JP2006298562A - 搬送システムの制御方法および搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】 効率的なロットの搬送を実現する搬送システムの制御方法を提供する。
【解決手段】 ロット１０を自動搬送させるための天井軌道走行レール８と、ロットを移載し、レール上を走行する複数の搬送台車９と生産装置１ａ１で処理可能なロットを格納する複数の自動保管庫２ａと、生産装置前に次に処理するロットを格納するバッファ棚１１を備え、ロットの納期管理を行い、注文の納期に合わせたロットの優先度を決定する納期管理工程と、ロットが処理可能な生産装置とロットの搬送先である自動保管庫を定義すると共に生産進捗全般の管理を行う生産進捗管理工程と、生産装置の状態により、ロットの引き当てを行う生産装置の順序を決定し、次に処理すべき最適なロットを生産装置に引き当てる製品引当工程と、生産進捗管理工程で決定した搬送先の自動保管庫へ搬送指示を出す搬送制御工程と、生産装置の処理制御を行なう生産装置制御工程を備える。
【選択図】 図２

Description

本発明は、半導体製造ラインにおける製品の搬送に関し、特に製品を効率良く搬送させると共に製品のリードタイムを短縮するための搬送システムの制御方法の搬送システムに関するものである。

近年、半導体工場では多品種、小ロット化が進むと共に、床面積を拡張せず出来るだけ多くの生産装置を設置し生産能力を高めるために、同種の生産装置を複数の場所に散在させ設置する事が多くなってきている。

そこで、同種の生産装置が複数の場所に散在した場合でも効率的に各生産装置にロットを搬送する手段として、ロットを搬送する搬送車とロットを受け渡しするステーションと、搬送車及びステーションを制御するコンピュータを備え、ロットが次に処理される生産装置名と複数の場所に分散している同種の生産装置に対応するステーション名を前記コンピュータに収集し登録するステップと、各生産装置名毎に対応する複数の前記ステーション毎にロットの搬送比率を品種・工程毎に設定する搬送比率設定ステップと、前記搬送比率設定ステップで該搬送比率の設定が行われるたびに０から９９までの整数値に対して前記搬送比率で前記ステーション名を割り当てると共に前記整数値と前記ステーション名との対応表を作成する対応表作成ステップと、前記ロットの現工程作業終了報告があったとき２桁の整数の乱数を発生させると共に該乱数値を、前記整数値と前記ステーション名との対応表に照合して搬送先ステーション名を決定する搬送先決定ステップと、前記ロットの搬送指示要求があるときに前記搬送先ステップで決定した搬送先ステーションに前記ロットの搬送を指示するステップを含む搬送システムが提案されている。
特開平６-２９８３２８号公報

しかしながら、搬送先を決定する際に、ロットの優先度や搬送距離や搬送時間や生産装置の稼動状態が考慮されていない為、必ずしも必要なロット搬送される訳ではなく、一旦搬送されたロットが、生産装置で処理する際に、再度搬送されるという問題が生じる場合がある。また、搬送距離や搬送時間が長く効率の悪いロットの搬送が行われる問題が生じる場合ある。

したがって、本発明の目的は、前記に鑑み、上記の様な課題を解決するためになされたものであり、複数の場所に分散している同種の生産装置へのロットの搬送において、ロットの優先度や所在に従い最適な生産装置へロットを引き当て、引き当てた生産装置に必要な数だけ、しかも最短距離もしくは最短時間で搬送すると共に、一旦搬送されたロットが生産装置での処理時に再度搬送される事を無くす事により、効率的なロットの搬送を実現する搬送システムの制御方法および搬送システムを提供することである。

前記の目的を達成するため、本発明の請求項１記載の搬送システムの製造方法は、複数の製品からなるロットを自動搬送させるための天井軌道走行レールと、前記ロットを移載し、前記天井軌道走行レール上を走行する複数の搬送台車と、複数の場所に設置された生産装置で処理可能なロットを格納する複数の自動保管庫と、前記生産装置前に次に処理するロットを格納するバッファ棚とを備えた搬送システムの制御方法であって、ロットの納期管理を行い、注文の納期に合わせたロットの優先度を決定する納期管理工程と、ロットが処理可能な生産装置とロットの搬送先である自動保管庫を定義すると共に生産進捗全般の管理を行う生産進捗管理工程と、前記生産装置の状態により、ロットの引き当てを行う前記生産装置の順序を決定すると共に、次に処理すべき最適なロットを前記生産装置に引き当てる製品引当工程と、前記製品引当工程で引き当てたロットを、前記生産進捗管理工程で決定した搬送先の前記自動保管庫へ搬送指示を出す搬送制御工程と、前記生産装置の処理制御を行なう生産装置制御工程とを含む。

上記搬送システムの制御方法によれば、納期に従った優先度の高いロットから順に現在のロットの所在からなるべく近い位置にあり、しかも処理が一番早く行える生産装置にロットが引き当てられると共に搬送される様になる。

請求項２記載の搬送システムの制御方法は、請求項１記載の搬送システムの制御方法において、前記納期管理工程は、決定した前記ロットの優先度を前記生産進捗管理工程と前記製品引き当て工程に通知する。

上記搬送システムの制御方法によれば、前記ロットの優先度を前記生産進捗管理工程と前記製品引当工程で前記ロットの納期を常に把握する事ができる様になる。

請求項３記載の搬送システムの制御方法は、請求項１記載の搬送システムの制御方法において、前記生産進捗管理工程は、前記生産装置の稼動状態と処理状況と処理レシピを前記生産装置制御工程から収集し、前記ロットの所在情報を前記搬送制御工程から収集し、前記ロットの優先度を前記納期管理工程から収集し、前記生産装置毎に前記製品引当工程で引当てることが可能なロットの所在を前記自動保管庫単位で把握し、前記生産装置と紐付く前記自動保管庫を複数定義しグループ化し、複数の搬送先として前記搬送制御工程に通知し、前記生産装置毎に前記自動保管庫に格納可能なロット数を定義し、前記バッファ棚に次に処理するロットが格納可能なロット数を定義する。

上記搬送システムの制御方法によれば、前記生産進捗管理工程で、常に前記生産装置の稼動状態と処理状況と処理レシピと、前記ロットの所在情報を把握する事ができる様になる。また、前記搬送制御工程において、複数の搬送先の中でより効率的な搬送を行える前記自動保管庫に搬送させる事が可能となる。また、次に処理すべき優先度の高いロットを必要分のみ前記生産装置前のバッファ棚に搬送でき、その次以降に処理すべきロットを必要分のみ前記自動保管庫に搬送できる様になる。また、前記生産装置の近くにある前記自動保管庫にあるロットのみを前記生産装置に引き当てる事が可能となる。

