーまで搬
送せず、一旦、前記第１のストッカーに待機させ、この
第１のストッカー内の生産ロットを対象とする前記ロッ
ト情報と前記生産状況に基づいて、次に製造処理を行う
べき生産ロットを選択して、前記第１のストッカーから
前記第２のストッカーへ搬送する内容の前記搬送指示情
報を形成することを特徴としている。

【００１４】

【実施例】以下、図面を参照してこの発明の具体例につ
いて説明する。

【００１５】Ａ．実施例の構成 図１はこの発明の一実施例である生産管理システムの概
略構成を示すブロック図である。なお、この図に示す実
施例は、半導体プロセス工場に適用した場合のシステム
構成を示すものである。図において、１はシステム各部
を監視および制御するホストコンピュータである。２は
このホストコンピュータ１とイーサネットＥＮを介して
接続される搬送制御コンピュータである。

【００１６】３は搬送装置であり、搬送制御コンピュー
タ２の指示の下に生産ロットを搬送する。４はイーサネ
ットＥＮを介してホストコンピュータ１と接続される製
造装置コントローラである。５−１〜５−Ｎは、それぞ
れ各生産ライン毎に配設される半導体製造装置であり、
搬送装置３によって搬送された生産ロットに対し、半導
体プロセス処理を施す。

【００１７】１ａは、ホストコンピュータ１によってア
クセスされるロット情報管理ファイルである。ロット情
報管理ファイル１ａには、各品種毎のロット情報がデー
タベースとして登録されている。このロット情報とは、
予め策定された生産計画に基づいてホストコンピュータ
１が生成した各生産ロット毎の識別データから構成され
るものである。この識別データは、例えば、各生産ロッ
ト毎にその種類、優先度および納期を表すデータ、当該
生産ロットに加える処理内容を示すデータ、あるいは処
理の進捗状況を示すデータ、当該生産ロットの保管場所
を示すデータ等から形成されている。

【００１８】１ｂはイベント履歴ファイルである。この
イベント履歴ファイル１ｂには、後述する生産イベント
データＩｓと搬送イベントデータＩｈとが登録される。
生産イベントデータＩｓとは、製造装置コントローラ４
から供給される情報であり、半導体製造装置５の生産状
況を表すものである。また、搬送イベントデータＩｈと
は、搬送制御コンピュータ２から供給される情報であ
り、搬送装置３の搬送状況を表すものである。これらデ
ータは、イベント報告毎にイーサネットＥＮを介してホ
ストコンピュータ１に供給され、その度毎にイベント履
歴ファイル１ｂに更新登録される。こうしたファイル１
ｂにより、ホストコンピュータ１は常にシステム全体の
状態を把握することが可能になる。

【００１９】ホストコンピュータ１は、イベント履歴フ
ァイル１ｂの内容に基づき搬送装置３と半導体製造装置
５との処理状況を把握すると共に、この把握した処理状
況とロット情報管理ファイル１ａの内容とに応じて後述
する生産指示データＤｓと搬送指示データＤｈとを発生
する。

【００２０】生産指示データＤｓは、製造装置コントロ
ーラ４に供給されるものであり、上述した各生産ロット
毎の識別データに対して処理の優先度を付与させたもの
である。すなわち、どの半導体製造装置５で、どの生産
ロットを、どのような順番で処理するか、を割り付けた
ものである。こうした生産指示データＤｓは、リアルタ
イムでホストコンピュータ１から製造装置コントローラ
４へ転送される。この転送された生産指示データＤｓ
は、一旦、製造装置コントローラ４に取り込まれた後、
生産指示ファイル４ａの所定エリアに格納される。

【００２１】製造装置コントローラ４は、半導体製造装
置５−１〜５−Ｎと接続され、これらの稼動状態をオン
ラインでモニタすると共に、それぞれの負荷状態を生産
指示ファイル４ａの所定エリアに登録する。また、該コ
ントローラ４は、各半導体製造装置５の負荷状況を勘案
し、優先度に応じた生産指示データＤｓを所定の半導体
製造装置５に供給する。例えば、最も高い優先度に設定
されている生産指示データＤｓが軽負荷状態の半導体製
造装置５に供給される。