請求項４記載の搬送システムの制御方法は、請求項１記載の搬送システムの制御方法において、製品引当工程は、前記生産進捗管理工程から前記生産装置の稼動状態と処理状況と各生産装置毎の前記バッファ棚の在庫数と前記自動保管庫の在庫数を収集し、それらの情報から重み付け計算を行い、前記ロットの引当てを行う生産装置の順番を決定し、前記ロットの優先度を前記納期管理工程から収集し、現在のロットの所在情報と処理レシピを前記生産進捗管理工程から収集し、前記ロットの優先度と所在情報と処理レシピから重み付け計算を行い、次に処理すべき最適な前記ロットを前記生産装置に引き当て、前記生産進捗管理工程で前記生産装置毎に前記製品引当工程で引当てることが可能なロットが格納された前記自動保管庫からのみロットを引き当てる。

上記搬送システムの制御方法によれば、前記製品引当工程において常に前記生産装置の稼動状態と処理状況と各生産装置毎の前記バッファ棚の在庫数と前記自動保管庫の在庫数とロットの優先度と、前記ロットの所在情報と処理レシピを把握する事ができる様になる。また、より処理中ロット数の少ない、より処理すべき引き当て済みロットの少ない前記生産装置で、より優先度の高い、より所在の近いロットを引き当てる事が可能となる。また、前記生産装置の近くにある前記自動保管庫に格納されたロットのみを引き当てる事が可能となり、前記生産装置での処理前出庫時に再搬送される事が無くなる。

請求項５記載の搬送システムの制御方法は、請求項１記載の搬送システムの制御方法において、搬送制御工程は、前記ロット所在情報を前記生産進捗管理工程に通知し、搬送台車から走行位置情報を取得し、前記搬送台車の現在の走行位置を認識し、前記生産進捗管理工程から通知された搬送先であるグループ化された複数の前記自動保管庫の中から最短距離もしくは最短時間の自動保管庫を検索し、前記自動保管庫の検索方法を最短距離検索と最短時間検索の内から選択して搬送指示を出し、前記生産進捗管理工程から同グループ内で自動保管庫間での出庫指示があった場合は、搬送指示を出さず、格納されている自動保管庫から出庫指示を出す。

上記搬送システムの制御方法によれば、前記生産進捗管理工程から通知された複数ある搬送先の中から最短距離または最短時間の自動保管庫に搬送できる様になる。また、同グループで隣接した前記自動保管庫間での搬送が無くなるため、搬送量の削減と搬送効率を高める事が可能になる。

請求項６記載の搬送システムの制御方法は、請求項５記載の搬送システムの制御方法において、最短距離検索による自動保管庫の検索方法は、前記搬送制御工程に登録された各自動保管庫間の搬送距離データを用い最短距離を検索し、前記各自動保管庫間の搬送距離データは任意に登録可能とし、複数の搬送先の搬送距離が任意に設定可能な最低搬送距離設定値より大きい場合のみ、最短距離による搬送を有効にする。

上記搬送制御工程の最短距離検索方法によれば、正しい搬送距離検索が行えると共に、レイアウト変更等で前記自動保管庫間の搬送距離が変化した場合も正しい搬送距離データに更新する事ができる様になる。また、搬送距離の差が微小な場合、最短距離の前記自動保管庫ではなく、前記生産装置と紐付く前記自動保管庫に搬送できる様になり、作業者の効率が向上する。

請求項７記載の搬送システムの制御方法は、請求項５記載の搬送システムの制御方法において、最短時間検索による自動保管庫の検索方法は、搬送元と搬送先の各自動保管庫間毎に、搬送経路上に走行する前記搬送台車の台数と搬送系路上にある前記自動保管庫内の搬送指示済みで未搬送のロット数との組み合わせにおける搬送時間の実績データの平均値を搬送予測時間として最短時間を検索し、現在から一定時間後の搬送負荷の増減に基づいて搬送予測時間の補正を行う。

上記搬送制御工程の最短時間検索方法によれば、前記搬送台車の渋滞状況や前記自動保管庫内の未搬送ロット数を考慮したより正確な搬送時間の予測が可能となる。

請求項８記載の搬送システムの制御方法は、請求項１記載の搬送システムの制御方法において、前記生産装置制御工程は、オンライン通信で前記生産装置に処理レシピを通知し、処理の開始、終了等の前記生産装置の制御処理全般を行い、前記生産装置の稼動状態と処理状況を前記生産装置から収集し、前記生産装置の稼動状態と処理状況と処理レシピを前記生産進捗管理工程に通知する。

上記搬送システムの制御方法によれば、生産装置制御工程において稼動状態や処理状況等の生産装置の状況全般を把握できる様になる。

請求項９記載の搬送システムの制御方法は、請求項１記載の搬送システムの制御方法において、前記搬送台車は無線もしくは有線による信号伝達により、現在の走行位置を前記搬送制御工程に通知する。

請求項１０記載の搬送システムは、複数の製品からなるロットを自動搬送させるための天井軌道走行レールと、前記ロットを移載し、前記天井軌道走行レール上を走行する複数の搬送台車と、生産装置で処理可能なロットを格納する複数の自動保管庫と、前記生産装置前に次に処理するロットを格納するバッファ棚とを備えた搬送システムであって、ロットの納期管理を行い、注文の納期に合わせたロットの優先度を決定する納期管理装置と、ロットが搬送されて処理可能な生産装置とロットの搬送先である前記自動保管庫を定義すると共に生産進捗全般の管理を行う生産進捗管理装置と、前記生産装置の状態により、ロットの引き当てを行う前記生産装置の順序を決定すると共に、次に処理すべき最適なロットを生産装置に引き当てる製品引当装置と、前記生産進捗管理装置で決定した搬送先の前記自動保管庫へ搬送指示を出す搬送制御装置と、前記生産装置の処理制御を行なう生産装置制御装置とを備えた。

上記の搬送システムの構成によれば、納期に従った優先度の高いロットから順に現在のロットの所在からなるべく近い位置にあり、しかも処理が一番早く行える生産装置にロットが引き当てられると共に搬送される様になる。

本発明に係る半導体の製造ラインにおける搬送システムの制御方法において、複数の場所に分散している同種の生産装置へのロットの搬送において、ロットの優先度や所在に従い最適な生産装置へロットを引き当て、引き当てた生産装置に必要な数だけ、しかも最短距離もしくは最短時間で搬送すると共に、一旦搬送されたロットが生産装置での処理時に再度搬送される事を無くす事により、効率的なロットの搬送ができる。

以下、本発明の本発明の実施形態に係る搬送制御装置の制御方法について、図１〜図２５に基づいて説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰り返さない。