【００２２】半導体製造装置５−１〜５−Ｎは、供給さ
れた生産指示データＤｓを解釈し、バッチ処理を実行す
る。すなわち、生産指示データＤｓには、前述したよう
に、搬入される生産ロットの種類や、処理条件などを表
すデータが含まれているため、これらを解釈するわけで
ある。また、この半導体製造装置５−１〜５−Ｎは、そ
れぞれ自身の処理状況を製造装置コントローラ４側へ報
告する。

【００２３】この報告は、例えば、処理工程が移行した
り、所定ロットの処理が完了した時などイベントが発生
した場合になされるものである。なお、こうしたイベン
ト報告は、該コントローラ４を介して生産指示ファイル
４ａに更新登録される。そして、この更新の時点で、該
コントローラ４が前述した生産イベントデータＩｓを生
成し、これをホストコンピュータ１へ出力する。

【００２４】次に、搬送指示データＤｈは、搬送制御コ
ンピュータ２に供給されるものであり、上述した各生産
ロット毎の識別データの内、生産ロットの保管場所や搬
送先を表すデータを抽出したものである。こうした搬送
指示データＤｈは、例えば、処理すべき生産ロット数分
がリアルタイムでホストコンピュータ１から搬送制御コ
ンピュータ２へ転送される。この転送された搬送指示デ
ータＤｈは、一旦、搬送制御コンピュータ２に取り込ま
れた後、搬送指示ファイル２ａに格納される。

【００２５】搬送制御コンピュータ２は、搬送指示ファ
イル２ａに格納された搬送指示データＤｈを読み出し、
これを搬送装置３に供給する。また、該コンピュータ２
は、搬送装置３の稼動状態をオンラインでモニタし、各
生産ラインへの搬送状態を搬送指示ファイル２ａの所定
エリアに書き込む。一方、搬送装置３は、供給された搬
送指示データＤｈに基づき、所定の生産ロットを半導体
製造装置５−１〜５−Ｎへ搬送する。

【００２６】また、この搬送装置３は、自身の状態が変
化した時、すなわち、搬送開始／搬送完了時に搬送制御
コンピュータ２側へイベント報告する。こうしたイベン
ト報告は、該コンピュータ２を介して搬送指示ファイル
２ａに更新登録される。そして、この更新報告の時点
で、該コンピュータ２が前述した搬送イベントデータＩ
ｈを発生し、これをホストコンピュータ１へ出力する。

【００２７】以下本発明の一例として、図２のような拡
散工程の製造ライン構成図に基づいて説明する。図にお
いて、６は工程間搬送ラインであり、各工程間での生産
ロットの搬送を行う。７は工程間ストッカーであり、工
程間搬送ライン６が生産ロットの保管と、受け渡しを行
うためのストッカーである。工程間ストッカー７は、例
えばフォト工程、エッチング工程、拡散工程などの各工
程毎に配置されており、工程間搬送ライン６により連結
されている。前の工程での処理が終了した生産ロット
は、工程間搬送ライン６により搬送されて該当工程の工
程間ストッカーに収容される。

【００２８】８は拡散工程の工程内搬送ラインであり、
工程内での半導体製造装置までの生産ロットの搬送を行
う。９は拡散工程の工程内ストッカーであり、工程内搬
送ライン８が生産ロットの保管と、受け渡しを行うため
のストッカーである。また、５−１〜５−３は半導体製
造装置であり、５−１および５−２は拡散炉、５−３は
洗浄装置である。この半導体製造装置５−１〜５−３
と、工程内搬送ライン８、工程内ストッカー９から製造
ラインが構成されている。生産ロットは、ホストコンピ
ュータの指示により半導体製造装置５−１〜５−３へ搬
送され処理される訳である。

【００２９】このような製造ラインが拡散工程には複数
ラインあり、各ライン毎に工程内ストッカー９が配置さ
れ、さらに工程内搬送ライン８、半導体製造装置５が接
続されている。これらの各製造ラインは処理工程グルー
プ毎に配置されている。上記の６〜９は、すべて前述し
た搬送装置３の構成要素である。