図１は、本発明の本発明の実施形態における搬送システムの各制御処理工程を有する各制御装置を示すブロック構成図であり、１は生産装置、２は自動保管庫、３は生産進捗管理装置、４は納期管理装置、５は製品引当装置、６は生産装置制御装置、７は搬送制御装置、９は搬送台車で、９ａ〜９ｈの搬送台車は、無線または有線の信号伝達により、現在の走行位置を搬送制御装置７に通知する。１ａ１と１ａ２は同種の生産装置でレイアウト上離れた別の場所に設置されている。以下１ｂ１と１ｂ２、１ｃ１と１ｃ２、１ｄ１と１ｄ２も同様とする。これらの生産装置は生産装置制御装置６で制御されており、オンライン通信にて処理レシピの通知や処理開始の指示を生産装置制御装置６が行う。また、生産装置１は正常、異常、処理中等の状態遷移をリアルタイムで生産装置制御装置６に報告を行う。搬送制御装置７は生産進捗管理装置３から指示された複数の搬送先である自動保管庫２ａ〜２ｈの内、最短距離もしくは最短搬送時間で搬送できる前記自動保管庫２へ搬送指示を出す。この場合、最短距離で搬送するか最短時間で搬送するかは、搬送制御装置７で設定する事ができる。

更に図２は製造ラインのモデルレイアウトを示した図であり、８ａは天井軌道中央走行レール、８ｂは天井軌道外周走行レール、９は搬送台車、１０は半導体ウェハの格納されたロットで、１１は次に生産装置で処理するロットを格納するためのバッファ棚である。２a〜２ｈはロット１０を格納する自動保管庫で、各自動保管庫間のロット１０の移動は天井軌道レール８を介して、搬送台車９により搬送される。１２は自動保管庫に装備されたロット１０の入庫ポートで、１３は同じく出庫ポートである。なお、生産装置制御装置６により定義された自動保管庫のグループ設定により、自動保管庫２aと２eはグループＡに、同じく２ｂと２ｆはグループＢに、同じく２ｃと２ｇはグループＣに、同じく２ｄと２ｈはグループＤに定義されている。１a１〜１ｄ４は生産装置で、１ａ１、１ａ２、１ａ３、１ａ４は同種の装置で、１ｂ１、１ｂ２、１ｂ３、１ｂ４及び１ｃ１、１ｃ２、１ｃ３、１ｃ４及び１ｄ１、１ｄ２、１ｄ３、１ｄ４も同様である。

以下、図１〜２を参照にして、簡単に基本的な搬送作業について説明する。生産装置１ａで処理を終了したロット１０は、作業者により生産装置１ａに紐付く最寄の自動保管庫２ａの入庫ポートに入庫され、一旦自動保管庫２ａの棚に格納される。次に、次工程でロット１０が処理可能な同種の複数ある前記生産装置１の内、ロット１０の優先度、前記生産装置１の稼動状態、各生産装置のバッファ棚のロット１０の格納数、各生産装置に紐付く前記自動保管庫２内のロット１０の格納数、ロット１０の所在情報から、製品引当装置５で重み付け計算を行った結果、引当てられた生産装置１に紐付く自動保管庫２に搬送指示が出る。ロット１０は自動保管庫２から搬出し、搬送台車９に移載される。ロット１０を搭載した搬送台車９は天井軌道走行レール８上を走行し、搬送制御処理装置７から指示を受けた搬送先の自動保管庫２前で停止し、ロット１０は当該自動保管庫２に格納される。格納されたロット１０は製品引当装置７で引当てられた生産装置１のバッファ棚１１に空ができたら、出庫可能となり作業者により端末等を使用し、出庫指示が出され、自動保管庫２の出庫ポート１３に出庫され、作業者により生産装置１前のバッファ棚１１に手搬送される。

次に当該生産装置１の処理中のロットがなくなったら、バッファ棚１１にあるロットの処理を開始する。この際、生産装置制御装置６からオンライン通信にて処理レシピを指定し、生産装置１へ処理開始指示を出す。処理が終了すれば、生産装置１から生産装置制御装置６に対し処理終了報告がなされ、作業者がロット１０を生産装置１から取り出し、最寄りの自動保管庫２の入庫ポート１２に入庫する。以上の作業をロットの工程数分繰り返す。以下、生産進捗管理装置３に登録されている全ステップが終了するまで、上記の搬送作業が繰り返される。

図３〜図１９は請求項１に記載の各処理工程毎の処理を示したフローチャート及び計算結果等の各種データである。以下図３〜図１９を参照に説明を行う。

図３は納期管理工程での納期管理処理を示したフローチャートである。納期管理工程では日々決まった時刻に前記ロット１０の納期と生産進捗を比較し（ステップ２０）、前記ロット１０の優先度を決定する処理（ステップ２１）を行なう。優先度の決定方法は、前記ロット１０の納期と前記ロット１０の生産進捗を比較し、納期に対し生産進捗が遅れている度合いにより決定する。次に、決定した前記ロット１０の優先度を生産進捗管理工程及び製品引当工程に通知する処理を行なう（ステップ２２）。工場内に現存する全ての前記ロット１０の優先度が決定すれば処理が終了する（ステップ２３）。

図４は納期と生産進捗の遅れ度合いと前記ロット１０の優先度を示した例である。この場合、納期に対し生産の進捗が５日以上遅れている前記ロット１０の優先度を優先度１とし、以下同様に３日以上５日未満の遅れがある前記ロット１０の優先度を優先度２、１日以上３日未満の遅れがある前記ロット１０の優先度を優先度３、０日以上１日未満の遅れがある前記ロット１０の優先度を優先度４、０日以下の遅れがある前記ロット１０の優先度を優先度５としており、優先度１が最も優先度が高く、優先度５が最も優先度が低い。なお、この優先度の設定は任意に設定できる。

図５は製品引当工程での製品引当処理を行う前記生産装置１を決定する処理を示したフローチャートである。製品引当処理は設定可能な時間周期で処理が開始し（ステップ２４）、まず、前記生産装置１の稼動状況を前記生産進捗管理工程から収集し（ステップ２５）、前記生産装置１の稼動状況を把握し（ステップ２６）、故障等で処理ができない前記生産装置１を製品引当てリストから除外する（ステップ２７）。次に稼動中の前記生産装置１の処理状況を前記生産進捗管理工程から収集する（ステップ２８）。次に前記生産装置１前のバッファ棚１１に格納されているロット数を前記生産進捗管理工程から収集する（ステップ２９）。次に前記生産装置１に紐付く前記自動保管庫２内のロットの在庫数を前記生産進捗管理工程から収集する（ステップ３０）。ここで、ロット１０の引当て処理を行う前記生産装置１が決定し、ステップが終了する（ステップ３１）。図６は前記生産進捗管理工程で前記生産装置１毎に設定及び管理する前記生産装置１の稼動状況と処理状況とバッファ棚１１及び自動保管庫２の上限在庫設定数及び在庫数及び要求率の例を示した表である。以下図６について簡単に説明する。生産装置の稼動状況は、稼動中、メンテ中、故障中の状態が存在する。バッファ棚上限在庫設定数（ＢＵ０）は前記各生産装置１の前に設置された前記バッファ棚１１に前記ロット１０を格納する事ができる論理上の設定数で、前記生産装置１毎に任意の整数値で設定できる。バッファ棚在庫数（ＢＵ１）は前記バッファ棚１１に実際に格納されているロット数である。バッファ棚要求率（ｘ）は前記バッファ棚１１の論理上の空き棚率を示したもので、定義は以下の式による。
ｘ＝１−（ＢＵ１／ＢＵ０）
ここで、
バッファ棚要求率：ｘ
バッファ棚上限在庫設定数：ＢＵ０
バッファ棚在庫数：ＢＵ１
次に自動保管庫上限在庫設定数（ＳＴ０）は前記生産装置１で処理可能な前記ロット１０を前記自動保管庫２に格納する事ができる論理上の設定数で、前記生産装置１毎に任意の整数値で設定できる。また、自動保管庫在庫数は前記自動保管庫２に実際に格納されているロット数である。自動保管庫要求率（ｚ）は前記自動保管庫２の論理上の空き棚数を示したもので、定義は以下の式による。
ｚ＝１−（ＳＴ１／ＳＴ０）
ここで、
自動保管庫要求率：ｚ
自動保管庫上限在庫設定数：ＳＴ０
自動保管庫在庫数：ＳＴ１
図７は図６の情報を元にステップ２５〜３１で製品引当工程において製品の引当てを行う前記生産装置１の順番を決定するための各生産装置の情報及び重み計算結果を示す表である。以下図７に示す重み計算結果について説明を行う。なお、以下に示す係数は任意に設定可能であるが、以下一実施形態を示す。

各生産装置１の稼動状況係数（Ａ）は稼動中の場合は１、故障中やメンテナス中の場合は０とする。処理状況係数（Ｂ）はロット１０の処理がない場合は１００、処理中の場合は５０、生産装置１が故障またはメンテナンス中の場合は０とする。次にバッファ棚重み係数（Ｃ）は２０とする。次に自動保管庫重み係数（Ｄ）は５とする。

上記の場合、生産装置の重み計算結果（ｙ）は以下の式で表される。
ｙ＝Ａ（Ｂ＋Ｃｘ＋Ｄｚ）
なお、上記計算結果は同種の前記生産装置１の中でのみ前記製品引当工程の前記生産装置１の順番決定に用いられる。

例えば、現工程の前記生産装置１が１ｄ１、１ｄ２、１ｄ３、１ｄ４の場合、重み計算結果は以下の様になる。
ｙ（１ｄ１）＝１＊（５０＋２０＊０＋５＊０）＝５０
ｙ（１ｄ２）＝０＊（０＋２０＊１＋５＊０.２５）＝０
ｙ（１ｄ３）＝１＊（５０＋２０＊０.５＋５＊０.５）＝６２.５
ｙ（１ｄ４）＝１＊（５０＋２０＊１＋５＊０.７５）＝１２３.７５
上記の生産装置の重み計算結果より、製品引当工程でロット１０の引当てを行う前記生産装置１は最も点数の高い１ｄ４となる。前記製品引当工程では、上記の計算結果に基づき、点数の高い順に各生産装置１に対し、前記ロット１０の引当て処理を行う。（前記実施形態では１ｄ４が該当）。この順位は、次回周期的に行われる重み付け計算を行うまで有効だが、途中前記生産装置１の稼動状況が稼動中から故障中やメンテナンス中に変わるなど状態変化のあった場合は、定周期を待たずに再計算を行う。これらの処理により、より優先的に処理をすべき生産装置１を決定する事ができる。また、上記の計算結果にて、バッファ棚要求率（ｘ）が０になった場合、すなわち、バッファ棚在庫数（ＢＵ１）＝バッファ棚上限在庫設定数（ＢＵ０）となった場合は、生産進捗管理工程にて当該生産装置１での出庫指示を停止する。また、自動保管庫要求率（ｚ）が０になった場合、すなわち、自動保管庫在庫数（ＳＴ１）＝自動保管庫上限在庫設定数（ＳＴ０）となった場合は、生産進捗管理工程にて当該生産装置１に紐付く自動保管庫２への搬送指示を停止する。これらの処理により、各生産装置１に対し、必要なロット１０のみを装置前のバッファ棚１１及び自動保管庫２に等負荷分散で配送する事ができる。

図８は前記製品引当工程で前記ロット１０を引当てる処理を示したフローチャートである。まず、前記ロット１０の所在情報と処理レシピを生産進捗管理工程から収集する処理（ステップ３２）で開始し、次に前記ロット１０の優先度と所在情報と処理レシピから重み付け計算を行う処理（ステップ３３）を行う。次に処理すべき最適な前記ロット１０を生産装置１に引き当てる処理（ステップ３４）を行いステップが終了する。

図９はステップ３２〜３４において前記の実施形態で最も引当順位の高かった生産装置１ｄ４にロット１０を引き当てるためのロット１０の情報及びロットの重み計算結果の表である。以下簡単に図９の説明をする。対象のロットＩＤはＬＯＴ−０１〜０９とし、それぞれ表に示すロットの優先度とする。なお、表中の重み係数は任意に設定可能である。ロットの優先度の重み係数（Ｅ）はロット１０の優先度１〜５において、以下の様に取り決める。
優先度１：１００
優先度２：５０
優先度３：３３
優先度４：２５
優先度５：２０
ロットが在庫している自動保管庫は、前記ＬＯＴ−０１〜０９が現在在庫している前記自動保管庫２を示す。次にロットの所在の重み係数（Ｆ）はステップ２５〜３１で決定した、最初にロットの引き当てを行う生産装置１に紐付く自動保管庫２（本実施形態では自動保管庫２ｅ）とロット１０が在庫している自動保管庫２を比較し、同じ自動保管庫であれば１００、以下搬送距離の近い順に８７．５、７５、６２．５、５０、３７．５、２５、１２．５となる。図１０は生産装置１に紐付く自動保管庫２とロットが在庫している自動保管庫２における所在の重み係数を計算するための対応表である。次に、ロット１０の処理レシピの重み係数（Ｇ）は、ロット１０の処理レシピが前記最初に引き当てられた生産装置１で処理可能な処理レシピに含まれている場合は１、含まれていない場合は０とする。本実施形態の場合、前記生産装置１ｄ４での処理化のレシピはＡ及びＣとする。また、生産装置１ｄ４に紐付く自動保管庫とは、前記生産装置１ｄ４に対応した前記自動保管庫２の内、最上位に定義された自動保管庫を示し、本実施形態では自動保管庫２ｅとなる（図１４参照）。