【００３０】Ｂ．実施例の動作 次に、上記構成による実施例の動作について説明する。
まず、処理待ちロットは、前の工程の処理が終了すると
工程間搬送ラインにより、拡散工程の工程間ストッカー
に搬送されるが、バッチ化されるまでは工程間ストッカ
ー内で待機している。この工程間ストッカー内に存在す
る生産ロットが、以下に説明するロット処理スケジュー
ルルーチンの対象ロットとなる。

【００３１】次に、図３に示すロット処理スケジュール
ルーチンについて説明する。ロット処理スケジュールル
ーチンは、ホストコンピュータ上で生産指示データを生
成するものであり、前記図２の拡散炉と前処理を行う洗
浄装置から構成されるラインにおいて、どの装置で、ど
のロットを、どのタイミングで、処理するかを割り付け
るものである。ロット割付の考え方としては、拡散炉で
の処理時間が最も長いので、拡散炉の稼動効率を最大限
とし、拡散炉の空き時間を最小にするために、拡散炉で
の前の処理が終了する直前に、次の処理ロットが到着す
るようなタイミングとしている。

【００３２】この拡散炉は、同時に複数のロットを処理
することができるバッチ処理装置である。ロット処理ス
ケジュールルーチンでは、工程内ストッカーの中にある
処理待ちロットを、拡散炉で処理可能な同一処理条件の
グループにまとめ、拡散炉への割付を行う。この拡散炉
での処理単位に、同一処理条件のグループをまとめるこ
とをバッチ化という。また、このバッチ化されたロット
の集まりを、処理バッチという。バッチ化が可能なロッ
トは、洗浄装置での前処理条件と拡散炉での処理条件
が、すべて同一なロットでなければならない。

【００３３】図３のステップＳａ１で、スケジュールル
ーチンが起動する。開始するタイミングは、拡散炉での
処理が開始した時点であり、前の処理バッチの処理が開
始した時点で、次の処理バッチのスケジューリングを行
うようになっている。

【００３４】ロット処理スケジュールルーチンが起動さ
れると、ステップＳａ２でスケジューリング開始時刻の
計算を行う。これは、どのタイミングで次の処理バッチ
を構成し、処理開始すれば良いかを計算するものであ
る。

【００３５】図４で、処理バッチＡの処理が開始した時
点Ｔ０で、処理バッチＡの処理終了時刻Ｔ１を計算す
る。次の処理バッチＢは、処理バッチＡの処理終了時刻
Ｔ１までに拡散炉へ到着していれば良いわけである。処
理バッチＡの処理終了時刻Ｔ１から、処理バッチＢが拡
散炉へ到着するまでの時間を引いた時刻が、スケジュー
リング開始時刻Ｔｂとなる。

【００３６】処理バッチＢが拡散炉へ到着するまでの時
間の算出方法を以下に述べる。まず、ホストコンピュー
タの該当ロットのロット情報に登録されている前処理工
程のプロセス時間を検索し、前処理時間Ｔｄ１として設
定する。この前処理時間Ｔｄ１に、工程間ストッカーか
ら工程内ストッカー、工程内ストッカーから洗浄装置、
および洗浄装置から拡散炉までの搬送時間を加えた補正
前処理時間Ｔｄ２を算出する。さらに、設定可能な調整
時間としてオフセット時間Ｔｏｓを加える。このオフセ
ット時間Ｔｏｓは、洗浄装置の負荷状況に対応した遅れ
要素に相当する時間である。従って、処理バッチＡの処
理終了時刻Ｔ１から、補正前処理時刻Ｔｄ２とオフセッ
ト時間Ｔｏｓを引いた時刻が、処理バッチＢのスケジュ
ーリング開始時刻Ｔｂとなる。

【００３７】次のステップＳａ３では、スケジューリン
グ開始時刻になるまでのタイミングをとっている。ステ
ップＳａ２で計算したスケジューリング開始時刻になっ
たら、ステップＳａ４へ進む。