上記の場合、ロットの重み計算結果（ｕ）は以下の式で表される。
ｕ＝（Ｅ+Ｆ）＊Ｇ
例えば、対象のロット１０がＬＯＴ−０１〜０８の場合、以下の様になる。
ｕ（ＬＯＴ−０１）＝（１００＋１２．５）＊１＝１１２．５
ｕ（ＬＯＴ−０２）＝（５０＋２５）＊０＝０
ｕ（ＬＯＴ−０３）＝（３３＋３７．５）＊１＝７０．５
ｕ（ＬＯＴ−０４）＝（１００＋５０）＊１＝１５０
ｕ（ＬＯＴ−０５）＝（５０＋１００）＊０＝０
ｕ（ＬＯＴ−０６）＝（３３＋８７．５）＊１＝１２０．５
ｕ（ＬＯＴ−０７）＝（２５＋７５）＊１＝１００
ｕ（ＬＯＴ−０８）＝（２０＋６２．５）＊０＝０
上記の重み計算結果より、前記生産装置１ｄ４に引き当てられるロットはＬＯＴ−０４となる。この様に、前記製品引当工程におけるステップ２４〜３４の処理により、より優先的に処理すべき前記生産装置１で、より優先度の高い、より前記生産装置１から搬送距離が近く、しかも処理可能なロット１０が引き当てられる様になる。

図１１は前記生産進捗管理工程における前記ロット１０の搬送先指示処理を示したフローチャートである。搬送先指示処理は、前記製品引当工程で引き当てた前記生産装置１と前記ロット１０の情報を前記製品引当工程から収集する処理（ステップ３５）で開始し、前記製品引当工程で引き当てた前記生産装置１に紐付く自動保管庫２のグループを検索する処理（ステップ３６）を行う。次に、前記生産装置１に紐付く前記自動保管庫２のグループと同グループの他の前記自動保管庫２を検索する処理（ステップ３７）を行う。次に検索した同グループの複数の前記自動保管庫２を搬送先として前記搬送制御工程に通知する処理（ステップ３８）を行いステップが終了する。

図１２は前記搬送制御工程の搬送先決定処理における検索処理方法の設定処理を示したフローチャートである。検索処理方法設定処理は搬送先を搬送距離検索にするか搬送時間検索にするかを設定する処理（ステップ３９）からステップが開始し、検索方法が決定する処理（ステップ４０）で終了する。

図１３は前記搬送制御工程における最短距離検索処理を示したフローチャートである。前記生産進捗管理工程から複数の前記自動保管庫２の情報を収集する処理（ステップ４１）で開始し、搬送元と搬送先により予めデータベース等に登録された搬送距離データを参照する処理（ステップ４２）を行う。次に複数の搬送先の各搬送距離の比較をする処理（ステップ４３）を行う。次に複数の搬送先の各搬送距離と予め設定された最低搬送距離設定値との比較を行う処理（ステップ４４）を行う。搬送距離が最低搬送距離設定値よりも小さい場合、前記生産進捗管理工程から通知された複数の搬送先の内、最上位の前記自動保管庫２に搬送指示を出す処理（ステップ４５）を行う。搬送距離が最低搬送距離設定値よりも大きい場合、最短距離の前記自動保管庫２に搬送指示を出す処理（ステップ４６）を行いステップが終了する。

図１４は前記生産進捗管理工程で定義する事ができる各生産装置１に複数の搬送先である前記自動保管庫２とそのグループを示したものである。例えば、生産装置１ａ１に前記ロット１０が引き当てられた場合、前記生産進捗管理工程はグループＡに定義された自動保管庫２ａと２ｅへの搬送指示を前記搬送制御工程に出す。なお、定義できる自動保管庫２の台数は最低が１台で、上限は無い。また、定義された自動保管庫２は定義順に上位から第１優先、第２優先、第３優先・・と優先度が高い。また、この定義は前記生産装置２でロットの処理時にロットを引き当てる事ができる所在を制限する際にも使用される。

図１５は各自動保管庫間の搬送距離と前記最低搬送距離値の設定値の一例を示したものである。以下搬送距離検索を用いた場合の一実施形態を示す。

現在自動保管庫２ａに在庫している前記ロット１０がステップ２４〜３４で前記生産装置１ｄ１に引き当てられた場合、図１４の定義により、前記生産進捗管理工程から前記搬送制御工程に対し、自動保管庫２ｄ及び自動保管庫２ｈに搬送指示が出される。この場合、図１５より、自動保管庫２ａからの搬送距離はそれぞれ、６０ｍと８０ｍで、最低搬送距離設定値が５０ｍのため、搬送距離搬送が有効となり、搬送距離の小さい自動保管庫２ｄへ搬送される様になる。すなわち、自動保管庫２ａ〜自動保管庫２ｄまでの距離が６０ｍで、同じく自動保管庫２ａ〜自動保管庫２ｈまでの距離が８０ｍである時、６０ｍ＜８０ｍという比較をする。また、ある一定の距離（最低搬送距離設定値）以上離れていれば、最短距離検索処理がなされる。この比較は、６０ｍ＞５０ｍ、８０ｍ＞５０ｍという比較を行う。次に、現在自動保管庫２ｃに在庫している前記ロット１０がステップ２４〜３４で前記生産装置１ｄ３に引き当てられた場合、図１４の定義により、前記生産進捗管理工程から前記搬送制御工程に対し、自動保管庫２ｄ及び自動保管庫２ｈに搬送指示が出される。この場合、図１５より、自動保管庫２ｃからの搬送距離はそれぞれ、２０ｍと４０ｍで、最低搬送距離設定値が５０ｍのため、搬送距離搬送が無効となり、図１４で生産装置１ｄ３の自動保管庫の上位に定義された自動保管庫２ｈへ搬送される様になる。

この様に最短搬送距離検索処理を用いた搬送制御により、複数ある搬送先の内、基本的に距離の小さい前記自動保管庫２へ搬送されると共に、複数の搬送先が近い距離にあれば、前記生産装置１に上位に定義された前記自動保管庫２に搬送される様になり、搬送効率が向上する。

図１６はステップ３９〜４０において、最短時間検索を選択した場合のフローチャートである。前記生産進捗管理工程から複数の前記自動保管庫２の情報を収集する処理（ステップ４７）で開始し、搬送元と搬送先により計算され、その計算結果を元にデータベース等に登録されている搬送予測時間データを参照する処理（ステップ４８）を行う。次に複数の搬送先の各搬送時間の比較をする処理（ステップ４９）を行う。次に搬送予測時間の短い前記自動保管庫２に搬送指示を出す処理（ステップ５０）を行いステップが終了する。ここで、搬送時間とは前記生産進捗管理工程から前記搬送制御工程に搬送指示を出した時刻から前記ロット１０が搬送元の前記自動保管庫２から搬出され、搬送台車に載り、搬送先の前記自動保管庫２に搬入され、棚へ到着するまでの経過時間と定義する。以下搬送時間予測の計算方法につき記す。搬送予測時間は搬送元、搬送先の前記自動保管庫２間の搬送経路おいて、搬送元及び搬送経路上にある前記自動保管庫２内の搬送指示済みで未搬送のロット数（以下搬送未完了ロット数と呼称する）及び搬送経路上に走行している前記搬送台車９の台数の組み合わせにおける過去の搬送時間実績値の平均値を基値とし、搬送経路上にある前記自動保管庫２内の前記搬送未完了ロット数の増減及び搬送経路上に走行している前記搬送台車９の台数の増減を考慮し、補正を行う。この補正は現在から一定時間後の搬送負荷を考慮する方法で行う。

なお、前記搬送未完了ロット数はリアルタイムで前記搬送制御工程で管理される。また、搬送経路上に走行している前記搬送台車９の位置情報は有線または無線による信号伝達にて、前記搬送台車９から前記搬送制御装置７に伝達され、前記搬送制御装置７で位置情報と搬送経路上に走行している前記搬送台車９の情報がリアルタイムで管理される。

図１７は前記搬送台車９の走行位置情報を有線で伝達する方法の例を示した図で、７０は前記搬送台車の駆動用電源の給電と走行位置情報を伝達するための給電信号線で、前記搬送制御装置７に接続されている。７１は前記搬送台車９の走行用車輪、７２は前記搬送台車９の走行方向を変更する際に用いる支持車輪である。７３は搬送台車に内蔵されているバーコードリーダで、７４は前記天井軌道レール上の現在位置をアドレス管理するためのバーコードラベルで、前記天井軌道レール上に一定間隔で貼られている。前記バーコードリーダで読み込まれた、前記搬送台車９の位置情報は前記給電信号線を介し、前記搬送制御装置７に伝達され、前記搬送制御装置７で前記搬送台車９の走行位置情報が管理される。なお、前記搬送台車の走行位置の認識手段は必ずしもバーコードリーダとバーコードラベルを使用する必要はなく、別のＩＤタグリーダーとＩＤタグを使用しても良い。また、ＩＤ認識装置を用いず、前記搬送台車９の号機情報を前記搬送制御装置７に伝達しても良い。

図１８は前記搬送台車９の走行位置情報を無線で伝達する方法の例を示した図で、７５は前記搬送台車に内蔵された無線装置である。図１７と同様の方法で認識された前記搬送台車９の走行位置情報は前記搬送台車９の無線装置７５から、前記搬送制御装置７に有線で接続された他の無線装置７５に伝達される。

ここで、図１９は搬送元の自動保管庫内の搬送未完了ロット数の時間推移を示したグラフの例である。

図２０は搬送経路上にある全自動保管庫内にある搬送未完了ロット数の時間推移を示したグラフの例である。

図２１は搬送経路上に走行している前記搬送台車９の台数の時間推移を示したグラフの例である。

補正値を計算するために以下の式を用いる。
Ｓ＝ａ１Ｘ
ａ１＝（Ｓ１−Ｓ０）／ΔＸ
Ｔ＝ａ２Ｘ
ａ２＝（Ｔ１−Ｔ０）／ΔＸ
Ｈ＝ａ３Ｘ
ａ３＝（Ｈ１−Ｈ０）／ΔＸ
ここで、
Ｓ：搬送元の自動保管庫内の搬送未完了ロット数の増減予測個数（個）
ａ１：単位時間あたりの搬送元の自動保管庫内の搬送未完了ロット数の増減割合（個／分）
Ｘ：経過時間（分）
Ｓ０：ΔＸ分前の搬送元の自動保管庫内の搬送未完了ロット数（個）
Ｓ１：現在の搬送元の自動保管庫内の搬送未完了ロット数（個）
ΔＸ：Ｓ１（Ｔ１，Ｈ１）データ取得時刻−Ｓ０（Ｔ０，Ｈ０）データ取得時刻（分）
Ｔ：搬送経路上の全自動保管庫内の搬送未完了ロット数の増減予測個数（個）
ａ２：単位時間あたりの搬送経路上の全自動保管庫内の搬送未完了ロット数の増減割合（個／分）
Ｔ０：ΔＸ分前の搬送経路上の全自動保管庫内の搬送未完了ロット数（個）
Ｔ１：現在の搬送経路上の全自動保管庫内の搬送未完了ロット数（個）
Ｈ：搬送経路上の搬送台車数の増減予測台数（台）
ａ３：単位時間あたりの搬送経路上の搬送台車数の増減割合（台／分）
Ｈ０：ΔＸ分前の搬送経路上の搬送台車数（台）
Ｈ１：現在の搬送経路上の搬送台車数（台）
上記の計算式に現在から１分後の搬送負荷の増減を考慮した場合の数値を代入した結果を以下に示す。
Ｓ１＝２０、Ｓ０＝１０、ΔＸ＝１０の場合、
ａ１＝（２０−１０）／１０
＝２個／分
Ｘ＝１の場合、
Ｓ＝２＊１
＝２個
Ｔ１＝２００、Ｚ０＝１００、ΔＸ＝１０の場合
ａ２＝（２００−１００）／１０
＝１０個／分
Ｔ＝１０＊１
＝１０個
Ｈ１＝８０、Ｈ０＝４０、ΔＸ＝１０の場合
ａ３＝（８０−４０）／１０
＝４
Ｈ＝４＊１
＝４台
上記の計算結果より、１分後の搬送元の自動保管庫内及び搬送経路上の全自動保管庫内の搬送未完了ロット数及び搬送経路上に走行している搬送台車台数の予測値は以下のようになる。
現在から１分後の搬送元の自動保管庫内の搬送未完了ロット予測数
＝２０+２
＝２２個
現在から１分後の搬送経路上の全自動保管庫内の搬送未完了ロットの予測数
＝２００＋１０
＝２１０個
現在から１分後の搬送系路上に走行する搬送台車の予測台数
＝８０＋４
＝８４台
上記の補正値を利用し、同じ搬送元と搬送先における、搬送元の自動保管庫内の搬送未完了ロット予測数と搬送経路上の全自動保管庫内の搬送未完了ロットの予測数と搬送系路上に走行する搬送台車の予測台数の同じ組み合わせでの過去の実績値を搬送時間図１６の搬送予測時間データベースで検索し、その平均値を計算し、搬送予測時間を求める。なお、図２２は同条件の過去の実績値が３個データベースにあった場合の搬送予測時間の計算結果の例である。この場合、（５分００秒＋４分５５秒＋５分１０秒）／３＝４分５８秒が搬送予測時間となる。