【００３８】ステップＳａ４では、拡散炉に対してのバ
ッチ化を行う。バッチ化は、前処理条件と拡散炉での処
理条件が同一のロットを、拡散炉での処理可能なロット
数のグループにまとめることである。処理待ちロットが
多数存在する場合には、該当装置で処理可能な処理バッ
チが複数構成されるが、この中で優先度を付けて、どの
バッチを最初に処理するかを決定する。この優先度の一
番高い、処理可能な処理バッチを最優先バッチという。
最優先バッチの決定方法には、構成ロットの優先度が最
も高いものを優先させる、構成ロット数が最も多いもの
を優先させる等、いくつかのルールが考えられる。

【００３９】処理待ちロットが存在しない場合には、最
優先バッチは決定できない。また、処理待ちロットが少
ない場合には、前の工程からロットが送られて来るのを
待ち、より多くのロットで処理バッチを構成した方が効
率が良い。ステップＳａ５では、ステップＳａ４で決定
した最優先バッチをすぐ処理するか、または処理バッチ
構成ロットが増えるまで待つかの判断を行う。すぐ処理
するか、処理しないかの判断方法は、例えば最優先バッ
チの構成ロット数、優先度等がある設定値以上なら処理
し、以下なら処理しないといったいくつかのルールが考
えられる。ステップＳａ５の判断で、すぐ処理する場合
には、ステップＳａ６へ進み、処理しない場合には、ス
テップＳａ７へ進む。

【００４０】ステップＳａ６では、処理開始を決定した
最優先バッチの構成ロットを、工程内ストッカーへ搬送
するよう搬送指示データを出力する。一方、ステップＳ
ａ７では、一定時間、例えば１０分間待ち、ステップＳ
ａ４から条件が整うまで再度実施する。

【００４１】次のステップＳａ８では、最優先バッチの
構成ロットが工程内ストッカーへ到着するまでのタイミ
ングをとっている。最優先バッチの構成ロットがすべて
工程内ストッカーへ到着したら、ステップＳａ９へ進
む。

【００４２】次のステップＳａ９では、前処理の洗浄装
置の状態が、処理可能かどうかを確認している。確認内
容は、洗浄装置の装置状態、および処理中ロットの状態
等である。装置状態は、エラーの発生していない自動運
転状態で処理が可能である。

【００４３】ステップＳａ９で、洗浄装置の状態を確認
し処理可能と判断した場合には、ステップＳａ１０へ進
み、処理不可能と判断した場合には、ステップＳａ１１
へ進む。ステップＳａ１０では、決定した最優先バッチ
を該当装置へ割り付け、ステップＳａ１２でロット処理
スケジュールルーチンは終了する。ステップＳａ１１で
は、一定時間、例えば１０分間待ち、ステップＳａ９か
ら条件が整うまで再度実施する。

【００４４】上記の実施例では、拡散工程の工程間スト
ッカー内の生産ロットを対象として、処理ロットスケジ
ューリングを実施しているが、生産ロットの収納数に余
裕のあるストッカーであれば、他工程の工程間ストッカ
ー内の生産ロットが対象であっても構わない。また、複
数のストッカー内に存在する生産ロットをすべて対象と
することもできる。

【００４５】以上説明したように、工程内ストッカー以
外の別の場所で処理ロットスケジューリングを実施する
ことにより、将来製造工程に大きな変化があって、処理
バッチの種類が増えてしまうようなことがあった場合で
も、効率的なロット処理スケジューリングが可能であ
り、製造ラインの生産能力を低下させることはない。従
って、将来的な負荷変動、製造品種変動、工程変動に対
して、柔軟性のある生産形態が実現できる。

【００４６】また、レイアウト上、製造ラインにバッチ
化を行うための十分なストッカースペースが確保できな
い場合でも、生産ロット収容数に余裕のある別のストッ
カー内でスケジューリングを実施することにより、コン
ピュータによるロット処理スケジューリングや、半導体
製造装置までの自動搬送が実現できる。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
処理待ちロットを直接製造ラインのストッカーに搬送せ
ず、ロット収容スペースに余裕がある別のストッカー内
で、処理ロットスケジューリングを実施することによ
り、将来的な負荷変動、製造品種変動、工程変動に対し
て柔軟性のある、効率良い生産形態が実現できる。ま
た、製造ラインにバッチ化を行うための十分なストッカ
ースペースが確保できない場合でも、コンピュータによ
るロット処理スケジューリングや、半導体製造装置まで
の自動搬送が実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施例の全体構成を示すブロッ
ク図。

【図２】 同実施例における拡散工程の製造ライン構成
図。

【図３】 同実施例におけるロット処理スケジュールル
ーチンの動作を示すフローチャート。

【図４】 同実施例におけるバッチ化時刻Ｔｂを説明す
るための図。

【符号の説明】

１…ホストコンピュータ（管理手段） １ａ…ロット情報管理ファイル（管理手段） １ｂ…イベント履歴ファイル（管理手段） ２…搬送制御コンピュータ（搬送手段） ３…搬送装置（搬送手段） ４…製造装置コントローラ（製造手段） ５−１〜５−Ｎ…半導体製造装置（製造手段）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも生産ロット毎に付与され、前記
   生産ロットの属性を表すロット情報と、前記生産ロット
   の搬送状態を示す第１の状態情報および前記生産ロット
   の処理状態を示す第２の状態情報により形成される生産
   状況とに対応して、次の製造処理開始のタイミングを勘
   案し、次に製造処理を行うべき生産ロットの搬送指示情
   報と、次に行う製造処理の内容を規定する生産指示情報
   を発生する管理手段と、 前記搬送指示情報に従って所定の生産ロットを搬送する
   と共に、前記第１の状態情報を生成して出力する搬送手
   段と、 この搬送手段により搬送される前記生産ロットに対し、
   前記生産指示情報に応じた内容の製造処理を施すと共
   に、前記第２の状態情報を生成して出力する製造手段と
   を具備することを特徴とする生産管理装置。
2. 【請求項２】前記搬送手段は、生産ロットを保管するた
   めのストッカーとして、他工程との間で生産ロットを搬
   送するための第１のストッカーと、各製造装置まで生産
   ロットを搬送するために製造ラインと接続された第２の
   ストッカーとを具備し、 前記管理手段は、処理待ちロットを直接前記第２のスト
   ッカーまで搬送せず、一旦、前記第１のストッカーに待
   機させ、この第１のストッカー内の生産ロットを対象と
   する前記ロット情報と前記生産状況に基づいて、次に製
   造処理を行うべき生産ロットを選択して、前記第１のス
   トッカーから前記第２のストッカーへ搬送する内容の前
   記搬送指示情報を形成することを特徴とする請求項１記
   載の生産管理装置。
3. 【請求項３】少なくとも生産ロット毎に付与され、前記
   生産ロットの属性を表すロット情報と、前記生産ロット
   の搬送状態を示す第１の状態情報および前記生産ロット
   の処理状態を示す第２の状態情報により形成される生産
   状況とに対応して、次の製造処理開始のタイミングを勘
   案し、次に製造処理を行うべき生産ロットの搬送指示情
   報と、次に行う製造処理の内容を規定する生産指示情報
   を発生する第１の過程と、 前記搬送指示情報に従って所定の生産ロットを搬送する
   と共に、前記第１の状態情報を生成して出力する第２の
   過程と、 この第２の過程において搬送される前記生産ロットに対
   し、前記生産指示情報に応じた内容の製造処理を施すと
   共に、前記第２の状態情報を生成して出力する第３の過
   程とを具備することを特徴とする生産管理方法。
4. 【請求項４】前記第２の過程は、生産ロットを保管する
   ためのストッカーとして、他工程との間で生産ロットを
   搬送するための第１のストッカーと、各製造装置まで生
   産ロットを搬送するために製造ラインと接続された第２
   のストッカーとを具備し、 前記第１の過程は、処理待ちロットを直接前記第２のス
   トッカーまで搬送せず、一旦、前記第１のストッカーに
   待機させ、この第１のストッカー内の生産ロットを対象
   とする前記ロット情報と前記生産状況に基づいて、次に
   製造処理を行うべき生産ロットを選択して、前記第１の
   ストッカーから前記第２のストッカーへ搬送する内容の
   前記搬送指示情報を形成することを特徴とする請求項３
   記載の生産管理方法。