このように搬送未完了ロット数や走行している搬送台車の増減を考慮した搬送負荷状態での過去の実績値の平均値を搬送予測時間とする事により、予測の精度を高める事が可能となる。

また、この搬送時間予測データを基に最短時間搬送を行う事により、より搬送効率を高める事ができる。

図２３は前記生産進捗管理工程及び前記製品引当工程における、前記生産装置１での処理前にロット１０を引き当てる処理を示したフローチャートである。

前記生産進捗管理工程で定義された前記生産装置１毎に引き当て可能な前記自動保管庫２を前記製品引当工程に通知する処理（ステップ５１）で開始する。次に、ステップ４１〜４９の処理で搬送された前記ロット１０を前記生産装置１で処理する順番に並べ替え、ロットリストを作成する処理（ステップ５２）を行う。次に、前記ロットリストの最上位の前記ロット１０を選択する処理（ステップ５３）を行う。次に選択された前記ロット１０の出庫指示を前記生産進捗管理工程から前記搬送制御工程に出す処理（ステップ５３）を行いステップが終了する。

図２４は前記ロットリストの一例を示したもので、ロットＩＤ、ロットの優先度、搬送順位、処理順位から成る。前記ロットリストの処理順位は基本的にステップ４１〜４９の処理で搬送された順に並べられるが、後から搬送された前記ロット１０であっても最も優先度が高い前記ロット１０に関しては、リストの最上位に並べられる。図２４の例の場合、ＬＯＴ−０８は最後に搬送されたが、処理順位では１位に並べ代替えられている。この様に、一旦前記生産進捗管理工程で定義された前記生産装置１毎に引き当て可能な前記自動保管庫２に在庫している前記ロット１０からのみ、前記生産装置１での出庫指示が出されるため、他の前記ロット１０の引き当てができない前記自動保管庫２への再搬送が発生することは無くなる。また、前記生産装置１での処理直前に優先度に従い、処理順番の整合性が取られる為、処理優先度の高い前記ロット１０から処理される様になる。

図２５は前記搬送制御工程における出庫指示時の処理を示したフローチャートである。前記生産進捗管理工程から複数の出庫先を指示される処理（ステップ５５）から開始する。次に、現在前記ロット１０が在庫している前記自動保管庫２のグループの情報を収集する処理（ステップ５６）を行い、異なるグループであれば、前記生産管理工程から指示された最上位の前記自動保管庫２に出庫指示を出す処理（ステップ５７）を行い、同じグループであれば、現在在庫している前記自動保管庫２に出庫指示を出す処理（ステップ５８）を行いステップが終了する。

ステップ５５〜５８の処理により、出庫先が近くにある同グループの前記自動保管庫同士への出庫指示であれば、現在在庫している前記自動保管庫２へ出庫する事により、搬送量の削減をする事ができる様になる。

本発明に係る搬送システムの制御方法および搬送システムは、半導体装置や液晶の製造ラインにおける搬送装置及びその制御方法として、無駄な搬送を削減する事ができ、効率的な搬送を実現するものとして有用である。

本発明の実施形態に係る搬送システムの各制御処理工程を有する各制御装置を示すブロック構成図である。 本発明の実施形態に係る製造ラインのモデルレイアウトを示した図である。 本発明の実施形態に係る納期管理工程での納期管理処理を示したフローチャートである。 本発明の実施形態に係る納期と生産進捗の遅れ度合いとロット１０の優先度の例を示す説明図である。 本発明の実施形態に係る製品引当工程での製品引当処理を行う生産装置２を決定する処理を示したフローチャートである。 本発明の実施形態に係る生産進捗管理工程で生産装置毎に設定及び管理する生産装置の稼動状況と処理状況とバッファ棚及び自動保管庫の上限在庫設定数及び在庫数及び要求率を示す説明図である。 本発明の実施形態に係るステップ２５〜３１で製品引当工程において製品の引当てを行う生産装置１の順番を決定するための各生産装置毎の情報及び重み計算結果を示す説明図である。 本発明の実施形態に係る製品引当工程でロット１０を引当てる処理を示したフローチャートである。 本発明の実施形態に係るステップ３２〜３４において生産装置１ｄ１にロット１０を引き当てるためのロット１０の情報及び重み計算結果を示す説明図である。 本発明の実施形態に係る生産装置１に紐付く自動保管庫２とロットが在庫している自動保管庫２における所在の重み係数を計算するための対応表である。 本発明の実施形態に係る生産進捗管理工程におけるロット１０の搬送先指示処理を示したフローチャートである。 本発明の実施形態に係る搬送制御工程の搬送先決定処理における検索処理方法の設定処理を示したフローチャートである。 本発明の実施形態に係る搬送制御工程における最短距離検索処理を示したフローチャートである。 本発明の実施形態に生産進捗管理工程で定義する事ができる各生産装置１毎に複数の搬送先である前記自動保管庫２とそのグループの説明図である。 本発明の実施形態に係る各自動保管庫間の搬送距離と前記最低搬送距離の設定値の一例を示す説明図である。 本発明の実施形態に係るステップ３９〜４０において、最短時間検索を選択した場合のフローチャートである。 （ａ）は搬送台車の走行位置情報を有線で伝達する方法の例を示す平面図、（ｂ）は断面図である。 （ａ）は搬送台車の走行位置情報を無線で伝達する方法の例を示す平面図、（ｂ）は断面図である。 搬送元の自動保管庫内の搬送未完了ロット数の時間推移を示したグラフの例である。 搬送経路上にある全自動保管庫内にある搬送未完了ロット数の時間推移を示したグラフの例である。 搬送経路上に走行している前記搬送台車９の台数の時間推移を示したグラフの例である。 本発明の実施形態に係る搬送予測時間の計算結果を示す説明図である。 本発明の実施形態に係る生産進捗管理工程及び製品引当工程における、生産装置１での処理前にロット１０を引き当てる処理を示したフローチャートである。 本発明の実施形態に係る製品引当工程でのロットリストの一例を示す説明図である。 前記搬送制御工程における出庫指示時の処理を示したフローチャートである。

符号の説明

１ 生産装置
２ 自動保管庫
３ 生産進捗管理装置
４ 納期管理装置
５ 製品引当装置
６ 生産装置制御装置
７ 搬送制御装置
８ 天井軌道レール
９ 搬送台車
１０ ロット
１１ バッファ棚
１２ 入庫ポート
１３ 出庫ポート
７０ 給電信号線
７１ 走行用車輪
７２ 支持車輪
７３ バーコードリーダ
７４ バーコードラベル
７５ 無線装置

Claims (10)

1. 複数の製品からなるロットを自動搬送させるための天井軌道走行レールと、前記ロットを移載し、前記天井軌道走行レール上を走行する複数の搬送台車と、複数の場所に設置された生産装置で処理可能なロットを格納する複数の自動保管庫と、前記生産装置前に次に処理するロットを格納するバッファ棚とを備えた搬送システムの制御方法であって、
   ロットの納期管理を行い、注文の納期に合わせたロットの優先度を決定する納期管理工程と、
   ロットが搬送されて処理可能な生産装置とロットの搬送先である前記自動保管庫を定義すると共に生産進捗全般の管理を行う生産進捗管理工程と、
   前記生産装置の状態により、ロットの引き当てを行う前記生産装置の順序を決定すると共に、次に処理すべき最適なロットを前記生産装置に引き当てる製品引当工程と、
   前記製品引当工程で引き当てたロットを、前記生産進捗管理工程で決定した搬送先の前記自動保管庫へ搬送指示を出す搬送制御工程と、
   前記生産装置の処理制御を行なう生産装置制御工程とを含む搬送システムの制御方法。
2. 前記納期管理工程は、決定した前記ロットの優先度を前記生産進捗管理工程と前記製品引き当て工程に通知することを特徴とする請求項１記載の搬送システムの制御方法。
3. 前記生産進捗管理工程は、前記生産装置の稼動状態と処理状況と処理レシピを前記生産装置制御工程から収集し、
   前記ロットの所在情報を前記搬送制御工程から収集し、
   前記ロットの優先度を前記納期管理工程から収集し、
   前記生産装置毎に前記製品引当工程で引当てることが可能なロットの所在を前記自動保管庫単位で把握し、
   前記生産装置と紐付く前記自動保管庫を複数定義しグループ化し、複数の搬送先として前記搬送制御工程に通知し、
   前記生産装置毎に前記自動保管庫に格納可能なロット数を定義し、
   前記バッファ棚に格納可能なロット数を定義することを特徴とする請求項１記載の搬送システムの制御方法。
4. 製品引当工程は、前記生産進捗管理工程から前記生産装置の稼動状態と処理状況と各生産装置毎の前記バッファ棚の在庫数と前記自動保管庫の在庫数を収集し、それらの情報から重み付け計算を行い、前記ロットの引当てを行う生産装置の順番を決定し、
   前記ロットの優先度を前記納期管理工程から収集し、
   現在のロットの所在情報と処理レシピを前記生産進捗管理工程から収集し、前記ロットの優先度と所在情報と処理レシピから重み付け計算を行い、次に処理すべき最適な前記ロットを前記生産装置に引き当て、
   前記生産進捗管理工程で前記生産装置毎に前記製品引当工程で引当てることが可能なロットが格納された前記自動保管庫からのみロットを引き当てることを特徴とする請求項１記載の搬送システムの制御方法。
5. 搬送制御工程は、前記ロット所在情報を前記生産進捗管理工程に通知し、
   搬送台車から走行位置情報を取得し、前記搬送台車の現在の走行位置を認識し、
   前記生産進捗管理工程から通知された搬送先であるグループ化された複数の前記自動保管庫の中から最短距離もしくは最短時間の自動保管庫を検索し、
   前記自動保管庫の検索方法を最短距離検索と最短時間検索の内から選択して搬送指示を出し、
   前記生産進捗管理工程から同グループ内で自動保管庫間での出庫指示があった場合は、搬送指示を出さず、格納されている自動保管庫から出庫指示を出すことを特徴とする請求項１記載の搬送システムの制御方法。
6. 最短距離検索による自動保管庫の検索方法は、前記搬送制御工程に登録された各自動保管庫間の搬送距離データを用い最短距離を検索し、
   前記各自動保管庫間の搬送距離データは任意に登録可能とし、
   複数の搬送先の各搬送距離が任意に設定可能な最低搬送距離設定値より大きい場合のみ、最短距離による搬送を有効にすることを特徴とする請求項５記載の搬送システムの制御方法。
7. 最短時間検索による自動保管庫の検索方法は、搬送元と搬送先の各自動保管庫間毎に、搬送経路上に走行する前記搬送台車の台数と搬送系路上にある前記自動保管庫内の搬送指示済みで未搬送のロット数との組み合わせにおける搬送時間の実績データの平均値を搬送予測時間として最短時間を検索し、
   現在から一定時間後の搬送負荷の増減に基づいて搬送予測時間の補正を行うことを特徴とする請求項５記載の搬送システムの制御方法。
8. 前記生産装置制御工程は、オンライン通信で前記生産装置に処理レシピを通知し、処理の開始、終了等の前記生産装置の制御処理全般を行い、
   前記生産装置の稼動状態と処理状況を前記生産装置から収集し、
   前記生産装置の稼動状態と処理状況と処理レシピを前記生産進捗管理工程に通知することを特徴とする請求項１記載の搬送システムの制御方法。
9. 前記搬送台車は無線もしくは有線による信号伝達により、現在の走行位置を前記搬送制御工程に通知することを特徴とする請求項１記載の搬送システムの制御方法。
10. 複数の製品からなるロットを自動搬送させるための天井軌道走行レールと、前記ロットを移載し、前記天井軌道走行レール上を走行する複数の搬送台車と、生産装置で処理可能なロットを格納する複数の自動保管庫と、前記生産装置前に次に処理するロットを格納するバッファ棚とを備えた搬送システムであって、
    ロットの納期管理を行い、注文の納期に合わせたロットの優先度を決定する納期管理装置と、
    ロットが搬送されて処理可能な生産装置とロットの搬送先である前記自動保管庫を定義すると共に生産進捗全般の管理を行う生産進捗管理装置と、
    前記生産装置の状態により、ロットの引き当てを行う前記生産装置の順序を決定すると共に、次に処理すべき最適なロットを生産装置に引き当てる製品引当装置と、
    前記生産進捗管理装置で決定した搬送先の前記自動保管庫へ搬送指示を出す搬送制御装置と、
    前記生産装置の処理制御を行なう生産装置制御装置とを備えた搬送システム。

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